JP3960295B2 - チルト誤差低減非球面ホモジナイザー - Google Patents
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Description
これまでのホモジナイザーは平凹強度変換レンズ+凸平位相補正レンズというように平面をレーザ側に置いていた。1枚レンズに置き直すと平凸レンズとなりそうである。そのようにせず、本発明はレーザ側に凸面(非球面)をおいて対象物側に平面を置くようにする。
=sin−1[nsin[α−sin−1{(1/n)sinθ}]](13)
=(1/n)(θ−θ3/6+θ5/120…)+(1/6n3)(θ−θ3/6+θ5/120…)3+…
=(θ/n)−(θ3/6n){1−(1/n2)}… (16)
式(13)のsin(α…以下は
=sin[α−(θ/n)+(θ3/6n){1−(1/n2)}]
=α−(θ/n)+(θ3/6n){1−(1/n2)}−(1/6){α−(θ/n)}3…
=α−(α3/6)−(θ/n)(1−α2/2)−αθ2/2n2+θ3/6n… (17)
=nα−(nα3/6)−θ(1−α2/2)−αθ2/2n+θ3/6… (18)
=nα−(nα3/6)−θ(1−α2/2)−αθ2/2n+θ3/6+(1/6){nα−(nα3/6)−θ(1−α2/2)}3…
=nα−(nα3/6)+(1/6){nα−(nα3/6)}3−θ(1−α2/2)[1+(1/2){nα−(nα3/6)}2]+[(1/2){nα−(nα3/6)}2{1−α2/2}−α/2n]θ2
… (19)
=(n−1)α−nα3/6+(n3α3/6)(1−α2/6)3
−θ[(n2−1)(α2/2)−(5/12)n2α4+(n2α6/12)]
+(θ2/nα)[(n2−1)(α2/2)−(5/12)n2α4+(n2α6/12)] (20)
となる。
もしも、入射角θの変化する範囲を0〜nαと限定すると、θ=nα/2の時に最小値Mをとり、θ=0(L点)およびnα(P点)で最大値をとるということになる。
= 2(θ−nα/2)W (23)
dB/dθ=−nαW (平凸レンズ) (25)
である。
dB/dθ=(2−n)αW (凸平レンズ) (26)
である。
(i) 平凸レンズの場合の単位チルト角に対する偏奇は(25)から
波長:355nm (YAG第3高調波レーザ)
入射ビーム:ガウシアンプロファイル、1/e2 ビーム径φ10mm
焦点距離: 60mm
中心厚みT0:10mm
材料: 合成石英
屈折率: n=1.4760718756
有効直径: D=φ24mm
S1面:平面
S2面:凸非球面(非球面係数を表1に示す)
Z(r)=A2r2+A4r4+A6r6+A8r8+A10r10+A12r12+A14r14+A16r16+A18r18+A20r20 (46)
図2に平凸レンズ(1)の場合の像面でのビームスポット分布を示す。左がチルトが0で、右はチルトが0.5゜の場合である。入力ガウスビーム(有効径が10mmφ)において回転対称の位置であって直径上に23点存在するよう11重の同心円に並びエネルギーが等分割になるようなスポット397点をとりレンズで屈折して像面で照射される点を求めて図示している。左側がチルトのない場合(Υ=0)である。基準の長さを示す尺度棒は40μmである。像面では26μmφの11重の同心円上に並びほぼ等分布となっている。初めのレーザビーム(ガウスビーム)の有効径が10mmφとしているから、像面での最外殻の26μmφの円は原ビームの10mmφのものに対応するのである。a=5mm、b=13μmであり、縮小率は約1/380である。チルトが0の場合のこの条件は以下の5つのものについても同様である。だから以下の場合についてチルト0(Υ=0)の説明は省く。
中心厚みT0:10mm
材料: 合成石英
屈折率: n=1.4760718756
有効直径: D=φ24mm
S1面:非球面(凸面)(表2に非球面係数を示す)
S2面:平面
Z(r)=A2r2+A4r4+A6r6+A8r8+A10r10+A12r12+A14r14+A16r16+A18r18+A20r20 (47)
図4に凸平レンズ(2)の場合の像面でのビームスポット分布を示す。左がチルトが0で、右はチルトが0.5゜の場合である。入力ガウスビーム(有効径が10mmφ)において回転対称の位置であって直径上に23点存在するよう11重の同心円に並びエネルギーが等分割になるようなスポット397点をとりレンズで屈折して像面で照射される点を求めて図示している。
中心厚みT0:10mm
材料: 合成石英
屈折率: n=1.4760718756
有効直径: D=φ24mm
S1面:凸球面 R=70.2mm
S2面:凸非球面(表3に非球面係数を示す)
Z(r)=A2r2+A4r4+A6r6+A8r8+A10r10+A12r12+A14r14+A16r16+A18r18+A20r20 (48)
図6に凸凸レンズ(3)の場合の像面でのビームスポット分布を示す。左がチルトが0で、右はチルトが0.5゜の場合である。左側のΥ=0の場合はこれまでと同じである。
ということはチルト誤差を少なくするには平凸より凸凸が良く、それよりも凸平が良いということらしいことがわかる。
中心厚みT0:10mm
材料: 合成石英
屈折率: n=1.4760718756
有効直径: D=φ24mm
S1面:凸非球面(表4に非球面係数を示す)
S2面:凸球面 R=−76.8mm
Z(r)=A2r2+A4r4+A6r6+A8r8+A10r10+A12r12+A14r14+A16r16+A18r18+A20r20
(49)
図8に凸凸レンズ(4)の場合の像面でのビームスポット分布を示す。左がチルトが0で、右はチルトが0.5゜の場合である。左側のΥ=0の場合はこれまでと同じである。
中心厚みT0:10mm
材料: 合成石英
屈折率: n=1.4760718756
有効直径: D=φ24mm
S1面:凹球面 R=−26.5mm
S2面:凸非球面 (非球面係数を表5に示す)
Z(r)=A2r2+A4r4+A6r6+A8r8+A10r10+A12r12+A14r14+A16r16+A18r18+A20r20 (50)
図10に凹凸レンズ(5)の場合の像面でのビームスポット分布を示す。左がチルトが0で、右はチルトが0.5゜の場合である。左側のΥ=0の場合はこれまでと同じである。
中心厚みT0:10mm
材料: 合成石英
屈折率: n=1.4760718756
有効直径: D=φ24mm
S1面:凹非球面 (非球面係数を表6に示す)
S2面:凸球面 R=−26.2mm
Z(r)=A2r2+A4r4+A6r6+A8r8+A10r10+A12r12+A14r14+A16r16+A18r18+A20r20
(51)
図12に凹凸レンズ(6)の場合の像面でのビームスポット分布を示す。左がチルトが0で、右はチルトが0.5゜の場合である。左側のΥ=0の場合はこれまでと同じである。
Claims (4)
- 平行でエネルギー分布がガウシアン分布である入射ビームを屈折させ縮小し、入射ビームの直径よりも小さい直径の範囲において像面に均一エネルギー分布のビームを形成するためのレンズであって、入力側が凸非球面であって、出力側が平面であることを特徴とするチルト誤差低減非球面ホモジナイザー。
- 平行でエネルギー分布がガウシアン分布である入射ビームを屈折させ縮小し、入射ビームの直径よりも小さい直径の範囲において像面にスーパーガウシアンexp{−2(r/b)m}(m=10〜100)に従うエネルギー分布のビームを形成するためのレンズであって、入力側が凸非球面であって、出力側が平面であることを特徴とするチルト誤差低減非球面ホモジナイザー。
- 平行でエネルギー分布がガウシアン分布である入射ビームを屈折させ縮小し、入射ビームの直径よりも小さい直径の範囲において像面に均一エネルギー分布のビームを形成するためのレンズであって、入力側面S1、出力側面S2のいずれも凸面でいずれかが非球面であり、曲率半径R或いは非球面2次係数の2倍の逆数1/2A2のS1とS2の比率が(n−2):nであることを特徴とするチルト誤差低減非球面ホモジナイザー。
- 平行でエネルギー分布がガウシアン分布である入射ビームを屈折させ縮小し、入射ビームの直径よりも小さい直径の範囲において像面にスーパーガウシアンexp{−2(r/b)m}(m=10〜100)に従うエネルギー分布のビームを形成するためのレンズであって、入力側面S1、出力側面S2のいずれも凸面でありいずれかが非球面であり、曲率半径R或いは非球面2次係数の2倍の逆数1/2A2のS1とS2の比率が(n−2):nであることを特徴とするチルト誤差低減非球面ホモジナイザー。
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