JP4440603B2 - 容量検出回路及び検出方法並びにそれを用いた指紋センサ - Google Patents
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Description
上記容量検出回路は、行単位に配設された複数の微少容量(センサ素子)において、各微少容量に対してチャージアンプ回路により充電/放電を行い、1行内で隣接する微少容量の差動検出を行っている。
そして、この差動検出処理を行う測定技術は、列配線と行配線とが交差し、マトリクス状にセンサ素子が配設されたセンサにおける容量検出回路に応用することが可能であり、隣接する行配線各々の測定信号を、差動増幅回路の非反転入力端子及び反転入力端子に各々入力させ、列配線の駆動パルスに対応した電荷の充電/放電の差動成分を検出することにより、行配線間のクロストークによるノイズを低減させることが期待できる。
このため、従来の容量検出回路は、測定対象に対する基準がないため、隣接する検出線の容量によって、検出信号のレベルが決定され、行単位においてさえも均一な検出処理が行えないため、完全に検出線相互の影響をなくすことができず、センサ素子の容量検出の分解能を低下させてしまうという問題を有している。
また、従来の容量検出回路は、差動増幅回路においてセンサ部や検出信号を導入する各行毎に設けられたスイッチのフィールドスルーの影響をある程度低減することが可能であるが、配線の引き回しや、入力のセレクタ部の寄生抵抗及び寄生容量のばらつきの影響などを完全に除去することが困難である。
したがって、従来の容量検出回路は、エリアセンサなどの2次元的なセンサの全面に渡って、均一に高精度な測定結果を得ることができないという欠点がある。
この構成により、本発明の容量検出回路は、基準容量を用い、駆動された列配線と行配線とが交差した交差部(センサ素子)の容量変化を、基準容量を用い、所定の演算により、行配線(検出線)毎の測定データとして算出されるので、検出線毎の容量の違い、配線の引き回しや、入力のセレクタ部の寄生抵抗及び寄生容量のばらつきの影響を除去することができ、かつ検出線の検出信号に重畳するノイズを除去することが可能となる。
本発明の容量検出回路は、前記行配線選択手段が、第2の検出期間以降において、前記第1の検出期間内で選択された第1及び第2の行配線に連続して、順次、隣接する行配線を、それぞれ第1及び第2の行配線として選択する。
この構成により、本発明の容量検出回路は、本発明の容量検出回路は、基準容量を用い、駆動された列配線と行配線とが交差した交差部(センサ素子)の容量変化の測定において、基準容量と、この基準容量に隣接する行配線との測定電圧の差分値を差動増幅器により求め、以降、第1の行配線と、この第1の行配線に隣接する第2の行配線との測定電圧の差分値を求め、…と隣接する行配線間の測定電圧の差分値を時系列に求め、これらを順次累積加算していくことにより、基準容量に対応する電圧値と、累積加算毎の加算電圧値とから、簡単な演算処理により各行配線に対応する測定電圧を容易に得ることができ、加えて、検出線の検出信号に重畳するノイズを除去することが可能となる。
この構成により、本発明の容量検出回路は、隣接する行配線間における測定データの差分値の累積加算が、列配線グループの範囲内に抑えられるため、差分値に含まれる検出誤差などの累積値が削減され、より高い精度で交差部の容量の測定が行うことができる。
この構成により、本発明の容量検出回路は、列配線を駆動する駆動パルスの立ち上がり及び立ち下がりにおける測定電圧の差動演算により、差動増幅回路のみでは除去できない種々のオフセットやばらつき要因を排除することが可能となり、高い精度の容量の検出が行える。
この構成により、本発明の容量検出回路は、上述したように、列配線と行配線とが交差した微少な容量変化に対して、駆動された列配線と、マトリクス内の他の行配線との交差部の合計を基準容量として用いるため、この基準容量をノイズ検出手段として利用し、行配線の検出信号を補正することにより、人体などから伝搬する外来ノイズの影響を効果的に削減することができる。
この構成により、本発明の容量検出回路は、マトリクス内の他の行配線との交差部の合計を基準容量として用いるため、この基準容量の大きさやノイズ成分のレベルを、検出対象の交差部の容量値に対応する値にあわせるとにより、クロストーク等による各行配線の信号に重畳するノイズの除去の精度を向上させることができる。
センサ部1は、列配線群2の複数の列配線と、行配線群3の複数の行配線とがマトリクス状に交差し、各々の交差部がセンサ素子(図4のセンサ素子55)を形成している。
図2(a)は、センサ部1の平面図、図2(b)は断面図である。図2(a)に示すように、例えば、50μmピッチで配列された列配線群2の各列配線と、行配線群3の各行配線とが、交差している。図2(b)に示すように、基板50の上に複数の行配線よりなる行配線群3が配置され、その表面上に絶縁膜51が積層され、絶縁膜51の表面上に空隙52だけ間隔がおかれてフィルム54が配置され、フィルム54の下面に複数の列配線からなる列配線群2が取付けられている。この行配線群3の行配線と列配線群2の列配線との交差部において、空隙52と絶縁膜51を介在して所定の容量を有する容量素子としてセンサ素子が形成される。
また、図4は、センサ部1の列配線および行配線間の容量素子(センサ素子)のマトリクスを示す概念図である。
センサ部1は、マトリクス状のセンサ素子55,55・・・から構成され、列配線駆動部4と容量検出回路100とが、各々列配線,行配線を介して接続されている。すなわち、列配線駆動部4に制御される列配線群2と、行配線セレクタ5に入力される行配線群3とが交差し、交差部がセンサ素子55を形成している。
容量検出回路100は、差動検出回路6,サンプルホールド回路7,行配線セレクタ回路5,A/D変換器8,復号演算回路10及びタイミング制御回路9を有している。
以下、容量検出回路100の説明を行う。
行配線セレクタ回路5は、行配線群3から2本の行配線を選択し、選択した行配線各々を、差動検出回路6の非反転入力端子と反転入力端子とに接続する。
サンプルホールド回路7は、サンプルホールド(S/H)信号が入力されることにより、このサンプルホールド信号に同期して、差動検出回路6からの差動信号の電圧レベルを電圧情報として一時的に保持する。
A/D変換器8は、演算制御回路10から入力されるA/Dクロックに同期して、サンプルホールド回路7が保持して出力している電圧レベルを、デジタル値に変換し、上記演算制御回路10へ出力する。
また、図5における基準容量R0は、正確な容量値Crefが判明しており、交差部の容量の測定の基準となる容量負荷であり、例えば、行配線に近い値(同様な値)に設定されている。
行配線セレクタ回路5は、基準容量R0に接続されたスイッチSW0と、行配線群3における行配線R1,R2,R3,R4,…各々に対応したスイッチSW1,SW2,SW3,SW4,…を有している。出力端子S1は差動検出回路6の負入力端子IN(−)に接続され、出力端子S2は差動検出回路6の正入力端子IN(+)に接続されている。
また、スイッチSW1,SW2,SW3,SW4,…各々は、それぞれ行配線R1,R2,R3,R4,…を、フローティング状態とするか、または出力端子S1と接続するか、あるいは出力単位S2と接続するかの切り替え(スイッチング)を行う。
タイミング制御回路9は、行配線群3の行配線から隣接する2つの行配線を順次選択(測定する行配線の対として選択)し、スイッチSW0,SW1,SW2,SW3,SW4,…各々を、出力端子S1または出力端子S2のいずれかに、時系列に接続する切り替え信号を、行配線セレクタ回路5へ出力する。
差動増幅回路6は差動増幅器121,122,123が設けられており、入力端子IN(−)及びIN(+)から入力される、交差部の容量に対応して流れる各々電流を電圧に変換して、この電圧の差分値を出力する。
ここで、差動増幅器121の反転入力端子は入力端子IN(−)に接続され、差動増幅器122の反転入力端子は入力端子IN(+)に接続され、差動増幅器121及び122の非反転入力端子には所定の基準電位が供給されている。
同様に、差動増幅器122は、入力端子IN(+)から入力される電流を電圧に変換するものであり、反転入力端子と出力端子の間に接続された帰還容量127と、この帰還容量127の電荷を放電させるためのアナログスイッチ126とが並列に接続されている。ここで、容量125と容量127とは、同様の容量値Cfを有している。
また、差動増幅器123は、非反転入力端子が抵抗130を介して基準電位に接続されており、反転入力端子が抵抗131を介して出力端子に接続されている。これにより、差動増幅器123は、抵抗128,129,130,131により設定された増幅度により、差動増幅器121と差動増幅器122との出力電圧の差分値の増幅を行う。
復号演算回路10が外部から容量検出の開始、すなわち指紋センサ(センサ部1)での指紋の採取を行う信号が入力されたとする。
これにより、復号演算回路10は、タイミング制御回路9に対して、検出開始を指示する開始信号を出力する。次に、タイミング制御回路9は、行配線セレクタ回路5に、順次、切り替え信号を出力する。
そして、行配線セレクタ回路5は、時系列に入力される上記切り替え信号により、順次、内部各スイッチの切り替えを行う(各時刻から開始される測定に対応させる)。
これにより、行配線セレクタ回路5は、スイッチSW0により基準容量R0を出力端子S1に接続し、スイッチSW1により行配線R1を出力端子S2へ接続し、他のスイッチSW3,SW4,…をフローティング状態とする。
そして、タイミング制御回路9は、差動検出回路6及び列配線駆動部4に対してリセットを供給し、この差動増幅回路6と列配線駆動部4とを初期化し、基準容量R0及び行配線R1の電位を等しくし、列配線駆動部4がクロックの入力に同期して、列配線群2における列配線C1に駆動パルスを出力するよう初期設定を行う。ここで、図示しないが、列配線群2は、列配線C1,C2,…の複数の列配線から構成され、測定において順次選択されて駆動パルスが出力される。
これにより、列配線駆動部4は、列配線群2における列配線C1に対して、上記クロックに同期して、駆動パルスを出力する。
そして、差動増幅回路6は、印加された上記駆動パルスの電圧レベルにより、基準容量R0と、列配線C1及び行配線R1との交差部との各々の容量に対応して、入力端子IN(−)及びIN(+)に流れる電流を電圧に変換して、これらの差分値をとり、測定電圧として出力する。
これにより、サンプルホールド回路7は、入力される上記サンプルホールド信号に同期して、差動増幅回路6の出力している電圧レベルを一時的に保持し(電圧情報として記憶し)、この電圧レベルと同一の電圧レベルの信号を、A/D変換器8に対して出力する。
そして、列配線駆動部4は、サンプルホールド信号に同期して、駆動パルスの出力を停止する(Lレベルに立ち下げ)。
次に、タイミング制御回路9は、サンプルホールド信号を出力し、所定の時間が過した後、演算制御回路10に変換信号を出力する。
これにより、A/D変換器8は、上記A/Dクロックに同期して、サンプルホールド回路7から入力されている電圧レベルを、デジタルデータの測定データに変換し、この測定データを演算制御回路10へ出力する。
このときの測定データは、
d1=V1−Vref+Vofs
である。ここで、V1は入力端子IN(+)に入力される行配線R1に流れる電流を電圧に変換した値であり、Vrefは基準容量に流れる電流を電圧に変換した値であり、Vofs出力データを符号ビットなしの8ビット値(ビット数は任意)で表すためのオフセット値である。
これにより、行配線セレクタ回路5は、スイッチSW1により、行配線R1を出力端子S1に接続し、スイッチSW2により、行配線R2を出力端子S2へ接続し、その他のスイッチSW0,SW3,SW4,…をフローティング状態とする。
そして、タイミング制御回路9は、差動検出回路6に対してリセットを供給し、この差動増幅回路6を初期化し、行配線R1,R2の電位を等しくする。
これにより、列配線駆動部4は、列配線群2における列配線C1に対して、上記クロックに同期して、駆動パルスを出力する。
そして、差動増幅回路6は、印加された上記駆動パルスの電圧レベルにより、列配線C1及び行配線R1との交差部と、列配線C1及び行配線R2との交差部との各々の容量に対応して、入力端子IN(−)及びIN(+)に流れる電流を電圧に変換して、これらの差分値をとり、測定電圧として出力する。
これにより、サンプルホールド回路7は、入力される上記サンプルホールド信号に同期して、差動増幅回路6の出力している電圧レベルを一時的に保持し、この電圧レベルと同一の電圧レベルの信号を、A/D変換器8に対して出力する。
そして、列配線駆動部4は、サンプルホールド信号に同期して、駆動パルスの出力を停止する。
次に、タイミング制御回路9は、サンプルホールド信号を出力し、所定の時間が経過した後、演算制御回路10に変換信号を出力する。
これにより、A/D変換器8は、上記A/Dクロックに同期して、サンプルホールド回路7から入力されている電圧レベルを、デジタルデータの測定データに変換し、この測定データを演算制御回路10へ出力する。
このときの測定データは、
d2=V2−V1+Vofs
である。ここで、V2は入力端子IN(+)に入力される行配線R2に流れる電流を電圧に変換した値である。
これにより、行配線セレクタ回路5は、スイッチSW2により、行配線R2を出力端子S1に接続し、スイッチSW3により、行配線R3を出力端子S2へ接続し、その他のスイッチSW0,SW1,SW4,…をフローティング状態とする。
そして、タイミング制御回路9は、差動検出回路6に対してリセットを供給し、この差動増幅回路6を初期化し、行配線R2,R3の電位を等しくする。
そして、A/D変換器8は、上記A/Dクロックに同期して、サンプルホールド回路7から入力されている電圧レベルを、デジタルデータの測定データに変換し、この測定データを演算制御回路10へ出力する。
このときの測定データは、
d3=V3−V2+Vofs
である。ここで、V3は入力端子IN(+)に入力される行配線R3に流れる電流を電圧に変換した値である。
これにより、演算制御回路10には、列配線C1と、行配線R1〜Rnとにおける各交差部の容量に対応した測定データd1〜dnが、列配線C1に対応して記憶されている。
ここで、行配線セレクタ回路5は、基準容量R0,行配線R1〜Rnにおける隣接する行配線対の形成が全て終了すると、すなわち、行配線Rn-1と行配線Rnとの行配線対の形成時にタイミング制御回路9に対して、行配線対終了を示す信号を出力する。
これにより、タイミング制御回路9は、次にクロックが入力されると、このクロックに同期して、行配線群3における行配線対の組み合わせを変更しつつ、列配線C1を駆動したときと同様に、列配線C2に対して駆動パルスを出力し、列配線C1と各行配線との交差部の容量測定を行う。
このように、演算制御回路10は、列配線群2における全ての列配線に渡り、順次、列配線を駆動することで、基準容量及び行配線群3における行配線対での容量測定が終了すると、得られた測定データから、各交差部の容量に対応した電圧データを求める演算を行う。
例えば、列配線C1における各行配線との交差部の容量に対応する演算を行う。
演算制御回路10は、基準容量Crefに対応した電圧データをdr(すなわちVref)とし、列配線C1と行配線R1との交差部の容量に対応する測定データをd1(時刻t1における測定データ、すなわち時刻t1から開始される測定での測定データ)とし、求めるこの交差部の電圧データをds1とすると、電圧データds1は
ds1=d1+dr=V1−Vref+Vofs+Vref=V1+Vofs
ds2=d2+ds1=V2−V1+V1+Vofs=V2+Vofs
ds3=d3+ds2=V3−V2+V2+Vofs=V3+Vofs
と、順次、測定データを累積加算することにより、各交差部の容量に対応した電圧値を得ることができる。
すなわち、上述した駆動パルスの立ち上がりのみ用いた測定においては、図7に示すように、出力OUTが基準電位から下降する場合も、上昇する場合も、アナログスイッチ124(または126)のフィードスルー電流によるオフセットVkが+方向に発生する。図7は、差動増幅器121(または122)の動作を示す波形図である。この実施形態のように、検出対象の交差部の容量値が数十から数百フェムトファラッドの場合はこのフィードスルーによるオフセットを無視できない。
−Vuref0=−Vuref+Vka
が検出対象の交差部の容量値に比例する電圧となるが、測定される電圧はVurefであり、この電圧Vurefにはオフセットによる誤差Vkが含まれてしまう。
Vuref=Vuref0+Vka
そこで、この実施形態においては、検出対象容量Csの放電時の電圧Vd1も測定する。ここで、電圧Vd10が以下に示すように、
Vdref0=Vdref−Vka
が容量Csに比例する電圧であり、測定される電圧は
Vdref=Vdref0+Vka
となる。
−Vu10=−Vu1+Vkb
が検出対象の交差部の容量値に比例する電圧となるが、測定される電圧はVu1であり、この電圧Vu1にはオフセットによる誤差Vkが含まれてしまう。
Vu1=Vu10+Vkb
そこで、この実施形態においては、検出対象容量Csの放電時の電圧Vd1も測定する。ここで、電圧Vd10が以下に示すように、
Vd10=Vd1−Vkb
が容量Csに比例する電圧であり、測定される電圧は
Vd1=Vd10+Vkb
となる。
Vsu1=Vu1−Vuref+Vof
=Vu10+Vkb−(Vuref0+Vka)+Vof
=Vu10−Vuref0+Vkb−Vka+Vof
となる。VofはA/D変換器8におけるオフセット成分である。
同様に、差動検出回路6は、駆動パルスの立ち下がり時には、
Vsd1=Vd1−Vdref+Vof
=Vd10+Vkb−(Vdref0+Vka)+Vof
=Vd10−Vdref0+Vkb−Vka+Vof
と求められる。
そして、復号演算回路10において、
d1=dsd1−dsu1+Vofs
=(Vd10−Vdref0+Vkb−Vka+Vof)
−(Vu10−Vuref0+Vkb−Vka+Vof)+Vofs
=Vd10−Vu10−(Vdref0−Vuref0)+Vofs
となる演算を行い、これにより、フィードスルー電流によるオフセット誤差及びA/D変換器8における変換時のオフセットVofを含まない測定値測定データdを得ることができる(ここで、Vofsは、出力データを符号ビットなしの8ビット値(ビット数は任意)で満たすためのオフセット値)。
以降の各交差部の容量に対応した電圧データdsを求める処理は、すでに述べた累積加算を行う方法と同様である。
上述の説明において、容量検出回路100が、検出処理により得られた測定データを一時的に保持し、全ての列配線に渡り容量測定が終了した後に、センサ部1における各交差部の容量に対応させて電圧データを求める演算を行うように記述した。しかしながら、容量検出回路100が、得られた測定データを随時累積加算して、容量検出の動作と並行して(ほぼ同時に)電圧データを求める演算を行うようにしてもよい。
このため、行配列セレクタ51〜5M各々に、差動検出回路61,62,…,6M、及びサンプルホールド回路71〜7Mがそれぞれ対応している。
また、後段セレクタ回路11は、サンプルホールド回路71〜7Mのいずれの保持している電圧レベルをデジタルデータに変換(A/D変換)するかの切り替えを行う。
ここで、第2の実施形態においては、行配線セレクタ51〜5M毎に、第1の実施形態と同様な測定、すなわち、基準容量R0との行配線対間の電圧の差分値の測定、及び各行配線セレクタ内の隣接する行配線対間の差分値の測定が行われる。
タイミング制御回路9は、行配線セレクタ51〜5M各々の行配線対を設定するための切り替え信号だけでなく、各行配線セレクタに対応する行配線ブロックの全ての行配線における容量測定が終了した後、順次、次の行配線セレクタの行配線ブロックに切り替える切り替え信号を出力する。
ここで、第1の実施形態と同様に、容量検出回路100が、上述した処理により得られた測定データを一時的に保持し、全ての列配線に渡り容量測定が終了した後に、センサ部1における各交差部の容量に対応させて電圧データを求める演算を行っても良いし、また、容量検出回路100が、得られた測定データを随時累積加算して、容量検出の動作と並行して(ほぼ同時に)電圧データを求める演算を行うようにしてもよい。
また、上記構成により、差動検出回路61〜6Mの入力端子IN(+),IN(−)に入力される行配線数を、行配線ブロックとして再構成して削減したため、差動検出回路6の応答速度及び検出感度の向上が期待できる。
すなわち、スイッチSSW1〜SSW5,…各々は、タイミング制御回路1の制御により、それぞれ行配線R1〜R5,…に対応して設けられており、各行配線を出力端子S1またはS2のいずれかに接続する。
また、図6の差動検出回路6(第1の実施形態)と、図11の差動検出回路6A,初段C-V変換回路6B,6Cとは構成が同様であるが、差動増幅器121の帰還容量である容量150と差動増幅器122の帰還容量である容量127との容量値の関係が異なる。図11において、図6と同様の構成には同一の符号を付し、説明を省略する。
初段C-V変換回路6Bは図6の差動検出回路6の入力端子IN(−)に接続された変換回路に対応し、初段C-V変換回路6Cは図6の差動検出回路6の入力端子IN(+)に接続された変換回路に対応している。
Cfr≒(n−1)・Cf
と設定し、(n−1)本の電流の総和を取ることによる容量150の電圧の増加を、容量127の電圧レベルと同等の値に調整して、測定電圧の参照に用いる電圧に制御することができる。
復号演算回路10が外部から容量検出の開始、すなわち指紋センサ(センサ部1)での指紋の採取を行う信号が入力されたとする。
これにより、演算制御回路10は、タイミング制御回路9に対して、検出開始を指示する開始信号を出力する。次に、タイミング制御回路9は、行配線セレクタ回路5Aに、順次、切り替え信号を出力する。
そして、行配線セレクタ回路5Aは、時系列に入力される上記切り替え信号により、順次、内部各スイッチの切り替えを行う。
これにより、行配線セレクタ回路5Aは、測定対象の列配線R1をスイッチSSW1により出力端子S2へ接続し、参照容量として電流を加算する列配線R2〜R5を含む他の行配線を出力端子S1接続する。
そして、タイミング制御回路9は、初段C-V変換回路6B,6C及び列配線駆動部4に対してリセットを供給し、この初段C-V変換回路6B,6Cと列配線駆動部4とを初期化し、行配線R1〜R5,…の電位を等しくし、列配線駆動部4がクロックの入力に同期して、列配線C1に駆動パルスを出力するよう初期設定をを行う。
これにより、列配線駆動部4は、列配線群2における列配線C1に対して、上記クロックに同期して、駆動パルスを出力する。
そして、初段C-V変換回路6B,6C各々は、印加された上記駆動パルスの電圧レベルにより、列配線C1と行配線R1と、列配線C1及び行配線分3の行配線R1以外の行配線との交差部との各々の容量に対応して、入力端子IN(−)及びIN(+)に流れる電流を電圧に変換して、差動増幅回路6Aは、これらの差分値をとり、測定電圧として出力する。
これにより、サンプルホールド回路7は、入力される上記サンプルホールド信号に同期して、差動増幅回路6Aの出力している電圧レベルを一時的に保持し(電圧情報として記憶し)、この電圧レベルと同一の電圧レベルの信号を、A/D変換器8に対して出力する。
そして、列配線駆動部4は、サンプルホールド信号に同期して、駆動パルスの出力を停止する(Lレベルに立ち下げ)。
次に、タイミング制御回路9は、サンプルホールド信号を出力し、所定の時間が過した後、演算制御回路10に変換信号を出力する。
これにより、A/D変換器8は、上記A/Dクロックに同期して、サンプルホールド回路7から入力されている電圧レベルを、デジタルデータの測定データに変換し、この測定データを演算制御回路10へ出力する。
このときの測定データは、
d1=V1−Vr1+Vofs
である。ここで、V1は入力端子IN(+)に入力される行配線R1に流れる電流を電圧に変換した値であり、Vr1は行配線群3における行配線R1以外の行配線に流れる電流を電圧に変換した参照値であり、Vofsは出力データを符号ビットなしの8ビット値(ビット数は任意)で表すためのオフセット値である。
これにより、行配線セレクタ回路5Aは、スイッチSSW2により、行配線R2を出力端子S2に接続し、スイッチSSW1,SSW3〜SSW5,…各々により、列配線群3における行配線R2以外の行配線全てをを出力端子S1へ接続する。
そして、タイミング制御回路9は、初段C-V変換回路6B,6Cに対してリセットを供給し、この初段C-V変換回路6B,6Cを初期化し、行配線R1〜R5,…の電位を等しくする。
これにより、列配線駆動部4は、列配線群2における列配線C1に対して、上記クロックに同期して、駆動パルスを出力する。
そして、初段C-V変換回路6B,6C各々は、印加された上記駆動パルスの電圧レベルにより、列配線C1及び行配線R1との交差部と、列配線C1及び行配線R2との交差部との各々の容量に対応して、入力端子IN(−)及びIN(+)に流れる電流を電圧に変換して、差動検出回路6Aはこれらの差分値をとり、測定電圧として出力する。
これにより、サンプルホールド回路7は、入力される上記サンプルホールド信号に同期して、差動増幅回路6Aの出力している電圧レベルを一時的に保持し、この電圧レベルと同一の電圧レベルの信号を、A/D変換器8に対して出力する。
そして、列配線駆動部4は、サンプルホールド信号に同期して、駆動パルスの出力を停止する。
次に、タイミング制御回路9は、サンプルホールド信号を出力し、所定の時間が過した後、演算制御回路10に変換信号を出力する。
これにより、A/D変換器8は、上記A/Dクロックに同期して、サンプルホールド回路7から入力されている電圧レベルを、デジタルデータの測定データに変換し、この測定データを演算制御回路10へ出力する。
このときの測定データは、
d2=V2−Vr2+Vofs
である。ここで、V2は入力端子IN(+)に入力される行配線R2に流れる電流を電圧に変換した値であり、Vr2は行配線群3における行配線R2以外の行配線に流れる電流を電圧に交換した参照値である。
これにより、行配線セレクタ回路5Aは、スイッチSSW3により、行配線R3を出力端子S1に接続し、スイッチSSW1,SSW2,SSW4,SSW5,…各々により、行配線R1,R2,R4,R5,…それぞれを出力端子S2へ接続する。
そして、タイミング制御回路9は、初段C-V変換回路6B,6Cに対してリセットを供給し、初段C-V変換回路6B,6Cを初期化し、行配線R1〜R5,…の電位を等しくする。
そして、A/D変換器8は、上記A/Dクロックに同期して、サンプルホールド回路7から入力されている電圧レベルを、デジタルデータの測定データに変換し、この測定データを演算制御回路10へ出力する。
このときの測定データは、
d3=V3−Vr3+Vofs
である。ここで、V3は入力端子IN(+)に入力される行配線R3に流れる電流を電圧に変換した値であり、Vr3は、行配線群3における行配線R3以外の行配線に流れる電流を電圧に変換した参照値である。
これにより、演算制御回路10には、列配線C1と、行配線R1〜Rnとにおける各交差部の容量に対応した測定データd1〜dnが、列配線C1に対応して記憶される。
Vr(j)=k・(Cr(j)/Cfr)
を出力する。ここで、Crは行配線群3における行配線R(j)を除いた(n−1)本の行配線の交差部の容量の総和であり、kは増幅度である。Cr(j)は、数多くの交差部の容量が平均化されたものであり、概略一定値となることが期待される。したがって、上述の式により求められる参照電圧Vr(j)も概略一定値となる。
また、初段C-V変換回路6Cは、測定電圧Vsとして
Vs=k・(Cs/Cf)
を出力する。ここで、Csは測定対象の行配線の交差部の容量であり、kは増幅度である。
そして、差動検出回路6Aは、測定電圧Vsから参照電圧Vr(j)を減算して得られる差分電圧Voutを新たな測定電圧としてサンプルホールド回路7へ出力する。
しかしながら、第3の実施形態においては、測定データdiが行配線毎に独立しているため、第1及び第2の実施形態と異なり、累積加算による各行配線の交差部の容量の算出が必要ない。
例えば、各交差部の測定データdiから電圧データdsを求める場合、測定データが
di=Vi−Vr1+Vofs
であるため、電圧データは
ds=di+dr=Vi−Vr1+Vref+Vofs≒Vi+Vofs
として求められる。ここで、基準データdrは、予め測定され、設定されているVref電圧であり、参照電圧Vr1に概略同じ値になるように設定される(すなわち、Vr1≒Vref)。
すなわち、行配線群3の行配線R1〜RnがM分割され、行配列セレクタ回路5A1〜5AM各々は、それぞれ「n/M」本の列配線が行配線ブロックとして制御対象として対応づけられている。
このため、行配列セレクタ回路5A1〜5AM各々に、初段C-V変換回路6B1〜6BM,6C1〜6CM及び差動検出回路6A1〜6AMと、サンプルホールド回路71〜7Mとがそれぞれ対応するよう構成する。
また、後段セレクタ回路11は、サンプルホールド回路71〜7Mのいずれの保持している電圧レベルをデジタルデータに変換(A/D変換)するかの切り替えを行う。
以下の測定データを得る処理は第2の実施形態と同様であり、得られた測定データから各交差部の容量に対応する電圧データdsの算出方法はすでに述べた通りである。
2…列配線群
3…行配線群
4…列配線駆動部
5,5A…行配線セレクタ回路
6,6A…差動検出回路
6B,6C…初段I-V変換回路
7…サンプルホールド回路
8…A/D変換器
9…タイミング制御回路
10…演算制御回路
50…基板
51…絶縁膜
52…空隙
54…フィルム
100,200,300…容量検出回路
121,122,123…差動増幅器
Claims (9)
- 複数の列配線に対して行配線が交差され、列配線と行配線との交差部の容量変化を電圧値として検出する容量検出回路であり、
前記列配線を駆動させる列配線駆動手段と、
前記行配線は、基準容量が接続された行配線と、第1行の行配線〜第m(m≧2)行の行配線とからなり、前記基準容量が接続された行配線と前記第1行の行配線との行配線対から選択され、前記第(m−1)行の行配線と前記第m行の行配線との行配線対まで隣接する行配線対を順次選択して、前記選択した行配線対の2配線の前者を第1の行配線、後者を第2の行配線とする行配線選択手段と、
前記駆動された列配線の交差部の容量に対応して前記第1の行配線に流れる電流と、前記第2の行配線に流れる電流とに基づいて、前記交差部の容量を求める容量演算部とを有し、
前記容量演算部が、
前記第1及び第2の行配線に対応する各交差部の容量に対応する電流値を差動増幅し、差動電圧信号として出力する差動電圧出力手段と、
時系列に入力される前記差動電圧信号により、前記各交差部の容量に対応する電圧値を求める演算手段と
を有することを特徴とする容量検出回路。 - 前記行配線選択手段が、
第1の検出期間において、第1の行配線として前記基準容量が接続された配線と、第2の行配線として前記第1の行配線と隣接する行配線とを選択し、
第2の検出期間以降において、前記複数の行配線から隣接する行配線を、第1及び第2の行配線として選択し、
前記演算手段が時系列に入力される差電圧信号を累積的に加算演算して、前記各交差部の容量に対応する電圧値を求めることを特徴とする請求項1記載の容量検出回路。 - 前記行配線選択手段が、
第2の検出期間以降において、前記第1の検出期間内で選択された第1及び第2の行配線に連続して、順次、隣接する行配線を、それぞれ第1及び第2の行配線として選択することを特徴とする請求項2記載の容量検出回路。 - 前記複数の行配線が行配線群に分割されており、この行配線群毎に前記行配線選択手段及び差動電圧出力手段を有し、前記演算手段が前記行配線群毎に前記交差部の容量に対応する電圧値を求めることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の容量検出回路。
- 前記列配線駆動手段は、前記列配線へ、第1の電圧に立ち上がり次いで第2の電圧に立ち下がる信号を出力し、前記列配線が前記第1の電圧によって駆動された時、前記交差部の容量を充電する電流に対応する第3の電圧を測定し、前記列配線が前記第2の電圧によって駆動された時、前記交差部の容量を放電する電流に対応する第4の電圧を測定し、前記容量演算部が、前記第3の電圧と前記第4の電圧との差動演算を行うことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の容量検出回路。
- 複数の列配線に対して複数の行配線が交差され、列配線と行配線との交差部の容量変化を電圧値として検出する容量検出回路であり、
前記列配線を駆動させる列配線駆動手段と、
前記複数の行配線から、測定対象の交差部が接続された行配線を、所定の行配線として選択する行配線選択手段と、
基準容量に対応して流れる基準電流と、前記所定の行配線及び駆動された列配線の交差部の容量に対応して流れる電流とに基づいて、この交差部の容量を求める容量演算手段とを有し、
前記容量演算手段が、
前記交差部の容量に対応して流れる電流値を測定電圧値に変換して出力する行電圧出力手段と、
前記所定の行配線以外の他の行配線を選択する基準行配線選択手段と、
これらの他の行配線と、前記駆動された列配線との複数の交差部の合計容量を基準容量とし、この基準容量に対応して流れる電流値を基準電圧値に変換して出力する基準電圧生成手段と、
前記測定電圧値と前記基準電圧値との差動増幅を行い、前記交差部の容量に対応する電圧値を求める演算手段と
を有することを特徴とする容量検出回路。 - 前記基準電圧生成手段の増幅率が、前記他の行配線をn本とした場合、前記行電圧出力手段の増幅率に対し、概略1/(n−1)の増幅率に制御されていることを特徴とする請求項6に記載の容量検出回路。
- 請求項1から請求項7のいずれかに記載の容量検出回路を有することを特徴とする指紋センサ。
- 複数の列配線に対して行配線が交差され、列配線と行配線との交差部の容量変化を電圧値として検出する容量検出方法であり、
前記列配線を駆動させる列配線駆動過程と、
前記行配線は、基準容量が接続された行配線と、第1行の行配線〜第m(m≧2)行の行配線とからなり、前記基準容量が接続された行配線と前記第1行の行配線との行配線対から選択され、前記第(m−1)行の行配線と前記第m行の行配線との行配線対まで隣接する行配線対を順次選択して、前記選択した行配線対の2配線の前者を第1の行配線、後者を第2の行配線とする行配線選択過程と、
前記駆動された列配線の交差部の容量に対応して前記第1の行配線に流れる電流と、前記第2の行配線に流れる電流とに基づいて、前記交差部の容量を求める容量演算過程とを有し、
前記容量演算過程が、
前記第1及び第2の行配線に対応する各交差部の容量に対応する電流値を差動増幅し、差動電圧信号として出力する差動電圧出力過程と、
時系列に入力される前記差動電圧信号により、前記各交差部の容量に対応する電圧値を求める演算過程と
を有することを特徴とする容量検出方法。
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