JP3978936B2 - 直動ユニット - Google Patents
直動ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP3978936B2 JP3978936B2 JP15963599A JP15963599A JP3978936B2 JP 3978936 B2 JP3978936 B2 JP 3978936B2 JP 15963599 A JP15963599 A JP 15963599A JP 15963599 A JP15963599 A JP 15963599A JP 3978936 B2 JP3978936 B2 JP 3978936B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- linear motion
- fluorine
- pulley
- motion unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Reciprocating Conveyors (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、清浄、かつ真空環境下で使用する直動ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
直動ユニットには、例えば、一直線上を往復運動するリニアガイドやボールスプラインガイドなど多くのタイプがあるが、その基本的な構成は、ガイドレールと、このガイドレールに沿って走行する移動部と、これを走行させる駆動部とから成る。ガイドレールと移動部との間には、スムーズな走行が可能なように軸受を介在させてあり、駆動部にはモータで回転するプーリにベルトを巻き掛けたものが用いられている。
ところで、例えば半導体の製造工程で用いられる蒸着装置においては、蒸着膜の歩留まりを低下させる塵の発生が極力抑えられた清浄な環境が求められる。したがって、この蒸着装置内部に設けられる直動ユニットには、清浄度を低下させないための対応が求められる。このため、駆動部を構成するプーリやベルトとして、ガスが発生したり摩耗を生じたりし易い合成樹脂製のものは用い難い。そこで上記プーリやベルトとして金属製のものが用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記駆動部で用いられている金属製のベルトやプーリは、両者の接触部ですべりが起こるため、摩耗粉が発生するのを完全には防止できないとともに、移動部の位置決め精度が悪いという問題がある。
上記のような従来の問題点に鑑み、この発明は、清浄、かつ真空環境下での使用において、清浄度が低下するのを効果的に防止でき、位置決め精度が良好な直動ユニットを提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためのこの発明の直動ユニットは、ガイドレールと、このガイドレールに沿って走行する移動部と、この移動部を駆動する駆動部とを備え、清浄、かつ真空環境下で用いられる直動ユニットにおいて、上記直動ユニットの駆動部が、外周に一定ピッチで設けた複数の係合部を有する駆動プーリと、上記駆動プーリと同一ピッチで設けた複数の係合部を有する従動プーリと、上記駆動プーリ及び従動プーリの各係合部に係合する複数の被係合部を、各プーリの係合部のピッチと同一ピッチで形成し、上記駆動プーリ及び上記従動プーリに巻き掛けて走行させる金属ロープまたは金属ベルトとを備え、上記駆動プーリ及び従動プーリの各係合部の少なくとも上記金属ロープ又は金属ベルトとの接触部と、金属ロープ又は金属ベルトの被係合部の表面との両方にフッ素系潤滑皮膜を形成したことを特徴とするものである。
上記構成の直動ユニットによれば、駆動プーリ及び従動プーリの係合部と金属ロープまたは金属ベルトの被係合部とを噛み合わせて動力を伝達することができるので、駆動プーリ及び従動プーリと金属ベルトまたは金属ロープとの間のすべりを抑制できる。
【0005】
さらに、上記駆動プーリ及び従動プーリの各係合部の少なくとも上記金属ロープ又は金属ベルトとの接触部と、金属ロープ又は金属ベルトの被係合部の表面との両方にフッ素系潤滑皮膜が形成されているので、このフッ素系潤滑皮膜によって、駆動プーリ及び従動プーリと、金属ロープ又は金属ベルトとを滑らかに接触させることができる。
【0006】
上記直動ユニットは、上記フッ素系潤滑皮膜が、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基、水酸基、メルカプト基、イソシアネート基、スルフォン基及びエステル基からなる群から選択される官能基を有するフルオロポリエーテル重合体からなり、かつ流動性を有する潤滑薄膜であることが好ましい(請求項2)。
この場合には、上記フッ素系潤滑皮膜が流動性を有しているので、潤滑皮膜の剥離や欠落を防止できる。
【0007】
上記直動ユニットは、上記フッ素系潤滑皮膜が、含フッ素ポリウレタン高分子化合物からなり、かつ3次元の網状構造を有する固体膜であることが好ましい(請求項3)。
この場合には、含フッ素ポリウレタン高分子化合物が、ウレタン結合となって、分子間が密に詰まって結合した固体膜を形成しているので、潤滑皮膜の剥離や欠落をより効果的に防止できる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下この発明の実施の形態について、添付図面を参照しながら詳述する。図1はこの発明の直動ユニットの一つの実施形態を示す正面図である。この発明の直動ユニットは、清浄度が要求され、かつ真空状態に保たれた環境下において、被搬送物を移動部2に載せ、これをガイドレール3に沿って走行させるためのもので、当該移動部2及びガイドレール3と、移動部2を上記ガイドレール3に沿って走行させる駆動部1とから構成される。
【0009】
上記移動部2は、角柱状のものであり、その内部には上記ガイドレール3を隙間を有して挿通させる孔21が設けられている。当該孔21と上記ガイドレール3との隙間には、上記移動部2をスムーズに走行させるためのスライドベアリング22を介在させている。
【0010】
上記駆動部1は、途中部が上記移動部2の側面に設けられた固定部23に連結され、当該移動部2に動力を伝達するための無端の金属ロープ13と、上記ガイドレール3に隣接して設けられた一対の従動プーリ12と、上記金属ロープ13を介して上記移動部2を走行させるための駆動プーリ11と、これらのプーリ11,12間に巻き掛けられた当該金属ロープ13がたわまないように張力を付与するための一対のアイドルプーリ15とから構成されている。
上記駆動プーリ11は、一対の従動プーリ12の中間位置において、図示しない駆動モータによって回動する軸11cに一体回動可能に連結されている。上記一対の従動プーリ12は、上記金属ロープ13のガイドレール3に隣接する側を当該ガイドレール3に沿って平行に走行させることができ、かつ上記移動部2の走行範囲をカバーするように、上記ガイドレール3の両端部にそれぞれ隣接させて配置され、軸12cに回動自在に支持されている。さらに、一対のアイドルプーリ15は、上記駆動プーリ11の両隣りに隣接して配置されている。
上記駆動プーリ11と上記従動プーリ12には、上記金属ロープ13が巻き掛けられており、この金属ロープ13には上記駆動プーリ11の両隣りに隣接するアイドルプーリ15によって、張力が付与されている。
【0011】
上記駆動プーリ11及び従動プーリ12は、図2に示すように、外周に沿って設けられた円周溝11bと、当該円周溝11bに対して斜めに交差する複数の係合溝(係合部)11aを有している。上記円周溝11bは金属ロープ13を導入する部分であり、各プーリ11,12の全周に設けられている。上記係合溝11aは、各プーリ11,12の外周に沿って一定ピッチで複数形成されている。また、上記係合溝11aの少なくとも上記金属ロープ13との接触部には、フッ素系潤滑皮膜14を形成している。
【0012】
上記金属ロープ13は、図3に示すように、1本の可撓性を有する直線状ロープ13bと、この直線状ロープ13bの周囲にらせん状に巻き付けたらせん状線条体13aとで構成される。当該らせん状線条体13aは、上記駆動プーリ11及び従動プーリ12の上記係合溝11aに係合させる被係合部として構成されており、一定のピッチで上記直線状ロープ13bに巻き付けられている。上記らせん状線条体13aの表面には、フッ素系潤滑皮膜14が形成されている。
【0013】
上記円周溝11bは、上記金属ロープ13の半径に相当する深さに設定されている(図4参照)。上記係合溝11aは、上記円周溝11bと同一の深さを有し、かつ、上記らせん状線条体13aを無理なく係合させるために、上記円周溝11bに対して傾斜させて設けられている(図2参照)。さらに、当該係合溝11aのピッチと、上記らせん状線条体13aのピッチとは等ピッチに設定されている。したがって、上記金属ロープ13が、上記円周溝11bに嵌め込まれて巻き掛けられた状態で走行すると、上記らせん状線条体13aは、上記係合溝11aに順次係合されることになる。
【0014】
上記フッ素系潤滑皮膜14は、官能基を有する含フッ素重合体からなる潤滑薄膜からなるものである。この含フッ素重合体は、−CxF2x−O―という一般式(xは1〜4の整数)で示される単位を主要構造単位とし、いずれも平均分子量が1000〜50000のフルオロポリエーテル重合体で、官能基は金属に対して親和性の高いエポキシ基、アミノ基、カルボニル基、水酸基、メルカプト基、イソシアネート基、スルフォン基またはエステル基などが好ましい。
上記フッ素系潤滑皮膜14は、流動性を有しているので、上記駆動プーリ11及び従動プーリ12と金属ロープ13とが接触した時に、接触面から剥離し難い。
【0015】
上記構成によれば、金属ロープ13のらせん状線条体13aを駆動プーリ11の複数個所の係合溝11aに係合させ、この状態で駆動プーリ11を回動させることにより、金属ロープ13は駆動プーリ11との間ですべることなく、動力を移動部2に伝達できる。また、金属ロープ13は、従動プーリ12の係合溝11aにもらせん状線条体13aを係合させて巻き掛けられているので、従動プーリ12との間でもすべることはない。
したがって、駆動プーリ11及び従動プーリ12と、金属ロープ13との間のすべりが抑制されることにより、接触部の摩耗が抑えられるので、摩耗粉によって清浄度が低下することはない。
【0016】
また、上記係合溝11aと金属ロープ13に形成されたフッ素系潤滑皮膜14により、金属どうしの直接的な接触を防止できて、摩耗をさらに低いレベルに抑えることができる。しかも、当該フッ素系潤滑皮膜14は、真空環境下でも安定で、かつ高い潤滑性能を有しているので、上記駆動プーリ11及び従動プーリ12と金属ロープ13との接触部の摩耗が効果的に防止される。
さらに、各プーリ11,12と金属ロープ13との間のすべりが抑制されることにより、金属ロープ13に連結された移動部2をガイドレール3の所定の位置に移動させる際の位置決め精度が低下することがない。
【0017】
上記フッ素系潤滑皮膜14は、含フッ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜であっても良い。含フッ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜は、−CxF2x−O―という一般式(xは1〜4の整数)で示される単位を主要構造単位とし、いずれも平均分子量が数百万以上で硬化反応により分子間がウレタン結合されて、分子間が網状のように連続した3次元の網状構造を有しているものである。
含フッ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜は、3次元の網状構造を有しているので、接触面に均質な膜を形成することができる。このため、上記駆動プーリ11及び従動プーリ12と金属ロープ13とが接触した時に、含フッ素ポリウレタン高分子化合物の固体膜が接触面から剥離するのを抑えることができる。
【0018】
なお、上記スライドベアリング22の潤滑剤には、固体潤滑剤を転動面に形成したものを用いている。このため、上記ガイドレール3に沿って転動する際に、真空度と清浄度とを低下させることはない。
また、上記実施の形態において、金属ロープ13の被係合部をらせん状線条体13aで構成した場合を説明したが、これに限定されるものではなく、図5に示しているように、被係合部としての歯13dを一定ピッチで設けた金属ベルト13cと、この歯13dと同一ピッチで設けられた被係合部としての凹溝11dを有する駆動プーリ11及び従動プーリ12との組み合わせでも同様の効果が得られる。
【0019】
【発明の効果】
以上のように、請求項1に係る直動ユニットによれば、駆動プーリ及び従動プーリと、金属ロープ又は金属ベルトとが、係合部と被係合部とを噛み合わせて動力を伝達するので、相互のすべりが抑制できる。このため、摩耗粉の発生が抑制されるので、清浄度が低下するのを効果的に防止することができる。また、すべりが抑制できるので、位置決め精度も向上させることができる。したがって、例えば、半導体製造工程での半導体製品の歩留まり向上が図れる。
【0020】
さらに、フッ素系潤滑皮膜が、金属どうしの接触を防止し、その潤滑能によって駆動プーリ及び従動プーリと金属ロープ又は金属ベルトとを滑らかに接触させるので、摩耗による金属粉の発生をより効果的に抑制することができる。このため、清浄度が低下するのをより効果的に防止することができる。
【0021】
請求項2に係る直動ユニットによれば、フッ素系潤滑皮膜が流動性を有しているので、潤滑皮膜の剥離や欠落が起こり難い。このため、清浄度を高いレベルにすることができる。
【0022】
請求項3に係る直動ユニットによれば、含フッ素ポリウレタン高分子化合物が、ウレタン結合となって、分子間が密に詰まって結合した固体膜であるため、潤滑皮膜の剥離や欠落をより効果的に防止できる。このため、さらに清浄度を高いレベルにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の直動ユニットの一つの実施の形態を示す正面図である。
【図2】駆動プーリの斜視図である。
【図3】金属ロープの一部欠載正面図である。
【図4】金属ロープと駆動プーリの係合状態を示す一部欠載正面図である。
【図5】他の実施の形態を示す正面図である。
【符号の説明】
1 駆動部
11 駆動プーリ
11a 係合溝(係合部)
12 従動プーリ
13 金属ロープ
13a らせん状線条体(被係合部)
14 フッ素系潤滑皮膜
2 移動部
3 ガイドレール
Claims (3)
- ガイドレールと、このガイドレールに沿って走行する移動部と、この移動部を駆動する駆動部とを備え、清浄、かつ真空環境下で用いられる直動ユニットにおいて、
上記直動ユニットの駆動部が、
外周に一定ピッチで設けた複数の係合部を有する駆動プーリと、
上記駆動プーリと同一ピッチで設けた複数の係合部を有する従動プーリと、
上記駆動プーリ及び従動プーリの各係合部に係合する複数の被係合部を、各プーリの係合部のピッチと同一ピッチで形成し、上記駆動プーリ及び上記従動プーリに巻き掛けて走行させる金属ロープまたは金属ベルトと
を備え、上記駆動プーリ及び従動プーリの各係合部の少なくとも上記金属ロープ又は金属ベルトとの接触部と、金属ロープ又は金属ベルトの被係合部の表面との両方にフッ素系潤滑皮膜を形成したことを特徴とする直動ユニット。 - 上記フッ素系潤滑皮膜が、エポキシ基、アミノ基、カルボニル基、水酸基、メルカプト基、イソシアネート基、スルフォン基及びエステル基からなる群から選択される官能基を有するフルオロポリエーテル重合体からなり、かつ流動性を有する潤滑薄膜である請求項1記載の直動ユニット。
- 上記フッ素系潤滑皮膜が、含フッ素ポリウレタン高分子化合物からなり、かつ3次元の網状構造を有する固体膜である請求項1記載の直動ユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15963599A JP3978936B2 (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 直動ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15963599A JP3978936B2 (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 直動ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000344473A JP2000344473A (ja) | 2000-12-12 |
JP3978936B2 true JP3978936B2 (ja) | 2007-09-19 |
Family
ID=15698031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15963599A Expired - Fee Related JP3978936B2 (ja) | 1999-06-07 | 1999-06-07 | 直動ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3978936B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3643105B2 (ja) * | 2003-02-06 | 2005-04-27 | 朝日インテック株式会社 | 螺旋状歯付きロープ |
CN117074048B (zh) * | 2023-10-16 | 2024-02-13 | 中国汽车技术研究中心有限公司 | 智能车测试方法和系统 |
-
1999
- 1999-06-07 JP JP15963599A patent/JP3978936B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000344473A (ja) | 2000-12-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0228024B2 (ja) | ||
JP2009538804A (ja) | 特有の滑り層を備えた乗客コンベヤ移動手すり | |
US20180306243A1 (en) | Bearing and drive module | |
JP3978936B2 (ja) | 直動ユニット | |
US7011207B2 (en) | Conveying chain guide | |
CN108349658B (zh) | 输送机驱动系统 | |
US20020115513A1 (en) | Flexible drive ring belt | |
EP0695627B1 (en) | Device for transmitting motion with a reduced noisiness and belts suitable for the purpose | |
AU2002235458A1 (en) | Flexible driving ring belt | |
CN116853740A (zh) | 一种连续提升装置 | |
US6357580B1 (en) | Belt-type carrier system | |
JP2000249195A (ja) | 高負荷伝動ベルト | |
KR100567285B1 (ko) | 승객수송장치의 곡선부 핸드레일 가이드장치 | |
JP2798362B2 (ja) | ラウンドコンベヤベルトの搬送装置 | |
JP2002195353A (ja) | 高負荷伝動ベルト | |
EP3705444A1 (en) | Improved sprockets for people conveyors | |
WO2010097957A1 (ja) | 付着物除去装置 | |
JPH11101312A (ja) | 高負荷伝動ベルト | |
JPH07264881A (ja) | 超音波モータ | |
JPH08157037A (ja) | 搬送装置及びそのローラ用シャフト製造方法 | |
JP2019089614A (ja) | 乗客コンベア用手摺ベルト及びそれを用いた乗客コンベア | |
CN112408174A (zh) | 一种用于自动扶梯或自动人行道的回转链 | |
JP4922250B2 (ja) | 低発塵ベルト | |
JPS6139141Y2 (ja) | ||
JP3040102B1 (ja) | シート状物の同時二軸延伸機 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040908 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070605 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070618 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100706 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110706 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110706 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120706 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120706 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130706 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |