JP3943491B2 - 硬さ試験機 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料表面にくぼみを形成させて当該試料の硬さを測定する硬さ試験機に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、圧子によって、試料表面に荷重を負荷し、くぼみを形成することに基づいて、試料の硬さを評価、測定する硬さ試験機が使用されている。
このような硬さ試験機として、所定の荷重で圧子を試料に押しつける際に圧子が試料に押し込まれて侵入する深さ(圧子が試料に形成するくぼみの深さ)を計測し、硬さを算出するロックウェル硬さ試験機が知られている(例えば、特許文献1参照。)。また、所定の荷重で圧子を試料に押しつけて形成したくぼみの大きさ(例えば、くぼみの所定点間の長さ(対角線の長さ))を計測し、硬さを算出するビッカース硬さ試験機が知られている(例えば、特許文献2参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特許第3170256号公報
【特許文献2】
特開2000−292333号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ロックウェル硬さ試験機とビッカース硬さ試験機とでは、そもそも硬さを評価、測定する方法は異なるため、近時、様々な試料の硬さを評価、試験するユーザにとっては、各々の硬さ試験機を個別に用意しなければならず、不便であるという問題があった。
【0005】
そこで、本発明の課題は、評価・測定方法の異なる硬さ試験を行うことができて汎用性のある硬さ試験機を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
以上の課題を解決するため、請求項1記載の発明は、図1〜3に示すように、
試料表面に圧子(5)がくぼみを形成することに基づいて試料(S)の硬さを測定する硬さ試験機(1)であって、
一端部(31a)が試験機本体(2)に軸支され、二股に分岐している他端部(31b、31c)を有する荷重アーム(3)と、
前記荷重アームが回動して、前記圧子を試料表面に押し込む際に前記荷重アームの一方の他端部が撓むことによる前記荷重アームの他端部の二股の開き量を検出するように、その荷重アームに備えられるアーム変位検出部(34)と、
前記アーム変位検出部により検出された前記荷重アームの他端部の開き量が所定の試験力に対応する開き量となる力を前記荷重アームの一方の他端部(31b)に付与して、前記圧子を試料表面に押し込む力付与手段(例えば、アーム作動部4)と、
前記力付与手段により前記圧子が試料表面から押し込まれる侵入量を検出する侵入量検出手段(例えば、圧子軸変位検出部20)と、
前記圧子が試料表面に押し込まれて形成したくぼみの所定の特徴点間の距離を検出するくぼみ長さ検出手段(例えば、制御部100、撮像部10)と、
前記侵入量検出手段により検出された侵入量に基づき、前記試料の硬さを算出する第1の硬さ算出手段(例えば、制御部100)と、
前記くぼみ長さ検出手段により検出された前記所定の特徴点間の距離に基づき、前記試料の硬さを算出する第2の硬さ算出手段(例えば、制御部100)と、
を備えたことを特徴とする。
【0007】
請求項1記載の発明によれば、力付与手段が発生する作用力に基づき、圧子は所定の試験力が付与されて試料の表面に押し込まれ、試料表面にくぼみを形成する。そのくぼみを形成する際に、圧子が試料表面から押し込まれる侵入量(つまり、くぼみの深さ)を侵入量検出手段が検出し、その検出した侵入量に基づいて、第1の硬さ算出手段が試料の硬さを算出する。また、圧子が形成したくぼみの所定の特徴点間の距離をくぼみ長さ検出手段が検出し、その検出した特徴点間の距離に基づいて、第2の硬さ算出手段が試料の硬さを算出する。
つまり、試料表面に所定の試験力を圧子により負荷してくぼみを形成することによって、くぼみの深さに基づく試料の硬さを測定することと、くぼみの大きさに基づく試料の硬さを測定することができる。
よって、試料の表面に圧子がくぼみを形成することに伴い、少なくとも2通りの硬さ試験を行うことができる。従って、試料や目的に応じた硬さ試験方法を選択することができ、汎用性のある硬さ試験機として使用することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図1から図3に基づいて説明する。図1、図2は、本発明を適用した硬さ試験機を示す一部断面側面図である。図3は、同硬さ試験機の要部構成を示すブロック図である。
図1、図2に示されるように、硬さ試験機1は、各構成部材が配設される試験機本体2と、試験機本体2に回動自在に支持される荷重アーム3と、荷重アーム3に作用力(試験力)を付与し荷重アームを作動させる力付与手段としてのアーム作動部4と、荷重アーム3の下方の試験機本体2に回転自在に備えられたターレット8と、このターレット8に取り付けられ、先端部に圧子5を備える圧子軸6と、ターレット8に取り付けられた対物レンズ7と、ターレット8に対向配置され、試料Sが載置される試料台9と、試料台9上の試料Sに形成されたくぼみを撮像する撮像部10等により構成されている。なお、硬さ試験機1は、図3に示される制御部100により、各部の動作制御が行われる。
【0009】
荷重アーム3は、アーム本体31と、アーム本体31の一端部31aを試験機本体2に軸支する回動軸32とを有している。アーム本体31の他端側は第1の他端部31bと第2の他端部31cとの二股に分岐しており、第1の他端部31bは、可撓性を有する板ばね状に形成されている。
また、アーム本体31の下面側には、アーム本体31の下面と試験機本体2との間にコイルばね33aにより弾性支持される荷重軸33が備えられている。また、アーム本体31には、荷重アーム3(アーム本体31)が作動した際の、第1の他端部31bと第2の他端部31cとの開き量を検出するアーム変位検出部34が備えられている。
【0010】
アーム本体31は、アーム本体31の一端部31aが回動軸32により試験機本体2に回動自在に軸支されるとともに、第1の他端部31bに荷重アーム3を作動させる試験力としての作用力を発生させる後述するアーム作動部4が接続されている。そして、そのアーム作動部4の動作に伴い、アーム本体31は、回動軸32を中心とした回動を行う。このアーム本体31の下方への回動に伴い、アーム本体31は、荷重軸33を下方へ押圧し、移動させる。そして、荷重軸33は、アーム本体31(荷重アーム3)の駆動、動作を圧子軸6に伝達する(図1参照)。
【0011】
アーム変位検出部34は、例えば、所定の間隔の目盛が刻まれたスケールと、そのスケールの目盛を光学的に読み取るリニアエンコーダとからなり、アーム本体31が回動するとともに、圧子軸6等を介して圧子5を試料Sに押し込む際の第1の他端部31bと第2の他端部31cとの開き量(ばね変位量)を検出し、その検出した開き量に基づくアーム変位信号を後述する制御部100に出力する。なお、この開き量(ばね変位量)は、圧子5が試料Sを押し込む押圧力(試験力)、或いは試料Sに加わる荷重に対応している。
【0012】
アーム作動部4は、サーボモータ41と、ボールネジ43と、サーボモータ41のモータ軸41aとボールネジ43のネジ軸43aに掛け渡されるタイミングベルト42と、ボールネジ43に保持される固定治具44等により構成されている。なお、アーム作動部4は、固定治具44の板ばね44aが、アーム本体31の第1の他端部31bに固定されて荷重アーム3に接続されている。
【0013】
サーボモータ41は、制御部100から入力された駆動制御信号に基づき駆動する。そして、サーボモータ41の駆動により回転するサーボモータ41のモータ軸41aの駆動力は、タイミングベルト42を介してボールネジ43のネジ軸43aに伝達されて、ボールネジ43は回転する。そのボールネジ43の回転駆動により固定治具44は上下に移動される。
このように、アーム作動部4は、サーボモータ41の駆動に基づき固定治具44を上下動させて、固定治具44と接続しているアーム本体31の第1の他端部31bに、その駆動(駆動力)を伝達し、アーム本体31(荷重アーム3)を回動させる。なお、アーム作動部4が荷重アーム3を動作させる際、板ばね44aは撓む。
【0014】
試料台9は、試料Sが載置される試料ステージ91と、試料ステージ91の下面に設けられたステージ昇降部92等により構成されている。このステージ昇降部92は、ねじ部92aを有し、ねじ部92aを回転させることによって試料ステージ91を、試験機本体2に対して上下に移動可能としている。
【0015】
ターレット8は、ターレット本体81と、ターレット本体81を試験機本体2に回転自在に軸支する回転軸82等により構成されている。
ターレット本体81には、圧子軸6と、対物レンズ7と、圧子軸6の変位量を検出する侵入量検出手段としての圧子軸変位検出部20とが備えられている。なお、圧子軸6は、圧子軸保持部61を介してターレット本体81に備えられている。そして、ターレット本体81が回転することによって、圧子軸6や対物レンズ7の配置が切り替えられる。
【0016】
圧子軸保持部61は、縦保持部材61aと、縦保持部材61aから横方向に延出する板ばね61b、61bにより構成されており、圧子軸6は、板ばね61b、61bに弾性支持され、試料ステージ91の試料Sの載置面、特に試料ステージ91に載置された試料の表面(上面)に対して垂直に備えられている。
また、圧子軸6の下端部には圧子5が交換可能に備えられている。
そして、図1に示されるように、ターレット8(ターレット本体81)を回転させ、圧子軸6を荷重軸33に対応する配置に切り替えることにより、荷重アーム3の回動に伴い荷重軸33が下方へ移動する動作の作用力を圧子軸6に伝達可能となる。そして、圧子5を試料Sに押し当て、押し込むことが可能となる。
【0017】
対物レンズ7は、後述する撮像部10の顕微鏡部11に付随するレンズ部であり、図2に示されるように、ターレット8(ターレット本体81)を回転させ、対物レンズ7を撮像部10に対応する配置に切り替えた際に、撮像部10による試料S撮像が可能になる。
【0018】
圧子軸変位検出部20は、例えば、所定の間隔の目盛が刻まれたスケールと、そのスケールの目盛を光学的に読み取るリニアエンコーダとからなり、圧子軸6が試料Sにくぼみを形成する際に移動した変位量(つまり、試料Sに圧子5が押し込まれた侵入量、くぼみの深さ)を検出し、その検出した変位量に基づく圧子軸変位信号を後述する制御部100に出力する。
【0019】
撮像部10は、顕微鏡部11と、その顕微鏡部11に取り付けられたCCDカメラ10a(図3参照)と、試料Sの観察位置を照らす照明装置(図示省略)などにより構成されており、試料Sの表面に形成されたくぼみの撮像を行う。そして、撮像部10(CCDカメラ10a)は、撮像したくぼみの画像データを後述する制御部100に出力する。
【0020】
制御部100は、CPU,ROM,RAM等を含む演算装置で構成され、ROMに記憶された所定のプログラムが実行されることにより、所定の硬さ試験を行うため予め設定された所定の動作条件(各硬さ試験用の動作条件)に基づくくぼみ形成のための各部の動作制御や、試料Sに形成されたくぼみに基づくデータやくぼみ形成時の試験力と、予め設定された各硬さ試験に対応する硬さ算出式とに基づき試料Sの硬さの算出を行う。
【0021】
例えば、制御部100は、アーム変位検出部34から入力されたアーム変位信号と、予め設定された設定アーム変位データとの比較を行う。そして、所定の試験力(荷重)で圧子5を試料Sに作用させるように荷重アーム3を回動させるため、アーム作動部4(サーボモータ41)の駆動を制御する駆動制御信号をサーボモータ41に出力する。
【0022】
また、制御部100は、第1の硬さ算出手段として、圧子軸変位検出部20から入力された圧子軸変位信号に基づき、試料Sの硬さの算出を行う。この第1の硬さ算出手段は、試料Sに圧子5が押し込まれた侵入量(くぼみの深さ)から試料Sの硬さを測定する、例えば、ロックウェル硬さ試験に基づく硬さの算出を行う。
【0023】
また、制御部100は、くぼみ長さ検出手段として、撮像部10から入力されたくぼみの画像データに所定の画像処理を施すなどして解析し、くぼみの大きさを自動計測し、所定の特徴点間の距離の検出を行う。
また、制御部100は、第2の硬さ算出手段として、制御部100(くぼみ長さ検出手段)が検出したくぼみの所定の特徴点間の距離に基づき、試料Sの硬さの算出を行う。この第2の硬さ算出手段は、試料Sに圧子5が押し込まれて形成されたくぼみの大きさ(所定の特徴点間の距離)から試料Sの硬さを測定する、例えば、ビッカース硬さ試験に基づく硬さの算出を行う。
【0024】
次に、硬さ試験機1における硬さ試験の動作について説明する。
例えば、まず、圧子軸6にロックウェル硬さ試験用の圧子5を取り付け、ターレット8を回転し、図1に示されるような、硬さ試験におけるくぼみ形成のための配置、つまり、圧子軸6を荷重軸33に対応する配置に切り替える。そして、試料台9の試料ステージ91に試料Sを載置し、試料ステージ91を所定の高さ、位置に調整する。
【0025】
次いで、操作部100により、硬さ試験機1が、ロックウェル硬さ試験用の動作を行うための操作を行う。この操作入力に基づき、アーム作動部4は駆動し、荷重アーム3を下方へ回動させる。この荷重アーム3の下方への回動に伴い、荷重軸33はアーム本体31により押圧されて下方へ移動するとともに、当接する圧子軸6を下方へ移動させる。そして、圧子軸6は、圧子軸6の先端に取り付けられた圧子5を試料Sに押し込み、くぼみを形成する。なお、圧子5が試料Sにくぼみを形成する際、アーム変位検出部34が検出した開き量(ばね変位量)に関するアーム変位信号に基づいて、制御部100がアーム作動部4の駆動を制御して荷重アーム3を回動させることにより、所定の試験力で圧子5を試料Sに押し込んでいる。
【0026】
そして、圧子5が試料Sにくぼみを形成している際の圧子軸6の移動量、変位量を圧子軸変位検出部20は検出し、その検出した変位量に基づく圧子軸変位信号を制御部100に出力する。制御部100は入力された圧子軸変位信号に基づき、ロックウェル硬さを算出して、図示しない表示部に算出した結果(測定値)を表示する。
このように、ロックウェル硬さ試験を行うことができる。
【0027】
また、例えば、圧子軸6にビッカース硬さ試験用の圧子5を取り付けた場合、前述と同様に、ターレット8や試料台9の調整を行い、操作部100により、硬さ試験機1が、ビッカース硬さ試験用の動作を行うための操作を行う。
そして、前述と同様に、制御されたアーム作動部4の駆動に基づき、荷重アーム3は下方へ回動し、荷重軸33を介して圧子軸6を下方へ移動させる。そして、圧子軸6は、圧子軸6の先端に取り付けられた圧子5を試料Sに押し込み、くぼみを形成する。
【0028】
次いで、ターレット8を回転し、図2に示されるような、硬さ試験におけるくぼみ観察のための配置、つまり、対物レンズ7が撮像部10に対応する配置に切り替える。そして、撮像部10は、試料Sに形成されたくぼみを撮像し、撮像したくぼみの画像データを制御部100に出力する。制御部100は、入力された画像データを解析し、ビッカース硬さ試験用の圧子5により形成された略四角形のくぼみの対角線の長さを算出し、その対角線の長さに基づき、ビッカース硬さ算出して、図示しない表示部に算出した結果(測定値)を表示する。
このように、ビッカース硬さ試験を行うことができる。
【0029】
このように、本発明にかかる硬さ試験機1によっては、所定の荷重で圧子を試料に押しつける際に圧子が試料に押し込まれて侵入する深さ(圧子が試料に形成するくぼみの深さ)に基づく硬さ試験(例えば、ロックウェル硬さ試験)と、所定の荷重で圧子を試料に押しつけて形成したくぼみの大きさ(例えば、くぼみの所定の特徴点間の長さ)に基づく硬さ試験(例えば、ビッカース硬さ試験)とを、ともに行うことができる。つまり、汎用性のある硬さ試験機といえる。
【0030】
なお、以上の実施の形態においては、硬さ試験機1において、ロックウェル硬さ試験と、ビッカース硬さ試験を行うことを例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ブリネル硬さ試験やヌープ硬さ試験などの硬さ試験を行ってもよい。その場合、その硬さ試験に応じた圧子5を用意するとともに、制御部100にその硬さ試験に応じた試験機の動作制御や各硬さ試験に対応する硬さ算出式を記憶、入力するようにすればよい。
【0031】
また、以上の実施の形態においては、制御部100がくぼみの画像データを解析して、くぼみの大きさを自動計測するとしたが、これに限らず、計測顕微鏡によりくぼみを観察する観察画面に表示されるスケールを機械的に移動させてくぼみの大きさを計測する機械的計測方法や、撮像部により撮像されたくぼみが表示される表示画面(タッチパネル)において、くぼみの特徴点をタッチ入力してその特徴点間の距離を計測、検出するようにしてもよい。
【0032】
また、その他、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能であることは勿論である。
【0033】
【発明の効果】
本発明にかかる硬さ試験機によれば、試料の表面に圧子がくぼみを形成する際に、圧子が試料表面から押し込まれる侵入量(つまり、くぼみの深さ)を侵入量検出手段が検出して、その検出した侵入量に基づく硬さ試験と、圧子が形成したくぼみの所定の特徴点間の距離をくぼみ長さ検出手段が検出して、その検出した特徴点間の距離に基づく硬さ試験を行うことができる。
つまり、試料表面に所定の試験力を圧子により負荷してくぼみを形成することによって、くぼみの深さに基づく試料の硬さを測定する、例えばロックウェル硬さ試験と、くぼみの大きさに基づく試料の硬さを測定する、例えば、ビッカース硬さ試験とを行うことができる。
このように、試料の表面に圧子がくぼみを形成することに伴い、少なくとも2通りの硬さ試験を行うことができるので、試料や目的に応じた硬さ試験方法を選択することができ、汎用性のある硬さ試験機として使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる硬さ試験機の一部断面側面図である。
【図2】本発明にかかる硬さ試験機の一部断面側面図である。
【図3】本発明にかかる硬さ試験機の制御系を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 硬さ試験機
2 試験機本体
3 荷重アーム
31 アーム本体
34 アーム変位検出部
4 アーム作動部(力付与手段)
41 サーボモータ
5 圧子
6 圧子軸
7 対物レンズ
8 ターレット
9 試料台
10 撮像部(くぼみ長さ検出手段)
10a CCDカメラ
20 圧子軸変位検出部(侵入量検出手段)
100 制御部(くぼみ長さ検出手段、第1の硬さ算出手段、第2の硬さ算出手段)
S 試料
Claims (1)
- 試料表面に圧子がくぼみを形成することに基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機であって、
一端部が試験機本体に軸支され、二股に分岐している他端部を有する荷重アームと、
前記荷重アームが回動して、前記圧子を試料表面に押し込む際に前記荷重アームの一方の他端部が撓むことによる前記荷重アームの他端部の二股の開き量を検出するように、その荷重アームに備えられるアーム変位検出部と、
前記アーム変位検出部により検出された前記荷重アームの他端部の開き量が所定の試験力に対応する開き量となる力を前記荷重アームの一方の他端部に付与して、前記圧子を試料表面に押し込む力付与手段と、
前記力付与手段により前記圧子が試料表面から押し込まれる侵入量を検出する侵入量検出手段と、
前記圧子が試料表面に押し込まれて形成したくぼみの所定の特徴点間の距離を検出するくぼみ長さ検出手段と、
前記侵入量検出手段により検出された侵入量に基づき、前記試料の硬さを算出する第1の硬さ算出手段と、
前記くぼみ長さ検出手段により検出された前記所定の特徴点間の距離に基づき、前記試料の硬さを算出する第2の硬さ算出手段と、
を備えたことを特徴とする硬さ試験機。
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