JP3884108B2 - 急速再生クライオポンプ - Google Patents
急速再生クライオポンプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3884108B2 JP3884108B2 JP25385696A JP25385696A JP3884108B2 JP 3884108 B2 JP3884108 B2 JP 3884108B2 JP 25385696 A JP25385696 A JP 25385696A JP 25385696 A JP25385696 A JP 25385696A JP 3884108 B2 JP3884108 B2 JP 3884108B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- rapid regeneration
- cryopanel
- cryopump according
- regeneration cryopump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05C—INDEXING SCHEME RELATING TO MATERIALS, MATERIAL PROPERTIES OR MATERIAL CHARACTERISTICS FOR MACHINES, ENGINES OR PUMPS OTHER THAN NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES
- F05C2251/00—Material properties
- F05C2251/08—Shape memory
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は核融合装置、薄膜工業等で超高真空又は極高真空を発生させるための排気用として使用するクライオポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
クライオポンプは、ポンプ内にクライオパネルと称する極低温のパネル面を置き、その表面に気体を凝縮させて排気を行う方式の超高真空ポンプである。
【0003】
クライオポンプは排気速度、到達圧力共に優れた性能を有するが、溜め込み式ポンプであるため、ある一定量の気体をクライオパネル面に凝着させると排気性能が急速に低下する。この低下した排気性能を回復させるためにヒータ加熱による再生処置が施こされるが、これはクライオパネル面の温度を上げて該クライオパネル面上の凝縮気体を気化させ、これを別の再生用真空ポンプで排気するもので、再生作業は定期的に行なう必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来のクライオポンプの再生作業時には、クライオパネル冷却用の冷凍機を停め、ヒータ等により該クライオパネルを加熱することが行われていた。
【0005】
しかし、この加熱時には、クライオパネルに接続されている冷媒流路部のパイプやクライオパネルの支持部材等も同時に昇温させることになり、これら昇温対象部材の熱容量が大きいこと、及び構成部品材料の関係から加熱温度に制限があるため、昇温に長時間を要する問題があった。
【0006】
又、再生作業終了後のクライオポンプ再起動の際も、同上の熱容量のため、クライオパネル面の冷却に長時間を要する問題があった。
【0007】
更に又、これらヒータや冷凍機を強力なものにしてクライオパネルの昇温や冷却に要する時間を短縮させようとした場合には、クライオパネルや冷媒流路が大きな熱衝撃を受けることになり、ひび割れや破壊の発生や構成部品の材質の劣化をきたす危険性があった。
【0008】
本発明はこれらの問題点を解消し、短時間で再生作業ができる急速再生クライオポンプを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成するべく、周囲を気密に形成した薄い金属板からなるダイアフラムをクライオパネルの上面に着離自在に設けると共に、該ダイアフラムを着離させるためのダイアフラム駆動手段と該ダイアフラムを加熱するための加熱手段を備えていることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明の第1の実施の形態を図1及び図2により説明する。
【0011】
図1は本発明の急速再生クライオポンプ1の排気作動時の断面図を示し、図2は同急速再生クライオポンプ1の再生時の断面図を示す。
【0012】
ダイアフラム2は薄い金属板からなり、その周囲は円環状の絶縁物3fを介してクライオポンプ筐体1aに気密に接着されていると共に、下面は熱電導性の良好な金属製の環状体2aを介してダイアフラム駆動手段3に結着されている。
【0013】
該ダイアフラム駆動手段3は連結杆3b、熱バッファ3c及び形状記憶合金製のコイル3dからなる。
【0014】
又、形状記憶合金製のコイル3dは、高温時に伸び、低温時に縮むように形成されていると共に、該コイル3dにはヒータが併設されており、通電により該コイル3dを昇温させることができる。
【0015】
1bはクライオパネルで、裏面には冷媒流路1cを配置して該クライオパネル1bを極低温に迄冷却可能に形成されている。尚、1d及び1eはそれぞれ冷媒の供給口及び排出口を示す。
【0016】
1fは通気口を有する内筒で、円筒状の断熱体3gを介してクライオパネル1bと結着していると共にクライオポンプ筐体1aの底部に定着している。
【0017】
又、4はターボ分子ポンプで、ダイアフラム2の下側B部を超高真空に保持する作用をする。
【0018】
尚、5は該ターボ分子ポンプ4の補助ポンプである。
【0019】
次に本第1の実施の形態の作用について説明する。
【0020】
急速再生クライオポンプ1の排気動作時には、ダイアフラム2はクライオパネル1bの上面に密着しており、冷媒流路1cに極低温の冷媒を流すことによって、該ダイアフラム2はクライオパネル1bと同等の低温に保たれる。このため、ダイアフラム2の上側A部にある気体の分子は該ダイアフラム2の上面に凝縮して排気が行なわれる。
【0021】
ダイアフラム2の上面への気体の凝着が進行して排気性能が低下した場合、急速再生クライオポンプ1の再生を行なう。
【0022】
この場合は、先ずダイアフラム駆動手段3を作動させてダイアフラム2をクライオパネル1bの上面より離面させる。
【0023】
即ち、導線3eより通電をしてコイル3dを昇温させると、形状記憶合金の作用によって該コイル3dが伸張し、連結杆3b及び環状体2aを介してダイアフラム2を持ち上げるように作動する。
【0024】
尚、熱バッファ3cは、該コイル3dの熱が急速に環状体2a及びダイアフラム2に伝わらないようにするためのものである。即ちダイアフラム2がクライオパネル1bの上面から未だ離れない内に該コイル3dの熱がダイアフラム2に到着すると、極低温に冷却されたクライオパネル1bに該熱が伝わるという不具合を生ずるからである。
【0025】
時間の経過と共にコイル3dの熱は熱バッファ3cを経て環状体2aに達し、ダイアフラム2を昇温させるが、この時はもうダイアフラム2はクライオパネル1bから離れているので、クライオパネル1bは伝熱による加熱あるいはダイアフラム2からの輻射により加熱されるという不具合は生じない。
【0026】
即ち、ダイアフラム2とクライオパネル1bの各着離表面には、熱伝導がよく放射率が低い金、銀又は銅の鏡面メッキを施してある。
【0027】
今、ダイアフラム2とクライオパネル1bとの着離面の対向面積をS(m2 )、クライオパネル1bの温度をTp(K)、再生時のダイアフラム2の温度をTd(K)、着離面の放射率をε、ステンファンボルツマン定数をσ(W/m2 K4 )とすると、ダイアフラム2からクライオパネル1bへの放射による熱伝達量Q(W)は(1)式で得られる。
【0028】
【数1】
【0029】
そこで、着離面直径を200mm、着離面の放射率εを0.02、クライオパネル1bの温度Tpを0K、ダイアフラム2の温度Tdを293K、ステファンボルツマン定数σを5.67×10-8W/m2 K4 とすると、ダイアフラム2からクライオパネル1bへの放射による熱伝達量Qは0.26Wとなり、これは通常のクライオポンプの除熱能力からみて問題とならない小さな数値である。
【0030】
この様に再生時にダイアフラム2からクライオパネル1bへ放射熱伝達によって伝えられる熱量は非常に小さく、不具合を生じない。
【0031】
又、ダイアフラム2は薄い金属板製であるため熱容量が小さく、従って再生時に該ダイアフラム2は急速に昇温して凝縮気体の放出を始める。この放出された気体は、別の再生用真空ポンプ(図示せず)によって排出する。
【0032】
ダイアフラム2の下側のB部も分子ポンプ4によって超高真空に保たれているので、前記クライオパネル1bの表面には気体の凝縮が起きず、従ってクライオパネル1bとダイアフラム2の間の熱伝達が良好に保たれる。
【0033】
又、ダイアフラム2とクライオパネル1bの着離面が離れる時も、抵抗がなく容易に行われる。
【0034】
一方、再生中もクライオパネル1bに配置した冷媒流路1cには冷媒を流したままとするので、再生終了時に前記ヒータへの通電をやめてコイル3dの長さを短縮させ、ダイアフラム2をクライオポンプ1bに密着させることにより、急速に該ダイアフラム2を冷却して排気動作に戻ることができる。
【0035】
このように本発明の急速再生クライオポンプ1は、ガス吸着面となるダイアフラム2の熱容量を、従来のクライオパネルの熱容量の100分の1以下にできるので、再生作業時にガス吸着面の昇温及び冷却に要する時間が大幅に短縮される。
【0036】
又、クライオパネル1は常に極低温に保たれるため、再生作業時に該クライオパネル1bに熱衝撃を生ずることがない。
【0037】
更に、本発明の急速再生クライオポンプ1を複数台組み合わせることにより、連続して排気を行なうことができる。
【0038】
尚、形状記憶合金製のコイル3dにヒータを併設する代りに、コイル3d自体を発熱体としてもよい。
【0039】
本発明の第2の実施の形態を図3及び図4により説明する。
【0040】
図3は急速再生クライオポンンプ1の第2の実施の形態の再生時の断面図を示す。
【0041】
ダイアフラム駆動手段6は、先端に断熱体6aを有する連結杆6b及び伸縮駆動部6cよりなる。又、7は円環状のヒータプレートであり、クライオポンプ筐体1aに定着されている。尚、伸縮駆動部6cにはソレノイドやリニアモータ又はベローズでシールした空気作動式シリンダー等を使用する。図4は、ベローズ6d、エアシリンダー6e及びピストン6fを用いた空気作動式の場合を示す。
【0042】
本第2の実施の形態は、前記第1の実施の形態におけるダイアフラム駆動手段3の代りにダイアフラム駆動手段6を設置し、又、ヒータプレート7を設けた点が該第1の実施の形態とは異なる。
【0043】
本第2の実施の形態の作動について説明する。
【0044】
排気動作時にはダイアフラム2はクライオパネル1bと密着しているが、再生を行なう際は、該ダイアフラム2をダイアフラム駆動手段6によって持ち上げ該ダイアフラム2の上面をヒータプレート7に圧着させる。そして導線3eより通電をしてヒータプレート7によって該ダイアフラム2を昇温させ、凝縮気体の放出を行なわせる。
【0045】
本第2の実施の形態の再生時には、ダイアフラム2がクライオパネル1bから離れた後に加熱され、昇温するので、クライオパネル1bが共に加熱されるという不具合が生じない。
【0046】
図5は本発明の急速再生クライオポンプ1の第3の実施の形態の再生時の断面図を示す。
【0047】
同図5において、ダイアフラム駆動手段6は前記第2の実施の形態と同じであるが、前記ヒータプレート7の代りに渦巻状の電熱線からなるヒータ8がダイアフラム2に設置されており、再生時には導線3eより該ヒータ8へ通電をして、ダイアフラム2が該ヒータ8により直接加熱される構造とした。
【0048】
即ち、これら第2、第3の実施の形態では、ダイアフラム2がクライオパネル1bから離れた後に加熱できる利点と共に、ヒータプレート7又はヒータ8の発熱量の調節により該ダイアフラム2の温度を直接にコントロールすることができる点に特徴がある。
【0049】
尚、本発明のクライオパネル1bは冷媒で冷却する方法を示したが、これは市販されているヘリウムガスを使用するクライオポンプのコールドヘッドを用いてもよい。
【0050】
【発明の効果】
このように本発明によれば、再生作業時にガス吸着面の昇温及び冷却に要する時間が大幅に短縮されると共に、クライオパネルや冷媒流路が常に冷却状態に保たれているので、これらが熱衝撃を受けることがない安全構造の急速再生クライオポンプを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の急速再生クライオポンプの排気動作の断面図である。
【図2】同上の再生時の断面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態の急速再生クライオポンプの再生時の断面図である。
【図4】同上の第2の実施の形態において空気作動式シリンダーを使用した場合の断面図である。
【図5】本発明の第3の実施の形態の急速再生クライオポンプの再生時の断面図である。
【符号の説明】
1 急速再生クライオポンプ
1b クライオパネル
2 ダイアフラム
3、6 ダイアフラム駆動手段
3c 熱バッファ
7、8 加熱手段
Claims (10)
- 周囲を気密に形成した薄い金属板からなるダイアフラムをクライオパネルの上面に着離自在に設けると共に、該ダイアフラムを着離させるためのダイアフラム駆動手段と該ダイアフラムを加熱するための加熱手段を備えていることを特徴とする急速再生クライオポンプ。
- 前記ダイアフラム駆動手段は温度変化により伸縮する形状記憶合金を用いたことを特徴とする請求項1に記載の急速再生クライオポンプ。
- 前記加熱手段は前記形状記憶合金に併設したヒータからなることを特徴とする請求項1及び請求項2に記載の急速再生クライオポンプ。
- 前記形状記憶合金と前記ダイアフラムとの間に熱バッファを介在させたことを特徴とする請求項1及び請求項3に記載の急速再生クライオポンプ。
- 前記ダイアフラムの下側を超高真空としたことを特徴とする請求項1に記載の急速再生クライオポンプ。
- 前記ダイアフラムの下側を真空とするための分子ポンプを備えていることを特徴とする請求項5に記載の急速再生クライオポンプ。
- 前記加熱手段は前記ダイアフラムが前記クライオパネルから離れたときに接触するヒータプレートからなることを特徴とする請求項1に記載の急速再生クライオポンプ。
- 前記加熱手段は前記ダイアフラムの周辺部に接着した電熱線からなることを特徴とする請求項1に記載の急速再生クライオポンプ。
- 前記ダイアフラム駆動手段はソレノイド又はリニアモータ又はベローズでシールした空気作動式シリンダーによることを特徴とする請求項1に記載の急速再生クライオポンプ。
- 前記ダイアフラムとクライオパネルとが互いに着離する双方の着離面に、金、銀、銅等をメッキして鏡面に形成したことを特徴とする請求項1に記載の急速再生クライオポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25385696A JP3884108B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 急速再生クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25385696A JP3884108B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 急速再生クライオポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1077967A JPH1077967A (ja) | 1998-03-24 |
JP3884108B2 true JP3884108B2 (ja) | 2007-02-21 |
Family
ID=17257092
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25385696A Expired - Fee Related JP3884108B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 急速再生クライオポンプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3884108B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2840232B1 (fr) | 2002-05-30 | 2004-08-27 | Cit Alcatel | Piege cryogenique a regeneration rapide |
JP2008202491A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-09-04 | Edwards Kk | クライオパネル冷却構造とその冷却方法 |
CN111730980B (zh) * | 2020-06-18 | 2023-11-07 | 浙江大学 | 新型水下示踪储墨器 |
-
1996
- 1996-09-04 JP JP25385696A patent/JP3884108B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1077967A (ja) | 1998-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5666438B2 (ja) | 極低温ユニットおよびその構成品 | |
JP2871873B2 (ja) | 2段式のクライオポンプ | |
US7805950B2 (en) | Thermal transfer device and system and method incorporating same | |
US4928756A (en) | Heat dissipating fin and method for making fin assembly | |
US4901324A (en) | Heat transfer device for cooling and transferring heat from a laser diode device and associated heat generating elements | |
GB2065782A (en) | Cryopump | |
JP3884108B2 (ja) | 急速再生クライオポンプ | |
EP1208343B1 (en) | Heat exchanger | |
JP3482169B2 (ja) | 熱応力緩和パッドおよびそれを用いた熱電変換システム並びにペルチェ冷却システム | |
US4259946A (en) | Solar collector | |
JPH11165057A (ja) | 真空容器とその製造方法 | |
JP4698097B2 (ja) | ウェハ支持部材 | |
TWI478276B (zh) | 支撐單元及具有支撐單元的基底處理設備 | |
JP4226674B2 (ja) | 焼結方法及び焼結装置 | |
JPWO2003001127A1 (ja) | 蓄冷型冷凍機 | |
JPH10242174A (ja) | ボンディングヘッド | |
JP2003016986A (ja) | 検出システム | |
JP2002096134A (ja) | 鍛造用金型の加熱治具及びこれを用いた鍛造用金型の加熱方法 | |
JP2951112B2 (ja) | クライオポンプ装置 | |
JP2000343300A (ja) | アルミニウム材の加熱ユニット | |
JPH09283609A (ja) | 静電吸着装置 | |
JP7183310B2 (ja) | 成形装置 | |
JP3579250B2 (ja) | クライオポンプ | |
JPH09222425A (ja) | コールドトラップ方法および温度制御装置 | |
JP2002217480A (ja) | 半導体レーザ装置の実装方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061025 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061030 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101124 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101124 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111124 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121124 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131124 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |