JP3924771B2

JP3924771B2 - Cover for dicing machine

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Publication number: JP3924771B2
Application number: JP2001340343A
Authority: JP
Inventors: 倫明蛭田; 康之酒谷; 一也福岡; 貴行浅野
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2001-11-06
Filing date: 2001-11-06
Publication date: 2007-06-06
Anticipated expiration: 2021-11-06
Also published as: JP2003135985A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はダイシング装置に係り、特に半導体ウェーハ（ワーク）を碁盤目状に切断するダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ダイシング装置は、回転刃（ブレード）を高速回転させて半導体ウェーハをダイス状に切断する装置である。前記ブレードは、フランジカバー（カバー）によって切断部以外の部分が覆われており、また、前記フランジカバーには一対のノズルが設けられ、これらのノズルからワーク切断中のブレードの両面に向けて切削水を噴射する。
【０００３】
ブレードは使用を繰り返していると切断面が摩耗して切断性能が落ちてくるので、ブレードの切断性能を改善するために定期的にドレスという目立てを行なっている。通常、ドレスはブレードを回転させた状態でドレスボードに擦らせることによって行なう。
【０００４】
従来は、ドレスを行うためには、ワークを一旦カッティングテーブルから外し、当該カッティングテーブルにドレスボードをセットして行っており、切削工程中にはドレスを行うことはできなかった。また、切削工程中にドレスを行うために、ドレスボード用のテーブルをカッティングテーブルの近くに設置したりカッティングテーブルの端部付近に設置したりしたものもあるが、いずれもワークの切削作業を中断してブレードをドレスボードのある位置までＸ軸方向及び／又はＹ軸方向に移動させなくてはならなかった。しかし、この移動を行うとカッティングラインを一旦はずすため、スピンドル位置が変わったり、カッティングテーブル位置が変わったりするので、再び切削を開始するにはＸ軸方向、Ｙ軸方向へのスピンドル位置の位置決めやカッティングテーブル位置の位置決めをやりなおす必要があり、作業的にも時間的にも大きなロスがあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記の事情を考慮し、切削工程中に、かつスピンドルやカッティングテーブルをＸ軸方向、Ｙ軸方向にあらためて位置決めすることを要しないでブレードのドレスを行うことができるダイシング装置用カバーを提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
請求項１の本発明は、先端にワークを加工する回転刃を備えたスピンドルを有し、前記回転刃を高速回転させてワークを所定の形状に加工するダイシング装置の前記回転刃を覆うカバーにおいて、前記カバーにはドレス部材と当該ドレス部材を支持する支持部材とを備えたドレス手段が当該カバーに対して前記回転刃の回転軸と平行な軸で枢動するように取り付けられ、前記ドレス部材は前記回転刃に接離する方向に移動可能になっていて、切削時には前記回転刃とともに前記カバーを下降した位置にして前記支持部材を固定部材から離すことにより前記ドレス部材を前記回転刃から離れた位置にして前記ワークの加工を行い、ドレス時には前記回転刃とともに前記カバーをＺ軸に沿って上昇させて前記支持部材を前記固定部材に当接させることにより前記ドレス部材を前記回転刃の略接線付近に位置させて前記回転刃をドレスすることを特徴としている。
【０００７】
請求項１記載の本発明によれば、ドレス手段が当該カバーに対して前記回転刃の回転軸と平行な軸で枢動するように取り付けられているので、前記ドレス部材は前記回転刃に接離する方向に移動可能になっていて、ドレス時には前記回転刃の略接線付近に位置して前記回転刃をドレスし、非ドレス時には前記回転刃から離れるようになっている。このため、切削作業のときに、回転刃の位置をＺ軸方向へずらすだけで、ドレス作業のためにあらためてＸ軸方向やＹ軸方向へ変えることをしないでドレスを行うことができる。
【０００８】
請求項２記載の本発明によれば、前記ドレス部材が円柱形をしており、前記支持部材に対して当該円柱形の軸心を回転軸としてΘ回転可能であるので、当該回転によってドレスの位置を変えることができ、ドレス部材の摩耗していない部分で回転刃をドレスすることができる。
【０００９】
請求項３記載の本発明によれば、前記ドレス部材は板状体からなり、前記回転刃の回転軸と平行な軸方向に移動可能であるので、当該軸方向への移動によってドレスの位置を変えることができ、ドレス部材の摩耗していない部分で回転刃をドレスすることができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に従って本発明の実施の形態に係るダイシング装置について詳説する。
【００１１】
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るダイシング装置１０の正面図である。
【００１２】
図１に示すダイシング装置１０は、図１で示すＸ方向に切削送りされるカッティングテーブル１２を有し、該カッティングテーブル１２上に接着シート１４を介して吸着されたワーク８をアライメントし、その後、高速回転するブレード１６でワーク８をダイス状に切断する装置である。そして、ワーク８の切断時には、ワーク８の加工精度を維持するために、一対の冷却水噴射ノズル３４、３４及び切削水噴射ノズル３２からワーク切断中のブレード１６の両面に向けて冷却水、切削水を吹き付けてブレード１６の冷却、洗浄を実施している。
【００１３】
図３に示すようにブレード１６の駆動モータ５４は、そのスピンドル５０の表面が先細のテーパ状に形成され、このスピンドル５０のテーパ面２６Ａにフランジ５８の内周テーパ面２８Ａが嵌入されてフランジ５８が取り付けられている。また、前記フランジ５８は、スピンドル５０に螺合されたフランジ固定用ナット７０を締め込むことによってスピンドル５０に固定されている。フランジ５８の外周部には、ドーナツ形に形成されたハブ６２が嵌入されており、このハブ６２の外周部に前記ブレード１６が固着され、ブレード１６はフランジ５８の支持面５８Ｂに当接されている。前記ハブ６２は、フランジ５８に螺合されたハブ固定用ナット６４を締め込むことによってフランジ５８に固定され、これによって、前記ブレード１６がハブ６２とフランジ５８の支持面５８Ｂとの間で挟持されて固定されている。
【００１４】
ブレード１６の駆動モータ５４は、図４に示すように、Ｚテーブル６６に吊り下げ状態で保持されている。Ｚテーブル６６は、Ｙテーブル５６に設けられたＺガイド６８、６８にガイドされ、図示しないボールスクリューとステッピングモータとによってＺ方向に駆動される。したがって、Ｚテーブル６６に取り付けられた駆動モータ５４もＺ方向に移動する。またＹテーブル５６はＹベース６１に設けられたＹガイド６０、６０にガイドされ、やはり図示しないボールスクリューとステッピングモータとによってＹ方向に駆動される。このような構成により、スピンドル５０の先端に取り付けられたブレード１６は、Ｚ方向に切込み送りされると共にＹ方向にインデックス送りされる。
【００１５】
ところで、前記ブレード１６は図１に示すように、フランジカバー１８によって切断部及びドレス部を除く部分が覆われている。フランジカバー１８は、駆動モータ５４等の固定部材に固定されている。したがって、駆動モータ５４がＺ方向に移動すると、フランジカバー１８も上下動する。スピンドル５０にはブレード１６に切削水を供給する切削水噴射ノズル３２と冷却水を供給する一対のＬ字状の冷却水噴射ノズル３４、３４が取付けブロック６５を介して設けられている。
【００１６】
また、フランジカバー１８には、ブレード１６の破損を検出する破損検出器２０が取り付けられている。
【００１７】
フランジカバー１８の頂部には取付けブロック６５側に板状の蝶番２４が取り付けられている。蝶番２４は回動部６３を介してフランジカバー１８に対して弧を描くように略上下方向に枢動するようになっている。蝶番２４の下部には直方体状の支持部材３６が取り付けられている。支持部材３６とフランジカバー１８との間にはスプリング２２が配設されていて、スプリング２２が支持部材３６をフランジカバー１８から離れる方向に付勢している。支持部材３６の下部には円柱形のロータリアクチュエータ２８が取り付けられている。ロータリアクチュエータ２８には下方に円柱形の支持棒５２が連結しており、ロータリアクチュエータ２８が支持棒５２をΘ方向に回転させるようになっている。支持棒５２の先端部には円柱ドレス３０が取り付けられている。円柱ドレス３０は円柱形のドレス棒である。蝶番２４の先端部付近の上部には、Ｙテーブル５６に取り付けられたＺ軸固定柱２６が位置している。Ｚ軸固定柱２６はフランジカバー１８の上昇により蝶番２４の上面に当接するようになっている。
【００１８】
第１の実施の形態の作用を説明する。
【００１９】
図１は第１の実施の形態のワーク８の切削状態を示したダイシング装置１０の正面図であり、図２は第１の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置１０の正面図である。
【００２０】
ワーク８の切削状態のときは、ブレード１６がワーク８を切断している状態であるので、ブレード１６が少なくともワーク８に接している。そのため、フランジカバー１８は下降した位置にある。このとき、蝶番２４の上面はＺ軸固定柱２６に当接していないので、支持部材３６はスプリング２２の付勢力によりフランジカバー１８から離れる方向に付勢されている。すると、支持棒５２、円柱ドレス３０はブレード１６から離れたところに位置する。すなわち、切削中はブレード１６のドレスは行われない。
【００２１】
ドレスを行うときは、ブレード１６をＺ軸に沿って上昇させ、ブレード１６をワーク８から離して浮いている状態にさせる必要がある。そのため、フランジカバー１８を上昇させる。フランジカバー１８が上昇することによって蝶番２４の上面がＺ軸固定柱２６に当接し、蝶番２４は回動部６３を回動軸として下方向に弧を描きつつスプリング２２の付勢力に抗して回動する。すると、蝶番２４に固着されている支持部材３６が回動し、当該支持部材３６にロータリアクチュエータ２８を介して取り付けられている支持棒５２はブレード１６の接線方向に移動して、円柱ドレス３０がブレード１６に接する。この状態でブレード１６を高速回転させることにより、ブレード１６のドレスが行われる。もちろん、この状態ではブレード１６はワーク８から離れて浮いている状態になっているので、ワーク８の切削はされない。
【００２２】
このドレス作業は、ブレード１６がワーク８を１ライン切削した後、ブレード１６がＺ軸方向に上昇してＹ軸方向にステップ移動しカッティングテーブル１２がＸ軸方向に戻るまでの間に行うのが一般的である。ゆえに切削工程の途中でドレス作業を行うことができ、切削工程を中断しなくて済む。ただ、ブレード１６がＺ軸方向に上昇した都度ドレス作業を行わなくてもよく、その場合は、上記Ｚ軸固定柱２６の位置を高めに設定することにより、ドレス作業を行うときだけブレード１６（フランジカバー１８）をＺ軸方向に高く上昇させてＺ軸固定柱２６に当接させる。
【００２３】
なお、円柱ドレス３０のブレード１６への切り込み量は、円柱ドレス３０がどれだけ深くブレード１６に接していくかによるので、この深さはフランジカバー１８のＺ軸上方向への移動量による。したがって、ブレード１６を深く切り込みたいときはフランジカバー１８の上方向への移動量を大きくし、浅く切り込みたいときは移動量を小さくすればよいので、フランジカバー１８の上方向への移動量を調節することによって切り込み量を調整できる。
【００２４】
円柱ドレス３０のある箇所で所定回数ドレスを行なったら、次にドレスするときは、ロータリアクチュエータ２８を駆動させて支持棒５２を回転させることにより、円柱ドレス３０の別の箇所でブレード１６をドレスすることができる。これによって円柱ドレス３０の摩耗していない箇所で絶えずドレスを行うことができ、効果的にブレード１６のドレスを行うことができる。このロータリアクチュエータ２８はエアーで駆動させてもよく、ロータリアクチュエータ２８の代わりにステッピングモータを使用してもよい。
【００２５】
なお、円柱ドレス３０を備えた支持棒５２は複数設けてもよい。この場合、対応する複数のロータリアクチュエータ２８を支持部材３６に装着することになるが、この複数のロータリアクチュエータ２８をＹ軸方向に沿って移動可能にさせる機構を支持部材３６に取り付けて、最適な支持棒５２を選択できるようにすることができる。
【００２６】
本発明の第２の実施の形態に係るダイシング装置８０を図５、図６を用いて説明する。第１の実施の形態と同一の部材については同一の番号を付してその説明を省略する。
【００２７】
第２の実施の形態では、第１の実施の形態で用いた蝶番２４、回動部６３、スプリング２２の代わりにロータリアクチュエータ３８を使用する。
【００２８】
フランジカバー１８の頂部には取付けブロック６５側に支持部材３６がロータリアクチュエータ３８を介して取り付けられている。支持部材３６はロータリアクチュエータ３８を介してフランジカバー１８に対して弧を描くように略上下方向に枢動するようになっている。支持部材３６の下部には円柱形のロータリアクチュエータ２８が取り付けられている。ロータリアクチュエータ２８には下方に円柱形の支持棒５２が連結しており、ロータリアクチュエータ２８が支持棒５２をΘ方向に回転させるようになっている。支持棒５２の先端部には円柱ドレス３０が取り付けられている。円柱ドレス３０は円柱形のドレス棒である。
【００２９】
第２の実施の形態の作用を説明する。
【００３０】
図５は第２の実施の形態のワーク８の切削状態を示したダイシング装置８０の正面図であり、図６は第２の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置８０の正面図である。
【００３１】
ワーク８の切削状態のときは、ブレード１６がワーク８を切断している状態であるので、ブレード１６が少なくともワーク８に接している。そのため、フランジカバー１８は下降した位置にある。このとき、支持部材３６はロータリアクチュエータ３８によりフランジカバー１８から離れた位置に保持される。すなわち、支持棒５２、円柱ドレス３０はブレード１６から離れたところに位置する。
【００３２】
ドレスを行うときは、ブレード１６をＺ軸に沿って上昇させ、ブレード１６をワーク８から離して浮いている状態にさせる必要がある。そのため、フランジカバー１８を上昇させる。フランジカバー１８が上昇したら、ロータリアクチュエータ３８を駆動して支持部材３６を下方向に回動させる。支持部材３６は弧を描くように回動する。当該支持部材３６にロータリアクチュエータ２８を介して取り付けられている支持棒５２はブレード１６の接線方向に移動して、円柱ドレス３０がブレード１６に接する。この状態でブレード１６を高速回転させることにより、ブレード１６のドレスが行われる。もちろん、この状態ではブレード１６はワーク８から離れて浮いている状態になっているので、ワーク８の切削はされない。
【００３３】
本形態においても、ブレード１６がＺ軸方向に上昇した都度ドレス作業を行わなくてもよく、その場合は、ドレス時のブレード１６（フランジカバー１８）のＺ軸方向の上昇度を高めに設定することにより、ドレス作業を行うときだけブレード１６（フランジカバー１８）をＺ軸方向に高く上昇させる。
【００３４】
なお、円柱ドレス３０のブレード１６への切り込み量は、円柱ドレス３０がどれだけ深くブレード１６に接していくかによるので、この深さはロータリアクチュエータ３８の回動量による。したがって、ブレード１６を深く切り込みたいときは図示しない回動量調整手段によってロータリアクチュエータ３８の回動量を大きくし、浅く切り込みたいときは回動量を小さくすればよいので、ロータリアクチュエータ３８の回動量を調節することによって切り込み量を調整できる。第２の実施の形態では、フランジカバー１８のＺ軸上方向への移動量にかかわらず、切り込み量を調整できるという利点がある。なお、支持棒５２を回転させてドレスを行う場所を変えることができる点は第１の実施の形態と同様である。ロータリアクチュエータ２８、３８はエアーで駆動させてもよい。また、ロータリアクチュエータ２８の代わりにステッピングモータを使用してもよい。
【００３５】
また、第１の実施の形態と同様に、円柱ドレス３０を備えた支持棒５２は複数設けてもよい。この場合、対応する複数のロータリアクチュエータ２８を支持部材３６に装着することになるが、この複数のロータリアクチュエータ２８をＹ軸方向に沿って移動可能にさせる機構を支持部材３６に取り付けて、最適な支持棒５２を選択できるようにすることができる。
【００３６】
本発明の第３の実施の形態に係るダイシング装置９０を図７、図８を用いて説明する。第１の実施の形態と同一の部材については同一の番号を付してその説明を省略する。
【００３７】
第３の実施の形態では、第１の実施の形態で用いた蝶番２４、回動部６３、スプリング２２、円柱ドレス３０の代わりにロータリアクチュエータ４０、軸棒４８、長孔４９、平板ドレス４４を使用する。
【００３８】
フランジカバー１８の頂部付近には取付けブロック６５方向に突出した屋根部３９が形成されている。屋根部３９の先端には軸棒４８がブレード１６の回転軸と平行な軸に沿って挿通している。軸棒４８の外周にはネジ山が形成されており、挿通されている屋根部３９も軸棒４８のネジ山と螺合するようにネジ溝が形成されている。軸棒４８はさらに側面略Ｌ字形で平板状の支持部材４６に遊びをもって挿通している。支持部材４６には正面に軸棒４８が挿通するための長孔４９が形成されている。長孔４９は、軸棒４８を基に支持部材４６がブレード１６に接離する方向に枢動できるようにカーブ状に形成されている。軸棒４８の支持部材４６側の端部は抜け防止のための径大部５１が形成されている。軸棒４８には屋根部３９と支持部材４６との間に固定リング５３が固着されている。支持部材４６の上端部にはロータリアクチュエータ４０が取り付けられている。ロータリアクチュエータ４０が駆動して支持部材４６を当該ロータリアクチュエータ４０を基点にして枢動させる。
【００３９】
支持部材４６は上述のように略Ｌ字形の平板状であり、平板状の面がブレード１６の側面に向いている。当該向いている面には平板ドレス４４が装着されている。
【００４０】
第３の実施の形態の作用を説明する。
【００４１】
図７（ａ）は第３の実施の形態のワーク８の切削状態を示したダイシング装置９０の正面図であり、図７（ｂ）はフランジカバー１８と支持部材４６との接続部付近をブレード１６側からみた側面図である。図８は第３の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置９０の正面図である。
【００４２】
ワーク８の切削状態のときは、ブレード１６がワーク８を切断している状態であるので、ブレード１６が少なくともワーク８に接している。そのため、フランジカバー１８は下降した位置にある。このとき、支持部材４６はロータリアクチュエータ４０によりフランジカバー１８から離れた位置に保持される。すなわち、平板ドレス４４はブレード１６から離れたところに位置する。
【００４３】
ドレスを行うときは、ブレード１６をＺ軸に沿って上昇させ、ブレード１６をワーク８から離して浮いている状態にさせる必要がある。そのため、フランジカバー１８を上昇させる。フランジカバー１８が上昇したら、ロータリアクチュエータ４０を駆動して支持部材４６をブレード１６方向に回動させる。支持部材４６はブレード１６の接線付近に移動して、平板ドレス４４がブレード１６に接する。この状態でブレード１６を高速回転させることにより、ブレード１６のドレスが行われる。もちろん、この状態ではブレード１６はワーク８から離れて浮いている状態になっているので、ワーク８の切削はされない。
【００４４】
本形態においても、ブレード１６がＺ軸方向に上昇した都度ドレス作業を行わなくてもよく、その場合は、ドレス時のブレード１６（フランジカバー１８）のＺ軸方向の上昇度を高めに設定することにより、ドレス作業を行うときだけブレード１６（フランジカバー１８）をＺ軸方向に高く上昇させる。
【００４５】
なお、平板ドレス４４のブレード１６への切り込み量は、平板ドレス４４がどれだけ深くブレード１６に接していくかによるので、この深さはロータリアクチュエータ４０の回動量による。したがって、ブレード１６を深く切り込みたいときは図示しない回動量調整手段によってロータリアクチュエータ４０の回動量を大きくし、浅く切り込みたいときは回動量を小さくすればよいので、ロータリアクチュエータ４０の回動量を調節することによって切り込み量を調整できる。なお、平板ドレス４４がブレード１６に深く切り込めるように長孔４９の孔の長さは通常の支持部材４６の移動量分よりも長めにとってある。第３の実施の形態では、フランジカバー１８のＺ軸上方向への移動量にかかわらず、切り込み量を調整できるという利点がある。
【００４６】
平板ドレス４４のある箇所で所定回数ドレスを行なったら、次にドレスするときは、軸棒４８を回転させることにより、軸棒４８を屋根部３９に対して移動させる。支持部材４６は固定リング５３と径大部５１とで挟まれているので、軸棒４８の、屋根部３９に対する位置が変わると支持部材４６の、屋根部３９に対する位置が変わる。すなわち、支持部材４６がＹ軸方向にずれる。これによって、平板ドレス４４のドレス部分を変えることができるので、平板ドレス４４の摩耗していない箇所で絶えずドレスを行うことができ、効果的にブレード１６のドレスを行うことができる。
【００４７】
ロータリアクチュエータ４０はエアーで駆動させてもよい。また、ロータリアクチュエータ４０の代わりにステッピングモータを使用してもよい。
【００４８】
本発明の第４の実施の形態に係るダイシング装置１００を図９、図１０を用いて説明する。第３の実施の形態と同一の部材については同一の番号を付してその説明を省略する。
【００４９】
第４の実施の形態では、第３の実施の形態で用いたロータリアクチュエータ４０の代わりにカム機構、板ばね５５を使用する。
【００５０】
軸棒４８は側面略Ｌ字形で平板状の支持部材４６に軸棒４８が回動できるように挿通している。支持部材４６の上端部は側面視でＵ字形に溝が形成されていて、このＵ字溝の両側の支持部材４６を貫通するようにカム軸８４が取り付けられ、Ｕ字溝にカム車８２が回動可能にカム軸８４を貫通させて配設されている。屋根部３９の下側と支持部材４６のブレード１６側とを渡すように板ばね５５が取り付けられている。支持部材４６は軸棒４８を基点にして回動する。カム車８２の上方にはＺ軸固定柱４２が設けられている。Ｚ軸固定柱４２はカム車８２に向いた面に斜面が形成されている。
【００５１】
第４の実施の形態の作用を説明する。
【００５２】
図９（ａ）は第４の実施の形態のワーク８の切削状態を示したダイシング装置１００の正面図であり、図９（ｂ）はフランジカバー１８と支持部材４６との接続部付近をブレード１６側からみた側面図である。図１０は第４の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置１００の正面図である。
【００５３】
ワーク８の切削状態のときは、ブレード１６がワーク８を切断している状態であるので、ブレード１６が少なくともワーク８に接している。そのため、フランジカバー１８は下降した位置にある。このとき、支持部材４６は板ばね５５の付勢力によりフランジカバー１８から離れた位置に保持される。すなわち、平板ドレス４４はブレード１６から離れたところに位置する。
【００５４】
ドレスを行うときは、ブレード１６をＺ軸に沿って上昇させ、ブレード１６をワーク８から離して浮いている状態にさせる。すなわち、フランジカバー１８を上昇させる。フランジカバー１８が上昇したら、カム車８２がＺ軸固定柱４２の斜面に当り、回転しつつＺ軸固定柱４２の斜面に接しながら上がっていく。上がっていく間、支持部材４６は軸棒４８を回動点にして板ばね５５の付勢力に抗してブレード１６方向に回動する。支持部材４６はブレード１６の接線付近に移動して、平板ドレス４４がブレード１６に接する。この状態でブレード１６を高速回転させることにより、ブレード１６のドレスが行われる。
【００５５】
このドレス作業は、ブレード１６がワーク８を１ライン切削した後、ブレード１６がＺ軸方向に上昇してＹ軸方向にステップ移動しカッティングテーブル１２がＸ軸方向に戻るまでの間に行うのが一般的である。ゆえに切削工程の途中でドレス作業を行うことができ、切削工程を中断しなくて済む。ただ、ブレード１６がＺ軸方向に上昇した都度ドレス作業を行わなくてもよく、その場合は、上記Ｚ軸固定柱４２の位置を高めに設定することにより、ドレス作業を行うときだけブレード１６（フランジカバー１８）をＺ軸方向に高く上昇させてＺ軸固定柱４２に当接させる。
【００５６】
なお、平板ドレス４４のブレード１６への切り込み量は、平板ドレス４４がどれだけ深くブレード１６に接していくかによるので、この深さはフランジカバー１８のＺ軸上方向への移動量による。したがって、ブレード１６を深く切り込みたいときはフランジカバー１８の上方向への移動量を大きくし、浅く切り込みたいときは移動量を小さくすればよいので、フランジカバー１８の上方向への移動量を調節することによって切り込み量を調整できる。
【００５７】
平板ドレス４４のある箇所で所定回数ドレスを行なったら、次にドレスするときは、軸棒４８を回転させることにより、軸棒４８を屋根部３９に対して移動させる。支持部材４６は固定リング５３と径大部５１とで挟まれているので、軸棒４８の、屋根部３９に対する位置が変わると支持部材４６の、屋根部３９に対する位置が変わる。すなわち、支持部材４６がＹ軸方向にずれる。これによって、平板ドレス４４のドレス部分を変えることができるので、平板ドレス４４の摩耗していない箇所で絶えずドレスを行うことができ、効果的にブレード１６のドレスを行うことができる。
【００５８】
上述の第１、第２、第３、第４の実施の形態によれば、ブレード１６をＺ軸方向へずらすだけで、すなわち切削工程中に、ブレード１６やカッティングテーブル１２をＸ軸方向やＹ軸方向へあらためて位置決めすることをしないで、ドレスを行うことができ、ドレス作業及び切削作業が時間的にも作業的にも非常に効率よく行うことができる。
【００５９】
【発明の効果】
請求項１記載の本発明によれば、回転刃の位置をＺ軸方向へずらすだけで、すなわち切削工程中に、回転刃やカッティングテーブルをＸ軸方向やＹ軸方向へあらためて位置決めすることをせずにドレスを行うことができるので、作業的にも時間的にも非常に効率が良くなる。
【００６０】
請求項２記載の本発明によれば、ドレスするときに摩耗していないドレス面を使用することができ、回転刃を効果的にドレスできる。
【００６１】
請求項３記載の本発明によれば、ドレスするときに摩耗していないドレス面を使用することができ、回転刃を効果的にドレスできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態のワークの切削状態を示したダイシング装置の正面図
【図２】本発明の第１の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置の正面図
【図３】本発明の実施の形態に係るダイシング装置の側断面図
【図４】本発明の実施の形態に係るダイシング装置のＹ方向及びＺ方向の駆動機構を説明する斜視図
【図５】本発明の第２の実施の形態のワークの切削状態を示したダイシング装置の正面図
【図６】本発明の第２の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置の正面図
【図７】（ａ）は第３の実施の形態のワークの切削状態を示したダイシング装置の正面図
（ｂ）はフランジカバーと支持部材との接続部付近をブレード側からみた側面図
【図８】本発明の第３の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置の正面図
【図９】（ａ）は第４の実施の形態のワークの切削状態を示したダイシング装置の正面図
（ｂ）はフランジカバーと支持部材との接続部付近をブレード側からみた側面図
【図１０】本発明の第４の実施の形態のドレスを行なっている状態を示したダイシング装置の正面図
【符号の説明】
８…ワーク、１０、８０、９０、１００…ダイシング装置、１６…ブレード、１８…フランジカバー、２２…スプリング、２４…蝶番、２８…ロータリアクチュエータ、３０…円柱ドレス、３６…支持部材、３８…ロータリアクチュエータ、３９…屋根部、４０…ロータリアクチュエータ、４２…Ｚ軸固定柱、４４…平板ドレス、４６…支持部材、４８…軸棒、４９…長孔、５０…スピンドル、５２…支持棒、５４…駆動モータ、５５…板ばね、６３…回動部、８２…カム車、８４…カム軸[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a dicing apparatus, and more particularly to a dicing apparatus that cuts a semiconductor wafer (workpiece) into a grid pattern.
[0002]
[Prior art]
A dicing apparatus is an apparatus that cuts a semiconductor wafer into dice by rotating a rotary blade (blade) at high speed. The blade is covered with a flange cover (cover) other than the cutting portion, and the flange cover is provided with a pair of nozzles, and cutting is performed from these nozzles toward both sides of the blade during workpiece cutting. Spray water.
[0003]
As the blade is used repeatedly, the cutting surface wears and the cutting performance deteriorates. Therefore, in order to improve the cutting performance of the blade, dressing is regularly performed. Usually, dressing is performed by rubbing the dressboard while rotating the blade.
[0004]
Conventionally, in order to perform dressing, the workpiece is once removed from the cutting table, and a dress board is set on the cutting table, and dressing cannot be performed during the cutting process. In addition, some dressboard tables are installed near the cutting table or near the edge of the cutting table to perform dressing during the cutting process. Thus, the blade must be moved in the X-axis direction and / or the Y-axis direction to a position where the dressboard is located. However, when this movement is performed, the cutting line is temporarily removed, so the spindle position changes or the cutting table position changes. Therefore, in order to start cutting again, positioning of the spindle position in the X-axis direction and the Y-axis direction It was necessary to re-position the cutting table, and there was a great loss both in terms of work and time.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In consideration of the above circumstances, the present invention is a dicing apparatus capable of dressing a blade during a cutting process and without requiring positioning of the spindle and the cutting table in the X-axis direction and the Y-axis direction. Cover I will provide a.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
According to a first aspect of the present invention, there is provided a cover that covers a rotary blade of a dicing apparatus that includes a spindle having a rotary blade that processes a workpiece at a tip, and rotates the rotary blade at a high speed to process the workpiece into a predetermined shape. The dressing means having a dressing member and a supporting member for supporting the dressing member is attached to the cover so as to pivot with respect to the cover on an axis parallel to the rotation axis of the rotary blade. Is movable in the direction of contact with and away from the rotary blade, and when cutting, the cover is lowered with the rotary blade. The support member is separated from the fixing member Thus, the workpiece is processed with the dressing member positioned away from the rotary blade, and during dressing, the cover is raised along the Z-axis together with the rotary blade. The support member is brought into contact with the fixing member Thus, the rotary blade is dressed with the dress member positioned in the vicinity of the tangent line of the rotary blade.
[0007]
According to the first aspect of the present invention, since the dressing means is attached to the cover so as to pivot about an axis parallel to the rotation axis of the rotary blade, the dress member is in contact with the rotary blade. The rotary blade is movable in a direction away from the rotary blade, and is positioned near the tangent line of the rotary blade when dressing, and is separated from the rotary blade when not dressing. For this reason, at the time of cutting work, dressing can be performed only by shifting the position of the rotary blade in the Z-axis direction without changing it again in the X-axis direction or the Y-axis direction for the dressing work.
[0008]
According to the second aspect of the present invention, the dress member has a cylindrical shape, and can be rotated Θ around the axis of the cylindrical shape as a rotation axis with respect to the support member. The position can be changed, and the rotary blade can be dressed at a portion of the dressing member that is not worn.
[0009]
According to this invention of Claim 3, since the said dress member consists of a plate-shaped body and it can move to the axial direction parallel to the rotating shaft of the said rotary blade, the position of a dress is moved by the movement to the said axial direction. The rotary blade can be dressed at a portion where the dress member is not worn.
[0010]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a dicing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
[0011]
FIG. 1 is a front view of a dicing apparatus 10 according to a first embodiment of the present invention.
[0012]
A dicing apparatus 10 shown in FIG. 1 has a cutting table 12 cut and fed in the X direction shown in FIG. 1, aligns a workpiece 8 adsorbed on the cutting table 12 via an adhesive sheet 14, and then This is a device that cuts the workpiece 8 in a die shape with a blade 16 that rotates at high speed. When the workpiece 8 is cut, in order to maintain the machining accuracy of the workpiece 8, the cooling water and the cutting are performed from the pair of cooling water jet nozzles 34 and 34 and the cutting water jet nozzle 32 toward both surfaces of the blade 16 that is cutting the workpiece. The blade 16 is cooled and washed by spraying water.
[0013]
As shown in FIG. 3, the drive motor 54 of the blade 16 has a tapered surface on the spindle 50, and the inner peripheral tapered surface 28 </ b> A of the flange 58 is fitted into the tapered surface 26 </ b> A of the spindle 50. Is attached. The flange 58 is fixed to the spindle 50 by tightening a flange fixing nut 70 screwed to the spindle 50. A hub 62 formed in a donut shape is fitted into the outer peripheral portion of the flange 58, and the blade 16 is fixed to the outer peripheral portion of the hub 62, and the blade 16 is brought into contact with the support surface 58 </ b> B of the flange 58. Yes. The hub 62 is fixed to the flange 58 by tightening a hub fixing nut 64 screwed into the flange 58, whereby the blade 16 is sandwiched between the hub 62 and the support surface 58B of the flange 58. Is fixed.
[0014]
As shown in FIG. 4, the drive motor 54 of the blade 16 is held in a suspended state on the Z table 66. The Z table 66 is guided by Z guides 68 and 68 provided on the Y table 56, and is driven in the Z direction by a ball screw and a stepping motor (not shown). Therefore, the drive motor 54 attached to the Z table 66 also moves in the Z direction. The Y table 56 is guided by Y guides 60, 60 provided on the Y base 61, and is driven in the Y direction by a ball screw and a stepping motor (not shown). With such a configuration, the blade 16 attached to the tip of the spindle 50 is cut and fed in the Z direction and indexed in the Y direction.
[0015]
By the way, as shown in FIG. 1, the blade 16 is covered with a flange cover 18 except for the cut portion and the dress portion. The flange cover 18 is fixed to a fixing member such as the drive motor 54. Therefore, when the drive motor 54 moves in the Z direction, the flange cover 18 also moves up and down. The spindle 50 is provided with a cutting water injection nozzle 32 for supplying cutting water to the blade 16 and a pair of L-shaped cooling water injection nozzles 34 and 34 for supplying cooling water via a mounting block 65.
[0016]
Further, a breakage detector 20 for detecting breakage of the blade 16 is attached to the flange cover 18.
[0017]
A plate-like hinge 24 is attached to the top of the flange cover 18 on the attachment block 65 side. The hinge 24 pivots in a substantially vertical direction so as to draw an arc with respect to the flange cover 18 via the rotating portion 63. A rectangular parallelepiped support member 36 is attached to the lower part of the hinge 24. A spring 22 is disposed between the support member 36 and the flange cover 18, and the spring 22 biases the support member 36 in a direction away from the flange cover 18. A cylindrical rotary actuator 28 is attached to the lower part of the support member 36. A cylindrical support bar 52 is connected to the rotary actuator 28 below, and the rotary actuator 28 rotates the support bar 52 in the Θ direction. A cylindrical dress 30 is attached to the tip of the support bar 52. The cylindrical dress 30 is a cylindrical dress bar. The Z-axis fixed column 26 attached to the Y table 56 is located in the upper part near the tip of the hinge 24. The Z-axis fixed column 26 comes into contact with the upper surface of the hinge 24 when the flange cover 18 is raised.
[0018]
The operation of the first embodiment will be described.
[0019]
FIG. 1 is a front view of a dicing apparatus 10 showing a cutting state of a workpiece 8 according to the first embodiment. FIG. 2 is a front view of the dicing apparatus 10 showing a state where dressing is performed according to the first embodiment. It is a front view.
[0020]
When the workpiece 8 is in the cutting state, the blade 16 is in a state of cutting the workpiece 8, so that the blade 16 is in contact with at least the workpiece 8. Therefore, the flange cover 18 is in a lowered position. At this time, since the upper surface of the hinge 24 is not in contact with the Z-axis fixed column 26, the support member 36 is urged away from the flange cover 18 by the urging force of the spring 22. Then, the support bar 52 and the cylindrical dress 30 are located away from the blade 16. That is, the dressing of the blade 16 is not performed during cutting.
[0021]
When dressing, it is necessary to raise the blade 16 along the Z axis so that the blade 16 floats away from the workpiece 8. Therefore, the flange cover 18 is raised. As the flange cover 18 rises, the upper surface of the hinge 24 comes into contact with the Z-axis fixed column 26, and the hinge 24 forms a downward arc with the rotating portion 63 as the rotating shaft and resists the biasing force of the spring 22. Rotate. Then, the support member 36 fixed to the hinge 24 rotates, and the support bar 52 attached to the support member 36 via the rotary actuator 28 moves in the tangential direction of the blade 16 so that the cylindrical dress 30 is moved. Contact the blade 16. In this state, the blade 16 is dressed by rotating the blade 16 at a high speed. Of course, in this state, the blade 16 is in a state of being lifted away from the workpiece 8, and therefore the workpiece 8 is not cut.
[0022]
This dressing operation is performed after the blade 16 cuts one line of the workpiece 8 and then the blade 16 moves up in the Z-axis direction and moves stepwise in the Y-axis direction, and the cutting table 12 returns in the X-axis direction. It is common. Therefore, the dressing operation can be performed during the cutting process, and the cutting process does not have to be interrupted. However, it is not necessary to perform the dressing operation every time the blade 16 rises in the Z-axis direction. In this case, by setting the position of the Z-axis fixed column 26 higher, the blade 16 ( The flange cover 18) is raised in the Z-axis direction and brought into contact with the Z-axis fixed column 26.
[0023]
Note that the amount of cut of the cylindrical dress 30 into the blade 16 depends on how deep the cylindrical dress 30 contacts the blade 16, and this depth depends on the amount of movement of the flange cover 18 in the Z-axis upward direction. Accordingly, when the blade 16 is to be cut deeply, the upward movement amount of the flange cover 18 may be increased, and when the blade 16 is to be cut deeply, the movement amount may be decreased. Therefore, the upward movement amount of the flange cover 18 is adjusted. By doing so, the cut amount can be adjusted.
[0024]
After performing dressing a predetermined number of times at a certain location of the cylindrical dress 30, the next dressing is performed by driving the rotary actuator 28 and rotating the support rod 52, thereby dressing the blade 16 at another location of the cylindrical dress 30. be able to. As a result, it is possible to continuously perform dressing at a portion where the cylindrical dress 30 is not worn, and to effectively dress the blade 16. The rotary actuator 28 may be driven by air, and a stepping motor may be used instead of the rotary actuator 28.
[0025]
A plurality of support bars 52 provided with the columnar dress 30 may be provided. In this case, a plurality of corresponding rotary actuators 28 are mounted on the support member 36, but a mechanism that allows the plurality of rotary actuators 28 to move along the Y-axis direction is attached to the support member 36, so that the optimum The support rod 52 can be selected.
[0026]
A dicing apparatus 80 according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
[0027]
In the second embodiment, a rotary actuator 38 is used in place of the hinge 24, the rotating part 63, and the spring 22 used in the first embodiment.
[0028]
A support member 36 is attached to the top of the flange cover 18 on the attachment block 65 side via a rotary actuator 38. The support member 36 pivots in a substantially vertical direction so as to draw an arc with respect to the flange cover 18 via the rotary actuator 38. A cylindrical rotary actuator 28 is attached to the lower part of the support member 36. A cylindrical support bar 52 is connected to the rotary actuator 28 below, and the rotary actuator 28 rotates the support bar 52 in the Θ direction. A cylindrical dress 30 is attached to the tip of the support bar 52. The cylindrical dress 30 is a cylindrical dress bar.
[0029]
The operation of the second embodiment will be described.
[0030]
FIG. 5 is a front view of the dicing apparatus 80 showing the cutting state of the workpiece 8 according to the second embodiment. FIG. 6 is a front view of the dicing apparatus 80 showing the state of performing dressing according to the second embodiment. It is a front view.
[0031]
When the workpiece 8 is in the cutting state, the blade 16 is in a state of cutting the workpiece 8, so that the blade 16 is in contact with at least the workpiece 8. Therefore, the flange cover 18 is in a lowered position. At this time, the support member 36 is held at a position away from the flange cover 18 by the rotary actuator 38. That is, the support bar 52 and the cylindrical dress 30 are located away from the blade 16.
[0032]
When dressing, it is necessary to raise the blade 16 along the Z axis so that the blade 16 floats away from the workpiece 8. Therefore, the flange cover 18 is raised. When the flange cover 18 is raised, the rotary actuator 38 is driven to rotate the support member 36 downward. The support member 36 rotates so as to draw an arc. The support bar 52 attached to the support member 36 via the rotary actuator 28 moves in the tangential direction of the blade 16, so that the cylindrical dress 30 contacts the blade 16. In this state, the blade 16 is dressed by rotating the blade 16 at a high speed. Of course, in this state, the blade 16 is in a state of being lifted away from the workpiece 8, and therefore the workpiece 8 is not cut.
[0033]
Also in this embodiment, it is not necessary to perform the dressing operation every time the blade 16 rises in the Z-axis direction. In this case, the degree of elevation in the Z-axis direction of the blade 16 (flange cover 18) during dressing is set higher. Thus, the blade 16 (flange cover 18) is raised in the Z-axis direction only when the dressing operation is performed.
[0034]
The amount of cutting of the cylindrical dress 30 into the blade 16 depends on how deep the cylindrical dress 30 contacts the blade 16, and this depth depends on the amount of rotation of the rotary actuator 38. Therefore, when the blade 16 is to be cut deeply, the rotation amount of the rotary actuator 38 is increased by a rotation amount adjusting means (not shown), and when the blade 16 is to be cut shallowly, the rotation amount is decreased. Therefore, the rotation amount of the rotary actuator 38 is adjusted. Therefore, the cut amount can be adjusted. In the second embodiment, there is an advantage that the cut amount can be adjusted regardless of the amount of movement of the flange cover 18 in the Z-axis upward direction. In addition, the point which can change the place which dresses by rotating the support stick | rod 52 is the same as that of 1st Embodiment. The rotary actuators 28 and 38 may be driven by air. A stepping motor may be used instead of the rotary actuator 28.
[0035]
Further, similarly to the first embodiment, a plurality of support bars 52 including the columnar dress 30 may be provided. In this case, a plurality of corresponding rotary actuators 28 are mounted on the support member 36, but a mechanism that allows the plurality of rotary actuators 28 to move along the Y-axis direction is attached to the support member 36, so that the optimum The support rod 52 can be selected.
[0036]
A dicing apparatus 90 according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same members as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
[0037]
In the third embodiment, the rotary actuator 40, the shaft rod 48, the long hole 49, and the flat plate dress 44 are used instead of the hinge 24, the rotating portion 63, the spring 22, and the cylindrical dress 30 used in the first embodiment. use.
[0038]
Near the top of the flange cover 18 is formed a roof 39 that protrudes toward the mounting block 65. A shaft bar 48 is inserted through the tip of the roof portion 39 along an axis parallel to the rotation axis of the blade 16. A screw thread is formed on the outer periphery of the shaft rod 48, and a thread groove is formed so that the inserted roof portion 39 is screwed with the screw thread of the shaft rod 48. Further, the shaft rod 48 is inserted into the flat support member 46 having a substantially L-shaped side surface with play. The support member 46 is formed with a long hole 49 through which a shaft bar 48 is inserted. The long hole 49 is formed in a curved shape so that the support member 46 can pivot in a direction in which the support member 46 contacts and separates from the blade 16 based on the shaft 48. A large-diameter portion 51 is formed at the end of the shaft bar 48 on the support member 46 side to prevent the shaft rod 48 from coming off. A fixing ring 53 is fixed to the shaft bar 48 between the roof portion 39 and the support member 46. A rotary actuator 40 is attached to the upper end portion of the support member 46. The rotary actuator 40 is driven to pivot the support member 46 with the rotary actuator 40 as a base point.
[0039]
The support member 46 has a substantially L-shaped flat plate shape as described above, and the flat plate surface faces the side surface of the blade 16. A flat dress 44 is mounted on the facing surface.
[0040]
The operation of the third embodiment will be described.
[0041]
FIG. 7A is a front view of the dicing apparatus 90 showing the cutting state of the workpiece 8 according to the third embodiment, and FIG. 7B shows the vicinity of the connection portion between the flange cover 18 and the support member 46. It is the side view seen from the 16th side. FIG. 8 is a front view of the dicing apparatus 90 showing a state in which dressing according to the third embodiment is performed.
[0042]
When the workpiece 8 is in the cutting state, the blade 16 is in a state of cutting the workpiece 8, so that the blade 16 is in contact with at least the workpiece 8. Therefore, the flange cover 18 is in a lowered position. At this time, the support member 46 is held at a position away from the flange cover 18 by the rotary actuator 40. That is, the flat dress 44 is located away from the blade 16.
[0043]
When dressing, it is necessary to raise the blade 16 along the Z axis so that the blade 16 floats away from the workpiece 8. Therefore, the flange cover 18 is raised. When the flange cover 18 is raised, the rotary actuator 40 is driven to rotate the support member 46 in the direction of the blade 16. The support member 46 moves near the tangent line of the blade 16, and the flat dress 44 contacts the blade 16. In this state, the blade 16 is dressed by rotating the blade 16 at a high speed. Of course, in this state, the blade 16 is in a state of being lifted away from the workpiece 8, and therefore the workpiece 8 is not cut.
[0044]
Also in this embodiment, it is not necessary to perform the dressing operation every time the blade 16 rises in the Z-axis direction. In this case, the degree of elevation in the Z-axis direction of the blade 16 (flange cover 18) during dressing is set higher. Thus, the blade 16 (flange cover 18) is raised in the Z-axis direction only when the dressing operation is performed.
[0045]
The amount of cutting of the flat dress 44 into the blade 16 depends on how deep the flat dress 44 contacts the blade 16, and this depth depends on the amount of rotation of the rotary actuator 40. Therefore, when the blade 16 is to be cut deeply, the rotation amount of the rotary actuator 40 is increased by a rotation amount adjusting means (not shown), and when the blade 16 is to be cut shallowly, the rotation amount is decreased. Therefore, the rotation amount of the rotary actuator 40 is adjusted. Therefore, the cut amount can be adjusted. It should be noted that the length of the long hole 49 is longer than the amount of movement of the normal support member 46 so that the flat dress 44 can be deeply cut into the blade 16. In the third embodiment, there is an advantage that the cut amount can be adjusted regardless of the amount of movement of the flange cover 18 in the Z-axis upward direction.
[0046]
If dressing is performed a predetermined number of times at a place where the flat dress 44 is provided, the next time the dress is carried out, the shaft bar 48 is moved with respect to the roof portion 39 by rotating the shaft bar 48. Since the support member 46 is sandwiched between the fixing ring 53 and the large-diameter portion 51, the position of the support member 46 with respect to the roof portion 39 changes when the position of the shaft 48 with respect to the roof portion 39 changes. That is, the support member 46 is displaced in the Y-axis direction. As a result, the dress portion of the flat dress 44 can be changed, so that the dress can be continuously performed at the portion where the flat dress 44 is not worn, and the blade 16 can be effectively dressed.
[0047]
The rotary actuator 40 may be driven by air. A stepping motor may be used instead of the rotary actuator 40.
[0048]
A dicing apparatus 100 according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The same members as those in the third embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
[0049]
In the fourth embodiment, a cam mechanism and a leaf spring 55 are used instead of the rotary actuator 40 used in the third embodiment.
[0050]
The shaft rod 48 is inserted into a flat support member 46 having a substantially L-shaped side surface so that the shaft rod 48 can rotate. The upper end portion of the support member 46 is formed with a U-shaped groove in a side view, and a cam shaft 84 is attached so as to penetrate the support members 46 on both sides of the U-shaped groove, and a cam wheel 82 is inserted in the U-shaped groove. The cam shaft 84 is disposed so as to be rotatable. A leaf spring 55 is attached so as to pass the lower side of the roof portion 39 and the blade 16 side of the support member 46. The support member 46 rotates with the shaft rod 48 as a base point. A Z-axis fixed column 42 is provided above the cam wheel 82. The Z-axis fixed column 42 has a slope on the surface facing the cam wheel 82.
[0051]
The operation of the fourth embodiment will be described.
[0052]
FIG. 9A is a front view of the dicing apparatus 100 showing the cutting state of the workpiece 8 according to the fourth embodiment, and FIG. 9B shows a blade near the connecting portion between the flange cover 18 and the support member 46. It is the side view seen from the 16th side. FIG. 10 is a front view of the dicing apparatus 100 showing the dressing state of the fourth embodiment.
[0053]
When the workpiece 8 is in the cutting state, the blade 16 is in a state of cutting the workpiece 8, so that the blade 16 is in contact with at least the workpiece 8. Therefore, the flange cover 18 is in a lowered position. At this time, the support member 46 is held at a position away from the flange cover 18 by the urging force of the leaf spring 55. That is, the flat dress 44 is located away from the blade 16.
[0054]
When performing dressing, the blade 16 is raised along the Z-axis, and the blade 16 is lifted away from the workpiece 8. That is, the flange cover 18 is raised. When the flange cover 18 rises, the cam wheel 82 hits the slope of the Z-axis fixed column 42 and moves up while contacting the slope of the Z-axis fixed column 42 while rotating. As it goes up, the support member 46 rotates in the direction of the blade 16 against the urging force of the leaf spring 55 with the shaft rod 48 as a rotation point. The support member 46 moves near the tangent line of the blade 16, and the flat dress 44 contacts the blade 16. In this state, the blade 16 is dressed by rotating the blade 16 at a high speed.
[0055]
This dressing operation is performed after the blade 16 cuts one line of the workpiece 8 and then the blade 16 moves up in the Z-axis direction and moves stepwise in the Y-axis direction, and the cutting table 12 returns in the X-axis direction. It is common. Therefore, the dressing operation can be performed during the cutting process, and the cutting process does not have to be interrupted. However, it is not necessary to perform the dressing work every time the blade 16 rises in the Z-axis direction. In this case, by setting the position of the Z-axis fixed column 42 higher, the blade 16 ( The flange cover 18) is raised in the Z-axis direction and brought into contact with the Z-axis fixed column 42.
[0056]
Note that the amount of cutting of the flat dress 44 into the blade 16 depends on how deep the flat dress 44 contacts the blade 16, and this depth depends on the amount of movement of the flange cover 18 in the Z-axis upward direction. Accordingly, when the blade 16 is to be cut deeply, the upward movement amount of the flange cover 18 may be increased, and when the blade 16 is to be cut deeply, the movement amount may be decreased. Therefore, the upward movement amount of the flange cover 18 is adjusted. By doing so, the cut amount can be adjusted.
[0057]
If dressing is performed a predetermined number of times at a place where the flat dress 44 is provided, the next time the dress is carried out, the shaft bar 48 is moved with respect to the roof portion 39 by rotating the shaft bar 48. Since the support member 46 is sandwiched between the fixing ring 53 and the large-diameter portion 51, the position of the support member 46 with respect to the roof portion 39 changes when the position of the shaft 48 with respect to the roof portion 39 changes. That is, the support member 46 is displaced in the Y-axis direction. As a result, the dress portion of the flat dress 44 can be changed, so that the dress can be continuously performed at the portion where the flat dress 44 is not worn, and the blade 16 can be effectively dressed.
[0058]
According to the first, second, third, and fourth embodiments described above, the blade 16 and the cutting table 12 are moved in the X-axis direction and the Y-direction only by shifting the blade 16 in the Z-axis direction, that is, during the cutting process. The dressing can be performed without repositioning in the axial direction, and the dressing operation and the cutting operation can be performed very efficiently in terms of time and work.
[0059]
【The invention's effect】
According to the first aspect of the present invention, the rotary blade and the cutting table can be repositioned in the X-axis direction and the Y-axis direction only by shifting the position of the rotary blade in the Z-axis direction, that is, during the cutting process. The dressing can be performed without any problem, so that the efficiency is very good both in terms of work and time.
[0060]
According to the second aspect of the present invention, a dress surface that is not worn when dressing can be used, and the rotary blade can be effectively dressed.
[0061]
According to the third aspect of the present invention, a dress surface that is not worn when dressing can be used, and the rotary blade can be effectively dressed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front view of a dicing apparatus showing a cutting state of a workpiece according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a front view of a dicing apparatus showing a dressing state according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a side sectional view of a dicing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a perspective view for explaining a driving mechanism in the Y direction and the Z direction of the dicing apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a front view of a dicing apparatus showing a cutting state of a workpiece according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a front view of a dicing apparatus showing a dressing state according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 7A is a front view of a dicing apparatus showing a cutting state of a workpiece according to a third embodiment.
(B) is a side view of the vicinity of the connection between the flange cover and the support member as seen from the blade side.
FIG. 8 is a front view of a dicing apparatus showing a dressing state according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 9A is a front view of a dicing apparatus showing a cutting state of a workpiece according to a fourth embodiment.
(B) is a side view of the vicinity of the connection between the flange cover and the support member as seen from the blade side.
FIG. 10 is a front view of a dicing apparatus showing a dressing state according to a fourth embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 8 ... Work, 10, 80, 90, 100 ... Dicing apparatus, 16 ... Blade, 18 ... Flange cover, 22 ... Spring, 24 ... Hinge, 28 ... Rotary actuator, 30 ... Cylindrical dress, 36 ... Support member, 38 ... Rotary Actuator, 39 ... Roof, 40 ... Rotary actuator, 42 ... Z-axis fixed column, 44 ... Flat dress, 46 ... Support member, 48 ... Shaft bar, 49 ... Slot, 50 ... Spindle, 52 ... Support bar, 54 ... Drive motor, 55 ... leaf spring, 63 ... rotating part, 82 ... cam wheel, 84 ... cam shaft

Claims

In a cover that covers the rotary blade of a dicing machine that has a spindle with a rotary blade that processes a workpiece at the tip, and rotates the rotary blade at a high speed to process the workpiece into a predetermined shape,
Dressing means comprising a dressing member and a supporting member for supporting the dressing member is attached to the cover so as to pivot with respect to the cover on an axis parallel to the rotation axis of the rotary blade. The dressing member is separated from the rotary blade by moving in a direction in which the rotary blade comes into contact with and away from the rotary blade, and at the time of cutting, the cover is lowered together with the rotary blade to release the support member from the fixed member. The workpiece is machined at a raised position, and when dressing, the cover is lifted along the Z-axis together with the rotary blade to bring the support member into contact with the fixed member, thereby making the dress member an abbreviation of the rotary blade. A cover for a dicing apparatus, wherein the rotary blade is dressed so as to be positioned near a tangent line.

The dicing apparatus cover according to claim 1, wherein the dress member has a cylindrical shape and is capable of rotating Θ with respect to the support member about the cylindrical axis as a rotation axis.

The dicing apparatus cover according to claim 1, wherein the dress member is formed of a plate-like body and is movable in an axial direction parallel to a rotation axis of the rotary blade.