JP3980591B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

Description

この発明は半導体記憶装置に関し、特に、半導体記憶装置における電源パッドの配置に関する。より特定的には、汎用ＤＲＡＭ（ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ）における電源パッドならびにデータ入出力バッファおよび周辺回路のレイアウトに関する。

図２６は、例えば特開平３−２１４６６９号公報（特許文献１）に示される従来の半導体記憶装置のチップレイアウトを概略的に示す図である。図２６において、半導体記憶装置は、半導体チップ１１００上に形成され、４つのメモリブロックＭＢ１、ＭＢ２、ＭＢ３、およびＭＢ４を含む。メモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４の各々は複数のメモリセルを含む。通常動作時（外部アクセス時）においてはメモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４の各々において１ビットのメモリセルが選択されてデータの書込／読出が行なわれる（×４構成の場合）。

半導体チップ１１００の中央領域（メモリブロックＭＢ１およびＭＢ３とメモリブロックＭＢ２およびＭＢ４との間の領域）に外部からの電源電圧と接地電圧を受けるパッドならびに信号を入出力するためのパッドが配置される。このようなチップ中央領域にパッドを配置する構成は、リード・オン・チップ（ＬＯＣ）配置として知られており、このチップ上方にリードフレームの先端が配置され、このチップ中央領域に配置されたパッドとワイヤボンディングによりこのリードフレームが接続される。チップ中央領域に一列にパッドが配列されるため、半導体チップ１１００の周辺部両側に沿ってパッドを配置する構成に比べてパッド占有面積を低減することが可能となり、半導体チップ利用効率が改善される。

このパッド配置において、通常、前世代の半導体記憶装置とのピンの互換性の維持などを目的として、半導体チップ１１００の中央領域の互いに対向する両端部にそれぞれ電源パッドＶＣ１およびＶＣ２が配置される。一方の電源パッドＶＣ１に隣接して集中的にデータ入出力パッドＤＱ１〜ＤＱ４が配置される。他方の電源パッドＶＣ２はこのデータ入出力用回路以外の回路に対して電源電圧を供給する。なお電源パッドＶＣ１およびＶＣ２は電源電圧Ｖｃｃを供給するものとして示すが、同様に接地電圧Ｖｓｓを供給する接地パッドもこれらの電源パッドＶＣ１およびＶＣ２それぞれに隣接して配置されるが、図面を簡略化するために、この接地パッドは示していない。

データ入出力パッドＤＱ１〜ＤＱ４はそれそれ内部データバス１１０２ａ〜１１０２ｄを介してメモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４とデータの授受を行なう。図２６においては明確に示していないがデータ入出力パッドＤＱ１〜ＤＱ４各々に隣接してデータ入出力バッファが設けられている。これらのデータ入出力バッファは電源パッドＶＣ１から動作電源電圧および接地電圧が供給されて動作する。データ入出力バッファの動作電源を他の回路とは別に専用に設けることによりこのデータ入出力に用いられる電源電圧および接地電圧の安定化を図り、データ入出力動作（特にデータ出力動作）の安定化（電源ノイズの影響を受けずに安定にデータの入出力を行なう）および高速化（電源回路の負荷を軽減することにより高速で充放電動作を行ないデータの入出力を行なう）を図る。

また、ＬＯＣ配置において、内部メモリブロックに対して安定に電源電圧を供給することを図る構成が、特開平４−２６７５５０号公報（特許文献２）に示されている。この特許文献２に示される構成においては、ＬＯＣ配置において、中央領域に電源パッドを内部回路に応じて複数分散して配置し、ピン端子に接続されるバスバーにこれらの電源パッドを共通に接続する。バスバーから電源電圧を各電源パッドに供給することにより各電源パッドの電源電圧の安定化を図る。
特開平３−２１４６６９号公報 特開平４−２６７５５０号公報

上述の特許文献１に示される構成においては、データ入出力パッドＤＱ１〜ＤＱ４に隣接してデータ入出力バッファが配置される。これらのデータ入出力バッファは共通に電源パッドから電源電圧Ｖｃｃを受けて動作する。１つの電源パッドに複数（図２６においては４個）のデータ入出力バッファが結合されるため、電源パッド（電源線）の負荷が大きくなる。電源パッドＶＣ１の電流供給能力は外部仕様により決定される。したがって、この電源パッドＶＣ１に接続されるデータ入出力バッファ（特にデータ出力バッファ）の数が大きくなると、電源パッドＶＣ１から各データ入出力バッファへ十分な大きさの電流を安定的に供給することができなくなり、電源電圧および接地電圧が変動し、データ入出力バッファはそれぞれの出力ノードを高速で充放電することができず、高速動作を行なうことができなくなるという問題が生じる。特にデータ出力動作時においては、電源電圧が変動して、出力バッファの動作速度が遅くなると、有効出力データがパッドを介して外部ピン端子に現れる時間が遅くなり、高速読出を行なうことができなくなるという問題が生じる。

半導体チップ１１００の中央領域周辺に設けられた電源パッドＶＣ２は周辺回路に対する電源電圧を供給するために用いられる。周辺回路は図２６においては明確に示していないが、半導体チップ１１００上に分散して配置される。このため電源パッドＶＣ２から各周辺回路への電源線の長さが長くなり、配線抵抗による電源電圧の低下、電源電圧の不安定化などの問題が生じ、周辺回路を安定に動作させることができなくなるという問題が生じる。

また、電源パッドＶＣ１からデータ入出力バッファへの電源線を短くし、電源線の負荷をできるだけ小さくするためにデータ入出力バッファおよびデータ入出力パッドＤＱ１〜ＤＱ４は電源パッドＶＣ１の近傍に集中配置される。したがって、メモリブロックＭＢ１とデータ入出力パッドＤＱ１の間の内部データ線１１０２ａおよびメモリブロックＭＢ２とデータ入出力パッドＤＱ２の間の内部データ線１１０２ｂの長さは、メモリブロックＭＢ３とデータ入出力パッドＤＱ３の間の内部データ線１１０２ｃおよびメモリブロックＭＢ４とデータ入出力パッドＤＱ４の間の内部データ線１１０２ｄの長さよりも長くなる。

この場合、内部データ線１１０２ａおよび１１０２ｂの配線抵抗および寄生容量が内部データ線１１０２ｃおよび１１０２ｄのそれよりも大きくなり、内部データ線１１０２ａおよび１１０２ｂにおける信号伝搬遅延が内部データ線１１０２ｃおよび１１０２ｄのそれよりも大きくなり、高速アクセスができなくなるという問題が生じる。すなわち、データ読出時においてはメモリブロックＭＢ１およびＭＢ２からの読出データがパッドＤＱ１およびＤＱ２に現われて確定するタイミングが、メモリブロックＭＢ３およびＭＢ４からのデータがデータ入出力パッドＤＱ３およびＤＱ４に現われて確定するタイミングよりも遅くなり、この遅いタイミングに合せて出力データ確定タイミングを決定する必要があり、データ読出時におけるアクセス時間が長くなる。

同様に、データ書込時においても、パッドＤＱ１〜ＤＱ４上に現われた書込データから書込パルス（書込イネーブル信号に応答して発生される）に従ってメモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４それぞれに対して内部書込データが発生されて内部データ線１１０２ａ〜１１０２ｄを介して伝達されるが、この場合、書込データがメモリブロックＭＢ１およびＭＢ２において書込まれるタイミングはメモリブロックＭＢ３およびＭＢ４において書込データが書込まれるタイミングよりも遅くなり、データ書込時間が長くなる。

図２７に示すように、従来のデータ入出力パッド配置の場合、アドレス信号およびクロック信号（ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳおよびライトイネーブル信号ＷＥなどの外部制御信号）を受ける周辺パッドＰＤ１−ＰＤｎと、周辺パッドＰＤ１−ＰＤｎからの内部信号を受けてメモリブロックＭＢ１−ＭＢ４へのアクセス動作を制御する信号を発生するマスタ制御回路１１１０は、半導体チップ１１００の中央領域のデータ入出力パッドＤＱ１−ＤＱ４形成領域を除く領域に設けられる。パッドＰＤ１−ＰＤｎに対応して設けられたバッファは電源パッドＶＣ２から電源電圧を受けて動作する。通常、周辺パッドＰＤ１−ＰＤｎは一列に配列される。周辺パッドＰＤ１からの内部信号は信号線１１１２を介してマスタ制御回路１１１０へ与えられ、パッドＰＤｎからの内部信号は信号線１１１３を介してマスタ制御回路１１１０へ与えられる。

マスタ制御回路１１１０は、メモリブロックＭＢ１−ＭＢ４それぞれに対し必要な制御信号を出力するとともに、データ入出力パッドＤＱ１−ＤＱ４それぞれに対応して設けられたデータ入出力バッファのデータ入出力タイミングを規定する信号を発生する。一般に、ＤＲＡＭにおいては、ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳの立下がりに応答してアドレス入力パッドへ与えられたアドレス信号を取込み、内部ロウアドレス信号を発生する。通常、後に詳細に説明するが、アドレス信号に対しては、この信号／ＲＡＳの立下がりエッジに対しセットアップ時間およびホールド時間が決定される。図２７に示すように信号線１１１２および１１１３の長さが異なる場合、この信号線１１１２および１１１３の信号伝搬遅延が異なるため、最悪ケースを想定してこれらのセットアップ時間およびホールド時間を設定する必要があり、内部動作開始タイミングを早くすることができず、高速動作を実現することができなくなるという問題が生じる。また、マスタ制御回路１１０からメモリブロックＭＢ１−ＭＢ４への距離が異なり、メモリブロックＭＢ１−ＭＢ４の動作タイミングが一定とならず、最悪ケースによりアクセス時間が長くなる。

それゆえに、この発明の目的は、高速かつ安定に動作する半導体記憶装置を提供することである。

この発明の他の目的は、高速および安定動作を実現するためのパッドレイアウトを備えた半導体記憶装置を提供することである。

この発明の第１の観点に係る半導体記憶装置は、第１の方向に沿った中央領域の両側に第１の方向に沿って整列して配置される複数のメモリブロックと、これらの複数のメモリブロック各々に対応してかつ対応のメモリブロックに近接して中央領域に配置され、さらに、中央領域の第１の方向についての中央部に関して一方側と他方側にグループ化して配置され、各々が対応のメモリブロックとデータ信号の授受を行う複数のデータ入出力パッド部と、この中央領域にグループ化して配置される複数のデータ入出力パッド部の一方側および他方側に配置され、複数のメモリブロックへのアクセスを制御する信号を受け付ける複数の周辺パッドとを備える。

この発明の第２の観点に係る半導体記憶装置は、第１の方向に沿って整列して配置されるとともに第１の方向に沿って第１および第２のグループに分割される複数のメモリブロックと、これらの整列した複数のメモリブロックの一方側に沿って配置されるとともに第１の方向に沿って第１および第２のグループに分割される複数のデータ入出力パッド部と、これらの複数のデータ入出力パッド部の第１および第２のグループの間に配置され、これらの複数のメモリブロックへのアクセスを制御する信号を受付ける複数の周辺パッド部を備える。

複数のメモリブロックの第１のグループは、複数のデータ入出力パッド部の第１のグループを介してデータの授受を行い、また、複数のメモリブロックの第２のグループは、複数のデータ入出力パッド部を介してデータの授受を行う。

この発明の第３の観点に係る半導体記憶装置は、４辺を有する半導体チップ上に形成され、４辺のうちの第１の辺に沿ってかつ第１の辺と対向する辺と異なる第２の辺からこの第２の辺に対向する第３の辺に、順に、配置される第１および第２のメモリブロックと、４辺のうちの第１の辺と対向する第４の辺と第１のメモリブロックとの間に形成される第３のメモリブロックと、第４の辺と第２のメモリブロックとの間に接続された第４のメモリブロックと、第１のメモリブロックと第３のメモリブロックの間に第１のメモリブロックに沿って配置され、第１のメモリブロックとの間でデータ授受のために用いられる複数の第１のデータ入出力パッドと、第３のメモリブロックと第１のメモリブロックの間に、第３のメモリブロックに沿って配置され、第３のメモリブロックとの間でのデータ授受に用いられる複数の第２データ入出力パッドと、第２のメモリブロックと第４のメモリブロックとの間に、第２のメモリブロックに沿って配置され、第２のメモリブロックとの間でのデータの授受に用いられる複数の第３のデータ入出力パッドと、第４のメモリブロックと第２のメモリブロックとの間に、第４のメモリブロックに沿って配置され、第４のメモリブロックとの間でのデータ授受に用いられる複数の第４のデータ入出力パッドと、第１のメモリブロックと第２のメモリブロックとの間の第１の領域と第３のメモリブロックと第４のメモリブロックとの間の第２の領域との間に配置され、第１、第２、第３および第４のメモリブロックをアクセスするための信号が供給されるパッドとを備える。

この発明においては、データ入出力パッドが各対応のメモリブロックの近傍に配置され、また周辺パッドが中央部近傍に配置されるため、内部データバスの長さはすべてのデータ入出力バッファに対し同一とすることができ、高速でデータ入出力を行なうことができる。また、中央部に外部信号入力パッドを配置することにより、チップ中央部に周辺回路としてのマスタ制御回路を配置して最短の信号線長で外部信号を各メモリブロックの周辺回路へ伝達することができ高速アクセスが可能となる。

［電源パッドと入出力バッファの配置］
図１はこの発明の一実施例である半導体記憶装置のレイアウトを概略的に示す図である。図１において、半導体記憶装置は、半導体チップ１上に形成されかつ４つのメモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４を含む。これらのメモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４の各々は、複数のメモリセルを含み、かつ動作時において１ビットのメモリセルが選択される（メモリブロックの構成については後に詳細に説明する）。メモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４の第１の方向（図１の水平方向）の中央領域の一方側にメモリブロックＭＢ１およびＭＢ３が配置され、メモリブロックＭＢ２およびＭＢ４が他方側に配置される。この中央領域においてメモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４それぞれに対応しかつ対応のメモリブロックに近接してデータ入出力パッド部３ａ、３ｂ、３ｃおよび３ｄが配置される。なお、以下の説明において「パッド部」はリードフレームと接続されるパッドおよびそれに近接して設けられるバッファを併せて示す用語として用いる。

パッド部３ａは内部データバス２ａを介してメモリブロックＭＢ１とデータの授受を行なう。データ入出力パッド部３ｂは内部データバス２ｂを介してメモリブロックＭＢ２とデータの入出力を行なう。データ入出力パッド部３ｃは、メモリブロックＭＢ３と内部データバス２ｃを介してデータの入出力を行なう。データ入出力パッド部３ｄは内部データバス２ｄを介してメモリブロックＭＢ４とデータの授受を行なう。後に詳細に説明する理由のために、データ入出力パッド部３ａ〜３ｄは対応のメモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４の中央位置（図の水平方向についての）近傍に配置される。

中央領域の両端部に電源パッド５および６が配置され、中央領域の中央部に電源パッド７が配置される。電源パッド５はデータ入出力パッド部３ｃおよび３ｄに電源電圧Ｖ１（ＶｃｃおよびＶｓｓ）を伝達し、電源パッド６は電源電圧Ｖ２（ＶｃｃおよびＶｓｓ）をデータ入出力パッド部３ａおよび３ｂへ伝達する。電源パッド７は破線ブロックで示す周辺回路４に含まれる制御回路および後に説明するアドレス信号およびブロック選択信号などの外部信号入力用バッファに対する電源電圧Ｖ３（ＶｃｃおよびＶｓｓ）を伝達する。

この半導体記憶装置はパッケージ構造としてリード・オン・チップ構造を備えており、それぞれ半導体チップ１の中央部上部までその先端が延びる複数のリードフレームを有し、各リードフレーム先端と各パッドがボンディングワイヤにより接続される。図１においては、それぞれ対応の外部ピン端子を併せて示す。すなわち、電源パッド５は、電源電圧Ｖｃｃを入力するピン端子１５ａと接地電圧Ｖｓｓを入力するピン端子１５ｂに接続される。データ入出力端子１７ｃおよび１７ｄはそれぞれパッド部３ｃおよび３ｄに接続される。電源パッド７は電源電圧Ｖｃｃを入力するピン端子１６ａおよび接地電圧Ｖｓｓを受けるピン端子１６ｂに接続される。データ入出力パッド部３ａはデータ入出力ピン端子１７ａに接続され、データ入出力パッド部３ｂはデータ入出力ピン端子１７ｂに接続される。電源パッド６は電源電圧Ｖｃｃ入力ピン端子１５ｃおよび接地電圧Ｖｓｓ入力ピン端子１５ｂに接続される。ピン端子の配置位置とパッドの配置位置はほぼ対応している。内部データバス２ａ〜２ｄは対応のメモリブロックＭＢ１−ＭＢ４にわたって延在し、各々の長さは同じである。

図２は、図１に示すパッド部および電源パッドの構成を概略的に示す図である。図２においてパッド部３ａおよび３ｂと電源パッド６の部分の構成を示す。図２において、パッド部３ａは、内部データバス２ａを介してデータの授受を行なう入出力バッファ３ａａと、この入出力バッファ３ａａとデータの授受を行なうパッド３ａｂを含む。データ入出力パッド部３ｂは内部データバス２ｂを介してデータの授受を行なう入出力バッファ３ｂと、この入出力バッファ３ｂａとデータ信号の授受を行なうパッド３ｂｂを含む。電源パッド６は、電源電圧Ｖｃｃを外部ピン端子１５ｃから受けて内部の電源線６ａａおよび６ａｂへ伝達するパッド６ａと、接地電圧Ｖｓｓをピン端子１５ｄを介して受けて接地線６ｂａおよび６ｂｂを介して伝達する接地パッド６ｂを含む。この電源線６ａａおよび６ａｂは同一層の配線で形成され、また接地線６ｂａおよび６ｂｂは同じ配線層の接地線で形成される。入出力バッファ３ａａは電源線６ａａの電源電圧Ｖｃｃおよび接地線６ｂａ上の接地電圧Ｖｓｓを動作電源電圧として動作する。入出力バッファ３ｂａは電源線６ａｂ上の電源電圧Ｖｃｃおよび接地線６ｂｂ上の接地電圧Ｖｓｓを動作電源電圧として動作する。以下の説明において特に断らないかぎり電源電圧は電圧ＶｃｃおよびＶｓｓ両者を含む。

図１および図２において示すように、電源パッド６へ与えられた電圧Ｖ２（ＶｃｃおよびＶｓｓ）はデータ入出力パッド部３ａおよび３ｂに含まれる入出力バッファ３ａａおよび３ｂａにより利用される。一方、電源パッド５上の電圧Ｖ１（ＶｃｃおよびＶｓｓ）はデータ入出力パッド部３ｃおよび３ｄに含まれる入出力バッファにのみ利用される。電源パッド５および６はそれぞれ負荷が軽減されるため、安定に電源電圧を供給することができ、応じて対応のデータ入出力パッド部に含まれる入出力バッファを高速で駆動させることができる。すなわち、たとえば図２において、電源線６ａａおよび６ａｂならびに接地線６ｂａおよび６ｂｂを流れる、すなわち消費される電流量が予め決定されているとき、それらの電源線および接地線上の電圧を動作電源電圧として動作する入出力バッファ３ａａおよび３ｂａにおいて十分な電流が供給され、そのパッド３ａｂおよび３ｂｂをデータ読出時に安定かつ高速に充放電することができる。

また、電源パッド６の電流供給能力が、２つの入出力バッファ３ａａおよび３ｂａであれば十分な電流を供給することができる程度の場合でも、入出力バッファの数が増加すると、これらの入出力バッファの動作に従って多くの電流が消費され、電源線６ａａ、６ａｂおよび接地線６ｂａおよび６ｂｂ上の電圧が変動し、入出力バッファの出力するデータ信号の電圧レベルが変動し、安定に動作することができなくなる。しかしながら、このように１つの電源パッドに接続される入出力バッファの数を低減することにより、動作時においても安定に一定の電圧レベルの電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓを伝達することができる。さらに、電源パッドをそれぞれ図１に示すようにメモリブロックのグループに対応して配置することにより、電源パッドと入出力パッド部の間の電源線および接地線の長さを短くすることができ、電源線および接地線における配線抵抗による電圧の変化を防止することができ、安定に一定の電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓを供給することができる。

またチップ中央部において周辺回路のみに利用される電源パッド７を配置することにより、周辺回路へ同様の理由により安定に電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓ（電圧Ｖ３として示す）を供給することができ、周辺回路４は安定かつ高速に動作することができる。

またデータ入出力パッド部ＤＱ１〜ＤＱ３をそれぞれ対応のメモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４の中央部近傍に配置することにより以下の利点が得られる。

図３に１つのメモリブロックの構成を概略的に示す。図３において、メモリブロックＭＢはｎ個（たとえば３２個）のメモリアレイブロックＭＡ１〜ＭＡｎに分割される。これらのメモリアレイＭＡ１〜ＭＡｎに対してロウデコーダＲＤが設けられ、またメモリアレイＭＡ１〜ＭＡｎに近接して、内部データバス２の延在方向と平行にコラムデコーダＣＤが設けられる。コラムデコーダＣＤに隣接してローカルコラム系回路ＬＣＣが設けられ、ロウデコーダＲＤに隣接してローカルロウ系回路ＬＲＣが設けられる。これらのローカルコラム系回路ＬＣＣおよびローカルロウ系回路ＬＲＣへはマスタ制御回路４ａから制御信号およびアドレス信号が与えられる。ロウデコーダＲＤはメモリセルアレイＭＡ１−ＭＡｎ各々に対応して配置されてもよい。

動作時においては、ロウデコーダＲＤは、メモリアレイＭＡ１〜ＭＡｎのうち所定数（たとえば１つ）のメモリアレイにおいてのみ１本のワード線を選択する。選択ワード線を含むメモリアレイを除くメモリアレイはすべてスタンバイ状態を維持する（この動作はローカルロウ系回路ＬＲＣにより実現される）。コラムデコーダＣＤからの列選択信号はメモリアレイＭＡ１〜ＭＡｎのうちの選択されたものに与えられる。したがって、選択されたメモリアレイのみが内部データバス２に接続される。

この内部データバス２はメモリアレイＭＡ１〜ＭＡｎにわたって延在している。したがって、たとえばメモリアレイＭＡ１が選択された場合、この選択メモリアレイＭＡ１からの読出データはローカルコラム系回路ＬＣＣを介して内部データバス２の一方端に伝達される。一方、メモリアレイＭＡｎが選択された場合には、このメモリアレイＭＡｎのデータがローカルコラム系回路ＬＣＣを介して内部データバス２の他方端に伝達される。データ入出力パッド部３をこの内部データバス２の中央部付近に配置することにより、メモリアレイＭＡ１選択時において読出データがパッド部３へ伝達されるのに要する時間とメモリアレイＭＡｎが選択されたときにメモリセルデータがパッド部３へ伝達されたときの時間を等しくすることができ、選択されたメモリアレイの位置により生じる、メモリセルデータがパッド部３へ伝達される時間差を小さくすることができる。たとえばパッド部３がマスタ制御回路４ａに近いデータバス２の他方端に設けられている場合にはメモリアレイＭＡ１からの読出されたデータがパッド部３へ伝達される時間が最も長くなり、アクセス時間はこの最悪ケースにより決定されるため、高速読出を行なうことができなくなる。

したがって図３に示すようにデータバス２の中央部（メモリブロックＭＢの中央部）近傍にデータ入出力パッド部３を配置することにより選択メモリアレイの位置によるデータ読出時間差を小さくすることができ、高速読出を実現することができる。これはまたデータ書込動作においても同様である。１つのメモリブロックから読出されるデータのビット数が２ビット、４ビットと増加する場合においてもできるだけメモリブロックＭＢの中央部にデータ入出力パッド部が配置される。これにより選択メモリアレイの位置によるデータ読出時間差のばらつきをできるだけ小さくする。

以上のように、データ入出力用パッド部をメモリブロック各々に対応して分散して配置することにより、電源パッドを各分散配置されたデータ入出力パッド部のグループに対応して配置することができ、１つの電源パッドに接続されるデータ入出力用バッファの数を低減することができ、各データ入出力バッファの電源電圧および接地電圧を安定化することができ、安定かつ高速に動作する半導体記憶装置を実現することができる。

またデータ入出力用パッド部を対応のメモリブロックの中央部付近に配置することにより、アレイ分割構造を備えるメモリブロックであり、選択されたメモリセルデータが伝達される内部データ線上の位置が異なる場合においても、選択アレイ位置によるメモリセルデータ伝搬時間のずれを小さくすることができ、高速でデータの入出力を行なうことができる。また、メモリブロックそれぞれに対応して入出力パッド部を対応のメモリブロック近傍に配置することにより、内部データ線は対応のメモリブロックにわたってのみ配置するだけでよく、チップ一方端からチップ他方端まで内部データバスを延在させる必要がなく、内部データ線の長さを低減することができ、この内部データ線上のデータ信号の伝搬遅延を低減することができ、高速でデータの入出力を行なうことができる。

またチップ中央部に周辺回路専用の電源パッドを配置することにより、周辺回路に安定に電源電圧および接地電圧を供給することができ、周辺回路を高速かつ安定に動作させることができる。この周辺回路４が外部電源電圧Ｖｃｃを降圧して内部動作電源電圧を生成する降圧回路、基板バイアス電圧としての負電圧Ｖｂｂを生成する基板バイアス発生回路、およびビット線プリチャージまたはメモリセルキャパシタのセルプレートへ印加する中間電位を発生する回路を含む場合、これらの電圧はメモリセルブロックＭＢ１−ＭＢ４各々へ短い配線長で伝達することができる。また配線レイアウトも対称的にすることで簡略化される。これにより、安定に各回路へ必要な電圧を確実に伝達することができる。

［外部信号用パッドのレイアウト］
図４はこの発明に従う半導体記憶装置の外部信号用パッドのレイアウトを概略的に示す図である。図４に示す構成において、図１に示す構成と対応する部分には同一の参照符号を付し、その詳細説明は省略する。

図４において、一方のデータ入出力パッド部３ａおよび３ｂと他方のデータ入出力パッド部３ｃおよび３ｄの間の中央部に周辺回路が配置される。この周辺回路はメモリブロックＭＢ１〜ＭＢ４へのアクセス動作を制御するためのマスタ制御回路４ａと、アドレス信号およびクロック信号（ロウアドレスストローブ信号およびライトイネーブル信号などのアクセス制御信号）を受ける周辺パッド部２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、および２１ｄを含む。マスタ制御回路４ａ近傍にこれらの周辺回路のための電源パッド７が配置される。周辺パッド部２１ａ〜２１ｄの各々は信号線２２ａ〜２２ｄを介して入力信号をマスタ制御回路４ａへ伝達する。マスタ制御回路４ａを中心として対称的にこの中央領域の中央部に周辺パッド２１ａ〜２１ｄを配置することにより信号線２２ａ〜２２ｄの長さを短くすることができ、アドレス信号およびクロック信号の伝搬遅延を小さくすることができる（信号線を短くすることにより各信号線の抵抗および寄生容量を小さくすることができ、ＲＣ遅延を小さくすることができるためである）。

この信号線の伝搬遅延を小さくすることができることにより、外部信号（アドレス信号およびクロック信号）のセットアップ時間およびホールド時間を短くすることができ、高速アクセスが実現される（内部動作開始タイミングを早くすることができるためである）。このセットアップ時間およびホールド時間の短縮について以下に図５を参照して説明する。

図５はアドレス信号のセットアップ時間およびホールド時間を例示的に示す図である。図５（Ａ）にデータ読出動作時における外部制御信号に要求されるセットアップ時間およびホールド時間を示す。ＤＲＡＭにおいては、行アドレス信号と列アドレス信号とは時分割的に与えられる。アドレス信号に対しては、ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳの立下がり前に行アドレス信号を確定状態とするためのＲＡＳ前行アドレス・セットアップ時間ｔｓｕ（ＲＡ−ＲＡＳ）が規定され、外部ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳの立下がり後その行アドレス信号を維持するＲＡＳ後行アドレス・ホールド時間ｔｈ（ＲＡＳ−ＲＡ）が規定される。このＲＡＳ後行アドレス・ホールド時間ｔｈ（ＲＡＳ−ＲＡ）完了後ＤＲＡＭにおいては内部で行選択動作が開始される。

同様に、列アドレス信号に対しても、コラムアドレスストローブ信号／ＣＡＳに対してＣＡＳ前列アドレス・セットアップ時間ｔｓｕ（ＣＡ−ＣＡＳ）およびＣＡＳ後列アドレス・ホールド時間ｔｈ（ＣＡＳ−ＣＡ）が規定される。ロウアドレスストローブ信号／ＲＡＳが立下がってからＲＡＳアクセス時間ｔａ（ＲＡＳ）が経過した後に有効出力データＱが出力される。この時間はまたコラムアドレスストローブ信号／ＣＡＳが立下がり活性状態となってからの時間ＣＡＳアクセス時間ｔａ（ＣＡＳ）により規定される。ＤＲＡＭにおいては、内部信号線および内部ノードを初期状態にプリチャージするためにＲＡＳ“Ｈ”パルス幅ｔｗ（ＲＡＳＨ）が規定される。信号／ＲＡＳを一旦ハイレベルに立上げると、このＲＡＳ“Ｈ”パルス幅ｔｗ（ＲＡＳＨ）が経過した後でなければ信号／ＲＡＳを立下げることはできない。

これらのセットアップ時間およびホールド時間ならびにアクセス時間はすべて外部仕様で決定される。したがって、図５（Ｂ）に示すように外部信号に対し内部信号が遅延時間Ｔｄを有している場合、セットアップ時間およびホールド時間はそれぞれこの遅延時間Ｔｄだけ長くなる。したがって図５（Ａ）に見られるように、内部行選択開始動作タイミングがこの遅延時間Ｔｄだけ遅れることになり、ＲＡＳアクセス時間およびＣＡＳアクセス時間が長くなり、高速でデータの読出を行なうことができなくなる。したがってこの遅延時間Ｔｄはできるだけ短くし、セットアップ時間およびホールド時間をできるだけ短くするのが高速アクセスの観点からは好ましい。

図４に示すようにマスタ制御回路４ａを中心としてその両側に外部信号入力パッド部２１ａ〜２１ｄを配置することにより、信号線２２ａ〜２２ｄの長さを短くすることができ、内部信号伝搬遅延時間を短くすることができ、応じて遅延時間Ｔｄを短くすることができる。これにより、セットアップ時間およびホールド時間を短くすることができ、高速アクセスが実現される。

［電源の分配方式］
図６は、この発明による電源パッドレイアウトにおける電源電圧の分配の構成の一例を示す図である。図６においては、図４に示す半導体記憶装置の電源パッド６とメモリブロックＭＢ１およびＭＢ２の間の領域の構成を示す。図６において、データ入出力パッド部３ａおよび３ｂと、外部信号（アドレス信号およびクロック信号）を受ける周辺パッド部ＰＡ１〜ＰＡ３と、周辺回路用の電源パッド７と、この電源パッド７からの電源電圧を受けて動作するマスタ制御回路４ａを示す。

図６において、データ入出力パッド部３ａおよび３ｂは電源パッド６から電源線（接地線を含む）３０を介して電源電圧（ＶｃｃおよびＶｓｓを含む）を受けて動作する。周辺パッド部ＰＡ１〜ＰＡ３は電源パッド７から電源線３１を介して電源電圧（ＶｃｃおよびＶｓｓを含む）を共通に受ける。マスタ制御回路４ａは、電源パッド７から電源線３２を介して電源電圧（ＶｃｃおよびＶｓｓを含む）を受けて動作する。この電源パッド７にはまた電源線３３ａおよび３３ｂが配設され、メモリブロックＭＢ１およびＭＢ２のローカル回路へそれぞれ電源電圧（ＶｃｃおよびＶｓｓを含む）を伝達する。電源線３１、３２および３３ａならびに３３ｂはそれぞれ異なる配線（同一レベルの配線層）である。電源線３１、３２、３３ａおよび３３ｂをそれぞれ別々の配線で形成することにより、これらの配線上の電圧変動が相互に影響を及ぼすことを防止することができ、安定に周辺回路（周辺パッド部ＰＡ１〜ＰＡ３およびマスタ制御回路４ａを含む）を動作させることができる。またこのとき、データ入出力パッド部３ａおよび３ｂは近傍に設けられた電源パッド６から電源線３０を介して電源電圧を供給されているため、その電源電圧が安定しており、高速で動作することができる。

この図６に示すように、電源パッド６に接続される電源線３０（電源電圧Ｖｃｃを供給する電源線と接地電圧Ｖｓｓを供給する接地線両者を含む）と周辺回路用のパッド７に接続される電源線３１とを互いに分離して配置し、電源パッド６にはパッド部ＤＱ１およびＤＱ２に含まれるデータ入出力バッファに対してのみ電源電圧を供給する電源線のみを接続し、また、周辺回路用パッド７には、周辺パッド部ＰＡ１〜ＰＡ３に含まれる制御信号またはアドレス信号のためのバッファ回路に対する電源電圧を供給する電源線のみを接続することにより、以下の利点が得られる。パッド部３ａおよび３ｂに含まれるデータ入出力バッファの動作時において、仮に電源線３０上の電圧Ｖｃｃおよび／またはＶｓｓが変動しても、この影響はパッド３ａおよび３ｂに含まれるデータ入出力バッファにだけ及ぼされ、周辺パッド部ＰＡ１〜ＰＡ３に含まれる制御信号およびアドレス信号入力のためのバッファにはこの電源線３０上の電圧変動は何ら影響を及ぼさない。したがって、周辺パッド部ＰＡ１〜ＰＡ３およびマスタ制御回路４ａに含まれる周辺回路は周辺回路用電源パッド７から安定な電源電圧を受けて動作する。すなわち、データ信号入出力時においても周辺回路は安定に動作を行なうことができる。

また、データ入出力バッファと周辺回路とに対し別々に電源電圧を印加することができ、ＨＳＴＬ（ハイ・スピード・トランジスタ・ロジック；ハイレベルが１．２Ｖ、ローレベルが０．８Ｖ）などの信号入出力のための電源電圧レベルと内部動作電源電圧レベルとが異なる高速のインタフェースに対しても容易に対処することができる。すなわち、たとえば、データ入出力用の電源パッド６に対し外部インタフェースレベルの電源電圧を印加してデータ入出力バッファをこの高速インタフェースの電圧レベルで動作させ、周辺回路用パッド７に対しこの高速インタフェースよりも高い電圧レベルの電圧を印加し、周辺回路部において降圧回路を設け、この内部降圧回路を周辺回路用パッド部に含まれる周辺回路へ印加する。これにより、制御信号およびアドレス信号入力のためのバッファは外部インタフェースに対応する電源電圧で動作し、内部回路はそれよりも高い電圧レベルで動作することができる。この場合、逆に、周辺回路用パッド７に対し高速インタフェースレベルの電源電圧を印加し、周辺回路に昇圧回路を設け、この昇圧回路から内部回路の動作のための電源電圧を生成する構成が利用されてもよい。いずれの構成においても、内部動作電源電圧レベルと信号入出力のための電源電圧レベルが異なるインタフェースに対しても容易に対処することができる。

図７は、電源分配の他の構成例を示す図である。図７に示す構成においては、図６に示す構成と異なり、周辺パッド部ＰＡ１へは電源線４０を介して電源パッド６から電源電圧（ＶｓｓおよびＶｃｃ）が与えられる。周辺パッド部ＰＡ２およびＰＡ３へは電源パッド７から電源線４１を介して電源電圧（ＶｃｃおよびＶｓｓ）が伝達される。電源パッド７からは電源線４２ａおよび４２ｂを介してメモリブロックＭＢ１およびＭＢ２にそれぞれ電源電圧が伝達される。この場合においても、データ入出力パッド部３ａおよび３ｂと周辺パッド部ＰＡとは互いに異なる電源線を介して電源電圧を受けており、データ入出力パッド部３ａおよび３ｂは電源線３０を介して安定に電源電圧の供給を受けて安定かつ高速に動作する。

図６および図７に示す構成において、周辺パッド部ＰＡ１、データ入出力パッド部３ｂの間にさらに電源パッドが設けられ、周辺パッド部に対しこの追加の電源パッドから電源電圧が供給される構成が利用されてもよい。この場合、たとえばアドレス信号入力パッド部とクロック信号入力パッド部とに対しそれぞれ別々に電源電圧を印加する構成が用いられてもよい。

いずれの場合においても、周辺回路（周辺パッド部およびマスタ制御回路部）に近接して電源パッドを設け、これらの周辺回路へ電源パッド７から電源電圧を伝達することにより電源線の長さを短くすることができ、安定に周辺回路を動作させることができる。

［ピン配置１］
図８は、この発明の半導体記憶装置を収納するパッケージおよびピン配置を示す図である。図８において、この半導体集積回路装置（半導体記憶装置）５０は一例として４０個の外部ピン端子を備える。ピン番号１および４０の端子に電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓがそれぞれ与えられる。このピン番号１および４０のピン端子に隣接するピン番号２、３、３８、および３９がデータ入出力ピン端子として利用される。また他方側においてピン端子２０および２１に電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓが与えられる。これらのピン番号２０および２１のピン端子に隣接してデータ入出力用のピン番号１８、１９、２２および２３のピン端子が配置される。ピン番号２０および２１のピン端子に与えられた電圧ＶｃｃおよびＶｓｓはこのピン番号１８、１９、２２および２３のピン端子に対しデータ入出力を行なうデータ入出力バッファにおいて利用される。

チップ中央部のピン番号９および３２のピン端子には電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓが与えられる。これらのピン番号９および３２のピン端子へ与えられた電圧ＶｃｃおよびＶｓｓは周辺回路（外部アドレス信号および外部クロック信号入力バッファ）で利用される。ピン番号４ないし８のピン端子、ピン番号１０ないし１７、ピン番号２４ないし３１およびピン番号３３ないし３７のピン端子はそれぞれアドレス信号またはクロック信号入力ピン端子として利用される。半導体記憶装置は、リード・オン・チップ構造を有しており、各ピン端子からリードフレームが図８等において示したパッド近傍にまで延びており、その部分においてリードフレームとパッドとがボンディングワイヤで接続される。したがって、ピン端子の配置位置とこれまで説明してきたパッド部の配置位置はほぼ対応関係を備えている（ただしパッド部は一列に配置され、ピン端子は二列に配置されるため、完全な１対１の関係ではない）。

両端の電圧ＶｃｃおよびＶｓｓ入力ピン端子（パッド）をデータ入出力パッド部に電源電圧および接地電圧を与えるためのピン端子として利用し、データ入出力ピン端子を図８の半導体記憶装置５０の上下両側に分散配置させるとともに、データ入出力ピン端子の間の中央領域にアドレス信号およびクロック信号入力ピン端子を配置し、中央部に周辺回路用の電源ピン端子を配設することにより、これまで説明してきたチップのパッドレイアウトを実現することができる。

［ピン配置２］
図９は、この発明に従う半導体記憶装置の外部ピン端子の他の配置を示す図である。図９においては、パッケージ外部に設けられた外部ピン端子を一般的に示す。図９において、パッケージ５５の長辺方向一方側両端部に電源電圧Ｖｃｃを印加するための電源ピン端子ＰＴ１およびＰＴ１３が配置され、パッケージ５５の他方側両端部において接地電圧Ｖｓｓを印加するためのピン端子ＰＴ１４およびＰＴ２６が配置される。電源ピン端子ＰＴ１に隣接してデータ信号を入出力するためのデータピン端子ＰＴ２およびＰＴ３が配置され、また他方の電源ピン端子ＰＴ１３に隣接して、データ信号を入出力するための外部データピン端子ＰＴ１１およびＰＴ１２が配置される。同様に、接地ピン端子ＰＴ１４に隣接してデータ信号を入出力するためのピン端子ＰＴ１５およびＰＴ１６が配置され、また接地用ピン端子ＰＴ２６に隣接してデータ信号入出力のためのピン端子ＰＴ２４およびＰＴ２５が配置される。

図９に示す構成においては、さらに、データピン端子ＰＴ３に隣接して電源電圧Ｖｃｃを供給するためのピン端子ＰＴ４が配置され、またデータ入出力ピン端子ＰＴ１６に隣接して、接地電圧Ｖｓｓを印加するためのピン端子ＰＴ１７が配置される。同様、ピン端子ＰＴ１１に隣接して、電源電圧Ｖｃｃを供給するための電源ピン端子ＰＴ１０が配置され、データ入出力用ピン端子ＰＴ２４に隣接して接地電圧Ｖｓｓ供給のための接地用ピン端子ＰＴ２３が配置される。ピン端子ＰＴ１およびＰＴ４へ与えられる電源電圧Ｖｃｃおよびピン端子ＰＴ１４およびＰＴ１７へ与えられる接地電圧Ｖｓｓは、データ入出力用ピン端子ＰＴ２、ＰＴ３、ＰＴ１５およびＰＴ１６とデータの入出力を行なうデータ入出力バッファに対する電源電圧となる。同様、ピン端子ＰＴ１０およびＰＴ１３へ与えられる電源電圧Ｖｃｃおよびピン端子ＰＴ２３およびＰＴ２６へ与えられる接地電圧Ｖｓｓは、ピン端子ＰＴ１１、ＰＴ１２、ＰＴ２４、およびＰＴ２５とデータの入出力を行なうためのデータ入出力バッファにのみ利用される。

パッケージ５５の中央部に電源電圧Ｖｃｃを供給するためのピン端子ＰＴ７が配置され、同様に、このピン端子ＰＴ７に対応して接地電圧Ｖｓｓを供給するための接地用ピン端子ＰＴ２０が配置される。このピン端子ＰＴ４およびＰＴ７の間にアドレス信号およびクロック信号（外部制御信号）を入力するためのピン端子ＰＴ５〜ＰＴ６が配置され、同様、ピン端子ＰＴ７およびＰＴ１０の間に、アドレス信号およびクロック信号を入力するためのピン端子ＰＴ８〜ＰＴ９が配置される。また、ピン端子ＰＴ２０とピン端子１７の間にアドレス信号およびクロック信号を入力するためのピン端子ＰＴ１８〜ＰＴ１９が配置され、ピン端子ＰＴ２０とピン端子ＰＴ２３の間にアドレス信号およびクロック信号を入力するためのピン端子ＰＴ２１〜ＰＴ２２が配置される。このパッケージ５５の中央部に配置されたピン端子ＰＴ７およびＰＴ２０へ与えられる電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓは、このアドレス信号およびクロック信号を入力し、内部制御信号を発生する周辺回路においてのみ利用される。

この図９に示すように、データ入出力ピンを間に挟むように電源ピンを配置することにより、データ入出力バッファに対し両側のピン端子から電源電圧（ＶｃｃおよびＶｓｓ）を供給することができ、データ入出力バッファに対するパッドからの距離に依存する電源電圧の変化（配線抵抗に起因する電圧の変動）を防止することができるとともに、２つのピン端子から電源電圧（ＶｃｃおよびＶｓｓ）を供給することにより、データ入出力バッファに対する電流供給力が大きくなり、安定に電源電圧をデータ入出力バッファへ供給することができる。

図１０は、図９に示すピン端子配置を有する半導体記憶装置のパッドおよび回路のレイアウトを示す図である。図１０においては、図９に示すパッケージの半分のみを示す。この図１０に示す構成と対称的なレイアウトがパッケージ内部に収納されたチップ上に配置される。また、図１０においては、データ入出力バッファおよび周辺回路を強調して示し、メモリブロックは示していない。

図１０において、半導体チップ１の外部に配置されたピン端子を例示的に示す。このピン端子は、半導体チップ１の一方側の一方端に配置される電源電圧Ｖｃｃを供給するための電源ピン端子ＰＴＡＡと、ピン端子ＰＴＡＡに隣接して配置されるデータ入出力ピン端子ＰＴＤＡおよびＰＴＤＢと、データ入出力ピン端子ＰＴＤＢに隣接して配置される電源電圧Ｖｃｃを供給するためのピン端子ＰＴＡＢを含む。チップ１の中央部に対応して周辺回路のための電源電圧Ｖｃｃを供給するための電源ピン端子ＰＴＡＥが配置される。

半導体チップ１の他方側においても同様に、電源ピン端子ＰＴＡＡおよびＰＴＡＢに対向して接地電圧Ｖｓｓを供給するための接地ピン端子ＰＴＡＣおよびＰＴＡＤが配置され、これらのピン端子ＰＴＡＣおよびＰＴＡＤの間に、データ入出力用ピン端子ＰＴＤＣおよびＰＴＤＤが配置される。また、チップ１の中央部において、電源ピン端子ＰＴＡＥに対向して接地電圧Ｖｓｓを供給するためのピン端子ＰＴＡＦが配置される。

電源ピン端子ＰＴＡＡおよびＰＴＡＣは、電源パッド６０ａに接続され、ピン端子ＰＴＡＢおよびＰＴＡＤは、電源パッド６０ｂに接続される。電源パッド６０ａは、ピン端子ＰＴＡＡから電源電圧Ｖｃｃを受けるパッド６０ａａと、接地用ピン端子ＰＴＡＣから接地電圧Ｖｓｓを受けるパッド６０ａｂを含む。電源パッド６０ｂは、ピン端子ＰＴＡＢから電源電圧Ｖｃｃを受けるパッド６０ｂａと、ピン端子ＰＴＡＤから接地電圧Ｖｓｓを受けるパッド６０ｂｂを含む。電源パッド６０ａおよび６０ｂの間に、ピン端子ＰＴＤＡ〜ＰＴＤＤとデータ信号の授受を行なうためのデータ入出力用パッド部が配置される。図１０においては、入出力バッファ８０ａｂとデータ信号の授受を行なうパッド８０ａａと、入出力バッファ８０ｂｂとデータ信号の授受を行なうパッド８０ｂａと、入出力バッファ８０ｃｂとデータ信号の授受を行なうパッド８０ｃａと、入出力バッファ８０ｄｂとデータ信号の授受を行なうパッド８０ｄａが示される。これらのパッド８０ａａ〜８０ｄａは、１列に整列して配置されるように示される。データ入出力用パッド８０ａａ、８０ｂａ、８０ｃａ、および８０ｄａは、それぞれ図１０において破線で示すように、ピン端子ＰＴＤＡ、ＰＴＤＣ、ＰＴＤＢ、およびＰＴＤＤに接続される。

電源用のパッド６０ａａおよび６０ｂａから入出力バッファ８０ａｂ，８０ｂｂ，８０ｃｂおよび８０ｄｂを囲むように電源電圧供給線６１ａおよび６１ｂが配設され、接地用のパッド６０ａｂおよび６０ｂｂから入出力バッファ８０ａｂ、８０ｂｂ、８０ｃｂおよび８０ｄｂを囲むように接地電圧供給線６２ａおよび６２ｂが配置される。電源電圧供給線６１ａおよび接地電圧供給線６２ａ（これらをまとめて電源配線と称す）は入出力バッファ８０ａｂおよび８０ｃｂに電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給し、電源配線６１ｂおよび６２ｂは、入出力バッファ８０ｂｂおよび８０ｄｂに電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給する。入出力バッファ８０ａｂ〜８０ｄｂは、それぞれ２つの電源パッド６０ａおよび６０ｂから電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓが供給されるため、これらの入出力バッファ８０ａｂ〜８０ｄｂの動作時における電源配線６１ａ，６１ｂ，６２ａおよび６２ｂの電源変動を十分に抑制することができ、入出力バッファ８０ａｂ〜８０ｄｂは安定な電源電圧が供給されて安定に動作することができる。

また、一方、周辺回路用ピン端子ＰＴＡＥおよびＰＴＡＦに対しては、それぞれに対向してパッド６３および６４が配置される。パッド６３および６４は、図において破線で示すボンディングワイヤより対応のリード端子ＰＴＡＥおよびＰＴＡＦに接続され、電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓが供給される。パッド６３は、電源電圧供給線６５上に電源電圧Ｖｃｃを供給し、パッド６４は、接地電圧供給線６６に接地電圧Ｖｓｓを供給する。パッド６３および６４に隣接して配置される周辺回路６７は、この電源配線６５および６６上の電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを動作電源電圧として動作する。このパッド６３および６４に接続される電源配線６５および６６は周辺回路６７に対してのみ電源電圧を供給している。電源パッド６０ａおよび６０ｂは、データ信号を授受するための入出力バッファに対し電源電圧を供給する電源配線のみが接続される。電源パッド６０ａおよび６０ｂから、他の周辺回路へ電源電圧を供給するための電源配線は接続されていない。したがって、仮にデータ信号入出力時において、この電源配線６１ａ、６１ｂ、６２ａおよび６２ｂ上の電源電圧が変動しても、周辺回路６７に対する電源配線６５および６６はその電源電圧変動の影響を受けることなく、安定な電源レベルを維持することができる。これにより、周辺回路６７はデータ信号入出力時における電源電圧の変動を受けることなく安定に動作することができる。

［ピン配置３］
図１１は、この発明に従う半導体記憶装置を収納するパッケージの第３のピン配置を示す図である。この図１１に示すピン配置においては、電源ピンがデータ入出力ピン端子の間に配置される。すなわち、パッケージ５５ａの一方側の一方端においては、一方電源電圧Ｖｃｃを受ける電源ピン端子ＰＴ２ａがデータ入出力ピン端子ＰＴ１ａおよびＰＴ３ａの間に配置され、このパッケージ５５ａの一方側の他方端において、一方電源電圧Ｖｃｃを受ける電源ピン端子ＰＴ１２ａがデータ入出力ピン端子ＰＴ１１ａおよびＰＴ１３ａの間に配置される。

パッケージ５５ａの他方側において、他方電源電圧（接地電位）Ｖｓｓを受ける接地ピン端子ＰＴ１５ａがそのパッケージ５５ａの一方端においてデータ入出力ピン端子ＰＴ１４ａおよびＰＴ１６ａの間に配置され、また他方端において接地ピン端子ＰＴ２５ａがデータ入出力ピン端子ＰＴ２４ａおよびＰＴ２６ａの間に配置される。電源ピン端子ＰＴ２ａが接地ピン端子ＰＴ１５ａと対向するように配置され、電源ピン端子ＰＴ１２ａおよび接地ピン端子ＰＴ２５ａが互いに対向するように配置される。

一方電源電圧Ｖｃｃを受ける電源ピン端子ＰＴ７ａは、周辺回路に対し電源電圧を供給するためにパッケージ５５ａの一方側の中央部に配置され、このパッケージ５５ａの他方側の中央部にこの周辺回路用電源ピン端子ＰＴ７ａと対向して接地ピン端子ＰＴ２０ａが配置される。

ピン端子ＰＴ４ａ−ＰＴ６ａ、ＰＴ８ａ−ＰＴ１０ａ、ＰＴ１７ａ−ＰＴ１９ａおよびＰＴ２１ａ−ＰＴ２３ａは、アドレス信号またはクロック（制御）信号を受ける周辺回路用のピン端子である。

図１２は、この図１１に示すパッケージ５５ａに収納される半導体記憶装置の内部配置を示す図である。図１２においては、図面を簡略化するためにメモリブロックは示してはいない。また加えて、半導体記憶装置の一方側の構成のみが示される。この図１２に示す構成と同様の構成が図示しない他方側メモリブロック部分に対しても配置される。

図１２において、電源パッド（電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給するパッド）７０がデータ入出力パッド７４ａおよび７５ａの間に配置される。電源パッド７０は、リードフレームを介してピン端子ＰＴ１２ａに接続される電源供給パッド７０ａと、接地ピン端子ＰＴ２５ａに接続される接地パッド７０ｂを含む。

パッド７４ａはピン端子ＰＴ２６ａに接続され、かつそれに隣接して配置されるデータ入出力バッファ（Ｉ／Ｏバッファ）７４ｂに接続される。このＩ／Ｏバッファ７４ｂに隣接して、Ｉ／Ｏバッファ７３ｂが配置される。このＩ／Ｏバッファ７３ｂはそれに隣接して配置されるデータ入出力パッド７３ａに接続される。このデータ入出力パッド７３ａは、ピン端子ＰＴ１３ａに接続される。

一方、接地パッド７０ｂに隣接して、データ入出力パッド（ＤＱパッド）７５ａが配置される。ＤＱパッド７５ａは、それに隣接して配置されるＩ／Ｏバッファ７５ｂに接続され、かつピン端子ＰＴ１１ａに接続される。Ｉ／Ｏバッファ７５ｂに隣接してＩ／Ｏバッファ７６ｂが配置される。このＩ／Ｏバッファ７６ｂは、ＤＱパッド７６ａを介してフレームリード（すなわちピン端子）ＰＴ２４ａに接続される。

ＤＱパッドとＩ／Ｏバッファの組がＤＱパッド部分を構成する。ＤＱパッド部分７３（７３ａ，７３ｂ）、７４（７４ａ，７４ｂ）、７５（７５ａ，７５ｂ）、および７６（７６ａ，７６ｂ）および電源パッド７０は、第１の方向に沿って整列して配置される。

Ｉ／Ｏバッファ７３ｂ、７４ｂ、７５ｂ、および７６ｂはパッド７０ａから電源線７１を介して電源電圧Ｖｃｃを受け、また接地線７２を介してパッド７０ｂから接地電位Ｖｓｓを受ける。

加えて、Ｉ／Ｏバッファ７３ｂおよび７４ｂに対する電源線７１（接地線７２）の配線抵抗をＩ／Ｏバッファ７６および７５ｂに対してのそれと等しくすることができ（配線長はほぼ同じであるため）、これらのＩ／Ｏバッファ７３ｂ〜７６ｂに対しほぼ同じ電圧レベルの電源電圧Ｖｃｃ（または接地電圧Ｖｓｓ）を供給することができ、Ｉ／Ｏバッファ７３ｂ〜７６ｂが出力する信号電圧レベルをほぼ互いに等しくすることができ、信号電圧レベルが互いに異なることによる誤動作を防止することができ正確な動作を保証することができる。

周辺回路に関しては、周辺パッド部分７７ｃを代表的に示す。この周辺パッド部分７７ｃは、チップ中央部に配置された電源供給パッド７７ａから電源線７８を介して電源電圧Ｖｃｃを受け、かつ接地パッド７７ｂから接地線７９を介して接地電位Ｖｓｓを受ける。電源パッド７７ａおよび接地パッド７７ｂはそれぞれ対向して配置される電源ピン端子ＰＴ７ａおよび接地ピン端子ＰＴ２０ａに接続される。

周辺パッド部分７７ｃは、図示しないピン端子からのアドレス信号またはクロック信号を受けるパッドと、この図示しないパッドから与えらた信号をバッファ処理して出力するバッファとを含む。この周辺パッド部分の構成は先に説明した実施例におけるものと同様である。なお、図１２において破線でパッドとピン端子とを接続するボンディングワイヤを示す。

［他の内部配置］
図１３は図１１に示すパッケージ５５ａに収納される半導体記憶装置の別の内部配置を示す図である。図１３においては、データ入出力に関連する部分のみが示される。

図１３において、電源パッド９０ａが破線で示すボンディングワイヤを介してフレームリードＰＴ１２ａに接続されて電源電圧Ｖｃｃを受ける。接地パッド９０ｂは電源パッド９０ａに隣接して配置され、フレームリードＰＴ２５ａに破線で示すボンディングワイヤを介して接続されてそこから接地電位Ｖｓｓを受ける。Ｉ／Ｏバッファ９１ｂおよび９２ｂならびにＩ／Ｏバッファ９３ｂおよび９４ｂはパッド９０ａおよび９０ｂに関して対称的に配置される。ＤＱパッド９１ａおよび９２ａは、それぞれＩ／Ｏバッファ９１ｂおよび９２ｂに隣接して配置される。パッド９１ａがＩ／Ｏバッファ９１ｂに接続されかつ破線で示すボンディングワイヤを介してフレームリード（ピン端子）ＰＴ１３ａに接続される。パッド９２ａは、Ｉ／Ｏバッファ９２ｂに接続され、かつ破線で示すボンディングワイヤを介してフレームリード（ピン端子）ＰＴ２６ａに接続される。

ＤＱパッド９３ａおよび９４ａがそれぞれＩ／Ｏバッファ９３ｂおよび９４ｂに隣接して配置される。このパッド９３ａが対向するフレームリードＰＴ１１ａに破線で示すボンディングワイヤを介して接続されかつ隣接するＩ／Ｏバッファ９３ｂに接続される。パッド９４ａは対向するフレームリードＰＴ２４ａにボンディングワイヤ（破線で示す）を介して接続され、かつ対応のＩ／Ｏバッファ９４ｂに接続される。

パッド９０ａ，９０ｂ、９１ａ、９２ａ、９３ａおよび９４ａはＩ／Ｏバッファ９１ｂおよび９３ｂならびにＩ／Ｏバッファ９２ｂおよび９４ｂの間の領域に第１の方向に沿って互いに整列して配置される。

電源線９５ａおよび接地線９６ａは、Ｉ／Ｏバッファ９１ｂおよび９３ｂの外側に配置される電源パッド９０ａおよび９０ｂにそれぞれ接続され、電源電圧Ｖｃｃおよび接地電位ＶｓｓをＩ／Ｏバッファ９１ｂおよび９３ｂへ供給する。

Ｉ／Ｏバッファ９２ｂおよび９４ｂの外側に沿って、電源パッド９０ａおよび９０ｂにそれぞれ接続される電源線９５ｂおよび接地線９６ｂが配置され、Ｉ／Ｏバッファ９２ｂおよび９４ｂが、電源電圧Ｖｃｃおよび接地電位Ｖｓｓをこれらの電源線９５ｂおよび接地線９６ｂから供給される。

なお、パッド９０ａから電源線９５ａおよび９５ｂへ延びる配線は接地線９６ａおよび９６ｂと交差するように示される。この交差部を有する構成を実現するためには、この交差領域において接地線を形成される配線層と異なる配線層に形成される配線を用いる。２層構造とすることにより、交差部を容易に実現することができる。

図１３に示す構成においては、１つの電源線９５（９５ａまたは９５ｂ）および１つの接地線９６（９６ａまたは９６ｂ）が単に２つのＩ／Ｏバッファを駆動しているだけであり、これらの電源線の負荷が軽減され、Ｉ／Ｏバッファはこれらの電源線および接地線から安定に電源電圧および接地電圧を供給されて安定に動作する。

［ピン配置４］
図１４は、この発明に従う半導体記憶装置を収納するためのパッケージの第４のピン配置を示す図である。

図１４において、このパッケージ５５ｂは、１６個のＤＱピン端子、すなわちパッケージ５５ｂの一方側におけるＤＱピン端子ＰＴ１ｂ、ＰＴ３ｂ、ＰＴ４ｂ、ＰＴ６ｂ、ＰＴ８ｂ、ＰＴ１０ｂ、ＰＴ１１ｂおよびＰＴ１３ｂと、パッケージ５５ｂの他方側のＤＱピン端子ＰＴ１４ｂ、ＰＴ１６ｂ、ＰＴ１７ｂ、ＰＴ１９ｂ、ＰＴ２１ｂ、ＰＴ２３ｂ、ＰＴ２４ｂおよびＰＴ２６ｂを含む。

図１４に示すピン配置においては、電源ピン端子および接地ピン端子がパッケージ５５ｂのそれぞれの側にともに配置される。すなわち、パッケージ５５ｂの一方側において、電源ピン端子ＰＴ２ｂがＤＱピン端子ＰＴ１ｂおよびＰＴ３ｂの間に配置され、かつ接地ピン端子ＰＴ５ｂがＤＱピン端子ＰＴ４ｂおよびＰＴ６ｂの間に配置される。また、パッケージ５５ｂの他方側において、接地ピン端子ＰＴ９ｂがＤＱピン端子ＰＴ８ｂおよびＰＴ１０ｂの間に配置され、かつ電源ピン端子ＰＴ１２ｂがＤＱピン端子ＰＴ１１ｂおよびＰＴ１３ｂの間に配置される。

ピン端子ＰＴ２ｂと対応して配置される接地ピン端子ＰＴ１５ｂがＤＱピン端子ＰＴ１４ｂおよびＰＴ１６ｂの間に配置され、接地ピン端子ＰＴ５ｂに対向して、電源ピン端子ＰＴ１８ｂがＤＱピン端子ＰＴ１７ｂおよびＰＴ１９ｂの間に配置される。接地ピン端子ＰＴ９ｂに対向して、電源ピン端子ＰＴ２２ｂがＤＱピン端子ＰＴ２１ｂおよびＰＴ２３ｂの間に配置され、この電源ピン端子ＰＴ１２ｂに対向して接地ピン端子ＰＴ２５ｂがＤＱピン端子ＰＴ２４ｂおよびＰＴ２６ｂの間に配置される。

電源ピン端子ＰＴ７ｂおよび接地ピン端子ＰＴ２０ｂがパッケージ５５ｂの中央部分に配置され、このパッケージ５５ｂに収納される半導体記憶装置の周辺回路に対し電源電圧Ｖｃｃおよび接地電位Ｖｓｓを供給するために利用される。

ＬＯＣ構造においては、電源パッドはメモリチップの中央領域に配置される。したがって内部配線レイアウトにおいては、電源ピン端子および接地ピン端子のいずれがこのパッケージ５５ｂのいずれの側に配置されるかについては何ら影響を受けることはない。加えて、この図１４に示すピン配置に従えば、以下に述べるような効果が得られる。

図１５は、図１４に示すものと同様のピン配置を有するパッケージに収納される半導体記憶装置の内部レイアウトを示す図である。図１５に示す半導体記憶装置は３２ビットデータを入出力する×３２ビット構成を備えるが、この図１５においては、代表的に１６ビットデータの入出力を行う部分に関連する部分のみを代表的に示す。

図１５において、この半導体記憶装置は、それぞれにおいて８ビットのメモリセルが同時に選択される２つのメモリブロックＭＢ♯１およびＭＢ♯２を含む。メモリブロックＭＢ♯１およびＭＢ♯２の間のメモリブロックＭＢ♯１とデータの入出力を行なうためのＩ／Ｏ（ＤＱ）パッド部分１００ａ−１００ｈは一列に整列して配置され、またメモリブロックＭＢ♯２とデータの入出力を行なうためのＩ／Ｏパッド部分１００ｉ−１００ｐが一列に整列して配置される。

電源パッド１０１は、パッド部分１００ａおよび１００ｂの間に配置され、対向する電源ピン端子ＰＰ１に接続される。接地パッド１０２がパッド部分１００ｃおよび１００ｄの間に配置され、対応の接地ピン端子ＧＰ１に接続される。電源パッド１０３がパッド部分１００ｅおよび１００ｆの間に配置され、かつ対向する電源供給用リード（ピン端子）ＰＰ２に接続される。接地パッド１０４がパッド部分１００ｇおよび１００ｈの間に配設され、かつ対応の接地用リード（ピン端子）ＧＰ２に接続される。電源パッド１０１および１０３がパッド部分１００ａ−１００ｈの一方側に沿って延びる電源線１０９ａ上に電源電圧Ｖｃｃを供給するように接続される。接地パッド１０２および１０４はこのパッド部分１００ａ−１００ｈの他方側に沿って延びる接地線１１０ａ上に接地電圧Ｖｓｓを供給するように接続される。ＤＱパッド部分１００ａ−１００ｈは配線１０９ａおよび１１０ａ上の電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを動作電源電圧として動作する。

ＤＱパッド部分１００ｉ−１００ｊに関して、接地パッド１０５がパッド部分１００ｉおよび１００ｊの間に配置され、かつ対向する接地用リード（ピン端子）ＧＰ３に接続される。電源パッド１０６がパッド部分１００ｋおよび１００ｌの間に配置され、かつ対向する電源供給用リード（ピン端子）ＰＰ３に接続される。接地パッド１０７がパッド部分１００ｍおよび１００ｎの間に配置され、かつ対向する接地用リード（ピン端子）ＧＰ４に接続され、かつ電源パッド１０８がパッド部分１００ｏおよび１００ｐの間に配置されかつ対向する電源供給用リード（ピン端子）ＰＰ４に接続される。

接地パッド１０５および１０７は、接地線１１０ａと平行にＤＱパッド部分１００ｉ−１００ｐの一方側に沿って延びる接地線１１０ｂ上に接地電圧Ｖｓｓを供給するように接続される。電源供給パッド１０６および１０８は、ＤＱパッド部分１００ｉ−１００ｐの他方側に沿って延びる電源線１０９ｂに電源電圧Ｖｃｃを供給するように接続される。

ＤＱパッド部分１００ｉ−１００ｐは、配線１０９ｂおよび１１０ｂ上の電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを動作電源電圧として動作する。ＤＱパッド部分１００ａ−１００ｈはそれぞれ対応して配置されたフレームリードＤＱＴ１−ＤＱＴ１６に接続される。

この図１５に示すように、ジグザク状に２列にＤＱパッド部分１００ａ−１００ｐを配置することにより、第１の方向に沿って十分な面積の余裕を持って限られた領域内に多数のＤＱパッド部分を配置することができ、ＤＱパッド部分に対す高集積化時のピッチ条件を緩和することができる。

パッケージのそれぞれの側に電源ピンおよび接地ピン両者を配置することにより、電源パッドおよび接地パッドをＤＱパッド部分と１列に整列して配置させることができる。電源線および接地線の組を、一方の列上に整列するＤＱパッド部分のグループに対してと他方の列に整列して配置されるＤＱパッド部分のグループとに対し別々に配置することができ、ジグザク状に配置されたＤＱパッド部分に対する電源線および接地線のレイアウトが容易となる。

１本の電源線は複数の電源パッドから電源電圧Ｖｃｃを受け、かつ１本の接地線が複数の接地パッドから接地電圧Ｖｓｓを受ける。したがってこれらの電源線および接地線上の電圧を安定化させることができ、内部回路（ＤＱパッド部分のＩ／Ｏバッファ）を安定に動作させることができる。これらの電源線および接地線は単に対応のＤＱパッド部分に対してのみ電源電圧および接地電圧を供給することが要求されるだけであり、これらの電源線および接地線に対する負荷を軽減することができ、ＤＱパッド部分を高速かつ安定に動作させることができる。

［変更例１］
図１６は図１５に示すＤＱパッド部分、電源パッドおよび接地パッドの内部レイアウトの変更例を示す図である。この図１６に示す配置は、電源線および接地線の配置を除いて図１５に示す配置と同じであり、図１５に示す構成と対応する部分には同一の参照符号を付けた番号を付し、その詳細説明は省略する。

図１６において、電源パッド１０１が電源線１１５ａに接続され、接地パッド１０５が接地線１１６ａに接続される。電源線１１５ａおよび接地線１１６ａはＤＱパッド部分１００ａ，１００ｂとＤＱパッド部分１００ｉ，１００ｊの間に互いに平行に配置され、これらのＤＱパッド部分１００ａ、１００ｂ、１００ｉおよび１００ｊに対してのみ電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給する。

接地パッド１０２は接地線１１６ｂに接続され、かつ電源パッド１０６が電源線１１５ｂに接続される。配線１１５ｂおよび１１６ｂは、ＤＱパッド部分１００ｃ，１００ｄとＤＱパッド部分１００ｋおよび１００ｌの間に平行に配設され、電圧ＶｃｃおよびＶｓｓをこれらのＤＱパッド部分１００ｃ，１００ｄ，１００ｋおよび１００ｌに対してのみ供給する。

電源パッド１０３および接地パッド１０７は、ＤＱパッド部分１００ｅ，１００ｆとＤＱパッド部分１００ｍおよび１００ｎの間に平行に配置される電源線１１５ｃおよび接地線１１６ｃにそれぞれ接続される。電源線１１５ｃおよび接地線１１６ｃはこれらのＤＱパッド部分１００ｅ，１００ｆ，１００ｍおよび１００ｎに対してのみ電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給する。

接地パッド１０４および電源パッド１０８がＤＱパッド部分１００ｇ，１００ｈとＤＱパッド部分１００ｏおよび１００ｐの間に平行に配置される接地線１１６ｄおよび電源線１１５ｄに接続され、これらのＤＱパッド部分１００ｇ，１００ｈ，１００ｏおよび１００ｐに対してのみ電圧ＶｓｓおよびＶｃｃを動作電源電圧として供給する。

電源線および接地線はグループ化され、かつその配列方向において交互に配置されている。１本の電源線および１本の接地線の各組は単に対応のＤＱパッド部分のグループに対してのみ電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓを供給することが要求されるだけである。したがって、電源線および接地線はその配線容量および配線抵抗が低減され、かつその負荷が軽減され、応じてＤＱパッド部分それぞれは安定に動作電源電圧を受けることができ、ＤＱパッド部分は安定かつ高速に動作することができる。加えて、電源線および接地線は２列に配置されているだけであり、配線占有面積を低減することができ、半導体記憶装置の高密度高集積化を容易に実現することができる。

［変更例２］
図１７は、この発明に従う半導体記憶装置の内部レイアウトのさらに他の変更例を示す図である。図１７においては、ピン端子（リードフレーム）の配置は図１５および図１６に示すものと同じであり、対応する部分には同一の参照番号を付す。

ＤＱパッド部分１００ａ−１００ｐは２列に整列してかつ互いにその第１の方向に沿って位置をずらして配置される。これは図１５および図１６に示す配置と同じである。図１７においては、ＤＱパッド部分１００ａ−１００ｐの各々は，Ｉ／Ｏバッファ１２０ａ−１２０ｐおよびＤＱパッド部分１２２ａ−１２２ｐを含むように示される。ＤＱパッド部分１２２ａ−１２２ｐは、図面を簡略化するために示してないボンディングワイヤを介してリード（ピン端子）ＤＱＴ１−ＤＱＴ１６にそれぞれ接続される。

電源パッド１３０ａ−１３０ｄはＤＱパッド１２２ａ−１２２ｈと整列して１列に配置され、接地パッド１３２ａ−１３２ｄがまたＤＱパッド１２２ｉ−１２２ｐに整列して別の列を構成するように整列して配置される。電源パッド１３０ａ−１３０ｄはそれぞれ破線で示すボンディングワイヤを介して電源フレームリード（ピン端子）ＰＰ１，ＰＰ３，ＰＰ２およびＰＰ４に接続される。接地パッド１３２ａ−１３２ｄはそれぞれ破線で示すボンディングワイヤを介して接地用フレームリード（ピン端子）ＧＰ３，ＧＰ１，ＧＰ４およびＧＰ２にそれぞれ接続される。

電源線１２５は電源パッド１３０ａ−１３０ｄに接続され、電源電圧ＶｃｃをＤＱパッド部分１００ａ−１００ｐ（Ｉ／Ｏバッファ１２０ａ−１２０ｐ）へ共通に供給する。接地線１２７は接地パッド１３２ａ−１３２ｄに接続され、ＤＱパッド部分１００ａ−１００ｐへ共通に接地電圧Ｖｓｓを供給する。

この電源線１２５は、電源パッド間の部分ごとに同一配線層で形成され互いに分離された配線で構成されてもよい。すなわち、たとえば、電源パッド１３０ａおよび１３０ｂの間の電源供給配線は電源パッド１３０ｂおよび１３０ｃの間の電源供給配線と別または異なる配線で構成されてもよい。このような配置はまた接地線１２７に対しても適用される。このような分割電源供給配線構造および分割接地線構造を用いることにより、１つのＤＱパッド部分において発生した電源ノイズが他のＤＱパッド部分へ伝播するのを防止することができる。

図１７に示す配置においては、動作電源電圧伝達線は２列に整列して配置されており、応じて配線占有面積を低減することができる。加えて、この配置は、電源線および接地線をこの第１の方向に沿って交互に配置する必要はなく、電源線および接地線のレイアウトは容易となる。

［変更例３］
図１８は、図１４に示すパッケージ５５ｂに収納される半導体記憶装置のさらに他の外部レイアウトを示す図である。この図１８に示す半導体記憶装置１４０はＬＯＣ構造を持っていない。パッドがチップ周辺に配置されるパッド周辺配置の構成をこの半導体記憶装置１４０は備える。すなわち、メモリブロックＭＢＡの外部周辺にＤＱパッド部分１５０ａ−１５０ｄ、電源パッド１５２ａおよび接地パッド１５４ａが整列して配置される。また他方のメモリブロックＭＢＢの外部周辺部において、ＤＱパッド部分１５０ｅ−１５０ｈ、接地パッド１５４ｂおよび電源パッド１５２ｂが互いに整列して配置される。

電源パッド１５２ａがＤＱパッド部分１５０ａおよび１５０ｂの間に配置され、かつＤＱパッド部分１５０ａ−１５０ｄの一方側に沿って延在する電源線１５６ａに接続される。接地パッド１５４ａはＤＱパッド部分１５０ｃおよび１５０ｄの間に配置され、かつこのＤＱパッド部分１５０ａ−１５０ｄの他方側に沿って延在する接地線１５８ａに接続される。

半導体装置（チップ）１４０の他方側において、接地パッド１５４ｂがＤＱパッド部分１５０ｅおよび１５０ｆの間に配置され、電源パッド１５２ｂがＤＱパッド部分１５０ｇおよび１５０ｈの間に配置される。接地線１５８ｂおよび電源線１５６ｂは、ＤＱパッド部分１５０ｅ−１５０ｈの一方側および他方側に沿って配置される。

ＤＱパッド部分１５０ａ−１５０ｄおよび１５０ｅ−１５０ｈは対応の電源線１５６ａまたは１５６ｂおよび対応の接地線１５８ａおよび１５８ｂから動作電源電圧を受け、メモリブロックＭＢＡおよびＭＢＢに対するデータ入出力動作を実行する。

パッド周辺配置型の半導体記憶装置のチップ周辺部それぞれの側において、電源供給パッドおよび接地パッドを交互に配置することにより、電源供給線および接地線を最小の配線長でＤＱパッド部分の各グループに対して配置することができ、配線レイアウトが容易となるとともに、対応のＤＱパッド部分に対し安定に動作電源電圧を供給することができる。

半導体記憶装置１４０の中央部分に配置された周辺回路１６０は一方側に配置された電源パッド１６１から電源線１６３を介して電源電圧Ｖｃｃを受け、かつ他方側に配置された接地パッド１６２から接地電圧Ｖｓｓを接地線１６４を介して受けて動作し、この半導体記憶装置に対するアクセス動作を制御する。

［ピン配置５］
図１９は、この発明に従う半導体記憶装置のパッケージのさらに他のピン配置を示す図である。

図１９に示す構成においては、電源電圧Ｖｃｃを受ける電源ピン端子と接地電圧Ｖｓｓを受ける接地ピン端子はメモリパッケージ５５ｃのそれぞれの側において、データ入出力ピン端子の組を間に挟むように配置される。すなわち、メモリパッケージ５５ｃの一方側において、一方端部のデータ入出力（ＤＱ）ピン端子ＰＴ２ｃおよびＰＴ３ｃが電源ピン端子ＰＴ１ｃおよび接地ピン端子ＰＴ４ｃの間に配置され、かつ他方端においてＤＱピン端子ＰＴ１１ｃおよびＰＴ１２ｃが電源ピン端子１０ｃおよび接地ピン端子１３ｃの間に配置される。

メモリパッケージ５５ｃの他方側においては、一方端においてＤＱピン端子ＰＴ１５ｃおよび１６ｃが接地ピン端子１４ｃおよび電源ピン端子ＰＴ１７ｃの間に配置され、他方端においてＤＱピン端子ＰＴ２４ｃおよびＰＴ２５ｃが接地ピン端子ＰＴ２３ｃおよび電源ピン端子ＰＴ２６ｃの間に配置される。

パッケージ５５ｃのそれぞれの側の中央部に配置される電源ピン端子ＰＴ７ｃおよび接地ピン端子ＰＴ２０ｃは、アドレス／クロックピン端子ＰＴ５ｃ−ＰＴ６ｃ、ＰＴ８ｃ−ＰＴ９ｃ、ＰＴ１８ｃ−ＰＴ１９ｃおよびＰＴ２１ｃ−ＰＴ２２ｃからの信号を受ける周辺回路に対して電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓの動作電源電圧を供給するために利用される。ピン端子ＰＴ１ｃ−ＰＴ２６ｃは、このパッケージ５５ｃに収納される半導体記憶装置の内部ボンディングパッドに対応して配置される。

図２０は、この図１９に示すパッケージ５５ｃに収納される半導体記憶装置の内部レイアウトを示す図である。図２０においては、図１０に示す構成と同様、４ビットデータを入出力する部分に関連する部分のみが代表的に示される。

図２０の配置は、パッド部分６０ａとリードＰＴＡＧおよびＰＴＡＨの間の接続を除いて図１０に示す構成と同じであり、対応する部分には同一の参照番号を付し、その詳細説明は省略する。

図２０を参照して、パッド部分（電源パッド）６０ａは、破線で示すボンディングワイヤを介して電源リード（ピン端子）ＰＴＡＨ１（たとえばピン端子ＰＴ２６ｃ）に接続される電源パッド１８０ａａと、破線で示すボンディングワイヤを介して接地リードＰＴＡＧ（たとえばピン端子ＰＴ１３ｃ）に接続される接地パッド１８０ａｂを含む。

この図２０に示す構成は図１０に示す構成との比較から明らかなように、内部パッドの配置それ自体は互いに同じであり、したがってこの図２０に示すピン配置も図１０に示す配置と同様の効果を与える。

なお、図１９のピン配置は、また図１８に示すようなパッド周辺配置の構成にも適用することができる。

［ピン配置６］
図２１は、この発明に従うパッケージのさらに他のピン配置を示す図である。この図２１に示すピン配置においては、アドレス／クロックピン端子（周辺ピン端子）は電源ピン端子の間または接地ピン端子の間に配置される。すなわち、このパッケージ５５ｄの一方側において、アドレス／クロックピン端子ＰＴ５ｄ−ＰＴ７ｄが電源ピン端子ＰＴ４ｄおよびＰＴ８ｄの間に配置され、アドレス／クロックピン端子ＰＴ１０ｄ−ＰＴ１２ｄが電源ピン端子ＰＴ９ｄおよびＰＴ１３ｄの間に配置される。パッケージ５５ｄの他方側において、アドレス／クロックピン端子ＰＴ２１ｄ−ＰＴ２３ｄが接地ピン端子ＰＴ２０ｄおよびＰＴ２４ｄの間に配置され、アドレス／クロックピン端子ＰＴ２６ｄ−ＰＴ２８ｄが接地ピン端子ＰＴ２５ｄおよびＰＴ２９ｄの間に配置される。パッケージ５５ｄの中央部において、電源ピン端子ＰＴ８ｄおよびＰＴ９ｄは互いに隣接し、かつ他方側に配置された接地ピン端子ＰＴ２４ｄおよびＰＴ２５ｄに対向するように配置される。

ＤＱピン端子に関しては、パッケージ５５ｄの一方側において、電源ピン端子ＰＴ２ｄがＤＱピン端子ＰＴ１ｄおよびＰＴ３ｄの間に配置され、また電源ピン端子ＰＴ１５ｄがＤＱピン端子ＰＴ１４ｄおよびＰＴ１６ｄの間に配置される。パッケージ５５ｄの他方側においては、その一方端において接地ピン端子ＰＴ１８ｄがＤＱピン端子ＰＴ１７ａおよびＰＴ１９ｄの間に配置され、他方端において、接地ピン端子ＰＴ３１ｄがＤＱピン端子ＰＴ３０ｄおよびＰＴ３２ｄの間に配置される。

この図２１に示すピン配置に従えば、図２２に示すように、周辺回路に対し強力な動作電源電圧供給源を実現することができる。

図２２は、図２１に示すパッケージに収納される半導体記憶装置の内部レイアウトを示す図である。この図２２においては、半導体記憶装置の一方および他方端の一方の配置のみが代表的に示される。また、加えてメモリブロックは図を簡略化するために示していない。

図２２において、電源パッド部分２００は、ＤＱパッド部分（ＤＱ１，ＤＱ２）２０２ａ，２０２ｂとＤＱパッド部分（ＤＱ３，ＤＱ４）２０２ｃ，２０２ｄの間に配置される電源パッドおよび接地パッドを含む。ＤＱパッド部分２０２ａ−２０２ｄそれぞれは、Ｉ／ＯバッファおよびＤＱパッド部分を含む。ＤＱパッド部分（ＤＱ１，ＤＱ３）２０２ａ，２０２ｃは電源線および接地線を含む電源配線２１０を介して動作電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを受ける。この電源配線２１０はパッド部分２００に接続される。またＤＱパッド部分（ＤＱ２，ＤＱ４）２０２ｂ、２０２ｄは、パッド部分２００から電源配線２１２を介して動作電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを受ける。

周辺パッド部分（ＰＡ１−ＰＡ３）の各々は周辺パッドおよびバッファを含み、電源パッド部分２０４ａおよび２０４ｂの間に配置される。ＤＱパッド部分２０２ａ−２０２ｄ、電源パッド部分２００、２０４ａ，２０４ｂおよび周辺パッド部分２０６ａ−２０６ｃは互いに整列して配置される。周辺パッド部分２０６ａ−２０６ｃは電源パッド部分２０４ａおよび２０４ｂから電源線２１４を介して電源電圧Ｖｃｃを受けかつ接地線２１６を介して接地電位Ｖｓｓを受ける。電源線２１４および接地線２１６はそれぞれこの周辺パッド部分２０６ａ−２０６ｃの内部構造に従った電源構造を備えていればよい。

電源パッド部分２０４ａはまた電源配線２１７ａを介してメモリブロックＭＢ１（図示せず）に対し動作電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給し、かつ電源配線２１８ａを介して他方のメモリブロックＭＢ２（図示せず）へ同様の動作電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給するように示される。電源パッド部分２０４ｂは、電源配線２１７ｂを介してメモリブロックＭＢ１に対し動作電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給し、かつ電源配線２１８ｂを介してメモリブロックＭＢ２に対し動作電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給するように示される。

電源パッド部分２０４ｃはマスタ制御回路２０８に関して電源パッド部分２０４ｂと対称的に配置される。このマスタコントロール回路２０８は、電源パッド部分２０４ｂおよび２０４ｃから電源配線２２０を介して動作電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを受ける。

この図２２に示す配置に従えば、周辺パッド部分２０６ａ−２０６ｃおよびマスタ制御回路２０８は２つのパッド部分から動作電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを受けており、これらの回路部分は強化された電源電圧供給源から動作電源電圧を受けて安定かつ正確に動作する。

なお、この図２１に示すピン配置において、電源電圧Ｖｃｃを受ける電源ピン端子および接地電圧Ｖｓｓを受ける接地ピン端子はそれぞれパッケージ５５ｄのそれぞれの側に配置される構成が用いられてもよい。

［ピン配置６］
図２３は、この発明に従う半導体記憶装置を収納するパッケージのさらに他のピン配置を示す図である。この図２３に示すピン配置において、ＤＱ電源供給源として、電源ピン端子がパッケージ５５ｅの両側に互いに対向するように配置され、また接地ピン端子がパッケージ５５ｅの両側に互いに対向するように配置される。また電源ピン端子および接地ピン端子がこのパッケージ５５ｅのそれぞれの側に配置される。すなわち、パッケージ５５ｅの一方側の一方端において、ＤＱピン端子ＰＴ２ｅおよびＰＴ３ｅを間に挟むように電源ピン端子ＰＴ１ｅおよび接地ピン端子ＰＴ４ｅが配置され、またパッケージ５５ｅの他方側において、ＤＱピン端子ＰＴ１５ｅおよびＰＴ１６ｅを間に挟むように電源ピン端子ＰＴ１４ｅおよび接地ピン端子ＰＴ１７ｅが配置される。電源ピン端子ＰＴ１ｅおよび接地ピン端子ＰＴ４ｅはそれぞれ電源ピン端子１４ｅおよび接地ピン端子ＰＴ１７ｅと対向するように配置される。パッケージ５５ｅの他方端において、電源ピン端子ＰＴ１０ｅおよび接地ピン端子ＰＴ１３ｅはその間にＤＱピン端子ＰＴ１１ｅおよびＰＴ１２ｅを挟むように配置され、またパッケージ５５ｅの他方端においては、電源ピン端子ＰＴ２３ｅおよび接地ピン端子ＰＴ２６ｅは電源ＤＱピン端子ＰＴ２４ｅおよびＰＴ２５ｅを間に挟むように配置される。電源ピン端子ＰＴ１０ｅおよび接地ピン端子ＰＴ１３ｅはそれぞれ、電源ピン端子ＰＴ２３ｅおよび接地ピン端子ＰＴ２６ｅと対向するように配置される。

パッケージ５５ｅの中央部において、パッケージ５５ｅの一方側に電源ピン端子ＰＴ７ｅが配置され、その他方側に電源ピン端子ＰＴ７ｅと対向するように接地ピン端子ＰＴ２０ｅが配置される。

ピン端子ＰＴ７ｅおよびＰＴ２０ｅへ与えられる電圧ＶｃｃおよびＶｓｓは、アドレス／クロックピン端子ＰＴ５ｅ−ＰＴ６ｅ、ＰＴ８ｅ−ＰＴ９ｅ、ＰＴ１８ｅ−ＰＴ１９ｅおよびＰＴ２１ｅ−ＰＴ２２ｅを介して与えられる信号を受けて動作する周辺回路の動作電源電圧として利用される。

図２４は、この図２３に示すパッケージに収納される半導体記憶装置の内部レイアウトを示す図である。この図２４に示す配置は、電源パッド部分を除いて図２０に示す配置と同じであり、対応する部分には同一の参照番号を付し、その詳細説明は省略する。

図２４において、電源パッド２６０ａは、半導体記憶装置（チップ）の両側に配置されたフレームリード（ピン端子）ＰＴＡＢおよびＰＴＡＩに破線で示すボンディングワイヤを介して接続され、また接地パッド２６０ｂがチップ両側に配置されたフレームリード（ピン端子）ＰＴＡＧおよびＰＴＡＣに破線で示すボンディングワイヤを介して接続される。

電源線２６１が、電源パッド２６０ａに接続されかつＤＱパッド部分（Ｉ／ＯバッファおよびＤＱパッド）を囲むように配設される。また接地線２６２が、接地パッド２６０ｂに接続されかつＤＱパッド部分を取囲むように配設される。電源パッド２６０ａが２つのフレームリード（ピン端子）ＰＴＡＢおよびＰＴＡＩから電源電圧Ｖｃｃを受けかつ接地パッド２６０ｂが２つのフレームリード（ピン端子）ＰＴＡＧおよびＰＴＡＣから接地電圧Ｖｓｓを受けるため、これらの配線２６１および２６２上の電圧は安定化され、ＤＱパッド部分に含まれるＩ／Ｏバッファを安定に動作させることができる。

［変更例］
図２５は、この発明に示す半導体記憶装置の内部パッドの配置を示す図である。図２５に示す配置においては、４つのメモリブロックＭＢ１−ＭＢ４（３００ａ−３００ｄ）が一例として示される。ＤＱパッド部分ＤＱ１−ＤＱ４（３０５ａ−３０５ｄ）はそれぞれメモリブロック３００ａ−３００ｄに対応して配置される。このＤＱパッド部分の配置は図１に示す配置と同じである。ＤＱパッド部分３０５ａ−３０５ｄはそれぞれ対応のメモリブロックＭＢ１−ＭＢ４（３００ａ−３００ｄ）とデータの入出力を行なう。

図２５に示す配置においては、さらに、電源供給用のバスバー３２０ａが、チップ１の一方側において電源ピン端子１５ａおよび１５ｃに結合されかつチップ上をわたって延在するように配置されて電源電圧Ｖｃｃを伝達する。電源バスバー３２０ａは、メモリブロック３００ａおよび３００ｃ上をわたって延在しかつこの中央領域と平行に延びる部分を有する。

接地電位を供給するための接地バスバー３２０ｂが、チップ１の他方側の接地ピン端子１５ｂおよび１５ｄに結合され、チップ１上をわたって延在し、接地電圧Ｖｓｓを伝達する。接地バスバー３２０ｂは、メモリブロック３００ｂおよび３００ｄ上をわたって延在し、中央領域と平行でありかつ電源バスバー３２０ａと平行な（対向する）部分を有する。

電源バスバー３２０ａおよび接地バスバー３２０ｂ各々は、内部の電源配線よりも十分広い幅を有する低抵抗の導体で構成されており、電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓを安定に供給する。

電源パッド部分３１０ａ−３１０ｄがＤＱパッド部分３０５ａ−３０５ｄに整列してかつ対応して配置される。

電源パッド部分３１０ａ−３１０ｄのそれぞれは電源パッドおよび接地パッドを含み、これらの接地パッドおよび電源パッドは接地バスバー３２０ｂおよび電源バスバー３２０ａにそれぞれ接続される。

電源パッド部分３１０ａ−３１０ｄの各々は、電源電圧Ｖｃｃおよび接地電圧Ｖｓｓを対応のＤＱパッド部分に対してのみ供給する。たとえば、電源パッド部分３１０ａは動作電源電圧ＶｃｃおよびＶｓｓをＤＱパッド部分３０５ａに対してのみ供給する。

複数のＤＱパッド部分にわたって延在するように配置される電源配線は存在しない。すなわち電源線および接地線は最小の長さで配置されるだけであり、したがって電源配線のための占有面積を低減することができ、この電源配線が設けられていないチップ中央部分を周辺回路を配置するための領域として利用することができ、チップ面積の利用効率が改善される。

加えて、電源バスバー３２０ａおよび接地バスバー３２０ｂは十分大きな線幅を有しており（ボンディングワイヤよりも十分広い）、ＤＱパッド部分３０５ａ−３０５ｄは安定に動作電源電圧を供給されて安定に動作することができる。

さらにＤＱパッド部分３０５ａ−３０５ｄのそれぞれは、対応の電源パッド部分３１０ａ−３１０ｄから動作電源電圧を受けており、あるＤＱパッド部分において生じた電源ノイズ（接地ノイズまたは電源電圧ノイズ）は、確実にこの電源バスバー３２０ａおよび接地バスバー３２０ｂにより吸収され、この電源ノイズが他のＤＱパッド部分に対して影響を及ぼすのを防止することができ、ノイズの影響を確実に抑制することができる。

また電源配線は対応のＤＱパッド部分を超えて延在しておらず、またＤＱパッド部分３０５ａ−３０５ｄはそれぞれ対応のメモリブロック３００ａ−３００ｄに近接して配置されており、したがってメモリブロック３００ａ，３００ｂとメモリブロック３００ｃ，３００ｄの間の領域を周辺回路の配置のために用いることができる。図２５においては、周辺回路領域４は中央部分に配置される。この領域４においては、ＤＱパッド部分のための電源配線は設けられていないために、この周辺回路領域４は占有に周辺回路の配置のために用いることができ、このＤＱパッド部分の電源配線を避けるための複雑な配線レイアウトが必要とされず、周辺回路のための配線レイアウトが容易となり、図１等に示す内部パッドレイアウトを容易に実現できる。周辺回路領域４は、図１に示す構成と同様、電源パッド部分７を含む。この電源パッド部分７は電源バスバー３２０ａおよび接地バスバー３２０ｂに結合されてもよく、また別の電源ピン端子（図２５に示す）にボンディングワイヤおよびフレームリードを介して接続されてもよい。

なお、電源パッド部分では、第１の方向に沿って対応のＤＱパッド部分を間に挟むように電源パッドおよび接地パッドが配置されてもよい。加えて、この電源バスバーおよび接地バスバーの配置は、前述の実施例のものと組合せて用いられてもよい。この電源バスバーおよび接地バスバーを配置することにより、安定に各パッド部分へ電圧ＶｃｃおよびＶｓｓを供給することができ、また配線レイアウトも容易となる。

なお、上記実施例においては、周辺回路はアドレス信号およびクロック信号などを受けて内部アクセス動作を制御する動作に関連する機能を備えるものとして説明している。しかしながら、このチップ中央部に配置される周辺回路は、半導体回路において、通常用いられるワード線昇圧のための高電圧発生回路、メモリアレイの基板領域へ印加される負電圧Ｖｂｂを発生するための負電圧発生回路および、ビット線プリチャージのための中間電圧を発生する中間電圧発生回路などの一定電圧を発生する回路を含んでもよい。この場合、中央部にこのような定電圧を発生する回路を配置することにより、各メモリセルアレイに対する定電圧を伝達するための配線値をすべて等しくすることができ、配線抵抗などの影響を受けることなく同じ電圧レベルの所望の一定電圧をメモリアレイブロックへ供給することができ、安定な動作特性を保証することができる。

なお、上記実施例においては、データ入出力が４ビット単位で行なわれ、メモリブロックがすべて同時に動作してそれぞれ１ビットのメモリセルデータの入出力を行なう構成が一例として示されている。しかしながら、データ入出力は×８ビット単位、×１６ビット単位で行なわれてもよい。またさらに、ブロックは、内部回路の変更により、２つのメモリブロックのみが活性化される構成が利用されてもよい。

さらに、上記実施例においては、リード・オン・チップ構成の半導体記憶装置のパッドレイアウトについて説明してきたが、しかしながらこのようなリード・オン・チップ構成の半導体記憶装置でない場合においても、データ入出力パッドを各メモリブロックに対応して分散して配置させ、各データ入出力パッドをグループ化してそれぞれに電源パッドを設けるとともに、データ入出力パッド部の間の領域に外部信号（アドレス信号およびクロック信号）入力パッドを配設しかつ中央部にこれらの周辺回路（入力バッファのみであってもよく）への電源電圧を供給するためのパッドが設けられる構成であれば同様の効果を奏することができ、安定かつ高速に動作する半導体記憶装置を実現することができる。

本発明は、一般に、半導体チップ上に集積化されるメモリ装置に対して適用することができる。

特に、本発明は、ＬＯＣ配置を有する半導体記憶装置に対して適用することにより、安定かつ高速に動作する半導体記憶装置を実現することができる。

この発明の一実施例である半導体記憶装置のチップレイアウトおよび内部ピン端子の配置を概略的に示す図である。 図１に示す電源パッドおよびデータ入出力パッド部の構成を概略的に示す図である。 図１に示す半導体記憶装置のメモリブロックの構成を概略的に示す図である。 この発明の半導体記憶装置における周辺回路部のレイアウトを示す図である。 半導体記憶装置に対して規定されるセットアップ時間およびホールドアップ時間を示すとともに、図４に示す半導体記憶装置の効果を説明するために用いられる信号波形図である。 この発明の半導体記憶装置における電源パッドからの電源電圧の分配の形態の一例を示す図である。 この発明の半導体記憶装置における電源パッドからの電源電圧の分配の他の形態を示す図である。 この発明の半導体記憶装置における外部ピン端子の配置を示す図である。 この発明の半導体装置における外部ピン端子の他の配置を示す図である。 図９に示す外部ピン端子配置を有する半導体記憶装置の内部レイアウトを概略的に示す図である。 この発明に従う半導体記憶装置のさらに他の外部ピン配置を示す図である。 図１１に示すパッケージに収納される半導体記憶装置の内部パッド配置を示す図である。 図１１に示すパッケージに収納される半導体記憶装置の他の内部パッド配置を示す図である。 この発明に従う半導体記憶装置のさらに他の外部ピン配置を示す図である。 図１４に示すパッケージに収納される半導体記憶装置の内部パッド配置を示す図である。 図１４に示すパッケージに収納される半導体記憶装置の他の内部パッド配置を示す図である。 図１４に示すパッケージに収納される半導体記憶装置のさらに他の内部パッド配置を示す図である。 図１４に示すパッケージに収納される半導体記憶装置のさらに他の内部パッド配置を示す図である。 この発明に従う半導体記憶装置のさらに他の外部ピン配置を示す図である。 図１９に示すパッケージに収納される半導体記憶装置の内部パッド配置を示す図である。 この発明に従う半導体記憶装置のさらに他の外部ピン配置を示す図である。 図２１に示すパッケージに収納される半導体記憶装置の内部パッド配置を示す図である。 この発明に従う半導体記憶装置のさらに他の外部ピン配置を示す図である。 図２３に示すパッケージに収納される半導体記憶装置の内部パッド配置を示す図である。 この発明に従う半導体記憶装置のさらに他の内部パッド配置を示す図である。 従来の半導体記憶装置の全体の構成を概略的に示す図である。 従来の半導体記憶装置における周辺回路の配置を例示するための図である。

符号の説明

１ 半導体記憶装置（半導体チップ）、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ 内部データバス、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ データ入出力パッド部、４ 周辺回路、４ａ スタ制御回路、５，６，７ 電源パッド、ＭＢ１，ＭＢ２，ＭＢ，ＭＢ４ メモリブロック、３ａａ，３ｂａ 入出力バッファ、３ａｂ，３ｂｂ データ入出力パッド、６ａ 電源電圧パッド、６ｂ 接地電圧パッド、ＭＡ１〜ＭＡｎ メモリアレイ、ＬＣＣ ローカルコラム系回路、ＬＲＣ ローカルロウ系回路、２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄ 外部信号入力パッド部、２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ 内部信号線、ＰＡ１，ＰＡ２，ＰＡ３ 周辺パッド部、３０，３１，３２，３３ａ，３３ｂ，４０，４２ａ，４２ｂ 電源線、６０ａ，６０ｂ 電源パッド、６０ａａ，６０ｂｂ，６３ 電源電圧用パッド、６０ａｂ，６０ｂａ，６４ 接地電圧用パッド、６１ａ，６１ｂ，６５ 電源電圧伝達線、６２ａ，６２ｂ，６６ 接地電圧伝達線、８０ａａ，８０ｂａ，８０ｃａ，８０ｄａ データ入出力用パッド、８０ａｂ，８０ｂｂ，８０ｃｂ，８０ｄｂ 入出力バッファ、６７ 周辺回路、７０ 電源パッド部分、７０ａ 電源パッド、７０ｂ 接地パッド、７３ａ，７４ａ，７５ａ，７６ａ ＤＱパッド、７３ｂ，７４ｂ，７５ｂ，７６ｂ Ｉ／Ｏバッファ、７７ａ 電源パッド、７７ｂ 接地パッド、７７ｃ 周辺回路、９１ａ，９２ａ，９３ａ，９４ａ ＤＱパッド、９１ｂ，９２ｂ，９３ｂ，９４ｂ ＤＱバッファ、９０ａ 電源パッド、９０ｂ 接地パッド、９５ａ 電源配線、９６ａ 接地線、１００ａ〜１００ｂ ＤＱパッド部分、１０１，１０３，１０６，１０８ 電源パッド、１０２，１０４，１０５，１０７ 接地パッド、１０９ａ，１０９ｂ 電源線、１１０ａ，１１０ｂ 接地線、１１５ａ，１１５ｂ，１１５ｃ，１１５ｄ 電源線、１１６ａ，１１６ｂ，１１６ｃ，１１６ｄ 接地線、１２５ 電源線、１２７ 接地線、１３０ａ〜１３０ｄ 電源パッド、１３２ａ〜１３２ｄ 接地パッド、ＭＢＡ，ＭＢＢ メモリブロック、１５０ａ〜１５０ｈ ＤＱパッド部分、１５２ａ，１５２ｂ 電源パッド、１５４ａ，１５４ｂ 接地パッド、１６０ 周辺回路、１６１ 電源パッド、１６２ 接地パッド、１６３ 電源線、１６４ 接地線、８０ａａ，８０ｂａ，８０ｃａ，８０ｄａ ＤＱパッド、１８０ａａ 接地パッド、１８０ａｂ 電源パッド、２００ 電源パッド部分、２０２ａ〜２０２ｄ ＤＱパッド部分、２１０，２１２，２１４，２１６ 電源配線、２０６ａ〜２０６ｃ 周辺パッド部分、２０４ａ，２０４ｂ，２０４ｃ 周辺回路電源パッド部分、２０８ 周辺回路、２６０ｂ 接地パッド、２６０ａ 電源パッド、３００ａ〜３００ｄ メモリブロック、３１０ａ〜３１０ｄ 電源パッド部分、３０５ａ〜３０５ｄ ＤＱパッド部分、３２０ａ 電源バスバー、３２０ｂ 接地バスバー。

Claims (4)

1. 第１の方向に沿った中央領域の両側に前記第１の方向に沿って整列して配置される複数のメモリブロックと、
   前記複数のメモリブロック各々に対応して、かつ対応のメモリブロックに近接して前記中央領域に配置され、さらに、前記中央領域の前記第１の方向についての中央部に関して一方側と他方側とにグループ化して配置され、各々が対応のメモリブロックとデータ信号の授受を行う複数のデータ入出力パッド部と、
   前記中央領域にグループ化して配置される前記複数のデータ入出力パッド部の前記一方側および他方側の間の中央部近傍に配置され、前記複数のメモリブロックへのアクセスを制御する信号を受ける複数の周辺パッド部とを備える、半導体記憶装置。
2. 前記一方側および他方側各々において、対応のデータ入出力パッド部グループを間に挟むように前記中央領域内に配置され、対応のデータ入出力パッド部グループに対してのみ電源電圧を供給する複数の電源パッドをさらに備える、請求項１記載の半導体記憶装置。
3. 第１の方向に沿って整列して配置されるとともに前記第１の方向に沿って第１および第２のグループに分割される複数のメモリブロック、
   前記整列した複数のメモリブロックの一方側に沿って配置されるとともに前記第１の方向に沿って第１および第２のグループに分割される複数のデータ入出力パッド部、および
   前記複数のデータ入出力パッド部の前記第１および第２のグループの間に配置され、前記複数のメモリブロックへのアクセスを制御する信号を受ける複数の周辺パッド部を備え、
   前記複数のメモリブロックの前記第１のグループは、前記複数のデータ入出力パッド部の前記第１のグループを介してデータの授受を行い、前記複数のメモリブロックの前記第２のグループは、前記複数のデータ入出力パッド部の前記第２のグループを介してデータの授受を行う、半導体記憶装置。
4. ４つの辺を有する半導体チップに形成された半導体記憶装置であって、
   前記４つの辺のうちの第１の辺に沿い、かつ前記第１の辺と対向する辺と異なる第２の辺から前記第２の辺と対向する第３の辺の方向へ、順に、配置される第１および第２のメモリブロックと、
   前記４つの辺のうち前記第１の辺と対向する第４の辺と前記第１のメモリブロックとの間に形成される第３のメモリブロックと、
   前記第４の辺と前記第２のメモリブロックとの間に形成される第４のメモリブロックと、
   前記第１のメモリブロックと前記第３のメモリブロックとの間に、前記第１のメモリブロックに沿って配置され、前記第１のメモリブロックとの間でのデータの授受のために用いられる複数の第１データ入出力パッドと、
   前記第３のメモリブロックと前記第１のメモリブロックとの間に前記第３のメモリブロックに沿って配置され、前記第３のメモリブロックとの間でのデータ授受のために用いられる複数の第２データ入出力パッドと、
   前記第２のメモリブロックと前記第４のメモリブロックの間に、前記第２のメモリブロックに沿って配置され、前記第２のメモリブロックとの間でのデータ授受のために用いられる複数の第３のデータ入出力パッドと、
   前記第４のメモリブロックと前記第２のメモリブロックとの間に、前記第４のメモリブロックに沿って配置され、前記第４のメモリブロックとの間でのデータ授受に用いられる複数の第４のデータ入出力パッドと、
   前記第１のメモリブロックと前記第２のメモリブロックとの間の第１の領域と前記第３のメモリブロックと前記第４のメモリブロックとの間の第２の領域との間に配置され、前記第１、第２、第３および第４のメモリブロックをアクセスするための信号が供給されるパッドとを備える、半導体記憶装置。

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