JP2003152496A - Piezoelectric vibrator - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、水晶などの圧電性
材料からなる圧電振動片を有する圧電振動子に係り、特
に圧電振動片の中央の励振部が周縁部より薄肉化してあ
るいわゆる逆メサ型振動片を用いた圧電振動子に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric vibrator having a piezoelectric vibrating piece made of a piezoelectric material such as quartz, and more particularly to a so-called reverse mesa in which the central excitation portion of the piezoelectric vibrating piece is thinner than the peripheral edge portion. The present invention relates to a piezoelectric vibrator using a vibrating element.
【０００２】[0002]
【従来の技術】圧電振動子として水晶からなる圧電振動
片を用いたものが広く使用されている。特に、水晶をＡ
ＴカットしたＡＴカット水晶振動子は、高い周波数の発
振が可能であるとともに、周波数の安定性が優れている
ところから、各種の電子装置などに使用されている。2. Description of the Related Art A piezoelectric vibrator using a piezoelectric vibrating reed made of quartz is widely used. In particular, crystal A
The T-cut AT-cut crystal unit is used in various electronic devices because it can oscillate at a high frequency and has excellent frequency stability.
【０００３】水晶振動子は、水晶振動片の厚さが周波数
特性に大きく影響し、振動片が薄ければ薄いほど高周波
を発振する振動子が得られ、厚さが１０μｍ程度の振動
片の振動子も開発されている。このような厚さの薄い振
動片は、非常に破損しやすく取り扱いが容易でない。こ
のため、ＡＴカット水晶振動子の振動片は、０．１ｍｍ
程度の厚さを有する水晶ウエハを矩形に区画し、その両
面の中央部をエッチングして１０μｍ程度に薄肉化して
励振部とし、励振部の周囲に厚肉の縁部を設けて取り扱
いを容易にしている。図８は、このような従来のＡＴカ
ット水晶振動子の一例であって、蓋を取り外した状態の
説明図である。In the crystal resonator, the thickness of the crystal vibrating piece has a great influence on the frequency characteristics, and the thinner the vibrating piece is, the more vibrating the oscillator is, and the vibration of the vibrating piece having a thickness of about 10 μm is obtained. The child is also being developed. The vibrating reed having such a thin thickness is very easily damaged and is not easy to handle. Therefore, the vibrating element of the AT-cut crystal unit is 0.1 mm.
A quartz wafer having a certain thickness is divided into rectangles, and the central portions of both surfaces thereof are etched to reduce the thickness to about 10 μm to form an exciting portion, and a thick edge portion is provided around the exciting portion to facilitate handling. ing. FIG. 8 is an example of such a conventional AT-cut crystal resonator, and is an explanatory view with a lid removed.
【０００４】図８において、圧電振動子１０は、圧電材
料である水晶をＡＴカットして形成した圧電振動片１２
がパッケージ容器１４の内部に配置してある。圧電振動
片１２は、矩形状に形成してあって、中央部が両面から
エッチング(いわゆるハーフエッチング)されて、１０μ
ｍ程度の厚さに薄肉化された励振部１６となっている。
そして、励振部１６の周囲が厚肉の縁部１８となってい
る。In FIG. 8, a piezoelectric vibrator 10 is a piezoelectric vibrating reed 12 formed by AT-cutting quartz, which is a piezoelectric material.
Are arranged inside the package container 14. The piezoelectric vibrating piece 12 is formed in a rectangular shape, and the central portion is etched from both sides (so-called half etching),
The excitation section 16 is thinned to a thickness of about m.
The periphery of the excitation part 16 is a thick edge part 18.
【０００５】また、圧電振動片１２は、長手方向の一側
に縁部１８と一体の支持部２０を有する。この支持部２
０は、圧電振動片１２の幅方向両側がマウント部となっ
ていて、マウント部の両面に接続電極２２（２２ａ、２
２ｂ）が形成してある。そして、表面側の接続電極２２
は、裏側の対応位置に形成した接続電極(図示せず)と電
気的に接続してあって、裏側の接続電極が導電性接着剤
２４を介してケーシング容器１４の底板基板２６に設け
た電極部２８(２８ａ、２８ｂ)に接合してある。Further, the piezoelectric vibrating reed 12 has a supporting portion 20 integrated with the edge portion 18 on one side in the longitudinal direction. This support 2
0 indicates that the piezoelectric vibrating reed 12 is mounted on both sides in the width direction, and the connection electrodes 22 (22a, 2a, 2a) are formed on both sides of the mount.
2b) has been formed. And the connection electrode 22 on the front surface side
Is an electrode electrically connected to a connection electrode (not shown) formed at a corresponding position on the back side, and the connection electrode on the back side is provided on the bottom plate substrate 26 of the casing container 14 via the conductive adhesive 24. It is joined to the portion 28 (28a, 28b).
【０００６】なお、支持部２０には、圧電振動片１２の
幅方向中央部の端面に折取り残部２９が突出している。
この折取り残部２９は、図示しない水晶ウエハを圧電振
動片１２に加工する際のウエハとの接続部となってい
て、圧電振動片１２をウエハから切り離すために折った
ときに、圧電振動片１２側に残ったものである。The supporting portion 20 has an unfolded portion 29 protruding from the end face of the piezoelectric vibrating reed 12 at the center in the width direction.
The unfolded portion 29 serves as a connection portion with a wafer when a crystal wafer (not shown) is processed into the piezoelectric vibrating piece 12, and when the piezoelectric vibrating piece 12 is folded to separate it from the wafer, the piezoelectric vibrating piece 12 is not formed. It remains on the side.
【０００７】一方、励振部１６の上下両面中央部には、
励振電極２８(２８ａ、２８ｂ)が配設してある。表側
(上側)の励振電極２８ｂは、圧電振動片１２の表側に設
けた配線部３０ｂを介して接続電極２２ｂに接続してあ
る。また、裏側の励振電極２８ａは、圧電振動片１２の
裏側に形成した配線部３０ａを介して接続電極２２ａに
接続してある。そして、これらの配線部３０（３０ａ、
３０ｂ）は、Ｌ字状に形成してあって、一部が縁部１８
を通るようになっている。これは、次の理由による。On the other hand, in the center of the upper and lower surfaces of the excitation section 16,
Excitation electrodes 28 (28a, 28b) are provided. Front side
The (upper) excitation electrode 28b is connected to the connection electrode 22b via a wiring portion 30b provided on the front side of the piezoelectric vibrating piece 12. The excitation electrode 28a on the back side is connected to the connection electrode 22a via the wiring portion 30a formed on the back side of the piezoelectric vibrating piece 12. And these wiring parts 30 (30a,
30b) is formed in an L shape, and a part of the edge 18 is formed.
It is designed to pass through. This is for the following reason.
【０００８】ＡＴカットした水晶からなる圧電振動片１
２は、結晶構造が非対称であるため、ハーフエッチング
すると、図８(２)に示したように、長手方向に沿った辺
の一方が斜めにエッチングされ、励振部１６と縁部１８
との境界部に傾斜面３２が形成され、他方の辺がほぼ垂
直にエッチングされてほぼ垂直な段差３４が形成され
る。このため、励振電極２８や接続電極２２、配線部３
０をスパッタリングなどによって形成した場合、段差３
４が形成された縁部１８の角部３６に金属膜を充分につ
けることができず、断線を生じ易い。特に、配線部３０
は、幅が狭いために断線の危険がある。このため、配線
部３０の一部を縁部１８の上に形成し、傾斜面３２を介
して励振電極２８に接続するようにしている。A piezoelectric vibrating piece 1 made of AT-cut quartz
Since No. 2 has an asymmetric crystal structure, when half-etched, one of the sides along the longitudinal direction is obliquely etched as shown in FIG.
An inclined surface 32 is formed at a boundary portion between and, and the other side is etched substantially vertically to form a substantially vertical step 34. Therefore, the excitation electrode 28, the connection electrode 22, the wiring portion 3
When 0 is formed by sputtering or the like, the step 3
The metal film cannot be sufficiently attached to the corner portion 36 of the edge portion 18 where the 4 is formed, and the wire breakage easily occurs. In particular, the wiring part 30
Has a narrow width and therefore has a risk of disconnection. Therefore, a part of the wiring portion 30 is formed on the edge portion 18 and is connected to the excitation electrode 28 via the inclined surface 32.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】図８に示したような圧
電振動子１０は、各種の電子機器に搭載されているが、
これら電子機器の小型化、高性能化に伴って、圧電振動
子１０に対する小型化の要求も非常に強くなっており、
その要求に応えるように多くの努力が払われている。The piezoelectric vibrator 10 as shown in FIG. 8 is mounted in various electronic devices.
With the miniaturization and high performance of these electronic devices, the demand for miniaturization of the piezoelectric vibrator 10 has become very strong.
Many efforts have been made to meet that demand.
【００１０】ところで、上記したように、従来のＡＴカ
ット水晶振動子においては、励振電極２８と接続電極２
２とを電気的に接続する配線部３０が傾斜面３２に形成
されるように、一部が縁部１８の上に設けられていた。
このため、縁部１８は、配線部３０を形成できるだけの
幅が必要であって、従来０．３ｍｍ程度以上の幅を有し
おり、圧電振動子１０の小型化を図る上での障害の１つ
となっている。また、従来の圧電振動片１２は、圧電振
動片１２をパッケージ容器１４の電極部２８に接合する
マウント部を設けるために、圧電振動片１２の長手方向
一側に縁部１８と一体の支持部２０を形成しており、そ
の分、圧電振動片１２が大型化する。しかも、ウエハの
上下の面を間違えて加工を行なうと、同図(３)に示した
ように、励振電極２８と接続電極２２とを接続する配線
部３０が段差３４に形成されることになる。このため、
配線部３０が角部３６において断線し、圧電振動子１０
の動作不良を生ずることがある。By the way, as described above, in the conventional AT-cut crystal unit, the excitation electrode 28 and the connection electrode 2 are connected.
A part of the wiring portion 30 is provided on the edge portion 18 so that the wiring portion 30 electrically connecting the wiring portion 2 and the wiring portion 2 is formed on the inclined surface 32.
Therefore, the edge portion 18 needs to have a width sufficient to form the wiring portion 30, and has a width of about 0.3 mm or more in the related art, which is one of the obstacles for downsizing the piezoelectric vibrator 10. Has become. In addition, the conventional piezoelectric vibrating reed 12 is provided with a mounting portion that joins the piezoelectric vibrating reed 12 to the electrode portion 28 of the package container 14, so that a supporting portion that is integral with the edge portion 18 is provided on one side in the longitudinal direction of the piezoelectric vibrating reed 12. 20 is formed, and the piezoelectric vibrating reed 12 is increased in size accordingly. Moreover, if the upper and lower surfaces of the wafer are processed by mistake, the wiring portion 30 that connects the excitation electrode 28 and the connection electrode 22 is formed in the step 34, as shown in FIG. . For this reason,
The wiring portion 30 is broken at the corner portion 36, and the piezoelectric vibrator 10
May malfunction.
【００１１】本発明は、前記従来技術の欠点を解消する
ためになされたもので、小型化を図ることを目的として
いる。また、本発明は、ウエハの面を間違えて加工した
としても、断線などが生じにくく、信頼性の向上を図る
ことを目的としている。The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, and an object thereof is to reduce the size. It is another object of the present invention to improve reliability by preventing disconnection and the like even if the wafer surface is processed by mistake.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る圧電振動子は、中央の励振部が周縁
部より薄肉化してある圧電振動片と、前記励振部の両面
のそれぞれに設けた励振電極部と、前記圧電振動片の厚
肉縁部から前記励振部にわたって形成され、前記励振電
極部に電気的に接続されるとともに、導電性接着剤を介
して基板に設けた電極部に接合される接続電極部と、を
有することを特徴としている。In order to achieve the above object, a piezoelectric vibrator according to the present invention comprises a piezoelectric vibrating reed having a central excitation portion thinner than a peripheral portion and both surfaces of the excitation portion. The excitation electrode portion provided on each of the piezoelectric vibrating pieces is formed from the thick edge portion of the piezoelectric vibrating piece to the excitation portion, is electrically connected to the excitation electrode portion, and is provided on the substrate via a conductive adhesive. And a connection electrode portion joined to the electrode portion.
【００１３】このようになっている本発明は、基板の電
極部に接合する圧電振動片の接続電極部を、厚肉縁部か
ら薄肉の励振部にわたって形成したことにより、厚肉縁
部と一体の支持部を省略することができ、圧電振動片の
小型化が図れて圧電振動子を小型にすることができる。
また、接続電極部の一部が励振部に形成されるため、励
振部に設ける励振電極と接続電極とを電気的に接続する
配線部を励振部に形成でき、配線部を厚肉縁部に形成す
る必要がなく、厚肉縁部の幅を小さくすることができ
て、圧電振動子を小型にすることが可能であるととも
に、ウエハの面を間違えて加工したとしても、配線部が
断線するようなおそれがなく、信頼性を向上することが
できる。According to the present invention as described above, the connecting electrode portion of the piezoelectric vibrating piece that is joined to the electrode portion of the substrate is formed from the thick-walled edge portion to the thin-walled excitation portion, so that it is integrated with the thick-walled edge portion. The supporting portion can be omitted, the piezoelectric vibrating piece can be downsized, and the piezoelectric vibrator can be downsized.
Further, since a part of the connection electrode portion is formed in the excitation portion, the wiring portion that electrically connects the excitation electrode provided in the excitation portion and the connection electrode can be formed in the excitation portion, and the wiring portion can be formed in the thick edge portion. It is not necessary to form it, the width of the thick edge portion can be reduced, the piezoelectric vibrator can be downsized, and the wiring portion is disconnected even if the wafer surface is processed by mistake. There is no such possibility, and the reliability can be improved.
【００１４】接続電極部は、圧電振動片の、前記厚肉縁
部と前記励振部との境界部に傾斜面を有する辺に形成す
るとよい。傾斜面のある辺に接続電極部を形成すること
により、接続電極部を形成する金属膜を切断させること
なく確実に形成することができ、導通が得られずに発振
しないなどの不良の発生を低減することができる。The connection electrode portion may be formed on a side of the piezoelectric vibrating reed having an inclined surface at a boundary portion between the thick edge portion and the excitation portion. By forming the connection electrode portion on the side with the inclined surface, the metal film forming the connection electrode portion can be reliably formed without cutting, and the occurrence of defects such as oscillation due to lack of conduction can be prevented. It can be reduced.
【００１５】また、接続電極部は圧電振動片の一辺の両
端部に設けるとともに、圧電振動片に、一対の接続電極
部間に厚肉仕切部を設けるとよい。このように、接続電
極部間に厚肉仕切部を設けることにより、接続電極部を
導電性接着剤によって基板の端子部に接合したときに、
一方の接続電極部を接合する導電性接着剤が他方の接続
電極部側に流れるのを阻止することができ、接続電極部
を基板の電極部に接合する際の、接続電極部間の短絡を
防止することができる。The connecting electrode portions may be provided at both ends of one side of the piezoelectric vibrating piece, and the piezoelectric vibrating piece may be provided with a thick partition between a pair of connecting electrode portions. In this way, by providing the thick partition between the connection electrode portions, when the connection electrode portion is joined to the terminal portion of the substrate by the conductive adhesive,
It is possible to prevent the conductive adhesive joining one of the connecting electrode portions from flowing to the other connecting electrode portion side, and to prevent a short circuit between the connecting electrode portions when joining the connecting electrode portion to the electrode portion of the substrate. Can be prevented.
【００１６】そして、圧電振動片をウエハから切り離す
折取り部は、厚肉縁部の厚肉仕切部と対応した位置に設
ける。そして、折取り部は、折取り残部の先端が厚肉縁
部の端面より内側に位置するように設定する。これによ
り、折取り残部が圧電振動片の端面から突出することが
なく、圧電振動片を収納するパッケージをその分小型に
することができる。The break-off portion for separating the piezoelectric vibrating piece from the wafer is provided at a position corresponding to the thick partition portion of the thick edge portion. Then, the break-off portion is set such that the tip of the remaining break-up portion is located inside the end face of the thick edge portion. As a result, the unfolded portion does not project from the end surface of the piezoelectric vibrating piece, and the package that houses the piezoelectric vibrating piece can be made smaller accordingly.
【００１７】圧電振動片は、接続電極部を形成した辺と
対向する辺を基板に接合材を介して接合するとよい。圧
電振動子は、近年、携帯機器に搭載されるようになって
おり、携帯機器が取り落とされたときにも破損しないよ
うに、耐衝撃性の要求も厳しくなっている。従って、圧
電振動片の両端を接合することにより耐衝撃性が向上
し、携帯機器が取り落とされた場合であっても、圧電振
動片の接続電極部が基板から剥離するのを防止すること
ができる。この場合、基板には、接続電極部を形成した
辺と対向する辺と対応した位置に接合台座を設けるとよ
い。このように、基板に接合台座を設けることによっ
て、圧電振動片を支持する高さを接続電極側と同じにす
ることができる。そして、接合台座の色を基板の地の色
と変えることにより、接合台座の位置を画像処理などに
よって容易に認識することが可能で、自動塗布機によっ
て接合材を接合台座に塗布することができる。また、接
合材は、常温においてゴム状弾性を有するエラストマか
らなるものを使用することが望ましい。エラストマを用
いることにより、圧電振動片を基板に剛接した場合の、
膨張係数の相違などによる圧電振動片の周波数温度特性
が変化するのを防ぐことができる。It is preferable that the piezoelectric vibrating reed be joined to the substrate at a side opposite to the side on which the connection electrode portion is formed via a bonding material. In recent years, piezoelectric vibrators have been installed in mobile devices, and demands for shock resistance have become strict so as not to damage even when the mobile device is removed. Therefore, the impact resistance is improved by joining both ends of the piezoelectric vibrating piece, and the connecting electrode portion of the piezoelectric vibrating piece can be prevented from peeling off from the substrate even when the portable device is removed. it can. In this case, a bonding pedestal may be provided on the substrate at a position corresponding to the side facing the side where the connection electrode portion is formed. In this way, by providing the bonding pedestal on the substrate, the height for supporting the piezoelectric vibrating piece can be made the same as that on the connection electrode side. Then, by changing the color of the bonding pedestal to the color of the base of the substrate, the position of the bonding pedestal can be easily recognized by image processing or the like, and the bonding material can be applied to the bonding pedestal by an automatic coating machine. . Further, it is desirable to use a bonding material made of an elastomer having rubber-like elasticity at room temperature. By using an elastomer, when the piezoelectric vibrating piece is in rigid contact with the substrate,
It is possible to prevent the frequency-temperature characteristic of the piezoelectric vibrating piece from changing due to a difference in expansion coefficient or the like.
【００１８】接続電極部は、対向する二辺のそれぞれに
設けてもよい。このように接続電極部を対向する二辺の
それぞれに設けることによって、配線の引き回しをなく
すことができ、配線の引き回しによる寄生容量をなくせ
て、圧電振動子を電子機器に実装する際の方向性をなく
すことができる。The connection electrode portion may be provided on each of the two opposite sides. By providing the connection electrode section on each of the two opposite sides in this way, it is possible to eliminate the routing of the wiring, eliminate the parasitic capacitance due to the routing of the wiring, and directivity when mounting the piezoelectric vibrator in electronic devices. Can be eliminated.
【００１９】さらに、圧電振動片は、上面の、基板の電
極部に接合した接続電極部と対応する部分に第２の導電
性接着剤を塗布し、この第２の導電性接着剤を圧電振動
片の下側の導電性接着剤に接続するとよい。このよう
に、圧電振動片の上部にも導電性接着剤を配置すること
により、基板の電極部との電気的接続をより確実にする
ことができる。そして、導電性接着剤は、シリコーンや
ゴム、ウレタン系などのエラストマからなるものを使用
することが望ましい。エラストマからなる導電性接着剤
を使用することにより、圧電振動片を基板に接合したこ
とによる周波数温度特性の変化を避けることができる。Further, the piezoelectric vibrating piece is coated with a second conductive adhesive on a portion of the upper surface corresponding to the connecting electrode portion joined to the electrode portion of the substrate, and the second conductive adhesive is piezoelectrically vibrated. It may be connected to the conductive adhesive on the underside of the piece. As described above, by disposing the conductive adhesive also on the upper portion of the piezoelectric vibrating piece, the electrical connection with the electrode portion of the substrate can be made more reliable. It is desirable to use a conductive adhesive made of an elastomer such as silicone, rubber, or urethane. By using a conductive adhesive made of an elastomer, it is possible to avoid a change in frequency-temperature characteristics due to the bonding of the piezoelectric vibrating piece to the substrate.
【００２０】[0020]
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態に係る圧電振
動子の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に
説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a piezoelectric vibrator according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
【００２１】図１は、本発明の第１実施の形態に係る圧
電振動子であるＡＴカット水晶振動子のパッケージ蓋部
を省略した説明図であって、(１)は平面図、(２)は(１)
のＢ−Ｂ線に沿った断面図、(３)は(１)のＣ−Ｃ線に沿
った圧電振動片の断面図である。FIG. 1 is an explanatory view in which a package cover portion of an AT-cut crystal resonator, which is a piezoelectric vibrator according to a first embodiment of the present invention, is omitted. (1) is a plan view, (2) Is (1)
3 is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG. 3A, and FIG.
【００２２】図１において、圧電振動子４０は、圧電材
料である水晶をＡＴカットして得た矩形状の圧電振動片
４２と、この圧電振動片４２を収納するパッケージ容器
４４とを有している。圧電振動片４２は、中央部が両面
側からハーフエッチングされて１０μｍ程度に薄肉化さ
れた励振部４６となっている。また、圧電振動片４２
は、励振部４６の周囲が厚さ０．１ｍｍ程度、幅０．１
ｍｍ程度の厚肉縁部４８となっていて、薄肉の励振部４
６を有する圧電振動片４２の剛性を高め、取り扱いの容
易化が図られている。そして、ＡＴカットされた水晶の
圧電振動片４２は、両面側からハーフエッチングする
と、結晶構造が非対称であるため、２つの短辺と１つの
長辺との３辺において励振部４６と厚肉縁部４８との境
界部に傾斜面５０が形成され、他の１つの長辺にほぼ垂
直の段差５２が励振部４６と肉厚縁部４８との境界部に
形成される(図１(２)、(３)参照)。このため、圧電振動
片４２は、段差５２を有する辺が短辺とならないように
矩形状に形成してある。In FIG. 1, the piezoelectric vibrator 40 has a rectangular piezoelectric vibrating reed 42 obtained by AT-cutting quartz, which is a piezoelectric material, and a package container 44 for accommodating the piezoelectric vibrating reed 42. There is. The central portion of the piezoelectric vibrating piece 42 is half-etched from both sides to form an exciting portion 46 having a thickness of about 10 μm. In addition, the piezoelectric vibrating piece 42
Is about 0.1 mm thick and 0.1 mm wide around the excitation unit 46.
The thin-walled excitation portion 4 has a thick edge portion 48 of about mm.
The rigidity of the piezoelectric vibrating reed 42 having No. 6 is increased to facilitate the handling. When the AT-cut quartz crystal vibrating piece 42 is half-etched from both sides, the crystal structure is asymmetric, so that the exciting portion 46 and the thick edge are formed on three sides of two short sides and one long side. An inclined surface 50 is formed at the boundary with the portion 48, and a step 52 that is substantially vertical to the other long side is formed at the boundary between the excitation portion 46 and the thick edge portion 48 (FIG. 1 (2)). , (3)). For this reason, the piezoelectric vibrating piece 42 is formed in a rectangular shape so that the side having the step 52 is not the short side.
【００２３】圧電振動片４２は、一方の短辺５４の両端
部に接続電極部５６(５６ａ、５６ｂ)を有している。こ
の実施形態に係る圧電振動片４２は、従来の支持部が省
略された形状となっていて、接続電極部５６がマウント
部となっており、厚肉縁部４８から薄肉の励振部４６に
わたってほほ矩形状に形成してある。これらの接続電極
部５６は、スパッタリングなどによって形成され、同図
(２)、(３)に示したように、圧電振動片４２の側端面５
８を覆って上面と下面とに対称に設けてある。そして、
接続電極部５６を設けた辺５４には、圧電振動片４２を
図示しない水晶ウエハから切り離した際の折取り残部５
３が側端面から突出している。The piezoelectric vibrating piece 42 has connection electrode portions 56 (56a, 56b) at both ends of one short side 54. The piezoelectric vibrating reed 42 according to this embodiment has a shape in which the conventional supporting portion is omitted, the connecting electrode portion 56 serves as a mount portion, and the piezoelectric vibrating piece 42 extends from the thick-walled edge portion 48 to the thin-walled excitation portion 46. It is formed in a rectangular shape. These connection electrode portions 56 are formed by sputtering or the like.
As shown in (2) and (3), the side end surface 5 of the piezoelectric vibrating piece 42 is
8 are provided symmetrically on the upper surface and the lower surface. And
On the side 54 provided with the connection electrode portion 56, the unfolded remaining portion 5 when the piezoelectric vibrating piece 42 is separated from a crystal wafer (not shown)
3 projects from the side end surface.
【００２４】圧電振動片４２は、励振部４６に励振電極
部６０(６０ａ、６０ｂ)が設けてある。この励振電極部
６０は、励振部４６に励振電圧を印加するためのもの
で、接続電極部５６に電気的に接続してある。すなわ
ち、一方の接続電極５６ａは、圧電振動片４２の下側面
において配線部６２ａを介して下面の励振電極部６０ａ
に電気的に接続してある。また、他方の接続電極部５６
ｂは、圧電振動片４２の上面において配線部６２ｂを介
して上面に設けた励振電極部６０ｂに電気的に接続して
ある。そして、各接続電極部５６は、パッケージ容器４
４に設けた電極部６４(６４ａ、６４ｂ)に電気的に接続
してある。In the piezoelectric vibrating piece 42, the exciting electrode portion 60 (60a, 60b) is provided on the exciting portion 46. The excitation electrode section 60 is for applying an excitation voltage to the excitation section 46, and is electrically connected to the connection electrode section 56. That is, the one connection electrode 56a is provided on the lower surface of the piezoelectric vibrating piece 42 via the wiring portion 62a and the excitation electrode portion 60a on the lower surface.
Is electrically connected to. In addition, the other connection electrode portion 56
b is electrically connected to the excitation electrode portion 60b provided on the upper surface of the piezoelectric vibrating piece 42 via the wiring portion 62b. Then, each connection electrode portion 56 is connected to the package container 4
4 is electrically connected to the electrode portion 64 (64a, 64b) provided on the No. 4 unit.
【００２５】パッケージ容器４４は、シート状のセラミ
ックを積層して形成してあり、圧電振動片４２を収納可
能な収納空間６６を有する箱状をなしている。また、パ
ッケージ容器４４は、底板である基板６８の一方の短辺
両端部に、接続電極部５６に対応して電極部６４(６４
ａ、６４ｂ)が設けてある。そして、各電極部６４に
は、導電性接着剤７０を介して圧電振動片４２の接続電
極部５６が接合してある。従って、パッケージ容器４４
の電極部６４と、圧電振動片４２の接続電極部５６とは
導電性接着剤７０を介して電気的に接続される。The package container 44 is formed by laminating sheet-shaped ceramics, and has a box shape having a storage space 66 capable of storing the piezoelectric vibrating piece 42. Further, the package container 44 has electrode portions 64 (64) corresponding to the connection electrode portions 56 at both ends of one short side of the substrate 68 which is a bottom plate.
a, 64b) are provided. The connection electrode portion 56 of the piezoelectric vibrating piece 42 is joined to each electrode portion 64 via the conductive adhesive 70. Therefore, the package container 44
The electrode portion 64 and the connection electrode portion 56 of the piezoelectric vibrating piece 42 are electrically connected via the conductive adhesive 70.
【００２６】導電性接着剤７０は、実施形態の場合、圧
電振動片４２を基板６８に剛接することによる圧電振動
片４２の周波数温度特性の変化を防ぐために、シリコー
ンを主成分としたものを用いている。しかし、導電性接
着剤７０は、ゴム状弾性を示すゴム系やウレタン系など
のエラストマを主成分としたものであってもよい。In the embodiment, the conductive adhesive 70 is mainly composed of silicone in order to prevent the piezoelectric vibrating reed 42 from being rigidly contacted with the substrate 68 so as to prevent the change of the frequency temperature characteristic of the piezoelectric vibrating reed 42. ing. However, the conductive adhesive 70 may be mainly composed of a rubber-based or urethane-based elastomer exhibiting rubber-like elasticity.
【００２７】このように、第１実施形態に係る圧電振動
子４０は、接続電極部５６を厚肉縁部４８から励振部４
６にわたって形成し、この接続電極部５６をエラストマ
からなる導電性接着剤７０によって基板６８の電極部６
４に接合したことにより、従来必要としていた、圧電振
動片の一側に形成したマウント部を形成するための支持
部を省略することができ、圧電振動片４２の長さ寸法、
パッケージ容器４４の長さ寸を小さくすることができ
る。また、実施形態の圧電振動子４０は、接続電極部５
６と励振電極部６０とを電気的に接続する配線部６２を
励振部４６に形成したことにより、配線部を厚肉縁部４
８に形成する必要がないため、厚肉縁部４８の幅寸法を
０．１ｍｍ程度とすることが可能で、パッケージ容器４
４の幅寸法も小さくでき、圧電振動子４０の小型化を図
ることができる。As described above, in the piezoelectric vibrator 40 according to the first embodiment, the connection electrode portion 56 is changed from the thick edge portion 48 to the excitation portion 4.
6, and the connecting electrode portion 56 is formed on the electrode portion 6 of the substrate 68 by a conductive adhesive 70 made of an elastomer.
By joining to the piezoelectric vibrating piece 4, a supporting portion for forming a mount portion formed on one side of the piezoelectric vibrating piece, which is conventionally required, can be omitted.
The length of the package container 44 can be reduced. In addition, the piezoelectric vibrator 40 of the embodiment has the connection electrode unit 5
6 is formed in the excitation part 46, the wiring part 62 electrically connecting the excitation electrode part 60 and the excitation electrode part 60 to each other.
It is possible to set the width dimension of the thick edge portion 48 to about 0.1 mm because it is not necessary to form the package container 4.
The width dimension of 4 can also be made small, and the piezoelectric vibrator 40 can be made compact.
【００２８】しかも、圧電振動子４０は、厚肉縁部４８
から励振部４６にわたって形成した接続電極部５６が圧
電振動片４２の傾斜面５０を有する辺５４に形成してあ
るため、スパッタリングなどによって金属膜を成膜して
接続電極部５６を形成する際に、エッジ部(角部)におけ
る金属膜の付きが悪くて電気的接続が充分でないような
事態を避けることができ、圧電振動子４０の信頼性を向
上することができる。さらに、ウエハの上下面を間違え
て形成した場合であっても、図２に示したように、接続
電極部５６が段差５２を有する辺に形成されることがな
く、励振電極６０を電極部６４に確実に電気的に接続す
ることができる。Moreover, the piezoelectric vibrator 40 has a thick edge portion 48.
Since the connection electrode part 56 formed from the to the excitation part 46 is formed on the side 54 having the inclined surface 50 of the piezoelectric vibrating piece 42, when the connection electrode part 56 is formed by depositing a metal film by sputtering or the like. In addition, it is possible to avoid a situation in which the metal film is poorly attached to the edge portion (corner portion) and electrical connection is not sufficient, and the reliability of the piezoelectric vibrator 40 can be improved. Further, even when the upper and lower surfaces of the wafer are formed by mistake, as shown in FIG. 2, the connection electrode portion 56 is not formed on the side having the step 52, and the excitation electrode 60 and the electrode portion 64 are not formed. Can be reliably electrically connected to.
【００２９】図３は、本発明の第２実施形態の説明図で
あって、(１)はパッケージ蓋を省略した平面図、(２)は
(１)のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。この第２実施形
態に係る圧電振動子８０は、圧電振動片４２の一方の短
辺５４の両端部に接続電極部５６が設けてある。また、
パッケージ容器４４の基板６８には、圧電振動片４２の
一対の接続電極部５６を設けた辺５４と対向する辺７２
の中央部と対応した位置に、接合台座７４が形成してあ
る。そして、圧電振動片４２は、辺７２の中央下部が接
合部７６となっていて、この接合部７６が接合材７８に
よって基板６８に設けた接合台座７４に接合してある。FIG. 3 is an explanatory view of the second embodiment of the present invention, (1) is a plan view in which the package lid is omitted, and (2) is
It is sectional drawing which followed the DD line | wire of (1). In the piezoelectric vibrator 80 according to the second embodiment, the connecting electrode portions 56 are provided at both ends of the one short side 54 of the piezoelectric vibrating piece 42. Also,
The substrate 68 of the package container 44 has a side 72 facing the side 54 provided with the pair of connection electrode portions 56 of the piezoelectric vibrating piece 42.
A joint pedestal 74 is formed at a position corresponding to the central portion of the. Further, in the piezoelectric vibrating piece 42, the lower part of the center of the side 72 is the joint portion 76, and the joint portion 76 is joined to the joint pedestal 74 provided on the substrate 68 by the joint material 78.
【００３０】接合台座７４は、実施形態の場合、電極部
６４などと同様に金属膜によって形成してあって、パッ
ケージ容器４４の色と異ならせてあり、電極部６４など
と同時に形成され、いわゆるダミー電極となっている。
そして、接合材７８は、エラストマからなる通常の接着
剤や導電性接着剤であってよい。In the case of the embodiment, the bonding pedestal 74 is formed of a metal film similarly to the electrode portion 64 and the like, is made different in color from the package container 44, and is formed simultaneously with the electrode portion 64 and the like. It is a dummy electrode.
The bonding material 78 may be a normal adhesive made of elastomer or a conductive adhesive.
【００３１】このように形成した第２実施形態の圧電振
動子８０は、圧電振動片４２が接続電極部５６ばかりで
なく、接側電極部５６を設けた辺５４と対向する辺７２
も基板６８に接合してあるため、耐衝撃性に非常に優れ
ており、例えば携帯電話などの携帯電子機器に搭載され
た場合に、携帯電子機器が取り落とされたときであって
も、圧電振動片４２の接続電極部５６がパッケージ容器
４４の電極部６４から剥離するなどの事故を防ぐことが
できる。In the piezoelectric vibrator 80 of the second embodiment thus formed, the piezoelectric vibrating reed 42 is not only the connecting electrode portion 56 but also the side 72 facing the side 54 where the contact side electrode portion 56 is provided.
Since it is also bonded to the substrate 68, it has excellent impact resistance, and when it is mounted on a portable electronic device such as a mobile phone, even if the portable electronic device is removed, the piezoelectric It is possible to prevent an accident such as the connection electrode portion 56 of the vibrating piece 42 peeling off from the electrode portion 64 of the package container 44.
【００３２】また、圧電振動子８０は、接合部７６が基
板６８に設けた接合台座７４に接合してあるため、圧電
振動片４２を基板６８に対して容易に平行に配置するこ
とができる。しかも、接合台座７４は、パッケージ容器
４４の色と異なる金属によって形成してあるため、画像
処理装置などによって接合台座７４を容易に認識するこ
とが可能で、自動塗布装置によって接合台座７４に接合
材７８を容易に塗布することができる。Further, in the piezoelectric vibrator 80, since the bonding portion 76 is bonded to the bonding pedestal 74 provided on the substrate 68, the piezoelectric vibrating piece 42 can be easily arranged in parallel to the substrate 68. Moreover, since the joining pedestal 74 is formed of a metal different from the color of the package container 44, the joining pedestal 74 can be easily recognized by an image processing device or the like, and the joining material is joined to the joining pedestal 74 by the automatic coating device. 78 can be easily applied.
【００３３】図４は、本発明の第３実施形態の説明図で
あって、(１)はパッケージ蓋を省略した平面図、(２)は
(１)のＥ−Ｅ線に沿った断面図である。この実施形態の
圧電振動子９０は、圧電振動片９２が前記実施形態と異
なっている。すなわち、第３実施形態に係る圧電振動片
９２は、一対の接続電極部５６を形成した辺５４に厚肉
仕切部９４が上下の両面に形成してある。厚肉仕切部９
４は、一対の接続電極部５６の間において、厚肉縁部４
８と一体に励振電極６０側に延在させて形成してある。
他の構成は、第２実施形態と同様である。FIG. 4 is an explanatory view of the third embodiment of the present invention, (1) is a plan view in which the package lid is omitted, and (2) is
It is sectional drawing which followed the EE line of (1). The piezoelectric vibrator 90 of this embodiment is different from the above embodiment in the piezoelectric vibrating piece 92. That is, in the piezoelectric vibrating piece 92 according to the third embodiment, the thick partition portions 94 are formed on both upper and lower sides on the side 54 where the pair of connection electrode portions 56 are formed. Thick wall partition 9
4 is a thick edge portion 4 between the pair of connection electrode portions 56.
It is formed so as to extend integrally with 8 toward the excitation electrode 60 side.
Other configurations are similar to those of the second embodiment.
【００３４】このようになっている第３実施形態に係る
圧電振動子９０は、接続電極部５６ａ、５６ｂ間に厚肉
仕切部９４が存在しているため、マウント部である接続
電極部５６を導電性接着剤７０によってパッケージ容器
４４の電極部６４に接合する際に、一方の接続電極部５
６、例えば接続電極部５６ａを接合する導電性接着剤７
０が他方の接続電極部５６ｂ側に流れ、接続電極部５６
ａ、５６ｂが導電接着剤７０によって短絡するような不
具合をなくすことができる。In the piezoelectric vibrator 90 according to the third embodiment thus configured, since the thick partition 94 exists between the connection electrode portions 56a and 56b, the connection electrode portion 56, which is the mount portion, is When connecting to the electrode portion 64 of the package container 44 with the conductive adhesive 70, one of the connection electrode portions 5
6, for example, a conductive adhesive 7 for joining the connection electrode portion 56a
0 flows to the other connecting electrode portion 56b side, and the connecting electrode portion 56b
It is possible to eliminate the problem that a and 56b are short-circuited by the conductive adhesive 70.
【００３５】図５は、第４実施形態の説明図である。こ
の第４実施形態の圧電振動子１００は、圧電振動片１０
２の辺５４に一対の接続電極部５６が設けてあるととも
に、これらの接続電極部５６の間に厚肉仕切部９４が形
成してある。また、この厚肉仕切部９４を設けた辺５４
の厚肉縁部４８に対応する部分には、凹部１０４が形成
してある。この凹部１０４の底部には、圧電振動片１０
２をウエハから切り離すための折取り部である折取り残
部１０６が位置している。そして、折取り部(折取り残
部１０６)は、圧電振動片１０２を水晶ウエハから切り
離した際に、折取り残部１０６の先端が辺５４、すなわ
ち厚肉縁部４８の側端面より内側に位置するように設定
してある。このように、折取り残部１０６が辺５４より
突出しないようにしたことにより、圧電振動片１０２と
パッケージ容器４４との間の間隙、すなわち収納空間６
６を小さくすることができ、圧電振動子１００の小型化
を図ることができる。FIG. 5 is an explanatory diagram of the fourth embodiment. The piezoelectric vibrator 100 according to the fourth embodiment includes the piezoelectric vibrating piece 10
A pair of connection electrode portions 56 is provided on the second side 54, and a thick partition portion 94 is formed between these connection electrode portions 56. In addition, the side 54 provided with the thick partition portion 94
A concave portion 104 is formed in a portion corresponding to the thick edge portion 48. At the bottom of the recess 104, the piezoelectric vibrating piece 10
The unfolded portion 106, which is a folded portion for separating 2 from the wafer, is located. The break-away portion (break-away portion 106) is located such that the tip of the break-away portion 106 is located inside the side 54, that is, the side end surface of the thick edge portion 48 when the piezoelectric vibrating piece 102 is separated from the crystal wafer. Is set. As described above, since the unfolded portion 106 is prevented from protruding from the side 54, the gap between the piezoelectric vibrating piece 102 and the package container 44, that is, the storage space 6 is formed.
6 can be reduced, and the piezoelectric vibrator 100 can be reduced in size.
【００３６】図６は、第５実施形態の説明図であって、
(１)はパッケージ蓋を省略した平面図、(２)は(１)のＦ
−Ｆ線に沿った断面図である。この実施形態の圧電振動
子１１０は、圧電振動片１０２の上面側に形成されてい
る接続電極部５６の上にも第２の導電性接着剤１１２が
塗布してある。この上面側の第２導電性接着剤１１２
は、圧電振動片１０２の下面側の導電接着剤７０と同様
なゴム状弾性を有する物が用いられ、導電接着剤７０と
接続されて一体となっている。FIG. 6 is an explanatory view of the fifth embodiment,
(1) is a plan view without the package lid, (2) is F of (1)
It is sectional drawing which followed the -F line. In the piezoelectric vibrator 110 of this embodiment, the second conductive adhesive 112 is applied also on the connection electrode portion 56 formed on the upper surface side of the piezoelectric vibrating piece 102. The second conductive adhesive 112 on the upper surface side
Is made of a material having the same rubber-like elasticity as the conductive adhesive 70 on the lower surface side of the piezoelectric vibrating piece 102, and is connected to and integrated with the conductive adhesive 70.
【００３７】このように、第２の導電性接着剤１１２を
接続電極部５６の上にも塗布して下側の導電性接着剤７
０と一体化したことにより、接続電極部５６とパッケー
ジ容器４４の電極部６４との電気的接続をより確実なも
のにすることができ、信頼性の向上を図ることができ
る。In this way, the second conductive adhesive 112 is also applied on the connection electrode portion 56 and the lower conductive adhesive 7 is applied.
By integrating with 0, the electrical connection between the connection electrode portion 56 and the electrode portion 64 of the package container 44 can be made more reliable, and the reliability can be improved.
【００３８】図７は、第６実施形態のパッケージ蓋を省
略した平面図である。第６実施形態の圧電振動子１２０
は、パッケージ容器１２２の底板である基板１２４の一
方の短辺１２６の両端部に電極部６４が形成してある。
また、短辺１２６に対向した短辺１２８の両端部にも、
電極部６４と同様の電極部１３０が設けてある。そし
て、圧電振動片１３２の励振部４６の中央部には、励振
電極部１３４(１３４ａ、１３４ｂ)が形成してある。ま
た、圧電振動片１３２の対向する両短辺部には、これら
の短辺の全長にわたって接続電極部１３６(１３６ａ、
１３６ｂ)が帯状に設けてある。FIG. 7 is a plan view in which the package lid of the sixth embodiment is omitted. Piezoelectric vibrator 120 of the sixth embodiment
The electrode portions 64 are formed on both ends of one short side 126 of the substrate 124 which is the bottom plate of the package container 122.
Also, at both ends of the short side 128 facing the short side 126,
An electrode portion 130 similar to the electrode portion 64 is provided. The excitation electrode portion 134 (134a, 134b) is formed at the center of the excitation portion 46 of the piezoelectric vibrating piece 132. Further, on both opposing short sides of the piezoelectric vibrating piece 132, the connecting electrode portions 136 (136a, 136a,
136b) is provided in a strip shape.
【００３９】一方の接続電極部１３６ａは、圧電振動片
１３２の下側面において、台形状の配線部１３８ａを介
して励振電極部１３４ａに電気的に接続してあるととも
に、導電性接着剤７０を介してパッケージ容器１２２の
一方の電極部１３０に接合してある。また、他方の接続
電極部１３６ｂは、圧電振動片１３２の上面側におい
て、台形状の配線部１３８ｂを介して励振電極部１３４
ｂに電気的に接続してあるとともに、導電性接着剤７０
を介してパッケージ容器１２２の他方の電極部６４に接
合してある。One of the connection electrode portions 136a is electrically connected to the excitation electrode portion 134a via the trapezoidal wiring portion 138a on the lower side surface of the piezoelectric vibrating piece 132, and the conductive adhesive agent 70 is interposed therebetween. And is joined to one electrode portion 130 of the package container 122. The other connection electrode portion 136b is provided on the upper surface side of the piezoelectric vibrating piece 132 via the trapezoidal wiring portion 138b and the excitation electrode portion 134b.
b electrically connected to the conductive adhesive 70
It is joined to the other electrode portion 64 of the package container 122 via.
【００４０】このように形成した第６実施形態の圧電振
動子１２０は、基板１２４に配線部の引き回しを必要と
しない。すなわち、圧電振動子は、通常、パッケージ容
器の長手方向両側の下面に外部電極が形成してある。従
って、第６実施形態の圧電振動子１２０においては、一
方の電極部１３０がパッケージ容器１２２の下面の一方
の外部電極に接続され、他方の電極部６４がパッケージ
容器１２２の下面の他方の外部電極に接続されるため、
基板１２４に配線を形成する必要がない。このため、圧
電振動子１２０は、基板に配線を形成することによる寄
生容量をなくすことができ、電子機器に搭載する際に実
装の方向性が問題となるようなことがない。なお、圧電
振動子１２０においても、圧電振動片１３２の電極部６
４、１３０と接合した部分と対応した上面に第２の導電
性接着剤を塗布し、これを導電性接着剤７０と一体化さ
せてもよい。The piezoelectric vibrator 120 of the sixth embodiment thus formed does not require wiring of the wiring portion on the substrate 124. That is, the piezoelectric vibrator usually has external electrodes formed on the lower surfaces on both sides in the longitudinal direction of the package container. Therefore, in the piezoelectric vibrator 120 of the sixth embodiment, one electrode portion 130 is connected to one external electrode on the lower surface of the package container 122, and the other electrode portion 64 is the other external electrode on the lower surface of the package container 122. Is connected to
It is not necessary to form wiring on the substrate 124. Therefore, the piezoelectric vibrator 120 can eliminate the parasitic capacitance due to the formation of the wiring on the substrate, and the mounting directionality does not pose a problem when the piezoelectric vibrator 120 is mounted on an electronic device. In the piezoelectric vibrator 120, the electrode portion 6 of the piezoelectric vibrating piece 132 is also included.
Alternatively, the second conductive adhesive may be applied to the upper surface corresponding to the portion joined to the Nos. 4 and 130 and integrated with the conductive adhesive 70.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、圧電振動片の接続電極部を厚肉縁部から励振部にわ
たって形成し、これを基板の電極部に接合するようにし
たことにより、圧電振動片を小さくすることができ、圧
電振動子を小型化できる。As described above, according to the present invention, the connecting electrode portion of the piezoelectric vibrating piece is formed from the thick edge portion to the exciting portion and is joined to the electrode portion of the substrate. As a result, the piezoelectric vibrating piece can be downsized, and the piezoelectric vibrator can be downsized.
【図１】 本発明の第１実施形態に係る圧電振動子の説
明図であって、(１)はパッケージ蓋を省略した平面図、
(２)は(１)のＢ−ｂ線に沿った断面図、(３)は(１)のＣ
−Ｃ線に沿った圧電振動片の断面図である。FIG. 1 is an explanatory view of a piezoelectric vibrator according to a first embodiment of the present invention, (1) is a plan view in which a package lid is omitted,
(2) is a cross-sectional view taken along line B-b of (1), (3) is C of (1).
FIG. 6 is a cross-sectional view of the piezoelectric vibrating piece taken along the line C.
【図２】 第１実施形態の圧電振動片の上下の面が逆に
なった状態の説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state where the upper and lower surfaces of the piezoelectric vibrating piece according to the first embodiment are reversed.
【図３】 本発明の第２実施形態の説明図であって、
(１)はパッケージ蓋を省略した平面図、(２)は(１)のＤ
−Ｄ線に沿った断面図である。FIG. 3 is an explanatory diagram of a second embodiment of the present invention,
(1) is a plan view without the package lid, (2) is D of (1)
It is sectional drawing which followed the -D line.
【図４】 本発明の第３実施形態の説明図であって、
(１)はパッケージ蓋を省略した平面図、(２)は(１)のＥ
−Ｅ線に沿った断面図である。FIG. 4 is an explanatory view of the third embodiment of the present invention,
(1) is a plan view with the package lid omitted, (2) is E of (1)
It is sectional drawing along the -E line.
【図５】 本発明の第４実施形態に係る圧電振動子のパ
ッケージ蓋を省略した平面図である。FIG. 5 is a plan view of a piezoelectric vibrator according to a fourth embodiment of the present invention with a package cover omitted.
【図６】 本発明の第５実施形態に係る圧電振動子の説
明図であって、(１)はパッケージ蓋を省略した平面図、
(２)は(１)のＦ−Ｆ線に沿った断面図である。FIG. 6 is an explanatory view of a piezoelectric vibrator according to a fifth embodiment of the present invention, (1) is a plan view in which a package lid is omitted,
(2) is a sectional view taken along line FF of (1).
【図７】 本発明の第６実施形態に係る圧電振動子のパ
ッケージ蓋を省略した平面図である。FIG. 7 is a plan view of a piezoelectric vibrator according to a sixth embodiment of the present invention with a package lid omitted.
【図８】 従来の圧電振動子の説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram of a conventional piezoelectric vibrator.
４０、８０、９０、１００、１１０、１２０………圧電
振動子、４２、９２、１０２、１３２………圧電振動
片、４４、１２２………パッケージ容器、４６………励
振部、４８………厚肉縁部、５０………傾斜面、５３、
１０６………折取り残部、５６ａ、５６ｂ、１３６ａ、
１３６ｂ………接続電極部、６０ａ、６０ｂ、１３４ａ
１３４ｂ………励振電極部、６４ａ、６４ｂ、１３０
ａ、１３０ｂ………電極部、６８………基板、７０……
…導電性接着剤、７４………接合台座、７８………接合
材、９４………厚肉仕切部。40, 80, 90, 100, 110, 120 ... Piezoelectric vibrator, 42, 92, 102, 132 ... Piezoelectric vibrating piece, 44, 122 ... Package container, 46 ... Exciting section, 48 ... ...... Thick edge, 50 ...... Inclined surface, 53,
106 ......... remaining breaks, 56a, 56b, 136a,
136b ......... Connection electrode part, 60a, 60b, 134a
134b ......... Excitation electrode part, 64a, 64b, 130
a, 130b ......... Electrode part, 68 ......... Substrate, 70 ...
… Conductive adhesive, 74 ……… Joining pedestal, 78 ……… Joining material, 94 ……… Thick wall partition.
Claims (11)
る圧電振動片と、 前記励振部の両面のそれぞれに設けた励振電極部と、 前記圧電振動片の厚肉縁部から前記励振部にわたって形
成され、前記励振電極部に電気的に接続されるととも
に、導電性接着剤を介して基板に設けた電極部に接合さ
れる接続電極部と、 を有することを特徴とする圧電振動子。1. A piezoelectric vibrating piece having a central excitation portion thinner than a peripheral edge portion, excitation electrode portions provided on both surfaces of the excitation portion, and a thick edge portion of the piezoelectric vibrating piece to the excitation portion. A piezoelectric vibrator, comprising: a connection electrode portion that is formed over the excitation electrode portion and that is electrically connected to the excitation electrode portion and that is joined to the electrode portion provided on the substrate via a conductive adhesive.
前記厚肉縁部と前記励振部との境界部に傾斜面を有する
辺に形成してあることを特徴とする請求項１に記載の圧
電振動子。2. The connection electrode portion of the piezoelectric vibrating piece,
The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the piezoelectric vibrator is formed on a side having an inclined surface at a boundary portion between the thick edge portion and the excitation portion.
辺の両端部に設けてあり、 前記圧電振動片は、一対の前記接続電極部間に厚肉仕切
部を有している、 ことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電振動
子。3. The connection electrode portion is provided at both end portions of one side of the piezoelectric vibrating piece, and the piezoelectric vibrating piece has a thick partition between a pair of the connection electrode portions. The piezoelectric vibrator according to claim 1 or 2.
厚肉仕切部と対応した位置に、ウエハから圧電振動片を
切り離す折取り部を有し、 この折取り部の残部先端を前記厚肉縁部の端面より内側
に位置させた、 ことを特徴とする請求項３に記載の圧電振動子。4. The piezoelectric vibrating piece has a break-off portion for separating the piezoelectric vibrating piece from the wafer at a position corresponding to the thick-walled partition portion of the thick-walled edge portion, and the remaining tip of the break-up portion is The piezoelectric vibrator according to claim 3, wherein the piezoelectric vibrator is located inside an end surface of the thick edge portion.
成した辺と対向する辺が前記基板に接合材を介して接合
してあることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか
に記載の圧電振動子。5. The piezoelectric vibrating reed has a side opposite to a side on which the connection electrode portion is formed bonded to the substrate via a bonding material. The piezoelectric vibrator described.
辺と対向する辺と対応した位置に接合台座を有している
ことを特徴とする請求項５に記載の圧電振動子。6. The piezoelectric vibrator according to claim 5, wherein the substrate has a bonding pedestal at a position corresponding to a side facing the side where the connection electrode portion is formed.
ならせてあることを特徴とする請求項６に記載の圧電振
動子。7. The piezoelectric vibrator according to claim 6, wherein the bonding pedestal has a color different from that of the substrate.
を特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の圧電
振動子。8. The piezoelectric vibrator according to claim 5, wherein the bonding material is made of elastomer.
ぞれに設けてあることを特徴とする請求項１または２に
記載の圧電振動子。9. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the connection electrode portion is provided on each of two opposite sides.
の電極部に接合した前記接続電極部と対応する部分に第
２の導電性接着剤が塗布され、 この第２の導電性接着剤が前記圧電振動片の下側の前記
導電性接着剤に接続してある、 ことを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の
圧電振動子。10. The second conductive adhesive is applied to a portion of the upper surface of the piezoelectric vibrating piece corresponding to the connection electrode portion joined to the electrode portion of the substrate, the second conductive adhesive being applied. The piezoelectric vibrator according to any one of claims 1 to 9, wherein is connected to the conductive adhesive on the lower side of the piezoelectric vibrating piece.
なることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記
載の圧電振動子。11. The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the conductive adhesive is made of elastomer.
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