JP3947703B2 - 液体秤量装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は液体秤量装置に係り、より詳細には、例えば、半導体ウェハや液晶ガラス基板等の基板を浸漬させてエッチングなどの処理を行う処理槽において薬液及び純水による処理液を所定の比率(濃度)に調合するべく秤量して供給する液体秤量装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
【特許文献1】
特開平11−281461号公報
【0003】
従来、液体秤量装置は、例えば、半導体ウェハや液晶ガラス基板等の基板を浸漬させてエッチングなどの処理を行う処理装置に用いられており、薬液及び純水を所定の比率に調合するべく秤量(例えば、特許文献1参照)して処理槽に供給することで、処理槽内で安定した処理(例えば、エッチング処理)を行えるように形成していた。図4は、このように薬液を秤量する従来の液体秤量装置を示す構成図である。
【0004】
図4に示すように、従来の液体秤量装置は、純水を供給する供給源4aと、この供給源4aから処理槽40に純水を送る供給路4と、この供給路4に接続されて複数の薬液槽50から選択的に所定の薬液を供給して純水に混合させる混合部5と、薬液槽50から混合部5に至る経路で分岐して加圧または減圧する圧力手段60とを備えている。ここで、薬液槽50は、混合部5から延在する配管に弁(電磁バルブ)6a、6fを設けて開閉することで薬液の供給を制御している。また、圧力手段60は、前述した弁6a及び弁6fの間で分岐し、弁6bを開閉してポンプ62aにより吸引する減圧部62と、弁6cを開閉して窒素(N2 )加圧する加圧部64とを各々備えている。この圧力手段60は、薬液槽50に至る経路の途中に液面センサである検出手段66を備えている。また、供給路4は、混合部5を接続した両側に弁6d、6eを各々装着して処理槽40に連結している。この処理槽40は、供給源4aから純水を供給して槽上部から汚染物質を排出するオーバーフロ槽に形成している。
【0005】
このような構成からなる従来の液体秤量装置は、先ず、全ての弁6を閉じた状態から、弁6d、6eを開いて供給路4を介して供給源4aから純水(DIW)を供給し、処理槽40内を満たして上部からオーバーフロさせることで汚染物質を槽外に排出する。次に、薬液を秤量するため、弁6a、6bを開いて薬液槽50からポンプ62aにより薬液を圧力手段60側に吸引する。この際、薬液が検出手段66の位置まで達すると、この検出手段66がオフからオン状態になり、弁6a、6bを閉じてポンプ62aを停止することで経路内に所定量の薬液を秤量する。その後、薬液は、弁6c、6fを開いて加圧部64により窒素加圧されて混合部5に注入され、純水に混合して処理槽40に圧送される。これと同時に、処理槽40に半導体ウェハなどの基板を投入して一定時間薬液による処理(例えば、フッ酸の場合エッチング処理)を行い、且つ、薬液が全てオーバーフロすることで自動的に水洗処理に移行する。
【0006】
このように、従来の液体秤量装置は、薬液をポンプ62aで吸引して検出手段66により所定量を秤量するとともに混合部5で純水に混合して処理槽40に圧送することにより、一定濃度の薬液を処理槽40内に供給でき基板を良好に処理(例えば、エッチング処理)していた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このように従来の液体秤量装置では、図4に示したように、ポンプ62aにより処理槽40から薬液を吸引して秤量する構造のため、このポンプ62aが高価であり、特に、処理槽40を複数設けることでポンプ62aも複数必要になり装置全体の製造コストが高くなるという不具合があった。
また、従来の液体秤量装置では、薬液槽50から薬液を正確に秤量しても処理槽40がオーバーフロ槽のため、処理槽40内に供給した薬液が安定せず上部から流れてしまい、一定した薬液による処理(例えば、エッチング処理)が困難であるという不具合があった。
さらに、従来の液体秤量装置では、前述したように処理槽40がオーバーフロ槽であるため、薬液処理から純水による水洗処理に移行する際、純水を常に供給して薬液を全て処理槽40からオーバーフロさせる必要があり、純水の使用量が多くなるという不具合があった。
本発明はこのような課題を解決し、処理槽内に正確に秤量した薬液と純水とを供給でき安定した処理を実現し、純水の使用量を低減して低コストの液体秤量装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は上述の課題を解決するために、薬液と純水とを調合した処理液を処理槽に供給する液体秤量装置であって、純水を供給する供給源と、この供給源から処理槽に純水を送る供給路と、この供給路に接続されて少なくとも1つ以上の薬液槽から所定の薬液を供給して純水に混合させる混合部と、供給源から混合部に至る供給路に接続して加圧または圧抜する圧力手段とを備え、この圧力手段と混合部との間の供給路に薬液を貯留して秤量するとともに純水の供給により処理槽に圧送するように設ける。
【0009】
ここで、圧力手段は、供給路から分岐して圧抜により薬液の供給を容易にするとともに、供給路を満たして分岐側に流入した薬液を検出することで供給を停止して所定量に秤量する検出手段を備えることが好ましい。また、処理槽は、純水を供給して上端から汚染物質とともに排出するオーバーフロ槽に形成し、供給路から供給する純水及び薬液の貯留量を検出する検出部を設け、この供給路に少なくとも1つ以上のドレインを備えることが好ましい。また、処理槽は、供給路で薬液を秤量して純水により圧送して検出部の検出位置まで貯留することでエッチング処理を行うとともに、この処理後の液と供給路に残留する液とをドレインによって排出して新たに純水を供給してオーバーフロさせることで水洗処理を行うことが好ましい。また、供給路は、薬液を秤量して純水により処理槽に圧送するとともに、この秤量及び圧送を複数回繰り返す場合にドレインにより残留液を全て排出して行うことが好ましい。また、検出手段及び検出部は、圧力手段及び処理槽に複数設けることで薬液の検出位置を変えて秤量と貯留量とを自由に調節可能に設けることが好ましい。また、供給路には、供給源の近傍に流量計を更に設けることが好ましい。
【0010】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明による液体秤量装置の実施の形態を詳細に説明する。図1は、本発明による液体秤量装置の実施形態を示す構成図である。また、図2は、図1に示した混合部22の他の実施例を示す図である。また、図3は、図1に示した液体秤量装置の具体的な実施例を示す図である。
【0011】
図1に示すように、本発明による液体秤量装置の実施形態は、図4に示した従来技術のようにエッチングなどの処理を行う処理装置に採用しており、純水を供給する供給源1aと、この供給源1aから処理槽10に純水を送る供給路1と、この供給路1に接続されて複数の薬液槽20から弁2aを介して選択的に所定の薬液を供給させて純水に混合させる混合部22と、供給路1を加圧または圧抜する圧力手段30とを備えている。ここで、圧力手段30は、図4に示した従来技術とは異なり、薬液槽20から混合部22に至る経路に設けるのではなく、供給源1aから混合部22に至る供給路1に分岐させて設けている。この圧力手段30は、配管の一端側に弁2bを設けて圧抜する圧抜部32と、弁2cを開閉して窒素(N2 )加圧する加圧部34とを各々備えている。従って、本実施の形態では、圧力手段30にポンプを設ける必要がなく、且つ、複数の薬液槽20に対応して各々設ける必要もないため、装置全体の製造コストを低減できる。
【0012】
また、供給路1は、圧力手段30と混合部22とを接続した両側に弁2d、2eを各々装着することで、この間に薬液を貯留させて秤量し、純水の供給により処理槽10に圧送する構造に形成している。ここで、圧力手段30は、供給路1から分岐して圧抜部32の圧抜により薬液の供給を容易にするとともに、この供給路1を満たして分岐側に流入した薬液の水面を検出することで供給を停止して所定量に秤量する検出手段36を備えている。従って、本実施の形態では、薬液を弁2d、2e間の供給路1に貯留し、この弁2d、2e間の配管容積によって一定の薬液量を秤量する構造を備えている。この際、圧力手段30には、検出手段36の検出誤差を防止するため、検出手段36の近傍に弁2fを更に設けることで、この弁2fと弁2d、2eとの3箇所を閉めることで正確に薬液を秤量できるように形成している。
【0013】
一方、供給路1には、供給源1aの純水供給を制御する弁2gと、処理槽10に貯留した液の逆流を防止する弁2hとを備えている。また、供給路1には、少なくとも1つ以上のドレイン(図1では3箇所)を備えており、処理槽10の下部に弁2iを介して設けたドレイン3aと、薬液を秤量する片側の弁2eを三方弁にして設けたドレイン3bと、供給源1aの近傍に弁2jを介して設けたドレイン3cとを各々備えている。また、処理槽10は、供給源1aから供給した純水を上部から汚染物質とともに排出するオーバーフロ槽に形成しており、その全体は耐侵食性に優れた材料から構成されている。また、処理槽10は、従来技術とは異なり、供給路1から供給する純水及び薬液の貯留量を検出する検出部12を備えている。
【0014】
このように形成された本発明による液体秤量装置の実施形態は、先ず、全ての弁2を閉じた状態から、弁2gを開いて供給源1aから弁2dの位置まで純水(DIW)を供給するとともに、弁2aを開いて弁2dと弁2eとの間に薬液を供給する。ここで、薬液は、例えば、アンモニア、硫酸などの有機溶媒を用いている。この薬液は、弁2d、2e間の供給路1に貯留して満たされ、分岐した圧力手段30側に流出する。そして、薬液は、検出手段36の位置まで水面が達したところで検出手段36がオフからオン状態に切り替わり弁2a、2bを閉じて供給を停止するため、弁2d、2e間の供給路1に所定量を正確に秤量できる。尚、薬液は、検出手段36により弁2aを閉じる秤量動作に誤差が生じた場合、弁2fを閉じることで、この弁2fと弁2d、2eとの3箇所内で正確に秤量することができる。ところで、本実施の形態では、全ての弁2を図示されていない制御手段によって制御しており、検出手段36、検出部12からの検出情報に基づいて開閉するように制御している。
【0015】
その後、秤量した薬液は、弁2d、2eを開いて更に弁2hを開くことにより、供給源1aから供給する純水に圧送されて処理槽10内に供給される。この際、処理槽10では、薬液及び純水による処理液が貯留して検出部12の位置まで水面が達した時、検出部12がオフからオン状態に切り替わり弁2g、2hを閉じて供給を停止するため、薬液と純水とを一定の比率で調合(混合)することができる。尚、検出手段36及び検出部12は、圧力手段30及び処理槽10に複数設けることで、検出位置を変えて秤量と貯留量とを自由に調節し、薬液と純水との混合比率を変えることも可能である。そして、処理槽10には、半導体ウェハや液晶ガラス基板等の基板を浸漬させてエッチングなどの処理を実行する。
【0016】
また、エッチングなどの処理が終了すると、弁2h、2iを開いてドレイン3aから処理槽10内の処理液を排出するとともに、三方弁である弁2eのドレイン(OUT)3b側を開くとともに弁2jも同時に開くことで、供給路1に残留している液を全てドレイン3b、3cから排出する。この際、圧力手段30では、弁2c及び弁2fを開いて加圧部34により窒素(N2 )加圧することで、供給路1に残留している液の排出を容易にする。その後、三方弁の弁2eをドレイン3b側から処理槽10側の供給(IN)に切り替えて弁2j、2iを閉じることで、再び、供給源1aから純水を処理槽10に供給してオバーフロさせて水洗処理を行う。従って、本実施の形態では、従来技術のように処理槽10内の薬液をオバーフロにより排出するのではなく、ドレイン3a、3b、3cから排出して新たに純水を供給するため、薬液の使用量を低減することができる。そして、水洗処理が終了すると、基板を取り出して次工程に搬送するとともに、ドレイン3a、3b、3cから純水を排出して全ての弁2を閉じることで、再び、前述した工程を繰り返し行って複数の基板を処理する。
【0017】
ここで、供給路1に混合部22を介して複数の薬液槽20を接続した実施例を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、供給路に1つの処理槽のみを接続する混合部を形成することも可能である。この混合部の他の実施例は、図2に示すように、複数の処理槽を接続するのではなく、三方弁からなる混合部23を用いることで1つの処理槽20を供給路1に接続している。このような混合部23は、基板の処理に1種類の薬液のみ使用する場合、図1に示した混合部と同様の効果を得ることができるとともに、構成部品の点数を減らして装置全体のコストを低減することができる。
【0018】
また、薬液を供給路1で1回だけ秤量して処理槽10に供給する実施例を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、薬液を供給路で複数回に分けて秤量して処理槽に段階的に供給することも可能である。このような薬液を複数回に分けて秤量して段階的に処理槽に供給する具体的な実施例を、図3を参照して詳細に説明する。
【0019】
図3に示すように、前述した薬液を複数回秤量する具体的な実施例として、アンモニア水(NH4OH)と過酸化水素水(H2O2)とを混合してなるアンモニア・過酸化水素混合液(以下、APMと称す)を用いた液体秤量装置の一実施例を示している。ここで、供給路1は、混合部22を介してアンモニア水用の薬液槽20aと、過酸化水素用の薬液槽20bとを各々接続し、供給路1に薬液を個々に供給できるように形成している。また、APMは、アンモニア水、過酸化水素水、純水(DIW)を各々1:4:20の比率で混合して基板を処理することが好ましい。従って、このAPMは、例えば、処理槽10に40L(40リットル)を貯留させる場合、NH4OH=1.6L、H2O2=6.4L、DIW=32Lとなる。この際、供給路1では、最小供給量であるアンモニア水の1.6Lを秤量できるように、図3に示した弁2d、2e間の秤量部Aが1.6Lの容量になるよう設定している。この秤量部Aで秤量した薬液(1.6L)は、同量(1.6L)の純水とともに圧送されて処理槽10内にAPMとして3.2L貯留される。この際、処理槽10には、図示されていないが、検出部12が3.2Lずつ増える水位毎の位置に複数設けられており40Lの水位まで配置している。即ち、処理槽10には、秤量部Aで薬液を秤量(1.6L)して純水により圧送し、検出部12の位置(3.2L)に水位が達すると純水の供給を停止するため、各々1.6Lの薬液及び純水を貯留することができる。
【0020】
従って、本実施例では、先ず、秤量部Aでアンモニア水を1.6L秤量して処理槽10に供給した後に供給路1内の液を排出し、その後、この秤量、供給、排出の動作を4回繰り返して過酸化水素水を6.4L供給し、且つ、同量の純水8L(1.6L+6.4L)とともに合計16Lを処理槽10に貯留する。ここで、処理槽10には、APMの40Lに対して純水が24L不足しており、この純水24Lを一気に供給することも可能であるが、例えば、薬液(アンモニア水及び過酸化水素水)の供給前と後とに分けて12Lずつ供給することもできる。これにより処理槽10内では、予め純水を12L供給した後に薬液を供給するため、空の槽内で急激な化学反応により発熱が起きることを防止できる。
【0021】
このように、本発明による液体秤量装置の実施形態によると、図1に示したように、供給路1に処理槽20とは別に圧力手段30を独立させて接続することで、処理槽20毎に複数設ける必要がなくポンプも不要になるため、装置全体の製造コストを大幅に低減することが可能になる。
また、本発明による液体秤量装置の実施形態によると、処理槽10に秤量した薬液及び純水をオーバーフロすることなく貯留し、基板を直接沈積させることで処理(例えば、エッチング処理)するため、薬液が安定して終始一定した処理を行うことができる。
さらに、本発明による液体秤量装置の実施形態によると、水洗処理時に純水を供給して薬液をオーバーフロさせて排出するのではなく、図1に示したように、供給路1に複数のドレイン3a、3b、3cを設けて直接排出して新たに純水を供給するため、純水の使用量を大きく削減できる。
【0022】
以上、本発明による液体秤量装置の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、処理槽に検出部を設けて貯留量を検出する実施例を説明したが、これに限定されるものではなく、供給路の供給源近傍に流量計を設けて貯留量を検出しても良い。
【0023】
【発明の効果】
このように本発明による液体秤量装置によれば、処理槽内に正確に秤量した薬液と純水とを供給でき安定した処理を実現し、純水の使用量を低減して低コストの液体秤量装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による液体秤量装置の実施形態を示す構成図。
【図2】図1に示した混合部の他の実施例を示す図。
【図3】図1に示した液体秤量装置の具体的な実施例を示す図。
【図4】従来の液体秤量装置を示す構成図。
【符号の説明】
1 供給路
1a 供給源
2a、2b、2c、2d、2e、2f、2g、2h、2i、2j 弁
3a、3b、3c ドレイン
10 処理槽
12 検出部
20 薬液槽
22 混合部
30 圧力手段
32 圧抜部
34 加圧部
36 検出手段
Claims (7)
- 薬液と純水とを調合した処理液を処理槽に供給する液体秤量装置において、
前記純水を供給する供給源と、
前記供給源から前記処理槽に前記純水を送る供給路と、
前記供給路に接続されて少なくとも1つ以上の薬液槽から所定の薬液を供給して前記純水に混合させる混合部と、
前記供給源から前記混合部に至る前記供給路に接続して加圧または圧抜する圧力手段とを備え、
前記圧力手段と混合部との間の前記供給路に前記薬液を貯留して秤量するとともに、前記純水の供給により前記処理槽に圧送するように設けたことを特徴とする液体秤量装置。 - 請求項1に記載の液体秤量装置において、
前記圧力手段は、前記供給路から分岐して前記圧抜により前記薬液の供給を容易にするとともに、前記供給路を満たして前記分岐側に流入した前記薬液を検出することで供給を停止して所定量に秤量する検出手段を備えたことを特徴とする液体秤量装置。 - 請求項1または2に記載の液体秤量装置において、
前記処理槽は、前記純水を供給して上端から汚染物質とともに排出するオーバーフロ槽に形成し、前記供給路から供給する前記純水及び薬液の貯留量を検出する検出部を設け、この供給路に少なくとも1つ以上のドレインを備えることを特徴とする液体秤量装置。 - 請求項3に記載の液体秤量装置において、
前記処理槽は、前記供給路で前記薬液を秤量して前記純水により圧送して前記検出部の検出位置まで貯留することでエッチング処理を行うとともに、この処理後の液と前記供給路に残留する液とを前記ドレインによって排出して新たに前記純水を供給してオーバーフロさせることで水洗処理を行うことを特徴とする液体秤量装置。 - 請求項3または4に記載の液体秤量装置において、
前記供給路は、前記薬液を秤量して前記純水により前記処理槽に圧送するとともに、この秤量及び圧送を複数回繰り返す場合に前記ドレインにより残留液を全て排出して行うことを特徴とする液体秤量装置。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の液体秤量装置において、
前記検出手段及び検出部は、前記圧力手段及び処理槽に複数設けることで前記薬液の検出位置を変えて秤量と貯留量とを自由に調節可能に設けたことを特徴とする液体秤量装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の液体秤量装置において、
前記供給路には、前記供給源の近傍に流量計を更に設けたことを特徴とする液体秤量装置。
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