JP3931489B2

JP3931489B2 - 有機エレクトロルミネッセンス表示用基板の製造方法

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Publication number: JP3931489B2
Application number: JP18350599A
Authority: JP
Inventors: 懿範銭; 守石崎; 孝夫湊; 祐一伊藤; 克宏鈴木
Original assignee: Toppan Inc
Current assignee: Toppan Inc
Priority date: 1998-09-01
Filing date: 1999-06-29
Publication date: 2007-06-13
Anticipated expiration: 2019-06-29
Also published as: JP2000150140A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、テレビおよび高度な情報処理用端末表示装置としての発光型ディスプレイである有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板および有機エレクトロルミネッセンス表示素子に関する。
【０００２】
以下の記載において、「エレクトロルミネッセンス」を「ＥＬ」と表記する。
【０００３】
【従来の技術】
フラットパネル型ディスプレイ装置の一つである有機ＥＬディスプレイ装置は、基本的に、有機ＥＬ媒体層を第１電極（陽極または陰極）と第１電極上に設けられた第２電極（陰極または陽極）で挟持した構造を取り、両電極間に所定の電流を流すことにより有機ＥＬ媒体層が発光する。有機ＥＬ媒体層は、自己発光型であるため、これを用いたディスプレイは、高輝度、高視野角を示し、かつ低電圧で駆動し得るという特徴を有する。通常、第１電極および第２電極は、それぞれ複数の電極ラインにより構成され、これら第１電極ラインと第２電極ラインとを互いに交差させてマトリックス構造とされる。各第１電極ラインと各第２電極ラインとの交点に存在する有機ＥＬ媒体層は１つの画素を形成する。
【０００４】
このようなマトリックス電極構造を有し、大容量で高精細の有機ＥＬディスプレイ装置を製造するためには、第２電極ラインに非常に微細なパターニング加工が必要となる。
【０００５】
第１電極ライン上に形成される有機ＥＬ媒体層に悪影響を与えることなく、第２電極ラインを微細にパターニングするための方法として、第１電極ラインが形成された基板上に設けられたオーバーハングを有する隔壁（逆テーパ隔壁またはＴ字形隔壁）を使用する方法が知られている（特開平８−３１５９８１号公報、特開平９−１０２３９３号公報参照）。これら先行技術の隔壁法は、基本的に、隔壁の存在により、有機ＥＬ媒体と第２電極ラインの蒸着と同時にそれらのパターニングをも可能とするものである。隔壁がオーバーハングを有することにより、基板に垂直な方向における蒸着によってもパターニングが可能となり、従って、基板を回転させながら蒸着を行えるという利点を有する。
【０００６】
しかしながら、逆テーパ隔壁を用いた場合には、蒸着ビームの入射角がテーパ角より小さい場合、隔壁の側面にも堆積が生じ、電極の短絡が生じるおそれがあり、大面積の基板に対する蒸着には適さない。また、Ｔ字形隔壁は、その形成が複雑である。さらに、Ｔ字隔壁と有機ＥＬ媒体層や第２電極ラインとの間に隙間が存在するため、これら隔壁を用いて有機ＥＬ媒体や第２電極材料の蒸着を行った場合、第２電極材料が有機ＥＬ媒体層の側端面上にも堆積し、その結果第２電極と第１電極とが直接接触して、正常な動作を阻害する短絡が生じるおそれがある。短絡が生じない場合でも、第２電極ラインの端縁部等に電界が集中して絶縁破壊やジュール熱による劣化が生じ易くなる。これらを防止するために、隔壁の根本部に電気絶縁層を形成することが提案されているが、工程が複雑となる。さらには、有機ＥＬ媒体層／第２電極ラインの端縁が露出している結果、その端縁から劣化が生じ易い。さらには、隔壁と有機ＥＬ媒体層／第２電極ラインとの間に隙間が存在するため、あるいは隔壁が光りを透過させるため、基板裏面からの光がその隙間または隔壁内を通って表示面に達し、表示の妨げにもなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、上記先行技術の隔壁法の問題点を解決すべく、本出願人は、ひさしとともにすそをも有する隔壁を利用することを提案している（特願平１０−１１７２３６号）。この隔壁は、ひさしに加えてすそを有することにより、先行技術の利点を保持したまま、先行技術の問題点を解決することができる。すなわち、有機ＥＬ媒体層は、隔壁との間に隙間を生じることなく、隔壁のすそ上までにわたって形成され、その上に形成される第２電極ラインも有機ＥＬ媒体層上に隔壁のすそに至るまで形成される。従って、隔壁との間に隙間が存在することによる短絡、絶縁破壊などの問題、さらには光透過の問題が回避される。しかも、蒸着ビームの飛来方向の制限を大幅に緩和することができ、そのため、大面積の基板の使用、蒸着時の基板の回転が可能となる。そして、隔壁に色材を混入させることにより、隔壁内の光透過の問題も回避できる。
【０００８】
しかしながら、この方法にも若干の問題があることがわかった。すなわち、特願平１０−１１７２３６号に開示された隔壁は、ネガ型感光性樹脂を使用し、ひさし部を露光した後、露光されたひさし部以外の未露光部を現像処理してすそ部を形成するものである。従って、ひさし部の幅は、露光幅によって高精度に決定し得るものの、すその幅は現像条件によって微妙に変化してしまう。そのため、画素寸法のばらつきが発生するおそれがある。また、もう１つの問題は、第１電極ライン側端縁における第１電極ラインと第２電極ラインとの短絡である。隔壁のすそにより第２電極側端縁における第２電極ラインと第１電極ラインとの短絡は防止し得るが、第１電極ラインの低抵抗化のため膜厚を大きくするなどの場合には、有機ＥＬ媒体層が厚い第１電極ラインの側端縁部で段切れが生じたり、第２電極ラインが当該部位で短絡するおそれがある。これを防止するために、絶縁層を別途形成することも考えられるが、工程が大幅に増加してしまう。
【０００９】
本発明は先願技術の利点を保持しつつ、その上記問題点を解決するためになされたものであり、ひさしとすそを有する隔壁のすその幅をも正確に制御することを第１の課題とする。また、本発明の第２の課題は、第１電極ラインの側端縁における第２電極との短絡を確実に防止し得る手段を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記第１の課題を解決するために、本発明では、互いに離間して設けられた複数の第１電極ライン、および該複数の第１電極ラインと交差するように互いに離間して設けられ、それぞれ上部にひさし、下部にすそを有する複数の隔壁を基板上に有する有機ＥＬ表示素子用の基板を製造する際に、第１電極ラインを形成した後、該隔壁を形成するに当たり、第１電極ラインを形成した基板上に、露光用光を吸収する物質（露光光吸収物質）を配合したネガ型フォトレジスト膜を塗布・形成し、このネガ型フォトレジスト膜に対し、ひさしを含む隔壁の頂部に対応する領域に対する第１の露光と、隔壁のすそ先端部または底部に対応する領域に対する第２の露光とを行うこととした。未露光部を現像に供することにより、最終的に、上部にひさしを、下部にすそを有する隔壁が形成される。第１の露光と第１の露光は、その順序に制限はなく、第１の露光を行ってから第２の露光を行うこともできるし、第２の露光を行ってから第１の露光を行うこともできる。さらに、第１の露光および第２の露光を同時に行うこともできる。
【００１１】
また、上記第２の課題を解決するために、本発明において、隣り合う第１電極ラインの間に位置して隔壁のすそ同士を連結する複数の連結帯を隔壁と一体に設けることとした。
【００１２】
すなわち、本発明によれば、基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと、該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁と、隣り合う第１電極の間に位置して該隔壁のすそ同士を連結する、該隔壁と一体に設けられた複数の連結帯とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、第１電極ラインを形成した基板上に、露光光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する領域に対する第１の露光と隔壁のすそ先端部および連結帯に対応する領域に対する第２の露光とを同時または相前後して行い、未露光部を現像に供することによって隔壁と連結帯を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法が提供される。
【００１３】
さらに、本発明によれば、基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと、該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁と、隣り合う第１電極の間に位置して該隔壁のすそ同士を連結する、該隔壁と一体に設けられた複数の連結帯とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、第１電極ラインを形成した基板上に、露光光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する領域に対する第１の露光と隔壁の底部および連結帯に対応する領域に対する第２の露光とを同時または相前後して行った後、未露光部を現像に供することによって隔壁と連結帯を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法が提供される。
【００１４】
さらに、本発明によれば、基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、第１電極ラインを形成した基板上に、露光光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する領域に対する第１の露光を行った後、未露光部を所定の厚さまで現像し、ついで隔壁のすそ先端部に対応する領域に対する第２の露光を行った後、未露光部を現像に供して隔壁を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法が提供される。
【００１５】
さらに、本発明によれば、基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、第１電極ラインを形成した基板上に、露光光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する領域に対する第１の露光を行った後、隔壁のすそ先端部に対応する領域に対して、該第１の露光と同じ露光面側から、第１の露光より少ない露光量で第２の露光を行った後、未露光部を現像に供して隔壁を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法が提供される。
【００１６】
本発明において、上記第２の露光を隣り合う隔壁を連結する連結帯に相当する領域に対して行うことも好ましい。
【００１７】
また、本発明によれば、複数のカラーフィルターを設けた基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、基板上に複数のカラーフィルターを互いに離間して行および列として設け、その上に互いに離間してカラーフィルターの行方向に延びる複数の第１電極ラインを形成した後、その上に露光光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する第１領域に対する第１の露光と、基板裏面からカラーフィルターをマスクとして、カラーフィルターの列間の間隙に相当する隔壁底部に対応する第２領域およびカラーフィルターの行間の間隙に相当する第３領域に対する第２の露光とを同時または相前後して行った後、未露光部を現像に供して、第３領域に対応する連結帯で連結された隔壁を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法が提供される。
【００１９】
また、本発明は、基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁とを備え、該隔壁は、上部にひさし、下部にすそを有し、かつ隣り合う隔壁は、互いに、該隔壁と一体に設けられた複数の連結帯によりすそ部において連結され、該隔壁および連結帯は同一物質からなることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板を提供する。
【００２０】
この場合において、連結帯が、隣り合う第１電極ラインの対向側端縁端を覆っていることが好ましい。特に、本発明の基板は、その製造方法故に、隔壁および連結帯が、光吸収性物質を配合したフォトレジストからなり、特に光吸収性物質が、黒色を示すものであるとき、隔壁および連結帯はブラックマトリックスをも構成する。
【００２１】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示素子は、本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示用基板上に有機エレクトロルミネッセンス媒体と第２電極ラインを設けたことを特徴とする。
【００２２】
【発明の実施の形態】
本発明によれば、基板上に形成された複数の第１電極ラインと交差する方向に延びる隔壁は、上部にひさし、下部にすそを有するものであって、塗布されたネガ型フォトレジスト膜に対して、ひさしを含む隔壁頂部に対応する部分に対する第２の露光を行うことによってひさしばかりでなく、すそもフォトマスクにより正確に制御することができる。第１の露光は、フォトマスクを用い、ネガ型フォトレジスト膜に対し前面から行うことができる。第２の露光は、（１）フォトマスクを用い、基板裏面から行うことにより、または（２）基板上に予め露光光（紫外光等）を選択的に透過させるパターンを形成しておき、このパターンをマスクとして基板裏面全面から行うことができる。あるいは、（３）第１露光後、現像を途中まで行った後、すそ先端部に対応する領域を選択的に基板前面から行うこともできる。この場合、第２の露光後、さらに現像を行う。あるいは、（４）第１の露光後、すそ先端部に対応する領域を第１の露光よりも少ない露光量（例えば、３／５以下）で選択的に基板前面から第２の露光を行い、現像することもできる。
【００２３】
上記（２）の手法においては、基板上に、第１電極ラインを形成する前に、カラーフィルターを形成しておき、これらカラーフィルターをマスクとして利用することができる。カラーフィルターとしては、Ｒ、Ｇ、Ｂの三色のカラーフィルターを交互に配置することができ、その場合、白色発光の有機ＥＬ媒体を用いると、カラーディスプレイとなる。また、第１電極ラインを形成する前に、赤、緑蛍光変換膜を形成し、これら蛍光変換膜をマスクとして利用することもできる。その場合、青色発光の有機ＥＬ媒体を用いることにより、フルカラーディスプレイを達成することができる。これらの手法によれば、隔壁のより微細なパターニングを行うことができる。
【００２４】
また、本発明によれば、隔壁のひさしとすそに相当する領域に対する露光を別々に行うので、隔壁のひさし相当領域の形状に依存することなく、隔壁のすそ相当領域の形状を規定することができる。従って、好ましくは、隣り合う第１電極ラインの対向する側端縁を覆うように隣り合う隔壁をすそにおいて連結する複数の連結帯を同時に形成することができる。このように連結帯を設けることにより、後に形成される第２電極ラインが第１電極ラインの対向する側端縁において短絡することが確実に防止される。
【００２５】
以下、本発明を図１ないし図１３を参照してより詳細に説明する。全図を通して、同一部分には、同一符号が付されている。なお、図３ないし図１０において、各（ａ）図は、上面図である各（ｂ）図の線Ａ−Ａに沿った断面に対応する。
【００２６】
まず、図１を参照して、本発明における一つの典型的な隔壁の構造を説明する。図１（ａ）は、隔壁を部分的に示す斜視図であり、図１（b）は、隔壁の横断面図である。
【００２７】
本発明の隔壁１０は、全体として細長いレール様立体形状を有するものであって、一体的なものではあるが、図１（ａ）に示すように、概念上、ひさし１２ａ，１２ｂを構成するストライプ状の頂部１２と、同じくストライプ状の底部１３と、頂部１２と底部１３との間に存在し、すそを構成する断面山形の本体部１１とに区分することができる。山形の本体部１１は、頂部１２の下面におけるひさし１２ａおよび１２ｂの各基端部から底部１３の上面の幅方向の各端縁までに至る凹状になだらかに湾曲するテーパ状側面１１ａ，１１ｂを有する。
【００２８】
図１（ｂ）を参照すると、隔壁１０の高さａは、好ましくは０．２μｍないし１００μｍであり、さらに好ましくは１μｍないし３０μｍである。山形本体部１１の上面の幅（頂部１２の幅から２つのひさし１２ａ，１２ｂの幅の合計を引いた部分の幅）ｂは、好ましくは０．０５μｍ以上であり、さらに好ましくは１μｍ以上である。各ひさし１２ａ，１２ｂの厚さｃは好ましくは０．０５μｍないし１０μｍであり、さらに好ましくは０．１μｍないし５μｍである。各ひさし１２ａ，１２ｂの幅ｄは、好ましくは０．０５μｍないし５０μｍであり、さらに好ましくは０．５μｍないし１０μｍである。すその幅ｅは、好ましくは０．１μｍないし１００μｍであり、さらに好ましくは１μｍないし３０μｍである。なお、底部１３の幅は、頂部１２の幅よりも大きいことが好ましい。いいかえると、すそ幅ｅは、ひさし幅ｄよりも大きいことが好ましい。
【００２９】
また、すその各先端部（底部１３の幅方向の各端縁に相当）と水平方向におけるすそ幅の２分の１の点から垂直線が側面１１ａ，１１ｂと交差する点ｐとを結ぶ直線が底部１３の上面となす角（この角を本明細書において、「すその先端角」という）θは、４５°以下であることが好ましい。（図１（ｂ）参照）。
【００３０】
図２は、隣り合う隔壁１０をすそにおいて連結するストライプ状の複数の連結帯を有する複数の隔壁の上面図である。図２に示すように、図１に示す構造の隔壁１０が所定の間隔をもって複数配設され、隣り合う隔壁１０は、隔壁１０のすそ、より正確には、底部１３（図１参照）において複数の連結帯２１により互いに連結されている。この連結帯２１は、後述するように、隣り合う第１電極ライン（図示せず）同士の間の間隙を満たし、かつ隣り合う第１電極ラインの対向側端縁を覆うように配設されることが好ましい。
【００３１】
次に、図３ないし図６を参照して本発明による有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法に係る第１の実施の形態を説明する。
【００３２】
まず図３に示すように、石英、ガラス、プラスチック等の透光性材料、好ましくは透明材料で形成された基板３１の上に、図示しない複数の端子パッドとともに、複数のストライプ状の第１電極ライン（本例では、陽極ライン）３２を形成する。図３では、複数の第１電極ライン３２は、相互に一定の間隔をもって離間して配置されているものとして示されている。
【００３３】
複数の第１電極ライン３２は、基板３１の前面全体に第１電極材料を形成し、これを通常のフォトリソグラフィー等の技術によりパターニングすることによって形成することができる。本実施の形態では、上記のように第１電極が陽極を構成するので、電極材料としては、透明な導電性材料、好ましくは、インジウムスズ複合酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛複合酸化物、亜鉛アルミニウム複合酸化物等を使用することができる。これらの電極材料は、スパッタ法により基板３１上に被着させることができる。
【００３４】
次に、図４に示すように、基板３１の第１電極ライン３２側の表面（前面）上に、ネガ型フォトレジスト膜３３を全面塗布する。このネガ型フォトレジスト膜３３には、露光用の光、特に紫外光を吸収する物質、例えば紫外線吸収剤や色材をあらかじめ配合しておく。ネガ型フォトレジストに配合する紫外線吸収剤としては、通常紫外線吸収剤として使用されているベンゾフェノン系、フェニルサリチル酸系、シアノアクリレート系、ベンゾトリアゾール系、シュウ酸アニリド系等の有機紫外線吸収剤、および／または通常紫外線吸収剤として使用されているガラス粉、酸化セリウム粉等の無機紫外線吸収剤を使用することができる。また、色材としては、隔壁をブラックストライプとしても機能させるためには、黒色顔料、または赤、緑および青の３色混合顔料を用いることが望ましいが、隔壁の形成のためだけならば、単色顔料を用いることができる。いうまでもなく、ネガ型フォトレジスト膜は、電気絶縁性である。
【００３５】
光吸収性物質を配合したネガ型フォトレジスト膜３３を塗布し、プリベークした後、ネガ型フォトレジスト膜３３の表面上に、ひさしを含む隔壁の頂面形状に対応する形状の複数の光透過窓３４ａを有するフォトマスク３４を載置する。そして、紫外光３５を照射してひさしを含む隔壁の頂部１２（図１参照）の形状に対応する領域１２１を露光する。このとき、紫外光３５は、フォトレジスト膜３３の表面から一定の深さまで到達し、その部分を感光させるが、紫外光吸収性物質により吸収され、深部まで到達し得ず、各頂部相当領域１２１の下側は未露光のまま残る。この露光は、基板３１の前面からの露光であるので、表露光ということとする。
【００３６】
しかる後、フォトマスク３４を除去する。
【００３７】
上記のように表露光を行った後、図５に示すように、基板３１の裏面に、隔壁の底面形状に対応する複数の光透過窓３６ａを有するフォトマスク３６を載置する。そして、紫外光３７を裏面から照射して隔壁の底部（図１の底部１３参照）の形状に対応する領域１３１を露光する。このときも、先に述べたように、紫外光は、光透過性基板３１および透明な第１電極ライン３２を透過して、フォトレジスト膜３３の裏面からフォトレジスト膜３３内に一定の深さまで到達し、その部分を感光させるが、紫外光吸収性物質により吸収されるので、深部まで到達し得ず、底部相当領域１３１の上側は未露光のまま残る。この露光は、基板３１の裏面からの露光であるので、裏露光ということとする。
【００３８】
しかる後、フォトマスク３６を除去する。
【００３９】
このようにして頂部相当領域１２１および底部相当領域１３１の露光を行ったフォトレジスト膜３３を現像液を使用して現像に供する。この現像により、フォトレジスト膜３３の未露光部はその表面から溶解し、頂部相当領域１２１の下側では横方向にも溶解が進行し、底部相当領域１３１の上面両端に至るなだらかに湾曲して傾斜するテーパ面１１ａ，１１ｂ（図１をも参照）を形成しつつ、底部相当領域１３１以外の底部未露光部も溶解除去される。こうして、上部にひさしを、下部にすそを有する図１に示す形状の隔壁１０が複数形成される。なお、図６においては、各隔壁１０は、互いに離間して第１電極ラインに直交する方向に延びるものとして示されている。
【００４０】
最後に、電子線を照射してからポストベークを行って、有機ＥＬ表示素子用基板を完成する。なお、表露光（第１露光）と裏露光（第２露光）とは、上記とは逆の順序で行ってもよいし、同時に行ってもよい。
【００４１】
図７および図８は、本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法に係る第２の実施の形態を説明するためのものである。この第２の実施の形態では、隣り合う隔壁がすそ部において複数の連結帯により連結された形態を示す（図２をも参照）。
【００４２】
この第２の実施の形態においては、まず、第１の実施の形態において図３ないし図４に関して説明したように、基板３１上に、第１電極ライン３２を形成し、光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜３３を塗布した後、表露光を行う。次に裏露光を行うが、用いるフォトマスクが第１の実施の形態で使用したフォトマスクと異なる。
【００４３】
すなわち、第２の実施の形態によれば、裏露光を行う際に、図７に示すように、フォトマスクとして、隔壁の底部１３に対応する形状の複数の光透過性窓３６ａに加えて、連結帯２１（図２参照）に対応する形状の複数の第２の光透過性窓３６ｂを有するフォトマスク３６１を使用する。第２の窓３６ｂは、隣り合う第１電極ライン３２の間の間隙およびそれら隣り合う第１電極ライン３２の対向側端縁部３２ａ，３２ｂに対応する領域が露光されるように設けることが好ましい。
【００４４】
上記フォトマスク３６１を用いて、第１の実施の形態で説明したように裏露光を行うことによって、フォトレジスト膜３３の底部相当領域１３１とともに、連結帯相当領域２１１をも露光する。
【００４５】
しかる後、第１の実施の形態と同様に現像することによって、図８に示すように、上部にひさし、下部にすそを有し、かつすそにおいて複数の連結帯２１により接続された図２に示す形状の複数の隔壁１０が得られる。上に好ましいものとして述べたように、各連結帯２１は、隣り合う第１電極ライン３２の対向する側端縁３２ａ，３２ｂをも覆って形成されるので、後に形成される第２電極ラインが第１電極ラインの側端縁３２ａ，３２ｂにおいて短絡することが完全に防止される。
【００４６】
最後に、第１の実施の形態と同様に電子線を照射してからポストベークを行って、有機ＥＬ表示素子用基板を完成する。
【００４７】
図９および図１０は、本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法に係る第３の実施の形態を説明するためのものである。この第３の実施の形態では、基板３１上にカラーフィルターを形成しておき、裏露光に際し、これらカラーフィルターをフォトマスクとして利用する。
【００４８】
すなわち、第３の実施の形態においては、まず、図９に示すように、基板３１上に、常法により、それぞれ平面が実質的に矩形のＲ、Ｇ、Ｂ三色のカラーフィルター４１をそれらの間に格子状の間隙が生じるように、行、列を構成するように形成する。しかる後、カラーフィルター４１を覆って基板３１の前面全体にオーバーコート層４２を形成する。当該分野で知られているように、オーバーコート層４２は、表面の平坦化とカラーフィルター４１の保護を目的とするものであって、透明樹脂で形成することができる。このオーバーコート層４２上に、第１の実施の形態で説明したように、第１電極ライン３２を形成する。いうまでもなく、各第１電極ライン３２は、図９（ｂ）に示すように、カラーフィルター４１の１つの行方向において隣り合う列の各カラーフィルター４１を覆い、かつその幅は、カラーフィルター行の幅よりも大きい。したがって、各第１電極ライン３２は、カラーフィルターの行間よりも狭い間隔をもって離間して形成される。
【００４９】
しかる後、第１の実施の形態と同様に、光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト層３３を塗布し、表露光を行って隔壁の頂部相当領域１２１を露光した後、図９（ａ）に示すように、別体のフォトマスクを使用することなく、カラーフィルター４１をフォトマスクとして利用して、隔壁の底部相当領域１３１の裏露光を行う。このとき、紫外光は、カラーフィルター４１間の格子状間隙部位を透過するので、フォトレジスト層３３における隔壁の底部相当領域１３１ばかりでなく、連結帯相当領域２１１も露光される。
【００５０】
しかる後、図１０に示すように、第１または第２の実施の形態と同様に現像を行って、隔壁１０を得る。
【００５１】
最後に、電子線照射とポストベークを行って、有機ＥＬ表示素子用基板を完成する。なお、第１の露光および裏露光は、上記とは逆の順序で行ってもよいし、同時に行ってもよい。
【００５２】
図１１は、本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法に係る第４の実施の形態を説明するための図である。第４の実施の形態では、２回の露光をいずれも表露光として行う。
【００５３】
すなわち、図１１（ａ）に示すように、第１または第２の実施の形態と同様に、基板３１上に第１電極ライン３２を形成し、その上にネガ型フォトレジスト膜３３を塗布形成し、表露光を行って隔壁の頂部相当領域１２１を露光する。しかる後、このフォトレジスト膜３３に対して、現像液による現像を途中まで行う。すなわち、図１１（ａ）に示すように、この現像は、上面から観察して隔壁のすそが、ひさしの先端から突出し、フォトレジスト膜３３は隔壁相当領域間で薄膜化されるがなお連続したままであるような状態まで、すなわち連続薄膜部３３１が残るように行う。
【００５４】
ついで、図１１（ｂ）に示すように、図１１（ａ）の構造の前面からフォトマスク５１を載置する。このフォトマスク５１は、それぞれ隔壁の底部１３（図１参照）の幅と同じ幅を有するスリット状開口５１ａを有し、光不透過部５１ｂは、連続薄膜部３３１上に位置する。好ましくは、このフォトマスク５１は、連結帯２１（図２参照）に相当する開口（図示せず）をも有する。この場合、連続薄膜部３３１の中央部の厚さは、連結帯２１の厚さになる。このフォトマスク５１を用いて基板前面から露光（矢印５２）すると、頂部相当領域１２１もマスクとして作用し得るので、隔壁のすそ先端部に相当する連続薄膜部３３１の領域３３１ａが選択的に露光されることとなる。
【００５５】
しかる後、図１１（ｂ）に示す構造を現像に供することにより、図１または図２の構造を有する隔壁１０が形成される（図１１（ｃ））。
【００５６】
図１２は、本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法に係る第５の実施の形態を説明するための図である。第５の実施の形態では、２回の露光をいずれも表露光として行う。
【００５７】
すなわち、図１２（ａ）に示すように、第１または第２の実施の形態と同様に、基板３１上に第１電極ライン３２を形成し、その上にネガ型フォトレジスト膜３３を塗布形成した後、隔壁の頂部相当領域１２１を露光する（第１の露光）。
【００５８】
ついで、図１２（ｂ）に示すように、図１２（ａ）の構造の前面からフォトマスク５３を載置する。このフォトマスク５３は、それぞれ隔壁の頂部１２（図１参照）の幅より０〜５μｍ広い間隔で開口５３ａを有し、光不透過部５３ｂは、連続薄膜部３３１上に位置する。好ましくは、このフォトマスク５３は、連結帯２１（図２参照）に相当する開孔（図示せず）をも有する。この場合、連続薄膜部３３１の中央部の厚さは、連結帯２１の厚さになる。このフォトマスクを用いて基板前面から露光する（第２の露光）。この第２の露光は、第１の露光時の３／５以下の露光量で行うことが好ましい。
【００５９】
しかる後、図１２（ｂ）に示す構造を現像に供すると、第２の露光を受けた領域は、露光量が不足しているために、第１の露光を受けた領域よりも溶解が進行するので、図１または図２の構造を有する隔壁１０が形成される（図１２（ｃ））。なお、第１の露光と、第２の露光は、その順序を逆にしてもよい。
【００６０】
図１３は、本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示素子をその製造方法とともに説明するための断面図である。
【００６１】
図１３（ａ）に示すように、図８に示す構造の有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板６０を準備する。
【００６２】
次に、図１３（ｂ）に示すように、有機ＥＬ媒体６１を少なくとも隔壁１０間に形成する。有機発光媒体は、当該分野で知られているように、蛍光物質を含む単層膜、あるいは多層膜として形成することができる。
【００６３】
多層膜構造の有機ＥＬ媒体は、正孔注入輸送層、電子輸送性発光層または正孔輸送性発光層と電子輸送層からなる２層構造や、正孔注入輸送層、発光層、電子輸送層からなる３層構造等を取ることができる。有機ＥＬ媒体は、さらにより多層で形成することも可能であり、各層を基板上に順に形成する。
【００６４】
正孔注入輸送材料は、銅フタロシアニン、テトラ（ｔ−ブチル）銅フタロシアニン等の金属フタロシアニン類および無金属フタロシアニン類、キナクリドン化合物、１，１−ビス（４−ジ−ｐ−トリルアミノフェニル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−ビス（３−メチルフェニル）−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミン、Ｎ，Ｎ’−ジ（１−ナフチル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミン等の芳香族アミン系低分子正孔注入輸送材料や、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）、ポリアニリン等の高分子正孔輸送材料、ポリチオフェンオリゴマー材料、その他の既知の正孔輸送材料の中から選ぶことができる。
【００６５】
発光材料としては、９，１０−ジアリールアントラセン、ピレン、コロネン、ペリレン、ルブレン、１，１，４，４−テトラフェニルブタジエン、トリス（８−キノリノラート）アルミニウム錯体、トリス（４−メチル−８−キノリノラート）アルミニウム錯体、ビス（８−キノリノラート）亜鉛錯体、トリス（４−メチル−５−トリフルオロメチル−８−キノリノラート）アルミニウム錯体、ビス（２−メチル−５−トリフルオロメチル−８−キノリノラート［４−（４−シアノフェニル）フェノラート］アルミニウム錯体、ビス（２−メチル−５−シアノ−８−キノリノラート）［４−（４−シアノフェニル）フェノラート］アルミニウム錯体、トリス（８−キノリノラート）スカンジウム錯体、ビス［８−（ｐ−トシル）アミノキノリン］亜鉛錯体およびカドミウム錯体、１，２，３，４−テトラフェニルシクロペンタジエン、ペンタフェニルシクロペンタジエン、ポリ−２，５−ジヘプチルオキシ−ｐ−フェニレンビニレン、クマリン系蛍光体、ペリレン系蛍光体、ピラン系蛍光体、アンスロン系蛍光体、ポリフィリン系蛍光体、キナクリドン系蛍光体、Ｎ，Ｎ’−ジアルキル置換キナクリドン系蛍光体、ナフタルイミド系蛍光体、Ｎ，Ｎ’−ジアリール置換ピロロピロール系蛍光体等を例示することができ、これらを単独、または他の低分子材料や高分子材料と混合して用いることができる。
【００６６】
有機電子輸送材料としては、２−（４−ビフィニルイル）−５−（４−ｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール、２，５−ビス（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール、および浜田らの合成したオキサジアソール誘導体（日本化学会誌、１５４０頁、１９９１年）やビス（１０−ヒドロキシベンゾ［ｈ］キノリノラート）ベリリウム錯体、特開平７−９０３６０号公報に開示されているトリアゾール化合物等を例示することができる。
【００６７】
有機ＥＬ媒体は、真空蒸着法により形成することができ、その厚さは、単層または多層のいずれの場合においても１μｍ以下であることが好ましく、より好ましくは５０ないし１５０ｎｍである。図１３（ｂ）において、有機ＥＬ媒体の蒸着ビームが矢印６１１で示されている。この蒸着は、基板３１を回転させながら行うこともできる。図１３（ｂ）では、蒸着ビーム６１１は基板３１に対してほぼ垂直方向に指向されたものとして示されている。この蒸着により、有機ＥＬ媒体６１は、隔壁１０の間および隣り合う隔壁１０の対向すそ部上にも形成されるとともに、隔壁１０の頂部上にも形成される。すなわち、有機ＥＬ媒体は、隔壁１０の存在により、蒸着と同時にパターニングもされる。
【００６８】
次に、図１３（ｃ）に示すように、少なくとも隔壁１０間に第２電極ライン６２を形成する。ここでは、第１電極ライン３２が陽極であるので、第２電極ライン６２は、陰極である。
【００６９】
陰極材料としては、電子注入効率の高い物質を用いる。具体的には、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）や、イッテルビウム（Ｙｂ）等の金属単体を用いたり、有機ＥＬ媒体と接する界面にリチウムや酸化リチウム、フッ化リチウム等の化合物を１ｎｍ程度挟んで、安定性、導電性の高いアルミニウムや銅を積層して用いる。
【００７０】
あるいは、電子注入効率と安定性を両立させるため、陰極材料として、低い仕事関数の金属（例えば、Ｌｉ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｒ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｙ、Ｙｂ等）の１種以上と、安定な金属（例えば、Ａｇ、Ａｌ、Ｃｕ等）の１種以上との合金、例えば、Ｍｇ／Ａｇ合金、Ａｌ／Ｌｉ合金、Ｃｕ／Ｌｉ等を用いることができる。
【００７１】
陰極の形成には、材料に応じて、抵抗加熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、反応性蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法を用いることができる。陰極の厚さは、１０ｎｍないし１μｍ程度が望ましい。図１３（ｃ）には、陰極材料のビーム６２１が示されている。
【００７２】
なお、陰極である第２電極ライン６２は、基板３１を回転させながら行うことが好ましい。
【００７３】
基板３１を回転させながら陰極材料ビーム６２１を基板全体に対して指向させることにより、陰極材料ビーム６２１が基板３１に対してやや傾斜した方向から基板３１上に到達するので、第２電極ライン６２は、隔壁１０の間の有機ＥＬ媒体６１を覆うとともに、各隔壁１０のすそ上にわたるまで形成され、かつ隔壁１０の頂部上の有機ＥＬ媒体６１上にも形成される。すなわち、第２電極ライン６２は、隔壁１０の存在により、被着と同時にパターニングもされる。こうして、第２電極ライン６２は、隔壁１０の間において、第１電極ライン３２から完全に隔離された状態で形成されることとなる。
【００７４】
最後に、水分や酸素による陰極や有機ＥＬ媒体の劣化を防止するために、通常の封止層６３を形成する。基板３１を回転させながら封止材料ビーム６３１を全面照射することにより、この封止層６４も被着と同時にパターニングされ、隔壁１０間で第２電極ライン６２を覆い、隔壁１０のすそに至るまで形成されるとともに、隔壁１０の頂部において、第２電極ライン６３上、および隔壁頂部、有機ＥＬ媒体６１および第２電極ライン６２の側面にも形成される。
【００７５】
【実施例】
実施例１
本実施例では、図３ないし図６に関して説明した第１の実施の態様に従い有機ＥＬ表示素子用基板を作製した。
【００７６】
まず、ガラス基板３１上にスパッタ法によりＩＴＯ層を０．１μｍの厚さに形成した。さらに透明性と導電性を向上させるために、空気中で加熱処理を行いＩＴＯを結晶化させた。
【００７７】
次に、フォトリソグラフィーおよびウエットエッチングによってＩＴＯ層をパターニングし、複数の第１電極ライン３２を形成した（図３）。各第１電極ライン３２の幅は、２７０μｍであり、その間隔は、３０μｍであった。
【００７８】
その上に、微粒子グラファイトからなる黒色材を５重量％分散させたネガ型フォトレジストを塗布してフォトレジスト膜３３を形成し、これをプリベークした。
【００７９】
そして、フォトマスク３４を用い、表から紫外線露光を行うことによって隔壁の頂部相当領域１２１を露光した（図４）。各頂部相当領域１２１の幅は、３０μｍであった。
【００８０】
次に、別のフォトマスク３６を用い、裏から紫外線露光を行うことによって隔壁の底部相当領域１３１を露光した（図５）。各底部相当領域１３１の幅は、５０μｍであった。
【００８１】
ついで、アルカリ現像液による現像によってひさしとすそを有する隔壁１０を形成した（図６）
最後に、電子線照射を行ってからポストベークして有機ＥＬ表示素子用基板を完成した。すそ幅はフォトマスク３６によって制御され、現像条件によるばらつきは解消された。
【００８２】
実施例２
本実施例では、図７ないし図８に関して説明した第２の実施の態様に従い有機ＥＬ表示素子用基板を作製した。
【００８３】
すなわち、裏露光を図７に示すフォトマスク３６１を使用して行った以外は、実施例１と同様の手法により有機ＥＬ表示素子用基板を作製した。連結帯２１の幅は、５０μｍであった。
【００８４】
実施例３
本実施例では、図９ないし図１０に関して説明した第３の実施の態様に従い有機ＥＬ表示素子用基板を作製した。
【００８５】
すなわち、まず、フォトリソグラフィーによってガラス基板上にＲＧＢ三色のカラーフィルター４１を形成した後、カラーフィルター４１の上に透明樹脂からなるオーバーコート層４２を形成した。
【００８６】
しかる後、実施例１の手法に準じて、オーバーコート層４２上に、第１電極ライン３２、およびネガ型フォトレジスト層３３を形成し、隔壁の頂部相当領域１２１を露光した。
【００８７】
ついで、別体のフォトレジストを用いることなく、カラーフィルター４１をマスクとして、基板３１の裏面から紫外光を全面照射して、隔壁の底部相当領域１３１を露光した（図９）。
【００８８】
しかる後、実施例１と同様に現像し、電子線照射およびポストベークを行って有機ＥＬ表示素子用基板を完成した（図１０）。
【００８９】
実施例４
本実施例では、図１１に関して説明した第４の実施の態様に従い有機ＥＬ表示素子用基板を作製した。
【００９０】
すなわち、実施例１の手法に準じて、基板３１上に、第１電極ライン３２、およびネガ型フォトレジスト層３３を形成し、隔壁の頂部相当領域１２１を露光した後、隔壁相当領域間に厚さ０．５μｍの連続膜３３１が残るように現像液で現像した（図１１（ａ））。
【００９１】
ついで、図１１（ａ）に示す構造の全面からフォトマスク５１を載置し、紫外光を全面照射して、すそ先端部相当領域３３１ａを露光した（図１１（ｂ））。
【００９２】
次に、図１１（ｂ）の構造を現像液による現像に供して、隔壁１０を形成した（図１１（ｃ））。
【００９３】
最後に、実施例１と同様に電子線照射およびポストベークを行って有機ＥＬ表示素子用基板を完成した。
【００９４】
実施例５
本実施例では、図１２に関して説明した第５の実施の態様に従い有機ＥＬ表示素子用基板を作製した。
【００９５】
すなわち、実施例１の手法に準じて、基板３１上に、第１電極ライン３２、およびネガ型フォトレジスト層３３を形成し、隔壁の頂部相当領域１２１を露光した（図１２（ａ））。
【００９６】
ついで、図１２（ａ）に示す構造の前面からフォトマスク５１を載置し、露光量を第１の露光時の３／５として露光した（図１２（ｂ））。
【００９７】
次に、これを現像液による現像に供して、隔壁１０を形成した（図１２（ｃ））。
【００９８】
最後に、実施例１と同様に電子線照射およびポストベークを行って有機ＥＬ表示素子用基板を完成した。
【００９９】
実施例６
本実施例では、実施例２で作製した有機ＥＬ表示素子用基板を用いて、図１３に関して説明した方法により、有機ＥＬ表示素子を作製した。
【０１００】
すなわち、実施例２で作製した有機ＥＬ表示素子用基板６０（図１３（ａ））に対して、銅フタロシアニン、Ｎ，Ｎ−ジ（１−ナフチル）−Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミンおよびトリス（８−キノリノラート）を順次真空蒸着させて有機ＥＬ媒体６１を形成した（図１３（ｂ））。３層構造の有機ＥＬ発光媒体６１の厚さは、０．１μｍであった。
【０１０１】
次いで、基板３１を回転させながら、アルミニウムを真空蒸着して第２電極ライン６２を形成した（図１３（ｃ））。第２電極ライン６２の厚さは、０．５μｍであった。
【０１０２】
最後に、酸化ゲルマニウムをイオンプレーティング法により被着して封止層６３を形成して有機ＥＬ表示素子を完成した（図１３（ｄ））。隣り合う第１電極ライン３２の対向側端縁は、連結帯により覆われているので、その部位における第１電極ライン３２と第２電極ライン６２との短絡は確実に防止できた。
【０１０３】
以上、本発明の理解を容易にするため、本発明の特徴をいくつかの実施の形態毎に説明したが、これらの特徴は、目的に応じて適宜組合わせることが可能であることは当業者に自明であろう。すなわち、本発明は、その思想の範囲において、図示の実施の形態以外の種々態様で実施することが可能である。例えば、上記各実施の形態では、第１電極ラインは陽極材料で構成され、第２電極ラインは陰極材料で構成されていたが、その逆も可能である。
【０１０４】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、有機ＥＬ表示素子用基板において、有機ＥＬ媒体／第２電極ラインを分離するためのひさしとすそを有する隔壁を形成するに当たり、隔壁のひさし幅ばかりでなく、すその幅をも正確に制御することができる。また、本発明によれば、隣り合う隔壁を連結する連結帯を隣り合う第１電極の対向側端縁を覆うように形成することにより、第１電極ラインの側端縁における第２電極ラインとの短絡を確実に防止し得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明により製造される隔壁を説明するための図。
【図２】本発明の連結帯により連結された隔壁の上面図。
【図３】本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第１の実施の形態を説明するための概略図。
【図４】本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第１の実施の形態を説明するための概略図。
【図５】本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第１の実施の形態を説明するための概略図。
【図６】本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第１の実施の形態を説明するための概略図。
【図７】本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第２の実施の形態を説明するための概略図。
【図８】本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第２の実施の形態を説明するための概略図。
【図９】本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第３の実施の形態を説明するための概略図。
【図１０】本発明の有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第３の実施の形態を説明するための概略図。
【図１１】本発明に係る有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第４の実施の形態を説明するための概略断面図。
【図１２】本発明に係る有機ＥＬ表示素子用基板の製造方法の第５の実施の形態を説明するための概略断面図。
【図１３】本発明の有機ＥＬ表示素子を製造方法とともに説明するための概略断面図。
【符号の説明】
１０…隔壁
１１…隔壁本体
１１ａ，１１ｂ…隔壁側面
１２…隔壁頂部
１３…隔壁底部
２１…連結帯
３１…基板
３２…第１電極ライン
３３…フォトレジスト膜
３４，３６，５１，５３，３６１…フォトマスク
３５、３７…露光光
４１…カラーフィルター
４２…オーバーコート層
６１…有機ＥＬ媒体
６２…第２電極ライン
６３…封止層
１２１…頂部相当領域
１３１…底部相当領域

Claims

基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと、該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁と、隣り合う第１電極の間に位置して該隔壁のすそ同士を連結する、該隔壁と一体に設けられた複数の連結帯とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、第１電極ラインを形成した基板上に、露光光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する領域に対する第１の露光と隔壁の底部および連結帯に対応する領域に対する第２の露光とを同時または相前後して行った後、未露光部を現像に供することによって隔壁と連結帯を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法。
基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、第１電極ラインを形成した基板上に、露光光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する領域に対する第１の露光を行った後、未露光部を所定の厚さまで現像し、ついで隔壁のすそ先端部に対応する領域に対する第２の露光を行った後、未露光部を現像に供して隔壁を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法。
基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、第１電極ラインを形成した基板上に、露光光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する領域に対する第１の露光を行った後、隔壁のすそ先端部に対応する領域に対して、該第１の露光と同じ露光面側から、第１の露光より少ない露光量で第２の露光を行った後、未露光部を現像に供して隔壁を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法。
第２の露光を隣り合う隔壁を連結する連結帯に相当する領域に対しても行うことを特徴とする請求項２または３に記載の製造方法。
複数のカラーフィルターを設けた基板上に互いに離間して配置された複数の第１電極ラインと該第１電極ラインと交差する方向に互いに離間して延びる複数の隔壁とを備え、該隔壁が、上部にひさし、下部にすそを有する、有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法であって、基板上に複数のカラーフィルターを互いに離間して行および列として設け、その上に互いに離間してカラーフィルターの行方向に延びる複数の第１電極ラインを形成した後、その上に露光光吸収性物質を含有するネガ型フォトレジスト膜を形成し、該ネガ型フォトレジスト膜について、隔壁のひさしを含む頂部に対応する第１領域に対する第１の露光と、基板裏面からカラーフィルターをマスクとして、カラーフィルターの列間の間隙に相当する隔壁底部に対応する第２領域およびカラーフィルターの行間の間隙に相当する第３領域に対する第２の露光とを同時または相前後して行った後、未露光部を現像に供して、第３領域に対応する連結帯で連結された隔壁を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子用基板の製造方法。