JP3919792B2 - 電子放出素子、電子源、画像表示装置、及び、それらの製造方法 - Google Patents
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Description
基板1上に素子電極2,3を形成する。基板1としては、石英ガラス、Na等の不純物含有量を減少したガラス、青板ガラスやNa等の不純物含有量を減少したガラスにSiO2層やSiN層を積層した基板、アルミナ等のセラミックス及びSi基板等を用いることができる。
素子電極2,3を連絡する連続した導電性膜4を形成する。
素子電極2,3間にフォーミング電圧を印加して導電性膜4の一部を変形・変質させて間隙を形成し、電子放出部7を形成する。この工程をフォーミング工程という。
フォーミング工程後、活性化工程を行う。具体的には、炭素化合物ガスを含む雰囲気中にて、素子電極2,3間に両極性の電圧パルスを印加し、導電性膜4の間隙内及び導電性膜4上に炭素を主成分とするカーボン膜5を堆積させる。尚、当該工程においては、素子電極2と導電性膜4、及び、素子電極3と導電性膜4とがそれぞれ導電部材を形成しており、これら一対の導電部材間に両極性の電圧パルスを印加しているとも言える。
(1)駆動時の電圧パルスVdrvと同極性の電圧パルスV1の絶対値が、逆極性の電圧パルスV2の絶対値より大きい、或いは、
(2)駆動時の電圧パルスと逆極性の電圧パルスV2印加後、同極性の電圧パルスV1印加までの休止期間T2が、同極性の電圧パルスV1印加後、逆極性の電圧パルスV2印加までの休止期間T4よりも短い、のいずれかを満たしている。
基板1を洗剤、純水及び有機溶剤等を用いて十分に洗浄し、真空蒸着法やスパッタリング法とフォトリソグラフィー技術との組み合わせ、または印刷法等を用いて、素子電極2、3を形成する〔図6(a)〕。
素子電極2、3を設けた基板1上に、真空蒸着法やスパッタリング法とフォトリソグラフィー技術との組み合わせ、または印刷法等を用いて、金属などの導電性材料からなる列方向配線53を形成する〔図6(b)〕。
真空蒸着法やスパッタリング法とフォトリソグラフィー技術との組み合わせ、または印刷法等を用いて、酸化シリコン、酸化鉛等を主成分とする絶縁性材料からなる層間絶縁層54を形成する〔図6(c)〕。層間絶縁層54は、行方向配線52と列方向配線53の交差部を覆うように形成され、両配線間の電位差に耐え得るように、材料、膜厚、製法が適宜設定される。また、一方の素子電極2と行方向配線52との電気的接続をとるためのコンタクトホール55を形成する。
層間絶縁層54の上に、列方向配線53と同様にして、行方向配線52を形成する〔図6(d)〕。行方向配線52と列方向配線53は、電子放出素子の一対の素子電極2、3にそれぞれ電気的に接続される。
次に、素子電極2、3間に導電性膜4を形成する。〔図6(e)〕。導電性膜4の形成は、導電性膜4を構成する材料を、スパッタリング法、真空蒸着法、化学的気相堆積法等により成膜する方法や、導電性膜4を構成する材料を含む化合物溶液をディッピング法、スピンコート法や、インクジェット塗布方法などを用いて塗布する方法等により行うことができる。
フォーミング工程を施す。フォーミング工程は、行方向配線52と列方向配線53を通じて、各電子放出素子の素子電極2、3間に電圧を印加することにより行うことができる。これにより各電子放出素子の導電性膜4が局所的に破壊されて間隙が生じ、電子放出部7が形成される〔図5〕。
次に活性化工程を施す。活性化工程は、炭素化合物を含む雰囲気中で、行方向配線52と列方向配線53を通じて、各電子放出素子の素子電極2、3間に電圧を印加することにより行う。この工程により、フォーミング工程において形成された間隙内及びその近傍に、炭素及び/または炭素化合物が堆積し、カーボン膜5が形成される。
活性化工程後に、好ましくは安定化工程を行う。この工程は、真空容器内の炭素化合物を排気する工程である。ここで、真空容器を排気する真空排気装置については、装置から発生するオイルが素子の特性に影響を与えないように、オイルを使用しないものを用いるのが好ましい。具体的には、ソープションポンプ、イオンポンプ等の真空排気装置を挙げることができる。
工程(a)
青板ガラス上に厚さ500nmのシリコン酸化膜をCVD法で形成した基板1を洗剤と純水により洗浄した後、素子電極2、3のリフトオフ用パターンをフォトレジスト(RD−2000N−41;日立化成社製)で形成し、真空蒸着法により、厚さ5nmのTi、厚さ100nmのPtを順次堆積した。
次いで、金属成分としてAgを含むペースト材料(NP−4028A;ノリタケ(株)製)を用い、スクリーン印刷法により列方向配線53のパターンを形成し、印刷後、110℃で20分乾燥し、次いで熱処理装置によりピーク温度480℃、ピーク保持時間8分間の条件で上記ペーストを焼成して列方向配線53を形成した。
次に、PbOを主成分とするペーストを用い、層間絶縁層54のパターンを印刷して工程(b)と同様の条件で焼成し、層間絶縁層54を形成した。
絶縁層54の上に、列方向配線53と同様の材料を用い、スクリーン印刷法により行方向配線52のパターンを印刷し、印刷後、110℃で20分乾燥し、次いで熱処理装置によりピーク温度480℃、ピーク保持時間8分間の条件で上記ペーストを焼成して行方向配線52を形成した。
次に、各電子放出素子の素子電極2,3間に、バブルジェット(登録商標)方式の噴射装置を用い、パラジウム錯体溶液(酢酸パラジウムモノエタノールアミン錯体をIPAと水の混合溶液に溶解したもの)を滴下した後、300℃で15分間加熱焼成処理をして、酸化パラジウムからなる導電性膜4を形成した。また、こうして形成された導電性膜4の平均膜厚は8nmであった。
上述のようにして、電子放出素子、配線及び層間絶縁層を形成した基板を、真空容器内に設置し、容器内を真空ポンプにて排気した。容器内の圧力が2×10-3Paに到達したところで排気用のバルブを閉め、容器内に2%H2混合N2ガスを導入しながら、容器外端子を通じて、行方向配線52及び列方向配線53間に電圧を印加し、電子放出素子のフォーミングを行った。
続いて、真空容器内を真空ポンプにて排気し、容器内の圧力が2×10-5Paに到達したところで、トルニトリルをスローリークバルブを通して真空容器内に導入し、1.3×10-4Paを維持した。
活性化工程を終えた電子源基体を再び真空容器内に設置し、真空容器内を排気しながら、電子源基体を300℃、また真空容器を200℃で10時間加熱して安定化処理をおこなった。
実施例1の工程(a)〜工程(f)と同様にして、基板上に電子放出素子を形成し、フォーミング工程までを行った。続いて以下の工程を行った。
真空容器内を真空ポンプにて排気し、容器内の圧力が2×10-5Paに到達したところで、トルニトリルをスローリークバルブを通して真空容器内に導入し、1×10-4Paを維持した。
電子源基体を再び真空容器内に設置し、真空容器内を排気しながら、電子源基体を300℃、また真空容器を200℃で10時間加熱して安定化処理を行った。
実施例2と同様にして、活性化工程まで行った電子源基体71を作製した。
実施例1の工程(a)〜工程(f)と同様にして、基板上に電子放出素子を形成し、フォーミング工程までを行った。続いて以下の工程を行った。
真空容器内を真空ポンプにて排気し、容器内の圧力が2×10-5Paに到達したところで、トルニトリルをスローリークバルブを通して真空容器内に導入し、6×10-4Paを維持した。
電子源基体を再び真空容器内に設置し、真空容器内を排気しながら、電子源基体を300℃、また真空容器を200℃で10時間加熱して安定化処理を行った。
実施例4と同様にして、活性化工程まで行った電子源基体71を作製した。
実施例1の工程(a)〜工程(f)と同様にして、基板上に電子放出素子を形成し、フォーミング工程までを行った。続いて以下の工程を行った。
真空容器内を真空ポンプにて排気し、容器内の圧力が2×10-5Paに到達したところで、トルニトリルをスローリークバルブを通して真空容器内に導入し、6×10-4Paを維持した。
電子源基体を再び真空容器内に設置し、真空容器内を排気しながら、電子源基体を300℃、また真空容器を200℃で10時間加熱して安定化処理を行った。
2,102,103 素子電極
4,104 導電性膜
5,105 カーボン膜
6,106 溝
7,107 電子放出部
41 電子源基体
42 活性化ドライバ
43,47 パルス発生器
44 ライン選択部
45 電流測定部
46 制御装置
52 行方向配線
53 列方向配線
54 層間絶縁層
55 コンタクトホール
71 電子源基体
74 電子放出素子
81 リアプレート
82 支持枠
83 ガラス基板
84 蛍光膜
85 メタルバック
86 フェースプレート
87 高圧端子
88 外囲器
Claims (8)
- 基板上に互いに間隔を有して配置された一対の導電性膜と、該間隔領域内及び該導電性膜上に前記間隔より狭い第二の間隔を有して配置された一対のカーボン膜とを備えた電子放出素子であって、前記一対のカーボン膜のうちの一方のカーボン膜の頂部が他方のカーボン膜の頂部よりも高く、前記基板が、前記間隔領域から前記頂部が高いカーボン膜を備えた導電性膜の当該基板と接する領域の下方に向かって延びて当該基板と接する領域の下方に達している溝を前記間隔に沿って有していることを特徴とする電子放出素子。
- 前記溝の、前記基板の表面からの最深部が、前記一方の導電性膜の当該基板と接する領域の下方に位置している請求項1に記載の電子放出素子。
- 基板上に複数の電子放出素子を備えた電子源であって、該電子放出素子が、請求項1または2に記載の電子放出素子であることを特徴とする電子源。
- 基板上に複数の電子放出素子を備えた電子源と、該電子放出素子から放出された電子によって発光する発光部材とを備えた画像表示装置であって、該電子源が、請求項3に記載の電子源であることを特徴とする画像表示装置。
- 基板上に互いに間隔を有して配置された一対の導電性膜と、該一対の導電性膜のそれぞれを被覆するカーボン膜とを備えた電子放出素子の製造方法であって、炭素化合物ガスを含む雰囲気中で、基板上に互いに間隔を有して配置された一対の導電性膜間に両極性の電圧パルスを印加する工程を有し、該両極性の電圧パルスにおいて、当該電子放出素子の駆動時に印加される電圧パルスとは逆極性の電圧パルスを印加後に当該電子放出素子の駆動時に印加される電圧パルスと同極性の電圧パルスを印加するまでの休止期間が、前記同極性の電圧パルスを印加後に前記逆極性の電圧パルスを印加するまでの休止期間よりも短く、且つ、前記同極性の電圧パルスのパルス幅が、前記逆極性の電圧パルスのパルス幅より大きいことを特徴とする電子放出素子の製造方法。
- 前記同極性の電圧パルスの絶対値が、前記逆極性の電圧パルスの絶対値よりも大きいことを特徴とする請求項5に記載の電子放出素子の製造方法。
- 基板上に、互いに間隔を有して配置された一対の導電性膜と、該一対の導電性膜のそれぞれを被覆するカーボン膜とを備えた電子放出素子を複数備えた電子源の製造方法であって、該電子放出素子を、請求項5または6に記載の電子放出素子の製造方法により製造することを特徴とする電子源の製造方法。
- 基板上に、互いに間隔を有して配置された一対の導電性膜と、該一対の導電性膜のそれぞれを被覆するカーボン膜とを備えた電子放出素子を複数備えた電子源と、該電子放出素子から放出された電子によって発光する発光部材とを備えた画像表示装置の製造方法であって、該電子源を、請求項7に記載の電子源の製造方法により製造することを特徴とする画像表示装置の製造方法。
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