JP3987510B2 - 半導体ベアチップ実装装置 - Google Patents
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Description
該半導体ベアチップ実装装置の内部の温度を検出し、該半導体ベアチップ実装装置の内部の温度が所定温度範囲より低い場合には、上記マウント用ヘッドが半導体ベアチップを保持せず、上記ステージが基板が固定されていない状態で上記マウント用ヘッド移動機構及び該ステージ移動機構が動作する空運転を上記温度が所定温度範囲内に入るまで続けて行い、上記温度が所定温度範囲より高い場合には、半導体ベアチップ実装装置の運転の休止を上記温度が所定温度範囲内に入るまで続けるようにし、更に、該半導体ベアチップ実装装置が最後の動作をしてからの時間の計測をして、該半導体ベアチップ実装装置が最後の動作をしてから所定時間を経過後に該半導体ベアチップ実装装置を始動させる場合には上記マウント用ヘッドが半導体ベアチップを保持せずにマウント用ヘッド移動機構及びステージ移動機構が動作する空運転を行なうようにする制御手段を有する構成としたことを特徴とする。
半導体ベアチップ実装のアライメント精度は、半導体ベアチップ実装装置40の温度、即ち、熱膨張及び収縮によって影響をうける。半導体ベアチップ実装装置40はアライメント精度保証温度範囲(半導体ベアチップ実装装置40が所望のアライメント精度で動作することが保証される温度範囲であり、約23〜26℃である)を有する。アライメント精度保証温度範囲が特許請求の範囲の記載の「所定温度範囲」に対応する。
(2)半導体ベアチップ実装装置40を停止させその後に稼働させるときの半導体ベアチップ実装装置40が停止した状態に放置されていた時間の長さに着目した方策
工場での操業についてみると、半導体ベアチップ実装装置40の稼働を停止させ、その後、数時間経過した後に半導体ベアチップ実装装置40を稼働させることがある。半導体ベアチップ実装装置40の稼働を停止させると、半導体ベアチップ実装装置40は自然冷却されて温度は徐々に低下し、ある時間経過すると、半導体ベアチップ実装装置40の温度はアライメント精度保証温度範囲より低くなる。この状態で半導体ベアチップ実装装置40を動作させて半導体ベアチップ実装を行うとアライメント精度が良くない状態で実装されてしまう。
(3)半導体ベアチップ認識用CCDカメラ43及び基板認識用CCDカメラ44のレンズの収差等に着目した方策
図4(A),(B)は半導体ベアチップ認識用CCDカメラ43の撮像面に対応するカメラ視野80を示す。視野80は、X方向上に512画素、Y方向上に480画素がマトリクス状に並んだ512×480個の画素81を有する。図5(A),(B)は基板認識用CCDカメラ44の撮像面に対応するカメラ視野82を示す。視野82は、X方向上に512画素、Y方向上に480画素がマトリクス状に並んだ512×480個の画素83を有する。
(4)半導体ベアチップ認識用CCDカメラ43及び基板認識用CCDカメラ44の熱膨張に着目した方策
半導体ベアチップ実装装置40内部の温度変化は半導体ベアチップ認識用CCDカメラ43及び基板認識用CCDカメラ44の温度に影響を与え、半導体ベアチップ認識用CCDカメラ43及び基板認識用CCDカメラ44の温度が変化するとレンズ等が熱膨張収縮し、先に述べたように画素81−1当たりの半導体ベアチップ10上での寸法及び画素83−1当たりのプリント基板20上での寸法が、本来の寸法から微妙に変化(この変化量をオフセット値という)し、アライメント精度が損なわれる。
14 スタッドバンプ
20 プリント基板
21 半導体ベアチップ実装予定部
22 電極
23 熱硬化された熱硬化性接着剤
30 半導体ベアチップの認識マーク
30A 半導体ベアチップの認識マークの像
31 プリント基板の認識マーク
31A プリント基板の認識マークの像
40 半導体ベアチップ実装装置
41 マウント用ヘッド
42 ステージ
43 半導体ベアチップマーク認識用CCDカメラ
44 プリント基板マーク認識用CCDカメラ
45 マウント用ヘッド移動機構
46 ステージ移動機構
47、49 送り用のボールねじ
48、50 モータ
51 画像処理部
52 演算制御部
60 制御回路
61 時計
80、82 カメラ視野
81、83 画素
Claims (2)
- 半導体ベアチップを保持するマウント用ヘッドを動かすマウント用ヘッド移動機構及び基板が固定されるステージを動かすステージ移動機構が動作して半導体ベアチップを基板上に実装する半導体ベアチップ実装装置において、
該半導体ベアチップ実装装置の内部の温度を検出し、該半導体ベアチップ実装装置の内部の温度が所定温度範囲より低い場合には、上記マウント用ヘッドが半導体ベアチップを保持せず、上記ステージが基板が固定されていない状態で上記マウント用ヘッド移動機構及び該ステージ移動機構が動作する空運転を上記温度が所定温度範囲内に入るまで続けて行い、上記温度が所定温度範囲より高い場合には、半導体ベアチップ実装装置の運転の休止を上記温度が所定温度範囲内に入るまで続けるようにし、更に、該半導体ベアチップ実装装置が最後の動作をしてからの時間の計測をして、該半導体ベアチップ実装装置が最後の動作をしてから所定時間を経過後に該半導体ベアチップ実装装置を始動させる場合には上記マウント用ヘッドが半導体ベアチップを保持せずにマウント用ヘッド移動機構及びステージ移動機構が動作する空運転を行なうようにする制御手段を有する構成としたことを特徴とする半導体ベアチップ実装装置。 - 半導体ベアチップを保持するマウント用ヘッドを動かすマウント用ヘッド移動機構及び基板が固定されるステージを動かすステージ移動機構が動作して半導体ベアチップを基板上に実装する半導体ベアチップ実装装置において、
該半導体ベアチップ実装装置の内部の温度を検出し、該半導体ベアチップ実装装置の内部の温度が所定温度範囲より低い場合には、上記マウント用ヘッドが半導体ベアチップを保持せず、上記ステージが基板が固定されていない状態で上記マウント用ヘッド移動機構及び該ステージ移動機構が動作する空運転を上記温度が所定温度範囲内に入るまで続けて行い、上記温度が所定温度範囲より高い場合には、半導体ベアチップ実装装置の運転の休止を上記温度が所定温度範囲内に入るまで続けるようにし、更に、該マウント用ヘッドに保持された半導体ベアチップの認識マークを認識する半導体ベアチップ認識用CCDカメラ及び該ステージに固定された基板の認識マークを認識する基板認識用CCDカメラの温度を温度センサで検出し、この温度センサが検知した温度をオフセットテーブルに当てはめてオフセット値を求め、該オフセット値を考慮した位置情報に基づいて該マウント用ヘッド移動機構及び該ステージ移動機構が動作するようにする制御手段を有する構成としたことを特徴とする半導体ベアチップ実装装置。
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