JP3921562B2 - 特に指紋を採取するための容量型距離センサ - Google Patents

特に指紋を採取するための容量型距離センサ Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、容量型距離センサに関し、特に微小距離(ミクロンないしミリメートル程度)センサに関する。
【0002】
【従来の技術】
微小距離センサは、特に、圧力センサ、近接センサ、粗さセンサ、機械的応力センサ、加速度センサとして、例えば集積マイクロフォン技術において、または指紋の採取のために使用される。
【0003】
特に指紋を採取する(ここでは、本発明の好適な応用例として言及する)従来のセンサは種々のタイプがあり、例えば、光学タイプ、圧電タイプ、可変コンダクタンスタイプ、熱タイプ、超音波タイプ、および容量型タイプのものがある。そのうち、精度、サイズ、製造、コストの面で最も信頼できるものは容量型センサである。
【0004】
容量型センサは、2つのアーマチャ(電機子)間のキャパシタンスがそれらの間の距離に反比例するという原理に基づいており、接触する皮膚組織そのものを、センサのキャパシタの第2アーマチャとして用いて、そのキャパシタンスを測定することにより、指紋の隆線と溝の位置を決定することができる。これは Knappの米国特許 US-A-5,325,442 号において採用された原理であり、その特許は、それぞれが感知電極からなる基本セルのアレイと電子スイッチング装置とを含むセンサに関するものである。電極はパッシベーション酸化物や高分子化合物等の誘電体で被覆されており、その上に表皮を接触させる。セルが選択されると所定の電位の変動が電極に印加され、端子において適切な電荷の変動が誘発され(その大きさは電極のキャパシタンスに依存する)、装置の出力に接続された増幅エレメントにより読み取られる。前記特許は、効率改善のため、皮膚組織を適切にバイアスするよう基準電位に接続された表面グリッドを示唆している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
前記の従来の容量型センサにおいて、キャパシタのアーマチャ間のキャパシタンスがそれらの間の距離に反比例に変化するので、得られたデータの正規化の問題が存在する。特に、当該応用例のように測定されるキャパシタンスが非常に小さい場合、電荷の検出において、またはSN比の低い場合に生成される画像の異なるグレーレベルに対応する種々の中間電荷レベルの識別において非常に困難である。
【0006】
そこで、本発明の目的は、従来の技術に係る典型的な欠点を克服するよう設計されたセンサを提供することにある。
【0007】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記の通りである。
【0009】
すなわち、本発明の容量型距離センサは、第2のアーマチャ(18)に面して配置された第1のアーマチャ(23)とされる容量性エレメント(33,34)を含む容量型距離センサであって、前記第1および第2のアーマチャは測定すべき距離(d)を定義し、増幅手段(13)が入力(16)および出力(17)を定義することを特徴とし、更に、前記容量性エレメント(33,34)が、前記増幅手段の前記入力と前記出力との間に接続され、負のフィードバック分岐を形成することを特徴とするものである。
【0010】
実際、本発明によれば、検出キャパシタ(キャパシタのアーマチャ間の距離が測定される)は負のフィードバック(負帰還)ループに配置され、出力電圧のアーマチャ間の距離への依存が、分母と分子の間で反転する。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な(しかし限定を意図したものではない)実施形態を添付図面を参照して例示として説明する。
【0012】
図1に示されたものはセンサ装置1であり、好ましくは1個の集積チップ上に集積されたものであり、アレイ3を形成するよう配列された多くのセル2を含み、セルの各々は基本センサを構成する。
【0013】
センサ装置1はまた、所定の走査パターンに従い1度に1個のセル2をイネーブルとするため、水平走査段5と垂直走査段6とを含む。好ましくはセルの読み取りのため、走査段5および6はセルの出力をシーケンシャルにイネーブルとし、また、シフトレジスタあるいはデコーダを有するものである。
【0014】
センサ装置1はまた、電源・論理段7を含み、それが装置の構成要素(セル2を含む)に電源を供給し、必要とされる基準電圧を供給し、準備されたステップのシーケンスを制御する(後に詳細に説明する)。特に、図1は、基準電圧の変動ΔVR を生成する電圧源12を示す。また、すべてのセル2の出力にバッファ8が接続され、走査段5,6によりイネーブルとされたセル2の出力に存在する信号を本装置の出力10に提供するようになっている。
【0015】
図2に示されるように、各々のセル2は、ゲイン(利得)Aの低電力反転増幅器13と、面積が等しい2つのアーマチャ23,24と、リセットスイッチ19と、入力キャパシタ20とを有する。反転増幅器13は入力電圧Vi の入力16と出力電圧Vo の出力17とを有し、その出力がセル2の出力となる。2つのアーマチャは指紋が付けられる皮膚の表面18に面して配置されている。リセットスイッチ19は反転増幅器13の入力16と出力17との間に接続される。入力キャパシタ20はセル2の入力21と反転増幅器13の入力16との間に接続される。
【0016】
詳細に述べれば、アーマチャ23および24はそれぞれ反転増幅器13の出力17と入力16に接続され、センサ装置1のセル2のアレイ3の部分の表面を覆う誘電体層により覆われる。従って、使用に際し、皮膚表面18が、アーマチャ23,24に面する第2のアーマチャを形成し、それらと一緒に、反転増幅器13の入力16と出力17との間に接続された1対の直列キャパシタフィードバックを定義するので、皮膚の表面を定電圧にバイアスする接触グリッドを必要としない。
【0017】
スイッチ19は従来の任意の技術を用いて形成された制御スイッチ(例えば、MOSスイッチ)であり、電源・論理段7から制御信号Rを受取る。セルの入力21も電源・論理段7に接続され、以下に説明するように、電圧信号ΔVR を受取る。
【0018】
指紋を採取するため、皮膚の表面18がセンサ装置1のアレイ3の部分の表面上に置かれ、すべてのセルの反転増幅器13のフィードバックループを形成する1対のキャパシタを形成する。測定の開始時点において、すべてのセルのスイッチ19は閉じており、入力21における電圧レベルは一定であり、従って、すべてのセル2の入力電圧Vi は出力と同じ電位Vo とされ、反転増幅器13の高利得点において電源とアースとの間の電圧になる。
【0019】
その後、電源・論理段7がすべてのスイッチ18をパラレルに開き、すべての入力21に電圧の階段状変化ΔVR'を提供し、それにより、入力キャパシタ20の端子において電荷の変動ΔQ=Ci *ΔVR (ここでCi は入力キャパシタ20のキャパシタンスである)が誘導され、以下に説明するように、アーマチャ23,24とそれらに面する皮膚の表面との間の局所的な距離dの読み取りが可能となる。明らかに、局所的な距離dは、測定されている点が、溝であるか、隆線であるか、あるいはそれら2つの間の点であるかに応じて変化する。
【0020】
次に、走査段5,6は、セル2の読み取りをシーケンシャルにイネーブルとし、バッファ8の出力10における電圧信号がシステムに供給され、距離が従来の仕方でグレーレベルにより表され、皮膚表面の3次元表示を実現する。
【0021】
次に、各セル2のアーマチャ23,24と皮膚表面18により形成されるアーマチャとの間の局所的な距離dが検出される方法について、図3の等価電気回路図を参照しながら説明する。
【0022】
図3には、反転増幅器13の等価な入力キャパシタ30および出力キャパシタ31と、アーマチャにおける電圧変動に対応する電荷の流れの方向(矢印により示される)と、アーマチャ23,24と皮膚の表面18とにより形成されるキャパシタ33,34とが示されている。
【0023】
Cl は反転増幅器13の等価な入力キャパシタンス(入力キャパシタ30のキャパシタンス)であり、Cr は直列なキャパシタ33および34の全キャパシタンスであり、Aは反転増幅器13のゲインであり、ΔQは電圧の階段状変化ΔVR により入力キャパシタ30に誘導される電荷の変動であり、ΔQi は階段状変化ΔVR の結果として等価な入力キャパシタ30に格納される電荷の変動であり、ΔQr はキャパシタ33,34の直列な接続により形成されるフィードバック分岐における電荷の変動であり、ΔVi は反転増幅器13の入力16における電圧の階段状変化であり、ΔVo は出力17における対応する電圧変動(−AΔVi に等しい)であり、Sはキャパシタ33,34の各アーマチャ23,24の表面であり、εo は電気定数(当該応用例では、皮膚と絶縁層25との間の平均距離として見え、溝においては通常60μmであり、通常2μmである絶縁層25の厚さより大きい)であり、dはアーマチャ23,24と皮膚表面18との局所的な距離(セル2のサイズが非常に小さいことを考慮すると両方のアーマチャ23,24に対してほぼ同一であり、通常約45μmである)であるとすれば、全フィードバックキャパシタンスCr は次の式で与えられる。
【0024】
Figure 0003921562
A>>1であると仮定すると、(式3)は次のようになる。
【0025】
ΔVo =d(2ΔQ/Sεo ) (式4)
その結果、容量性結合により実現される負帰還(負のフィードバック)と皮膚組織を介する反転増幅器13の入力により、電荷の階段状変化の結果としての出力電圧の変動は、アーマチャ23,24と皮膚表面との間の距離に正比例し、その距離は皮膚の3次元構造に依存している。
【0026】
増幅レベルが適切であれば(例えば、1000〜2000)、10fF程度のキャパシタンスの差(すなわち、μmの距離)を検出することが可能である。従って、本発明の装置の出力信号は、グレーレベルに変換すると、皮膚表面の3次元構造を高い信頼性で表現することができる。
【0027】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0028】
特に、弾性構造の形成を可能とする製造技術(マイクロマシン技術)が利用できるのであれば、その間の距離が測定される電極を反転増幅器13の入力あるいは出力に直接に接続して、アーマチャ23,24の1つを除くことができる。
【0029】
更に、すべての構成要素は技術的な等価物と置き換えることができる。例えば、反転増幅器13のようなインバータが現在のところ設計上、またはレイアウト上の理由で好ましいが、反転増幅器13は、電荷増幅器の構成において、任意の反転あるいは差動増幅器(例えば、演算増幅器)により実現し、出力信号の速度を高めることができる。
【0030】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
【0031】
すなわち、出力信号の複雑な処理を全く必要としないで、高度な精度を提供し、現在のマイクロエレクトロニクス技術を用いて容易に製造し、集積することができ、非常に信頼性が高く、コンパクトで、安く製造することができる。
【0032】
また、微小距離の正確な検出が必要な他の応用例に用いることができる。
【0033】
更に、各セルの設計が単純であるため、2次元の物理量を検出するため多くのセルをアレイ構造に収容することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】指紋を採取するセンサ装置を示す図である。
【図2】図1の装置のセルの詳細を示す図である。
【図3】図2のセルと電気的に等価な回路を示す図である。
【符号の説明】
1 センサ装置
2 セル
3 アレイ
5 水平走査段
6 垂直走査段
7 電源・論理段
8 バッファ
10 出力
12 電圧源
13 反転増幅器
16 入力
17 出力
18 皮膚表面
19 リセットスイッチ
20 入力キャパシタ
21 入力
23,24 アーマチャ
25 絶縁層
30 入力キャパシタ
31 出力キャパシタ
33,34 キャパシタ

Claims (16)

  1. 第2のアーマチャ(18)に面して配置された第1のアーマチャ(23)として定義される容量性エレメント(33,34)を含み、前記第1および第2のアーマチャは測定すべき距離(d)を定義する容量型距離センサであって、
    増幅手段(13)が入力(16)および出力(17)を定義し、
    前記容量性エレメント(33,34)が、前記増幅手段の前記入力と前記出力との間に接続され、負のフィードバック分岐を形成することを特徴とする容量型距離センサ。
  2. 請求項1記載の容量型距離センサであって、前記増幅手段が反転増幅器(13)を含むことを特徴とする容量型距離センサ。
  3. 請求項1および2のいずれか1項に記載の容量型距離センサであって、
    前記容量性エレメント(33,34)が前記第2のアーマチャ(18)に面して配置された第3のアーマチャ(24)を含み、
    前記第1のアーマチャ(23)は前記増幅手段(13)の前記出力(17)に接続されており、
    前記第3のアーマチャ(24)は前記増幅手段(13)の前記入力(16)に接続されていることを特徴とする容量型距離センサ。
  4. 請求項1ないし3のいずれか1項に記載の容量型距離センサであって、前記第1のアーマチャ(23)に接触する絶縁物の層(25)を有することを特徴とする容量型距離センサ。
  5. 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の容量型距離センサであって、電荷の変動を生成するよう前記増幅手段(13)の前記入力(16)に接続された論理手段(7,20)と、前記増幅手段の前記出力(17)において電圧の階段状変化を検出する出力検出手段とを有することを特徴とする容量型距離センサ。
  6. 請求項5記載の容量型距離センサであって、前記論理手段が、電圧の階段状変化を生成する基準電圧源(12)と、該電圧源と前記増幅手段(13)の前記入力(16)との間に挿入された容量性エレメント(20)とを有することを特徴とする容量型距離センサ。
  7. 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の容量型距離センサであって、前記増幅手段(13)の前記入力(16)と前記出力(17)との間に接続されたスイッチングエレメント(19)を有することを特徴とする容量型距離センサ。
  8. 入力イネーブル手段(5,6)と出力線とに接続された距離検出セル(2)のアレイ(3)を有するセンサ装置であって、
    前記セル(2)の各々が、請求項1ないし4のいずれか1項あるいは複数の項に記載された容量型距離センサを有することを特徴とするセンサ装置。
  9. 請求項8記載のセンサ装置であって、
    前記増幅手段(13)の前記入力(16)に接続されて、該入力に電荷の変動を提供する論理手段(7,20)と、
    前記増幅手段の前記出力(17)において、電圧の階段状変化を検出する出力検出手段(8)とを有することを特徴とするセンサ装置。
  10. 請求項9記載のセンサ装置であって、
    前記論理手段が、基準電圧源手段(12)と複数の容量性エレメント(20)とを有し、
    前記距離検出セル(2)の各々が、前記電圧源手段(12)に接続され、かつ、前記容量性エレメント(20)を介してそれぞれの前記増幅手段(13)の前記入力(16)に接続された、それぞれの入力(21)を備えていることを特徴とするセンサ装置。
  11. 請求項10記載のセンサ装置であって、
    前記イネーブル手段が水平走査手段(5)と垂直走査手段(6)とを有し、
    前記出力線が出力バッファエレメント(8)に接続されていることを特徴とするセンサ装置。
  12. 請求項11記載のセンサ装置であって、
    前記電圧源手段(12)が前記距離検出セル(2)にパラレルに供給される基準電圧の階段状変化を生成する手段を有し、
    前記水平および垂直走査手段(5,6)が前記距離検出セル(2)をシーケンシャルにイネーブルとするための手段を有することを特徴とするセンサ装置。
  13. 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の容量型距離センサ(33,34)の第1のアーマチャ(23)と第2のアーマチャ(13)との間の距離を検出する方法であって、
    前記第1のアーマチャ(23)を増幅手段(13)の第1の端子(17)に接続し、前記第2のアーマチャ(18)を前記増幅手段の第2の端子(16)に接続することにより、前記増幅手段の容量性の負のフィードバック分岐を形成するステップと、
    前記増幅手段の入力(16)に電荷の変動を印加するステップと、
    前記増幅手段の出力(17)における電圧の階段状変化を検出するステップとを含み、
    前記電圧の階段状変化は前記第1および第2のアーマチャの間の距離に正比例するものであることを特徴とする距離を検出する方法。
  14. 請求項13記載の距離を検出する方法であって、電荷の変動を印加する前記ステップが、
    第1の基準電圧を容量性エレメント(20)に印加するステップと、
    前記第1の基準電圧とは異なる別の第2の基準電圧を、急激な変動として、印加するステップとを含むことを特徴とする距離を検出する方法。
  15. 請求項14記載の距離を検出する方法であって、電荷の変動を印加する前記ステップに先行して、初期化ステップを含み、
    該初期化ステップが、前記増幅手段(13)の前記入力(16)および前記出力(17)の間に接続されたリセットスイッチ(19)を閉じるステップと、前記リセットスイッチを開くステップとを含むことを特徴とする距離を検出する方法。
  16. 容量型センサ装置(1)を有する指紋検出装置であって、前記容量型センサ装置が請求項8ないし12のいずれか1項あるいはそれ以上の項に記載されたように形成されていることを特徴とする指紋検出装置。
JP02764697A 1996-02-14 1997-02-12 特に指紋を採取するための容量型距離センサ Expired - Lifetime JP3921562B2 (ja)

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