JP3579250B2

JP3579250B2 - クライオポンプ

Info

Publication number: JP3579250B2
Application number: JP14846898A
Authority: JP
Inventors: 勇治山口; 勝治吉川; 智徳田村
Original assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Current assignee: Sanyo Electric Co Ltd
Priority date: 1998-05-13
Filing date: 1998-05-13
Publication date: 2004-10-20
Anticipated expiration: 2018-05-13
Also published as: JPH11324917A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造工程等での高真空圧の生成に供されるクライオポンプに係り、特に、再生用のヒータを装備したクライオポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造ラインの各種処理装置等には、処理空間を高真空圧状態に維持するべく、機械式真空ポンプ（以下、粗引ポンプと記す）と伴にクライオポンプが付設されている。クライオポンプは、粗引ポンプにより粗引きされた処理空間内を排気して真空圧を更に高めるもので、極低温をつくりだす冷凍機、冷凍機のコールドシリンダに保持されたコールドパネル、コールドパネルの表面に粘着された活性炭、コールドシリンダやコールドパネルを収納する真空チャンバ等から構成されている。クライオポンプによる排気は、極低温に冷却したコールドパネルの表面に気体分子を凝縮・固化させたり、活性炭の吸着面に気体分子を吸着させることにより行われる。
【０００３】
さて、クライオポンプでは、長時間に亘る排気運転を行った場合、コールドパネルの表面や活性炭の吸着面への気体分子の凝縮や吸着が徐々に進行し、排気効率が低下して終には排気が殆ど行えなくなる。そのため、凝縮或いは吸着した気体分子を放出させる再生作業を適宜行う必要があり、その際には、真空チャンバ内に再生ガス（一般には、窒素ガス）を導入すると共に、コールドパネルやコールドシリンダの温度を常温近くまで上昇させることになる。
【０００４】
ところで、クライオポンプでは、排気運転中にコールドシリンダ等の温度が極低温（２０Ｋ程度）となり、常温（２５℃（＝２９８Ｋ）程度）との温度差は非常に大きく（２８０Ｋ程度）なる。したがって、常温の再生ガスを導入するだけで昇温させた場合、再生作業を開始してから気体分子が放出されるまでに長時間を要するため、半導体製造ラインも長時間に亘って休止せざるを得ず、生産効率の低下を余儀なくされていた。
【０００５】
そこで、特表平４−５０１７５１号公報等には、コールドシリンダにヒータを装着し、このヒータと真空チャンバの外部に設けた電源とを電線により接続した装置が開示されている。この装置では、再生作業時にヒータに通電を行うことで、コールドシリンダが常温まで速やかに加熱され、再生作業時間が大幅に短縮される。
【０００６】
また、上記公報記載の発明では、冷凍機の第１コールドヘッド（５０）に設置されたラジエーションシールド（６４）と、冷凍機の第２コールドヘッド（５４）に設置された取付台（７３）とに、ヒータの第１加熱部と第２加熱部とが、それぞれの端面を接触させた状態で取り付けられると共に、上記ヒータは、第１加熱部と第２加熱部との間において、２回それぞれほぼ直角に折り曲げ加工されて構成されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
上述のように、ヒータが第１加熱部と第２加熱部との間において、２回それぞれほぼ直角に曲げ加工されていることから、ヒータの製造が容易ではなく、しかも、取付・取り外しも煩雑となってしまう。
【０００８】
また、上記ヒータが第１及び第２加熱部の端面において冷凍機に取り付けられていることから、伝熱面積が小さく、再生運転時にヒータから冷凍機への伝熱が不充分となって信頼性に欠ける。ヒータから冷凍機への充分な伝熱を確保するためには、ヒータを耐熱温度付近まで高温としなければならない場合があり、ヒータの寿命が短くなるおそれがある。
【０００９】
上述の事情を考慮して、請求項１、３に記載の発明の課題は、ヒータの製造および取り付け・取り外しを容易化できるクライオポンプを提供することにあり、請求項２、乃至５に記載の発明の課題は、ヒータからの充分な伝熱を確保してヒータの高信頼性及び長寿命化を達成できるクライオポンプを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、真空チャンバ内にコールドシリンダが配設され、長手方向に所定距離離れた第１加熱部と第２加熱部とが上記コールドシリンダに取り付けられるヒータを備えたクライオポンプにおいて、上記ヒータは、長尺筒形状のヒータパイプと、上記第１及び第２加熱部の対応位置において上記ヒータパイプの内側に配置された加熱コイルと、上記第１及び第２加熱部の対応位置において上記ヒータパイプの外周面に固着された熱伝導性の良好な伝熱部材と有してなり、この伝熱部材の外側面を上記コールドシリンダに接触させた状態で、上記ヒータが上記コールドシリンダに取り付けられたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項２記載の発明は、真空チャンバ内にコールドシリンダが配設され、長手方向に所定距離離れた第１加熱部と第２加熱部とが上記コールドシリンダに取り付けられるヒータを備えたクライオポンプにおいて、上記ヒータは、長尺筒形状のヒータパイプと、上記第１及び第２加熱部の対応位置において上記ヒータパイプの内側に配置された加熱コイルと、上記第１及び第２加熱部の対応位置において上記ヒータパイプの外周面に固着された熱伝導性の良好な伝熱部材と有してなり、上記ヒータパイプにおける上記第１加熱部から上記第２加熱部へ至る形状が直線形状に形成されるとともに、上記伝熱部材の外側面を上記コールドシリンダに接触させた状態で、上記ヒータが上記コールドシリンダに取り付けられたことを特徴とするものである。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、上記伝熱部材には、その長手方向に切欠部が形成されたことを特徴とするものである。
【００１３】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、上記ヒータのヒータパイプ一端部には、上記ヒータを真空チャンバに取り付けるためのヒータフランジが形成されるとともに、発熱部から延びる電線をシールする封止部が設けられ、この封止部を覆うようにして上記ヒータフランジに気密に密封部材が設置されたことを特徴とするものである。
【００１５】
ヒータの第１加熱部から第２加熱部へ至る形状が直線形状に形成されたので、第１加熱部と第２加熱部との間で２回、ほぼ直角に曲げ加工される場合に比べ製造が容易になると共に、ヒータの第１及び第２加熱部をコールドシリンダに取り付け、又は取り外す作業を容易化できる。
【００１７】
ヒータは、第１及び第２伝熱部において、熱伝導性の良好な伝熱部材の外側面をコールドシリンダに接触させ伝熱面積を増大させて、このコールドシリンダに取り付けられることから、ヒータとコールドシリンダとの間で熱抵抗を低減できる。この結果、ヒータからコールドシリンダへ充分な伝熱を確保でき、ヒータを耐熱温度以上に高温化させる必要がないので、ヒータの信頼性を高めることができると共に長寿命化も達成できる。
【００１９】
ヒータパイプが第１加熱部から第２加熱部へ至る形状を直線形状としたので、第１及び第２加熱部に対応するヒータパイプの外周面に、加熱部材を挿入して容易に取り付けることができる。
【００２１】
伝熱部材に切欠部が形成されたので、この切欠部を通して、ヒータパイプの外周面と伝熱部材の内周面との間に溶融ロウ材等の溶接材を流し込むことができる。その際、切欠部が伝熱部材の長手方向に形成されたので、伝熱部材の内周面のほぼ全域に溶接材を表面張力により回し込むことができるので、ヒータパイプと伝熱部材との間の熱伝導を良好にできる。
【００２３】
ヒータのヒータパイプ一端部から取り出される電線が、上記ヒータパイプ一端部の封止部と密封部材とにより二重に密封されたことから、大気中の水分が電線の表面を通ってヒータパイプ内部へ侵入することを確実に防止でき、この結果、ヒータの絶縁不良を回避できる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００２５】
図１は、本発明に係るクライオポンプの一実施の形態を示す側断面図である。
【００２６】
図１に示すように、本実施形態のクライオポンプ１は、ギフォード・マクマホーンサイクルを用いた極低温用の冷凍機３や円筒状の真空チャンバ５等からなっており、半導体ウエーハ製造ラインの真空処理槽７の下面に付設されている。図１中、９はゲートバルブであり、摺動式の弁体１１により真空処理槽７とクライオポンプ１との連通を遮断する。
【００２７】
冷凍機３は、真空チャンバ５の下面に締結されたボディ１５、真空チャンバ５内に配置されたコールドシリンダ１７、コールドシリンダ１７内を軸方向に摺動するディスプレーサ１９、クランク機構（不図示）等を介してディスプレーサ１９を駆動する電動機２５等から構成されている。
【００２８】
冷凍機３のボディ１５は、冷媒導入管２７と冷媒排出管２９とを介して、図示しないコンプレッサユニットに接続されており、冷媒であるヘリウムガスが冷凍機３とコンプレッサユニットとの間で循環する。また、真空チャンバ５は、粗引配管３１を介して図示しない粗引ポンプに接続しており、この粗引ポンプにより真空チャンバ５の粗引きが行われる。
【００２９】
コールドシリンダ１７には、上下方向の略中間位置に比較的マスの大きい第１コールドヘッド３３が形成され、上端に比較的マスの小さい第２コールドヘッド３５が形成されている。第１コールドヘッド３３の上端には、上方に開口したラジエーションシールド３７が取り付けられている。ラジエーションシールド３７は、真空チャンバ５より若干小径の円筒状に形成されており、真空チャンバ５の上端近傍まで延設された開口部の内側に複数枚のバッフルリング３９を保持している。
【００３０】
また、第２コールドヘッド３５の上端には、下方に開口したコールドパネルホルダ４１が取り付けられている。コールドパネルホルダ４１は、コの字形断面に形成されており、その上端面及び側面に複数枚のコールドパネル４３を保持している。コールドパネル４３には、最も上方に位置するものを除き、その上面に活性炭４５が粘着されている。
【００３１】
一方、真空チャンバ５は、コールドシリンダ１７やラジエーションシールド３７等を収納する胴部５１と、ゲートバルブ９に締結されるチャンバフランジ５３と、冷凍機３のボディ１５に締結される底板６８とからなっている。胴部５１には、図示しない再生ガス供給源に接続した再生ガス導入管５７が接続・開口すると共に、図示しない排気処理装置に接続した再生ガス排出管５９が貫通している。再生ガス導入管５７は、ラジエーションシールド３７内に開口している。
【００３２】
上記真空チャンバ５内には、コールドシリンダ１７に着脱自在に取り付けられたヒータとしてのシースヒータ６０が設置される。このシースヒータ６０は、図６（Ａ）に示すように、ヒータパイプ６１、発熱コイル６２、ヒータフランジ６３、及び伝熱部材としてのヒータカバー６４を有して構成される。
【００３３】
ヒータパイプ６１は、長尺円筒形状のステンレス鋼管から構成される。発熱コイル６２は、ヒータパイプ６１において、その長手方向に所定距離離れた第１加熱部６５と第２加熱部６６との内側に設置される。そして、ヒータパイプ６１は、ヒータ電線６７（図５）を介して図示しない電源装置に接続され、通電により発熱する。
【００３４】
ヒータフランジ６３は、ヒータパイプ６１において、発熱コイル６２に接続された上記ヒータ電線６７が取り出される側の一端部（図６（Ａ）の下端部）に溶接またはロウ付け等により一体に固着される。このヒータフランジ６３はステンレス鋼製であり、後述の如くヒータパイプ６１を真空チャンバ５の底板６８に着脱自在に固定するものである。
【００３５】
ここで、ヒータパイプ６１の第２加熱部６６側端部（図６（Ａ）の上端部）に、図６（Ｂ）に示す蓋板６９が溶着され、ヒータフランジ６３側端部に、ヒータ電線６７を封止するガラスまたはセラミックの封止部７０（図５）が設けられて、シースヒータ６０は密封構造に構成される。また、図６（Ａ）に示すように、ヒータパイプ６１は、第２加熱部６６から第１加熱部６５へ至る形状が直線形状に形成され、この第１加熱部６５からヒータフランジ６３取付部へ向かって、直角以上の角度で緩やかに２回、互いに反対方向に湾曲加工されて構成される。
【００３６】
上記ヒータカバー６４は、例えば、銅等の熱伝導性の良好な材質から直管形状に形成される。このヒータカバー６４は、ヒータパイプ６１の第２加熱部側端部から挿入され、第１加熱部６５及び第２加熱部６６に対応する位置においてヒータパイプ６１の外周面に固着される。このヒータカバー６４には、図６（Ａ）及び（Ｃ）に示すように、長手方向全長に亘って切欠部としてのスリット７１が形成され、このスリット７１に溶融ロウが流し込まれる。この溶融ロウが、ヒータパイプ６１の外周面とヒータカバー６４の内周面との間に隙間無く回り込むことにより、上記ヒータカバー６４がヒータパイプ６１に確実に固着される。図４中の符号５０が、固化したロウ材を示す。
【００３７】
上述のようにして構成されたシースヒータ６０は、図１に示すように、真空チャンバ５の底板６８に形成された挿入孔７７（図５）から真空チャンバ５内へ挿入され、第１加熱部６５がコールドシリンダ１７の第１コールドヘッド３３に、第２加熱部６６がコールドシリンダ１７の第２コールドヘッド３５に、ヒータフランジ６３が真空チャンバ５の底板６８にそれぞれ着脱自在に取り付けられる。
【００３８】
つまり、第１加熱部６５及び第２加熱部６６は同様な構造で取り付けられ、従って、図２から図４では第１加熱部６５の取付構造を代表して示す。シースヒータ６０の第１加熱部６５を第１コールドヘッド３３に取り付けるクランプ７３と上記第１コールドヘッド３３とには、図３及び図４に示すように、第１加熱部６５を係合する係合凹部７４、７５がそれぞれ形成される。これらの係合凹部７４及び７５は、その深さが第１加熱部６５の半径とほぼ等しくなる寸法に設定されている。そして、第１加熱部６５におけるヒータカバー６４の外周にガスケット７２を巻き付け、このガスケット７２が巻き付けられた第１加熱部６５をクランプ７３の係合凹部７４と第１コールドヘッドの係合凹部７５に係合させ、固定スクリュー７６にてクランプ７３を第１コールドヘッド３３に固定することにより、シースヒータ６０の第１加熱部６５をコールドシリンダ１７の第１コールドヘッド３３に着脱自在に取り付ける。
【００３９】
前述の如く、シースヒータ６０の第２加熱部６６をコールドシリンダ１７の第２コールドヘッド３５に取り付ける場合も、上述の第１加熱部６５の取付と同様に実施される。これにより、第１加熱部６５、第２加熱部６６のヒータカバー６４は、そのヒータカバー外側面６４Ａがガスケット７２を介してコールドシリンダ１７の第１コールドヘッド３３、第２コールドヘッド３５に接触状態となる。
【００４０】
ここで、上記ガスケット７２は、インジウム箔等の軟質薄膜材にて構成され、シースヒータ６０における第１加熱部６５及び第２加熱部６６の取付時に、ヒータカバー６４の外表面と、クランプ７３の係合凹部７４、第１コールドヘッド３３、第２コールドヘッド３５の係合凹部７５の内表面とにそれぞれ存在する凹凸を埋めて、ヒータカバー６４、クランプ７３及び第１，第２コールドヘッド３３，３５の伝熱面積を増大させる。
【００４１】
また、図１に示すように、ヒータフランジ６３には周方向の複数位置に、固定スクリュー７８が螺装されて、ヒータフランジ６３が真空チャンバ５の底板６８に取り付けられる。図５に示すように、このヒータフランジ６３と底板６８との間にＯリング７９などのシール材が介装されて、真空チャンバ５内が気密に保持され、真空チャンバ５内の高真空圧が確保される。
【００４２】
上記ヒータフランジ６３の下面には、封止部７０を内包する密封部材としての密封ケース８０が取り付けられる。この密封ケース８０は、略円筒形状でケースフランジ８１を有し、このケースフランジ８１とヒータフランジ６３との間にＯリング８２などのシール材が介装される。ケースフランジ８１が周方向の複数箇所で固定スクリュー８３によりヒータフランジ６３に着脱自在に固定されて、密封ケース８０は、ヒータフランジ６３の封止部７０を覆うようにしてヒータフランジ６３に取り付けられる。上記Ｏリング８２が気密部材として機能することから、シースヒータ６０からのヒータ電線６７の取り出し部分は、封止部７０及び密封ケース８０により二重に密封され、ヒータ電線６７の表面を通って大気中の水分等がシースヒータ６０内へ侵入することが防止される。
【００４３】
以下、本実施形態の作用を述べる。
【００４４】
半導体ウエーハのスパッタリング処理等にあたっては、不要な気体分子が半導体ウエーハの表面に付着することを防止するべく、真空処理槽７内が高真空圧状態にされる。先ず、真空チャンバ５を粗引ポンプにより粗引きすることで、１０^−２Ｔｏｒｒ程度の真空圧が得られる。尚、この時点では、ゲートバルブ９により、真空チャンバ５と真空処理槽７との連通が遮断されている。
【００４５】
次に、クライオポンプ１の冷凍機３を駆動し、コンプレッサから供給された高圧ヘリウムガスをコールドシリンダ１７内で繰り返し断熱膨張させる。すると、ディスプレーサ１９内の蓄冷材が徐々に冷却され、コールドシリンダ１７の温度が低下する。そして、第１コールドヘッド３３の温度が８０Ｋ程度になり、第２コールドヘッド３５の温度が１５Ｋ程度になったら、ゲートバルブ９を開放して真空チャンバ５と真空処理槽７とを連通させる。この際、真空処理槽７は、図示しない粗引ポンプにより、クロスオーバ圧以下に粗引きされている。
【００４６】
真空チャンバ５と真空処理槽７とが連通されると、真空処理槽７内の気体分子がラジエーションシールド３７内で凝縮あるいは吸着され、高真空圧が得られる。すなわち、水等の凝縮温度の高い気体分子はバッフルリング３９やラジエーションシールド３７の表面で霜状に凝縮・固化し、また、アルゴンや酸素、窒素等の気体分子はコールドパネル４３の表面で霜状に凝縮・固化する。また、ヘリウムや水素、ネオン等の気体分子は、コールドパネル４３に粘着された活性炭４５に吸着される。これにより、真空処理槽７では、１０^−９Ｔｏｒｒ程度の高真空圧が得られる。
【００４７】
一方、クライオポンプ１による排気を連続して行うと、バッフルリング３９やコールドパネル４３等の表面が凝縮した気体分子によって覆われ、排気効率が低下して高真空圧が得られなくなる。そこで、第２コールドヘッド３５の温度が所定値以下に低下しなくなったり、所定の真空圧が得られなくなると、クライオポンプ１の再生が行われる。
【００４８】
再生にあたっては、真空チャンバ５および真空処理槽７間の連通をゲートバルブ９により遮断した後、シースヒータ６０内の発熱コイル６２に通電を行い、第１、第２コールドヘッド３３、３５を加熱する。すると、バッフルリング３９やコールドパネル４３等に凝縮していた気体分子が気化するため、この気体分子を再生ガス導入管５７から導入した再生ガスと共に再生ガス排出管５９から排出する。
【００４９】
上記実施の形態によれば、次の効果▲１▼〜▲５▼を奏する。
【００５０】
▲１▼シースヒータ６０の第１加熱部６５から第２加熱部６６へ至る形状が直線形状に形成されたので、第１加熱部６５と第２加熱部６６との間で２回ほぼ直角に曲げ加工される場合に比べ製造が容易になると共に、シースヒータ６０の第１加熱部６５、第２加熱部６６をコールドシリンダ１７の第１コールドヘッド３３、第２コールドヘッド３５にそれぞれ取り付け、又は取り外す作業を容易化できる。
【００５１】
▲２▼シースヒータ６０は、第１加熱部６５、第２加熱部６６において、熱伝導性の良好なヒータカバー６４の外側面６４Ａをコールドシリンダ１７の第１コールドヘッド３３、第２コールドヘッド３５にそれぞれ接触させ、伝熱面積を増大させて、第１コールドヘッド３３、第２コールドヘッド３５にそれぞれ取り付けられることから、シースヒータ６０とコールドシリンダ１７の第１コールドヘッド３３及び第２コールドヘッド３５との間で熱抵抗を低減できる。この結果、シースヒータ６０からコールドシリンダ１７の第１コールドヘッド３３及び第２コールドヘッド３５へ充分な伝熱を確保でき、シースヒータ６０を耐熱温度以上に高温化させる必要がないので、シースヒータ６０の信頼性を高めることができると共に、その長寿命化も達成することができる。
【００５２】
▲３▼シースヒータ６０のヒータパイプ６１が、第１加熱部６５から第２加熱部６６へ至る形状を直線形状としたので、第１加熱部６５及び第２加熱部６６に対応するヒータパイプ６１の外周面に、ヒータカバー６４を挿入して、このヒータカバー６４をヒータパイプ６１に容易に取り付けることができる。
【００５３】
▲４▼シースヒータ６０のヒータカバー６４にスリット７１が形成されたので、このスリット７１を通して、ヒータパイプ６１の外周面とヒータカバー６４の内周面との間に溶融ロウ材を流し込むことができる。その際、スリット７１がヒータカバー６４の長手方向全長に形成されたので、ヒータカバー６４の内周面のほぼ全域に溶融ロウ材を表面張力により回し込むことができるので、ヒータパイプ６１とヒータカバー６４との間の熱伝導を良好にできる。
【００５４】
▲５▼シースヒータ６０のヒータパイプ６１の一端部から取り出されるヒータ電線６７が、ヒータパイプ６１の一端部の封止部７０と密封ケース８０とにより二重に密封されることから、大気中の水分がヒータ電線６７の表面を通ってヒータパイプ６１内部へ侵入することを確実に防止することができ、この結果、シースヒータ６０の絶縁不良を回避できる。
【００５５】
以上、一実施の形態に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００５６】
例えば、ヒータカバー６４がパイプ形状のものを述べたが、ブロック形状に形成されても良い。また、このヒータカバー６４は、ロウ付けの他、半田付けあるいは溶接によりヒータパイプ６１に固着されても良い。さらに、ヒータカバー６４は、熱伝導性の良好な物質をヒータパイプ６１との間に介在させて、ヒータパイプ６１に固着されてもよい。
【００５７】
また、ヒータカバー６４には、スリット７１の代わりに、ヒータカバー６４の長手方向に複数の貫通孔を点在させても良い。
【００５８】
さらに、固定スクリュー７８と固定スクリュー８３を共通部品化して、シースヒータ６０のヒータフランジ６３と密封ケース８０のケースフランジ８１を真空チャンバ５の底板６８に共締めしてもよい。
【００５９】
【発明の効果】
以上のことから、本発明に係るクライオポンプによれば、ヒータの第１加熱部から第２加熱部へ至る形状が直線形状に形成されたので、ヒータの製造及び取り付け・取り外しを容易化できる。また、本発明に係るクライオポンプによれば、ヒータの第１及び第２加熱部の対応位置において、ヒータパイプの外周面に熱伝導性の良好な伝熱部材が固着され、この伝熱部材の外側面をコールドシリンダに接触させた状態で、ヒータがコールドシリンダに取り付けられたことから、クライオポンプを再生運転時にヒータからコールドシリンダへ充分な伝熱を確保でき、ヒータの高信頼性及び長寿命化を達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るクライオポンプの一実施の形態を示す側断面図である。
【図２】図１のＩＩ部を拡大して示す拡大側面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。
【図５】図１のＶ部を破断して示す拡大断面図である。
【図６】（Ａ）が図１のシースヒータを示す側面図であり、（Ｂ）が図６（Ａ）のＶＩＢ部の拡大断面図であり、（Ｃ）が図６（Ａ）のヒータカバーを示す平面図である。
【符号の説明】
１クライオポンプ
５真空チャンバ
１７コールドシリンダ
３３第１コールドヘッド
３５第２コールドヘッド
６０シースヒータ（ヒータ）
６１ヒータパイプ
６２発熱コイル
６３ヒータフランジ
６４ヒータカバー（伝熱部材）
６４Ａ外側面
６５第１加熱部
６６第２加熱部
６７ヒータ電線
７０封止部
７１スリット（切欠部）
８０密封ケース

Claims

真空チャンバ内にコールドシリンダが配設され、長手方向に所定距離離れた第１加熱部と第２加熱部とが上記コールドシリンダに取り付けられるヒータを備えたクライオポンプにおいて、
上記ヒータは、長尺筒形状のヒータパイプと、上記第１及び第２加熱部の対応位置において上記ヒータパイプの内側に配置された加熱コイルと、上記第１及び第２加熱部の対応位置において上記ヒータパイプの外周面に固着された熱伝導性の良好な伝熱部材と有してなり、この伝熱部材の外側面を上記コールドシリンダに接触させた状態で、上記ヒータが上記コールドシリンダに取り付けられたことを特徴とするクライオポンプ。
真空チャンバ内にコールドシリンダが配設され、長手方向に所定距離離れた第１加熱部と第２加熱部とが上記コールドシリンダに取り付けられるヒータを備えたクライオポンプにおいて、
上記ヒータは、長尺筒形状のヒータパイプと、上記第１及び第２加熱部の対応位置において上記ヒータパイプの内側に配置された加熱コイルと、上記第１及び第２加熱部の対応位置において上記ヒータパイプの外周面に固着された熱伝導性の良好な伝熱部材と有してなり、上記ヒータパイプにおける上記第１加熱部から上記第２加熱部へ至る形状が直線形状に形成されるとともに、上記伝熱部材の外側面を上記コールドシリンダに接触させた状態で、上記ヒータが上記コールドシリンダに取り付けられたことを特徴とするクライオポンプ。
上記伝熱部材には、その長手方向に切欠部が形成されたことを特徴とする請求項１または２に記載のクライオポンプ。
上記ヒータのヒータパイプ一端部には、上記ヒータを真空チャンバに取り付けるためのヒータフランジが形成されるとともに、発熱部から延びる電線をシールする封止部が設けられ、この封止部を覆うようにして上記ヒータフランジに気密に密封部材が設置されたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のクライオポンプ。