JP2016129288A - Electronic device, electronic apparatus and mobile - Google Patents

Electronic device, electronic apparatus and mobile Download PDF

Info

Publication number
JP2016129288A
JP2016129288A JP2015002933A JP2015002933A JP2016129288A JP 2016129288 A JP2016129288 A JP 2016129288A JP 2015002933 A JP2015002933 A JP 2015002933A JP 2015002933 A JP2015002933 A JP 2015002933A JP 2016129288 A JP2016129288 A JP 2016129288A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic device
thermistor
electrode pads
electronic
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015002933A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
山下 剛
Takeshi Yamashita
剛 山下
半澤 正則
Masanori Hanzawa
正則 半澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2015002933A priority Critical patent/JP2016129288A/en
Publication of JP2016129288A publication Critical patent/JP2016129288A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic device capable of reducing short circuit of electrode pads via a conductive bonding member, and problems on the mounting of an electronic element.SOLUTION: A crystal oscillator 1 includes a package base 31 having a recess 35, a thermistor 20 housed in the recess 35, and a plurality of electrode pads 36a, 36b provided on the inner bottom surface 36 of the recess 35, and to which the thermistor 20 is bonded via a conductive bonding member 41. At least one (e.g., 36a) of a pair of opposite electrode pads 36a, 36b includes a notch K at a part overlapping the thermistor 20 in the plan view, on the side opposite to the other electrode pad 36b, and includes a shrunk width part H, where the width in a direction perpendicular to the arrangement direction of the pair of opposite electrode pads 36a, 36b becomes narrower as receding from the thermistor 20, at a part on the side opposite from the side facing the other electrode pad 36b.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、電子デバイス、この電子デバイスを備えている電子機器及び移動体に関する。   The present invention relates to an electronic device, an electronic apparatus including the electronic device, and a moving object.

従来、電子デバイスの一例として、圧電振動素子と、感温部品と、圧電振動素子を収容する第1の収容部、及び感温部品を収容する第2の収容部を有した容器と、を備え、容器が、第2の収容部を構成する貫通孔を有し且つ底部に複数の実装端子を備えた第1の絶縁基板と、第1の絶縁基板に積層固定され、表面に圧電振動素子搭載用の第1の電極パッドが設けられ、裏面に感温部品搭載用の第2の電極パッドが設けられた第2の絶縁基板と、第2の絶縁基板の表面に積層固定され、第1の収容部を構成する第3の基板と、を備えている圧電デバイスが知られている(例えば、特許文献1参照)。   2. Description of the Related Art Conventionally, as an example of an electronic device, a piezoelectric vibration element, a temperature-sensitive component, a first housing portion that houses a piezoelectric vibration element, and a container that has a second housing portion that houses a temperature-sensitive component are provided. The container has a first insulating substrate having a through-hole constituting the second accommodating portion and having a plurality of mounting terminals at the bottom, and is laminated and fixed to the first insulating substrate, and has a piezoelectric vibration element mounted on the surface. A first electrode pad for mounting, a second insulating substrate having a second electrode pad for mounting a temperature-sensitive component on the back surface, and a laminated fixing on the surface of the second insulating substrate, There is known a piezoelectric device including a third substrate that constitutes a housing portion (see, for example, Patent Document 1).

また、他の一例として、筐体と、筐体に収容され、パッドを有した基板と、基板に向いた実装面を有するとともに縁部に電極が設けられた部品と、部品の側面とパッドの一部とに亘って塗布され、パッドと電極とを電気的に接続した導電性部材と、を備え、パッドは、部品の実装面と基板との間から外れて位置した塗布領域を有する第1のパッド部と、部品の実装面と基板との間に位置するとともに、実装面の中央側に第1のパッド部よりも突出した形状を有する第2のパッド部とを含む構成の電子機器が知られている(例えば、特許文献2参照)。   Further, as another example, a housing, a substrate housed in the housing and having a pad, a component having a mounting surface facing the substrate and having an electrode on an edge, a side surface of the component, and a pad A conductive member that is applied over a portion and electrically connects the pad and the electrode, and the pad has a first application region that is positioned away from between the mounting surface of the component and the substrate. And a second pad portion that is located between the component mounting surface and the substrate and has a shape protruding from the first pad portion on the center side of the mounting surface. It is known (see, for example, Patent Document 2).

特開2013−102315号公報JP 2013-102315 A 特開2014−3101号公報JP 2014-3101A

上記特許文献1の圧電デバイスは、感温部品が、例えば、ハンダなどの導電性接合部材を介して第2の電極パッドに搭載されている。
特許文献1の図1などによれば、上記圧電デバイスの第2の電極パッドの平面形状は、矩形(四角形)状となっている。
上記圧電デバイスでは、感温部品が凹状の第2の収容部に収容されていることから、第2の収容部の底面に設けられた第2の電極パッドへの、例えば、クリームハンダなどのペースト状の導電性接合部材の塗布に、スクリーン印刷を用いることが困難であり、ディスペンサーなどの局所塗布装置が用いられることになる。
In the piezoelectric device disclosed in Patent Document 1, a temperature-sensitive component is mounted on the second electrode pad via a conductive bonding member such as solder.
According to FIG. 1 and the like of Patent Document 1, the planar shape of the second electrode pad of the piezoelectric device is rectangular (square).
In the piezoelectric device, since the temperature-sensitive component is accommodated in the concave second accommodating portion, for example, paste such as cream solder to the second electrode pad provided on the bottom surface of the second accommodating portion It is difficult to use screen printing for applying the conductive conductive bonding member, and a local application device such as a dispenser is used.

このディスペンサーなどの局所塗布装置を用いた塗布方法では、スクリーン印刷と比較して、第2の電極パッドへのクリームハンダなどの導電性接合部材の塗布量の正確な制御が困難となる。
この結果、上記圧電デバイスは、クリームハンダなどの導電性接合部材の塗布量がばらつき易くなることから、第2の電極パッド同士の導電性接合部材を介した短絡(ハンダブリッジ)が生じる虞がある。
In a coating method using a local coating device such as a dispenser, it is difficult to accurately control the coating amount of a conductive bonding member such as cream solder on the second electrode pad, as compared with screen printing.
As a result, since the application amount of the conductive bonding member such as cream solder is likely to vary, the piezoelectric device may cause a short circuit (solder bridge) between the second electrode pads via the conductive bonding member. .

この対策としては、例えば、特許文献2の図7などに示されたパッドの構成が有効である。
この、一対のパッドの互いに対向する側の一部が切り欠かれた構成の採用により、特許文献1の圧電デバイスは、互いに対向する第2の電極パッド同士の間隔が部分的に広くなることから、導電性接合部材(導電性部材)を介した短絡を低減することができる。
For example, the pad configuration shown in FIG. 7 of Patent Document 2 is effective as a countermeasure.
By adopting the configuration in which a part of the pair of pads facing each other is cut away, the piezoelectric device of Patent Document 1 has a partially widened gap between the second electrode pads facing each other. Short circuit through the conductive bonding member (conductive member) can be reduced.

しかしながら、特許文献2の図7などに示されたパッドの平面形状は、一対のパッドの互いに対向する側の一部(切り欠かれた凹部)を除くと、矩形状のままである。
このことから、特許文献2の図7などに示されたパッドの構成では、上記圧電デバイスにおけるクリームハンダなどの導電性接合部材の塗布量のばらつきによる、感温部品の接合不良や、感温部品の立ち上がり現象(マンハッタン現象)、感温部品の位置ずれなど、感温部品の実装上の不具合に対して改善の余地がある。
However, the planar shape of the pad shown in FIG. 7 and the like of Patent Document 2 remains a rectangular shape except for a part of the pair of pads facing each other (a notched recess).
For this reason, in the pad configuration shown in FIG. 7 of Patent Document 2, the bonding failure of the temperature sensitive component due to the variation in the application amount of the conductive bonding member such as cream solder in the piezoelectric device, or the temperature sensitive component There is room for improvement in mounting problems of temperature-sensitive components such as the rising phenomenon (Manhattan phenomenon) and temperature-sensitive component displacement.

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

[適用例1]本適用例にかかる電子デバイスは、凹部が設けられている基板と、前記凹部に収容されている電子素子と、前記凹部の内底面に設けられ、前記電子素子の電極が導電性接合部材を介して接合されている複数の電極パッドと、を備え、前記複数の電極パッドのうち、対向する一対の電極パッドの少なくとも一方は、他方の電極パッドに対向する側であって、平面視で前記電子素子と重なる部分に、切欠き部が設けられ、且つ、前記他方の電極パッドに対向する側とは反対側の部分に、前記電子素子から離れるに従って、前記一対の電極パッドが並ぶ方向とは直交する方向に沿った幅が狭くなっている縮幅部を含むことを特徴とする。   Application Example 1 An electronic device according to this application example is provided with a substrate provided with a recess, an electronic element accommodated in the recess, and an inner bottom surface of the recess, and an electrode of the electronic element is electrically conductive. A plurality of electrode pads bonded via a bonding member, wherein at least one of the pair of electrode pads facing each other among the plurality of electrode pads is a side facing the other electrode pad, A notch is provided in a portion overlapping the electronic element in a plan view, and the pair of electrode pads is formed on a part opposite to the side facing the other electrode pad as the distance from the electronic element increases. It includes a reduced width portion having a narrow width along a direction orthogonal to the line-up direction.

これによれば、電子デバイスは、対向する一対の電極パッドの少なくとも一方が、他方の電極パッドに対向する側であって、平面視で電子素子と重なる部分に、切欠き部が設けられ、且つ、他方の電極パッドに対向する側とは反対側の部分に、電子素子から離れるに従って、一対の電極パッドが並ぶ方向とは直交する方向に沿った幅が狭くなっている縮幅部を含む。
このことから、電子デバイスは、一対の電極パッドの対向する側の間隔が部分的に広くなるとともに、クリームハンダなどの導電性接合部材の塗布量が少なくなった場合でも、リフロー実装時に導電性接合部材が電極パッドの中央部に集まり易くなる。
この結果、電子デバイスは、電極パッド同士の導電性接合部材を介した短絡を低減することができるとともに、リフロー実装時に導電性接合部材の濡れ広がりが制御され、電子素子の電極の側面に安定してフィレット(裾広がり形状)が形成され易くなり、セルフアライメント効果(電子デバイスの外部基板へのクリームハンダなどの導電性接合部材を用いたリフロー実装時における自律的位置修復現象)を大きくすることができる。
この結果、電子デバイスは、電子素子の接合不良や、電子素子の立ち上がり現象、電子素子の位置ずれなど、電子素子の実装上の不具合を低減することができる。
According to this, in the electronic device, at least one of the pair of electrode pads facing each other is on the side facing the other electrode pad, and the cutout portion is provided in a portion overlapping the electronic element in a plan view, and In addition, the portion opposite to the side facing the other electrode pad includes a reduced width portion whose width decreases along the direction orthogonal to the direction in which the pair of electrode pads are arranged as the distance from the electronic element increases.
As a result, the electronic device has a wide gap between the opposing sides of the pair of electrode pads, and even when the application amount of the conductive bonding member such as cream solder is reduced, the conductive bonding is performed at the time of reflow mounting. The members easily gather at the center of the electrode pad.
As a result, the electronic device can reduce short-circuiting between the electrode pads through the conductive bonding member, and the wetting and spreading of the conductive bonding member is controlled during reflow mounting, so that the electronic device can be stabilized on the side surface of the electrode. This makes it easier to form a fillet (a hem-spread shape) and increases the self-alignment effect (autonomous position repair phenomenon during reflow mounting using a conductive bonding member such as cream solder on the external substrate of the electronic device). it can.
As a result, the electronic device can reduce inconveniences in mounting the electronic element such as defective bonding of the electronic element, a rising phenomenon of the electronic element, and a positional deviation of the electronic element.

[適用例2]上記適用例にかかる電子デバイスにおいて、前記縮幅部の外形は、平面視で仮想の矩形の前記直交する方向に沿って隣り合う2つの角部を隅切した後の形状から成り立っていることが好ましい。   Application Example 2 In the electronic device according to the application example described above, the reduced-width portion has an outer shape that is obtained by cutting two corners adjacent to each other along the orthogonal direction of the virtual rectangle in plan view. It is preferable that it is satisfied.

これによれば、電子デバイスは、縮幅部の外形が平面視で仮想の矩形の上記直交する方向に沿って隣り合う2つの角部を隅切した後の形状から成り立っていることから、縮幅部がテーパー状となる。
この結果、電子デバイスは、電子素子の電極(電極端子)の側面にフィレットがより容易に形成されるとともに、セルフアライメント効果をより大きくすることができる。
According to this, since the outer shape of the reduced width portion is composed of a shape after cutting two adjacent corner portions along the orthogonal direction of the virtual rectangle in plan view, the reduced size portion is reduced. The width portion is tapered.
As a result, in the electronic device, the fillet is more easily formed on the side surface of the electrode (electrode terminal) of the electronic element, and the self-alignment effect can be further increased.

[適用例3]上記適用例にかかる電子デバイスにおいて、前記縮幅部は、前記仮想の矩形の隅切前の前記電子素子から露出している部分に対して、1/2以上2/3以下の面積となっていることが好ましい。   Application Example 3 In the electronic device according to the application example described above, the reduced width portion is 1/2 or more and 2/3 or less with respect to a portion exposed from the electronic element before corner cutting of the virtual rectangle. It is preferable that it is an area.

これによれば、電子デバイスは、縮幅部が上記仮想の矩形の隅切前の電子素子から露出している部分に対して、1/2以上2/3以下の面積となっていることから、例えば、クリームハンダなどの導電性接合部材の塗布量が少なくなった場合でも、リフロー実装時に導電性接合部材が電極パッドの中央部に更に集まり易くなる。
これにより、電子デバイスは、リフロー実装時に導電性接合部材の濡れ広がりが制御され、電子素子の電極の側面に更に安定してフィレットが形成されるとともに、セルフアライメント効果を更に大きくすることができる。
According to this, in the electronic device, the reduced width portion has an area of 1/2 or more and 2/3 or less with respect to the portion exposed from the electronic element before the corner cut of the virtual rectangle. For example, even when the application amount of the conductive bonding member such as cream solder is reduced, the conductive bonding member is more likely to gather at the center of the electrode pad during reflow mounting.
Thereby, in the electronic device, the wetting and spreading of the conductive bonding member is controlled during reflow mounting, the fillet is more stably formed on the side surface of the electrode of the electronic element, and the self-alignment effect can be further increased.

[適用例4]上記適用例にかかる電子デバイスにおいて、前記基板に搭載される振動片を更に備え、振動子として機能することが好ましい。   Application Example 4 In the electronic device according to the application example described above, it is preferable that the electronic device further includes a resonator element mounted on the substrate and functions as a vibrator.

これによれば、電子デバイスは、基板に搭載される振動片を更に備え、振動子として機能することから、電子素子の実装上の不具合が低減された信頼性の高い振動子を提供することができる。   According to this, since the electronic device further includes the resonator element mounted on the substrate and functions as a vibrator, it is possible to provide a highly reliable vibrator with reduced defects in mounting the electronic element. it can.

[適用例5]上記適用例にかかる電子デバイスにおいて、前記電子素子は、感温素子であることが好ましい。   Application Example 5 In the electronic device according to the application example, it is preferable that the electronic element is a temperature sensitive element.

これによれば、電子デバイスは、電子素子が感温素子であることから、振動片近傍の温度を感温素子で検知することができる。
この結果、電子デバイスは、感温素子で検知した温度に基づいて、振動片の周波数の補正が可能となることから、優れた周波数温度特性の振動子を提供することができる。
According to this, since the electronic device is a temperature sensitive element, the temperature in the vicinity of the resonator element can be detected by the temperature sensitive element.
As a result, since the electronic device can correct the frequency of the resonator element based on the temperature detected by the temperature sensing element, it is possible to provide a vibrator having excellent frequency temperature characteristics.

[適用例6]上記適用例にかかる電子デバイスにおいて、前記感温素子は、サーミスターまたは測温用半導体であることが好ましい。   Application Example 6 In the electronic device according to the application example, it is preferable that the temperature sensing element is a thermistor or a temperature measuring semiconductor.

これによれば、電子デバイスは、感温素子がサーミスターまたは測温用半導体であることから、サーミスター及び測温用半導体の特性により周囲の温度を正確に検知することができる。   According to this, since the temperature sensing element is a thermistor or a temperature measuring semiconductor, the electronic device can accurately detect the ambient temperature based on the characteristics of the thermistor and the temperature measuring semiconductor.

[適用例7]本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする。   Application Example 7 An electronic apparatus according to this application example includes the electronic device according to any one of the application examples described above.

これによれば、本構成の電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の電子デバイスを備えていることから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。   According to this, since the electronic apparatus of this configuration includes the electronic device described in any one of the above application examples, the effect described in any one of the above application examples is achieved, and excellent performance is achieved. It can be demonstrated.

[適用例8]本適用例にかかる移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする。   Application Example 8 A moving object according to this application example includes the electronic device according to any one of the application examples described above.

これによれば、本構成の移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の電子デバイスを備えていることから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。   According to this, since the mobile body of this configuration includes the electronic device described in any one of the above application examples, the effect described in any one of the above application examples is achieved, and excellent performance is achieved. It can be demonstrated.

第1実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、(a)はリッド(蓋体)側から見た平面図、(b)は(a)のA−A線での断面図、(c)は底面側から見た平面図。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the crystal oscillator of 1st Embodiment, (a) is a top view seen from the lid (lid body) side, (b) is sectional drawing in the AA of (a). (C) is the top view seen from the bottom face side. 図1(c)のB部の模式拡大図。The model enlarged view of the B section of Drawing 1 (c). 第1実施形態の水晶振動子に収容された電子素子としての感温素子を含む水晶振動子の駆動に関わる回路図。The circuit diagram in connection with the drive of the crystal oscillator containing the temperature sensing element as an electronic element accommodated in the crystal oscillator of 1st Embodiment. (a)、(b)は、電極パッドの形状バリエーションを示す模式平面図。(A), (b) is a schematic top view which shows the shape variation of an electrode pad. 第1実施形態の変形例の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、(a)はリッド側から見た平面図、(b)は(a)のA−A線での断面図、(c)は底面側から見た平面図。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the crystal resonator of the modification of 1st Embodiment, (a) is a top view seen from the lid side, (b) is sectional drawing in the AA of (a), (C) is the top view seen from the bottom face side. 第2実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、(a)はリッド側から見た平面図、(b)は(a)のA−A線での断面図、(c)は底面側から見た平面図。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the crystal oscillator of 2nd Embodiment, (a) is the top view seen from the lid side, (b) is sectional drawing in the AA of (a), (c) Is a plan view seen from the bottom side. 第3実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図であり、(a)はリッド側から見た平面図、(b)は(a)のA−A線での断面図、(c)は底面側から見た平面図。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the crystal oscillator of 3rd Embodiment, (a) is a top view seen from the lid side, (b) is sectional drawing in the AA of (a), (c) Is a plan view seen from the bottom side. 電子機器としての携帯電話を示す模式斜視図。The model perspective view which shows the mobile telephone as an electronic device. 移動体としての自動車を示す模式斜視図。The model perspective view which shows the motor vehicle as a moving body.

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。   DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the invention will be described with reference to the drawings.

(第1実施形態)
最初に、電子デバイスの一例としての水晶振動子について説明する。
図1は、第1実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図1(a)は、リッド(蓋体)側から見た平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A線での断面図であり、図1(c)は、底面側から見た平面図である。図2は、図1(c)のB部の模式拡大図である。
なお、図1(a)を含む以下のリッド側から見た平面図では、リッドを省略してある。また、分かり易くするために、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
図3は、第1実施形態の水晶振動子に収容された電子素子としての感温素子を含む水晶振動子の駆動に関わる回路図である。
(First embodiment)
First, a crystal resonator as an example of an electronic device will be described.
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of the crystal resonator according to the first embodiment. 1A is a plan view seen from the lid (lid) side, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1A, and FIG. These are the top views seen from the bottom face side. FIG. 2 is a schematic enlarged view of a portion B in FIG.
In addition, the lid is omitted in the following plan views including the lid side including FIG. In addition, for easy understanding, the dimensional ratio of each component is different from the actual one.
FIG. 3 is a circuit diagram relating to driving of a crystal unit including a temperature sensitive element as an electronic element housed in the crystal unit of the first embodiment.

図1に示すように、水晶振動子1は、振動片としての水晶振動片10と、電子素子としての感温素子の一例としてのサーミスター20と、水晶振動片10及びサーミスター20が収容されているパッケージ30と、を備えている。   As shown in FIG. 1, the crystal resonator 1 accommodates a crystal resonator element 10 as a resonator element, a thermistor 20 as an example of a temperature sensitive element as an electronic element, and the crystal resonator element 10 and the thermistor 20. Package 30.

水晶振動片10は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出されたATカット型の水晶基板であって、平面形状が略矩形に形成され、厚みすべり振動が励振される振動部11と振動部11に接続された基部12とを一体で有している。
水晶振動片10は、振動部11の一方の主面13及び他方の主面14に形成された略矩形の励振電極15,16から引き出された引き出し電極15a,16aが、基部12に形成されている。
The quartz crystal vibrating piece 10 is, for example, an AT-cut type quartz substrate cut out at a predetermined angle from a quartz crystal or the like, and has a vibrating portion 11 having a planar shape formed in a substantially rectangular shape and excited by thickness shear vibration. A base portion 12 connected to the vibration portion 11 is integrally provided.
The quartz crystal resonator element 10 has a base 12 formed with lead electrodes 15 a and 16 a drawn from substantially rectangular excitation electrodes 15 and 16 formed on one main surface 13 and the other main surface 14 of the vibration portion 11. Yes.

引き出し電極15aは、一方の主面13の励振電極15から、水晶振動片10の長手方向(紙面左右方向)に沿って基部12に引き出され、基部12の側面に沿って他方の主面14に回り込み、基部12の他方の主面14まで延在している。
引き出し電極16aは、他方の主面14の励振電極16から、水晶振動片10の長手方向に沿って基部12に引き出され、基部12の側面に沿って一方の主面13に回り込み、基部12の一方の主面13まで延在している。
励振電極15,16及び引き出し電極15a,16aは、例えば、Cr(クロム)を下地層とし、その上にAu(金)またはAuを主成分とする金属が積層された構成の金属被膜となっている。
The lead electrode 15 a is drawn from the excitation electrode 15 on one main surface 13 to the base portion 12 along the longitudinal direction (left and right direction on the paper surface) of the crystal vibrating piece 10, and to the other main surface 14 along the side surface of the base portion 12. It wraps around and extends to the other main surface 14 of the base 12.
The lead electrode 16 a is drawn from the excitation electrode 16 on the other main surface 14 to the base portion 12 along the longitudinal direction of the quartz crystal vibrating piece 10, wraps around the one main surface 13 along the side surface of the base portion 12, and One main surface 13 is extended.
The excitation electrodes 15 and 16 and the extraction electrodes 15a and 16a are, for example, metal films having a structure in which Cr (chromium) is used as a base layer and Au (gold) or a metal mainly composed of Au is laminated thereon. Yes.

サーミスター20は、例えば、チップ型(直方体形状)の感温素子(感温抵抗素子)であって、両端部に電極21,22を有し、温度変化に対して電気抵抗の変化の大きい抵抗体である。
サーミスター20には、例えば、温度の上昇に対して抵抗が減少するNTC(Negative Temperature Coefficient)サーミスターと呼ばれるサーミスターが用いられている。NTCサーミスターは、温度と抵抗値の変化の関係が直線的なため、温度センサーとして多用されている。
サーミスター20は、パッケージ30に収容され、水晶振動片10近傍の温度を検知することにより、温度センサーとして水晶振動片10の温度変化に伴う周波数変動の補正に資する機能を果たしている。
The thermistor 20 is, for example, a chip-type (cuboid-shaped) temperature sensing element (temperature sensing resistance element), and has electrodes 21 and 22 at both ends, and is a resistance having a large electrical resistance change with respect to a temperature change. Is the body.
As the thermistor 20, for example, a thermistor called an NTC (Negative Temperature Coefficient) thermistor whose resistance decreases with increasing temperature is used. NTC thermistors are often used as temperature sensors because the relationship between changes in temperature and resistance value is linear.
The thermistor 20 is housed in the package 30 and detects the temperature in the vicinity of the quartz crystal vibrating piece 10, thereby serving as a temperature sensor that contributes to correction of frequency fluctuations associated with the temperature change of the quartz crystal vibrating piece 10.

パッケージ30は、平面形状が略矩形の略平板状であって、互いに表裏の関係にある第1主面33と第2主面34とを有する基板としてのパッケージベース31と、パッケージベース31の第1主面33側を覆う平板状のリッド32と、を有し、略直方体形状に構成されている。
パッケージベース31は、一方の面が第1主面33となる平板状の第1層31aと、中央部に開口部を有し、第1層31aの第1主面33とは反対側に積層され、この積層面とは反対側の面が第2主面34となる第2層31bと、第1層31aの第1主面33側に積層された枠状の第3層31cと、を備えている。
パッケージベース31の第1層31a及び第2層31bには、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、炭化珪素質焼結体、ガラスセラミックス焼結体などのセラミックス系の絶縁性材料、または、水晶、ガラス、シリコン(高抵抗シリコン)などが用いられている。
パッケージベース31の第3層31c及びリッド32には、パッケージベース31と同材料、または、コバール、42アロイなどの金属が用いられている。
The package 30 is a substantially flat plate having a substantially rectangular planar shape, and includes a package base 31 as a substrate having a first main surface 33 and a second main surface 34 that are in a front-back relationship with each other, And a flat lid 32 that covers the first main surface 33 side, and is configured in a substantially rectangular parallelepiped shape.
The package base 31 has a flat plate-like first layer 31a whose one surface becomes the first main surface 33, an opening in the center, and is laminated on the opposite side of the first layer 31a from the first main surface 33. A second layer 31b whose surface opposite to the laminated surface is the second main surface 34, and a frame-like third layer 31c laminated on the first main surface 33 side of the first layer 31a. I have.
The first layer 31a and the second layer 31b of the package base 31 are formed of an aluminum oxide sintered body, a mullite sintered body, an aluminum nitride sintered body, a silicon carbide material, which are formed by stacking and firing ceramic green sheets. Ceramic-based insulating materials such as sintered bodies and glass-ceramic sintered bodies, or crystals, glass, silicon (high resistance silicon), and the like are used.
The third layer 31c and the lid 32 of the package base 31 are made of the same material as the package base 31, or a metal such as Kovar or 42 alloy.

パッケージベース31の第1主面33には、水晶振動片10の引き出し電極15a,16aに対向する位置に、内部端子33a,33bが設けられている。
水晶振動片10は、引き出し電極15a,16aが、金属フィラーなどの導電性物質が混合された、エポキシ系、シリコーン系、ポリイミド系などの導電性接着剤40を介して内部端子33a,33bに接合されている。これにより、水晶振動片10は、パッケージベース31に搭載されたことになる。
Internal terminals 33 a and 33 b are provided on the first main surface 33 of the package base 31 at positions facing the extraction electrodes 15 a and 16 a of the crystal vibrating piece 10.
In the quartz crystal resonator element 10, the lead electrodes 15a and 16a are joined to the internal terminals 33a and 33b via a conductive adhesive 40 such as an epoxy, silicone, or polyimide based material mixed with a conductive material such as a metal filler. Has been. As a result, the crystal vibrating piece 10 is mounted on the package base 31.

水晶振動子1は、水晶振動片10がパッケージベース31の内部端子33a,33bに接合された状態で、パッケージベース31の第3層31cがリッド32により覆われ、パッケージベース31とリッド32とがシーム溶接や、低融点ガラス、接着剤などの接合部材で接合されることにより、パッケージベース31の第1層31a、第3層31c及びリッド32を含んで構成された内部空間Sが気密に封止されている。
図1では、一例として、金属製の第3層31cと金属製のリッド32とがシーム溶接により接合されている形態を示している。なお、この場合、第3層31cは、第1層31aのメタライズ層(図示せず)に、ロウ付けされている。
パッケージ30の気密に封止された内部空間S内は、減圧された真空状態(真空度の高い状態)または窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填された状態となっている。
In the crystal resonator 1, the third layer 31 c of the package base 31 is covered with the lid 32 in a state where the crystal vibrating piece 10 is bonded to the internal terminals 33 a and 33 b of the package base 31, and the package base 31 and the lid 32 are separated from each other. The inner space S including the first layer 31a, the third layer 31c, and the lid 32 of the package base 31 is hermetically sealed by being joined by a joint member such as seam welding, low-melting glass, or adhesive. It has been stopped.
In FIG. 1, the metal 3rd layer 31c and the metal lid 32 are joined by seam welding as an example. In this case, the third layer 31c is brazed to the metallized layer (not shown) of the first layer 31a.
The airtightly sealed internal space S of the package 30 is in a reduced vacuum state (high vacuum state) or in a state filled with an inert gas such as nitrogen, helium, or argon.

パッケージベース31の第2主面34側には、第2層31bの開口部と第1層31aの積層面とにより凹部35が設けられている。凹部35の平面形状は、例えば、トラック状に形成されている。
凹部35の内底面36(第1層31aにおける第2層31b側の積層面)には、サーミスター20の電極21,22に対向する位置にそれぞれ電極パッド36a,36bが設けられている。
サーミスター20は、ディスペンサーなどの局所塗布装置を用いて電極パッド36a,36bに塗布されたクリームハンダなどの導電性接合部材41を介してリフロー実装されることにより、電極21,22が電極パッド36a,36bに接合されている。これにより、サーミスター20は、パッケージベース31の凹部35に収容されたことになる。
なお、サーミスター20は、長手方向(電極21と電極22とを結ぶ方向)がパッケージベース31の長手方向(紙面左右方向)に沿うようにして、凹部35の略中央部に配置されている。
On the second main surface 34 side of the package base 31, a recess 35 is provided by the opening of the second layer 31b and the laminated surface of the first layer 31a. The planar shape of the recess 35 is, for example, a track shape.
Electrode pads 36a and 36b are provided on the inner bottom surface 36 of the recess 35 (the laminated surface of the first layer 31a on the second layer 31b side) at positions facing the electrodes 21 and 22 of the thermistor 20, respectively.
The thermistor 20 is reflow-mounted through a conductive bonding member 41 such as cream solder applied to the electrode pads 36a and 36b using a local application device such as a dispenser, so that the electrodes 21 and 22 are connected to the electrode pads 36a. , 36b. As a result, the thermistor 20 is accommodated in the recess 35 of the package base 31.
The thermistor 20 is arranged at a substantially central portion of the recess 35 such that the longitudinal direction (direction connecting the electrode 21 and the electrode 22) is along the longitudinal direction of the package base 31 (left and right direction on the paper surface).

図1、図2に示すように、電極パッド36a,36bは、サーミスター20の電極21,22よりも大きく形成され、対向する一対の電極パッド36a,36bの少なくとも一方(ここでは、両方)は、他方の電極パッド(36aなら36b、36bなら36a)に対向する側であって、平面視でサーミスター20と重なる部分に、電極パッド36a,36bの内側に食い込む切欠き部Kが設けられている。
切欠き部Kは、電極パッド36a,36bを平面視で矩形状に切り欠いている。これにより、電極パッド36aと電極パッド36bとの間隔は、部分的に(切欠き部Kの分)広くなっている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the electrode pads 36 a and 36 b are formed larger than the electrodes 21 and 22 of the thermistor 20, and at least one of the pair of electrode pads 36 a and 36 b facing each other (here, both) is A notch K that cuts into the inner side of the electrode pads 36a, 36b is provided on the side facing the other electrode pad (36b for 36a, 36a for 36b) and overlapping the thermistor 20 in plan view. Yes.
The cutout portion K cuts the electrode pads 36a and 36b into a rectangular shape in plan view. Thereby, the space | interval of the electrode pad 36a and the electrode pad 36b is partially wide (as much as the notch part K).

加えて、電極パッド36a,36bは、切欠き部K側(互いに対向する側)とは反対側であって、平面視でサーミスター20から露出している部分に、サーミスター20から離れるに従って、電極パッド36a,36bが並ぶ方向とは直交する方向に沿った幅が狭くなっている縮幅部Hを含んでいる。
縮幅部Hの外形は、平面視で仮想の矩形としての仮電極パッド36a’,36b’における、上記直交する方向に沿って隣り合う2つの角部を隅切した後の形状から成り立っている。これにより、縮幅部Hの斜辺H1,H2は、直線となっている。
縮幅部Hは、仮電極パッド36a’,36b’の隅切前のサーミスター20から露出している部分R(図2のハッチングが施された部分)に対して、1/2以上2/3以下の面積となっている。
In addition, the electrode pads 36a and 36b are opposite to the notch K side (sides facing each other) and are exposed from the thermistor 20 in a plan view, as they move away from the thermistor 20, It includes a reduced width portion H in which the width along the direction orthogonal to the direction in which the electrode pads 36a and 36b are arranged is narrow.
The outer shape of the reduced width portion H is formed by cutting the two adjacent corner portions along the orthogonal direction in the temporary electrode pads 36a ′ and 36b ′ as virtual rectangles in plan view. . Accordingly, the hypotenuses H1 and H2 of the reduced width portion H are straight lines.
The reduced width portion H is 1/2 or more to the portion R (the hatched portion in FIG. 2) exposed from the thermistor 20 before the corner cutting of the temporary electrode pads 36a ′ and 36b ′. The area is 3 or less.

パッケージベース31の第2主面34の四隅には、それぞれ電極端子37a,37b,37c,37dが設けられている。
4つの電極端子37a〜37dのうち、例えば、一方の対角に位置する2つの電極端子37b,37dは、図示しない導通ビア(スルーホールに金属または導電性を有する材料が充填された導通電極)及び内部配線によって水晶振動片10の引き出し電極15a,16aに繋がる内部端子33a,33bと接続されている。
他方の対角に位置する残りの2つの電極端子37a,37cは、パッケージベース31の第2層31bを貫通する導通ビアV1,V2及び内部配線P1,P2を経由してサーミスター20の電極21,22に繋がる電極パッド36a,36bと接続されている。
Electrode terminals 37a, 37b, 37c, and 37d are provided at the four corners of the second main surface 34 of the package base 31, respectively.
Among the four electrode terminals 37a to 37d, for example, two electrode terminals 37b and 37d located on one diagonal are conductive vias (conductive electrodes in which a through hole is filled with a metal or a conductive material). The internal terminals 33a and 33b connected to the extraction electrodes 15a and 16a of the quartz crystal resonator element 10 are connected by internal wiring.
The remaining two electrode terminals 37a and 37c located on the other diagonal are connected to the electrode 21 of the thermistor 20 through the conductive vias V1 and V2 and the internal wirings P1 and P2 that penetrate the second layer 31b of the package base 31. , 22 are connected to electrode pads 36a, 36b.

4つの電極端子37a〜37dは、平面形状が矩形から凹部35側の一部が切り欠かれた形状に形成されている。
なお、電極端子37cは、図1に破線で示すように、パッケージベース31の第1層31aを貫通する導通ビアV3及び内部配線P2、あるいはパッケージベース31の外側の角部に設けられた図示しないキャスタレーション(凹部)に形成された導電膜のいずれかにより、第3層31cを介してリッド32と電気的に接続されていることがシールド性を向上させる観点から好ましい。なお、第3層31cが絶縁性材料の場合には、第3層31cにも導通ビアを設けることになる。
また、水晶振動子1は、電極端子37cをアース端子(GND端子)として接地することによりシールド性を更に向上させることができる。
The four electrode terminals 37a to 37d are formed in a shape in which a planar shape is rectangular and a part on the concave portion 35 side is notched.
The electrode terminal 37c is not shown in FIG. 1 provided at the corners on the outer side of the conductive via V3 and the internal wiring P2 penetrating the first layer 31a of the package base 31 or the package base 31, as shown by broken lines. It is preferable from the viewpoint of improving the shielding property that the conductive layer formed in the castellation (concave portion) is electrically connected to the lid 32 via the third layer 31c. In the case where the third layer 31c is made of an insulating material, a conductive via is also provided in the third layer 31c.
Further, the crystal resonator 1 can further improve the shielding property by grounding the electrode terminal 37c as a ground terminal (GND terminal).

なお、内部端子33a,33b、電極パッド36a,36b、電極端子37a〜37dは、例えば、W(タングステン)、Mo(モリブデン)などのメタライズ層にNi(ニッケル)、Auなどの各被膜をメッキなどにより積層した金属被膜からなる。   The internal terminals 33a and 33b, the electrode pads 36a and 36b, and the electrode terminals 37a to 37d are, for example, plated with a coating of Ni (nickel) or Au on a metallized layer such as W (tungsten) or Mo (molybdenum). It consists of the metal film laminated | stacked by.

図3に示すように、水晶振動子1は、例えば、電子機器のICチップ70内に集積化された発振回路61から、電極端子37b,37dを経由して印加される駆動信号によって、水晶振動片10が厚みすべり振動を励振されて所定の周波数で共振(発振)し、電極端子37b,37dから共振信号(発振信号)を出力する。
この際、水晶振動子1は、サーミスター20が温度センサーとして水晶振動片10近傍の温度を検知し、それを電源62から供給される電圧値の変化に変換し、電極端子37aから検出信号として出力する。
As shown in FIG. 3, the crystal resonator 1 is configured such that, for example, a crystal vibration is generated by a drive signal applied via an electrode terminal 37 b or 37 d from an oscillation circuit 61 integrated in an IC chip 70 of an electronic device. The piece 10 is excited by the thickness shear vibration and resonates (oscillates) at a predetermined frequency, and outputs a resonance signal (oscillation signal) from the electrode terminals 37b and 37d.
At this time, in the crystal resonator 1, the thermistor 20 detects the temperature in the vicinity of the crystal vibrating piece 10 as a temperature sensor, converts it into a change in voltage value supplied from the power source 62, and detects it from the electrode terminal 37a as a detection signal. Output.

出力された検出信号は、例えば、電子機器のICチップ70内に集積化されたA/D変換回路63によりA/D変換され、同じくICチップ70内に集積化された温度補償回路64に入力される。そして、温度補償回路64は、入力された検出信号に応じて温度補償データに基づいた補正信号を発振回路61に出力する。
発振回路61は、入力された補正信号に基づいて補正された駆動信号を水晶振動片10に印加し、温度変化に伴い変動する水晶振動片10の共振周波数を、所定の周波数になるように補正する。発振回路61は、この補正された周波数の発振信号を増幅し外部へ出力する。
The output detection signal is A / D converted by, for example, an A / D conversion circuit 63 integrated in an IC chip 70 of an electronic device, and input to a temperature compensation circuit 64 that is also integrated in the IC chip 70. Is done. Then, the temperature compensation circuit 64 outputs a correction signal based on the temperature compensation data to the oscillation circuit 61 in accordance with the input detection signal.
The oscillation circuit 61 applies a drive signal corrected based on the input correction signal to the crystal vibrating piece 10 and corrects the resonance frequency of the crystal vibrating piece 10 that fluctuates with a temperature change to a predetermined frequency. To do. The oscillation circuit 61 amplifies the oscillation signal having the corrected frequency and outputs it to the outside.

上述したように、第1実施形態の水晶振動子1は、対向する一対の電極パッド36a,36bの少なくとも一方(ここでは、両方)に、他方の電極パッド(36aなら36b、36bなら36a)に対向する側であって、平面視でサーミスター20と重なる部分に、切欠き部Kが設けられている。加えて、水晶振動子1は、電極パッド36a,36bの少なくとも一方(ここでは、両方)が、他方の電極パッド(36aなら36b、36bなら36a)に対向する側とは反対側であって、平面視でサーミスター20から露出している部分に、サーミスター20から離れるに従って、電極パッド36a,36bが並ぶ方向とは直交する方向に沿った幅が狭くなっている縮幅部Hを含んでいる。   As described above, in the crystal resonator 1 of the first embodiment, at least one (here, both) of the pair of electrode pads 36a, 36b facing each other and the other electrode pad (36b if 36a, 36a if 36b). A cutout portion K is provided on the opposite side, which overlaps the thermistor 20 in plan view. In addition, in the crystal unit 1, at least one of the electrode pads 36a and 36b (here, both) is opposite to the side facing the other electrode pad (36b for 36a, 36a for 36b), The portion exposed from the thermistor 20 in plan view includes a reduced width portion H in which the width along the direction orthogonal to the direction in which the electrode pads 36a and 36b are arranged becomes narrower as the distance from the thermistor 20 increases. Yes.

このことから、水晶振動子1は、電極パッド36aと電極パッド36bとの間隔が部分的に広くなるとともに、クリームハンダなどの導電性接合部材41の塗布量が少なくなった場合でも、リフロー実装時に導電性接合部材41が電極パッド36a,36bの中央部に集まり易くなる。
この結果、水晶振動子1は、電極パッド36a,36b同士の導電性接合部材41を介した短絡を低減することができるとともに、リフロー実装時に導電性接合部材41の濡れ広がりが制御され、サーミスター20の電極21,22の側面に安定してフィレットが形成され易くなり、セルフアライメント効果を大きくすることができる。
この結果、水晶振動子1は、サーミスター20の接合不良や、サーミスター20の立ち上がり現象、サーミスター20の位置ずれなど、サーミスター20の実装上の不具合を低減することができる。
From this, the crystal resonator 1 can be used at the time of reflow mounting even when the gap between the electrode pad 36a and the electrode pad 36b is partially widened and the application amount of the conductive bonding member 41 such as cream solder is reduced. The conductive bonding member 41 is likely to gather at the center of the electrode pads 36a and 36b.
As a result, the crystal unit 1 can reduce the short circuit between the electrode pads 36a and 36b via the conductive bonding member 41, and the wetting and spreading of the conductive bonding member 41 can be controlled during reflow mounting. Fillet can be easily formed stably on the side surfaces of the 20 electrodes 21 and 22, and the self-alignment effect can be increased.
As a result, the crystal unit 1 can reduce problems in mounting the thermistor 20 such as a bonding failure of the thermistor 20, a rising phenomenon of the thermistor 20, and a position shift of the thermistor 20.

また、水晶振動子1は、縮幅部Hの外形が平面視で仮電極パッド36a’,36b’における、上記直交する方向に沿って隣り合う2つの角部を隅切した後の形状から成り立っていることから、縮幅部Hが、直線状の斜辺H1,H2で構成されたテーパー状となる。
この結果、水晶振動子1は、サーミスター20の電極21,22の側面にフィレットがより容易に形成されるとともに、セルフアライメント効果をより大きくすることができる。
Further, the crystal resonator 1 has an outer shape of the reduced width portion H having a shape after cutting two corners adjacent to each other along the orthogonal direction in the temporary electrode pads 36a ′ and 36b ′ in plan view. Therefore, the reduced width portion H has a tapered shape constituted by the linear hypotenuses H1 and H2.
As a result, in the crystal resonator 1, fillets can be more easily formed on the side surfaces of the electrodes 21 and 22 of the thermistor 20, and the self-alignment effect can be further increased.

また、水晶振動子1は、縮幅部Hが仮電極パッド36a’,36b’の隅切前のサーミスター20から露出している部分Rに対して、1/2以上2/3以下の面積となっていることから、例えば、クリームハンダなどの導電性接合部材41の塗布量が少なくなった場合でも、リフロー実装時に導電性接合部材41が電極パッド36a,36bの中央部に更に集まり易くなる。
これにより、水晶振動子1は、リフロー実装時にクリームハンダなどの導電性接合部材41の濡れ広がりが制御され、サーミスター20の電極21,22の側面に更に安定してフィレットが形成され易くなるとともに、セルフアライメント効果を更に大きくすることができる。
なお、水晶振動子1は、上記面積が1/2未満の場合には、サーミスター20の接合強度が弱くなり、2/3を超える場合には、フィレットが形成されにくくなる。
Further, the crystal resonator 1 has an area of 1/2 or more and 2/3 or less of the portion R where the reduced width portion H is exposed from the thermistor 20 before the corners of the temporary electrode pads 36a ′ and 36b ′. Therefore, for example, even when the application amount of the conductive bonding member 41 such as cream solder is reduced, the conductive bonding member 41 is more likely to gather at the center of the electrode pads 36a and 36b during reflow mounting. .
As a result, in the crystal resonator 1, the wetting and spreading of the conductive bonding member 41 such as cream solder is controlled during reflow mounting, and the fillet is more easily formed on the side surfaces of the electrodes 21 and 22 of the thermistor 20. The self-alignment effect can be further increased.
In the crystal resonator 1, when the area is less than ½, the bonding strength of the thermistor 20 is weak, and when it exceeds 2/3, a fillet is hardly formed.

また、水晶振動子1は、パッケージベース31に搭載される水晶振動片10を備え、振動子として機能することから、電極パッド36a,36b同士の導電性接合部材41を介した短絡や、サーミスター20の接合不良、サーミスター20の立ち上がり現象、サーミスター20の位置ずれなど、サーミスター20の実装上の不具合が低減された信頼性の高い振動子を提供することができる。   Further, since the crystal resonator 1 includes the crystal resonator element 10 mounted on the package base 31 and functions as a resonator, a short circuit or a thermistor via the conductive bonding member 41 between the electrode pads 36a and 36b. Thus, it is possible to provide a highly reliable vibrator in which the mounting problems of the thermistor 20 such as the bonding failure 20, the rising phenomenon of the thermistor 20, and the misalignment of the thermistor 20 are reduced.

また、水晶振動子1は、電子素子が感温素子であることから、水晶振動片10近傍の温度を感温素子で検知することができる。
この結果、水晶振動子1は、感温素子で検知した温度に基づいて、水晶振動片10の周波数の補正が可能となることから、優れた周波数温度特性の振動子を提供することができる。
Further, since the electronic element is a temperature sensitive element, the crystal resonator 1 can detect the temperature in the vicinity of the quartz crystal vibrating piece 10 with the temperature sensitive element.
As a result, the crystal resonator 1 can correct the frequency of the crystal resonator element 10 based on the temperature detected by the temperature sensing element, and thus can provide a resonator having excellent frequency temperature characteristics.

また、水晶振動子1は、感温素子がサーミスター20であることから、サーミスター20の特性により周囲の温度を正確に検知することができる。なお、感温素子には、サーミスター20に代えて、測温用半導体を用いてもよく、測温用半導体の特性により周囲の温度を正確に検知することができる。測温用半導体としては、ダイオードまたはトランジスターが挙げられる。
詳述すると、ダイオードの場合には、ダイオードの順方向特性を利用し、ダイオードのアノード端子からカソード端子に一定電流を流しておいて、温度によって変化する順方向電圧を測定することによって温度を検知することができる。また、トランジスターの場合には、ベースとコレクター間を短絡し、コレクターとエミッター間をダイオードとして機能させることにより、上記と同様に温度を検知することができる。
水晶振動子1は、感温素子にダイオードまたはトランジスターを用いることにより、ノイズの重畳を低減することができる。
Further, since the temperature sensitive element is the thermistor 20, the crystal resonator 1 can accurately detect the ambient temperature based on the characteristics of the thermistor 20. Note that a temperature measuring semiconductor may be used as the temperature sensing element instead of the thermistor 20, and the ambient temperature can be accurately detected by the characteristics of the temperature measuring semiconductor. Examples of the temperature measuring semiconductor include a diode or a transistor.
More specifically, in the case of a diode, the temperature is detected by measuring a forward voltage that changes depending on the temperature by using a forward characteristic of the diode and passing a constant current from the anode terminal to the cathode terminal of the diode. can do. In the case of a transistor, the temperature can be detected in the same manner as described above by short-circuiting the base and the collector and causing the collector and the emitter to function as a diode.
The crystal resonator 1 can reduce noise superposition by using a diode or a transistor as a temperature sensitive element.

なお、水晶振動子1のパッケージベース31は、サーミスター20実装時における画像認識の際に、画像認識装置によって白黒の2値化処理されてもクリームハンダなどの導電性接合部材41と識別可能な色調とすることが好ましい。具体的には、パッケージベース31の色調を白色系とすることが好ましい。   Note that the package base 31 of the crystal unit 1 can be distinguished from the conductive bonding member 41 such as cream solder even when the image recognition apparatus performs black and white binarization processing when the thermistor 20 is mounted. It is preferable to have a color tone. Specifically, the color tone of the package base 31 is preferably white.

なお、電極パッド36a,36bは、図4の電極パッドの形状バリエーションを示す模式平面図のような形状としてもよい。
例えば、図4(a)に示すように、電極パッド36a,36bは、切欠き部Kがくさび状に切り欠かれた形状としてもよい。
また、図4(b)に示すように、電極パッド36a,36bは、縮幅部Hが斜辺H1,H2が外側に湾曲する曲線状(例えば、円弧状)であって、切欠き部Kが円弧状に切り欠かれた形状としてもよい。
The electrode pads 36a and 36b may have a shape as shown in a schematic plan view showing variations in the shape of the electrode pads in FIG.
For example, as shown in FIG. 4A, the electrode pads 36a and 36b may have a shape in which the notch K is cut out in a wedge shape.
Further, as shown in FIG. 4B, the electrode pads 36a and 36b have a reduced width portion H having a curved shape (for example, an arc shape) in which the hypotenuses H1 and H2 are curved outward, and the notch portion K has a notch portion K. It is good also as a shape notched in circular arc shape.

また、電極パッド36a,36bは、図1(c)、図4(a)、図4(b)の切欠き部K及び縮幅部Hの形状を任意に組み合わせた形状としてもよい。
なお、切欠き部K及び縮幅部Hは、電極パッド36a,36bのいずれか一方のみに設けられていてもよい。この場合でも、水晶振動子1は、上記と同様の効果を奏することができる。
なお、上記電極パッド36a,36bの形状バリエーションは、以下の変形例及び各実施形態にも適用可能である。
In addition, the electrode pads 36a and 36b may have a shape obtained by arbitrarily combining the shapes of the cutout portion K and the reduced width portion H of FIGS. 1C, 4A, and 4B.
Note that the cutout portion K and the reduced width portion H may be provided in only one of the electrode pads 36a and 36b. Even in this case, the crystal unit 1 can achieve the same effects as described above.
In addition, the shape variation of the said electrode pads 36a and 36b is applicable also to the following modifications and each embodiment.

(変形例)
次に、第1実施形態の変形例について説明する。
図5は、第1実施形態の変形例の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図5(a)は、リッド側から見た平面図であり、図5(b)は、図5(a)のA−A線での断面図であり、図5(c)は、底面側から見た平面図である。
なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
(Modification)
Next, a modification of the first embodiment will be described.
FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of a crystal resonator according to a modification of the first embodiment. 5A is a plan view seen from the lid side, FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 5A, and FIG. It is the top view seen from.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to a common part with 1st Embodiment, detailed description is abbreviate | omitted, and it demonstrates centering on a different part from 1st Embodiment.

図5に示すように、変形例の水晶振動子2は、第1実施形態と比較して、サーミスター20の配置方向が異なる。
水晶振動子2は、サーミスター20の長手方向(電極21と電極22とを結ぶ方向)が、パッケージベース31の長手方向(紙面左右方向)と交差する(ここでは直交する)方向になるようにサーミスター20が配置されている。
As shown in FIG. 5, the crystal resonator 2 of the modified example is different in the arrangement direction of the thermistor 20 compared to the first embodiment.
In the crystal unit 2, the longitudinal direction of the thermistor 20 (the direction connecting the electrodes 21 and 22) intersects the longitudinal direction of the package base 31 (the left-right direction on the paper) (in this case, the direction is orthogonal). A thermistor 20 is arranged.

これにより、水晶振動子2は、第1実施形態の効果に加えて、傾向的に長手方向の反りが大きいとされているパッケージベース31の反りに伴うサーミスター20の固定強度(接合強度)の低下を低減することができる。
なお、上記変形例の構成は、以下の各実施形態にも適用可能である。
Thereby, in addition to the effect of the first embodiment, the crystal resonator 2 has a fixed strength (bonding strength) of the thermistor 20 due to the warp of the package base 31 that tends to be warped in the longitudinal direction. Reduction can be reduced.
It should be noted that the configuration of the modified example can also be applied to the following embodiments.

(第2実施形態)
次に、電子デバイスとしての水晶振動子の他の構成について説明する。
図6は、第2実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図6(a)は、リッド側から見た平面図であり、図6(b)は、図6(a)のA−A線での断面図であり、図6(c)は、底面側から見た平面図である。
なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
(Second Embodiment)
Next, another configuration of the crystal resonator as the electronic device will be described.
FIG. 6 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of the crystal resonator according to the second embodiment. 6A is a plan view seen from the lid side, FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 6A, and FIG. 6C is a bottom side. It is the top view seen from.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to a common part with 1st Embodiment, detailed description is abbreviate | omitted, and it demonstrates centering on a different part from 1st Embodiment.

図6に示すように、第2実施形態の水晶振動子3は、第1実施形態と比較して、パッケージベース31及びリッド32の構成が異なる。
水晶振動子3は、パッケージベース31の第3層31cが除去され、代わりにリッド32との接合部材39が配置されている。
リッド32は、コバール、42アロイなどの金属を用いて、全周につば部32aが設けられたキャップ状に形成されている。
水晶振動子3は、リッド32のキャップ部分の膨らみにより、水晶振動片10を収容する内部空間Sが確保されている。
As shown in FIG. 6, the crystal resonator 3 of the second embodiment is different in the configuration of the package base 31 and the lid 32 from the first embodiment.
In the crystal unit 3, the third layer 31 c of the package base 31 is removed, and a bonding member 39 with the lid 32 is disposed instead.
The lid 32 is made of a metal such as Kovar or 42 alloy, and is formed in a cap shape with a collar portion 32a provided on the entire circumference.
In the crystal resonator 3, an internal space S in which the crystal resonator element 10 is accommodated is secured by the swelling of the cap portion of the lid 32.

リッド32は、つば部32aがシームリング、ロウ材、導電性接着剤などの導電性を有する接合部材39を介してパッケージベース31の第1主面33に接合されている。
これにより、リッド32は、パッケージベース31内の導通ビアV2,V3、内部配線P2などを介して電極端子37cと電気的に接続され、シールド効果が発揮されている。
なお、リッド32は、接合部材39及びパッケージベース31の外側の角部に設けられた図示しないキャスタレーションに形成された導電膜を介して電極端子37cと電気的に接続されてもよい。
The lid 32 is joined to the first main surface 33 of the package base 31 through a joining member 39 having a collar portion 32a having conductivity such as a seam ring, a brazing material, and a conductive adhesive.
As a result, the lid 32 is electrically connected to the electrode terminal 37c via the conductive vias V2 and V3, the internal wiring P2 and the like in the package base 31, and the shielding effect is exhibited.
Note that the lid 32 may be electrically connected to the electrode terminal 37 c via a conductive film formed in a castellation (not shown) provided at the outer corner of the bonding member 39 and the package base 31.

上述したように、第2実施形態の水晶振動子3は、パッケージベース31の第3層31cが除去されていることから、第1実施形態と比較してパッケージベース31の製造が容易となる。
なお、水晶振動子3は、シールドに支障がなければ、リッド32が電極端子37cと電気的に接続されていなくてもよい。これにより、接合部材39は、絶縁性のものでもよいことになる。
なお、上記第2実施形態の構成は、以下の実施形態にも適用可能である。
As described above, in the crystal resonator 3 of the second embodiment, since the third layer 31c of the package base 31 is removed, the manufacture of the package base 31 is facilitated as compared with the first embodiment.
In the crystal resonator 3, the lid 32 may not be electrically connected to the electrode terminal 37c as long as there is no problem with the shield. Thereby, the joining member 39 may be insulative.
The configuration of the second embodiment can also be applied to the following embodiments.

(第3実施形態)
次に、電子デバイスとしての水晶振動子の別の構成について説明する。
図7は、第3実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図7(a)は、リッド側から見た平面図であり、図7(b)は、図7(a)のA−A線での断面図であり、図7(c)は、底面側から見た平面図である。
なお、第1実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第1実施形態と異なる部分を中心に説明する。
(Third embodiment)
Next, another configuration of the crystal resonator as the electronic device will be described.
FIG. 7 is a schematic diagram illustrating a schematic configuration of the crystal resonator according to the third embodiment. 7A is a plan view seen from the lid side, FIG. 7B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 7A, and FIG. It is the top view seen from.
In addition, the same code | symbol is attached | subjected to a common part with 1st Embodiment, detailed description is abbreviate | omitted, and it demonstrates centering on a different part from 1st Embodiment.

図7に示すように、第3実施形態の水晶振動子4は、第1実施形態と比較して、凹部35の形成位置が異なる。
水晶振動子4は、第1層31aに開口部が設けられ、第1層31aの開口部と平板状の第2層31bの積層面とにより凹部35が設けられている。
これにより、凹部35の内底面36は、第2層31bにおける第1層31a側の積層面となる。
また、第2層31bが平板状となっていることから、4つの電極端子37a〜37dは、切欠きの無い矩形状となっている。
As shown in FIG. 7, the crystal resonator 4 of the third embodiment differs from the first embodiment in the formation position of the recess 35.
In the crystal resonator 4, an opening is provided in the first layer 31a, and a recess 35 is provided by the opening of the first layer 31a and the laminated surface of the flat plate-like second layer 31b.
As a result, the inner bottom surface 36 of the recess 35 becomes a laminated surface on the first layer 31a side in the second layer 31b.
In addition, since the second layer 31b has a flat plate shape, the four electrode terminals 37a to 37d have a rectangular shape without a notch.

上述したように、第3実施形態の水晶振動子4は、サーミスター20が第1層31a側に設けられた凹部35に収容されていることから、サーミスター20と水晶振動片10とが同一空間(内部空間S)内に収容されるとともに、第1実施形態よりも互いに接近する。
このことから、水晶振動子4は、水晶振動片10の温度とサーミスター20の検知する温度との温度差が小さくなる。
この結果、水晶振動子4は、サーミスター20で検知した温度に基づいて、水晶振動片10の周波数の補正が更に正確に行われることから、更に優れた周波数温度特性の振動子を提供することができる。
As described above, in the crystal resonator 4 of the third embodiment, the thermistor 20 and the crystal vibrating piece 10 are the same because the thermistor 20 is accommodated in the recess 35 provided on the first layer 31a side. While being accommodated in the space (internal space S), they are closer to each other than in the first embodiment.
From this, the crystal resonator 4 has a small temperature difference between the temperature of the crystal vibrating piece 10 and the temperature detected by the thermistor 20.
As a result, the quartz crystal resonator 4 can further accurately correct the frequency of the quartz crystal vibrating piece 10 based on the temperature detected by the thermistor 20, thereby providing a resonator having further excellent frequency temperature characteristics. Can do.

(電子機器)
次に、上述した電子デバイスを備えている電子機器として、携帯電話を一例に挙げて説明する。
図8は、電子機器としての携帯電話を示す模式斜視図である。
携帯電話700は、上記各実施形態及び変形例で述べた電子デバイスとしての水晶振動子を備えている。
図8に示す携帯電話700は、上述した水晶振動子(1〜4のいずれか)を、例えば、基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして用い、更に液晶表示装置701、複数の操作ボタン702、受話口703、及び送話口704を備えて構成されている。なお、携帯電話の形態は、図示のタイプに限定されるものではなく、いわゆるスマートフォンタイプの形態でもよい。
これによれば、携帯電話700は、上記水晶振動子を備えていることから、上記各実施形態及び変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
(Electronics)
Next, a mobile phone will be described as an example of an electronic apparatus including the above-described electronic device.
FIG. 8 is a schematic perspective view showing a mobile phone as an electronic apparatus.
A cellular phone 700 includes a crystal resonator as an electronic device described in the above embodiments and modifications.
A cellular phone 700 illustrated in FIG. 8 uses the above-described crystal resonator (any one of 1 to 4) as a timing device such as a reference clock oscillation source, and further includes a liquid crystal display device 701, a plurality of operation buttons 702, and an incoming call. A mouth 703 and a mouthpiece 704 are provided. The form of the mobile phone is not limited to the illustrated type, and may be a so-called smartphone type.
According to this, since the mobile phone 700 includes the crystal resonator, the effects described in the above embodiments and modifications can be achieved, and excellent performance can be exhibited.

上述した水晶振動子などの電子デバイスは、上記携帯電話に限らず、電子ブック、パーソナルコンピューター、テレビ、デジタルスチールカメラ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳、電卓、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、ゲーム機器、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類、フライトシミュレーターなどを含む電子機器のタイミングデバイスとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態及び変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮する電子機器を提供することができる。   The electronic devices such as the above-described crystal units are not limited to the above mobile phones, but are also electronic books, personal computers, televisions, digital still cameras, video cameras, video recorders, navigation devices, pagers, electronic notebooks, calculators, word processors, workstations. , Video phone, POS terminal, game device, medical device (eg electronic thermometer, blood pressure meter, blood glucose meter, electrocardiogram measuring device, ultrasonic diagnostic device, electronic endoscope), fish detector, various measuring devices, instruments, flight Provided is an electronic device that can be suitably used as a timing device of an electronic device including a simulator and the like, and in any case, the effects described in the above embodiments and modifications are provided, and exhibits excellent performance. it can.

(移動体)
次に、上述した電子デバイスを備えている移動体として、自動車を一例に挙げて説明する。
図9は、移動体としての自動車を示す模式斜視図である。
自動車800は、上記各実施形態及び変形例で述べた電子デバイスとしての水晶振動子を備えている。
自動車800は、上述した水晶振動子(1〜4のいずれか)を、例えば、搭載されている各種電子制御式装置(例えば、電子制御式燃料噴射装置、電子制御式ABS装置、電子制御式一定速度走行装置など)の基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして用いている。
これによれば、自動車800は、上記水晶振動子を備えていることから、上記各実施形態及び変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮することができる。
(Moving body)
Next, an automobile will be described as an example of a moving object including the electronic device described above.
FIG. 9 is a schematic perspective view showing an automobile as a moving body.
The automobile 800 includes the crystal resonator as the electronic device described in the above embodiments and modifications.
The automobile 800 includes, for example, various electronically controlled devices (for example, an electronically controlled fuel injection device, an electronically controlled ABS device, an electronically controlled constant type) mounted on the above-described crystal resonator (any one of 1 to 4). It is used as a timing device such as a reference clock oscillation source of a speed traveling device.
According to this, since the automobile 800 includes the above-described crystal resonator, the effects described in the above embodiments and modifications can be achieved, and excellent performance can be exhibited.

上述した水晶振動子などの電子デバイスは、上記自動車800に限らず、自走式ロボット、自走式搬送機器、列車、船舶、飛行機、人工衛星などを含む移動体の基準クロック発振源などのタイミングデバイスとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記各実施形態及び変形例で説明した効果が奏され、優れた性能を発揮する移動体を提供することができる。   The electronic device such as the above-described crystal resonator is not limited to the automobile 800 described above, but the timing of a reference clock oscillation source of a mobile object including a self-propelled robot, a self-propelled transport device, a train, a ship, an airplane, an artificial satellite, and the like. It can be suitably used as a device, and in any case, the effects described in the above embodiments and modifications can be achieved, and a moving body that exhibits excellent performance can be provided.

なお、水晶振動子の振動片の形状は、図示した平板状のタイプに限定されるものではなく、中央部が厚く周辺部が薄いタイプ(例えば、コンベックスタイプ、ベベルタイプ、メサタイプ)、逆に中央部が薄く周辺部が厚いタイプ(例えば、逆メサタイプ)などでもよく、音叉型形状でもよい。   The shape of the resonator element of the crystal unit is not limited to the flat plate type shown in the figure, but the center part is thick and the peripheral part is thin (for example, convex type, bevel type, mesa type). It may be a type with a thin part and a thick peripheral part (for example, a reverse mesa type) or a tuning fork type.

なお、振動片の材料としては、水晶に限定されるものではなく、タンタル酸リチウム(LiTaO3)、四ホウ酸リチウム(Li247)、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)などの圧電体、またはシリコン(Si)などの半導体でもよい。
また、厚みすべり振動の駆動方法は、圧電体の圧電効果によるものの他に、クーロン力による静電駆動でもよい。
The material of the resonator element is not limited to quartz, but lithium tantalate (LiTaO 3 ), lithium tetraborate (Li 2 B 4 O 7 ), lithium niobate (LiNbO 3 ), zirconate titanate A piezoelectric material such as lead acid (PZT), zinc oxide (ZnO), and aluminum nitride (AlN), or a semiconductor such as silicon (Si) may be used.
Further, the driving method of the thickness shear vibration may be electrostatic driving by Coulomb force in addition to the piezoelectric effect of the piezoelectric body.

なお、電子素子は、感温素子に限定されるものではなく、例えば、チップコンデンサーなどの容量素子や、チップインダクター(チップコイル)などの受動素子であってもよい。   The electronic element is not limited to the temperature sensitive element, and may be a capacitive element such as a chip capacitor or a passive element such as a chip inductor (chip coil).

1,2,3,4…電子デバイスとしての水晶振動子、10…振動片としての水晶振動片、11…振動部、12…基部、13…一方の主面、14…他方の主面、15,16…励振電極、15a,16a…引き出し電極、20…電子素子としての感温素子の一例としてのサーミスター、21,22…電極、30…パッケージ、31…基板としてのパッケージベース、31a…第1層、31b…第2層、31c…第3層、32…リッド、32a…つば部、33…第1主面、33a,33b…内部端子、34…第2主面、35…凹部、36…内底面、36a,36b…電極パッド、36a’,36b’…仮電極パッド、37a,37b,37c,37d…電極端子、39…接合部材、40…導電性接着剤、41…導電性接合部材、61…発振回路、62…電源、63…A/D変換回路、64…温度補償回路、70…ICチップ、700…電子機器としての携帯電話、701…液晶表示装置、702…操作ボタン、703…受話口、704…送話口、800…移動体としての自動車、H…縮幅部、H1,H2…斜辺、K…切欠き部、P1,P2…内部配線、R…仮電極パッドの隅切前のサーミスターから露出している部分、S…内部空間、V1,V2,V3…導通ビア。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 2, 3, 4 ... Crystal resonator as an electronic device, 10 ... Quartz vibrating piece as a vibrating piece, 11 ... Vibrating part, 12 ... Base part, 13 ... One main surface, 14 ... Other main surface, 15 , 16 ... Excitation electrodes, 15a, 16a ... Extraction electrodes, 20 ... Thermistors as examples of temperature sensitive elements as electronic elements, 21, 22 ... Electrodes, 30 ... Packages, 31 ... Package bases as substrates, 31a ... No. 1st layer, 31b ... 2nd layer, 31c ... 3rd layer, 32 ... Lid, 32a ... Collar part, 33 ... 1st main surface, 33a, 33b ... Internal terminal, 34 ... 2nd main surface, 35 ... Recessed part, 36 ... inner bottom surface, 36a, 36b ... electrode pad, 36a ', 36b' ... temporary electrode pad, 37a, 37b, 37c, 37d ... electrode terminal, 39 ... bonding member, 40 ... conductive adhesive, 41 ... conductive bonding member 61 oscillating circuit 6 ... Power source, 63 ... A / D conversion circuit, 64 ... Temperature compensation circuit, 70 ... IC chip, 700 ... Cell-phone as an electronic device, 701 ... Liquid crystal display device, 702 ... Operation button, 703 ... Earpiece, 704 ... Send Talk mouth, 800: Automobile as moving body, H: Reduced width portion, H1, H2 ... Oblique side, K ... Notch, P1, P2 ... Internal wiring, R ... Exposed from thermistor before corner cut of temporary electrode pad S, internal space, V1, V2, V3, conductive vias.

Claims (8)

凹部が設けられている基板と、
前記凹部に収容されている電子素子と、
前記凹部の内底面に設けられ、前記電子素子の電極が導電性接合部材を介して接合されている複数の電極パッドと、を備え、
前記複数の電極パッドのうち、対向する一対の電極パッドの少なくとも一方は、他方の電極パッドに対向する側であって、平面視で前記電子素子と重なる部分に、切欠き部が設けられ、
且つ、前記他方の電極パッドに対向する側とは反対側の部分に、前記電子素子から離れるに従って、前記一対の電極パッドが並ぶ方向とは直交する方向に沿った幅が狭くなっている縮幅部を含むことを特徴とする電子デバイス。
A substrate provided with a recess,
An electronic element housed in the recess;
A plurality of electrode pads provided on the inner bottom surface of the recess, and the electrodes of the electronic element are bonded via a conductive bonding member,
Of the plurality of electrode pads, at least one of the pair of electrode pads facing each other is a side facing the other electrode pad, and a cutout portion is provided in a portion overlapping the electronic element in a plan view,
Further, the width of the portion opposite to the side facing the other electrode pad is reduced in width along the direction perpendicular to the direction in which the pair of electrode pads are arranged as the distance from the electronic element increases. An electronic device comprising a portion.
請求項1において、
前記縮幅部の外形は、平面視で仮想の矩形の前記直交する方向に沿って隣り合う2つの角部を隅切した後の形状から成り立っていることを特徴とする電子デバイス。
In claim 1,
2. The electronic device according to claim 1, wherein an outer shape of the reduced width portion is formed by cutting a corner portion adjacent to each other along the orthogonal direction of a virtual rectangle in plan view.
請求項2において、
前記縮幅部は、前記仮想の矩形の隅切前の前記電子素子から露出している部分に対して、1/2以上2/3以下の面積となっていることを特徴とする電子デバイス。
In claim 2,
The reduced width portion has an area of 1/2 or more and 2/3 or less with respect to a portion exposed from the electronic element before corner cutting of the virtual rectangle.
請求項1ないし請求項3のいずれか一項において、
前記基板に搭載される振動片を更に備え、
振動子として機能することを特徴とする電子デバイス。
In any one of Claims 1 to 3,
Further comprising a resonator element mounted on the substrate,
An electronic device that functions as a vibrator.
請求項4において、
前記電子素子は、感温素子であることを特徴とする電子デバイス。
In claim 4,
The electronic device is a temperature sensitive device.
請求項5において、
前記感温素子は、サーミスターまたは測温用半導体であることを特徴とする電子デバイス。
In claim 5,
The temperature sensing element is a thermistor or a temperature measuring semiconductor.
請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electronic device according to any one of claims 1 to 6. 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする移動体。   A moving body comprising the electronic device according to any one of claims 1 to 6.
JP2015002933A 2015-01-09 2015-01-09 Electronic device, electronic apparatus and mobile Pending JP2016129288A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015002933A JP2016129288A (en) 2015-01-09 2015-01-09 Electronic device, electronic apparatus and mobile

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015002933A JP2016129288A (en) 2015-01-09 2015-01-09 Electronic device, electronic apparatus and mobile

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016129288A true JP2016129288A (en) 2016-07-14

Family

ID=56384528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015002933A Pending JP2016129288A (en) 2015-01-09 2015-01-09 Electronic device, electronic apparatus and mobile

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2016129288A (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019068288A (en) * 2017-10-02 2019-04-25 京セラ株式会社 Crystal oscillator
JP2019211229A (en) * 2018-05-31 2019-12-12 株式会社大真空 Temperature sensor and piezoelectric vibration device including the same
CN110653447A (en) * 2018-06-29 2020-01-07 无锡华润安盛科技有限公司 Reflow soldering method and cover plate used by same
CN111224635A (en) * 2018-11-27 2020-06-02 京瓷株式会社 Piezoelectric device and electronic apparatus
JP2020123608A (en) * 2019-01-29 2020-08-13 株式会社大真空 Thin film thermistor and piezoelectric device

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019068288A (en) * 2017-10-02 2019-04-25 京セラ株式会社 Crystal oscillator
JP2019211229A (en) * 2018-05-31 2019-12-12 株式会社大真空 Temperature sensor and piezoelectric vibration device including the same
CN110653447A (en) * 2018-06-29 2020-01-07 无锡华润安盛科技有限公司 Reflow soldering method and cover plate used by same
CN110653447B (en) * 2018-06-29 2022-03-01 无锡华润安盛科技有限公司 Reflow soldering method and cover plate used by same
CN111224635A (en) * 2018-11-27 2020-06-02 京瓷株式会社 Piezoelectric device and electronic apparatus
CN111224635B (en) * 2018-11-27 2024-01-19 京瓷株式会社 Piezoelectric device and electronic apparatus
JP2020123608A (en) * 2019-01-29 2020-08-13 株式会社大真空 Thin film thermistor and piezoelectric device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6618675B2 (en) Vibrating device, electronic device, and moving object
JP6183156B2 (en) Package, vibrating device, oscillator, electronic equipment and mobile object
JP2016127467A (en) Vibration device, electronic apparatus and mobile object
JP2013146003A (en) Vibration device and electronic apparatus
JP2016010099A (en) Composite electronic component, oscillator, electronic apparatus and mobile
JP2016129288A (en) Electronic device, electronic apparatus and mobile
JP5862155B2 (en) Vibration device and electronic equipment
JP2013090176A (en) Vibration device and electronic apparatus
JP2014107778A (en) Vibration device, electronic apparatus and mobile body
JP2013146004A (en) Vibration device and electronic apparatus
JP6137255B2 (en) Vibration device and electronic equipment
JP2016127437A (en) Electronic device, electronic apparatus and mobile
JP6635151B2 (en) Vibration device and electronic equipment
JP6780688B2 (en) Vibration devices, electronic devices and mobiles
JP6816813B2 (en) Vibration devices and electronic devices
JP2013120867A (en) Package, electronic device and electronic apparatus
JP6369592B2 (en) Vibration device and electronic equipment
JP6923059B2 (en) Vibration devices, electronic devices and mobiles
JP7120406B2 (en) Vibration device, electronic equipment and moving object
JP2013070313A (en) Vibration device and electronic apparatus
JP2011146839A (en) Piezoelectric device and electronic equipment