JP3962980B2 - Piezoelectric vibrator - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水晶などの圧電性材料からなる圧電振動片を有する圧電振動子に係り、特に圧電振動片の中央の励振部が周縁部より薄肉化してあるいわゆる逆メサ型振動片を用いた圧電振動子に関する。
【0002】
【従来の技術】
圧電振動子として水晶からなる圧電振動片を用いたものが広く使用されている。特に、水晶をATカットしたATカット水晶振動子は、高い周波数の発振が可能であるとともに、周波数の安定性が優れているところから、各種の電子装置などに使用されている。
【0003】
水晶振動子は、水晶振動片の厚さが周波数特性に大きく影響し、振動片が薄ければ薄いほど高周波を発振する振動子が得られ、厚さが10μm程度の振動片の振動子も開発されている。このような厚さの薄い振動片は、非常に破損しやすく取り扱いが容易でない。このため、ATカット水晶振動子の振動片は、0.1mm程度の厚さを有する水晶ウエハを矩形に区画し、その両面の中央部をエッチングして10μm程度に薄肉化して励振部とし、励振部の周囲に厚肉の縁部を設けて取り扱いを容易にしている。図8は、このような従来のATカット水晶振動子の一例であって、蓋を取り外した状態の説明図である。
【0004】
図8において、圧電振動子10は、圧電材料である水晶をATカットして形成した圧電振動片12がパッケージ容器14の内部に配置してある。圧電振動片12は、矩形状に形成してあって、中央部が両面からエッチング(いわゆるハーフエッチング)されて、10μm程度の厚さに薄肉化された励振部16となっている。そして、励振部16の周囲が厚肉の縁部18となっている。
【0005】
また、圧電振動片12は、長手方向の一側に縁部18と一体の支持部20を有する。この支持部20は、圧電振動片12の幅方向両側がマウント部となっていて、マウント部の両面に接続電極22(22a、22b)が形成してある。そして、表面側の接続電極22は、裏側の対応位置に形成した接続電極(図示せず)と電気的に接続してあって、裏側の接続電極が導電性接着剤24を介してケーシング容器14の底板基板26に設けた電極部28(28a、28b)に接合してある。
【0006】
なお、支持部20には、圧電振動片12の幅方向中央部の端面に折取り残部29が突出している。この折取り残部29は、図示しない水晶ウエハを圧電振動片12に加工する際のウエハとの接続部となっていて、圧電振動片12をウエハから切り離すために折ったときに、圧電振動片12側に残ったものである。
【0007】
一方、励振部16の上下両面中央部には、励振電極29 ( 29a、29b)が配設してある。表側(上側)の励振電極29bは、圧電振動片12の表側に設けた配線部30bを介して接続電極22bに接続してある。また、裏側の励振電極29aは、圧電振動片12の裏側に形成した配線部30aを介して接続電極22aに接続してある。そして、これらの配線部30(30a、30b)は、L字状に形成してあって、一部が縁部18を通るようになっている。これは、次の理由による。
【0008】
ATカットした水晶からなる圧電振動片12は、結晶構造が非対称であるため、ハーフエッチングすると、図8(2)に示したように、長手方向に沿った辺の一方が斜めにエッチングされ、励振部16と縁部18との境界部に傾斜面32が形成され、他方の辺がほぼ垂直にエッチングされてほぼ垂直な段差34が形成される。このため、励振電極29や接続電極22、配線部30をスパッタリングなどによって形成した場合、段差34が形成された縁部18の角部36に金属膜を充分につけることができず、断線を生じ易い。特に、配線部30は、幅が狭いために断線の危険がある。このため、配線部30の一部を縁部18の上に形成し、傾斜面32を介して励振電極29に接続するようにしている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
図8に示したような圧電振動子10は、各種の電子機器に搭載されているが、これら電子機器の小型化、高性能化に伴って、圧電振動子10に対する小型化の要求も非常に強くなっており、その要求に応えるように多くの努力が払われている。
【0010】
ところで、上記したように、従来のATカット水晶振動子においては、励振電極29と接続電極22とを電気的に接続する配線部30が傾斜面32に形成されるように、一部が縁部18の上に設けられていた。このため、縁部18は、配線部30を形成できるだけの幅が必要であって、従来0.3mm程度以上の幅を有しおり、圧電振動子10の小型化を図る上での障害の1つとなっている。また、従来の圧電振動片12は、圧電振動片12をパッケージ容器14の電極部28に接合するマウント部を設けるために、圧電振動片12の長手方向一側に縁部18と一体の支持部20を形成しており、その分、圧電振動片12が大型化する。しかも、ウエハの上下の面を間違えて加工を行なうと、同図(3)に示したように、励振電極29と接続電極22とを接続する配線部30が段差34に形成されることになる。このため、配線部30が角部36において断線し、圧電振動子10の動作不良を生ずることがある。
【0011】
本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、小型化を図ることを目的としている。
また、本発明は、ウエハの面を間違えて加工したとしても、断線などが生じにくく、信頼性の向上を図ることを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明に係る圧電振動子は、中央の励振部が周縁部より薄肉化してある圧電振動片と、前記励振部の両面のそれぞれに設けた励振電極部と、前記励振電極部に電気的に接続されるとともに、導電性接着剤を介して基板に設けた電極部に接合される一対の接続電極部と、を有する圧電振動子であって、前記一対の接続電極部は、前記圧電振動片の同一辺部に、この辺部の厚肉の周縁部と薄肉の前記励振部および両者の境界部の傾斜面を含んで形成されるとともに、前記励振部に形成した配線部を介して前記励振電極部に接続してあり、前記振動片は、前記一対の接続電極部間に、前記接続電極部より厚い厚肉仕切り部を、を有することを特徴としている。
【0013】
このようになっている本発明は、基板の電極部に接合する圧電振動片の接続電極部を、厚肉縁部から薄肉の励振部にわたって形成したことにより、厚肉縁部と一体の支持部を省略することができ、圧電振動片の小型化が図れて圧電振動子を小型にすることができる。また、接続電極部の一部が励振部に形成されるため、励振部に設ける励振電極と接続電極とを電気的に接続する配線部を励振部に形成でき、配線部を厚肉縁部に形成する必要がなく、厚肉縁部の幅を小さくすることができて、圧電振動子を小型にすることが可能であるとともに、ウエハの面を間違えて加工したとしても、配線部が断線するようなおそれがなく、信頼性を向上することができる。
【0014】
接続電極部は、圧電振動片の、前記厚肉縁部と前記励振部との境界部に傾斜面を有する辺に形成するとよい。傾斜面のある辺に接続電極部を形成することにより、接続電極部を形成する金属膜を切断させることなく確実に形成することができ、導通が得られずに発振しないなどの不良の発生を低減することができる。
【0015】
また、接続電極部は圧電振動片の一辺の両端部に設けるとともに、圧電振動片に、一対の接続電極部間に厚肉仕切部を設けるとよい。このように、接続電極部間に厚肉仕切部を設けることにより、接続電極部を導電性接着剤によって基板の端子部に接合したときに、一方の接続電極部を接合する導電性接着剤が他方の接続電極部側に流れるのを阻止することができ、接続電極部を基板の電極部に接合する際の、接続電極部間の短絡を防止することができる。
【0017】
圧電振動片は、接続電極部を形成した辺と対向する辺を基板に接合材を介して接合するとよい。圧電振動子は、近年、携帯機器に搭載されるようになっており、携帯機器が取り落とされたときにも破損しないように、耐衝撃性の要求も厳しくなっている。従って、圧電振動片の両端を接合することにより耐衝撃性が向上し、携帯機器が取り落とされた場合であっても、圧電振動片の接続電極部が基板から剥離するのを防止することができる。この場合、圧電振動片は、接続電極部を形成した辺と対向する辺の基板と接合する部分の色を基板の地の色と変えることにより、この接合する部分の位置を画像処理などによって容易に認識することが可能で、自動塗布機によって接合材を接合部分に塗布することができる
【0020】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態に係る圧電振動子の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
【0021】
図1は、本発明の第1実施の形態に係る圧電振動子であるATカット水晶振動子のパッケージ蓋部を省略した説明図であって、(1)は平面図、(2)は(1)のB−B線に沿った断面図、(3)は(1)のC−C線に沿った圧電振動片の断面図である。
【0022】
図1において、圧電振動子40は、圧電材料である水晶をATカットして得た矩形状の圧電振動片42と、この圧電振動片42を収納するパッケージ容器44とを有している。圧電振動片42は、中央部が両面側からハーフエッチングされて10μm程度に薄肉化された励振部46となっている。また、圧電振動片42は、励振部46の周囲が厚さ0.1mm程度、幅0.1mm程度の厚肉縁部48となっていて、薄肉の励振部46を有する圧電振動片42の剛性を高め、取り扱いの容易化が図られている。そして、ATカットされた水晶の圧電振動片42は、両面側からハーフエッチングすると、結晶構造が非対称であるため、2つの短辺と1つの長辺との3辺において励振部46と厚肉縁部48との境界部に傾斜面50が形成され、他の1つの長辺にほぼ垂直の段差52が励振部46と肉厚縁部48との境界部に形成される(図1(2)、(3)参照)。このため、圧電振動片42は、段差52を有する辺が短辺とならないように矩形状に形成してある。
【0023】
圧電振動片42は、一方の短辺54の両端部に接続電極部56(56a、56b)を有している。この実施形態に係る圧電振動片42は、従来の支持部が省略された形状となっていて、接続電極部56がマウント部となっており、厚肉縁部48から薄肉の励振部46にわたってほほ矩形状に形成してある。これらの接続電極部56は、スパッタリングなどによって形成され、同図(2)、(3)に示したように、圧電振動片42の側端面58を覆って上面と下面とに対称に設けてある。そして、接続電極部56を設けた辺54には、圧電振動片42を図示しない水晶ウエハから切り離した際の折取り残部53が側端面から突出している。
【0024】
圧電振動片42は、励振部46に励振電極部60(60a、60b)が設けてある。この励振電極部60は、励振部46に励振電圧を印加するためのもので、接続電極部56に電気的に接続してある。すなわち、一方の接続電極56aは、圧電振動片42の下側面において配線部62aを介して下面の励振電極部60aに電気的に接続してある。また、他方の接続電極部56bは、圧電振動片42の上面において配線部62bを介して上面に設けた励振電極部60bに電気的に接続してある。そして、各接続電極部56は、パッケージ容器44に設けた電極部64(64a、64b)に電気的に接続してある。
【0025】
パッケージ容器44は、シート状のセラミックを積層して形成してあり、圧電振動片42を収納可能な収納空間66を有する箱状をなしている。また、パッケージ容器44は、底板である基板68の一方の短辺両端部に、接続電極部56に対応して電極部64(64a、64b)が設けてある。そして、各電極部64には、導電性接着剤70を介して圧電振動片42の接続電極部56が接合してある。従って、パッケージ容器44の電極部64と、圧電振動片42の接続電極部56とは導電性接着剤70を介して電気的に接続される。
【0026】
導電性接着剤70は、実施形態の場合、圧電振動片42を基板68に剛接することによる圧電振動片42の周波数温度特性の変化を防ぐために、シリコーンを主成分としたものを用いている。しかし、導電性接着剤70は、ゴム状弾性を示すゴム系やウレタン系などのエラストマを主成分としたものであってもよい。
【0027】
このように、第1実施形態に係る圧電振動子40は、接続電極部56を厚肉縁部48から励振部46にわたって形成し、この接続電極部56をエラストマからなる導電性接着剤70によって基板68の電極部64に接合したことにより、従来必要としていた、圧電振動片の一側に形成したマウント部を形成するための支持部を省略することができ、圧電振動片42の長さ寸法、パッケージ容器44の長さ寸を小さくすることができる。また、実施形態の圧電振動子40は、接続電極部56と励振電極部60とを電気的に接続する配線部62を励振部46に形成したことにより、配線部を厚肉縁部48に形成する必要がないため、厚肉縁部48の幅寸法を0.1mm程度とすることが可能で、パッケージ容器44の幅寸法も小さくでき、圧電振動子40の小型化を図ることができる。
【0028】
しかも、圧電振動子40は、厚肉縁部48から励振部46にわたって形成した接続電極部56が圧電振動片42の傾斜面50を有する辺54に形成してあるため、スパッタリングなどによって金属膜を成膜して接続電極部56を形成する際に、エッジ部(角部)における金属膜の付きが悪くて電気的接続が充分でないような事態を避けることができ、圧電振動子40の信頼性を向上することができる。さらに、ウエハの上下面を間違えて形成した場合であっても、図2に示したように、接続電極部56が段差52を有する辺に形成されることがなく、励振電極60を電極部64に確実に電気的に接続することができる。
【0029】
図3は、本発明の第2実施形態の説明図であって、(1)はパッケージ蓋を省略した平面図、(2)は(1)のD−D線に沿った断面図である。この第2実施形態に係る圧電振動子80は、圧電振動片42の一方の短辺54の両端部に接続電極部56が設けてある。また、パッケージ容器44の基板68には、圧電振動片42の一対の接続電極部56を設けた辺54と対向する辺72の中央部と対応した位置に、接合台座74が形成してある。そして、圧電振動片42は、辺72の中央下部が接合部76となっていて、この接合部76が接合材78によって基板68に設けた接合台座74に接合してある。
【0030】
接合台座74は、実施形態の場合、電極部64などと同様に金属膜によって形成してあって、パッケージ容器44の色と異ならせてあり、電極部64などと同時に形成され、いわゆるダミー電極となっている。そして、接合材78は、エラストマからなる通常の接着剤や導電性接着剤であってよい。
【0031】
このように形成した第2実施形態の圧電振動子80は、圧電振動片42が接続電極部56ばかりでなく、接側電極部56を設けた辺54と対向する辺72も基板68に接合してあるため、耐衝撃性に非常に優れており、例えば携帯電話などの携帯電子機器に搭載された場合に、携帯電子機器が取り落とされたときであっても、圧電振動片42の接続電極部56がパッケージ容器44の電極部64から剥離するなどの事故を防ぐことができる。
【0032】
また、圧電振動子80は、接合部76が基板68に設けた接合台座74に接合してあるため、圧電振動片42を基板68に対して容易に平行に配置することができる。しかも、接合台座74は、パッケージ容器44の色と異なる金属によって形成してあるため、画像処理装置などによって接合台座74を容易に認識することが可能で、自動塗布装置によって接合台座74に接合材78を容易に塗布することができる。
【0033】
図4は、本発明の第3実施形態の説明図であって、(1)はパッケージ蓋を省略した平面図、(2)は(1)のE−E線に沿った断面図である。この実施形態の圧電振動子90は、圧電振動片92が前記実施形態と異なっている。すなわち、第3実施形態に係る圧電振動片92は、一対の接続電極部56を形成した辺54に厚肉仕切部94が上下の両面に形成してある。厚肉仕切部94は、一対の接続電極部56の間において、厚肉縁部48と一体に励振電極60側に延在させて形成してある。他の構成は、第2実施形態と同様である。
【0034】
このようになっている第3実施形態に係る圧電振動子90は、接続電極部56a、56b間に厚肉仕切部94が存在しているため、マウント部である接続電極部56を導電性接着剤70によってパッケージ容器44の電極部64に接合する際に、一方の接続電極部56、例えば接続電極部56aを接合する導電性接着剤70が他方の接続電極部56b側に流れ、接続電極部56a、56bが導電接着剤70によって短絡するような不具合をなくすことができる。
【0035】
図5は、第4実施形態の説明図である。この第4実施形態の圧電振動子100は、圧電振動片102の辺54に一対の接続電極部56が設けてあるとともに、これらの接続電極部56の間に厚肉仕切部94が形成してある。また、この厚肉仕切部94を設けた辺54の厚肉縁部48に対応する部分には、凹部104が形成してある。この凹部104の底部には、圧電振動片102をウエハから切り離すための折取り部である折取り残部106が位置している。そして、折取り部(折取り残部106)は、圧電振動片102を水晶ウエハから切り離した際に、折取り残部106の先端が辺54、すなわち厚肉縁部48の側端面より内側に位置するように設定してある。このように、折取り残部106が辺54より突出しないようにしたことにより、圧電振動片102とパッケージ容器44との間の間隙、すなわち収納空間66を小さくすることができ、圧電振動子100の小型化を図ることができる。
【0036】
図6は、第5実施形態の説明図であって、(1)はパッケージ蓋を省略した平面図、(2)は(1)のF−F線に沿った断面図である。この実施形態の圧電振動子110は、圧電振動片102の上面側に形成されている接続電極部56の上にも第2の導電性接着剤112が塗布してある。この上面側の第2導電性接着剤112は、圧電振動片102の下面側の導電接着剤70と同様なゴム状弾性を有する物が用いられ、導電接着剤70と接続されて一体となっている。
【0037】
このように、第2の導電性接着剤112を接続電極部56の上にも塗布して下側の導電性接着剤70と一体化したことにより、接続電極部56とパッケージ容器44の電極部64との電気的接続をより確実なものにすることができ、信頼性の向上を図ることができる。
【0038】
図7は、第6実施形態のパッケージ蓋を省略した平面図である。第6実施形態の圧電振動子120は、パッケージ容器122の底板である基板124の一方の短辺126の両端部に電極部64が形成してある。また、短辺126に対向した短辺128の両端部にも、電極部64と同様の電極部130が設けてある。そして、圧電振動片132の励振部46の中央部には、励振電極部134(134a、134b)が形成してある。また、圧電振動片132の対向する両短辺部には、これらの短辺の全長にわたって接続電極部136(136a、136b)が帯状に設けてある。
【0039】
一方の接続電極部136aは、圧電振動片132の下側面において、台形状の配線部138aを介して励振電極部134aに電気的に接続してあるとともに、導電性接着剤70を介してパッケージ容器122の一方の電極部130に接合してある。また、他方の接続電極部136bは、圧電振動片132の上面側において、台形状の配線部138bを介して励振電極部134bに電気的に接続してあるとともに、導電性接着剤70を介してパッケージ容器122の他方の電極部64に接合してある。
【0040】
このように形成した第6実施形態の圧電振動子120は、基板124に配線部の引き回しを必要としない。すなわち、圧電振動子は、通常、パッケージ容器の長手方向両側の下面に外部電極が形成してある。従って、第6実施形態の圧電振動子120においては、一方の電極部130がパッケージ容器122の下面の一方の外部電極に接続され、他方の電極部64がパッケージ容器122の下面の他方の外部電極に接続されるため、基板124に配線を形成する必要がない。このため、圧電振動子120は、基板に配線を形成することによる寄生容量をなくすことができ、電子機器に搭載する際に実装の方向性が問題となるようなことがない。なお、圧電振動子120においても、圧電振動片132の電極部64、130と接合した部分と対応した上面に第2の導電性接着剤を塗布し、これを導電性接着剤70と一体化させてもよい。
【0041】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、圧電振動片の接続電極部を厚肉縁部から励振部にわたって形成し、これを基板の電極部に接合するようにしたことにより、圧電振動片を小さくすることができ、圧電振動子を小型化できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施形態に係る圧電振動子の説明図であって、(1)はパッケージ蓋を省略した平面図、(2)は(1)のB−b線に沿った断面図、(3)は(1)のC−C線に沿った圧電振動片の断面図である。
【図2】 第1実施形態の圧電振動片の上下の面が逆になった状態の説明図である。
【図3】 本発明の第2実施形態の説明図であって、(1)はパッケージ蓋を省略した平面図、(2)は(1)のD−D線に沿った断面図である。
【図4】 本発明の第3実施形態の説明図であって、(1)はパッケージ蓋を省略した平面図、(2)は(1)のE−E線に沿った断面図である。
【図5】 本発明の第4実施形態に係る圧電振動子のパッケージ蓋を省略した平面図である。
【図6】 本発明の第5実施形態に係る圧電振動子の説明図であって、(1)はパッケージ蓋を省略した平面図、(2)は(1)のF−F線に沿った断面図である。
【図7】 本発明の第6実施形態に係る圧電振動子のパッケージ蓋を省略した平面図である。
【図8】 従来の圧電振動子の説明図である。
【符号の説明】
40、80、90、100、110、120………圧電振動子、42、92、102、132………圧電振動片、44、122………パッケージ容器、46………励振部、48………厚肉縁部、50………傾斜面、53、106………折取り残部、56a、56b、136a、136b………接続電極部、60a、60b、134a134b………励振電極部、64a、64b、130a、130b………電極部、68………基板、70………導電性接着剤、74………接合台座、78………接合材、94………厚肉仕切部。[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a piezoelectric vibrator having a piezoelectric vibrating piece made of a piezoelectric material such as quartz, and in particular, a piezoelectric element using a so-called reverse mesa type vibrating piece in which a central excitation part of the piezoelectric vibrating piece is thinner than a peripheral part. It relates to the vibrator.
[0002]
[Prior art]
A piezoelectric vibrator using a piezoelectric vibrating piece made of quartz is widely used. In particular, AT-cut quartz resonators obtained by AT-cutting quartz are used in various electronic devices because they can oscillate at a high frequency and have excellent frequency stability.
[0003]
In the crystal resonator, the thickness of the crystal resonator element has a great influence on the frequency characteristics. The thinner the resonator element, the more the oscillator that oscillates at a high frequency can be obtained. Has been. Such a thin vibrating piece is very easy to break and is not easy to handle. For this reason, the vibration piece of the AT-cut quartz crystal resonator is formed by dividing a quartz crystal wafer having a thickness of about 0.1 mm into rectangles and etching the central portions of both surfaces to reduce the thickness to about 10 μm to form an excitation unit. A thick edge is provided around the part to facilitate handling. FIG. 8 is an example of such a conventional AT-cut quartz crystal resonator, and is an explanatory diagram in a state where a lid is removed.
[0004]
In FIG. 8, the
[0005]
In addition, the piezoelectric vibrating
[0006]
In the
[0007]
On the other hand, excitation electrodes 29 ( 29a, 29b ) are disposed at the center of the upper and lower surfaces of the
[0008]
Since the piezoelectric vibrating
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
The
[0010]
By the way, as described above, in the conventional AT-cut crystal resonator, a part of the edge portion is formed such that the wiring portion 30 that electrically connects the
[0011]
The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, and aims to reduce the size.
Another object of the present invention is to improve reliability by preventing disconnection and the like even if the wafer surface is processed by mistake.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a piezoelectric vibrator according to the present invention includes a piezoelectric vibrating piece in which a central excitation part is thinner than a peripheral part, excitation electrode parts provided on both surfaces of the excitation part, A piezoelectric vibrator having a pair of connection electrode portions electrically connected to the excitation electrode portion and bonded to an electrode portion provided on a substrate via a conductive adhesive, wherein the pair of connections The electrode portion is formed on the same side portion of the piezoelectric vibrating piece, including the thick peripheral portion of the side portion, the thin excitation portion, and the inclined surface of the boundary portion therebetween, and is formed on the excitation portion. It is connected to the excitation electrode part via a wiring part, and the vibration piece has a thick partition part thicker than the connection electrode part between the pair of connection electrode parts.
[0013]
In the present invention thus configured, the connecting electrode portion of the piezoelectric vibrating piece to be joined to the electrode portion of the substrate is formed from the thick edge portion to the thin excitation portion, so that the support portion integral with the thick edge portion is formed. The piezoelectric resonator element can be reduced in size and the piezoelectric vibrator can be reduced in size. In addition, since a part of the connection electrode part is formed on the excitation part, a wiring part that electrically connects the excitation electrode provided on the excitation part and the connection electrode can be formed on the excitation part, and the wiring part is formed on the thick edge. There is no need to form it, the width of the thick edge can be reduced, the piezoelectric vibrator can be miniaturized, and even if the wafer surface is processed incorrectly, the wiring portion is disconnected. There is no fear of this, and the reliability can be improved.
[0014]
The connection electrode portion may be formed on a side of the piezoelectric vibrating piece having an inclined surface at a boundary portion between the thick edge portion and the excitation portion. By forming the connection electrode part on the side with the inclined surface, the metal film forming the connection electrode part can be reliably formed without cutting, and the occurrence of defects such as no conduction and no oscillation. Can be reduced.
[0015]
The connection electrode portions may be provided at both end portions of one side of the piezoelectric vibrating piece, and a thick partition portion may be provided between the pair of connection electrode portions on the piezoelectric vibrating piece. Thus, by providing the thick partition between the connection electrode parts, when the connection electrode part is joined to the terminal part of the substrate by the conductive adhesive, the conductive adhesive for joining one connection electrode part is It can prevent flowing to the other connection electrode part side, and can prevent a short circuit between the connection electrode parts when joining the connection electrode part to the electrode part of the substrate.
[0017]
The piezoelectric vibrating piece may be bonded to the substrate via a bonding material at a side facing the side where the connection electrode portion is formed. In recent years, the piezoelectric vibrator has been mounted on a portable device, and the demand for impact resistance has become strict so that the piezoelectric vibrator is not damaged when the portable device is removed. Therefore, by joining both ends of the piezoelectric vibrating piece, the impact resistance is improved, and even when the portable device is removed, it is possible to prevent the connection electrode portion of the piezoelectric vibrating piece from peeling off from the substrate. it can. In this case, the piezoelectric vibrating piece can be easily positioned by image processing or the like by changing the color of the portion to be bonded to the substrate on the side opposite to the side on which the connection electrode portion is formed to the color of the substrate ground. The bonding material can be applied to the bonded portion by an automatic application machine.
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Preferred embodiments of a piezoelectric vibrator according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0021]
FIG. 1 is an explanatory diagram in which a package lid portion of an AT-cut crystal resonator which is a piezoelectric resonator according to a first embodiment of the present invention is omitted, where (1) is a plan view and (2) is (1) ) Is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 3, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the piezoelectric vibrating piece taken along the line CC of FIG.
[0022]
In FIG. 1, the
[0023]
The piezoelectric vibrating
[0024]
In the piezoelectric vibrating
[0025]
The
[0026]
In the embodiment, the
[0027]
As described above, in the
[0028]
Moreover, in the
[0029]
FIG. 3 is an explanatory view of a second embodiment of the present invention, in which (1) is a plan view with the package lid omitted, and (2) is a cross-sectional view taken along the line DD in (1). In the
[0030]
In the case of the embodiment, the joining
[0031]
In the
[0032]
In addition, since the
[0033]
4A and 4B are explanatory views of a third embodiment of the present invention, in which FIG. 4A is a plan view in which a package lid is omitted, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line EE in FIG. The
[0034]
In the
[0035]
FIG. 5 is an explanatory diagram of the fourth embodiment. In the
[0036]
6A and 6B are explanatory views of the fifth embodiment, wherein FIG. 6A is a plan view in which the package lid is omitted, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. In the
[0037]
In this way, the second
[0038]
FIG. 7 is a plan view in which the package lid of the sixth embodiment is omitted. In the
[0039]
One
[0040]
The
[0041]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the connection electrode portion of the piezoelectric vibrating piece is formed from the thick edge portion to the excitation portion, and this is joined to the electrode portion of the substrate. The piezoelectric vibrator can be reduced in size.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of a piezoelectric vibrator according to a first embodiment of the present invention, where (1) is a plan view with a package lid omitted, and (2) is along the line BB in (1). Sectional drawing (3) is a sectional view of the piezoelectric vibrating reed along the line CC in (1).
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state where the upper and lower surfaces of the piezoelectric vibrating piece of the first embodiment are reversed.
FIGS. 3A and 3B are explanatory views of a second embodiment of the present invention, wherein FIG. 3A is a plan view in which a package lid is omitted, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line DD in FIG.
FIGS. 4A and 4B are explanatory views of a third embodiment of the present invention, in which FIG. 4A is a plan view in which a package lid is omitted, and FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line EE in FIG.
FIG. 5 is a plan view in which a package lid of a piezoelectric vibrator according to a fourth embodiment of the present invention is omitted.
6A and 6B are explanatory views of a piezoelectric vibrator according to a fifth embodiment of the present invention, in which FIG. 6A is a plan view in which a package lid is omitted, and FIG. 6B is along the FF line of FIG. It is sectional drawing.
FIG. 7 is a plan view in which a package lid of a piezoelectric vibrator according to a sixth embodiment of the present invention is omitted.
FIG. 8 is an explanatory diagram of a conventional piezoelectric vibrator.
[Explanation of symbols]
40, 80, 90, 100, 110, 120 ......... piezoelectric vibrator, 42, 92, 102, 132 ......... piezoelectric vibrating piece, 44, 122 ......... package container, 46 ... excitation unit, 48 ... ...... Thick edge part, 50 ......... Inclined surface, 53, 106 ......... Remaining part, 56a, 56b, 136a, 136b ......... Connection electrode part, 60a, 60b, 134a134b ... Excitation electrode part, 64a, 64b, 130a, 130b ......... Electrode part, 68 ......... Substrate, 70 ......... Conductive adhesive, 74 ......... Junction base, 78 ......... Joint material, 94 ......... Thick partition .
Claims (3)
前記励振部の両面のそれぞれに設けた励振電極部と、
前記励振電極部に電気的に接続されるとともに、導電性接着剤を介して基板に設けた電極部に接合される一対の接続電極部と、
を有する圧電振動子であって、
前記一対の接続電極部は、前記圧電振動片の同一辺部に、この辺部の厚肉の周縁部と薄肉の前記励振部および両者の境界部の傾斜面を含んで形成されるとともに、前記励振部に形成した配線部を介して前記励振電極部に接続してあり、
前記振動片は、前記一対の接続電極部間に、前記接続電極部より厚い厚肉仕切り部を、
を有することを特徴とする圧電振動子。A piezoelectric vibrating piece in which the central excitation part is thinner than the peripheral part;
Excitation electrode portions provided on both surfaces of the excitation portion;
A pair of connection electrode parts that are electrically connected to the excitation electrode part and bonded to an electrode part provided on the substrate via a conductive adhesive,
A piezoelectric vibrator having
The pair of connection electrode portions are formed on the same side portion of the piezoelectric vibrating piece, including the thick peripheral portion of the side portion, the thin excitation portion, and the inclined surface of the boundary portion therebetween, and the excitation Connected to the excitation electrode part via a wiring part formed in the part,
The vibrating piece includes a thick partition part thicker than the connection electrode part between the pair of connection electrode parts.
A piezoelectric vibrator characterized by comprising:
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