JP2002009576A - Piezoelectric device and its package structure - Google Patents

Piezoelectric device and its package structure

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JP2002009576A
JP2002009576A JP2000184020A JP2000184020A JP2002009576A JP 2002009576 A JP2002009576 A JP 2002009576A JP 2000184020 A JP2000184020 A JP 2000184020A JP 2000184020 A JP2000184020 A JP 2000184020A JP 2002009576 A JP2002009576 A JP 2002009576A
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JP
Japan
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electrode
insulating container
side wall
slit
electrode pad
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Application number
JP2000184020A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideo Endo
秀男 遠藤
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Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface mount type piezoelectric device in which a piezoelectric vibration chip supported in a package in a way of cantilever is stably fixed and supported by using a small consumed amount of a conductive adhesive to realize an excellent resistance to shock. SOLUTION: In the package having an insulation case 20 and a cover 21 joined to its upper part, an electrode pad 29 to mount a lead electrode 26 of a crystal vibration chip 22 in a way of cantilever is placed on a connection electrode 27 formed on the mount face of the insulation case close to a side wall 24a of the insulation case, and a slit 32 one end of which is open and the other end of which is closed is formed on a side of wall. When placing the crystal vibration chip on the electrode pad to which a conductive adhesive 33 is adhered and curing the adhesive the crystal vibration chip is fixed and supported between both sides of the base end provide with the lead electrode and the sidewalls of the insulation case as well as between the rear side of the base end and the electrode pad.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子機器に使用さ
れる水晶振動子・水晶発振器やSAWデバイス等のよう
な表面実装型の圧電デバイスに関し、特に圧電振動片を
パッケージ内に片持ち式に支持するための構造に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface mount type piezoelectric device such as a crystal unit, a crystal oscillator and a SAW device used in electronic equipment, and more particularly, to a cantilever type piezoelectric vibrating piece in a package. Related to supporting structure.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、情報通信機器やOA機器、民
生機器等の様々な電子機器が小型化、薄型化されるのに
伴い、これらに使用される圧電デバイスのより一層の小
型化・薄型化が図られている。一般に表面実装型の圧電
デバイスは、水晶などの圧電振動片をその一端で片持ち
式に支持して、セラミック等の絶縁材料からなるパッケ
ージ内に固定し、気密に封止する構造を広く採用してい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as various electronic devices such as information communication devices, OA devices, and consumer devices have become smaller and thinner, piezoelectric devices used in these devices have been made smaller and thinner. Is being planned. In general, surface mount type piezoelectric devices widely adopt a structure in which a piezoelectric vibrating piece such as quartz is supported at one end in a cantilever manner, fixed in a package made of an insulating material such as ceramic, and hermetically sealed. ing.

【0003】図11に例示する従来の表面実装型水晶振
動子は、薄い矩形箱型の絶縁容器1内部にATカット水
晶振動片2を収容し、薄板状の蓋3で気密に封止するパ
ッケージ構造を有する。絶縁容器1は、矩形平板上のベ
ース4とその上面に接合した矩形枠状のフレーム5とか
らなり、ベース4の表面には、一方の端部に左右1対の
接続電極6、6が設けられている。各接続電極6、6
は、その上にそれぞれ電極パッド7、7が所定の高さに
形成され、導電リード8、8を介してベース4裏面の外
部電極(図示せず)に電気的に接続されている。薄い矩
形水晶板の両面に励振電極9を形成した水晶振動片2
は、その基端部に励振電極からの引出電極10、10が
設けられている。
A conventional surface mount type crystal resonator illustrated in FIG. 11 is a package in which an AT-cut crystal resonator element 2 is accommodated in a thin rectangular box-shaped insulating container 1 and hermetically sealed with a thin plate-like lid 3. Having a structure. The insulating container 1 is composed of a base 4 on a rectangular flat plate and a rectangular frame 5 joined to the upper surface thereof, and a pair of left and right connection electrodes 6, 6 is provided at one end on the surface of the base 4. Have been. Each connection electrode 6, 6
The electrode pads 7, 7 are formed at predetermined heights thereon, and are electrically connected to external electrodes (not shown) on the back surface of the base 4 via the conductive leads 8, 8. Quartz vibrating reed 2 having excitation electrodes 9 formed on both sides of a thin rectangular quartz plate
Are provided with extraction electrodes 10 and 10 from the excitation electrode at the base end thereof.

【0004】水晶振動片2を絶縁容器1にマウントする
図12の工程において、先ず各電極パッド7、7上にそ
れぞれ導電性接着剤11、11を付着させる(図12
B)。次に水晶振動片2を、各引出電極を対応する電極
パッドに整合させかつその自由端部をベース4上面から
浮かせて載置する(図12C)。この状態で導電性接着
剤11を硬化させ、絶縁容器1上端に蓋3を接合して気
密に封止することにより、水晶振動片2がパッケージ内
に片持ち式にマウントされる。
In the step shown in FIG. 12 for mounting the quartz-crystal vibrating piece 2 on the insulating container 1, first, conductive adhesives 11, 11 are respectively attached to the electrode pads 7, 7 (FIG. 12).
B). Next, the quartz-crystal vibrating reed 2 is placed with the respective extraction electrodes aligned with the corresponding electrode pads and the free ends thereof are lifted from the upper surface of the base 4 (FIG. 12C). In this state, the conductive adhesive 11 is cured, and the lid 3 is joined to the upper end of the insulating container 1 and hermetically sealed, whereby the crystal resonator element 2 is cantilevered in the package.

【0005】例えば、特開平11−274890号公報
には、その従来技術として、水晶板の接続端子となるパ
ターン電極に接続するためにE字型をなす厚さ0.1mm
程度のパターン電極を、セラミックベース上に金めっき
等のメタライズを施して形成した表面実装型水晶振動子
が記載されている。また、特開平10−22776号公
報には、絶縁基板の接続電極上に支持部を設け、該支持
部によって圧電振動片をその端縁より励振電極側の位置
を支点としかつ該端縁より高い位置で支持することによ
り、圧電振動片を絶縁基板上に、常に絶縁基板表面から
略一定の角度で持ち上げて、それらの間に略一定の隙間
を確保した状態でマウントできるようにした圧電振動子
が開示されている。
For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-274890 discloses, as a prior art, an E-shape having a thickness of 0.1 mm for connection to a pattern electrode serving as a connection terminal of a quartz plate.
A surface-mounted crystal resonator in which a degree of pattern electrode is formed by performing metallization such as gold plating on a ceramic base is described. In Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-22776, a supporting portion is provided on a connection electrode of an insulating substrate, and the piezoelectric vibrating reed is supported by the supporting portion at a position closer to the excitation electrode than the edge and higher than the edge. By supporting the piezoelectric vibrating piece at a position, the piezoelectric vibrating piece is always lifted above the insulating substrate at a substantially constant angle from the insulating substrate surface, and can be mounted with a substantially constant gap secured between them. Is disclosed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電デバイスは、最近の傾向に応じて小型化・薄型化を
図る上で、圧電振動片を固定する導電性接着剤の使用量
が少なくなり、そのために接着強度が低下し、落下等の
衝撃で外れたり接続が不安定になり易いという問題が発
生する。逆に接着剤の使用量を増やせば、小型化により
両接続電極間が狭くなっていることから、図12C、
C’に示すように、余分な接着剤11aが振動片2と電
極パッド7との接合部から他方の接続電極側に流れ出
て、両電極をショートさせる虞がある。そこで従来は、
絶縁容器の実装面の両電極間に溝を凹設するなどして、
導電性接着剤が流れない工夫をする必要があるが、工数
が増えかつ加工が面倒である。
However, in order to reduce the size and thickness of the conventional piezoelectric device in accordance with the recent trend, the amount of the conductive adhesive for fixing the piezoelectric vibrating piece is reduced. For this reason, the adhesive strength is reduced, and there is a problem that the connection is likely to be disconnected or unstable due to an impact such as a drop. Conversely, if the amount of the adhesive used is increased, the space between the two connection electrodes is reduced due to miniaturization.
As shown in C ', there is a possibility that excess adhesive 11a flows out from the joint between the vibrating reed 2 and the electrode pad 7 to the other connection electrode side, and short-circuits both electrodes. So conventionally,
By making a groove between both electrodes on the mounting surface of the insulating container,
It is necessary to take measures to prevent the conductive adhesive from flowing, but the number of steps is increased and the processing is troublesome.

【0007】また、上記特開平11−274890号公
報によれば、パターン電極に金めっきを施した従来の水
晶振動子では、衝撃や振動に対する付着力が弱いことか
ら、セラミックベースの導電部近傍にキャビティを設
け、その中に導電性接着剤を充填しかつ盛り上げて水晶
板の接続端子と電気的に接続させることにより、水晶板
を剥がれ難くかつ接続を安定にしている。しかしなが
ら、キャビティをセラミックベースに形成することは、
工数が増えかつ加工が面倒であることに加えて、小型化
が進むに連れて技術的に困難になる。しかも、同公報記
載の水晶振動子は、セラミックベースの導電部とは反対
側に、水晶板の一端を支持するためのメタライズ部を設
けている。
According to Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-274890, a conventional quartz resonator having a pattern electrode plated with gold has a weak adhesive force against shock and vibration. By providing a cavity, filling it with a conductive adhesive and building it up and electrically connecting it to the connection terminals of the quartz plate, the quartz plate is hardly peeled off and the connection is stabilized. However, forming the cavity in a ceramic base requires
In addition to the increase in man-hours and the cumbersome processing, it becomes technically difficult as miniaturization progresses. In addition, the quartz resonator described in the publication has a metallized portion for supporting one end of the quartz plate on the side opposite to the conductive portion of the ceramic base.

【0008】そこで、本発明の目的は、表面実装型圧電
デバイスの小型化・薄型化への要求に対応して、パッケ
ージ内に片持ち式に保持される圧電振動片を少ない導電
性接着剤の使用量で安定に固定保持することができ、落
下や振動等に対する優れた耐衝撃性を実現し得る圧電デ
バイス及びそのパッケージ構造を提供することにある。
In view of the above, an object of the present invention is to meet the demand for miniaturization and thinning of a surface-mount type piezoelectric device by reducing the piezoelectric vibrating reed held in a package in a cantilever manner by using a small amount of conductive adhesive. An object of the present invention is to provide a piezoelectric device and a package structure thereof that can be stably fixed and held in a used amount and can realize excellent impact resistance against dropping, vibration, and the like.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の圧電デバイスの
パッケージ構造は、上記目的を達成するべく、パッケー
ジの内部に圧電素子片を、その引出電極を設けた一方の
端部において片持ち式に実装しかつ気密に封止する表面
実装型の圧電デバイスにおいて、前記パッケージが絶縁
容器とその上部に接合される蓋とを有し、前記絶縁容器
が、その実装面に接続電極と該接続電極上に圧電素子片
の引出電極を導電性接着剤により接続するための電極パ
ッドとを有し、前記電極パッドが、その端部を隣接する
絶縁容器の側壁の側にのみ開いたスリットを有し、かつ
該スリットの端部を開いた側を前記側壁に近接させて形
成されている。
In order to achieve the above object, a package structure of a piezoelectric device according to the present invention has a piezoelectric element piece in a package and a cantilevered structure at one end provided with an extraction electrode. In a surface-mount type piezoelectric device to be mounted and hermetically sealed, the package has an insulating container and a lid joined to an upper portion thereof, and the insulating container has a connection electrode on the mounting surface and a connection electrode on the connection electrode. Having an electrode pad for connecting the extraction electrode of the piezoelectric element piece with a conductive adhesive, the electrode pad having a slit whose end is opened only on the side of the side wall of the adjacent insulating container, The slit is formed such that the side of the slit whose end is opened is close to the side wall.

【0010】このように構成することにより、導電性接
着剤を付着させた電極パッドの上に圧電素子片を載せて
マウントしたとき、導電性接着剤は、スリットの存在に
より電極パッドの上に置き易いだけでなく、スリットの
端部が開いた側壁の側に流れ易くなるので、両接続電極
間をショートする虞が少なくなる。しかも、導電性接着
剤は、電極パッドのスリットの端部を開いた側から近接
する絶縁容器の側壁まで流れて硬化する。そのため、導
電性接着剤の使用量が比較的少なくても、圧電素子片
は、引出電極を設けた端部の裏面と電極パッドとの間だ
けでなく、その両側辺において絶縁容器の側壁との間で
固定保持されるので、そのマウント強度が向上する。
With this configuration, when the piezoelectric element piece is mounted and mounted on the electrode pad to which the conductive adhesive is attached, the conductive adhesive is placed on the electrode pad due to the presence of the slit. Not only is it easier, but also the end of the slit is more likely to flow to the side of the open side wall, so that the risk of short-circuiting between both connection electrodes is reduced. In addition, the conductive adhesive flows from the side where the end of the slit of the electrode pad is opened to the adjacent side wall of the insulating container and hardens. Therefore, even when the amount of the conductive adhesive used is relatively small, the piezoelectric element piece is not only between the back surface of the end provided with the extraction electrode and the electrode pad, but also on both sides thereof with the side wall of the insulating container. Since it is fixed and held in between, its mounting strength is improved.

【0011】或る実施例では、電極パッドが、導電材料
をスクリーン印刷することにより形成されている。これ
により、電極パッドの厚さは、スリットを設けた側の領
域がその反対側の領域よりも薄くなるので、その傾斜に
沿って導電性接着剤が、近接する絶縁容器の側壁に向け
てより一層流れ易くなるので好ましい。
In one embodiment, the electrode pads are formed by screen printing a conductive material. As a result, the thickness of the electrode pad is smaller in the area on the side where the slit is provided than in the area on the opposite side, so that the conductive adhesive is directed along the slope toward the side wall of the adjacent insulating container. This is preferable because it can flow more easily.

【0012】別の実施例では、電極パッドが、スリット
を有しない下層部分とスリットを有する上層部分との積
層構造で構成されている。これにより、圧電素子片をマ
ウントする高さを調節して、その振動や衝撃による振れ
に対して絶縁容器の実装面に接触しない十分なマウント
高さを確保することができる。
In another embodiment, the electrode pad has a laminated structure of a lower layer portion having no slit and an upper layer portion having the slit. Thereby, the height at which the piezoelectric element pieces are mounted can be adjusted, and a sufficient mounting height that does not contact the mounting surface of the insulating container against vibration due to vibration or impact can be secured.

【0013】また、別の実施例では、絶縁容器の側壁
が、引出電極を設けた圧電素子片の一方の端部に沿って
近接するように配設されている。これにより、パッケー
ジ全体の形状、構造や寸法に拘わらず、常に圧電素子片
をパッケージ内に上述したように安定した状態で固定保
持することができる。
In another embodiment, the side wall of the insulating container is disposed so as to approach along one end of the piezoelectric element piece provided with the extraction electrode. Thus, regardless of the shape, structure, and dimensions of the entire package, the piezoelectric element piece can always be fixedly held in the package in a stable state as described above.

【0014】本発明の別の側面によれば、上述した電極
パッドを有する絶縁容器の実装面に圧電素子片を片持ち
式に、少ない導電性接着剤の使用量で安定に実装した圧
電デバイスが提供され、落下や振動等に対する優れた耐
衝撃性を発揮する。
According to another aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric device in which a piezoelectric element piece is stably mounted in a cantilever manner on a mounting surface of an insulating container having the above-mentioned electrode pad with a small amount of a conductive adhesive. Provided and exhibit excellent shock resistance against dropping and vibration.

【0015】更に本発明の別の側面によれば、パッケー
ジの内部に圧電素子片を、その引出電極を設けた一方の
端部において片持ち式に実装しかつ気密に封止する表面
実装型の圧電デバイスであって、前記パッケージが、そ
の実装面に圧電素子片の引出電極を導電性接着剤により
接続するための接続電極を形成した絶縁容器と、その上
部に接合される蓋とを有し、圧電素子片の引出電極が、
それに隣接する絶縁容器の側壁の側にのみ開いたスリッ
トを有する圧電デバイスが提供される。
According to still another aspect of the present invention, a surface mount type piezoelectric element is mounted in a package in a cantilever manner at one end where the lead electrode is provided and hermetically sealed. A piezoelectric device, wherein the package has an insulating container in which a connection electrode for connecting a lead electrode of a piezoelectric element piece to the mounting surface with a conductive adhesive is provided, and a lid joined to an upper portion thereof. , The extraction electrode of the piezoelectric element piece is
A piezoelectric device is provided having a slit that is open only on the side of the side wall of the insulating container adjacent thereto.

【0016】このように圧電素子片の引出電極を構成す
ることにより、パッケージの絶縁容器が従来構造のもの
又は上述した本発明の構造のものであっても、圧電素子
片をマウントするときに、導電性接着剤が、スリットの
端部を開いた側壁の側に流れ易くなるので、両接続電極
間をショートする虞が少なくなる。このとき、パッケー
ジの絶縁容器が上述した本発明の構造のものであると、
圧電素子片マウント時に導電性接着剤の流れがより制御
し易くなるので、好都合である。
By configuring the lead-out electrodes of the piezoelectric element pieces in this manner, even if the insulating container of the package has the conventional structure or the above-described structure of the present invention, when mounting the piezoelectric element pieces, Since the conductive adhesive easily flows to the side of the side wall where the end of the slit is opened, the possibility of short-circuiting between both connection electrodes is reduced. At this time, if the insulating container of the package has the structure of the present invention described above,
This is advantageous because the flow of the conductive adhesive becomes easier to control when the piezoelectric element piece is mounted.

【0017】また、或る実施例では、絶縁容器の側壁
が、同様に圧電素子片の引出電極に近接させて配設され
ていることにより、パッケージ全体の形状、構造や寸法
に拘わらず、常に圧電素子片をパッケージ内に安定して
固定保持することができる。
Further, in one embodiment, the side wall of the insulating container is similarly arranged close to the extraction electrode of the piezoelectric element piece, so that the side wall is always irrespective of the shape, structure and dimensions of the entire package. The piezoelectric element piece can be stably fixed and held in the package.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】図1は、本発明を適用した圧電振
動子の第1実施例の構成を概略的に示している。この圧
電振動子は、絶縁容器20と蓋21とからなるパッケー
ジ内にATカット水晶振動片22が、図2に併せて示す
ように片持ち式に実装されている。絶縁容器20は、セ
ラミックスなどの絶縁材料からなる概ね矩形のベース2
3の上面に同じ矩形のフレーム24を一体に接合した薄
い箱型に構成されている。蓋21は、ガラスやセラミッ
ク又は金属の薄板で形成され、フレーム24の上端に例
えば封止ガラスやはんだ等の金属ろう材で接合されて、
水晶振動片22をパッケージ内部に気密に封止する。水
晶振動片22は、長方形の水晶薄板からなり、その両面
にそれぞれ励振電極25が形成され、かつ一方の端部即
ち基端部には左右各端に各励振電極からの引出電極2
6、26が形成されている。
FIG. 1 schematically shows a structure of a first embodiment of a piezoelectric vibrator to which the present invention is applied. In this piezoelectric vibrator, an AT-cut quartz vibrating piece 22 is mounted in a cantilevered manner in a package including an insulating container 20 and a lid 21 as shown in FIG. The insulating container 20 has a generally rectangular base 2 made of an insulating material such as ceramics.
3 is formed in a thin box shape in which the same rectangular frame 24 is integrally joined to the upper surface. The lid 21 is formed of a thin plate of glass, ceramic, or metal, and is joined to the upper end of the frame 24 with a metal brazing material such as sealing glass or solder.
The crystal resonator element 22 is hermetically sealed inside the package. The quartz vibrating reed 22 is formed of a rectangular quartz thin plate, on both sides of which excitation electrodes 25 are formed, and at one end, that is, at the base end, the extraction electrodes 2 from the respective excitation electrodes at the left and right ends.
6, 26 are formed.

【0019】水晶振動片22の実装面を構成するベース
23の上面には、その一方の端部付近に左右1対の接続
電極27、27が、その表面を金めっきした例えばタン
グステンのメタライズなどによりそれぞれ水晶振動片の
各引出電極を接続するために形成されている。各接続電
極は、それぞれベース23の表面に配線された導電体か
らなるリード28、28を介して、ベース裏面に形成さ
れた外部電極(図示せず)に電気的に接続されている。
各接続電極の上には、適当な導電材料からなりかつその
表面を金めっきなどした概ね矩形の電極パッド29、2
9が形成されている。
On the upper surface of the base 23 constituting the mounting surface of the crystal vibrating piece 22, a pair of left and right connection electrodes 27, 27 is provided near one end thereof by metalizing, for example, tungsten whose surface is gold-plated. Each is formed to connect each extraction electrode of the crystal resonator element. Each connection electrode is electrically connected to an external electrode (not shown) formed on the back surface of the base via leads 28, 28 made of a conductor wired on the surface of the base 23.
On each connection electrode, a substantially rectangular electrode pad 29, 2 made of a suitable conductive material and having its surface plated with gold or the like.
9 are formed.

【0020】本実施例において、各電極パッド29、2
9は、それぞれ隣接するフレーム24の長手方向の側壁
24aと僅かな隙間をもって近接するように配置されて
いる。電極パッドは、図3に良く示すように下層部分3
0と上層部分31との積層構造からなる。下層部分30
は、めっきや蒸着などにより概ね一定の厚さに形成され
る。上層部分31には、その略中央を幅方向に延長し、
一方の端部を近接する長手方向の側壁24aに向けて開
きかつ他方の端部を閉じた1本のスリット32が形成さ
れている。上層部分31は、例えば導電材料を下層部分
30の上にスクリーン印刷することにより形成され、そ
れによりスリット32を設けた側壁24a側の領域の厚
さが、スリットの無い内側即ち他方の接続電極側の領域
の厚さよりも薄くなる。従って、電極パッドの上面は、
概して内側から側壁24a側に向けて下向きに傾斜して
いる。
In this embodiment, each of the electrode pads 29, 2
Numerals 9 are arranged so as to be close to the longitudinal side walls 24a of the adjacent frames 24 with a slight gap. As shown in FIG.
0 and an upper layer portion 31. Lower part 30
Is formed to a substantially constant thickness by plating or vapor deposition. In the upper layer portion 31, the approximate center is extended in the width direction,
One slit 32 is formed with one end open toward the adjacent longitudinal side wall 24a and the other end closed. The upper layer portion 31 is formed, for example, by screen-printing a conductive material on the lower layer portion 30, so that the thickness of the region on the side wall 24 a side provided with the slit 32 has no slit, ie, the other connection electrode side. Region becomes thinner. Therefore, the upper surface of the electrode pad
Generally, it is inclined downward from the inside toward the side wall 24a.

【0021】水晶振動片22は、図4A〜Cの従来と同
じ工程に従って、絶縁容器20に実装する。電極パッド
29の上面に、図4Bに示すように例えばエボキシ系、
ポリイミド系、シリコーン系、ウレタン系などの公知の
導電性接着剤33を所定量付着させる。使用する導電性
接着剤33は、通常200dPa・s程度の粘度を有する
が、スリット32を設けたことにより電極パッド上に置
き易くなる。更に、電極パッド上面の傾斜により、少量
の導電性接着剤33が、図5Aに良く示すように側壁2
4a側に流れ出る。次に水晶振動片22を図4Cに示す
ように、その引出電極を対応する電極パッドに整合させ
て載置する。導電性接着剤33は、図5Bに良く示すよ
うに側壁24aまで、それと水晶振動片22の側辺との
間を充填するように流れる。このように本実施例によれ
ば、各電極パッドに付着させた導電性接着剤は、スリッ
ト32の存在により反対側の接続電極に流れ難いので、
両電極間をショートする虞が無い。
The quartz vibrating reed 22 is mounted on the insulating container 20 according to the same process as in the prior art shown in FIGS. On the upper surface of the electrode pad 29, for example, as shown in FIG.
A known conductive adhesive 33 such as a polyimide-based, silicone-based, or urethane-based adhesive is applied in a predetermined amount. The conductive adhesive 33 to be used usually has a viscosity of about 200 dPa · s, but the provision of the slit 32 makes it easy to place on the electrode pad. Further, due to the inclination of the upper surface of the electrode pad, a small amount of the conductive adhesive 33 is applied to the side wall 2 as shown in FIG. 5A.
It flows out to 4a side. Next, as shown in FIG. 4C, the quartz-crystal vibrating piece 22 is placed with its extraction electrode aligned with the corresponding electrode pad. The conductive adhesive 33 flows to the side wall 24a so as to fill the space between the side wall 24a and the side of the quartz-crystal vibrating reed 22 as well shown in FIG. 5B. As described above, according to the present embodiment, the conductive adhesive adhered to each electrode pad does not easily flow to the connection electrode on the opposite side due to the presence of the slit 32.
There is no risk of short-circuiting between both electrodes.

【0022】この状態で導電性接着剤33を加熱して硬
化させると、水晶振動片22は、その基端部において電
極パッド29に片持ち式に接着され、ベース23表面と
僅かな間隔を維持して略平行に延在するようにマウント
される。水晶振動片22は、基端部の裏面と電極パッド
との間だけでなく、その両側辺において絶縁容器の側壁
24aとの間で固定保持されるので、導電性接着剤の使
用量が比較的少なくても、十分なマウント強度が得られ
る。しかも、水晶振動片22はその基端部においてのみ
固定されるので、その振動子としての動作・性能に何ら
影響を与える虞がない。
When the conductive adhesive 33 is heated and hardened in this state, the quartz-crystal vibrating piece 22 is cantilevered to the electrode pad 29 at the base end thereof, and maintains a slight distance from the surface of the base 23. And are mounted so as to extend substantially in parallel. Since the quartz vibrating reed 22 is fixedly held not only between the back surface of the base end portion and the electrode pad but also on both sides thereof with the side wall 24a of the insulating container, the amount of the conductive adhesive used is relatively small. At least, sufficient mount strength can be obtained. Moreover, since the quartz-crystal vibrating piece 22 is fixed only at the base end thereof, there is no possibility that the operation and performance as the vibrator will be affected at all.

【0023】図6A〜Eは、電極パッド29に形成され
る前記スリットの様々な変形例を示している。図6Aに
は、電極パッド29の略中央を長手方向に延長し、一方
の端部を近接する幅方向の側壁24bに向けて開きかつ
他方の端部を閉じた1本のスリット32が形成されてい
る。この実施例では、水晶振動片22の基端部が、その
端辺において側壁24bと概ね図6Aに斜線で示す範囲
で導電性接着剤により固着される。
FIGS. 6A to 6E show various modifications of the slit formed in the electrode pad 29. FIG. In FIG. 6A, one slit 32 is formed in which the substantially center of the electrode pad 29 is extended in the longitudinal direction, one end is opened toward the adjacent width side wall 24b, and the other end is closed. ing. In this embodiment, the base end portion of the quartz-crystal vibrating piece 22 is fixed to the side wall 24b at the end side thereof by a conductive adhesive within a range generally indicated by oblique lines in FIG. 6A.

【0024】図6Bの実施例では、各電極パッド29に
2本のスリット、即ち幅方向に延長する第1実施例のス
リット32aと、長手方向に延長する図6Aのスリット
32bとが形成されている。これにより、水晶振動片2
2の基端部は、その両側辺及び端辺に沿ってそれぞれ側
壁24a、24bと概ね図6Bに斜線で示す範囲で導電
性接着剤により、直交する2方向から固着されるので、
より安定に固定保持される。図6Cでは、図6Bと異な
り、長手方向及び幅方向の2本のスリット32a、32
bが、電極パッド29の略中央で直交する十字形に形成
されている。これにより、図6Bの場合よりも各スリッ
トが長くなり、かつ電極バッドの側壁側がより薄くなっ
てその傾斜が大きくなるので、導電性接着剤が各側壁2
4a、24bにより流れ易くなる。
In the embodiment of FIG. 6B, each electrode pad 29 is formed with two slits, that is, the slit 32a of the first embodiment extending in the width direction and the slit 32b of FIG. 6A extending in the longitudinal direction. I have. Thereby, the crystal vibrating piece 2
Since the base end portion 2 is fixed to the side walls 24a and 24b along the both side edges and the end side thereof with the conductive adhesive in a range generally indicated by oblique lines in FIG. 6B, the base end portion is fixed in two orthogonal directions.
It is fixed and held more stably. 6C, unlike FIG. 6B, two slits 32a and 32 in the longitudinal direction and the width direction.
b is formed in a cross shape that is orthogonal at substantially the center of the electrode pad 29. 6B, the length of each slit is longer than that of FIG. 6B, and the side wall side of the electrode pad is thinner and its inclination becomes larger.
4a and 24b facilitate the flow.

【0025】図6Dの実施例では、1本のスリット32
が電極パッド29の対角線方向に、一方の端部を長手方
向の側壁24aと幅方向の側壁24bとの隅に向けて開
きかつ他方の端部を閉じて延長している。これにより、
導電性接着剤は前記側壁の隅に向けて流れ易くなり、概
ね図6Dに示す範囲において水晶振動片22基端部の各
角部を絶縁容器の側壁に固定する。
In the embodiment shown in FIG. 6D, one slit 32
Open one end in the diagonal direction of the electrode pad 29 toward the corner between the longitudinal side wall 24a and the width side wall 24b and close the other end to extend. This allows
The conductive adhesive easily flows toward the corner of the side wall, and fixes each corner of the base end portion of the crystal vibrating piece 22 to the side wall of the insulating container within a range generally shown in FIG. 6D.

【0026】図6Eの実施例では、第1実施例と同様に
幅方向に延長して、長手方向の側壁24aに向けて一端
を開いた2本の平行なスリット32a、32bが各電極
パッド29に形成されている。これにより、電極バッド
は、長手方向の側壁側がより薄くなってその傾斜が大き
くなるので、導電性接着剤が該側壁24aにより流れ易
くなる。
In the embodiment shown in FIG. 6E, two parallel slits 32a and 32b extending in the width direction and having one end open toward the longitudinal side wall 24a are formed in the same manner as the first embodiment. Is formed. Thereby, the electrode pad becomes thinner on the side wall side in the longitudinal direction and its inclination becomes larger, so that the conductive adhesive easily flows through the side wall 24a.

【0027】図6Fに示す実施例は、水晶振動片の寸法
に比して絶縁容器の寸法が大きい場合、特にその側壁3
4が電極パッド29及び水晶振動片22のマウント位置
から離れている場合に適したパッケージ構造を示してい
る。本実施例の絶縁容器は、水晶振動片22基端部の両
側辺に対応する側壁の部分34aが、他の部分から突出
させて電極パッド29に近接するように配設されてい
る。従って、上記各実施例と同様に電極パッドにスリッ
ト32を設けることにより、導電性接着剤が、近接する
側壁部分34aに流れ易くなり、水晶振動片22基端部
を固定保持することができる。
The embodiment shown in FIG. 6F shows a case where the size of the insulating container is larger than the size of the quartz-crystal vibrating piece, especially when the side wall 3 is formed.
4 shows a package structure suitable for the case where the reference numeral 4 is away from the mounting position of the electrode pad 29 and the crystal vibrating piece 22. In the insulating container of the present embodiment, the side wall portions 34 a corresponding to both sides of the base end portion of the crystal vibrating piece 22 are disposed so as to protrude from other portions and approach the electrode pads 29. Therefore, by providing the slits 32 in the electrode pads as in the above-described embodiments, the conductive adhesive easily flows to the adjacent side wall portion 34a, and the base end of the crystal resonator element 22 can be fixed and held.

【0028】当然ながら、図6A〜Eのスリットは単な
る例示であって、スリットの形状や本数、配置を様々に
変形させて、導電性接着剤の流れを制御することができ
る。例えば、上記実施例のスリットは、それぞれ幅が概
ね一定であるが、その閉じた端部から開いた端部に向け
て幅広に形成し、電極パッドの厚さを側壁側に向けてよ
り薄く、従って接着剤がより流れ易くなるようにするこ
とができる。また、図6Fでは、電極パッドに近接する
側壁部分34aを側壁34から連続させているが、同じ
パッケージ内に半導体素子などを実装する水晶発振器、
その他の圧電デバイスの場合には、絶縁容器の実装面
に、その側壁とは連続しない側壁部を同様に電極パッド
に近接させて形成することもできる。
Naturally, the slits in FIGS. 6A to 6E are merely examples, and the shape, number, and arrangement of the slits can be variously changed to control the flow of the conductive adhesive. For example, the slits of the above embodiments have a substantially constant width, but are formed wider from the closed end to the open end, and the thickness of the electrode pad is thinner toward the side wall, Therefore, the adhesive can be made to flow more easily. In FIG. 6F, the side wall portion 34a adjacent to the electrode pad is continuous from the side wall 34. However, a crystal oscillator in which a semiconductor element or the like is mounted in the same package,
In the case of another piezoelectric device, a side wall that is not continuous with the side wall of the mounting surface of the insulating container may be similarly formed close to the electrode pad.

【0029】図7A、Bは、本発明による水晶振動子の
第2実施例に使用するATカット水晶振動片を示してい
る。本実施例の水晶振動片35は、第1実施例の水晶振
動片と異なり、その励振電極36からの引出電極37に
1本のスリット38が形成されている。スリット38
は、第1実施例のスリット32と同様に、一方の端部を
近接する長手方向の側辺に開きかつ他方の端部を閉じ
て、引出電極37の略中央を幅方向に延長している。こ
のようなスリットは、水晶板の引出電極を形成しようと
する部分を、フォトリソグラフィ技術を用いて部分的に
エッチングすることにより、容易に形成することができ
る。この後に、水晶板に前記各電極を成膜するので、図
7Bに示すように、スリット32内にも電極膜が形成さ
れ、引出電極37の導電率を低下させる處が無い。ま
た、当然ながら、水晶板に各電極を成膜した後に、同様
にエッチングを行って引出電極37にスリットを形成す
ることもできる。
FIGS. 7A and 7B show an AT-cut quartz-crystal vibrating piece used in a second embodiment of the quartz-crystal vibrator according to the present invention. The quartz-crystal vibrating piece 35 of the present embodiment differs from the quartz-crystal vibrating piece of the first embodiment in that one slit 38 is formed in an extraction electrode 37 from an excitation electrode 36. Slit 38
As in the case of the slit 32 of the first embodiment, one end is opened to the adjacent side in the longitudinal direction and the other end is closed to extend substantially the center of the extraction electrode 37 in the width direction. . Such a slit can be easily formed by partially etching a portion of the quartz plate on which an extraction electrode is to be formed by using a photolithography technique. Thereafter, since the electrodes are formed on the quartz plate, as shown in FIG. 7B, an electrode film is also formed in the slit 32, and there is no place to lower the conductivity of the extraction electrode 37. Further, as a matter of course, a slit can be formed in the extraction electrode 37 by etching similarly after forming each electrode on the quartz plate.

【0030】他方、水晶振動片35を実装する絶縁容器
は、図8A、Bに示すように、水晶振動片基端部の両側
辺に対応する長手方向の側壁24aが、電極パッド29
に近接させて設けられる。電極パッド29は、本実施例
のようにスリットが形成されていなくても、第1実施例
のように形成されていても良い。いずれの場合にも、図
4及び図5に関連して上述した第1実施例の場合と同様
に、電極パッド29上面に所定量の導電性接着剤39を
付着させ(図8A)、次に水晶振動片35をその引出電
極を対応する電極パッドと整合させて載置する(図8
B)。導電性接着剤39は、スリット38に沿って近接
する側壁24aに流れ、それと水晶振動片との間を充填
する。
On the other hand, as shown in FIGS. 8A and 8B, the insulating container on which the crystal vibrating piece 35 is mounted has longitudinal side walls 24a corresponding to both sides of the base end of the crystal vibrating piece.
Are provided in close proximity to each other. The electrode pad 29 may not be formed with a slit as in the present embodiment, or may be formed as in the first embodiment. In any case, as in the case of the first embodiment described above with reference to FIGS. 4 and 5, a predetermined amount of the conductive adhesive 39 is applied to the upper surface of the electrode pad 29 (FIG. 8A). The crystal vibrating piece 35 is placed with its extraction electrode aligned with the corresponding electrode pad (FIG. 8).
B). The conductive adhesive 39 flows to the adjacent side wall 24a along the slit 38 and fills a space between the side wall 24a and the quartz-crystal vibrating piece.

【0031】このように本実施例においても、各電極パ
ッドに付着させた導電性接着剤が、反対側の接続電極に
流れ難くなっているので、両接続電極間をショートする
虞が無く、かつ水晶振動片基端部の裏面と電極パッドと
の間だけでなく、その両側辺において絶縁容器側壁に固
定保持され、それにより振動子としての動作・性能に何
ら影響を与えることなく、比較的少ない導電性接着剤の
使用量で十分なマウント強度が得られるという、第1実
施例と同様の効果が得られる。また、第1実施例のよう
に電極パッドにスリットが形成されている場合には、そ
れらの効果がより一層向上することは言うまでもない。
As described above, also in this embodiment, since the conductive adhesive adhered to each electrode pad hardly flows to the connection electrode on the opposite side, there is no danger of short-circuiting between both connection electrodes. Not only between the back surface of the base end of the quartz vibrating piece and the electrode pad, but also on both sides of the quartz container, it is fixedly held on the side wall of the insulating container, thereby relatively little affecting the operation and performance as a vibrator. An effect similar to that of the first embodiment is obtained in that a sufficient mount strength can be obtained by using the conductive adhesive. When slits are formed in the electrode pads as in the first embodiment, it goes without saying that those effects are further improved.

【0032】図9A、Bは、第2実施例のATカット水
晶振動片の変形例を示している。この実施例は、水晶振
動片35が、励振電極36の周囲に深さ一定の凹み40
を形成した所謂逆メサ型のものである点において、図7
の実施例と異なる。このような凹みは、スリット38を
形成するために、フォトリソグラフィ技術を用いて水晶
板の引出電極を形成しようとする部分を部分的にエッチ
ングする際に、同時に水晶板表面を部分的にエッチング
することにより、工数を増やすことなく形成することが
できる。このようにエッチングした水晶板の表面に、励
振電極36及び引出電極37の電極膜を形成する。
FIGS. 9A and 9B show a modification of the AT-cut quartz-crystal vibrating piece of the second embodiment. In this embodiment, the quartz vibrating reed 35 has a recess 40 having a constant depth around the excitation electrode 36.
7 in that it is a so-called inverted mesa type in which
Is different from the embodiment. In order to form the slit 38, such a dent is used to partially etch the portion of the quartz plate where the extraction electrode is to be formed using photolithography technology, and at the same time, partially etch the quartz plate surface. Thereby, it can be formed without increasing the number of steps. The electrode films of the excitation electrode 36 and the extraction electrode 37 are formed on the surface of the quartz plate etched as described above.

【0033】また、図10A、Bは、第2実施例を適用
した音叉型水晶振動片41を示している。水晶振動片4
1は、従来と同様に音叉形状の水晶板表面に、平面電極
42及び側面電極43が形成され、これら電極からの引
出電極44が、その先端に重り部45を設けた左右腕部
と反対側の基端部に形成されている。水晶振動片41の
基端部には、図7及び図9の実施例と同様に、その略中
央を幅方向に延長し、一方の端部を水晶振動片41の長
手方向の側辺に開きかつ他方の端部を閉じたスリット4
6が形成されている。これにより、同様に水晶振動片4
1のマウント強度を向上させ、かつ接続電極間のショー
トの虞を少なくして、小型化を可能にした音叉型水晶振
動子が得られる。
FIGS. 10A and 10B show a tuning-fork type quartz vibrating piece 41 to which the second embodiment is applied. Quartz vibrating reed 4
1, a flat electrode 42 and a side electrode 43 are formed on the surface of a tuning fork-shaped quartz plate as in the prior art, and an extraction electrode 44 from these electrodes is opposite to the left and right arm portions provided with weight portions 45 at the tips. At the base end. At the base end of the quartz vibrating reed 41, as in the embodiment of FIGS. 7 and 9, the approximate center is extended in the width direction, and one end is opened to the longitudinal side of the quartz vibrating reed 41. And a slit 4 with the other end closed
6 are formed. Thereby, similarly, the quartz vibrating piece 4
(1) The tuning fork type crystal resonator which can be downsized by improving the mounting strength and reducing the risk of short-circuiting between the connection electrodes can be obtained.

【0034】また、本発明は上記実施例に限定されず、
振動片を片持ち式にマウントする表面実装型のものであ
れば、水晶以外のタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウ
ムなどの様々な圧電材料のものや、SAWデバイスにつ
いても同様に適用することができる。
The present invention is not limited to the above embodiment,
As long as the resonator element is a surface mount type that cantileverly mounts the resonator element, various piezoelectric materials other than quartz, such as lithium tantalate and lithium niobate, and SAW devices can be similarly applied.

【0035】[0035]

【発明の効果】上記説明から明らかなように、本発明の
圧電デバイスのパッケージ構造によれば、圧電素子片の
マウント時に導電性接着剤が、電極パッドのスリットの
端部が開いた側壁の側に流れ易いので、導電性接着剤の
使用量を従来より少なくして、両接続電極間をショート
させることなく、圧電素子片をその引出電極を設けた端
部の裏面に加えて、その両側辺と絶縁容器の側壁間で固
定保持することができるので、マウント強度が向上し、
小型化・薄型化と同時に優れた耐衝撃性を発揮し得る圧
電デバイスを実現することができる。
As is clear from the above description, according to the package structure of the piezoelectric device of the present invention, the conductive adhesive is applied to the side of the side wall where the end of the slit of the electrode pad is open when the piezoelectric element piece is mounted. Because the amount of conductive adhesive used is smaller than before, the piezoelectric element piece is added to the back surface of the end where the extraction electrode is provided without short-circuiting between the connection electrodes, and both sides are Can be fixed and held between the insulating container and the side wall, so that the mounting strength is improved,
It is possible to realize a piezoelectric device that can exhibit excellent impact resistance while being reduced in size and thickness.

【0036】また、本発明の圧電デバイスによれば、圧
電素子片の引出電極にスリットを設けることにより、圧
電素子片のマウント時に導電性接着剤が、スリットの端
部を開いた側壁の側に流れ易くなるので、両接続電極間
をショートする虞が少なくなり、更に絶縁容器の側壁を
近接させて、圧電素子片の端部をその側辺においても固
定保持することにより、マウント強度の向上、小型化・
薄型化及び優れた耐衝撃性を図ることができる。
Further, according to the piezoelectric device of the present invention, by providing a slit in the extraction electrode of the piezoelectric element piece, the conductive adhesive is applied to the side of the side wall where the end of the slit is opened when the piezoelectric element piece is mounted. Since the flow becomes easier, the risk of short-circuiting between the two connection electrodes is reduced, and the side walls of the insulating container are brought closer to each other, and the end of the piezoelectric element piece is fixed and held also on its side, thereby improving the mounting strength. Miniaturization·
The thickness can be reduced and excellent impact resistance can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1実施例の水晶振動子を示す部分断
面分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view, partly in section, showing a quartz oscillator according to a first embodiment of the present invention.

【図2】水晶振動片を実装した第1実施例の絶縁容器を
示す部分断面斜視図である。
FIG. 2 is a partial cross-sectional perspective view showing the insulating container of the first embodiment on which a quartz vibrating piece is mounted.

【図3】第1実施例の電極パッドを示す拡大斜視図であ
る。
FIG. 3 is an enlarged perspective view showing an electrode pad of the first embodiment.

【図4】A〜C図は、第1実施例の絶縁容器に水晶振動
片をマウントする工程を示す平面図、A’〜C’図は、
それらに対応する断面図である。
FIGS. 4A to 4C are plan views showing steps of mounting the crystal resonator element on the insulating container of the first embodiment, and FIGS.
It is sectional drawing corresponding to them.

【図5】A及びB図は、それぞれ図4のA’及びB’図
の拡大図である。
FIGS. 5A and B are enlarged views of FIGS. 4A and 4B, respectively.

【図6】A〜E図は、それぞれ電極パッドの変形例を示
す平面図、F図は、本発明の絶縁容器の変形例を示す平
面図である。
6A to 6E are plan views each showing a modification of the electrode pad, and FIG. 6F is a plan view showing a modification of the insulating container of the present invention.

【図7】A図は、本発明の第2実施例による水晶振動片
を示す平面図、B図は、その部分拡大断面図である。
FIG. 7A is a plan view showing a quartz-crystal vibrating piece according to a second embodiment of the present invention, and FIG.

【図8】A及びB図は、第2実施例の水晶振動片をマウ
ントする工程を示す図5と同様の拡大断面図である。
FIGS. 8A and 8B are enlarged cross-sectional views similar to FIGS. 5A and 5B showing a step of mounting the quartz-crystal vibrating piece of the second embodiment.

【図9】A図は、水晶振動片の変形例を示す平面図、B
図はその部分拡大断面図である。
FIG. 9A is a plan view showing a modification of the quartz-crystal vibrating piece, and FIG.
The figure is a partially enlarged sectional view thereof.

【図10】A図は、水晶振動片の別の変形例を示す平面
図、B図はその部分拡大断面図である。
10A is a plan view showing another modified example of the quartz-crystal vibrating piece, and FIG. 10B is a partially enlarged sectional view thereof.

【図11】従来の水晶振動子を示す部分断面分解斜視図
である。
FIG. 11 is a partial cross-sectional exploded perspective view showing a conventional crystal unit.

【図12】A〜C図は、従来の絶縁容器に水晶振動片を
マウントする工程を示す平面図、A’〜C’図は、それ
らに対応する断面図である。
12A to 12C are plan views showing steps of mounting a crystal resonator element on a conventional insulating container, and FIGS. A ′ to C ′ are cross-sectional views corresponding thereto.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 絶縁容器 2 水晶振動片 3 蓋 4 ベース 5 フレーム 6 接続電極 7 電極パッド 8 導電リード 9 励振電極 10 引出電極 11 導電性接着剤 20 絶縁容器 21 蓋 22 水晶振動片 23 ベース 24 フレーム 24a、24b 側壁 25 励振電極 26 引出電極 27 接続電極 28 リード 29 電極パッド 30 下層部分 31 上層部分 32、32a、32b スリット 33 導電性接着剤 34 側壁 34a 側壁部分 35 水晶振動片 36 励振電極 37 引出電極 38 スリット 39 導電性接着剤 40 凹み 41 水晶振動片 42 平面電極 43 側面電極 44 引出電極 45 重り部 46 スリット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Insulating container 2 Crystal vibrating piece 3 Lid 4 Base 5 Frame 6 Connection electrode 7 Electrode pad 8 Conductive lead 9 Excitation electrode 10 Leader electrode 11 Conductive adhesive 20 Insulating container 21 Cover 22 Quartz vibrating piece 23 Base 24 Frame 24a, 24b Side wall Reference Signs List 25 excitation electrode 26 extraction electrode 27 connection electrode 28 lead 29 electrode pad 30 lower layer part 31 upper layer part 32, 32a, 32b slit 33 conductive adhesive 34 side wall 34a side wall part 35 crystal vibrating piece 36 excitation electrode 37 extraction electrode 38 slit 39 conductive Adhesive 40 dent 41 quartz vibrating piece 42 plane electrode 43 side electrode 44 lead-out electrode 45 weight part 46 slit

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パッケージの内部に圧電素子片を、その
引出電極を設けた一方の端部において片持ち式に実装し
かつ気密に封止する表面実装型の圧電デバイスにおい
て、 前記パッケージが、絶縁容器と、その上部に接合される
蓋とを有し、 前記絶縁容器が、その実装面に接続電極と、前記接続電
極上に前記圧電素子片の引出電極を導電性接着剤により
接続するための電極パッドとを有し、 前記電極パッドが、その端部を隣接する前記絶縁容器の
側壁の側にのみ開いたスリットを有し、かつその前記ス
リットの端部を開いた側を前記側壁に近接させて形成さ
れていることを特徴とする圧電デバイスのパッケージ構
造。
1. A surface mount type piezoelectric device in which a piezoelectric element piece is cantileverly mounted and hermetically sealed at one end where a lead electrode is provided inside a package. A container and a lid joined to an upper part thereof, wherein the insulating container is for connecting a connection electrode on a mounting surface thereof and an extraction electrode of the piezoelectric element piece on the connection electrode by a conductive adhesive. An electrode pad, wherein the electrode pad has a slit that is opened only on the side of the side wall of the insulating container adjacent to the end, and the side that opens the end of the slit is close to the side wall. A package structure for a piezoelectric device, characterized by being formed by:
【請求項2】 前記電極パッドが、導電材料をスクリー
ン印刷することにより形成されたものであることを特徴
とする請求項1に記載の圧電デバイスのパッケージ構
造。
2. The package structure for a piezoelectric device according to claim 1, wherein said electrode pad is formed by screen-printing a conductive material.
【請求項3】 前記電極パッドが、前記スリットを有し
ない下層部分と前記スリットを有する上層部分との積層
構造であることを特徴とする請求項1または2に記載の
圧電デバイスのパッケージ構造。
3. The package structure of a piezoelectric device according to claim 1, wherein the electrode pad has a laminated structure of a lower layer portion having no slit and an upper layer portion having the slit.
【請求項4】 前記絶縁容器の側壁が、前記引出電極を
設けた前記圧電素子片の一方の端部に沿って近接するよ
うに配設されていることを特徴とする請求項1乃至3の
いずれかに記載の圧電デバイスのパッケージ構造。
4. The piezoelectric element according to claim 1, wherein a side wall of the insulating container is arranged so as to be close to one end of the piezoelectric element piece provided with the extraction electrode. A package structure of the piezoelectric device according to any one of the above.
【請求項5】 請求項1乃至4のいずれかに記載の前記
絶縁容器の実装面に、圧電素子片を片持ち式に実装した
ことを特徴とする圧電デバイス。
5. A piezoelectric device, wherein a piezoelectric element piece is mounted on a mounting surface of the insulating container according to claim 1 in a cantilever manner.
【請求項6】 パッケージの内部に圧電素子片を、その
引出電極を設けた一方の端部において片持ち式に実装し
かつ気密に封止する表面実装型の圧電デバイスにおい
て、 前記パッケージが、その実装面に圧電素子片の引出電極
を導電性接着剤により接続するための接続電極を形成し
た絶縁容器と、その上部に接合される蓋とを有し、 前記圧電素子片が、前記引出電極を形成した部分にそれ
に隣接する前記絶縁容器の側壁の側にのみ開いたスリッ
トを有することを特徴とする圧電デバイス。
6. A surface mount type piezoelectric device in which a piezoelectric element piece is cantileverly mounted and hermetically sealed at one end where a lead electrode is provided inside a package, wherein the package comprises An insulating container having a connection electrode for connecting the extraction electrode of the piezoelectric element piece to the mounting surface with a conductive adhesive, and a lid joined to an upper portion thereof, wherein the piezoelectric element piece includes the extraction electrode. A piezoelectric device, characterized in that the formed portion has a slit opened only on the side of the side wall of the insulating container adjacent thereto.
【請求項7】 前記絶縁容器が、請求項1乃至5のいず
れかに記載の絶縁容器であることを特徴とする請求項6
に記載の圧電デバイス。
7. The insulating container according to claim 1, wherein the insulating container is the insulating container according to claim 1. Description:
6. The piezoelectric device according to claim 1.
【請求項8】 前記絶縁容器の側壁が、前記圧電素子片
の引出電極に近接させて配設されていることを特徴とす
る請求項6又は7に記載の圧電デバイス。
8. The piezoelectric device according to claim 6, wherein a side wall of the insulating container is disposed close to an extraction electrode of the piezoelectric element piece.
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