JP3976170B2 - Thin article positioning device - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄板物品の位置決め装置に関し、特に、液晶のガラス基板からなる薄板物品(本明細書において、単に、「薄板物品」という。)の移送を、簡単な機構により迅速かつ正確に位置決めしながら行えるようにした薄板物品の位置決め装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、液晶の製造工場においては、予め定寸に形成されたガラス基板を、1つの装置から他の装置へ移送する場合に、ガラス基板の大型化に伴い、装置の相対位置の誤差や、装置の搬入搬出の移載精度の誤差が大きくなり、移載時にガラス基板が装置等に衝突する事故が発生していた。
これを防止するためには、ガラス基板の位置決めを正確に行う必要があり、ガラス基板を1つの装置から、他の装置へ移送する時にガラス基板の位置の補正を行うようにしている。
ところで、このガラス基板の位置の補正は、例えば、搬送コンベアの位置で、ガラス基板の端部を位置決めストッパに直接当接させることにより、ガラス基板の位置決めを行った後、移載機により他の装置又は搬送コンベアに移載することにより行うようにしていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のガラス基板の位置の補正方法は、ガラス基板の端部を位置決めストッパに直接当接させて行うようにしているため、ガラス基板が小型の場合にはさほど支障はないが、生産効率の向上及び製造コストの低廉化の要請に応じるため、ガラス基板が大型化されると、ガラス基板自体の重量によって、コンベアとの摩擦抵抗も増し、脆弱なガラス基板のような薄板物品とコンベアとの間に大きな摩擦抵抗が発生し、高速で搬送されるガラス基板を位置決めストッパに直接当接させて位置決めを行うと、摩擦力や変形によりガラス基板が破損したり、剛性が不充分で変形が生じたりするおそれがあった。
これを未然に防ぎ、安定して位置決めを行うためには、ガラス基板の搬送速度を低下させる必要があるが、これによって、生産効率が低下するという問題があった。
【0004】
本発明は、上記従来の薄板物品の位置決め装置の有する問題点に鑑み、薄板物品の移送を、簡単な機構により迅速かつ正確に位置決めしながら行えるようにした薄板物品の位置決め装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の薄板物品の位置決め装置は、ガラス基板からなる薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移載装置を介して移送する場合における薄板物品の位置決め装置において、薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移送するコンベアと、一方の装置から搬入され、コンベア上に位置する薄板物品を昇降装置を介して上昇させることにより支持し、昇降装置を介して降下させることによりコンベア上に支持させるようにする支持台と、薄板物品を支持した支持台をエアー圧にて浮上させるエアーベアリングと、エアー圧にて浮上している支持台に支持されている薄板物品のコンベアによる薄板物品の移送方向に対して直角方向の位置決めを行うコンベアの幅方向に対向して配設した位置決めストッパと、薄板物品の位置決めによって当初の基準位置からずれた位置にある支持台を基準位置に復帰させる支持台復帰手段としての位置決めシリンダとからなることを特徴とする。
【0006】
この薄板物品の位置決め装置は、一方の装置から搬入され、コンベア上に位置する薄板物品を支持台を昇降装置を介して上昇させることにより支持し、エアーベアリングから噴射されるエアー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品を支持台と共に位置決めストッパにて少なくともコンベアによる薄板物品の移送方向に対して直角方向の位置決めを行った後、支持台を昇降装置を介して降下させることによりコンベア上に支持することにより位置決めされた薄板物品を他方の装置へ搬出することにより、薄板物品を迅速かつ正確に位置決めしながら移送することができる。
また、薄板物品を他方の装置へ搬出した後、位置決めシリンダからなる支持台復帰手段にて、前記薄板物品の位置決めによって当初の基準位置からずれた位置にある支持台を基準位置に戻すようにすることができる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の薄板物品の位置決め方法の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【0008】
図1〜図2に、本発明の薄板物品の位置決め方法の一実施例を示す。
液晶の製造工場においては、予め定寸に形成されたガラス基板Gを、予め定められた製造工程に従って、連続的に或いは間欠的に、製造装置間を、例えば、コンベア等の移載装置を介して移送するようにしている。
ここでは、特に限定されるものではないが、大型のガラス基板Gを安定して移送できるように、アンロードポートにコンベア1を採用した場合について説明する。
【0009】
このアンロードポートのコンベア1の終端部には、ガラス基板Gの位置決めを行って、移載装置3に受け渡すようにする位置決め装置2を配設する。
【0010】
この位置決め装置2は、コンベア1の終端部の下方位置に配設し、ガラス基板Gの下面を支持する支持台21と、支持台21を機械的に昇降させる昇降装置22と、昇降装置22の頂面に配設し、噴射するエアー圧にてガラス基板Gの下面を支持した状態で支持台21を浮上させるようにするエアーベアリング23と、エアーベアリング23から噴射されるエアー圧にて支持台21を浮上させながらガラス基板Gを支持台21と共に位置決めする少なくとも異なる2ヶ所にて出没する位置決めストッパとしての位置決めシリンダ24、24とから構成され、これにより、コンベア1により搬入されたガラス基板Gを迅速かつ正確に位置決めして、後続の移載装置3に受け渡すことができるようにしている。
【0011】
本実施例においては、位置決めストッパとしての位置決めシリンダ24、24は、コンベア1によるガラス基板Gの移送方向に対して直角方向の位置決めを行うことができるように、コンベア1の上方にコンベア1の幅方向に対向して配設したが、これとは別に、ガラス基板Gの移送方向の位置決めを行うことができるように、位置決めストッパとしての位置決めシリンダ(図示省略)をコンベア1の上方にコンベア1の送り方向に対向して配設するようにしたり、さらに、ガラス基板Gの移送方向及び移送方向に対して直角方向の位置決めの両方を一度に行うことができるように、コンベア1の上方のガラス基板Gの対角線上となる位置に対向して配設するようにすることもできる。
【0012】
移載装置3は、コンベア1により搬入され、位置決め装置2により位置決めされ、再度、コンベア1上に降ろされたガラス基板Gを、ガラス基板Gの下方に挿入されるフォーク32を扛上させてコンベア1から掬い上げるようにしてコンベア1とは異なる位置にある他の装置のロードポート上に移載することができるように構成されている。
このため、移載装置3は、アンロードポートのコンベア1と交わる方向に移動可能とし、他の装置へ移動可能な移載装置本体31と、この移載装置本体31に対し昇降と伸縮と旋回とをなすフォーク32とより構成される。
【0013】
さらに、位置決め装置2には、ガラス基板Gをコンベア1上に降ろした後、支持台21を基準位置に戻す支持台復帰手段としての位置決めシリンダ25、25を備え、ガラス基板Gを位置決めすることによって偏位している支持台21を、必要に応じて、エアーベアリング23から噴射されるエアー圧にて支持台21を浮上させながら、所定の基準位置に戻すようにする。
【0014】
また、他方の装置となる受け渡し側のロードポート4は、液晶などの製造装置側で、図示のように、アンロードポートのコンベア1と対向する位置に配設する場合と、この対向位置と横方向に位置をずらした別の位置に配設することがある。
そして、この製造装置側は、1台だけでなく、複数台が隣接或いは所定の間隔をあけて配設され、この隣接或いは並列される製造装置間を移載装置3が移動するようにし、これにより、一方の装置から他方の任意の装置へガラス基板Gを確実に移送できるようにすることができる。
【0015】
次に、この薄板物品の位置決め装置の動作について説明する。
アンロードポートのコンベア1上を、設定された速度にて搬送されてきたガラス基板Gは、図1(A)に示すように、コンベア1の終端部に達すると、コンベアによる搬送が解除されるとともに、コンベア1の下方に配設された位置決め装置2が駆動される。
【0016】
この位置決め装置2の駆動により、図1(B)に示すように、まず昇降装置22が駆動されて支持台21が降下した待機位置(図1(A)に示す位置)から上昇し、コンベア1上のガラス基板Gはこの支持台21にて下部から持ち上げられるようになり、支持台21上に移載される。
この支持台21を持ち上げた状態で、次にエアーベアリング23からエアーを噴出させると、このエアー圧により支持台21は、ガラス基板Gを支持した状態で浮遊状態となる。
【0017】
このガラス基板Gが浮遊した状態で、対向する位置決めシリンダ24、24を操作することにより、浮遊するガラス基板Gを、支持台21ごと、両方向から位置決めし、所定位置となるようにする。
この場合、ガラス基板Gは支持台21と共に浮遊しているため、エアーベアリング23との摩擦抵抗がないので、軽く、迅速かつ正確に位置決めが正確に行える。
次に、エアーベアリング23からのエアー噴射を停止すると、ガラス基板Gを支持した支持台21は、エアーベアリング23上に直接支持されるようになる。
【0018】
この状態で、昇降装置22の操作により支持台21を降下させ、コンベア1の下方位置に達すると、この支持台21上に支持されていたガラス基板Gは、位置決めされた状態で再びコンベア1上に支持される。
【0019】
この後、ガラス基板Gの下方位置に移載装置3のフォーク32を挿入し、再び上昇させるとガラス基板Gは、位置決めされた状態で、コンベア1側からフォーク32側に移載される。
【0020】
次に、移載装置3がアンロードポートのコンベア1と受け渡し側のロードポート4間の走行路に添って移動する。この際、図示のように、アンロードポートのコンベア1と受け渡し側のロードポート4とが対向している場合は、この移載装置3はフォークを180度旋回させるだけで、受け渡し側のロードポート4と対向することができる。
次に、フォークを定位置まで降下させると、ガラス基板Gはフォーク側から受け渡し側のロードポート4へ移載される。
【0021】
このようにガラス基板Gを、受け渡し側のロードポート4へ移載した後、フォーク32を待機位置まで旋回させて停止する。この動作を繰り返すことにより順次ガラス基板Gを、正確に位置決めしてアンロードポートのコンベア1からロードポート4側へ移送することができる。
【0022】
なお、ガラス基板Gをコンベア1上に降ろした後、位置決め装置2に備えられた支持台21を基準位置に戻す支持台復帰手段としての位置決めシリンダ25、25を駆動することにより、ガラス基板Gを位置決めすることによって偏位している支持台21を、エアーベアリング23から噴射されるエアー圧にて支持台21を浮上させながら、所定の基準位置に戻すようにする。
【0023】
以上、本発明の薄板物品の位置決め装置について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。
【0024】
【発明の効果】
本発明の薄板物品の位置決め装置によれば、一方の装置から搬入され、コンベア上に位置する薄板物品を支持台を昇降装置を介して上昇させることにより支持し、エアーベアリングから噴射されるエアー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品を支持台と共に位置決めストッパにて少なくともコンベアによる薄板物品の移送方向に対して直角方向の位置決めを行った後、支持台を昇降装置を介して降下させることにより薄板物品をコンベア上に支持し、位置決めされた薄板物品を他方の装置へ搬出することにより、薄板物品を迅速かつ正確に位置決めしながら移送することができる。
そして、特に、エアー圧にて支持台を浮上させながら薄板物品を支持台と共に位置決めするようにしているので、摩擦力が浮上によりなくなり、小さな力で、大型の薄板物品を、破損することなく位置決めすることができる。
また、薄板物品を他方の装置へ搬出した後、位置決めシリンダからなる支持台復帰手段にて、前記薄板物品の位置決めによって当初の基準位置からずれた位置にある支持台を基準位置に戻すようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の薄板物品の位置決め装置の一実施例を示し、(A)は位置決め装置の位置でガラス基板が停止した状態を、(B)は位置決め装置にてガラス基板が持ち上げられ、位置決めされた状態を、それぞれ示す。
【図2】 アンロードポートのコンベア及び移載装置を示す外観斜視図である。
【符号の説明】
G ガラス基板(薄板物品)
1 コンベア
位置決め装置
21 支持台
22 昇降装置
23 エアーベアリング
24 位置決めシリンダ(位置決めストッパ)
25 位置決めシリンダ(支持台復帰手段)
移載装置
31 移載装置本体
32 フォーク
4 受け渡し側のロードポート
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an apparatus for positioning a thin plate article, and in particular, quickly and accurately positions a thin plate article (hereinafter simply referred to as “thin plate article”) made of a liquid crystal glass substrate by a simple mechanism. The present invention relates to a positioning apparatus for a thin plate article that can be performed while the apparatus is being used.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, in a liquid crystal manufacturing factory, when a glass substrate formed in a predetermined size is transferred from one apparatus to another apparatus, an error in the relative position of the apparatus or the apparatus accompanying the increase in the size of the glass substrate. The error of the transfer accuracy of loading / unloading of the glass became large, and an accident occurred in which the glass substrate collided with the apparatus or the like during the transfer.
In order to prevent this, it is necessary to accurately position the glass substrate. When the glass substrate is transferred from one apparatus to another apparatus, the position of the glass substrate is corrected.
By the way, the correction of the position of the glass substrate is performed, for example, by positioning the glass substrate by bringing the end of the glass substrate directly into contact with the positioning stopper at the position of the conveyer, and then by another transfer machine. It was performed by transferring to an apparatus or a conveyor.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional glass substrate position correction method is performed by directly contacting the end of the glass substrate with the positioning stopper, so that there is no problem when the glass substrate is small, but the production efficiency is improved. In order to meet the demand for improvement and reduction in manufacturing cost, when the glass substrate is enlarged, the frictional resistance with the conveyor increases due to the weight of the glass substrate itself, and the thin plate article such as the fragile glass substrate and the conveyor A large frictional resistance is generated between them, and if a glass substrate conveyed at high speed is placed in direct contact with the positioning stopper, the glass substrate may be damaged due to frictional force or deformation, or the rigidity may be insufficient and deformation may occur. There was a risk of it.
In order to prevent this in advance and to perform stable positioning, it is necessary to reduce the conveyance speed of the glass substrate, but this causes a problem that the production efficiency decreases.
[0004]
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above-described problems of the conventional apparatus for positioning a thin sheet article, the present invention provides a positioning apparatus for a thin sheet article that can transfer a thin sheet article while positioning it quickly and accurately with a simple mechanism. Objective.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
To achieve the above object, a positioning device of the sheet article of the invention, the positioning device of the sheet articles in the case of transferring via a transfer device the sheet article comprising a glass substrate from one device to another device, the thin plate a conveyor for transporting articles from one device to another, is carried from one device, a sheet article to be positioned on the conveyor, supported by increasing through the lifting device is lowered through the lifting device Of the thin plate article supported by the support base that is supported on the conveyor, the air bearing that floats the support base that supports the thin article by air pressure, and the support base that is levitated by air pressure. a positioning stopper which is disposed to face the widthwise direction of the conveyor to position the direction perpendicular to the transport direction of the sheet article by conveyor, the sheet article Characterized by comprising the positioning cylinder serving as a support stand returning means for returning the support base at a position deviated from the original reference position to the reference position by Me-decided.
[0006]
This thin article positioning device supports a thin article that is carried in from one apparatus and that is positioned on a conveyor by raising the support base via an elevating device, and is supported by air pressure injected from an air bearing. After positioning the thin plate article together with the support base with the positioning stopper at least in the direction perpendicular to the transfer direction of the thin plate article by the conveyor , the support base is lowered via the lifting device and supported on the conveyor. by unloading the sheet article that is positioned to the other device by, it can be transported while positioning the sheet articles quickly and accurately.
Further, after carrying out the thin plate article to the other device, the support stand returning means comprising a positioning cylinder is used to return the support stand at a position shifted from the original reference position to the reference position by positioning the thin plate article. be able to.
[0007]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of a method for positioning a thin plate article of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0008]
1 to 2 show an embodiment of a method for positioning a thin article according to the present invention.
In a liquid crystal manufacturing factory, a glass substrate G formed in a predetermined size is continuously or intermittently transferred between manufacturing apparatuses according to a predetermined manufacturing process, for example, via a transfer device such as a conveyor. To be transported.
Here, although not particularly limited, a case will be described in which the conveyor 1 is employed as an unload port so that a large glass substrate G can be stably transferred.
[0009]
A positioning device 2 that positions the glass substrate G and delivers it to the transfer device 3 is disposed at the end of the conveyor 1 of the unload port.
[0010]
The positioning device 2 is disposed below the end of the conveyor 1, and includes a support base 21 that supports the lower surface of the glass substrate G, a lifting device 22 that mechanically lifts and lowers the support base 21, An air bearing 23 that is disposed on the top surface and that floats the support base 21 in a state where the lower surface of the glass substrate G is supported by the air pressure to be jetted, and the support base by the air pressure jetted from the air bearing 23 And positioning cylinders 24 and 24 as positioning stoppers that appear and disappear at at least two different positions for positioning the glass substrate G together with the support base 21 while floating the glass substrate G. Positioning can be performed quickly and accurately so that it can be transferred to the subsequent transfer device 3.
[0011]
In this embodiment, the positioning cylinders 24 and 24 as positioning stoppers are positioned above the conveyor 1 so that the positioning can be performed in a direction perpendicular to the transfer direction of the glass substrate G by the conveyor 1. However, apart from this, a positioning cylinder (not shown) as a positioning stopper is placed above the conveyor 1 so that the glass substrate G can be positioned in the transfer direction. The glass substrate above the conveyor 1 can be disposed opposite to the feeding direction, and can be positioned at a time in a direction perpendicular to the feeding direction and the feeding direction of the glass substrate G. It can also be arranged so as to face a position on the diagonal line of G.
[0012]
The transfer device 3 is carried in by the conveyor 1, positioned by the positioning device 2, and lowered again on the conveyor 1, and the fork 32 inserted below the glass substrate G is lifted on the fork 32. It is configured such that it can be transferred onto a load port of another apparatus located at a position different from the conveyor 1 so as to scoop up from 1.
Therefore, the transfer device 3 is movable in the direction intersecting with the conveyor 1 of the unload port, and the transfer device main body 31 that can be moved to another device, and the transfer device main body 31 is lifted, expanded, contracted, and swiveled. And a fork 32 having the following structure.
[0013]
Further, the positioning device 2 is provided with positioning cylinders 25 and 25 as supporting table returning means for returning the supporting table 21 to the reference position after the glass substrate G is lowered onto the conveyor 1, and positioning the glass substrate G by positioning the glass substrate G. The biased support table 21 is returned to a predetermined reference position while the support table 21 is lifted by the air pressure injected from the air bearing 23 as necessary.
[0014]
Further, the load port 4 on the delivery side, which is the other device, is disposed on the side facing the conveyor 1 of the unload port on the manufacturing device side such as a liquid crystal as shown in the figure. It may be arranged at another position shifted in the direction.
On the manufacturing apparatus side, not only one but also a plurality of apparatuses are arranged adjacent to each other or at a predetermined interval so that the transfer apparatus 3 moves between the adjacent or parallel manufacturing apparatuses. Thus, the glass substrate G can be reliably transferred from one apparatus to the other arbitrary apparatus.
[0015]
Next, the operation of this thin plate article positioning apparatus will be described.
As shown in FIG. 1A, when the glass substrate G that has been transported on the conveyor 1 of the unload port reaches the end of the conveyor 1, the transport by the conveyor is released. At the same time, the positioning device 2 disposed below the conveyor 1 is driven.
[0016]
By driving the positioning device 2, as shown in FIG. 1B, the elevating device 22 is first driven, and the support base 21 is raised from the standby position (position shown in FIG. 1A), and the conveyor 1 The upper glass substrate G is lifted from the lower part by the support 21 and is transferred onto the support 21.
When air is next ejected from the air bearing 23 in a state where the support base 21 is lifted, the support base 21 is in a floating state with the glass substrate G supported by the air pressure.
[0017]
By operating the opposing positioning cylinders 24 and 24 in a state where the glass substrate G is floating, the floating glass substrate G is positioned from both directions together with the support base 21 so as to be in a predetermined position.
In this case, since the glass substrate G floats together with the support base 21, there is no frictional resistance with the air bearing 23, so that positioning can be performed accurately, lightly, quickly and accurately.
Next, when the air injection from the air bearing 23 is stopped, the support base 21 that supports the glass substrate G is directly supported on the air bearing 23.
[0018]
In this state, when the support base 21 is lowered by the operation of the lifting device 22 and reaches the lower position of the conveyor 1, the glass substrate G supported on the support base 21 is again positioned on the conveyor 1 while being positioned. Supported by
[0019]
Thereafter, when the fork 32 of the transfer device 3 is inserted below the glass substrate G and is raised again, the glass substrate G is transferred from the conveyor 1 side to the fork 32 side in a positioned state.
[0020]
Next, the transfer device 3 moves along the traveling path between the conveyor 1 of the unload port and the load port 4 on the delivery side. At this time, as shown in the figure, when the conveyor 1 of the unload port and the load port 4 on the delivery side face each other, the transfer device 3 simply turns the fork by 180 degrees, and the load port on the delivery side 4 can be opposed.
Next, when the fork is lowered to a fixed position, the glass substrate G is transferred from the fork side to the load port 4 on the delivery side.
[0021]
After the glass substrate G is thus transferred to the load port 4 on the delivery side, the fork 32 is turned to the standby position and stopped. By repeating this operation, the glass substrates G can be sequentially positioned and transferred from the unload port conveyor 1 to the load port 4 side.
[0022]
In addition, after lowering the glass substrate G onto the conveyor 1, the glass substrate G is driven by driving positioning cylinders 25 and 25 as supporting table returning means for returning the supporting table 21 provided in the positioning device 2 to the reference position. The support 21 that has been displaced by positioning is returned to a predetermined reference position while the support 21 is lifted by the air pressure ejected from the air bearing 23.
[0023]
As mentioned above, although the positioning apparatus of the thin article of this invention was demonstrated based on the Example, this invention is not limited to the structure described in the said Example, The structure suitably in the range which does not deviate from the meaning. Can be changed.
[0024]
【The invention's effect】
According to the apparatus for positioning a thin article according to the present invention, the air pressure that is carried in from one apparatus and supports the thin article located on the conveyor by raising the support base through the lifting device, and is injected from the air bearing. By positioning the thin plate article together with the support stand in the direction perpendicular to the transfer direction of the thin plate article by the conveyor with the support stand while lifting the support stand at the sheet article supported on the conveyor, by unloading the positioned thin plate article to the other device, it can be transferred while positioning the sheet articles quickly and accurately.
In particular, since the thin plate article is positioned together with the support base while the support base is lifted by air pressure, the frictional force is eliminated by the floating, and the large thin plate article can be positioned with little force without breaking. can do.
Further, after carrying out the thin plate article to the other device, the support stand returning means comprising a positioning cylinder is used to return the support stand at a position shifted from the original reference position to the reference position by positioning the thin plate article. be able to.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 shows an embodiment of a positioning apparatus for a thin article according to the present invention, in which (A) shows a state where a glass substrate is stopped at the position of the positioning apparatus, (B) shows a glass substrate being lifted by the positioning apparatus; Each positioned state is shown.
FIG. 2 is an external perspective view showing a conveyor and a transfer device of an unload port.
[Explanation of symbols]
G Glass substrate (thin plate product)
1 Conveyor
2 Positioning device 21 Support base 22 Lifting device 23 Air bearing 24 Positioning cylinder (positioning stopper)
25 Positioning cylinder (support stand return means)
3 Transfer device 31 Transfer device body 32 Fork 4 Load port on delivery side

Claims (1)

ガラス基板からなる薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移載装置を介して移送する場合における薄板物品の位置決め装置において、薄板物品を一方の装置から他方の装置へ移送するコンベアと、一方の装置から搬入され、コンベア上に位置する薄板物品を昇降装置を介して上昇させることにより支持し、昇降装置を介して降下させることによりコンベア上に支持させるようにする支持台と、薄板物品を支持した支持台をエアー圧にて浮上させるエアーベアリングと、エアー圧にて浮上している支持台に支持されている薄板物品のコンベアによる薄板物品の移送方向に対して直角方向の位置決めを行うコンベアの幅方向に対向して配設した位置決めストッパと、薄板物品の位置決めによって当初の基準位置からずれた位置にある支持台を基準位置に復帰させる支持台復帰手段としての位置決めシリンダとからなることを特徴とする薄板物品の位置決め装置。In a thin article positioning apparatus in which a thin article made of a glass substrate is transferred from one apparatus to another apparatus via a transfer apparatus, a conveyor for transferring the thin article from one apparatus to the other apparatus, is carried from the apparatus, the sheet articles located on the conveyor, the support base is supported by increasing through the lifting device, so as to be supported on a conveyor by lowering through the lifting device, a sheet article An air bearing that floats the supported support table with air pressure, and a conveyor that performs positioning in a direction perpendicular to the transport direction of the thin product article supported by the support of the thin product article supported by the support table that is levitated with air pressure. a positioning stopper which is disposed to face the widthwise, the support base at a position deviated from the original reference position by the positioning of the thin plate article Positioning device of the sheet article, characterized by comprising a positioning cylinder as support table returning means for returning to the reference position.
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