JP3927565B2 - 磁気コアを有するオンチップ・インダクタ - Google Patents
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Description
12 内部層
14 外部層
16 インダクタ金属巻線ターン
18 磁気コア
20 間隙
22 表面
26 中心部材
28 インダクタ金属巻線ターン
32 磁性ストリップ
30 第1部分
34 第2部分
36 磁性ストリップ
38 インダクタ金属巻線ターン
39 ストリップ
40 第1チャンバ
42 第2チャンバ
44 酸素環境
46 チャンバ壁
48 電気ヒータ
50 金属要素
52 開口
53 チャンバ壁
54 電気ヒータ
56 金属要素
60 開口
62 エッチング開口
70 オンチップ・インダクタ構造
72 内部層
74 外部層
76 インダクタ金属巻線ターン
78 軟磁性磁気コア
79 硬磁性磁気コア
80 オンチップ・インダクタ構造
82 内部層
84 外部層
86 インダクタ金属巻線ターン
88 軟磁性磁気コア
90 制御巻線
92 コア
94 軟磁性磁気コア
Claims (10)
- 集積回路チップ上に形成されるインダクタであって、
各層が第1部分および第2部分を含む2つの外部層と、
前記2つの外部層の間にある内部層と、
前記内部層に含まれるインダクタ金属巻線ターンと、
前記2つの外部層の前記第1および第2部分のそれぞれの上、ならびに前記内部層の上に配設された磁性金属ストリップ配列と
を備えており、前記各層の前記第1部分および前記第2部分上の前記磁性金属ストリップ配列は、互いに格子パターンを形成するように構成されている、インダクタ。 - 前記格子パターンは直交格子パターンである、請求項1に記載のインダクタ。
- 前記内部層の上の前記磁性金属ストリップ配列は実質的に前記インダクタ金属巻線ターンを囲む、請求項1に記載のインダクタ。
- 前記2つの外部層の各層と前記内部層との間に間隙をさらに有する、請求項1に記載のインダクタ。
- 前記内部層は、前記インダクタ金属巻線ターンの片側に隣接する制御巻線をさらに含む、請求項1に記載のインダクタ。
- 前記制御巻線は、軟磁性部材のみを含むコアまたは軟磁性部材と硬磁性部材を含むコアの周囲に配設される、請求項5に記載のインダクタ。
- 第1の磁性金属ストリップ配列が配設される第1の外部層と、
第2の磁性金属ストリップ配列が配設される第1の中間層であって、前記第1の磁性金属ストリップ配列と前記第2磁性金属ストリップ配列は互いに格子パターンを構成する、第1の中間層と、
金属巻線ターンと第3磁性金属ストリップ配列が配設された内部層と、
第4磁性金属ストリップ配列が配設される第2の中間層と、
第5磁性金属ストリップ配列が配設される第2の外部層であって、前記第5磁性金属ストリップ配列と前記第4磁性金属ストリップ配列は互いに格子パターンを構成する、第2の外部層と、
を集積回路チップ上に順番に積層して形成されるインダクタ。 - 前記第1磁性金属ストリップ配列と前記第2磁性金属ストリップ配列とは互いに直交格子パターンを構成し、前記第4磁性金属ストリップ配列と前記第5磁性金属ストリップ配列とは互いに直交格子パターンを構成する、請求項7に記載のインダクタ。
- 前記第1の中間層と前記内部層の間に第1の間隙と、前記第2の中間層と前記内部層の間の第2の間隙と、をさらに備える、請求項7に記載のインダクタ。
- 前記内部層は複数の層からなる、請求項7に記載のインダクタ。
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