JP3940552B2 - 電界効果トランジスタ及びその製造方法 - Google Patents
電界効果トランジスタ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3940552B2 JP3940552B2 JP2000290649A JP2000290649A JP3940552B2 JP 3940552 B2 JP3940552 B2 JP 3940552B2 JP 2000290649 A JP2000290649 A JP 2000290649A JP 2000290649 A JP2000290649 A JP 2000290649A JP 3940552 B2 JP3940552 B2 JP 3940552B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- insulating film
- gate insulating
- effect transistor
- field effect
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子及び製造方法に係わり、特にMOS、MIS構造の電界効果トランジスタ及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
LSIの高速化・高集積化はスケーリング則によるMOS型電界効果トランジスタ(FET:Field-Effective-Transistor)の微細化によって進められてきた。これは絶縁膜、ゲート長等のMOS型電界効果トランジスタの各部分を高さ方向と横方向の寸法を同時に縮小することで微細化時に素子の特性を正常に保ち、また性能を上げることを可能にしてきた。
スケーリング則によると、MOS型電界効果トランジスタは微細化の一途をたどっており、西暦2000年以降の次世代MOS型電界効果トランジスタにはSiO2ゲート絶縁膜は2nm以下の膜厚が要求されている。しかし、この膜厚領域は直接トンネル電流が流れ始める厚さであり、リーク電流の抑制ができず、消費電力の増加等の問題を回避できない。よって、SiO2よりも誘電率が高い材料を用いて、シリコン酸化膜換算実効膜厚を2nm以下に抑えつつ、物理膜厚を稼いでリーク電流を抑えることが必要である。また、MOS型電界効果トランジスタではリーク電流の抑制とともに、電界効果トランジスタであるために、Si界面特性が特に重要である。よって、高誘電率であり、かつ界面特性を良好に保持できるゲート絶縁膜が必要となる。
【0003】
ゲート絶縁膜として使用されるTiO2やZrO2などの高誘電材料は、スパッタ法やCVD法を用いてSi基板上に成膜する。しかし、成膜時あるいはその後の熱処理によりSi基板との界面に形成される低誘電率のシリコン酸化膜(SiOx)が基板/ゲート間の容量を低下させ、換算膜厚が十分に小さいゲートを形成することが困難であるという大きな問題点がある。近年、分子線エピタキシ(MBE)法を用いて、SrTiO3をSi基板上にエピタキシャル成長させたゲート絶縁膜を用いたFETが報告されている(K. Eisenbeiserら,App.Phys.Lett. 76, 1324(2000))。この報告でもSi基板とSrTiO3膜界面には、シリコン酸化物と考えられるアモルファス層が形成されている。シリコン酸化膜の形成を抑制するために、SrTiO3膜の成膜時にSrシリサイドをサブモノレイヤ形成する試みが行われ、Si上にSrTiO3が直接成膜されている(R.A.McKeeら, Phys.Rev.Lett. 81, 3014(1998))。しかしながら、SrはSiに比べて共有結合半径が大きく、SrシリサイドとSiとの界面には大きなミスマッチが存在する。このため、この構造では、シリコン酸化膜生成を抑制できても、良好な界面特性を期待することは難しい。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のように、LSIの高集積化を目指し、性能を維持、向上させながら微細化を進めるには、
高誘電率であり、かつ界面特性を良好に保持できる絶縁膜ゲート絶縁膜が必要となる。しかし、Si基板との界面にシリコン酸化膜を形成することなく高誘電率を保ち、かつ、良好な界面特性を持つゲート絶縁膜は実現されていない。
【0005】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、高誘電率でかつ界面特性を良好に保持できるゲート絶縁膜を備えた電界効果トランジスタ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では、Si基板上に2モノレイヤ以下のシリサイド膜を設け、その上に絶縁膜を積層したゲート絶縁膜を用いることを基本とする。このゲート絶縁膜を形成するには、2モノレイヤ以下のシリサイド膜でSi表面をターミネイト(終端化)した後に絶縁膜を積層する製造方法を用いて実現できる。また、Si基板上に2モノレイヤ以下のシリケイト膜を形成した後、絶縁膜を積層したゲート絶縁膜を用いることによっても、上記目的を達成できる。このゲート絶縁膜は、2モノレイヤ以下のシリサイド膜でSi表面をターミネイトした後に酸化を行い、2モノレイヤ以下のシリケイト膜に変化させた後に、絶縁膜を積層する製造方法を用いて実現できる。
【0007】
さらに、前記シリサイド膜及び前記シリケイト膜がその組成に希土類金属であるLa、Ce、Pr、Nd、Smの何れかを主として含む場合に、特に良好な界面特性を得ることができる。
【0008】
本発明で用いるSr、Baなどのアルカリ土類金属はSiに比べて共有結合半径が大きい。Siの共有結合半径が1.11Åであるの対して、Srは1.91Å、Baは1.98Åである。よって、Si基板上にSrシリサイド膜を形成した時には、共有結合半径差による大きなミスマッチの存在により、Siダングリングボンドが生じやすいという問題がある。これが界面特性の劣化をもたらす。このような界面構造の存在する界面においては、シリコン酸化膜が形成されやすい傾向がある。一方、Laの共有結合半径は1.69Å、Ceは1.65Å、Prは1.64Åと小さく、Siとのミスマッチも小さいのでSiダングリングボンドが生じにくい。このため、これらの金属を含むシリサイド膜でSi表面をターミネイトすると、安定なシリサイド表面構造が得られる。このような表面上に絶縁膜を堆積してゲート絶縁膜とすると、シリコン酸化膜が形成されにくいことが明らかとなった。さらに、ミスマッチの低減により界面準位の低減が可能となり、界面特性の良好なゲート絶縁膜が実現でき、電界効果トランジスタとしての特性も向上する。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【0010】
図3は、本発明の基本的な実施形態に係わるnチャネルMOS型電界効果トランジスタの断面構成を示した図である。31はp型シリコン基板、32は素子分離領域、33はゲート絶縁膜である。ゲート絶縁膜の構造及び製造方法は後述する。34はポリシリコンからなるゲート電極、35はn型不純物が導入された拡散層(ソース・ドレイン領域)である。36は、ゲート電極34の側壁に形成された絶縁膜(例えばCVDシリコン窒化膜など)、37は層間絶縁膜(例えばCVDシリコン酸化膜など)であり、この層間絶縁膜37に設けられたコンタクト孔を介して、ゲート電極34およびソース・ドレイン領域35にAl配線38が接続されている。
【0011】
図3に示すような構造を有するMOS型電界効果トランジスタは次のようにして製造する。その製造方法(第1の実施形態(参考例))について図1を参照して説明する。まず、面方位(100)、比抵抗4〜6Ωcmのp型シリコン基板11上に、反応性イオンエッチングにより、素子分離のための溝を形成する。続いて、例えばLP-TEOS膜を埋め込むことにより素子分離領域12を形成する(図1(a))。一例として、MBE法を用いてゲート絶縁膜を形成する場合について説明する。Si表面はまず、希フッ酸でウェット処理を行い、表面を水素でターミネイト(終端化)する。次に、この基板をMBE装置に導入する。基板温度を300℃とし、金属Laを蒸発源として用いてSi基板上にLaを1モノレイヤ蒸着した後、Si基板温度を600℃に昇温することにより1モノレイヤのLaシリサイド(LaSi2)膜13を形成しSi表面をターミネイトする(図1(b))。シリサイド膜は金属であるが、本発明によるように2モノレイヤ以下の厚さであれば、ゲート絶縁膜の一部として使用することが可能である。その後、基板温度を300℃に下げ、Laと酸素ガスを同時に供給して、Laシリサイド膜13上に高誘電率を持つLa2O3アモルファス層の高誘電体膜14を5nm積層する(図1(c))。
【0012】
上述のような製造方法を用いることにより、Si基板との界面にシリコン酸化膜が形成されること無く、ゲート絶縁膜を作製することが可能となった。本実施形態で作製したゲート絶縁膜のシリコン酸化膜換算実効膜厚は1nmを達成することができた。一方、Laシリサイド膜でSi表面をターミネイトすることなく、La2O3を直接成膜した場合には界面にシリコン酸化膜が2.5nm形成された。この場合、シリコン酸化膜換算実効膜厚は3nm以上となり、次世代LSIに要求される2nm以下の換算膜厚を実現することは不可能であった。
【0013】
図3に示したようなMOS型電界効果トランジスタを作製するためには、図1で示したようなゲート絶縁膜作製工程後に、化学気相成長法によってポリシリコン膜を全面に堆積し、このポリシリコン膜をパターニングしてゲート電極34を形成する。続いて、例えば450℃、圧力0.1Pa〜1気圧において、窒素ガスで希釈したSiH4ガスとNH3ガスの混合ガスを用いて、例えば5〜200nmのCVDシリコン窒化膜36を堆積する。以後の工程は、通常のMOS型電界効果トランジスタの製造工程と同様である。すなわち、例えば加速電圧20keV、ドーズ量1×1015 cm−2で砒素のイオン注入を行い、ソース領域及びドレイン領域35を形成する。続いて、化学気相成長法によって全面に層間絶縁膜37となるCVDシリコン酸化膜を堆積し、この層間絶縁膜にコンタクト孔を開口する。続いて、スパッタ法によって全面にAl膜を堆積し、このAl膜を反応性イオンエッチングによってパターニングすることにより、図1に示したようなゲート絶縁膜を有するMOS型電界効果トランジスタが完成する。このようにして作製したMOS型電界効果トランジスタは界面準位が少なく、かつ、反転層のモビリティが高いことから、良好な特性が得られていることが確かめられた。
【0014】
図3に示すような構造を有するMOS型電界効果トランジスタのゲート絶縁膜の製造方法を変更した例について第2の実施形態(参考例)として説明する。まず、第1の実施形態と同様に、シリコン基板上に素子分離のための溝を形成し、素子分離領域を形成する。表面を水素でターミネイトしたSi基板をMBE装置に導入する。基板温度を300℃とし、金属Laを蒸発源として用いてSi基板上にLaを1モノレイヤ蒸着した後、Si基板温度を600℃に昇温することにより1モノレイヤのLaシリサイド(LaSi2)膜を形成し、Si表面をターミネイトする。その後、基板温度を400℃に下げ、Si、Zr、酸素ガスを同時に供給して、Laシリサイド膜上に高誘電率を持つZrシリケイト(ZrO2−SiO2)膜を5nm積層する。上述のような製造方法を用いることにより、Si基板との界面にシリコン酸化膜が形成されること無く、高誘電率を有するゲート絶縁膜を形成することができた。本実施形態で作製したゲート絶縁膜のシリコン酸化膜換算実効膜厚は1.6nmを達成することができた。このゲート絶縁膜を用いたMOS型電界効果トランジスタは界面準位が少なく、かつ、反転層のモビリティが高いことから、良好な特性が得られていることが確かめられた。また、本実施形態では、Laシリサイドを用いたが、Srシリサイドを形成した上に、Zrシリケイト絶縁膜を形成した場合にも同等の特性が得られた。
【0015】
図3に示したような構造を有するMOS型電界効果トランジスタのゲート絶縁膜の製造方法を変更した例について第3の実施形態として説明する。まず、第1の実施形態と同様に、シリコン基板上に素子分離のための溝を形成し、素子分離領域を形成する。Si表面を水素でターミネイトしたSi基板をMBE装置に導入する。基板温度を300℃とし、金属Laを蒸発源として用いてSi基板上にLaを1モノレイヤ蒸着した後、Si基板温度を600℃に昇温することにより1モノレイヤのLaシリサイド(LaSi2)膜を形成しSi表面をターミネイトする。その後、基板温度を300℃に下げ、Sr、Ti、酸素ガスを同時に供給して、Laシリサイド膜上に高誘電率を持つエピタキシャルSrTiO3膜を10nm積層する。上述のような製造方法を用いることにより、Si基板との界面にシリコン酸化膜が形成されること無く、高誘電率を有するゲート絶縁膜を作製することできた。本実施形態で形成したゲート絶縁膜のシリコン酸化膜換算実効膜厚は0.2nmを達成することができた。このゲート絶縁膜を用いたMOS型電界効果トランジスタは界面準位が少なく、かつ、反転層のモビリティが高いことから、良好な特性が得られていることが確かめられた。本実施形態ではLaシリサイド上にSrTiO3膜を積層したが、SrZrO3を積層した場合にも同等の効果が得られる。この場合の換算膜厚は、0.7nmであった。
【0016】
なお、上述述した第1〜3の実施形態では、Laシリサイド膜またはSrシリサイド膜を用いたが、他の金属のシリサイド膜を用いることもできる。特に、La、Ce、Pr、Nd、Smの何れのシリサイド膜を用いた場合に顕著な効果が得られる。また、高誘電体膜としてLa2O3、Zrシリケイト、SrTiO3、SrZrO3を用いたが、TiO2、Ta2O5、Al2O3、ZrO2などの他のアモルファス層、LaAlO3などの結晶層、Hfシリケイト、Laシリケイトなど、広範囲にわたる高誘電体層を用いることが可能となる。
【0017】
次に、図3に示すような構造を有するMOS型電界効果トランジスタのゲート絶縁膜の製造方法を変更した例について第4の実施形態(参考例)として説明する(図2参照)。まず、面方位(100)、比抵抗4〜6Ωcmのp型シリコン基板21上に、反応性イオンエッチングにより、素子分離のための溝を形成する。続いて、例えばLP-TEOS膜を埋め込むことにより素子分離領域22を形成する(図2(a))。一例として、MBE法を用いてゲート絶縁膜を形成する場合について説明する。Si表面はまず、希フッ酸でウェット処理を行い、表面を水素でターミネイトする。次に、この基板をMBE装置に導入する。基板温度を300℃とし、金属Ceを蒸発源として用いてSi基板上にCeを1モノレイヤ蒸着した後、Si基板温度を600℃に昇温することにより1モノレイヤのCeシリサイド(CeSi2)膜23を形成しSi表面をターミネイトする(図2(b))。次に、MBE装置に1×10−4Paの酸素を導入して、シリサイド膜23を酸化させてシリケイト膜24に変化させる(図2(c))。その後、基板温度を300℃に下げ、Sr、Ti、酸素ガスを同時に供給して、Ceシリケイト膜24上に高誘電率を持つSrTiO3膜の高誘電体膜25をエピタキシャル成長する。膜厚は10nmとした(図2(d))。
【0018】
上述したような製造方法を用いることにより、Si基板との界面にシリコン酸化膜が形成されること無く、ゲート絶縁膜を作製することができる。本実施形態で形成したゲート絶縁膜のシリコン酸化膜換算実効膜厚は0.2nmを達成することができた。本実施形態によるゲート絶縁膜形成後、第1の実施形態で示したのと同様の方法で、図3に示すようなMOS型電界効果トランジスタを作製した。
このようにして作製したMOS型電界効果トランジスタは界面準位が少なく、かつ、反転層のモビリティが高いことから、良好な特性が得られていることが確かめられた。
【0019】
次に、図3に示したような構造を有するMOS型電界効果トランジスタのゲート絶縁膜の製造方法を変更した例について第5の実施形態(参考例)として説明する。まず、シリコン基板上に素子分離のための溝を形成し、素子分離領域を形成する。Si表面は水素でターミネイトして、MBE装置に導入する。基板温度を300℃とし、金属Zrを蒸発源として用いてSi基板上にZrを1モノレイヤ蒸着した後、Si基板温度を600℃に昇温することにより1モノレイヤのZrシリサイド(ZrSi2)膜を形成しSi表面をターミネイトする。次に、MBE装置に1×10−4Paの酸素を導入して、シリサイド膜を酸化させてシリケイト膜に変化させる。その後、基板温度を300℃に下げ、Sr、Zr、酸素ガスを同時に供給して、Zrシリケイト上に高誘電率を持つSrZrO3をエピタキシャル成長する。膜厚は5nmとした。このような製造方法を用いることにより、Si
基板との界面にシリコン酸化膜が形成されること無く、ゲート絶縁膜を作製することができる。本実施形態で形成したゲート絶縁膜のシリコン酸化膜換算実効膜厚は0.3nmを達成することができた。このようにして作製したMOS型電界効果トランジスタは界面準位が少なく、かつ、反転層のモビリティが高いことから、良好な特性が得られていることが確かめられた。
【0020】
第4、5の実施形態では、CeシリケイトまたはZrシリケイト膜を用いたが、他の金属のシリケイト膜を用いることもできる。特に、La、Ce、Pr、Nd、Smの何れのシリケイトを用いた場合には顕著な効果が得られる。また、高誘電体膜としてSrTiO3、SrZrO3を用いたが、La2O3、TiO2、Ta2O5、Al2O3、ZrO2などのアモルファス層、LaAlO3などの結晶層、Hfシリケイト膜、Laシリケイト膜、Zrシリケイト膜など、広範囲にわたる高誘電体層を用いることが可能となる。
【0021】
【発明の効果】
以上説明した本発明によれば、界面準位が少なく、かつ、反転層のモビリティが高い、良好な特性を持つゲート絶縁膜を有する電界効果型トランジスタが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明製造方法の第1の実施形態を説明するための工程断面図。
【図2】本発明製造方法の第4の実施形態を説明するための工程断面図。
【図3】本発明のMOS型電界効果トランジスタを説明するための図。
【符号の説明】
11、21、31 … シリコン基板
12、22、32 … 素子分離領域
13、23… シリサイド膜
24…シリケイト膜
14、25…高誘電体膜
33 … ゲート絶縁膜
34 … ゲート電極
35 … 拡散層(ソース・ドレイン領域)
36 … CVDシリコン窒化膜
37 … 層間絶縁膜
38 … Al配線
Claims (4)
- Si半導体基板にソース・ドレイン領域を設け、前記ソース・ドレイン領域間にゲート絶縁膜を介してゲート電極を設けてなる電界効果トランジスタであって、前記ゲート絶縁膜が、前記Si半導体基板上にCe、Pr、Nd、Smの何れかを組成に主として含む2モノレイヤ以下のシリサイド膜、さらにこのシリサイド膜の上に実質的にZrO2、HfO2、La2O3、SrZrO3で表記される絶縁膜を設けた積層膜であることを特徴とする電界効果トランジスタ。
- Si半導体基板にソース・ドレイン領域を設け、前記ソース・ドレイン領域間にゲート絶縁膜を介してゲート電極を設けてなる電界効果トランジスタであって、前記ゲート絶縁膜が、前記Si半導体基板上にLa、Ce、Pr、Nd、Smの何れかを組成に主として含む2モノレイヤ以下のシリサイド膜を設け、さらに前記シリサイド膜の上に実質的にZrO2、HfO2、SrZrO3で表記される絶縁膜を設けた積層膜であることを特徴とする電界効果トランジスタ。
- Si半導体基板にソース・ドレイン領域を設け、前記ソース・ドレイン領域間にゲート絶縁膜を介してゲート電極を設けてなる電界効果トランジスタを製造するに際し、前記ゲート絶縁膜を、前記Si半導体基板上にCe、Pr、Nd、Smの何れかを組成に主として含む2モノレイヤ以下のシリサイド膜を形成してSi表面を終端化し、その後に前記シリサイド膜の上に実質的にZrO2、HfO2、La2O3、SrZrO3で表記される絶縁膜を積層することによって形成したことを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。
- Si半導体基板にソース・ドレイン領域を設け、前記ソース・ドレイン領域間にゲート絶縁膜を介してゲート電極を設けてなる電界効果トランジスタを製造するに際し、前記ゲート絶縁膜を、前記Si半導体基板上にLa、Ce、Pr、Nd、Smの何れかを組成に主として含む2モノレイヤ以下のシリサイド膜を形成してSi表面を終端化し、その後に前記シリサイド膜の上に実質的にZrO2、HfO2、SrZrO3で表記される絶縁膜を積層することによって形成したことを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000290649A JP3940552B2 (ja) | 2000-09-25 | 2000-09-25 | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000290649A JP3940552B2 (ja) | 2000-09-25 | 2000-09-25 | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007038174A Division JP2007180576A (ja) | 2007-02-19 | 2007-02-19 | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002100766A JP2002100766A (ja) | 2002-04-05 |
JP3940552B2 true JP3940552B2 (ja) | 2007-07-04 |
Family
ID=18773850
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000290649A Expired - Fee Related JP3940552B2 (ja) | 2000-09-25 | 2000-09-25 | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3940552B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4261408B2 (ja) | 2004-03-31 | 2009-04-30 | 株式会社東芝 | 半導体デバイスおよび半導体デバイスの製造方法 |
-
2000
- 2000-09-25 JP JP2000290649A patent/JP3940552B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002100766A (ja) | 2002-04-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7427794B2 (en) | Tri-gate devices and methods of fabrication | |
US6686245B1 (en) | Vertical MOSFET with asymmetric gate structure | |
US6607952B1 (en) | Semiconductor device with a disposable gate and method of manufacturing the same | |
US20010030350A1 (en) | MIS transistor and method for producing same | |
JP2004247736A (ja) | 高温度における高kゲート誘電体用の界面層成長 | |
KR20060098361A (ko) | 고성능 장치의 금속 대체 게이트의 구조체 및 방법 | |
US9070617B2 (en) | Reduced S/D contact resistance of III-V mosfet using low temperature metal-induced crystallization of n+ Ge | |
JP2004253767A (ja) | デュアルゲート構造およびデュアルゲート構造を有する集積回路の製造方法 | |
US9362280B2 (en) | Semiconductor devices with different dielectric thicknesses | |
JP3875477B2 (ja) | 半導体素子 | |
JP2004006891A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
TWI291744B (en) | Semiconductor integrated circuit device and its manufacturing method | |
JP4025542B2 (ja) | 絶縁膜形成方法、半導体装置及びその製造方法 | |
WO2005074037A1 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3940552B2 (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
KR100586178B1 (ko) | 쇼트키 장벽 관통 트랜지스터 및 그 제조방법 | |
JP2003257968A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2002270828A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2002057155A (ja) | 5酸化タンタル膜の製造方法 | |
JP3779556B2 (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JP2007180576A (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP2827962B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004265973A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3970539B2 (ja) | 電界効果トランジスタ | |
JPH03102875A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040622 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040819 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20040901 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060815 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060928 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20061127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061219 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070323 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070402 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100406 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110406 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130406 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140406 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |