JP3888170B2 - 窒化物半導体レーザ素子 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、窒化物半導体(InXAlYGa1−X−YN、0≦X、0≦Y、X+Y≦1)よりなるレーザ素子に係り、特に電極ストライプ型のレーザ素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
窒化物半導体はバンドギャップが1.95eV〜6.0eVまであり、直接遷移型の材料であるので、紫外〜赤色までの半導体レーザ素子の材料として従来より注目されている。
【0003】
従来の窒化物半導体レーザ素子の代表的な構造を示す模式的な断面図を図3に示す。このレーザ素子は電極ストライプ型の構造を示している。基本的には、サファイア基板31の表面にn型クラッド層32と活性層33とp型クラッド層34とが順に積層されたダブルヘテロ構造を有している。p型クラッド層34、活性層33、およびn型クラッド層32の一部はストライプ状にエッチングされてn型クラッド層32の水平面が露出されている。n型クラッド層32の水平面にはストライプ状の負電極41が形成され、最上層のp型クラッド層34にもストライプ状の正電極42が形成されたいわゆるフリップチップ方式となっている。さらに、正電極42とp型クラッド層34との間には、電流狭窄層としてSiO2よりなる絶縁層35が形成され、その絶縁層35で電流を活性層33に集中させて発振を起こす構造とされている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら図3の矢印に示すように、従来のレーザ素子では絶縁層35で狭窄した電流がp型クラッド層34中、あるいは活性層33中で広がってしまい、活性層33に部分的に電流を集中させることが困難であった。電流が集中できないので、活性層33が均一に発光し、従来の構造ではLEDとしての特性しか示さないのが実状であった。
【0005】
従って本発明はこのような事情を鑑みて成されたものであって、その目的とするところは活性層に電流を集中させてレーザ発振する窒化物半導体レーザ素子を提供することにある。
【0006】
本発明の窒化物半導体レーザ素子は、基板上に、n型層、活性層及びp型層が順次積層されたダブルへテロ構造を有し、前記p型層上に正電極が設けられた窒化物半導体レーザ素子であって、前記n型層は、前記基板側から順に、n型AlGaNからなる第1のn型クラッド層と、n型InGaN若しくはn型GaNからなり前記活性層に接する第2のn型クラッド層と、を有し、前記活性層は、InGaNからなる井戸層を含む多重量子井戸構造を有し、前記p型層は、前記活性層側から順に、前記活性層に接するp型AlGaNクラッド層と、p型GaN若しくはp型AlGaNからなるp型コンタクト層と、を有しており、前記p型コンタクト層、前記p型AlGaNクラッド層、前記活性層、前記第2のn型クラッド層及び前記第1のn型クラッド層はストライプ状にエッチングされて、そのエッチングされて露出された側面及び平面には連続した絶縁膜が形成されており、前記正電極は最上層のp型層の表面にp型層のストライプ幅とほぼ同一の幅で接することを特徴とする。
【0007】
図1に本発明の一実施例に係るレーザ素子の形状を示す斜視図を示し、図2に図1の斜視図をストライプに垂直な方向で切断した模式断面図を示す。これらの図に示すように、本発明のレーザ素子はストライプ状にエッチングされたp層のストライプ幅とほぼ同一の幅を有する正電極をp層に直接接して形成することにより、電流の広がりをなくして活性層に直接電流が集中するようにしている。その電流の広がりをなくして活性層に電流を集中できる好ましいストライプ幅は50μm以下、さらに好ましくは30μm以下、最も好ましくは10μm以下である。50μmよりも広いと、レーザ発振のしきい値電流が高くなりレーザ発振しなくなる傾向にあるからである。なお、本発明においてほぼ同一の幅とは、−10%以内の幅で電極幅がp型層の幅に近似していることを示すものとする。
【0008】
図2はレーザ素子の基本的な構造は活性層をn型とp型の窒化物半導体層で挟んだダブルへテロ構造であるが、特にレーザ発振しやすい構造として図2に示す構造を推奨する。
【0009】
図2は基板1の表面に、n型コンタクト層2、第一のn型クラッド層3、第二のn型クラッド層4、活性層5、第一のp型クラッド層6、p型コンタクト層7とを順に積層した、いわゆる分離閉じ込め型のダブルへテロ構造を示している。p型コンタクト層7、第一のp型クラッド層6、活性層5、第二のn型クラッド層4、第一のn型クラッド層3、およびn型コンタクト層2の一部がエッチングされてストライプ状の負電極11が形成され、さらに、エッチングにより残されたストライプ状のp型コンタクト層7の表面に、p型コンタクト層7のストライプ幅とほぼ同一の幅を有する正電極12が直接接して形成されている。
【0010】
基板1にはサファイア(C面、R面、A面を含む。)、SiC(6H、4Hを含む。)、Si、ZnO、GaAs等が使用できるが、一般的にはサファイア、またはSiCを使用する。
【0011】
n型コンタクト層2としてはGaN、AlGaN等の二元混晶、または三元混晶の半導体層が結晶性の良いものが得られる。特にGaNとすると負電極材料と好ましいオーミックが得られる。n型とするには半導体層にSi、Ge、S等のドナー不純物をドープする。また基板1とn型コンタクト層2との間に、格子定数不整を緩和するためにGaN、AlN等がバッファ層を形成しても良い。
【0012】
次の第一のn型クラッド層3は第二のn型クラッド層よりもバンドギャップが大きい窒化物半導体を形成し、特に前記ドナー不純物をドープしたn型AlGaNは結晶性が良く、またバンドギャップの大きい半導体層が得られる。
【0013】
次の第二のn型クラッド層4は活性層5よりもバンドギャップが大きい窒化物半導体層を形成し、特に前記ドナー不純物をドープしたn型InGaN、またはn型GaNが好ましい。また後に述べるように、第二のn型クラッド層4は活性層5との組み合わせにおいてもInGaN、GaNが好ましく、レーザ発振させるためにはInGaN、GaNよりなるこの第二のn型クラッド層4を形成することは特に好ましい。
【0014】
次の活性層5はノンドープのInGaNとすると、およそ635nm〜365nm付近のバンド間発光が得られる。好ましくはインジウムのモル比をガリウムに対して半分以下にしたInGaNが結晶性が良く、レーザ素子の寿命が長い。また、活性層を数十オングストロームの膜厚で2層以上積層した多層膜、つまり多重量子井戸構造としてもよい。単一量子井戸構造、多重量子井戸構造いずれの活性層においても、活性層はn型、p型いずれでもよいが、特にノンドープ(無添加)とすることにより半値幅の狭いバンド間発光、励起子発光、あるいは量子井戸準位発光が得られ、LED素子、LD素子を実現する上で特に好ましい。活性層を単一量子井戸(SQW:single quantum well)構造若しくは多重量子井戸(MQW:multi quantum well)構造とすると非常に出力の高い発光素子が得られる。SQW、MQWとはノンドープのInGaNによる量子準位間の発光が得られる活性層の構造を指し、例えばSQWでは活性層を単一組成のInXGa1−XN(0≦X<1)で構成した層であり、InXGa1−XNの膜厚を100オングストローム以下、さらに好ましくは70オングストローム以下とすることにより量子準位間の強い発光が得られる。またMQWは組成比の異なるInXGa1−XN(この場合X=0、X=1を含む)の薄膜を複数積層した多層膜とする。このように活性層をSQW、MQWとすることにより量子準位間発光で、約365nm〜660nmまでの発光が得られる。量子構造の井戸層の厚さとしては、前記のように70オングストローム以下が好ましい。多重量子井戸構造では井戸層はInXGa1−XNで構成し、障壁層は同じくInYGa1−YN(Y<X、この場合Y=0を含む)で構成することが望ましい。特に好ましくは井戸層と障壁層をInGaNで形成すると同一温度で成長できるので結晶性のよい活性層が得られる。障壁層の膜厚は150オングストローム以下、さらに好ましくは120オングストローム以下にすると高出力な発光素子が得られる。また、活性層5にドナー不純物および/またはアクセプター不純物をドープしてもよい。不純物をドープした活性層の結晶性がノンドープと同じであれば、ドナー不純物をドープするとノンドープのものに比べてバンド間発光強度をさらに強くすることができる。アクセプター不純物をドープするとバンド間発光のピーク波長よりも約0.5eV低エネルギー側にピーク波長を持っていくことができるが、半値幅は広くなる。アクセプター不純物とドナー不純物を同時にドープすると、アクセプター不純物のみドープした活性層の発光強度をさらに大きくすることができる。特にアクセプター不純物をドープした活性層を実現する場合、活性層の導電型はSi等のドナー不純物を同時にドープしてn型とすることが好ましい。活性層5は例えば数オングストローム〜0.5μmの膜厚で成長させることができる。
【0015】
次に、第一のp型クラッド層6は活性層5よりもバンドギャップの大きい窒化物半導体で形成し、特に好ましくはアクセプター不純物をドープしたp型AlGaNにすると結晶性が良く、またバンドギャップの大きい半導体層が得られる。またアクセプター不純物ドープ後、さらに低抵抗なp型にする目的で400℃以上でアニーリングを行っても良い。アクセプター不純物としては例えばZn、Mg、Cd等のII族元素、C(カーボン)等がある。
【0016】
また第一のp型クラッド層6と活性層5との間に、活性層5よりもバンドギャップが大きく、第一のクラッド層6よりもバンドギャップが小さい第二のp型クラッド層を挿入しても良い。第二のp型クラッド層はアクセプター不純物をドープしたp型InGaNが好ましい。ここで、第二のn型クラッド層4と活性層5と第二のp型クラッド層(第二のp型クラッド層は特に成長しなくても良い。)との組み合わせにおいて、活性層5を単一量子井戸構造若しくは多重量子井戸構造として、活性層を構成する窒化物半導体層の膜厚を薄くすることにより、第二のn型クラッド層4との界面に、弾性的な歪が発生し、歪量子井戸構造のレーザ素子が実現されるので、レーザ発振が容易となる。特にこの弾性的な歪は活性層5をInGaNとし、第二のn型クラッド層4を活性層6よりもバンドギャップの大きいn型InGaN、またはn型GaNとした際に発生する傾向にある。
【0017】
次に、p型コンタクト層8は第一のp型クラッド層7と同じくアクセプター不純物をドープしたp型GaN、p型AlGaN等の二元混晶、または三元混晶の半導体層が結晶性の良いものが得られる。特にGaNとすると正電極材料と好ましいオーミックが得られる。
【0018】
窒化物半導体のエッチング手段としては、ドライエッチング、ウェットエッチング両方の手段があるが、エッチング端面を垂直にしたストライプを形成するにはドライエッチングが好ましい。ドライエッチングでは例えば、反応性イオンエッチング、イオンミリング、イオンビームアシストエッチング、集束イオンビームエッチング等の手段を用いることができる。
【0019】
また図4は本発明の他の実施例に係るレーザ素子の構造を示す模式断面図であるが、図2の断面図と異なる点は、ストライプ状にエッチングされたp型層の側面に絶縁膜20を形成し、さらにそのp型層のストライプ幅とほぼ同一の幅で接するストライプ状の正電極12をp型層に接して形成し、さらに、正電極12をp型層から絶縁膜20の表面に亙って形成していることである。つまり正電極12にワイヤーボンディングする際、図2に示すようなストライプ状の正電極12ではその幅が狭いために、ワイヤーボンディングするのはほとんど不可能である。そこで、正電極12の幅を広くとるために、p型層の側面にSiO2のような絶縁体よりなる絶縁膜20を新たに形成し、その絶縁膜20の表面に、p型層と電気的に接続した正電極12を形成している。図1のような構造であると電極がワイヤーボンディングできず、フェイスダウンの構造となるが、図4のような構造にするとフェイスアップの構造とできるので、チップサイズを小さくすることができる。
【0020】
【作用】
本発明のレーザ素子ではp型層のストライプ幅を狭くして活性層に電流が集中するようにしている。つまり、ストライプ状にエッチングされたp型層に、ほぼ同一のストライプ幅を有する正電極を形成すると、p型層中で電流が広がってもストライプ幅が狭いので活性層の電流密度が上がり容易にレーザ発振しやすくなる。また活性層から基板と平行方向に出る光に関しても、活性層のストライプ幅が狭いので、窒化物半導体と屈折率差の大きい大気との距離が短くなり、この狭い領域で光が閉じ込められるので、容易にレーザ発振する。
【0021】
また本発明のレーザ素子であると従来のようにp型層の表面に電流狭窄のための絶縁層を形成するプロセスが必要ないので、製造工程を短縮できる。
【0022】
【実施例】
[実施例1]
厚さ350μmのサファイア基板1上に、GaNよりなるバッファ層を200オングストローム、Siドープn型GaNよりなるn型コンタクト層2を5μm、Siドープn型Al0.3Ga0.7Nよりなるn型クラッド層3を0.1μm、Siドープn型In0.01Ga0.99Nよりなる第二のn型クラッド層4を500オングストローム、ノンドープIn0.08Ga0.92Nよりなる活性層5を100オングストローム、Mgドープp型Al0.3Ga0.7Nよりなるp型クラッド層6を0.1μm、Mgドープp型GaNよりなるp型コンタクト層7を0.5μmの膜厚で順に成長させたウェーハを用意する。
【0023】
次に、このウェーハのp型コンタクト層7の表面に所定の形状でマスクを形成した後、RIE(反応性イオンエッチング)を用いて、窒化物半導体層を10μmのストライプ幅でエッチングする。エッチング後、露出したn型コンタクト層3にはTi/Alよりなる負電極11を20μmの幅でストライプ状に形成し、ストライプ状のp型コンタクト層7の全面にNi/Auよりなる正電極12を形成する。
【0024】
次に、サファイア基板1の窒化物半導体層を形成していない方の面を研磨機で80μmの厚さまで研磨する。研磨後、サファイア基板の研磨面をスクライバーでスクライブする。スクライブ方向はストライプ電極と直交するラインと、もう一方のスクライブラインは電極と平行な方向とする。スクライブライン形成後、ウェーハをローラで押し割り、電極に垂直な方向で劈開した窒化物半導体層面を光共振器とする共振器長500μmのレーザチップとする。
【0025】
次にレーザチップの窒化物半導体層面にマスクを施したのち、スパッタ装置で劈開面にSiO2とZrO2よりなる誘電体多層膜を形成する。この誘電体多層膜は活性層の波長を90%以上反射させる作用を有している。
【0026】
このようにして得られたレーザチップをフェースダウン(電極とヒートシンク面が対向する)してヒートシンクに設置した後、室温でレーザ発振を試みたところ、しきい値電流密度1.0kA/cm2以上で発振波長440nmのレーザ発振が確認された。
【0027】
[実施例2]
実施例1において、窒化物半導体層のエッチング時にストライプ幅を30μmとする他は同様にしてレーザ素子を作製したところ、室温においてしきい値電流密度3.0kA/cm2以上でレーザ発振が確認された。
【0028】
[実施例3]
実施例1において、窒化物半導体層のエッチング時にストライプ幅を50μmとする他は同様にしてレーザ素子を作製したところ、液体窒素温度においてしきい値電流密度5.0kA/cm2以上でレーザ発振が確認された。
【0029】
[実施例4]
実施例1において、窒化物半導体層のエッチング時にストライプ幅を60μmとする他は同様にしてレーザ素子を作製したところ、液体窒素温度においてしきい値電流密度6.0kA/cm2以上でレーザ発振が確認されたが、すぐに素子が破壊してしまった。
【0030】
[実施例5]
実施例1において、活性層5の組成をノンドープIn0.08Ga0.92Nよりなる井戸層を25オングストロームと、ノンドープIn0.01Ga0.99Nよりなる障壁層を50オングストロームの膜厚で成長させる。この操作を13回繰り返し、最後に井戸層を積層して総厚1000オングストロームの活性層6を成長させた。後は実施例1と同様にして室温でレーザ発振を試みたところ、同じくしきい値電流密度1.0kA/cm2以上で発振波長440nmのレーザ発振が確認された。
【0031】
[比較例]
実施例1において、窒化物半導体層のエッチング時にストライプ幅を100μmとする他は同様にしてレーザ素子を作製したところ、液体窒素温度においてもレーザ発振を示さず、すぐに素子が破壊してしまった。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のレーザ素子ではストライプ状にエッチングされたp型層の表面に、ストライプと同一の幅で接する正電極が形成されており、この電極が直接電流狭窄の作用をする。つまりp型層に電流が広がってもレーザ発振するのに十分電流密度が上昇するだけのストライプ幅を有しているため、容易に光閉じ込めができて、常温で発振する。また、従来のように、p型層の表面に絶縁体で電流狭窄層を形成する必要がなくなる。従って、絶縁体形成時の細かいマスク合わせの技術が必要なくなるので、製造歩留が向上する。このように窒化物半導体で常温で短波長域のレーザ素子が実現されたことにより、書き込み用光源、コンパクトディスクの光源として記録密度が飛躍的に向上し、その産業上の利用価値は非常に大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例に係るレーザ素子の形状を示す斜視図。
【図2】 図1のレーザ素子をストライプに垂直な方向で切断した模式断面図。
【図3】 従来のレーザ素子の構造を示す模式断面図。
【図4】 本発明の他の実施例に係るレーザ素子の構造を示す模式断面図。
【符号の説明】
1・・・・基板
2・・・・n型コンタクト層
3・・・・第一のn型クラッド層
4・・・・第二のn型クラッド層
5・・・・活性層
6・・・・第一のp型クラッド層
7・・・・p型コンタクト層
12・・・・正電極
11・・・・負電極
Claims (7)
- 基板上に、n型層、活性層及びp型層が順次積層されたダブルへテロ構造を有し、前記p型層上に正電極が設けられた窒化物半導体レーザ素子であって、
前記n型層は、前記基板側から順に、n型AlGaNからなる第1のn型クラッド層と、n型InGaN若しくはn型GaNからなり前記活性層に接する第2のn型クラッド層と、を有し、
前記活性層は、InGaNからなる井戸層を含む多重量子井戸構造を有し、
前記p型層は、前記活性層側から順に、前記活性層に接するp型AlGaNクラッド層と、p型GaN若しくはp型AlGaNからなるp型コンタクト層と、を有しており、
前記p型コンタクト層、前記p型AlGaNクラッド層、前記活性層、前記第2のn型クラッド層及び前記第1のn型クラッド層はストライプ状にエッチングされて、そのエッチングされて露出された側面及び平面には連続した絶縁膜が形成されており、前記正電極は最上層のp型層の表面にp型層のストライプ幅とほぼ同一の幅で接することを特徴とする窒化物半導体レーザ素子。 - 前記活性層は、InxGa1−xNからなる井戸層とInyGa1−yN(y<x、y=0を含む)からなる障壁層を含む多重量子井戸構造を有することを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 前記井戸層の膜厚が100オングストローム以下であり、前記障壁層の膜厚が150オングストローム以下であることを特徴とする請求項2に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 前記p型層のストライプ幅は10μm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 前記ストライプに垂直な方向で劈開した窒化物半導体の共振面を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 前記共振面に誘電体多層膜が形成されていることを特徴とする請求項5に記載の窒化物半導体レーザ素子。
- 前記誘電体多層膜がSiO2とZrO2よりなることを特徴とする請求項6に記載の窒化物半導体レーザ素子。
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