JP3903440B2 - Gas discharge display panel and partition wall forming method thereof - Google Patents
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Description
この発明は、ガス放電表示パネル及びその隔壁形成方法に関し、さらに詳しくは、各画素を空間的に分離するために、あるいは前面板と背面板との間隔を維持するために隔壁(リブ)を設けた、プラズマディスプレイパネル(PDP)やプラズマアドレッシング液晶表示パネル、あるいはフィールドエミッションディスプレイパネルのようなガス放電表示パネル及びその隔壁形成方法に関する。 The present invention relates to a gas discharge display panel and a partition wall forming method thereof, and more particularly, to provide partition walls (ribs) in order to spatially separate pixels or to maintain a distance between a front plate and a back plate. Further, the present invention relates to a gas discharge display panel such as a plasma display panel (PDP), a plasma addressing liquid crystal display panel, or a field emission display panel, and a partition wall forming method thereof.
この種の薄型平面表示パネルは各種の分野で使用されている。なかでもPDPは視認性に優れ、かつ高速表示が可能であるため、ハイビジョンの表示に適しており、近年注目を集めている表示パネルである。 This type of thin flat display panel is used in various fields. Among them, the PDP is excellent in visibility and capable of high-speed display, and thus is suitable for high-definition display and is a display panel that has attracted attention in recent years.
このPDPはマトリクス状に電極を配置した一対の基板を微少な間隔で対向配置し、周囲を封止することによって内部に放電空間を形成した自己発光型の表示パネルである。 This PDP is a self-luminous display panel in which a pair of substrates on which electrodes are arranged in a matrix are arranged to face each other at a minute interval and a discharge space is formed inside by sealing the periphery.
このようなマトリクス表示方式のPDPには、放電空間を仕切るように、100〜200μm程度の高さの隔壁が設けられている。例えば、蛍光体によるカラー表示に適した面放電型PDPには、直線状の隔壁が表示のライン方向に沿って等間隔に設けられている。隔壁の配列間隔は例えば21インチサイズのカラーPDPで約200μmである。隔壁によってセル間の放電結合、色再現のクロストークが防止される。 In such a matrix display type PDP, a partition wall having a height of about 100 to 200 μm is provided so as to partition the discharge space. For example, in a surface discharge type PDP suitable for color display using a phosphor, linear barrier ribs are provided at equal intervals along the display line direction. The arrangement interval of the partition walls is, for example, about 200 μm for a 21-inch size color PDP. The barrier ribs prevent discharge coupling between cells and crosstalk of color reproduction.
従来のこのような隔壁の形成方法としては、スクリーン印刷法やサンドブラスト法や液体ホーニング法などが知られている。
スクリーン印刷法は、隔壁形状のパターンを十数回繰り返し印刷して隔壁を形成する方法である。このスクリーン印刷法は、材料に無駄がなく、生産コストが安いという利点があるが、40インチを越える大型ディスプレイのように大画面に渡って隔壁を形成しようとする場合や、小型高精細で、隔壁のピッチと幅が狭い場合には、スクリーン版の製作精度、繰り返し精度、版寿命が問題となる。
As a conventional method for forming such a partition wall, a screen printing method, a sand blasting method, a liquid honing method, and the like are known.
The screen printing method is a method in which a partition wall pattern is formed by repeatedly printing a partition shape pattern ten or more times. This screen printing method has the advantage that there is no waste of materials and the production cost is low, but when you want to form a partition across a large screen like a large display exceeding 40 inches, When the pitch and width of the partition walls are narrow, the production accuracy, repeatability, and plate life of the screen plate become problems.
サンドブラスト法は、微小な切削粒子を空気流にのせて、あらかじめマスキングパターンを形成した隔壁材料層に衝突させ、マスキングパターンで覆われていない部分を切削して隔壁を形成する方法である。このサンドブラスト法は、切削されて除去される無駄な隔壁材料や、フォトリソグラフィー工程によるコスト高が問題であるが、スクリーン印刷法と比較して高い製作精度が得られる点で優れている。 The sand blasting method is a method in which minute cutting particles are placed in an air stream, collide with a partition wall material layer on which a masking pattern has been previously formed, and a portion not covered with the masking pattern is cut to form a partition. This sandblasting method has a problem in that it is a wasteful partition wall material that is removed by cutting and a high cost due to a photolithography process, but it is excellent in that high manufacturing accuracy can be obtained as compared with the screen printing method.
液体ホーニング法は、水等の液体を吹きつけて切削する方法であり、工程的には前述のサンドブラスト法と殆ど同じで、サンドブラスト法と同様な利点を有している。 The liquid honing method is a method in which a liquid such as water is blown and cut. The process is almost the same as the above-described sandblasting method and has the same advantages as the sandblasting method.
このような、各種の隔壁形成方法の内、薄型平面表示パネルの大型化あるいは小型高精細化を目指した場合には、高い精度が必要であるため、サンドブラスト法あるいは液体ホーニング法がよく用いられる。 Among these various partition wall forming methods, when aiming at increasing the size or reducing the size and definition of a thin flat display panel, high accuracy is required, and therefore sand blasting or liquid honing is often used.
カラーPDPを例に挙げて、サンドブラスト法を用いた場合の従来の隔壁形成方法の一例を説明する。
隔壁を形成するには、まず、背面板上に下地層、アドレス電極、絶縁層を順次形成し、その上に所定の厚さのガラスペーストからなる隔壁材料層を形成し、その隔壁材料層上にフォトリソグラフィーによって隔壁の形状のマスキングパターンを形成する。次に、その上からサンドブラスト装置で切削媒体を吹き付けて、隔壁材料層のマスキングパターンで覆われていない部分を切削することにより隔壁層を形成し、その後隔壁層を焼成して隔壁を形成する。
Taking a color PDP as an example, an example of a conventional barrier rib forming method when the sandblast method is used will be described.
In order to form the barrier rib, first, a base layer, an address electrode, and an insulating layer are sequentially formed on the back plate, and a barrier rib material layer made of glass paste having a predetermined thickness is formed thereon, and the barrier rib material layer is formed on the barrier rib material layer. Then, a masking pattern having a partition shape is formed by photolithography. Next, a partition medium is formed by spraying a cutting medium from above with a sandblasting device and cutting a portion of the partition wall material layer that is not covered with the masking pattern, and then firing the partition layer to form a partition.
一方、フィールドエミッションディスプレイパネルやドットピッチの荒い単色のPDP等では、前面板と背面板との間隔を維持するために、数百μmのガラスビーズを両基板のスペーサとして配置するのが一般的である。原理的には各画素を空間的に分離する必要は必ずしもないが、プラズマディスプレイの隔壁と同等のものを使用した方が視認性に優れる。したがって、このようなディスプレイパネルでも隔壁を形成する場合がある。 On the other hand, in a field emission display panel or a monochromatic PDP with a rough dot pitch, it is common to arrange several hundred μm glass beads as spacers on both substrates in order to maintain the distance between the front plate and the back plate. is there. In principle, it is not always necessary to spatially separate each pixel, but it is better to use a plasma display that is equivalent to a partition wall. Therefore, partition walls may be formed even in such a display panel.
上記のサンドブラスト法は、薄型平面表示パネルの隔壁形成方法として有力な方法であるが、以下のような問題がある。 The above sandblasting method is an effective method for forming a partition wall of a thin flat display panel, but has the following problems.
図13はサンドブラスト法を用いた場合の従来の隔壁形成方法を示す説明図であり、図13(a)はマスキングパターンの平面図、図13(b)はサンドブラスト中の隔壁材料層の側面図、図13(c)はサンドブラスト終了後の隔壁層の側面図、図13(d)は焼成後の隔壁の側面図である。
なお、以下の説明においては、隔壁材料層とは隔壁材料であるガラスペースト等の平面膜を意味し、隔壁層とはその平面膜をサンドブラスト法等で切削したものを意味し、隔壁とはその隔壁層を焼成したものを意味する。
FIG. 13 is an explanatory view showing a conventional partition wall forming method when the sand blasting method is used, FIG. 13 (a) is a plan view of a masking pattern, FIG. 13 (b) is a side view of a partition wall material layer in sand blasting, FIG. 13C is a side view of the partition wall layer after sandblasting, and FIG. 13D is a side view of the partition wall after firing.
In the following description, the partition wall material layer means a planar film such as a glass paste that is a partition wall material, the partition wall layer means that the planar film is cut by a sandblasting method, etc. It means what baked the partition layer.
これらの図に示すように、従来においては、まず、図13(a)に示すような帯状のマスキングパターンを隔壁材料層の上に形成し、サンドブラスト法により切削媒体を吹きつけてマスキングパターンで覆われていない部分を切削する。サンドブラスト法を用いた場合には、図13(b)に示すように、隔壁形成範囲の外側に面した部分29aがサイドエッチング(サイドカット)され、隔壁層29がえぐられた状態で形成される。このように、サンドブラスト終了後の隔壁層29は、図13(c)に示すように、深くサイドカットされる。
As shown in these drawings, in the prior art, first, a strip-shaped masking pattern as shown in FIG. 13A is first formed on the partition wall material layer, and a cutting medium is sprayed by the sandblast method to cover the masking pattern. Cut the unbroken part. When the sandblasting method is used, as shown in FIG. 13B, the
そして、その後、隔壁層29を焼成して隔壁を形成するのであるが、図13(d)に示すように、隔壁層29を焼成して隔壁31を形成すると、隔壁材料(リブ材)として用いたガラスペーストが焼成時に収縮するため、従来の帯状隔壁層ではこのような焼成時のリブ材の収縮により、リブが長手方向(矢印方向)に引っ張られ、サイドカットの部分29aによって逆テーパーのついた先端部分が反り返り、隔壁の本来の高さよりも出っ張る。
この反り返りによる高さの増加は、通常、約10μmから30μmである。
After that, the
The increase in height due to this warping is usually about 10 μm to 30 μm.
このため、図14に示すように、後の工程で前面板11と背面板21とを重ね合わせてパネルに組んだ場合、前面板11と隔壁31との間に隙間が生じる。PDPの場合、この隙間のために、隔壁によって仕切られた放電が隣のセルに影響するという、いわゆる『放電結合』が起こり誤放電が発生し、実際の表示と異なった表示になり、表示品質の低下につながる。
For this reason, as shown in FIG. 14, when the
この問題は直線状の隔壁ばかりでなく、隔壁の太さが太くて焼成時の収縮が無視できない程大きいときには、格子状の隔壁やマスク保護用ダミーマスクにおいても同様に発生する。 This problem occurs not only in the straight partition walls but also in the lattice partition walls and the mask protection dummy mask when the partition wall thickness is large and the shrinkage during firing cannot be ignored.
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、焼成時における隔壁層の先端部分の反り返りを防止し、これにより前面板と背面板とを重ね合わせたときに前面板と隔壁との間に隙間ができないようにした表示パネルの隔壁形成方法を提供するものである。 The present invention was made in consideration of such circumstances, and prevents the front end portion of the partition wall layer from being warped during firing, whereby the front plate and the partition wall are overlapped when the front plate and the back plate are overlapped. The present invention provides a method for forming a partition wall of a display panel in which no gap is formed between them.
本発明は、基板上に隔壁材料からなる平面膜を形成し、該平面膜を所定の隔壁パターンに切削加工した後、焼成して隔壁を形成する方法において、該隔壁パターンの端部近傍に蛇行部分を形成した状態で焼成して、前記平面膜から端部高さが平面膜の高さを越えないパターンの隔壁を形成することを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法である。 The present invention relates to a method of forming a planar film made of a partition wall material on a substrate, cutting the planar film into a predetermined partition wall pattern, and firing it to form a partition wall , meandering near the end of the partition wall pattern. It is a method for forming a partition wall of a display panel, characterized in that a partition wall having a pattern in which an end height does not exceed the height of the planar film is formed by firing in a state where the portion is formed.
別の観点によれば、この発明の第1の隔壁形成方法は、基板上に隔壁材料層を形成し、この隔壁材料層上に複数の帯状のマスキングパターンを平行に形成し、このマスキングパターンを介して切削媒体を吹きつけることにより隔壁材料層を切削して複数の帯状の隔壁層を形成し、その隔壁層を焼成して隔壁を形成する方法であって、前記焼成の前に、隔壁層の長手方向の端部近傍部分の上面に、隔壁層の長手方向と直交する切り欠き部を形成する工程を含んでなることを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法である。 According to another aspect, in the first partition wall forming method of the present invention, a partition wall material layer is formed on a substrate, a plurality of strip-shaped masking patterns are formed in parallel on the partition wall material layer, and the masking pattern is formed. A partition material layer is cut by spraying a cutting medium to form a plurality of strip-shaped partition layers, and the partition layers are fired to form the partition walls. A partition wall forming method for a display panel, comprising a step of forming a notch portion orthogonal to the longitudinal direction of the partition wall layer on the upper surface of a portion in the vicinity of the end in the longitudinal direction.
図1はこの発明の第1の隔壁形成方法の原理を示す説明図であり、図1(a)はサンドブラスト終了後の隔壁層の側面図、図1(b)は焼成後の隔壁の側面図、図1(c)は前面板と背面板とを重ね合わせた状態の隔壁の側面図である。本発明の第1の隔壁形成方法の特徴は、これらの図に示すように、隔壁層29を焼成する前に、隔壁層29の長手方向の端部近傍部分の上面に切り欠き部52を形成することにある。隔壁層29を焼成して隔壁31を形成したときには、隔壁31は特に長手方向に大きく収縮するが、このような切り欠き部52を形成することによって、焼成時の隔壁層29の長手方向の引っ張り力を遮ることができ、隔壁31の先端部が反り返るのを防止することができる。したがって、図1(c)に示すように、前面板11と背面板21とを重ね合わせてパネルに組んだ場合、前面板11と隔壁31との間に隙間が生じない。この切り欠き部52は、マスキングパターンにスリット状の切れ目を設けることにより簡単に形成する事ができる。
FIG. 1 is an explanatory view showing the principle of the first partition wall forming method of the present invention. FIG. 1 (a) is a side view of a partition wall layer after sandblasting, and FIG. 1 (b) is a side view of the partition wall after firing. FIG. 1C is a side view of the partition wall in a state where the front plate and the back plate are overlapped. The feature of the first partition wall forming method of the present invention is that, as shown in these drawings, before firing the
別の観点によれば、この発明の第2の隔壁形成方法は、基板上に隔壁材料層を形成し、この隔壁材料層上に複数の帯状のマスキングパターンを平行に形成し、このマスキングパターンを介して切削媒体を吹きつけることにより隔壁材料層を切削して複数の帯状の隔壁層を形成し、その隔壁層を焼成することにより隔壁を形成する方法であって、前記マスキングパターンとして、隔壁の長手方向の端部近傍部分が蛇行したマスキングパターンを使用し、それにより長手方向の端部近傍部分が蛇行した隔壁層を形成することを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法である。 According to another aspect, in the second partition wall forming method of the present invention, a partition wall material layer is formed on a substrate, a plurality of strip-shaped masking patterns are formed in parallel on the partition wall material layer, and the masking pattern is formed. The partition wall material layer is cut by spraying a cutting medium to form a plurality of strip-like partition wall layers, and the partition walls are formed by firing the partition wall layer. A partition wall forming method for a display panel, wherein a masking pattern in which a portion in the vicinity of an end in the longitudinal direction meanders is used, thereby forming a partition layer in which the portion in the vicinity of an end in the longitudinal direction meanders.
図2はこの発明の第2の隔壁形成方法の原理を示す説明図であり、図2(a)はサンドブラスト終了後の隔壁層の平面図、図2(b)は焼成後の隔壁の平面図、図2(c)は前面板と背面板とを重ね合わせた状態の隔壁の側面図である。本発明の第2の隔壁形成方法の特徴は、これらの図に示すように、隔壁層29の形成に際し、隔壁層29を、長手方向の先端部を蛇行させて形成することにある。隔壁層29を焼成して隔壁31を形成したときには、隔壁31は特に長手方向に大きく収縮するが、蛇行させた部分が伸びることによって、焼成時の隔壁層29の長手方向の引っ張り応力を緩和することができ、隔壁31の先端部が反り返るのを防止することができる。したがって、図2(c)に示すように、前面板11と背面板21とを重ね合わせてパネルに組んだ場合、前面板11と隔壁31との間に隙間が生じない。
2A and 2B are explanatory views showing the principle of the second partition wall forming method according to the present invention. FIG. 2A is a plan view of the partition wall layer after sandblasting, and FIG. 2B is a plan view of the partition wall after firing. FIG. 2 (c) is a side view of the partition wall in a state where the front plate and the back plate are overlapped. As shown in these drawings, the second partition wall forming method of the present invention is characterized in that when the
このような本願発明の第1の隔壁形成方法と第2の隔壁形成方法によれば、隔壁層の長手方向の端部近傍部分の上面に切り欠き部を形成することにより、あるいは隔壁層の長手方向の端部近傍部分を蛇行させることにより、焼成時の収縮に起因する隔壁端部の反り返りを防止し、従来よりも前面板と隔壁との密着性が高いフラット・パネル・ディスプレイを作製する事ができる。本発明に基づいて作製したPDPは、従来よりも隔壁に跨がった方向への密閉性が高く、隔壁で画定された放電セル間の放電結合(クロストーク)を解消できる。 According to the first partition wall forming method and the second partition wall forming method of the present invention as described above, by forming a notch in the upper surface of the partition wall layer in the vicinity of the end in the longitudinal direction, By wobbling the vicinity of the end of the direction, the end of the partition wall is prevented from warping due to shrinkage during firing, and a flat panel display with higher adhesion between the front plate and the partition wall than before is manufactured. Can do. The PDP produced based on the present invention has higher sealing performance in the direction straddling the barrier ribs than before, and can eliminate discharge coupling (crosstalk) between discharge cells defined by the barrier ribs.
本発明によれば、テーパ部により、焼成時の収縮による歪みが吸収され、隔壁の端部が反り返ることを防止することができる。 According to the present invention, the taper portion can absorb distortion due to shrinkage during firing and prevent the end of the partition wall from warping.
この発明において、基板としては、一般にカラーPDPの分野において背面板と呼ばれる、ガラス基板に下地層、アドレス電極、絶縁層をあらかじめ形成したものを適用することできる。 In the present invention, as a substrate, a glass substrate in which an underlayer, an address electrode, and an insulating layer are previously formed, which is generally called a back plate in the field of color PDP, can be applied.
基板上への隔壁材料層の形成は、スクリーン印刷法やブレードコーティング等の方法で行うことができる。
隔壁材料層に用いられる隔壁材料としては、無機物の粉末と有機物の接合剤(バインダ)とを混合してペースト状にしたものを用いることができる。例えば、無機物の粉末としてガラス粉末を適用したものとして、ガラスペーストを挙げることができる。
Formation of the partition wall material layer on the substrate can be performed by a method such as screen printing or blade coating.
As the partition wall material used for the partition wall material layer, a paste formed by mixing an inorganic powder and an organic bonding agent (binder) can be used. For example, a glass paste can be given as a glass powder applied as an inorganic powder.
マスキングパターンは、隔壁材料層上にフォトレジストを塗布するか、あるいは感光性ドライフィルムを貼り付け、その後フォトレジストあるいは感光性ドライフィルムをマスクを用いて露光して現像する、いわゆるフォトリソグラフィーにより形成することができる。 The masking pattern is formed by so-called photolithography, in which a photoresist is applied on the partition wall material layer or a photosensitive dry film is applied, and then the photoresist or the photosensitive dry film is exposed and developed using a mask. be able to.
隔壁材料層の切削は、サンドブラスト法、あるいは液体ホーニング法等で行うことができる。サンドブラスト法を用いる場合には、サンドブラスト装置で、数十μmの大きさの切削媒体としての研磨材を空気流に乗せて吹き付け、これにより隔壁材料層のマスキングパターンで覆われていない部分を切削する。 The partition material layer can be cut by a sand blast method or a liquid honing method. In the case of using the sand blasting method, a sand blasting apparatus is used to blow an abrasive as a cutting medium having a size of several tens of μm on an air flow, thereby cutting a portion not covered with the masking pattern of the partition wall material layer. .
隔壁層の焼成は、当該分野で通常用いる方法により行うことができる。焼成温度は、隔壁層の材料や隔壁層の大きさに応じた温度を適用すればよい。すなわち、例えば、隔壁層の材料としてガラスペーストを用いるのであれば、ガラスペースト中の樹脂成分を焼き飛ばすと同時に、ガラスペースト中のガラス粉末を軟化させ相互に融着させうる温度で焼成する。例えば、ガラスペーストを用いて20インチから40インチ程度のPDPの隔壁層を焼成する場合であれば、一般に、焼成温度は500〜600℃の範囲である。 The partition wall layer can be fired by a method usually used in this field. The firing temperature may be a temperature corresponding to the material of the partition wall layer and the size of the partition wall layer. That is, for example, if glass paste is used as the material of the partition wall layer, the resin component in the glass paste is burned off, and at the same time, the glass powder in the glass paste is fired at a temperature at which the glass powder can be softened and fused together. For example, if a PDP partition layer of about 20 inches to 40 inches is fired using glass paste, the firing temperature is generally in the range of 500 to 600 ° C.
この発明において、切り欠き部は、マスキングパターンにスリット状の切れ目を設けることにより形成することができる。
切り欠き部を形成した後は、切り欠き部から先を取り除き、その部分をテーパー状に形成してもよい。すなわち、切り欠き部の形成後、その切り欠き部よりも長手方向の端側に位置する部分を取り除き、それにより隔壁層の長手方向の端部近傍部分に裾広がりのテーパ部を形成するようにしてもよい。
In the present invention, the notch can be formed by providing a slit-like cut in the masking pattern.
After forming the notch, the tip may be removed from the notch and the portion may be tapered. That is, after the cutout portion is formed, the portion located on the end side in the longitudinal direction from the cutout portion is removed, thereby forming a taper portion having a hem extending near the end portion in the longitudinal direction of the partition wall layer. May be.
この切り欠き部の取り除きについては、切り欠き部を機械的に除去するようにしてもよいし、あるいは、マスキングパターンのスリット状の切れ目の大きさを適切に設定し、これによりマスキングパターンの上から基板に切削媒体を吹きつけて隔壁材料層を切削する際に、切り欠き部よりも長手方向の端側に位置する部分が自動的にリフトオフされるように設定しておいてもよい。 As for the removal of the cutout portion, the cutout portion may be mechanically removed, or the size of the slit-like cutout of the masking pattern is appropriately set, and thereby the masking pattern is removed from above. When cutting the partition wall material layer by spraying a cutting medium on the substrate, it may be set such that a portion located on the end side in the longitudinal direction from the notch is automatically lifted off.
また、隔壁層は焼成によって、長手方向に大きく収縮するが、短手方向にも収縮する。
したがって、隔壁層を焼成する前に、基板上に平行に配置された隔壁層の最も外側に位置する隔壁層の短手方向の端部近傍部分の上面に、隔壁層の長手方向に平行に第2の切り欠き部を形成しておくことが望ましい。
In addition, the partition wall layer shrinks greatly in the longitudinal direction by firing, but also shrinks in the short side direction.
Therefore, before firing the barrier rib layer, the upper surface of the portion near the edge in the short direction of the barrier rib layer located on the outermost side of the barrier rib layer arranged in parallel on the substrate is parallel to the longitudinal direction of the barrier rib layer. It is desirable to form two notches.
この場合、第2の切り欠き部を形成した後、その切り欠き部よりも短手方向の端側に位置する部分を取り除き、それにより最も外側に位置する隔壁層の短手方向の端部近傍部分に裾広がりのテーパ部を形成するようにしてもよい。 In this case, after the second cutout portion is formed, the portion located on the short side end side of the cutout portion is removed, and thereby the outermost partition wall in the short side end portion vicinity. You may make it form the taper part which spreads in a part in a part.
以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明を詳述する。なお、これによってこの発明が限定されるものではない。
この実施例においては、薄型平面表示パネルとして、カラー表示用のAC駆動形式の面放電型PDPを例に挙げて説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the drawings. However, this does not limit the present invention.
In this embodiment, an AC drive type surface discharge type PDP for color display will be described as an example of a thin flat display panel.
図3はカラー表示用のAC駆動形式の面放電型PDPの構成を示す説明図である。この図に基づいて、本発明の表示パネルの隔壁形成方法を説明する。
この図に示すように、まず、ガラスからなる前面板11の内面に、マトリクス表示のラインL毎に表示用の一対のサステイン電極X,Yを配置する。サステイン電極X,Yは、透明電極41と、透明電極41の電気抵抗による電圧低下を防ぐためのバス電極42とからなっている。このサステイン電極X,Yを誘電体層17で被覆し、誘電体層17の表面にMgOの保護膜18を形成する。
なお、以後において単に前面板11とした場合には、サステイン電極X,Y、誘電体層17、保護膜18がすでに形成されているものを指す。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing the configuration of an AC drive type surface discharge type PDP for color display. Based on this figure, the method for forming the partition of the display panel of the present invention will be described.
As shown in this figure, first, a pair of display sustain electrodes X and Y are arranged for each matrix display line L on the inner surface of a
In the following description, when the
もう一方のガラスからなる背面板21の内面には、下地層22の上にストライプ状のアドレス電極Aを配置し、その上に絶縁層24を形成する。絶縁層24上には、アドレス放電セルを区画するための隔壁31を、各アドレス電極Aを挟むようにして形成する。隔壁31間の溝には、アドレス電極A上を含めて隔壁面をを被覆するようにして、赤、青、緑の蛍光体層28R,28G,28Bを塗分ける。
なお、以後において単に背面板21とした場合には、下地層22、アドレス電極A、絶縁層24がすでに形成されているものを指す。
On the inner surface of the
In the following description, when the
このようにして形成した前面板11と背面板21とを対向させて重ね合わせ、パネルに組むことにより、PDP1を作製する。前面板11と背面板21との間の放電空間30にはNe+Xeの混合ガスを封入する。
The
表示時には、サステイン電極X,Yとアドレス電極Aとが交差する領域がマトリクス表示領域となる。この場合、表示の1ピクセル(画素)はラインL方向に並ぶ3つのサブピクセルで構成される。 At the time of display, a region where the sustain electrodes X and Y intersect with the address electrode A is a matrix display region. In this case, one pixel (pixel) for display is composed of three sub-pixels arranged in the line L direction.
隔壁31は、放電空間30をサブピクセル毎に分割し、かつ放電空間30の間隔を一定に保つものであり、この隔壁31により、アドレス放電時の隣接セルへの影響を断ち、光のクロストークを防止する。
The
図4(a)〜図4(d)はサンドブラスト法を用いて行うPDPの隔壁形成方法を示す説明図である。これらの図に示すように、隔壁は以下の工程によって形成する。 4 (a) to 4 (d) are explanatory views showing a method of forming a PDP partition wall using a sandblast method. As shown in these drawings, the partition walls are formed by the following steps.
(a)隔壁材料層形成工程(図4(a)参照)
まず、背面板21を用意し、その背面板21上に所定の厚さの隔壁材料層51を形成する。この隔壁材料層51は平面膜である。基板上への隔壁材料層51の形成は、スクリーン印刷法、ブレードコーティング法、グリーンシート法等の方法で行うことができる。
(A) Partition wall material layer forming step (see FIG. 4 (a))
First, the
スクリーン印刷法およびブレードコーティング法では、隔壁層の材料として、無機物の粉末と有機物の接合剤(バインダ)とを混合してペースト状にしたものを用いることができる。例えば、無機物の粉末としてガラス粉末を適用したものとして、ガラスペーストを挙げることができる。
グリーンシート法は、無機物の粉末と有機物の接合剤を可塑性のシート状に形成した材料(グリーンシート)を基板に加圧ロールで貼り付け、300〜400℃で仮焼成して有機成分を除去することで隔壁材料層を形成する方法である。有機成分を除去することで切削加工性を上げている。
In the screen printing method and the blade coating method, as a material for the partition layer, a paste obtained by mixing an inorganic powder and an organic bonding agent (binder) can be used. For example, a glass paste can be given as a glass powder applied as an inorganic powder.
In the green sheet method, a material (green sheet) in which an inorganic powder and an organic bonding agent are formed in a plastic sheet shape is attached to a substrate with a pressure roll, and preliminarily fired at 300 to 400 ° C. to remove organic components. This is a method of forming the partition wall material layer. The machinability is improved by removing organic components.
(b)パターン形成工程(図4(b)参照)
隔壁材料層51上にフォトレジストを塗布するか、あるいは感光性ドライフィルムを貼り付け、フォトリソグラフィーによって隔壁の形状のマスキングパターン54を形成する。このマスキングパターン54は、平面的に見た場合、帯状のパターンである。
(B) Pattern forming step (see FIG. 4B)
A photoresist is applied on the partition
(c)切削工程(図4(c)参照)
サンドブラスト装置70で、数十μmの大きさの切削媒体(研磨材)を空気流に乗せて吹き付け、隔壁材料層51のマスキングパターン54で覆われていない部分を切削し、隔壁層を形成する。
(d)焼成工程(図4(d)参照)
500〜600℃の高温で焼成し、隔壁層(ガラスペースト)中の樹脂成分を焼き飛ばすと同時にガラスペースト中のガラス粉末を軟化させ、相互に融着させることで隔壁31を形成する。
(C) Cutting process (see FIG. 4 (c))
With a
(D) Firing step (see FIG. 4 (d))
The
このような本発明の表示パネルの隔壁形成方法において、以下、本発明の第1の隔壁形成方法と第2の隔壁形成方法を詳細に説明する。
図5は本発明の第1の隔壁形成方法を示す説明図であり、図5(a)はサンドブラスト終了後の隔壁層の平面図、図5(b)はサンドブラスト終了後の隔壁層の側面図であり、図5(a)のA−A断面を示している。
In such a method for forming partition walls of a display panel of the present invention, the first partition wall forming method and the second partition wall forming method of the present invention will be described in detail below.
5A and 5B are explanatory views showing a first partition wall forming method according to the present invention. FIG. 5A is a plan view of the partition wall layer after sandblasting, and FIG. 5B is a side view of the partition wall layer after sandblasting. And shows the AA cross section of FIG.
これらの図に示すように、本発明の第1の隔壁形成方法においては、複数の帯状隔壁層29の端部上面にそれぞれ切り欠き部52を設けている。この後、焼成工程で隔壁層を焼成するのであるが、その焼成時の収縮による歪みはこの切り欠き部52で吸収され、隔壁の端部が反り返ることを防止する。
As shown in these drawings, in the first partition wall forming method of the present invention, the
この切り欠き部は、以下のようにして形成する。
図6は切り欠き部の形成方法を示す説明図であり、図6(a)はマスキングパターンの平面図、図6(b)はサンドブラスト中の隔壁材料層の側面図、図6(c)はサンドブラスト終了後の隔壁層の側面図、図6(d)は焼成後の隔壁の側面図である。
This notch is formed as follows.
6A and 6B are explanatory views showing a method of forming a notch, FIG. 6A is a plan view of a masking pattern, FIG. 6B is a side view of a partition wall material layer in sandblasting, and FIG. FIG. 6D is a side view of the partition wall after firing, and FIG. 6D is a side view of the partition wall after firing.
これらの図に示すように、隔壁層29の端部上面にそれぞれ切り欠き部52を設ける方法としては、マスキングパターン54を形成する際に、切り欠き部52に対応する位置にスリット状の切れ目53の入ったマスキングパターン54を形成する。すなわち、マスキングパターン54の切り欠き部52に対応する位置にスリット状の切れ目53を設ける。
その後、隔壁材料層51に対しサンドブラストを行うとスリット状の切れ目53の部分がわずかに削られ、隔壁層29には切り欠き部52が形成される。隔壁層29を焼成したときには、隔壁31は特に長手方向に大きく収縮するが、このような切り欠き部52を形成することによって、焼成時の隔壁層29の長手方向の引っ張り力を遮ることができ、隔壁31の先端部の反り返りを防止することができる。
なお、切り欠き部52を設ける方法としては、切削工程後、機械的に隔壁層29を切り欠くことにより設けるようにしてもよい。
As shown in these drawings, as a method of providing the
After that, when the sandblasting is performed on the partition
In addition, as a method of providing the
図7は切り欠き部よりも先端の部分を除去する場合の説明図であり、図7(a)はサンドブラスト終了後の隔壁層の側面図、図7(b)は切り欠き部よりも先端の部分を除去した状態を示す隔壁層の側面図である。 FIG. 7 is an explanatory view when the tip part is removed from the notch part, FIG. 7 (a) is a side view of the partition wall layer after the sandblasting, and FIG. 7 (b) is the tip part from the notch part. It is a side view of the partition layer which shows the state which removed the part.
これらの図に示すように、切り欠き部52の形成後、その切り欠き部52よりも長手方向の端側に位置する部分、つまり切り欠き部52よりも先端の部分を取り除き、それにより隔壁層29の長手方向の端部近傍部分、つまり隔壁層29の先端部分に裾広がりのテーパ部55を形成するようにしてもよい。隔壁層29の先端部分にテーパ部55を設けることにより、焼成後の収縮でも隔壁の先端部分が反り返らない。
As shown in these drawings, after the formation of the
このテーパ部55は、機械的に切り欠き部52よりも先端の部分を除去することにより形成することができる。
隔壁層29の先端部分を除去して裾広がりのテーパ部55を形成する場合、切り欠き部52がなくても先端部分の除去は可能であるが、切り欠き部52を設けることにより、隔壁層29を破壊することなく、先端部分を容易に切り離すことができる。
The
In the case of forming the
このテーパ部55は、マスキングパターン54のスリット状の切れ目53の大きさを、切り欠き部52よりも先端の部分が自然にリフトオフされるように設定することにより、形成するようにしてもよい。
The tapered
図8は切り欠き部よりも先端の部分をリフトオフするための説明図であり、図8(a)はマスキングパターンの平面図、図8(b)はサンドブラスト中の隔壁材料層の側面図、図8(c)は切り欠き部よりも先端の部分がリフトオフされた状態を示す隔壁層の側面図、図8(d)はサンドブラスト終了後の隔壁層の側面図である。 FIG. 8 is an explanatory view for lifting off the tip portion from the notch, FIG. 8 (a) is a plan view of a masking pattern, FIG. 8 (b) is a side view of a partition wall material layer in sandblasting, FIG. 8 (c) is a side view of the partition wall layer showing a state where the tip portion is lifted off from the notch, and FIG. 8 (d) is a side view of the partition wall layer after the sandblasting is completed.
これらの図に示すように、隔壁層29の先端部分にテーパ部55を形成するには、端部近傍に適切な大きさのスリット状の切れ目53を設けた隔壁用のマスキングパターン54を隔壁材料層51上に形成して、サンドブラストを行う。サンドブラストによって、外側からのサイドカットが進み、スリット状の切れ目53の部分に達すると、サイドカットによって空中に張り出した部分がリフトオフされ、隔壁層29の先端部分にテーパ部55が形成され、隔壁層の端部は順テーパを持つ。
As shown in these drawings, in order to form the tapered
このように、テーパ部55は、マスキングパターン54のスリット状の切れ目53の大きさを適切に設定し、これによりサンドブラストの際に、切り欠き部52よりも先端の部分が自動的にリフトオフされるようにして形成することができる。
As described above, the
図9は隔壁層を焼成して得た隔壁を介して前面板と背面板とを重ね合わせた状態を示す説明図であり、図9(a)は焼成後の隔壁の側面図、図9(b)は前面板と背面板とを重ね合わせた状態の隔壁の側面図である。 FIG. 9 is an explanatory view showing a state in which the front plate and the back plate are overlapped through the partition obtained by firing the partition layer, and FIG. 9A is a side view of the partition after firing, FIG. b) is a side view of the partition wall in a state where the front plate and the back plate are overlapped.
これらの図に示すように、隔壁層29の先端部分に裾広がりのテーパ部55を形成した場合には、隔壁層29を焼成しても、隔壁31の先端部分は反り返らず、これにより前面板11と背面板21とを重ね合わせたときに前面板11と隔壁31との間に隙間ができない。
As shown in these figures, when the
図10は隔壁層の端部保護を切り欠き部によって行う方法を示す説明図であり、図10(a)は切り欠き部を形成した状態の隔壁層の平面図、図10(b)は切り欠き部を形成した状態の隔壁層の側面図である。 10A and 10B are explanatory views showing a method for protecting the end portion of the partition wall layer by the notch portion. FIG. 10A is a plan view of the partition wall layer with the notch portion formed, and FIG. It is a side view of the partition layer in the state where a notch was formed.
これらの図に示すように、複数の帯状隔壁層の端部保護のために、保護用の隔壁層58を設け、この保護用の隔壁層58の外側上面に保護隔壁層用の切り欠き部59を設ける。
また、基板上に平行に配置された隔壁層の最も外側に位置する外側隔壁層60をその他の隔壁層29よりも幅広に形成する。そして、外側隔壁層60の短手方向の端部近傍部分の上面に、外側隔壁層60の長手方向に平行に外側隔壁層用の第2の切り欠き部61を形成する。すなわち外側隔壁層60の外側上面に切り欠き部61を設ける。この切り欠き部59,61は、マスキングパターンにスリット状の切れ目53を設けることにより形成することができる。
この切り欠き部59,61により、焼成時の収縮による歪みが吸収され、端部が反り返ることを防止することができる。
As shown in these drawings, a protective
In addition, the outer
The
図11は隔壁層の端部保護をテーパ部によって行う方法を示す説明図であり、図11(a)はテーパ部を形成した状態の隔壁層の平面図、図11(b)はテーパ部を形成した状態の隔壁層の側面図である。 11A and 11B are explanatory views showing a method of protecting the end portion of the partition wall layer by using the tapered portion. FIG. 11A is a plan view of the partition layer in a state where the tapered portion is formed, and FIG. It is a side view of the partition layer of the formed state.
これらの図に示すように、複数の帯状隔壁層の端部保護のために、保護用の隔壁層58を設け、この保護用の隔壁層58の外側上面に保護隔壁層用のテーパ部62を設ける。また、基板上に平行に配置された隔壁層の最も外側に位置する外側隔壁層60をその他の隔壁層29よりも幅広に形成する。そして、外側隔壁層60の短手方向の端部近傍部分の上面に、外側隔壁層60の長手方向に平行に外側隔壁層用のテーパ部63を形成する。すなわち外側隔壁層60の外側上面にテーパ部63を設ける。
As shown in these drawings, a
これは、上記した保護隔壁層用の切り欠き部59と第2の切り欠き部61を形成した後、それらの切り欠き部59,61よりも短手方向の端側に位置する部分をそれぞれ取り除き、それにより保護用の隔壁層58の短手方向の端部近傍部分と、外側隔壁層60の短手方向の端部近傍部分とに、それぞれ裾広がりのテーパ部62,63を形成する。
This is because, after forming the above-mentioned
このテーパ部62,63は、切り欠き部59と切り欠き部61の先端部分を機械的に取り除いてもよいし、マスキングパターン54のスリット状の切れ目53の大きさを、切り欠き部59と切り欠き部61の先端部分が自動的にリフトオフされるように設定することにより、取り除くようにしてもよい。
このテーパ部62,63により、焼成時の収縮による歪みが吸収され、隔壁の端部が反り返ることを防止することができる。
The
The
図12は本発明の第2の隔壁形成方法を示す説明図であり、図12(a)はマスキングパターンの平面図、図12(b)は焼成後の隔壁の平面図である。
これらの図に示すように、この隔壁形成方法においては、基板上に、隔壁31を形成するための隔壁材料層を全面に形成し、この隔壁材料層上に、隔壁層に対応した帯状のマスキングパターン54を形成する際に、図12(a)で示したように、隔壁層の長手方向の端部近傍部分が蛇行したマスキングパターン54を形成し、それにより長手方向の端部近傍部分が蛇行した隔壁層を形成し、これらの隔壁層を500〜600℃の高温で焼成し、隔壁層(ガラスペースト)中の樹脂成分を焼き飛ばすと同時にガラスペースト中のガラス粉末を軟化させ、相互に融着させることで隔壁31を形成する。
このようにして、帯状隔壁層の端部に蛇行部分をもたせ、焼成後の収縮による応力を蛇行部分のほぐれで緩和し、隔壁31の端部が反り返らないようにする。
12A and 12B are explanatory views showing a second partition wall forming method according to the present invention. FIG. 12A is a plan view of a masking pattern, and FIG. 12B is a plan view of the partition walls after firing.
As shown in these drawings, in this partition wall forming method, a partition wall material layer for forming the
In this way, the meandering portion is provided at the end portion of the strip-like partition wall layer, the stress due to the shrinkage after firing is relaxed by the loosening of the meandering portion, and the end portion of the
1 PDP
11 前面板
17 誘電体層
18 保護膜
21 背面板
22 下地層
24 絶縁層
28R,28G,28B 蛍光体層
29 隔壁層
30 放電空間
31 隔壁
41 透明電極
42 バス電極
51 隔壁材料層
52 切り欠き部
53 スリット状の切れ目
54 マスキングパターン
55 テーパ部
58 保護用の隔壁層
59 保護隔壁層用の切り欠き部
60 外側隔壁層
61 外側隔壁層用の第2の切り欠き部
62 保護隔壁層用のテーパ部
63 外側隔壁層用のテーパ部
70 サンドブラスト装置
A アドレス電極
L ライン
X,Y サステイン電極
1 PDP
DESCRIPTION OF
Claims (3)
該隔壁パターンの端部近傍に蛇行部分を形成した状態で焼成して、前記平面膜から端部高さが平面膜の高さを越えないパターンの隔壁を形成することを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法。 In a method of forming a planar film made of a partition wall material on a substrate, cutting the planar film into a predetermined partition wall pattern, and firing to form the partition wall,
The display panel is characterized in that a barrier rib having a pattern in which the height of the end portion does not exceed the height of the planar film from the planar film is fired in a state where a meandering portion is formed in the vicinity of the edge of the partition pattern. Partition wall forming method.
前記背面基板上の隔壁が隔壁材料の平面膜から切削加工された所定の隔壁パターンを有し、且つ該隔壁の端部が蛇行部分を有してなることを特徴とするガス放電表示パネル。 In a gas discharge display panel comprising a rear substrate on which address electrodes, barrier ribs that divide discharge spaces into discharge cells, and phosphor layers are arranged, facing a front substrate on which display sustain electrodes are arranged.
A gas discharge display panel, wherein the barrier rib on the back substrate has a predetermined barrier rib pattern cut from a planar film of barrier rib material, and an end portion of the barrier rib has a meandering portion .
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