JP2951112B2 - クライオポンプ装置 - Google Patents
クライオポンプ装置Info
- Publication number
- JP2951112B2 JP2951112B2 JP19656892A JP19656892A JP2951112B2 JP 2951112 B2 JP2951112 B2 JP 2951112B2 JP 19656892 A JP19656892 A JP 19656892A JP 19656892 A JP19656892 A JP 19656892A JP 2951112 B2 JP2951112 B2 JP 2951112B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- stepped
- stage
- cylinder portion
- thick flange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、極低温冷凍に用いら
れるギホード・マクマホンサイクルあるいはスターリン
グサイクルなどの冷凍機に関するものである。
れるギホード・マクマホンサイクルあるいはスターリン
グサイクルなどの冷凍機に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の冷凍機の構造は、特開平３−１
５８６６１などに開示されており、図５のように、圧縮
部１で圧縮したヘリウムなどの冷媒を管路２Ａから膨張
冷却部３に供給し、膨張冷却部３で膨張した冷媒を管路
２Ｂから圧縮部１に戻し、再び圧縮部１で加圧して管路
２Ａから供給する圧縮系と膨張系を組み合わせ構成にな
っている。
５８６６１などに開示されており、図５のように、圧縮
部１で圧縮したヘリウムなどの冷媒を管路２Ａから膨張
冷却部３に供給し、膨張冷却部３で膨張した冷媒を管路
２Ｂから圧縮部１に戻し、再び圧縮部１で加圧して管路
２Ａから供給する圧縮系と膨張系を組み合わせ構成にな
っている。
【０００３】そして、膨張冷却部３は、電動クランク機
構などの往復駆動部４に、膨張冷却作用を行うための往
復動作部５を組み付けて形成してあり、また、往復動作
部５は、第１段目の膨張冷却作用を行うための直径の大
きい第１ディスプレーサ６と、第２段目の膨張冷却作用
を行うための直径の小さい第２ディスプレーサ７とを連
結した往復動作体８を、太径部分の第１シリンダ部分１
０Ａと細径部分の第２シリンダ部分１０Ｂとをもつ段付
状シリンダ１０の中に収納して構成してあり、この往復
動作体８を往復駆動部３のクランクなどによって往復動
作している。
構などの往復駆動部４に、膨張冷却作用を行うための往
復動作部５を組み付けて形成してあり、また、往復動作
部５は、第１段目の膨張冷却作用を行うための直径の大
きい第１ディスプレーサ６と、第２段目の膨張冷却作用
を行うための直径の小さい第２ディスプレーサ７とを連
結した往復動作体８を、太径部分の第１シリンダ部分１
０Ａと細径部分の第２シリンダ部分１０Ｂとをもつ段付
状シリンダ１０の中に収納して構成してあり、この往復
動作体８を往復駆動部３のクランクなどによって往復動
作している。
【０００４】上記のように第１と第２の各ディスプレー
サが往復動作して膨張冷却を行う構造部分を有する冷却
装置をクライオポンプ装置と言っている。そして、上記
の段付状シリンダ１０は、太径側の開口端に設けた厚肉
フランジ状のベース部分１０１によって往復駆動部４に
固定し、段付部分に設けた厚肉フランジ状の第１ステー
ジ部分１０２によって第１の被冷却体５０に固定し、細
径側の閉塞端に設けた厚肉フランジ状の第２ステージ部
分１０３によって第２の被冷却体６０に固定してある。
サが往復動作して膨張冷却を行う構造部分を有する冷却
装置をクライオポンプ装置と言っている。そして、上記
の段付状シリンダ１０は、太径側の開口端に設けた厚肉
フランジ状のベース部分１０１によって往復駆動部４に
固定し、段付部分に設けた厚肉フランジ状の第１ステー
ジ部分１０２によって第１の被冷却体５０に固定し、細
径側の閉塞端に設けた厚肉フランジ状の第２ステージ部
分１０３によって第２の被冷却体６０に固定してある。
【０００５】そして、段付状シリンダ１０は、極低温下
の強度上の観点からステンレス鋼材、つまり、ＳＵＳ材
を用いている。
の強度上の観点からステンレス鋼材、つまり、ＳＵＳ材
を用いている。
【０００６】各部の温度は、往復駆動部４が常温３００
Ｋ程度、第１ステージ部分１０２が３０Ｋ程度、第２ス
テージ１０３が８Ｋ程度になる。したがって、シリンダ
１０のベース１０１と第１ステージ１０２の間は３００
Ｋ：３０Ｋ程度の温度差、また、第１ステージ１０２と
第２ステージ１０３との間は３０Ｋ：８Ｋ程度の温度差
をもって動作しているため、第１シリンダ１０Ａと第２
シリンダ１０Ｂの各中間部分１０４・１０５は、肉厚に
よる熱容量が冷却動作を妨げることがないように、中間
部分１０４・１０５の肉厚を極力薄くする必要がある。
Ｋ程度、第１ステージ部分１０２が３０Ｋ程度、第２ス
テージ１０３が８Ｋ程度になる。したがって、シリンダ
１０のベース１０１と第１ステージ１０２の間は３００
Ｋ：３０Ｋ程度の温度差、また、第１ステージ１０２と
第２ステージ１０３との間は３０Ｋ：８Ｋ程度の温度差
をもって動作しているため、第１シリンダ１０Ａと第２
シリンダ１０Ｂの各中間部分１０４・１０５は、肉厚に
よる熱容量が冷却動作を妨げることがないように、中間
部分１０４・１０５の肉厚を極力薄くする必要がある。
【０００７】このため、図６のように、中間部分１０４
・１０５を薄肉状にしたフランジ付きの細長い段付管状
に形成している。また、図示していないが、第１シリン
ダ１０Ａと第２シリンダ１０Ｂとの外周には真空室を形
成してある。
・１０５を薄肉状にしたフランジ付きの細長い段付管状
に形成している。また、図示していないが、第１シリン
ダ１０Ａと第２シリンダ１０Ｂとの外周には真空室を形
成してある。
【０００８】段付状シリンダ１０の製作は、例えば、図
７のように、第１シリンダ部分１０Ａと第２シリンダ部
分１０Ｂとに相当する部分の素材を厚肉の管材に、ま
た、ベース部分１０１と第１ステージ部分１０２と第２
ステージ部分１０３とに相当する部分の素材を厚肉の板
材にして、タングステンイナートガス溶接（ＴＩＧ溶接
ともいう）または電子ビーム溶接によって一体に接合し
た全体の素材を作り、この素材を切削加工して図６のよ
うに形成している。
７のように、第１シリンダ部分１０Ａと第２シリンダ部
分１０Ｂとに相当する部分の素材を厚肉の管材に、ま
た、ベース部分１０１と第１ステージ部分１０２と第２
ステージ部分１０３とに相当する部分の素材を厚肉の板
材にして、タングステンイナートガス溶接（ＴＩＧ溶接
ともいう）または電子ビーム溶接によって一体に接合し
た全体の素材を作り、この素材を切削加工して図６のよ
うに形成している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記の図７のように、
ＴＩＧ溶接または電子ビーム溶接により接合する方法で
は溶接欠陥や応力腐食割れが生じ易いうえに、溶接コス
トや加工コストが高いという不都合があり、これらを軟
ろう付けして一体にする方法では、フラックスが結合間
隙に入らないように注意しなければならず、入った場合
には、フラックスの除去作業などの後処理が必要にな
り、加工コストが高くなるという不都合がある。また、
加熱限度が低く脱ガス作業が十分できないため、クライ
オポンプ装置の運転中に、シリンダの外表面から水素ガ
スなどが放出され、クライオポンプ装置の到達真空度が
劣るなどの不都合がある。さらに、図５における段付状
シリンダ１０内にある第１ディスプレーサ６・第２ディ
スプレーサ７の長さを長くし、また、その往復動作量も
大きくする方が、冷凍能力を向上させ得るが、小型に形
成するためには、結局、段付状シリンダ１０の直径を細
くせざるを得なくなり、ますます、上記の各不都合さを
解消しがたい形状のものになる。
ＴＩＧ溶接または電子ビーム溶接により接合する方法で
は溶接欠陥や応力腐食割れが生じ易いうえに、溶接コス
トや加工コストが高いという不都合があり、これらを軟
ろう付けして一体にする方法では、フラックスが結合間
隙に入らないように注意しなければならず、入った場合
には、フラックスの除去作業などの後処理が必要にな
り、加工コストが高くなるという不都合がある。また、
加熱限度が低く脱ガス作業が十分できないため、クライ
オポンプ装置の運転中に、シリンダの外表面から水素ガ
スなどが放出され、クライオポンプ装置の到達真空度が
劣るなどの不都合がある。さらに、図５における段付状
シリンダ１０内にある第１ディスプレーサ６・第２ディ
スプレーサ７の長さを長くし、また、その往復動作量も
大きくする方が、冷凍能力を向上させ得るが、小型に形
成するためには、結局、段付状シリンダ１０の直径を細
くせざるを得なくなり、ますます、上記の各不都合さを
解消しがたい形状のものになる。
【００１０】このため、こうした不都合のない安価な構
成によるものの提供が望まれているという課題がある。
成によるものの提供が望まれているという課題がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記のよう
な太径側の第１シリンダ部分の開口端に設けた厚肉フラ
ンジ状のベース部分と、第１シリンダと細径側の第２シ
リンダ部分との間の段付部分に設けた厚肉フランジ状の
第１ステージ部分と、第２シリンダ部分の閉塞端に設け
た厚肉フランジ状の第２ステージ部分とを有する段付管
状シリンダの中に、膨張冷却動作を行うディスプレーサ
を往復動作させるとともに、上記のベース部分にディス
プレーサの往復動作を行わせるための往復駆動部を固定
したクライオポンプ装置において、上記のベース部分
と、第１シリンダ部分と段付部分と第２シリンダ部分と
を一体にした連続シリンダ状部分と、第１ステージ部分
と、第２ステージ部分とに分割して、各々を別体に形成
し、これらの別体を硬ろう付して一体に形成した段付状
シリンダを設けるなどにより上記の課題を解決し得るよ
うにしたものである。
な太径側の第１シリンダ部分の開口端に設けた厚肉フラ
ンジ状のベース部分と、第１シリンダと細径側の第２シ
リンダ部分との間の段付部分に設けた厚肉フランジ状の
第１ステージ部分と、第２シリンダ部分の閉塞端に設け
た厚肉フランジ状の第２ステージ部分とを有する段付管
状シリンダの中に、膨張冷却動作を行うディスプレーサ
を往復動作させるとともに、上記のベース部分にディス
プレーサの往復動作を行わせるための往復駆動部を固定
したクライオポンプ装置において、上記のベース部分
と、第１シリンダ部分と段付部分と第２シリンダ部分と
を一体にした連続シリンダ状部分と、第１ステージ部分
と、第２ステージ部分とに分割して、各々を別体に形成
し、これらの別体を硬ろう付して一体に形成した段付状
シリンダを設けるなどにより上記の課題を解決し得るよ
うにしたものである。
【００１２】
【作用】段付状シリンダの各要素部分を別体にして形成
した後、これらの別体を硬ろう付によって一体に形成し
ているため、製造容易、かつ、安価で堅牢になり、高温
に加熱しても、段付状シリンダが分解することがないの
で、高温加熱による脱ガスが行える。このため、クライ
オポンプ装置は、冷媒汚染のない良質の膨張冷却を行
い、また、応力腐食などによる故障の無いものになる。
した後、これらの別体を硬ろう付によって一体に形成し
ているため、製造容易、かつ、安価で堅牢になり、高温
に加熱しても、段付状シリンダが分解することがないの
で、高温加熱による脱ガスが行える。このため、クライ
オポンプ装置は、冷媒汚染のない良質の膨張冷却を行
い、また、応力腐食などによる故障の無いものになる。
【００１３】
【実施例】以下、図１〜図４により実施例を説明する。
図１〜図４において、図５〜図７中の符号と同一の符号
で示す部分は、これらの図により説明した部分と同一の
機能部分である。
図１〜図４において、図５〜図７中の符号と同一の符号
で示す部分は、これらの図により説明した部分と同一の
機能部分である。
【００１４】まず、第１実施例を図１により説明する。
図１において、段付状シリンダ１０は４つの部分に分断
して作るもので、第１シリンダ部分１０Ａと段付部分１
０６と第２シリンダ部分１０Ｂとを一体にした連続シリ
ンダ状部分１１０を独立した１個の別体とし、また、ベ
ース部分１０１、第１ステージ部分１０２、第２ステー
ジ部分１０３が、それぞれ独立した別体に分けてあっ
て、これらが、それぞれ連続シリンダ状部分１１０の所
要部分の位置に嵌合し得るように加工形成して製作した
後、これら各別体を「硬ろう付」して所要の一体形状に
形成するようにしたものである。
図１において、段付状シリンダ１０は４つの部分に分断
して作るもので、第１シリンダ部分１０Ａと段付部分１
０６と第２シリンダ部分１０Ｂとを一体にした連続シリ
ンダ状部分１１０を独立した１個の別体とし、また、ベ
ース部分１０１、第１ステージ部分１０２、第２ステー
ジ部分１０３が、それぞれ独立した別体に分けてあっ
て、これらが、それぞれ連続シリンダ状部分１１０の所
要部分の位置に嵌合し得るように加工形成して製作した
後、これら各別体を「硬ろう付」して所要の一体形状に
形成するようにしたものである。
【００１５】これらの嵌合部分には、嵌合面を１周する
環状の溝を硬ろう材溝２０として、肉厚の厚い側に形成
してあり、この部分に「硬ろう付」に用いる硬ろうを棒
状または帯状したものを巻き込んで収納し得るようにし
てある。硬ろう付は、「銀ろう」「黄銅ろう」などを用
いて行う。また、具体的な寸法は、例えば、図２のよう
になっており、第１シリンダ部分１０Ａ・第２シリンダ
部分１０Ｂの直径：長さの比が１：４〜６程度の細長い
形状のものでも、容易に製作し得るようになる。
環状の溝を硬ろう材溝２０として、肉厚の厚い側に形成
してあり、この部分に「硬ろう付」に用いる硬ろうを棒
状または帯状したものを巻き込んで収納し得るようにし
てある。硬ろう付は、「銀ろう」「黄銅ろう」などを用
いて行う。また、具体的な寸法は、例えば、図２のよう
になっており、第１シリンダ部分１０Ａ・第２シリンダ
部分１０Ｂの直径：長さの比が１：４〜６程度の細長い
形状のものでも、容易に製作し得るようになる。
【００１６】次に、第２実施例を図３により説明する。
図３において、段付状シリンダ１０は５つの部分に分断
して作るものであり、図１の第１実施例と異なる箇所
は、第１シリンダ部分１０Ａと第２シリンダ部分１０Ｂ
とを別体に分断して形成するとともに、段付部分１０６
と第１ステージ部分１０２とを一体にして中間接合体部
分１１１として別体に形成しており、また、第１シリン
ダ部分１０Ａの開口端１０Ａ１を、中間接合体部分１１
１の胴付部分１１１Ａ内に差し込んでいる点であり、そ
の他の箇所は、図のように、図１の場合と同様に構成し
てある。
図３において、段付状シリンダ１０は５つの部分に分断
して作るものであり、図１の第１実施例と異なる箇所
は、第１シリンダ部分１０Ａと第２シリンダ部分１０Ｂ
とを別体に分断して形成するとともに、段付部分１０６
と第１ステージ部分１０２とを一体にして中間接合体部
分１１１として別体に形成しており、また、第１シリン
ダ部分１０Ａの開口端１０Ａ１を、中間接合体部分１１
１の胴付部分１１１Ａ内に差し込んでいる点であり、そ
の他の箇所は、図のように、図１の場合と同様に構成し
てある。
【００１７】次に、第３実施例を図４により説明する。
段付状シリンダ１０を５つの部分に分断して作るもので
あり、図３の第２実施例と異なる箇所は、段付部分１０
６に当たる箇所を分割して分割部分１０６Ａと分割部分
１０６Ｂとに分け、分割部分１０６Ａは第２シリンダ部
分１０Ｂの開口端１０Ｂ１側に一体にして形成し、ま
た、分割部分１０６Ｂは胴付部分１１２Ａとともに第１
ステージ部分１０２と一体にして中間接合体部分１１２
として別体に形成している点と、胴付部分１１２Ａの内
径側と分割部分１０６Ａとの間に深い環状溝形に形成し
た隙間部分１１２Ｂに、第２シリンダ１０Ｂの開口端１
０Ｂ１を嵌合している点であり、その他の箇所は、図の
ように、図３の場合と同様に構成してある。
段付状シリンダ１０を５つの部分に分断して作るもので
あり、図３の第２実施例と異なる箇所は、段付部分１０
６に当たる箇所を分割して分割部分１０６Ａと分割部分
１０６Ｂとに分け、分割部分１０６Ａは第２シリンダ部
分１０Ｂの開口端１０Ｂ１側に一体にして形成し、ま
た、分割部分１０６Ｂは胴付部分１１２Ａとともに第１
ステージ部分１０２と一体にして中間接合体部分１１２
として別体に形成している点と、胴付部分１１２Ａの内
径側と分割部分１０６Ａとの間に深い環状溝形に形成し
た隙間部分１１２Ｂに、第２シリンダ１０Ｂの開口端１
０Ｂ１を嵌合している点であり、その他の箇所は、図の
ように、図３の場合と同様に構成してある。
【００１８】以上の第１〜第３実施例において、第１シ
リンダ部分１０Ａと第２シリンダ部分１０Ｂとの管状の
開口端は、これらに接合する部分の厚肉部分で保持する
ように構成してあり、硬ろう付による高温加熱を受けて
も変形しないよにうになっており、また、硬ろう付の溶
剤は、一般に、ほう砂またはほう砂混合液を用いるた
め、溶剤が高熱時にガラス体状の粘体状ので、段付状シ
リンダ１０の内部に余分な硬ろうがはみ出すことがな
い。
リンダ部分１０Ａと第２シリンダ部分１０Ｂとの管状の
開口端は、これらに接合する部分の厚肉部分で保持する
ように構成してあり、硬ろう付による高温加熱を受けて
も変形しないよにうになっており、また、硬ろう付の溶
剤は、一般に、ほう砂またはほう砂混合液を用いるた
め、溶剤が高熱時にガラス体状の粘体状ので、段付状シ
リンダ１０の内部に余分な硬ろうがはみ出すことがな
い。
【００１９】〔変形実施〕この発明は次のように変形し
て実施することができる。 （１）ベース部分１０１・第１ステージ部分１０２・第
２ステージ部分１０３を黄銅材などの銅系材にして構成
する。
て実施することができる。 （１）ベース部分１０１・第１ステージ部分１０２・第
２ステージ部分１０３を黄銅材などの銅系材にして構成
する。
【００２０】（２）硬ろう溝を各嵌合部の端側に片掘り
溝状にして設ける。
溝状にして設ける。
【００２１】
【発明の効果】この発明によれば、以上のように、段付
状シリンダの各要素部分を別体にして形成した後、これ
らの別体を硬ろう付によって一体に形成しているため、
製造が容易になり、また、硬ろう付なので、高温に加熱
しても、ろう付部分が溶けて段付状シリンダが分解する
ことがなく、高温加熱による脱ガスを行うことが可能に
なり、クライオポンプ装置の真空度をより低くすること
ができるほか、ＳＵＳ材部分のブルーイング硬化が行え
るため、クライオポンプ装置の構成を堅牢安価にすると
ともに、冷媒汚染のない良質の膨張冷却が行え、応力腐
食などによる故障の無いものにして提供することができ
るなどの特長がある。
状シリンダの各要素部分を別体にして形成した後、これ
らの別体を硬ろう付によって一体に形成しているため、
製造が容易になり、また、硬ろう付なので、高温に加熱
しても、ろう付部分が溶けて段付状シリンダが分解する
ことがなく、高温加熱による脱ガスを行うことが可能に
なり、クライオポンプ装置の真空度をより低くすること
ができるほか、ＳＵＳ材部分のブルーイング硬化が行え
るため、クライオポンプ装置の構成を堅牢安価にすると
ともに、冷媒汚染のない良質の膨張冷却が行え、応力腐
食などによる故障の無いものにして提供することができ
るなどの特長がある。
図１〜図５は、この発明の実施例を、また、図６・図７
は、従来のものを示し、各図の内容は次のとおりであ
る。
は、従来のものを示し、各図の内容は次のとおりであ
る。
【図１】第１実施例の段付状シリンダの縦断面図
【図２】第１実施例の具体的寸法例を示す説明図
【図３】第２実施例の段付状シリンダの縦断面図
【図４】第３実施例の段付状シリンダの縦断面図
【図５】装置全体の要部断面による構成略図
【図６】段付状シリンダの縦断面図
【図７】段付状シリンダの素材構成の縦断面図
１ 圧縮部 ２Ａ 管路 ２Ｂ 管路 ３ 膨張冷却部 ４ 往復駆動部 ５ 往復動作部 ６ 第１ディスプレーサ ７ 第２ディスプレーサ ８ 往復動作体 １０ 段付状シリンダ １０Ａ 第１シリンダ部分 １０Ｂ 第２シリンダ部分 １０Ｂ１ 開口端 ２０ 硬ろう材溝 ５０ 第１の被冷却体 ６０ 第２の被冷却体 １０１ ベース部分 １０２ 第１ステージ部分 １０３ 第２ステージ部分 １０４ 中間部分 １０５ 中間部分 １０６ 段付部分 １０６Ａ 分割部分 １０６Ｂ 分割部分 １１０ 連続シリンダ状部分 １１１ 中間接合体部分 １１１Ａ 胴付部分 １１１Ｂ 環状溝部分 １１２ 中間接合体部分 １１２Ａ 胴付部分 １１２Ｂ 間隙部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) F25B 9/14 510 B23K 28/00 F04B 37/08
Claims (2)
- 【請求項１】 太径側の第１シリンダ部分の開口端に設
けた厚肉フランジ状のベース部分と、前記第１シリンダ
部分と細径側の第２シリンダ部分との間の段付部分に設
けた厚肉フランジ状の第１ステージ部分と、第２シリン
ダ部分の閉塞端に設けた厚肉フランジ状の第２ステージ
部分とを有する段付管状シリンダの中に、膨張冷却動作
を行うディスプレーサを往復動作させるとともに、前記
ベース部分に前記往復動作を行わせるための往復駆動部
を固定したクライオポンプ装置であって、 前記ベース部分と、前記第１シリンダ部分と前記段付部
分と前記第２シリンダ部分とを一体にした連続シリンダ
状部分と、前記第１ステージ部分と、前記第２ステージ
部分とに分割して、各々を別体に形成し、各前記別体を
硬ろう付して一体に形成した前記段付状シリンダを具備
することを特徴とするクライオポンプ装置。 - 【請求項２】 太径側の第１シリンダ部分の開口端に設
けた厚肉フランジ状のベース部分と、前記第１シリンダ
部分と細径側の第２シリンダ部分との間の段付部分に設
けた厚肉フランジ状の第１ステージ部分と、第２シリン
ダ部分の閉塞端に設けた厚肉フランジ状の第２ステージ
部分とを有する段付管状シリンダの中に、膨張冷却動作
を行うディスプレーサを往復動作させるとともに、前記
ベース部分に前記往復動作を行わせるための往復駆動部
を固定したクライオポンプ装置であって、 前記ベース部分と、前記第１シリンダ部分と、前記第１
ステージ部分と、前記第２シリンダ部分と、前記第２ス
テージ部分とに分割するとともに、前記段付部分を前記
第１シリンダ部分または前記第１ステージ部分のいずれ
かと一体にし、もしくは、前記段付部分を分割した各々
を前記第１シリンダと前記第１ステージとに一体にし
て、前記ベース部分と前記第１シリンダ部分と前記第１
ステージ部分と前記第２シリンダ部分と前記第２ステー
ジ部分とを各々別体に形成し、各前記別体を硬ろう付し
て一体に形成した前記段付状シリンダを具備することを
特徴とするクライオポンプ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19656892A JP2951112B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | クライオポンプ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19656892A JP2951112B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | クライオポンプ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0618110A JPH0618110A (ja) | 1994-01-25 |
| JP2951112B2 true JP2951112B2 (ja) | 1999-09-20 |
Family
ID=16359907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19656892A Expired - Lifetime JP2951112B2 (ja) | 1992-06-30 | 1992-06-30 | クライオポンプ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2951112B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10063697B4 (de) | 2000-12-20 | 2006-07-13 | Siemens Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Position eines Elements in einem Fahrzeug, insbesondere für Insassenschutzsysteme |
| JP2007255734A (ja) * | 2006-03-20 | 2007-10-04 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | コールドヘッド |
| JP6363488B2 (ja) * | 2014-12-11 | 2018-07-25 | 株式会社神戸製鋼所 | 圧縮機 |
| JP7233955B2 (ja) * | 2019-02-19 | 2023-03-07 | 住友重機械工業株式会社 | 極低温冷凍機、極低温冷凍機診断装置および極低温冷凍機診断方法 |
-
1992
- 1992-06-30 JP JP19656892A patent/JP2951112B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0618110A (ja) | 1994-01-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10001079B2 (en) | Coolant penetrating cold-end pressure vessel | |
| US5000368A (en) | Method for cladding the ends of a pre-clad tubular product in preparation for threading | |
| WO1998030354A1 (en) | Electromagnetically forming a tubular workpiece | |
| JP2005506200A (ja) | クラッドパイプおよびチューブを製造するための複合ビレットおよびその製造方法 | |
| JP2951112B2 (ja) | クライオポンプ装置 | |
| US7137259B2 (en) | Cryocooler housing assembly apparatus and method | |
| EP1208343B1 (en) | Heat exchanger | |
| US20140202172A1 (en) | Cold Finger For Cryocoolers | |
| US6478213B1 (en) | Fluxless fabrication of a multi-tubular structure | |
| US5653112A (en) | Cryocooler system with welded cold tip | |
| JP5657479B2 (ja) | 蓄冷式冷凍機 | |
| US5020218A (en) | Method for manufacturing a refrigerator cold head housing | |
| JP2828895B2 (ja) | 極低温冷凍機 | |
| JPH07269967A (ja) | 冷凍装置 | |
| RU2106230C1 (ru) | Способ изготовления паяной телескопической конструкции | |
| JP2000220915A (ja) | スプリット型冷凍機及びスプリット型冷凍機の製造方法 | |
| JP2000220899A (ja) | コールドヘッドの製造方法 | |
| JP3338094B2 (ja) | クライオポンプ装置 | |
| JPH0548115Y2 (ja) | ||
| KR20070017104A (ko) | 극저온 냉각기의 냉각 단 어셈블리에 대한 장치 및 방법 | |
| JP2006017422A (ja) | パルスチューブ冷凍機の位相制御機構 | |
| JP2022071417A (ja) | 伝熱構造、極低温装置、および伝熱構造の製造方法 | |
| JP2698199B2 (ja) | 蓄冷器の製造方法 | |
| RU2096143C1 (ru) | Способ пайки телескопических конструкций | |
| JP2785780B2 (ja) | スターリング冷凍機及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090709 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090709 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100709 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100709 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110709 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120709 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |