JP3927699B2

JP3927699B2 - 測定機における測定経路選定方法

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Publication number: JP3927699B2
Application number: JP24166998A
Authority: JP
Inventors: 孝野田
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1998-08-27
Filing date: 1998-08-27
Publication date: 2007-06-13
Anticipated expiration: 2018-08-27
Also published as: JP2000074661A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定機における測定経路選定方法に関する。詳しくは、プローブなどの検出子と被測定物との相対移動経路（測定経路）および測定手順を予め登録したのち、その登録した測定経路および測定手順に従って検出子と被測定物とを自動的に相対移動させながら測定を行う、いわゆる、ティーチング・プレイバック方式において、最適な測定経路を選定する測定経路選定方法に関する。
【０００２】
【背景技術】
ＣＮＣ三次元測定機において、同一物を複数測定する場合、最初に手動操作によって、プローブと被測定物とを相対移動させながら、被測定物の各測定点で測定を行い、この相対移動経路（測定経路）および測定手順を予め登録しておき、２個目からは予め登録しておいた測定経路および測定手順に基づいて、自動的にプローブと被測定物とを相対移動させながら測定を行う、いわゆる、ティーチング・プレイバック方式が採用される。
【０００３】
従来、このティーチング・プレイバック方式において、測定経路を設定するには、作業者の経験や熟練などに依存することが多く、また、具体的作業に際しては、面、穴、軸などといった測定要素毎に測定経路を連結して作成していた。つまり、ティーチング・プレイバック方式の基本的な考え方として、ジョイスティック操作などにより、測定対象毎に順番に測定し、かつ、その測定手順を登録（ティーチング）し、同一物を複数測定する場合に、その測定手順に沿ってリピート（プレイバック）測定を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来の測定経路作成方法では、測定経路を設定するには、作業者の経験や熟練などに依存することが多いうえ、測定要素毎に測定経路を連結して作成していたため、測定時間の短縮の観点からは、無駄な測定経路が含まれていた。
つまり、ティーチングのしやすさ、測定結果の印字順番などの制約から、測定の順番は測定要素に依存しており、測定時間の短縮化が考慮されない測定経路となっていた。
また、従来は、各測定要素の演算処理に必要な測定点の入力が全部完了した後に、次の処理を実行することが基本であった。
【０００５】
本発明の目的は、このような従来の欠点を解消し、誰でもが簡単に最適な測定経路を選定することができ、測定時間の短縮化に寄与できる測定機における測定経路選定方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
そのため、本発明の測定機における測定経路選定方法は、検出子と被測定物とを予め選定した測定経路に沿って相対移動させながら、被測定物における各測定要素の形状に関する数値情報を演算するために必要な各測定点で座標測定を行う測定機における測定経路選定方法において、前記検出子と被測定物とを相対移動させながら、被測定物の各測定点で座標測定を行い、かつ、その相対移動経路に基づく測定点における測定手順情報を作成、記憶したのち、これらの測定点を含む測定領域を格子状に複数の区画に分割し、前記各区画の直交する辺を列および行の幅として前記測定領域内を列分割および行分割し、前記列分割の各分割区画を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第１の測定経路候補を想定し、前記行分割の各分割区画を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第２の測定経路候補を想定し、この第１および第２の測定経路候補に対してシミュレーション時間分析を行い、測定時間が小さい方を前記測定領域内の測定経路として選定し、当該測定経路に沿った測定において前記各測定要素の形状に関する数値情報の演算に必要な各測定点の座標測定が完了した際に当該測定要素の形状に関する数値情報を演算する、ことを特徴とすることを特徴とする。
【０００７】
このような構成によれば、測定者が、検出子と被測定物とを相対移動させながら、被測定物の各測定点で測定を行い、かつ、その相対移動経路に基づく測定点における測定手順情報を作成、記憶すれば、以後の測定時において、まず、全ての測定点を含む測定領域内が複数の区画に分割される。
次に、この複数の分割区画を予め定めた順番で結ぶ複数種の順路に従った順番で、前記測定点が順次連結されて複数の測定経路候補が想定されたのち、この複数種の測定経路候補に対してシミュレーション時間分析が行われ、測定時間が最も短い測定経路候補が測定領域内の測定経路として選定される。従って、誰でもが簡単に最適な測定経路を選定することができ、つまり、無駄のない測定経路を選定することができるから、測定時間を短縮することができる。
【０００８】
ここで、検出子としては、被測定物との接触によってタッチ信号を発するタッチ信号プローブのような接触式検出子に限らず、被測定物の像を撮像するカメラなどの非接触式検出子などでもよい。
【０００９】
また、各区画の直交する辺を列および行の幅として前記測定領域内を列分割および行分割し、前記列分割の各分割区画を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第１の測定経路候補を想定し、前記行分割の各分割区画を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第２の測定経路候補を想定し、この第１および第２の測定経路候補に対してシミュレーション時間分析を行い、測定時間が小さい方を前記測定領域内の測定経路として選定するようにしたので、比較的短時間で最適な測定経路を選定することができる。
【００１０】
また、前記各分割区画内においても、最適な測定経路を選定するようにするのが望ましい。
これには、前記列分割および行分割と同じ方向に沿って前記各分割区画内を列分割および行分割し、前記列分割の各列分割部分を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第１の区画内測定経路候補を想定し、前記行分割の各行分割部分を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第２の区画内測定経路候補を想定し、この第１および第２の区画内測定経路候補に対してシミュレーション時間分析を行い、測定時間が小さい方を前記各区画内の測定経路として選定するようにすればよい。
このようにすれば、各分割区画内においても、最適な測定経路を選定することができるので、更なる測定時間の短縮が期待できる。
【００１１】
また、以上の測定経路選定方法において、前記各分割区画毎に、被測定物と干渉しないための測定経路を作成することが望ましい。
これによれば、被測定物との干渉が回避されるため、検出子や被測定物の破損を未然に回避できる。
また、測定時において、残りの測定時間および測定完了比率の少なくとも一方を表示することが望ましい。
これによれば、作業者に作業状況を知らせることができるから、使い勝手の向上に寄与できる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の測定経路選定方法を適用した測定システムの全体構成を示す斜視図である。本実施形態の測定システムは、接触時にタッチ信号を発するプローブ１と被測定物２とを三次元方向へ相対移動させる移動機構としてのＣＮＣ三次元測定機Ａと、操作盤Ｂと、前記三次元測定機Ａの駆動を制御するとともに三次元測定機Ａから与えられるプローブ１と被測定物２との相対移動データなどを取り込むコントローラＣと、このコントローラＣを介して三次元測定機Ａを動作させるとともに三次元測定機Ａからのプローブ１と被測定物２との相対移動データなどを処理して被測定物２の寸法や形状などを求めるホストシステムＤとから構成されている。
【００１３】
前記三次元測定機Ａは、ベース２１と、このベース２１上に設置され上面に被測定物２を載置するテーブル２２と、このテーブル２２に前後方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に設けられた門形フレーム２３と、この門形フレーム２３のＸビーム２３Ａに沿って左右方向（Ｘ軸方向）へ移動可能に設けられたスライダ２４と、このスライダ２４に上下方向（Ｚ軸方向）へ昇降可能に設けられかつ下端に前記プローブ１を有するＺ軸スピンドル２５とから構成されている。また、図２に示すように、三次元測定機Ａには、門形フレーム２３をＹ軸方向へ、スライダ２４をＸ軸方向へ、Ｚ軸スピンドル２５をＺ軸方向へそれぞれ移動させるＸＹＺ軸モータ２６と、これら各軸方向における移動位置に対応する信号を出力するＸＹＺ軸エンコーダ２７とがそれぞれ設けられている。
【００１４】
前記操作盤Ｂには、図２に示すように、三次元測定機Ａのプローブ１をＸＹＺ軸方向へ手動操作により駆動するためのジョイスティック１１と、プローブ１の現在座標値をコントローラＣに入力するための座標値入力スイッチ１２とがそれぞれ設けられている。
【００１５】
前記コントローラＣは、図２に示すように、プローブ１の駆動制御や計数値の取り込み制御などを行うＣＰＵ３１を備える。ＣＰＵ３１には、三次元測定機ＡのＸＹＺ軸モータ２６を駆動するためのＸＹＺ軸駆動制御部３２と、三次元測定機ＡのＸＹＺ軸エンコーダ２７からの各軸に対応した信号をカウントしＣＰＵ３１にフィードバックするためのＸＹＺ軸カウンタ３３と、操作盤Ｂのジョイスティック１１の傾斜方向および傾斜角に応じて出力される各軸に対応するポテンショメータの電圧値に応じてプローブ１の移動方向、速度を決定する移動方向速度決定部３４とがそれぞれ接続されている。
【００１６】
前記ホストシステムＤは、図２に示すように、測定プログラムやデータ処理プログラムなどを実行するホストコンピュータ４４を備える。ホストコンピュータ４４には、入力手段としてのキーボード４５、表示装置としてのモニタ４６およびプリンタ４７などが接続されているとともに、前記コントローラＣのＣＰＵ３１が接続されている。
【００１７】
次に、本実施形態における作用を、図３〜図１１を参照しながら説明する。
三次元測定機Ａのテーブル２２上に被測定物２をセットしたのち、ホストコンピュータ４４のティーチング機能により、ジョイスティック１１を使用してコントローラＣにより三次元測定機Ａを駆動し、まず、従来と同様にして、測定経路に基づく被測定物２の測定手順を作成し、それをホストコンピュータ４４に登録する。
【００１８】
ホストコンピュータ４４では、リピート測定時に、被測定物の図面情報と登録済の測定手順より、測定時間を極力短縮する測定経路と測定手順を選定し、それをコントローラＣへ指令して測定を行う。この場合、まず、パートプログラムの先頭から最初の座標系構築コマンドまでを読み込み、その測定経路の最適化（処理Ａ）を図３の手順で行い、測定を開始する。
【００１９】
同時に、図４に示す処理Ｂ（測定要素演算と印字処理）および図５に示す処理Ｃを行う。従って、これらが同時処理されるから、測定時間の更なる短縮が期待できる。
処理Ｃでは、次の座標系構築コマンドまでを先読みし先行処理し、前の座標系構築のためのデータが入力（測定またはファイル）されたときに、測定経路の数値データを瞬時に置き換えて測定を継続する。これは、実際の被測定物は図面情報と異なるため、実際の被測定物を測定しなければ、被測定物と干渉しない適切な測定経路の導出が不可能なためである。以後、同様な処理を繰り返す。
また、リピート測定時には、残りの測定時間と測定完了比率（％）がモニタ４６に表示される。従って、使い勝手を向上させることができる。
【００２０】
そこで、上記処理Ａ、処理Ｂおよび処理Ｃについて、詳細に説明する。
［処理Ａ］
（Ｓ１）座標系毎の測定経路の最適化
従来の考え方の旧測定経路を、パートプログラム中で構築するワーク座標系毎に分割して考える。
まず、パートプログラム先頭から最初の座標系構築コマンドまでを読み込み（パートプログラム先頭では、マシン座標系とワーク座標系は同一）、次の（Ｓ２）〜（Ｓ８）の手順で測定経路の最適化を行い、測定を開始する。
【００２１】
（Ｓ２）仮座標系の設定
被測定物の図面情報より、（Ｓ１）の座標系毎の全測定点が第１象限内に収まるように、仮の座標系ＸＹを設定する。たとえば、図６のように、全測定点が第１象限内に収まるように、仮の座標系ＸＹ（測定領域ＭＥ）を設定する。
【００２２】
（Ｓ３）区画分割
（Ｓ２）で設定したＸＹ座標系の測定領域ＭＥを等間隔の正方形の区画に分割する。たとえば、図７に示すように、測定領域ＭＥをＸ軸方向へ５つに、Ｙ軸方向へ４つに分割し、合計２０個の正方形の区画Ｃ₁₁〜Ｃ₅₄に分割する。
このとき、測定点が区画Ｃ₁₁〜Ｃ₅₄の線上に位置した場合は、Ｘ軸の左（−）側、または、Ｙ軸の下（−）側の区画に含める。Ｘ軸の右側とＹ軸の上側の上限は、測定点がその区画内に存在するところまでとする。
また、正方形の大きさについては、全体の長方形（正方形の場合も含む）の面積をＳとしたとき、Ｓに３段階（Ｓ１＜Ｓ２＜Ｓ３）のレベルを設けて、Ｓ１では一辺を５ｍｍ，１０ｍｍのいずれか、Ｓ２では一辺を５ｍｍ，１０ｍｍ，２０ｍｍの中のいずれか、Ｓ３では一辺を５ｍｍ，１０ｍｍ，２０ｍｍ，４０ｍｍの中のいずれかを選択できるようにしておく。
【００２３】
（Ｓ４）各区画における測定経路の導出
各区画Ｃ₁₁〜Ｃ₅₄毎に、被測定物２と移動経路が干渉しないための逃げ高さを設定する。被測定物２の図面情報および旧測定経路と逃げ高さより、被測定物２と干渉しないための測定経路を各区画Ｃ₁₁〜Ｃ₅₄毎に作成する。
これには、区画毎に仮座標系を設定して、たとえば、基準となる面がＸＹで、測定対象に軸などの突起物がある場合（図８参照）、Ｚ軸方向へ突起物の最大高さＺ１以上の高さＺ１＋α（ただし、α＝１〜２ｍｍ程度）に一度逃げてから、ＸＹと平行面内で次の測定点のＺ方向上部（高さがＺ１＋α）に移動し、その点から測定点手前の経過点Ｐｘに移動したのち、測定を行うような測定経路を作成する。これにより、被測定物２とプローブ１とが干渉しない測定経路を作成することができる。
なお、図面情報から測定対象が穴のみのときの逃げ高さはαである。
【００２４】
各区画Ｃ₁₁〜Ｃ₅₄内については、図９（Ａ）に示すように、区画をＸ軸方向に所定幅（たとえば、１ｍｍ）毎の長方形列分割部分Ｘ₁〜Ｘ₅に分割し、これらの列分割部分Ｘ₁〜Ｘ₅を交互に逆方向へ向かう順路、たとえば、Ｘ軸の最左列の列分割部分Ｘ₁を１として、奇数列部分は下から上へ、偶数列部分は上から下へ向かう順路Ｒｘに従った順番で測定点を順次連結して第１の区画内測定経路候補を想定する。
【００２５】
また、図９（Ｂ）に示すように、区画をＹ軸方向に所定幅（たとえば、１ｍｍ）毎の長方形行分割部分Ｙ₁〜Ｙ₅に分割し、これらの行分割部分Ｙ₁〜Ｙ₅を交互に逆方向へ向かう順路、たとえば、Ｙ軸の最下行の行分割部分Ｙ₁を１として、奇数行部分は左から右は、偶数行部分は右から左へ向かう順路Ｒｙに従った順番で測定点を順次連結して第２の区画内測定経路候補を想定する。
【００２６】
ここで、列分割の順路Ｒｘと行分割の順路Ｒｙによる第１、第２の区画内測定経路候補に対して、シミュレーション時間分析を行い、測定時間が小さい方を各区画内の測定経路とする。たとえば、図９（Ｃ）に示すように、列分割の順路Ｒｘに従った順番で測定点Ｐａ，Ｐｃ，Ｐｂを順次連結して得られた第１の区画内測定経路候補（Ｐｏ，Ｐａ，Ｐｃ，Ｐｂ）と、行分割の順路Ｒｙに従った順番で測定点Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐａを順次連結して得られた第２の区画内測定経路候補（Ｐｏ，Ｐｂ，Ｐｃ，Ｐａ）とに対して、シミュレーション時間分析を行い、測定時間が小さい方を各区画内の測定経路とする。
【００２７】
ちなみに、シミュレーション時間分析については、既に提案されている手法を用いることができるが、たとえば、次の手順によって行うことができる。これは、１）測定パートプログラムの作成、２）シミュレーション時間分析、からなる。シミュレーション時間分析は次の通りである。
▲１▼シミュレーションソフトの起動
・上記１）の測定パートプログラムを指定する。
▲２▼移動および測定関連のパラメータ指定
・移動速度、移動加減速度、移動加減速パターンを指定する。
・測定速度、測定加速度、測定加速パターンを指定する。
▲３▼移動および測定コマンドの時間分析
・▲２▼のパラメータを使用して、コントローラにおける実際の移動および測定
指令時間を累積演算して、シミュレーション時間分析を行う。
▲４▼演算処理コマンドの時間分析
・移動や測定コマンドをコントローラが実行中に、ホストコンピュータで併行処理可能な演算処理コマンドは無視する。
・座標系構築コマンド、特殊演算（円錐、円筒など）コマンドなどで、移動や測定コマンドと併行処理ができないコマンドの時間分析を行う。
▲５▼その他のコマンドの時間分析
・測定子交換、プローブヘッド回転などで、移動や測定と併行処理不可能なコマンドの時間分析を行う。
・プリンタやプロッタ出力、外部通信などで、移動や測定と併行処理不可能なコマンドの時間分析を行う。
▲６▼最後に、▲３▼〜▲５▼の合計時間を算出表示する。
【００２８】
（Ｓ５）測定点へのＩＤ番号付け
上記（Ｓ４）において、各測定点Ｐａ〜ＰｃへＩＤ番号付けを行う。
【００２９】
（Ｓ６）区画間の経路の連結
次に、（Ｓ４）の区画に対して、上記（Ｓ２）の第１象限内で、各区画幅を列と行の幅として、（Ｓ４）と同様に列分割および行分割し、列分割の順路と行分割の順路による第１、第２の測定経路候補を想定する。たとえば、図１０（Ａ）に示すように、列分割の各分割区画を交互に逆方向へ向かう順路にＲ₁に従った順番で前記測定点を順次連結して第１の測定経路候補を想定するとともに、前記行分割の各分割区画を交互に逆方向へ向かう順路Ｒ₂に従った順番で前記測定点を順次連結して第２の測定経路候補を想定する。
【００３０】
ここで、この第１、第２の測定経路候補に対して、シミュレーション時間分析を行い、測定時間が小さい方を各区画内の測定経路とする。たとえば、図１０（Ｂ）に示すように、列分割の順路Ｒ₁に従った順番で測定点Ｐ₁，Ｐ₂，Ｐ₃，Ｐ₄，Ｐ₅，Ｐ₆，Ｐ₇を順次連結して得られた第１の測定経路候補（Ｐ₀→Ｐ₁→Ｐ₂→Ｐ₃→Ｐ₄→Ｐ₅→Ｐ₆→Ｐ₇）と、行分割の順路Ｒ₂に従った順番で測定点Ｐ₂，Ｐ₅，Ｐ₃，Ｐ₆，Ｐ₇，Ｐ₄，Ｐ₁を順次連結して得られた第２の測定経路候補（Ｐ₀→Ｐ₂→Ｐ₅→Ｐ₃→Ｐ₆→Ｐ₇→Ｐ₄→Ｐ₁）に対して、シミュレーション時間分析を行い、測定時間が小さい方を各区画内の測定経路とする。
【００３１】
（Ｓ７）区画間の逃げ高さの選定
区間間を連結する場合には、図面情報より被測定物と干渉しない測定面上方の逃げ高さ位置を経過点とするように調整する。
ちなみに、区画間の逃げ高さに関しては、区画内を区間間に拡張して、Ｓ４と同様な処理を行うことで対応できる。つまり、区画にまたがる場合は、両方の区画に共通の仮座標系で、突起物の最大高さＺ２以上の高さ（Ｚ２＋α）以上に逃げるようにすればよい。
【００３２】
（Ｓ８）最適化経路による測定コマンド指令
【００３３】
［処理Ｂ］
（Ｓ９）測定要素演算と印字処理
パートプログラム中の各演算、印字処理をタスク登録しておき、必要な測定点の入力が完了した瞬間に、演算と印字処理を実行する。
たとえば、図１１に示すような場合を考えてみる。同図において、円Ｑ₁は点Ｑ₁₁，Ｑ₁₂，Ｑ₁₃が入力されれば演算可能であり、円Ｑ₂は点Ｑ₂₁，Ｑ₂₂，Ｑ₂₃が入力されれば演算可能、円Ｑ₃は点Ｑ₃₁，Ｑ₃₂，Ｑ₃₃が入力されれば演算可能である。
【００３４】
このとき、最短の測定経路がＰ₀→Ｐ₁₁（Ｑ₁₁）→Ｐ₁₂（Ｑ₁₂）→Ｐ₁₃（Ｑ₂₁）→Ｐ₁₄（Ｑ₂₂）→Ｐ₁₅（Ｑ₃₁）→Ｐ₁₆（Ｑ₃₂）→Ｐ₁₇（Ｑ₃₃）→Ｐ₁₈（Ｑ₂₃）→Ｐ₁₉（Ｑ₁₃）であれば、円Ｑ₁はＰ₁₉（Ｑ₁₃）が測定された時点で、円Ｑ₂はＰ₁₈（Ｑ₂₃）が測定された時点で初めて演算が可能になる。
Ｓ９では、Ｑ₁₁測定時に円Ｑ₁の演算および印字処理を登録し、また、Ｑ₂₁測定時に円Ｑ₂の演算および印字処理を登録し、Ｐ₁₈（Ｑ₂₃）入力時に円Ｑ₂の演算および印字処理を、Ｐ₁₉（Ｑ₁₃）入力時に円Ｑ₁の演算および印字処理を行う。
この場合の印字内容例としては、円の中心位置および直径などがある。もし、印字順番が問題となる場合は、該当要素前の印字が全て終了するまで、Ｓ９で印字待ちを行う。
【００３５】
［処理Ｃ］
（Ｓ１０）次の座標系構築コマンドまでの先行処理
（Ｓ１）で測定を開始した直後に、パートプログラムの次の座標系構築コマンドまでを先読みし、図面情報の数値データを使用して、（Ｓ２）〜（Ｓ７）の処理を先行処理する。現在実行中の測定で座標系構築に必要なデータが入力されたときに、測定経路の数値データを瞬時に置き換えて、測定を継続する。
【００３６】
（Ｓ１１）残りの測定時間と測定完了比率表示
同時に、パートプログラムの残りの測定時間（時分秒）と測定完了比率（％）の表示を行う。
これは、最短測定経路を求める場合のシミュレーション時間分析時に、パートプログラムの各要素に対して、残りの測定時間と測定完了比率を求め、パートプログラムの付属情報として登録しておき、パートプログラム実行時に、それらを表示する。
【００３７】
（Ｓ１２）処理Ａ，Ｂ，Ｃの終了
以降、パートプログラム終了まで繰り返す。
【００３８】
なお、上記実施形態では、検出子として、接触時にタッチ信号を発するプローブを用いたが、被測定物の画像を撮影するカメラなどの非接触式検出子でもよい。
また、上記実施形態では、被測定物Ｗに対してプローブＰがＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動する構造の三次元測定機Ａを用いたが、これとは逆に、プローブＰに対して被測定物ＷがＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動する構造の三次元測定機でもよい。要するに、プローブＰと被測定物Ｗとが三次元（あるいは、二次元）方向へ相対移動可能な移動機構であれば、何れでもよい。
【００３９】
【発明の効果】
本発明の測定機における測定経路選定方法によれば、誰でもが簡単にかつ迅速に最適な測定経路を選定することができ、測定時間の短縮化に寄与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法を適用した測定システムを示す全体の斜視図である。
【図２】同上実施形態における三次元測定機、操作盤、コントローラおよびホストシステムのブロック図である。
【図３】同上実施形態において、処理Ａ（座標系毎の測定経路の最適化方法）を実行するフローチャートである。
【図４】同上実施形態において、処理Ｂ（測定要素演算と印字処理）を実行するフローチャートである。
【図５】同上実施形態において、処理Ｃ（残りの測定時間と測定完了比率表示）を実行するフローチャートである。
【図６】同上実施形態において、仮座標系の設定を示す図である。
【図７】同上実施形態において、上記仮座標系の区画分割を説明する図である。
【図８】同上実施形態において、逃げ高さを設定する場合を説明するための図である。
【図９】同上実施形態において、各区画内の列、行分割部分を結ぶ順路および区間内測定経路候補を選定する方法を説明する図である。
【図１０】同上実施形態において、区画間を結ぶ順路および測定経路候補を説明する図である。
【図１１】同上実施形態において、測定経路と演算処理および印字処理を説明するための図である。
【符号の説明】
１プローブ（検出子）
２被測定物
ＭＥ測定領域
Ｃ₁₁〜Ｃ₅₄ 分割区画
Ｘ₁〜Ｘ₅列分割部分
Ｙ₁〜Ｙ₅行分割部分
Ｒｘ，Ｒｙ，Ｒ₁，Ｒ₂順路
Ｐａ，Ｐｂ，Ｐｃ測定点
Ｐ₁〜Ｐ₇，Ｐ₁₁〜Ｐ₁₉ 測定点

Claims

検出子と被測定物とを予め選定した測定経路に沿って相対移動させながら、被測定物における各測定要素の形状に関する数値情報を演算するために必要な各測定点で座標測定を行う測定機における測定経路選定方法において、
前記検出子と被測定物とを相対移動させながら、被測定物の各測定点で座標測定を行い、かつ、その相対移動経路に基づく測定点における測定手順情報を作成、記憶したのち、
これらの測定点を含む測定領域を格子状に複数の区画に分割し、
前記各区画の直交する辺を列および行の幅として前記測定領域内を列分割および行分割し、
前記列分割の各分割区画を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第１の測定経路候補を想定し、
前記行分割の各分割区画を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第２の測定経路候補を想定し、
この第１および第２の測定経路候補に対してシミュレーション時間分析を行い、測定時間が小さい方を前記測定領域内の測定経路として選定し、
当該測定経路に沿った測定において前記各測定要素の形状に関する数値情報の演算に必要な各測定点の座標測定が完了した際に当該測定要素の形状に関する数値情報を演算する、
ことを特徴とする測定機における測定経路選定方法。
請求項１に記載の測定機における測定経路選定方法において、
前記列分割および行分割と同じ方向に沿って前記各分割区画内を列分割および行分割し、
前記列分割の各列分割部分を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第１の区画内測定経路候補を想定し、
前記行分割の各行分割部分を交互に逆方向へ向かう順路に従った順番で前記測定点を順次連結して第２の区画内測定経路候補を想定し、
この第１および第２の区画内測定経路候補に対してシミュレーション時間分析を行い、測定時間が小さい方を前記各区画内の測定経路として選定する、
ことを特徴とする測定機における測定経路選定方法。
請求項１または請求項２に記載の測定機における測定経路選定方法において、
前記各分割区画毎に、被測定物と干渉しないための測定経路を作成することを特徴とする測定機における測定経路選定方法。
請求項１〜請求項３のいずれかに記載の測定機における測定経路選定方法において、
測定時において、残りの測定時間および測定完了比率の少なくとも一方を表示することを特徴とする測定機における測定経路選定方法。