JP3620939B2 - Method for forming partition wall of display panel - Google Patents

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【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、PDP(プラズマディスプレイパネル)のように表示領域内に隔壁を有した表示パネルを製造するための隔壁形成方法に関する。
【0002】
PDP、LCDなどの表示パネル(薄型表示デバイス)は、各種の分野で使用されている。特に視認性に優れ且つ高速表示が可能という特徴をもつPDPは、ハイビジョンの表示に好適である。表示品質の向上をめざして、パネル構造及び製造技術の開発が進められている。
【0003】
【従来の技術】
PDPは、一対の基板(通常はガラス板)を150〜200μm程度の微小間隙を設けて対向配置し、周囲を封止することによって内部に放電空間を形成した自己発光型の表示パネルである。マトリクス表示方式のPDPのうち、カラー表示に適した面放電形式のPDPは、表示の列毎に放電空間を仕切る隔壁を有している。隔壁によって列間の放電結合、色再現のクロストークが防止される。近年、このような隔壁の形成にはパターン印刷に代えてエッチング手法が用いられている。すなわち、基板の上に隔壁材料である低融点ガラスペーストの一様な層(いわゆるベタ膜)を設けて乾燥させ、低融点ガラス層の上にフォトリソグラフィ法によって所定パターンの切削マスクを設けた後、サンドブラストによって低融点ガラス層をパターニングする。サンドブラストのように切削媒体を吹き付けるパターニング手法は、生産性の上で大画面化に適しており、ウェットエッチングに比べてパターニング精度が高い。パターニングの後、低融点ガラス層を焼成して隔壁を完成させる。
【0004】
従来、切削マスクの平面視形状(マスキングパターン)は、隔壁の配置パターンと実質的に同一であった。ただし、寸法については、切削後の焼成時の収縮などを見越して所定のマージンが設定されていた。すなわち、隔壁の平面視形状と同形(相似形)の切削マスクが用いられていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
図7は従来の問題を説明するための図である。
面放電型PDPの表示品質を向上させるための隔壁パターンとして、図7(A)のように規則的に蛇行する帯状パターンP91を、隣接する帯状パターンP91どうしの間隔dの大きい部位と小さい部位とが縦横の交互に並ぶように配列したパターンが提案されている(特願平7−202977号)。このように隔壁間隔dが部位によって異なるパターンの隔壁を従来の方法で形成すると、サンドブラストによるパターニングが終了した時点で図7(B)のように帯状パターンP91に対応する各隔壁91の断面形状が左右非対称になり、その後の焼成時の熱収縮にともなって図7(C)のように隔壁91’が傾いてしまい、所望の平面視形状の隔壁が得られないという問題があった。隔壁91’の傾きの度合いは、隔壁の寸法条件(高さ、アスペクト比)及び隔壁材料の体積減少率に依存する。したがって、傾きを軽減するには、アスペクト比を小さくしたり、体積減少率の小さい材料を用いたりするなど、構造及び製造の条件を最適化する必要があった。
【0006】
本発明は、隔壁間隔が表示領域内の部位によって異なる配置パターンの隔壁の形成段階での型崩れを防止し、隔壁構造及び隔壁材料の制約を緩和することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
サンドブラストのように切削媒体を吹き付けるパターニングにおいては、切削面(マスクの開口面)が広い部位では狭い部位に比べて深さ方向の切削速度が大きく、基板面が早く露出する。硬質の基板面に衝突した切削媒体は面方向(横方向)に移動し、切削マスクの下方の隔壁材料を切削する。このため、隔壁間隔が部位によって異なる隔壁の形成に際して、従来のように隔壁と相似の切削マスクを用いると、隔壁間隔が大きい部位のサイドカット量が大きくなって隔壁が左右非対称になる。そこで、隔壁形状に対応する切削マスクに加えて、マスク間隔を均等化するための補助切削マスクを設ける。これにより、サイドカット量の不均一が軽減される。切削が適当な段階まで進んだ時点で、補助切削マスクが自然に切削面から消失するようにし、又は補助切削マスクを選択的に取り除いて、以降において切削マスクのみを用いれば、所望の平面視形状の隔壁を得ることができる。
【0008】
請求項1の発明の方法は、表示領域を区画する隔壁を有し、少なくとも一方向における隔壁間隔が前記表示領域内の位置によって異なる構造の表示パネルを製造するために、前記表示領域の全域に拡がる隔壁材料層の上に前記隔壁に対応した平面視形状の切削マスクを設け、切削媒体の吹き付けによって前記隔壁材料層の不要部分を除去する表示パネルの隔壁形成方法であって、前記切削マスクの全体の平面視形状が、第1の方向に沿って蛇行する複数の帯状パターンを、隣接する帯状パターンどうしの間隔の大きい部位と小さい部位とが交互に並ぶように前記第1の方向と直交する第2の方向に配列した形状である場合に、前記間隔の大きい部位に、前記切削マスクの形成と同時に、前記表示領域の全域にわたってマスク間隔を均等化するための補助切削マスクを形成し、前記切削マスクと前記補助切削マスクとを用いる第1の切削と、前記切削マスクのみを用いる第2の切削とを順に行うことによって前記隔壁材料層の不要部分を除去するものである。
【0009】
請求項2の発明の方法は、前記第1の切削にともなう前記補助切削マスクの下方のサイドカット量が一定量を越えたときに、前記補助切削マスクが吹き飛ばされるように当該補助切削マスクの平面視形状を設定し、前記第1の切削と前記第2の切削とを連続的に行うものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係るPDP1の要部の分解斜視図、図2はマトリクス構成を示す平面図である。
【0012】
PDP1は、マトリクス表示の単位表示要素EUに第1及び第2の表示電極X,Yとアドレス電極Aとが対応する3電極構造をもつ、面放電形式のAC型PDPである。前面側のガラス基板11の上に表示電極X,Y、誘電体層17及び保護膜18が設けられ、背面側のガラス基板21の上にアドレス電極A、絶縁層24、隔壁29及び蛍光体層28R,28G,28Bが設けられている。表示電極X,Yは、それぞれが透明導電膜41と金属膜42とから構成され、一定の間隔(面放電ギャップ)を隔てて交互に配列されている。
【0013】
PDP1において、放電空間30を列毎に区画する隔壁29の平面視形状は、規則的に蛇行する帯状である。図2のように、各隔壁29は平面視において一定の周期及び振幅で波打っており、隣接する隔壁29との距離が列rの方向(以下、列方向という)に沿って周期的に一定値より小さくなるように配置されている。一定値とは放電の抑止が可能な寸法であり、ガス圧などの放電条件によって定まる。各隔壁29が互いに隔てて配置されているので、各隔壁29の間の空間(列空間)は、表示画面の全てのラインlに跨がって連続している。これにより列単位のプライミングによる駆動の容易化、蛍光体層の印刷状態の均一化、及び排気の容易化を図ることができる。また、スクリーン印刷法を用いて列空間に蛍光体を均等な厚さに塗布することができる。PDP1では、R(赤)の蛍光体層28R、G(緑)の蛍光体層28G、及びB(青)の蛍光体層28Bが各列r毎に1色ずつRGBの順に配置されている。列r内の各ラインlの発光色は同一である。
【0014】
ここで、列空間の内、ラインlの方向(ライン方向)の幅の小さい部分31bでは面放電が生じず、幅の広い部分31aが実質的に発光に寄与する。したがって、各行lにおいて1列置きにサブピクセルEUが配置される。そして、隣接する2つの行lに注目すると、サブピクセルEUの配置される列rが1列毎に交互に入れ替わる。つまり、サブピクセルEUは、行方向及び列方向の双方に千鳥状に並ぶ。PDP1では、隣接するRGBの計3つのサブピクセルEUによって1つのピクセルEGが構成されており、カラー表示の3色の配列形式は三角(デルタ)配列形式である。三角配列は、ライン方向においてサブピクセルEUの幅wがピクセルピッチpの1/3より大きく、インライン配列に比べて高精細化に有利である。
【0015】
図3は隔壁形成の手順を示す図、図4は切削開始時点のマスキングパターンを示す平面図である。図4中の破線は図3に対応した列方向の位置を示している。
アドレス電極Aを覆うように絶縁層24を形成した後の段階のガラス基板21のほぼ全面に、PbO系の低融点ガラスペーストを塗布し、塗布層を乾燥させて200μm程度の厚さの隔壁材料層291を形成する。ペーストの塗布方法としては、スクリーン印刷法、バーコータ法、スロットコータ法、カーテンコータ法などがある。続いて、隔壁材料層291の表面に厚さが30〜50μmのドライフィルム状の感光性レジストを、ラミネータを用いて80〜100℃の温度で圧着する。そして、パターン露光及び現像を行って、隔壁29に対応したマスキングパターンの切削マスク61、及び本発明に特有の補助切削マスク62を同時に形成する〔図3(A)〕。ここで、補助切削マスク62は、ピクセルEGが画定される表示領域の全域にわたってマスク間隔d1,d3を均等化するために部材であり、図4のように隣接する切削マスク61の間隔の大きい部位、すなわち図2で説明した幅の広い部分31aに対応する領域(間隔d2の領域)に配置されている。
【0016】
次に、隔壁材料層291をサンドブラストによって部分的に切削する〔図3(B)〕。すなわち、切削マスク61と補助切削マスク62とを用いて隔壁材料層291をパターニングする。切削媒体として、例えば粒径が10〜30μm程度のガラス粉末を用い、噴射媒体としてドライエア又は窒素ガスを用いる。噴射圧力は1.0〜3kg/cmとする。噴射ノズルとガラス基板21とを相対的に平行移動させることによって、表示領域全体の切削を行う。
【0017】
切削の開始から所定の時間が経過して補助切削マスク62の下方のサイドカット量が所定量を越えると、補助切削マスク62を支持する隔壁材料層291の機械的強度がサンドブラストの衝撃に対して不十分になり、補助切削マスク62とともに隔壁材料が吹き飛ばされる〔図3(C)〕。切削マスク61は吹き飛ばされずに残る。これは、補助切削マスク62が点在配置され、その面積に対する周囲長の比が帯状の切削マスク62に比べて大きく、周囲360°の全方向のサイドカットが生じ、補助切削マスク62の下方の隔壁材料層291の体積減少の進行が速いからである。ここで、切削の開始から補助切削マスク62が消失するまでの時間は、切削の条件(研磨材の種類、粒径、ブラスト圧力など)、隔壁材料層の膜質(切削性、脆さなど)、マスクの性質(厚さ、硬さ、脆さ、密着力)、補助切削マスク62の形状(幅、長さ、厚さ)に依存する。したがって、適切な時期に補助切削マスク62が消失するように切削の条件を最適化する必要がある。
【0018】
補助切削マスク62が消失した後も切削を続ける。すなわち切削マスク61のみを用いて隔壁材料層291の不要部分を除去する〔図3(D)〕。補助切削マスク62の消失により露出した隔壁材料は急速に切削されて無くなる。切削が終わると、切削マスク61を化学的に取り除き、蛇行した帯状にパターニングされた隔壁材料層292を焼成して隔壁29を完成させる。
【0019】
図5及び図6はマスキングパターンの他の例を示す平面図である。
図5の例では、列方向に蛇行しながら延びた帯状の切削マスク61bどうしの間の領域のうちのライン方向の幅の大きい部分に、環状の補助切削マスク62bが配置されている。補助切削マスク62bの面積が過大であると切削の途中で吹き飛ばされずに残ってしまうおそれがある。このことから補助切削マスク62bは環状に形成されている。図6の例では、帯状の切削マスク61cどうしの間の領域のうちのライン方向の幅の大きい部分に、長方形の補助切削マスク62cが2個ずつ配置されている。
【0020】
上述の実施形態においては、蛇行した帯状の隔壁29を形成する場合を例示したが、本発明は直線状の隔壁を等間隔以外の形式(不等間隔)で配列する場合、列方向とライン方向の隔壁間隔が異なる格子状の隔壁を設ける場合にも適用可能である。例えば直線状の隔壁を第1の間隔とそれより大きい第2の間隔を設けて配列する場合には、隔壁材料層のパターニングに際して、第2の間隔に対応する領域に直線状の補助切削マスクを形成する。その補助切削マスクの幅を隔壁に対応した切削マスクの幅より小さい値に選定すれば、切削の途中で補助切削マスクを消失させることができる。補助切削マスクを破線状とすれば、消失の時期を最適化するために幅・長さ・間隔を選定することができ、幅のみを選定することのできる直線状とする場合よりもマスク設計の自由度が高まる。
【0021】
【発明の効果】
請求項1又は請求項の発明によれば、隔壁間隔が表示領域内の部位によって異なる配置パターンの隔壁の形成段階での型崩れが防止されるので、隔壁構造及び隔壁材料の制約が緩和される。
【0022】
請求項2の発明によれば、補助切削マスクをとり除くための特別の工程が不要となり、生産性が高まる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るPDPの要部の分解斜視図である。
【図2】マトリクス構成を示す平面図である。
【図3】隔壁形成の手順を示す図である。
【図4】切削開始時点のマスキングパターンを示す平面図である。
【図5】マスキングパターンの他の例を示す平面図である。
【図6】マスキングパターンの他の例を示す平面図である。
【図7】従来の問題を説明するための図である。
【符号の説明】
1 PDP(表示パネル)
29 隔壁
61 切削マスク
62 補助切削マスク
291 隔壁材料層
d 間隔(隔壁間隔)
d1,d3 マスク間隔
P91 帯状パターン
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for forming barrier ribs for manufacturing a display panel having barrier ribs in a display area, such as a plasma display panel (PDP).
[0002]
Display panels (thin display devices) such as PDPs and LCDs are used in various fields. In particular, a PDP having the characteristics of excellent visibility and high-speed display is suitable for high-definition display. Development of panel structures and manufacturing techniques is being promoted with the aim of improving display quality.
[0003]
[Prior art]
A PDP is a self-luminous display panel in which a pair of substrates (usually a glass plate) are arranged to face each other with a minute gap of about 150 to 200 μm, and a discharge space is formed inside by sealing the periphery. Among the matrix display type PDPs, the surface discharge type PDP suitable for color display has partition walls for partitioning discharge spaces for each display column. The barrier ribs prevent discharge coupling between columns and crosstalk of color reproduction. In recent years, an etching method is used for forming such partition walls instead of pattern printing. That is, after a uniform layer (so-called solid film) of a low-melting glass paste as a partition material is provided on a substrate and dried, and a cutting mask having a predetermined pattern is provided on the low-melting glass layer by photolithography. Then, the low melting point glass layer is patterned by sandblasting. A patterning method of spraying a cutting medium, such as sandblasting, is suitable for increasing the screen size in terms of productivity, and has higher patterning accuracy than wet etching. After patterning, the low-melting glass layer is baked to complete the partition walls.
[0004]
Conventionally, the plan view shape (masking pattern) of the cutting mask is substantially the same as the partition pattern. However, a predetermined margin was set for the dimensions in anticipation of shrinkage during firing after cutting. That is, a cutting mask having the same shape (similar shape) as the plan view shape of the partition walls has been used.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
FIG. 7 is a diagram for explaining a conventional problem.
As a barrier rib pattern for improving the display quality of the surface discharge type PDP, a belt-like pattern P91 meandering regularly as shown in FIG. 7A is divided into a portion having a large distance d and a portion having a small interval d between adjacent belt-like patterns P91. Has been proposed (Japanese Patent Application No. 7-202977). In this way, when the partition wall having a pattern having different partition wall distances d is formed by the conventional method, the cross-sectional shape of each partition wall 91 corresponding to the strip pattern P91 as shown in FIG. As a result, the partition wall 91 ′ is inclined as shown in FIG. 7C due to thermal contraction during subsequent firing, resulting in a problem that a partition wall having a desired shape in plan view cannot be obtained. The degree of inclination of the partition wall 91 ′ depends on the dimension conditions (height and aspect ratio) of the partition wall and the volume reduction rate of the partition wall material. Therefore, in order to reduce the inclination, it is necessary to optimize the structure and manufacturing conditions, such as reducing the aspect ratio or using a material with a small volume reduction rate.
[0006]
It is an object of the present invention to prevent shape loss at the stage of forming partition walls having different arrangement patterns depending on the positions in the display region, and to ease restrictions on the partition structure and partition material.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In patterning in which a cutting medium is sprayed like sandblast, the cutting speed in the depth direction is higher in a portion where the cutting surface (mask opening surface) is wide than in a narrow portion, and the substrate surface is exposed faster. The cutting medium that has collided with the hard substrate surface moves in the surface direction (lateral direction) and cuts the partition wall material below the cutting mask. For this reason, when a partitioning mask similar to the partition wall is used as in the prior art when forming partition walls with different partition wall intervals, the side cut amount at the region where the partition wall interval is large becomes large and the partition wall becomes asymmetrical. Therefore, in addition to the cutting mask corresponding to the partition wall shape, an auxiliary cutting mask for equalizing the mask interval is provided. Thereby, the nonuniformity of the side cut amount is reduced. When the cutting has progressed to an appropriate stage, the auxiliary cutting mask disappears naturally from the cutting surface, or the auxiliary cutting mask is selectively removed, and only the cutting mask is used thereafter, the desired plan view shape is obtained. Can be obtained.
[0008]
The method of the invention of claim 1 has a partition wall for partitioning the display area, and in order to manufacture a display panel having a structure in which the partition wall spacing in at least one direction differs depending on the position in the display area, A partition wall forming method for a display panel, in which a cutting mask having a plan view shape corresponding to the partition wall is provided on a partition wall material layer that spreads, and unnecessary portions of the partition wall material layer are removed by spraying a cutting medium . The overall plan view shape is orthogonal to the first direction so that a plurality of band-shaped patterns meandering along the first direction are arranged in such a manner that large and small portions of adjacent band-shaped patterns are alternately arranged. If a shape arranged in the second direction, a large portion of the gap, simultaneously with the formation of the cutting mask to equalize the mask intervals over the entire area of the display region An unnecessary cutting portion of the partition wall material layer is formed by sequentially performing a first cutting using the cutting mask and the auxiliary cutting mask and a second cutting using only the cutting mask. To be removed.
[0009]
According to the method of the invention of claim 2, the plane of the auxiliary cutting mask is blown so that the auxiliary cutting mask is blown away when the lower side cut amount of the auxiliary cutting mask accompanying the first cutting exceeds a certain amount. A visual shape is set, and the first cutting and the second cutting are continuously performed.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is an exploded perspective view of a main part of a PDP 1 according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view showing a matrix configuration.
[0012]
The PDP 1 is a surface discharge AC type PDP having a three-electrode structure in which the first and second display electrodes X and Y and the address electrode A correspond to the unit display element EU of the matrix display. Display electrodes X and Y, dielectric layer 17 and protective film 18 are provided on front glass substrate 11, and address electrode A, insulating layer 24, barrier rib 29 and phosphor layer are provided on rear glass substrate 21. 28R, 28G, and 28B are provided. The display electrodes X and Y are each composed of a transparent conductive film 41 and a metal film 42, and are alternately arranged with a constant interval (surface discharge gap).
[0013]
In the PDP 1, the planar view shape of the partition walls 29 that divide the discharge space 30 for each column is a belt shape that meanders regularly. As shown in FIG. 2, each partition wall 29 undulates with a constant period and amplitude in plan view, and the distance from the adjacent partition wall 29 is periodically constant along the direction of the column r (hereinafter referred to as the column direction). It arrange | positions so that it may become smaller than a value. The constant value is a dimension capable of suppressing discharge, and is determined by discharge conditions such as gas pressure. Since the partition walls 29 are spaced apart from each other, the space (column space) between the partition walls 29 is continuous across all the lines l on the display screen. Accordingly, it is possible to facilitate driving by priming in units of columns, to make the printing state of the phosphor layer uniform, and to facilitate exhaust. Further, the phosphor can be applied to the row space with a uniform thickness by using a screen printing method. In the PDP 1, an R (red) phosphor layer 28R, a G (green) phosphor layer 28G, and a B (blue) phosphor layer 28B are arranged in the order of RGB, one color for each column r. The emission color of each line l in the row r is the same.
[0014]
Here, in the column space, the surface discharge is not generated in the portion 31b having a small width in the direction of the line l (line direction), and the wide portion 31a substantially contributes to light emission. Therefore, subpixels EU are arranged every other column in each row l. When attention is paid to two adjacent rows l, the columns r in which the subpixels EU are arranged are alternately switched every column. That is, the subpixels EU are arranged in a staggered pattern in both the row direction and the column direction. In PDP 1, one pixel EG is configured by a total of three subpixels EU of adjacent RGB, and a three-color arrangement format for color display is a triangular (delta) arrangement format. The triangular arrangement has a width w of the sub-pixel EU larger than 1/3 of the pixel pitch p in the line direction, which is advantageous for higher definition than the in-line arrangement.
[0015]
FIG. 3 is a diagram showing a procedure for forming a partition wall, and FIG. 4 is a plan view showing a masking pattern at the start of cutting. The broken line in FIG. 4 indicates the position in the column direction corresponding to FIG.
A barrier rib material having a thickness of about 200 μm is formed by applying a PbO-based low-melting glass paste to almost the entire surface of the glass substrate 21 at the stage after the insulating layer 24 is formed so as to cover the address electrodes A, and drying the coating layer. Layer 291 is formed. Examples of the paste application method include a screen printing method, a bar coater method, a slot coater method, and a curtain coater method. Subsequently, a dry film photosensitive resist having a thickness of 30 to 50 μm is pressure-bonded to the surface of the partition wall material layer 291 at a temperature of 80 to 100 ° C. using a laminator. Then, pattern exposure and development are performed to simultaneously form a cutting mask 61 having a masking pattern corresponding to the partition wall 29 and an auxiliary cutting mask 62 unique to the present invention (FIG. 3A). Here, the auxiliary cutting mask 62 is a member for equalizing the mask intervals d1 and d3 over the entire display area in which the pixels EG are defined, and a portion having a large interval between adjacent cutting masks 61 as shown in FIG. That is, it is arranged in a region corresponding to the wide portion 31a described in FIG.
[0016]
Next, the partition wall material layer 291 is partially cut by sandblasting (FIG. 3B). That is, the partition wall material layer 291 is patterned using the cutting mask 61 and the auxiliary cutting mask 62. For example, glass powder having a particle size of about 10 to 30 μm is used as a cutting medium, and dry air or nitrogen gas is used as an injection medium. The injection pressure is 1.0 to 3 kg / cm 2 . The entire display area is cut by relatively moving the spray nozzle and the glass substrate 21 in parallel.
[0017]
When a predetermined time elapses from the start of cutting and the side cut amount below the auxiliary cutting mask 62 exceeds a predetermined amount, the mechanical strength of the partition wall material layer 291 supporting the auxiliary cutting mask 62 is increased against the impact of sandblasting. The partition material is blown off together with the auxiliary cutting mask 62 (FIG. 3C). The cutting mask 61 remains without being blown away. This is because the auxiliary cutting masks 62 are interspersed and the ratio of the peripheral length to the area is larger than that of the strip-shaped cutting mask 62, and side cuts in all directions of 360 ° are generated. This is because the volume reduction of the partition wall material layer 291 proceeds rapidly. Here, the time from the start of cutting to the disappearance of the auxiliary cutting mask 62 is the cutting conditions (type of abrasive, particle size, blast pressure, etc.), film quality of the partition wall material layer (cutability, brittleness, etc.), It depends on the properties (thickness, hardness, brittleness, adhesion) of the mask and the shape (width, length, thickness) of the auxiliary cutting mask 62. Therefore, it is necessary to optimize the cutting conditions so that the auxiliary cutting mask 62 disappears at an appropriate time.
[0018]
Cutting continues even after the auxiliary cutting mask 62 disappears. That is, unnecessary portions of the partition wall material layer 291 are removed using only the cutting mask 61 [FIG. 3D]. The partition wall material exposed by the disappearance of the auxiliary cutting mask 62 is rapidly cut away. When the cutting is finished, the cutting mask 61 is chemically removed, and the partition wall material layer 292 patterned into a meandering strip shape is fired to complete the partition walls 29.
[0019]
5 and 6 are plan views showing other examples of the masking pattern.
In the example of FIG. 5, an annular auxiliary cutting mask 62 b is arranged in a portion having a large width in the line direction in a region between strip-shaped cutting masks 61 b extending while meandering in the column direction. If the area of the auxiliary cutting mask 62b is excessive, it may remain without being blown off during cutting. Therefore, the auxiliary cutting mask 62b is formed in an annular shape. In the example of FIG. 6, two rectangular auxiliary cutting masks 62c are arranged in a portion having a large width in the line direction in the region between the strip-shaped cutting masks 61c.
[0020]
In the above-described embodiment, the case where the meandering strip-shaped partition walls 29 are formed is illustrated. However, in the present invention, when the linear partition walls are arranged in a form other than equal intervals (unequally spaced), the column direction and the line direction. The present invention is also applicable to the case where grid-like partition walls having different partition wall intervals are provided. For example, when linear barrier ribs are arranged with a first gap and a second gap larger than the first gap, a linear auxiliary cutting mask is provided in a region corresponding to the second gap when patterning the barrier rib material layer. Form. If the width of the auxiliary cutting mask is selected to be smaller than the width of the cutting mask corresponding to the partition wall, the auxiliary cutting mask can be eliminated during the cutting. If the auxiliary cutting mask has a broken line shape, the width, length, and interval can be selected to optimize the disappearance time, and the mask design can be made better than a straight line where only the width can be selected. Increased freedom.
[0021]
【The invention's effect】
According to the first or second aspect of the present invention, the deformation of the partition wall in the formation stage of the partition pattern in which the partition wall space varies depending on the position in the display region is prevented, so that the restrictions on the partition wall structure and the partition wall material are alleviated. The
[0022]
According to invention of Claim 2, the special process for removing an auxiliary cutting mask becomes unnecessary, and productivity improves.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view of a main part of a PDP according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a matrix configuration.
FIG. 3 is a diagram showing a procedure for forming a partition wall;
FIG. 4 is a plan view showing a masking pattern at the start of cutting.
FIG. 5 is a plan view showing another example of a masking pattern.
FIG. 6 is a plan view showing another example of a masking pattern.
FIG. 7 is a diagram for explaining a conventional problem.
[Explanation of symbols]
1 PDP (display panel)
29 Partition wall 61 Cutting mask 62 Auxiliary cutting mask 291 Partition wall material layer d interval (distance between partitions)
d1, d3 Mask interval P91 Strip pattern

Claims (2)

表示領域を区画する隔壁を有し、少なくとも一方向における隔壁間隔が前記表示領域内の位置によって異なる構造の表示パネルを製造するために、前記表示領域の全域に拡がる隔壁材料層の上に前記隔壁に対応した平面視形状の切削マスクを設け、切削媒体の吹き付けによって前記隔壁材料層の不要部分を除去する表示パネルの隔壁形成方法であって、
前記切削マスクの全体の平面視形状が、第1の方向に沿って蛇行する複数の帯状パターンを、隣接する帯状パターンどうしの間隔の大きい部位と小さい部位とが交互に並ぶように前記第1の方向と直交する第2の方向に配列した形状である場合に、
前記間隔の大きい部位に、前記切削マスクの形成と同時に、前記表示領域の全域にわたってマスク間隔を均等化するための補助切削マスクを形成し、
前記切削マスクと前記補助切削マスクとを用いる第1の切削と、前記切削マスクのみを用いる第2の切削とを順に行うことによって前記隔壁材料層の不要部分を除去する
ことを特徴とする表示パネルの隔壁形成方法。
In order to manufacture a display panel having a partition partitioning a display area and having a structure in which a partition spacing in at least one direction differs depending on a position in the display area, the partition is formed on a partition material layer extending over the entire display area. A partition mask forming method for a display panel, in which an unnecessary portion of the partition wall material layer is removed by spraying a cutting medium.
The entire planar shape of the cutting mask has a plurality of belt-like patterns meandering along the first direction, and the first and the second strips are arranged in such a manner that portions with large and small intervals between adjacent belt-like patterns are alternately arranged. When the shape is arranged in a second direction orthogonal to the direction,
Forming an auxiliary cutting mask for equalizing the mask interval over the entire display area at the same time as the formation of the cutting mask at the large interval ,
An unnecessary portion of the partition wall material layer is removed by sequentially performing a first cutting using the cutting mask and the auxiliary cutting mask and a second cutting using only the cutting mask. Partition wall forming method.
前記第1の切削にともなう前記補助切削マスクの下方のサイドカット量が一定量を越えたときに、前記補助切削マスクが吹き飛ばされるように当該補助切削マスクの平面視形状を設定し、前記第1の切削と前記第2の切削とを連続的に行う
請求項1記載の表示パネルの隔壁形成方法。
The shape of the auxiliary cutting mask in plan view is set so that the auxiliary cutting mask is blown away when a side cut amount below the auxiliary cutting mask resulting from the first cutting exceeds a certain amount. The partition forming method for a display panel according to claim 1, wherein the cutting and the second cutting are continuously performed.
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