JP3883695B2 - 光量測定装置および方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光線の光量を測定する光スペクトラムアナライザなどの光量測定装置および方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、光線の光量の測定に光スペクトラムアナライザなどの光量測定装置が利用されており、例えば、トランスインピーダンス型の光量測定装置がある。このような光量測定装置の第一の従来例を図5を参照して以下に説明する。なお、同図は第一の従来例の光量測定装置の要部を示す回路図である。
【0003】
ここで第一の従来例として例示する光量測定装置1は、フォトダイオード2を具備しており、このフォトダイオード2は、出力端子が接地されて入力端子がオペアンプ3の負側の入力端子に接続されている。このオペアンプ3の正側の入力端子も接地されており、その出力端子は固定抵抗手段であるフィードバック抵抗4を介して負側の入力端子にフィードバック接続されている。
【0004】
上述のような構造の光量測定装置1では、測定する光線がフォトダイオード2に入射されると、このフォトダイオード2が入射する光量に対応した電流を発生する。この電流はオペアンプ3により増幅されて出力されるので、この出力により光線の光量を測定することができる。
【0005】
なお、上述のようなフォトダイオード2が発生する電流は光量に略正比例するが、多大な光量では発生する電流が飽和する特性のフォトダイオードもある。このようなフォトダイオードを利用した光量測定装置の場合、フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加して飽和特性を改善することが一般的である。
【0006】
このような光量測定装置を第二の従来例として図6を参照して以下に説明する。ただし、この第二の従来例において上述した第一の従来例と同一の部分は、同一の名称および符号を使用して詳細な説明は省略する。なお、同図は第二の従来例の光量測定装置の要部を示す回路図である。
【0007】
ここで第二の従来例として例示する光量測定装置11は、飽和特性のフォトダイオード12を具備しており、このフォトダイオード12の入力端子も、前述した第一の従来例の光量測定装置1と同様に、オペアンプ3やフィードバック抵抗4に接続されている。しかし、前述した第一の従来例の光量測定装置1とは相違して、フォトダイオード12の出力端子にはリレー13が接続されており、このリレー13は、バイアス電源14と接地端子15とに選択的に接続自在となっている。
【0008】
上述のような構造の光量測定装置11では、フォトダイオード12に発生電流とは極性が反対のバイアス電圧がバイアス電源14から印加されるので、光線の光量に対応して電流を発生するフォトダイオード12の飽和特性を改善し、光量測定の直線性を向上させることができる。
【0009】
ただし、バイアス電源14のバイアス電圧は光線が低強度の場合にはフォトダイオード12の暗電流の原因となり、出力結果にオフセットが発生して測定精度が低下することになる。そこで、上述した光量測定装置11では、バイアス電源14とフォトダイオード12との接続をリレー13でオンオフ自在としており、低強度の光線を測定する場合にはリレー13をオフ状態として暗電流による出力結果のオフセットを防止する。
【0010】
また、上述のような光量測定装置において、光量の測定レンジを拡大するために抵抗手段であるフィードバック抵抗の電気抵抗を可変自在としたものがある。このような光量測定装置を第三の従来例として図7を参照して以下に説明する。ただし、この第三の従来例において上述した第一の従来例と同一の部分は、同一の名称および符号を使用して詳細な説明は省略する。なお、同図は第三の従来例の光量測定装置の要部を示す回路図である。
【0011】
ここで第三の従来例として例示する光量測定装置21でも、前述した第一の従来例の光量測定装置1と同様に、フォトダイオード2の入力端子がオペアンプ3の入力端子に接続されており、この入力端子とオペアンプ3の出力端子とが可変抵抗手段であるフィードバック抵抗22を介して接続されている。
【0012】
しかし、前述した第一の従来例の光量測定装置1とは相違して、フィードバック抵抗22は電気抵抗が相互に相違する(n+1)個の固定抵抗素子23と(n+1)個の切換スイッチ24からなり、これらの切換スイッチ24が(n+1)個の固定抵抗素子23を切換自在に選択する。
【0013】
上述のような構造の光量測定装置21では、測定する光線が高強度のときに低抵抗の固定抵抗素子23を切換スイッチ24で選択し、測定する光線が低強度のときに高抵抗の固定抵抗素子23を切換スイッチ24で選択する。これで出力電圧に制限があるオペアンプ3により高強度の光線の光量も測定することができ、低強度の光線も良好なS/N(Signal-to-Noise ratio)で測定することができる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
第二の従来例の光量測定装置11では、バイアス電源14のバイアス電圧によりフォトダイオード12の飽和特性を改善しているので、高強度の光線の光量まで良好な直線性で測定することができ、リレー13によりバイアス電源14とフォトダイオード12との接続をオンオフ自在としているので、光線が低強度の場合のフォトダイオード12の暗電流による出力結果のオフセットも防止している。
【0015】
しかし、リレー13は接続の切り換えに時間を要するので、上述の光量測定装置11は、光線の光量を高強度から低強度まで連続的に測定することが困難である。この接続の切り換えをアナログスイッチで実行することも想定できるが、アナログスイッチはリーク電流が多分に発生するので、これでは低強度の光量を正側に測定することが困難となる。
【0016】
また、第三の光量測定装置21では、フィードバック抵抗22の電気抵抗が可変自在なので光量の測定レンジが拡大されている。しかし、オペアンプ3は高強度の光線の光量を測定すると出力電圧が増大して温度が上昇するため、この温度上昇によりドリフトが発生して低強度の光量の測定精度が低下する。
【0017】
本発明は上述のような課題に鑑みてなされたものであり、光量を高強度から低強度まで連続的に測定することができ、低強度の光量を正側に測定することができる光量測定装置および方法を提供することを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明の一の光量測定装置は、測定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高速にオンオフするアナログスイッチと、前記アナログスイッチと直列に接続されており、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク電流でオンオフするフォトモスリレーと、を具備している。
【0019】
従って、本発明の光量測定装置では、測定する光線の入射に対応してフォトダイオードが電流を発生し、このフォトダイオードが発生する電流をオペアンプが増幅して出力する。このとき、フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源が印加するので、フォトダイオードの飽和特性が改善されて高強度の光線の光量も良好な直線性で測定される。バイアス電源とフォトダイオードとの接続がアナログスイッチにより高速にオンオフされ、バイアス電源とフォトダイオードとの接続がフォトモスリレーにより微少なリーク電流でオンオフされる。そこで、測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとをアナログスイッチとフォトモスリレーとで接続すれば、高強度の光線の光量が良好な直線性で測定される。測定する光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高強度から中強度の光線の光量が連続的に測定される。測定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をフォトモスリレーでオフ状態とすれば、中強度から低強度の光線の光量が微少なリーク電流で測定される。
【0020】
本発明の他の光量測定装置は、測定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高速にオンオフするアナログスイッチと、前記アナログスイッチと直列に接続されており、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、を具備している。
【0021】
従って、本発明の光量測定装置では、測定する光線の入射に対応してフォトダイオードが電流を発生し、このフォトダイオードが発生する電流をオペアンプが増幅して出力する。このとき、フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源が印加するので、フォトダイオードの飽和特性が改善されて高強度の光線の光量も良好な直線性で測定される。バイアス電源とフォトダイオードとの接続がアナログスイッチにより高速にオンオフされ、バイアス電源とフォトダイオードとの接続がメカニカルリレーにより微少なリーク電流でオンオフされる。そこで、測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとをアナログスイッチとメカニカルリレーとで接続すれば、高強度の光線の光量が良好な直線性で測定される。測定する光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高強度から中強度の光線の光量が連続的に測定される。測定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をメカニカルリレーでオフ状態とすれば、中強度から低強度の光線の光量が微少なリーク電流で測定される。
【0022】
本発明の他の光量測定装置は、測定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高速にオンオフするフォトモスリレーと、前記フォトモスリレーと直列に接続されており、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、を具備している。
【0023】
従って、本発明の光量測定装置では、測定する光線の入射に対応してフォトダイオードが電流を発生し、このフォトダイオードが発生する電流をオペアンプが増幅して出力する。このとき、フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源が印加するので、フォトダイオードの飽和特性が改善されて高強度の光線の光量も良好な直線性で測定される。バイアス電源とフォトダイオードとの接続がフォトモスリレーにより高速にオンオフされ、バイアス電源とフォトダイオードとの接続がメカニカルリレーにより微少なリーク電流でオンオフされる。そこで、測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとをフォトモスリレーとメカニカルリレーとで接続すれば、高強度の光線の光量が良好な直線性で測定される。測定する光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をフォトモスリレーでオフ状態とすれば、高強度から中強度の光線の光量が連続的に測定される。測定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をメカニカルリレーでオフ状態とすれば、中強度から低強度の光線の光量が微少なリーク電流で測定される。
【0024】
上述のような光量測定装置における他の発明としては、前記アナログスイッチと前記フォトモスリレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを接地する。従って、アナログスイッチとフォトモスリレーとがオフ状態となるときにフォトダイオードを接地するので、フォトダイオードに作用するバイアス電圧が“0”となる。
【0025】
上述のような光量測定装置における他の発明としては、前記アナログスイッチと前記メカニカルリレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを接地する。従って、アナログスイッチとメカニカルリレーとがオフ状態となるときにフォトダイオードを接地するので、フォトダイオードに作用するバイアス電圧が“0”となる。
【0026】
上述のような光量測定装置における他の発明としては、前記フォトモスリレーと前記メカニカルリレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを接地する。従って、フォトモスリレーとメカニカルリレーとがオフ状態となるときにフォトダイオードを接地するので、フォトダイオードに作用するバイアス電圧が“0”となる。
【0032】
本発明の一の光量測定方法は、測定する光線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源から印加し、前記フォトダイオードが発生する電流をオペアンプで増幅させて出力させる光量測定方法であって、
測定する光線が高強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとを動作が高速なアナログスイッチとリーク電流が微少なフォトモスリレーとで接続し、測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記アナログスイッチでオフ状態とし、測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記フォトモスリレーでオフ状態とするようにした。
【0033】
従って、本発明の光量測定方法では、高強度の光線の光量が良好な直線性で測定され、高強度から中強度の光線の光量が連続的に測定され、中強度から低強度の光線の光量が微少なリーク電流で測定される。
【0034】
本発明の他の光量測定方法は、測定する光線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源から印加し、前記フォトダイオードが発生する電流をオペアンプで増幅させて出力させる光量測定方法であって、
測定する光線が高強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとを動作が高速なアナログスイッチとリーク電流が微少のメカニカルリレーとで接続し、測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記アナログスイッチでオフ状態とし、測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオフ状態とするようにした。
【0035】
従って、本発明の光量測定方法では、高強度の光線の光量が良好な直線性で測定され、高強度から中強度の光線の光量が連続的に測定され、中強度から低強度の光線の光量が微少なリーク電流で測定される。
【0036】
本発明の他の光量測定方法は、測定する光線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源から印加し、前記フォトダイオードが発生する電流をオペアンプで増幅させて出力させる光量測定方法であって、
測定する光線が高強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとを動作が高速なフォトモスリレーとリーク電流が微少のメカニカルリレーとで接続し、測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記フォトモスリレーでオフ状態とし、測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオフ状態とするようにした。
【0037】
従って、本発明の光量測定方法では、高強度の光線の光量が良好な直線性で測定され、高強度から中強度の光線の光量が連続的に測定され、中強度から低強度の光線の光量が微少なリーク電流で測定される。
【0040】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の一形態を図1ないし図3を参照して以下に説明する。ただし、本実施の形態に関して前述した第二の従来例と同一の部分は、同一の名称を使用して詳細な説明は省略する。なお、図1は本実施の形態の光量測定装置の要部を示す回路図、図2はアナログスイッチの内部構造を示す回路図、図3はフォトモスリレーの内部構造を示す回路図である。
【0041】
本実施の形態の光量測定装置31も、フォトダイオード32の入力端子がオペアンプ33の負側の入力端子に接続されており、この入力端子にはオペアンプ33の出力端子に接続されたフィードバック抵抗34も接続されている。
【0042】
そして、フォトダイオード32の出力端子にはフォトモスリレー35が接続されており、このフォトモスリレー35は、アナログスイッチ36と接地端子37とに選択的に接続自在とされており、このアナログスイッチ36は、バイアス電源38と接地端子37とに接続自在とされている。
【0043】
なお、フォトモスリレー33は、図2に示すように、一種のフォトカプラからなり、アナログスイッチ36は、図3に示すように、複数のトランジスタからなる。その特性を比較すると、フォトモスリレー35は、バイアス電源38とフォトダイオード32との接続を微少なリーク電流でオンオフすることができるが、このオンオフの動作には0.1ms程度の時間が必要である。アナログスイッチ36は、バイアス電源38とフォトダイオード32との接続を100ns程度で高速にオンオフすることができるが、接続をオフ状態としても多少のリーク電流が発生する。
【0044】
上述のような構成において、本実施の形態の光量測定装置31では、測定する光線がフォトダイオード2に入射されると、このフォトダイオード2が入射する光量に対応した電流を発生する。この電流はオペアンプ33により増幅されて出力されるので、この出力により光線の光量を測定することができる。
【0045】
しかも、フォトダイオード32に発生電流とは極性が反対のバイアス電圧がバイアス電源38から印加されるので、光線の光量に対応して電流を発生するフォトダイオード32の飽和特性を改善し、光量測定の直線性を向上させることができる。
【0046】
ただし、本実施の形態の光量測定装置31では、入射する光線の強度に対応してフォトモスリレー35とアナログスイッチ36とをオンオフすることにより、各種強度の光線の光量を良好かつ連続に測定する。つまり、測定する光線が高強度のときは、バイアス電源38とフォトダイオード32とをアナログスイッチ36とフォトモスリレー35とで接続し、高強度の光線の光量を良好な直線性で測定する。
【0047】
また、測定する光線が中強度のときは、バイアス電源38とフォトダイオード32との接続をアナログスイッチ36でオフ状態とする。この場合、このアナログスイッチ36は動作が高速なので、高強度から中強度の光線の光量を連続的に正確に測定することができ、多少のリーク電流は発生するが測定する光量が低強度でないので問題がない。
【0048】
そして、測定する光線が低強度のときは、バイアス電源38とフォトダイオード32との接続をフォトモスリレー35でオフ状態とする。この場合、フォトモスリレー35が特性的にリーク電流が微少なので、中強度から低強度の光線の光量が正側に測定される。特に、オフ状態のフォトモスリレー35は接地端子37に接続されるので、フォトダイオード32のバイアス電圧を確実に“0”とすることができ、より正確に光線の光量を測定することができる。
【0049】
なお、測定する光線が中強度でアナログスイッチ36をオフ状態とするときは、動作が低速なフォトモスリレー35はオン状態としておく。また、測定する光線が低強度でフォトモスリレー35をオフ状態とするときは、動作が高速なアナログスイッチ36のオンオフは任意の状態で良い。
【0050】
本実施の形態の光量測定装置31は、上述のようにフォトダイオード32にリーク電流が微少なフォトモスリレー35と動作が高速なアナログスイッチ36とでバイアス電源38に接続しているので、高強度の光線を良好な直線性で測定することができ、高強度から中強度の光線を連続的に正確に測定することができ、中強度から低強度の光線を正確に測定することができる。
【0051】
なお、本発明は上記形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態ではフォトダイオード32の入力端子に第一オペアンプ23の負側の入力端子を接続して光量の検出結果を負極性の電流で出力させることを例示したが、フォトダイオード32の出力端子に第一オペアンプ23の正確の入力端子を接続して光量の検出結果を正極性の電流で出力させることも可能である。
【0052】
また、上記形態ではフォトダイオード32とバイアス電源38との中間にリーク電流が微少なフォトモスリレー35と動作が高速なアナログスイッチ36とを設けることを例示したが、これらの特性は相対的な関係にあるので、光量測定装置の仕様などによりデバイスを変更することも可能である。
【0053】
例えば、フォトダイオードとバイアス電源との中間に、動作が高速なスイッチ素子としてアナログスイッチを設けるとともにリーク電流が微少なスイッチング素子としてメカニカルリレーを設けることや、動作が高速なスイッチ素子としてフォトモスリレーを設けるとともにリーク電流が微少なスイッチング素子としてメカニカルリレーを設けることも実施可能である。なお、これらのスイッチング素子の特性を下記の表1に例示する。
【0054】
【表1】
【0055】
さらに、上記形態ではフィードバック抵抗34として一個の固定抵抗素子を使用することを例示したが、これを複数の固定抵抗素子23と複数の切換スイッチ24からなる可変抵抗手段であるフィードバック抵抗47とすることも実施可能である。
【0056】
つぎに、本発明の実施の第二の形態を図4を参照して以下に説明する。ただし、本実施の形態に関して前述した第三の従来例と同一の部分は、同一の名称を使用して詳細な説明は省略する。なお、同図は本実施の形態の光量測定装置の要部を示す回路図である。
【0057】
本実施の形態の光量測定装置41は、一個のフォトダイオード42に対して第一第二のオペアンプ43,44が設けられており、これら第一第二のオペアンプ43,44はアンプ切換手段であるアンプ切換スイッチ45を介してフォトダイオード42に切換自在に接続されている。
【0058】
同様に、第一第二のオペアンプ43,44は出力切換手段である出力切換スイッチ46を介して一個の結果出力端子47に切換自在に接続されており、上述のような切換スイッチ45,46は第一第二のオペアンプ43,44の選択状態が連動する。
【0059】
第一のオペアンプ43は、可変抵抗手段として電気抵抗が可変自在なフィードバック抵抗47が接続されており、このフィードバック抵抗47は、電気抵抗が相互に相違するn個の固定抵抗素子48とn個の切換スイッチ49からなる。
【0060】
第二のオペアンプ44は、固定抵抗手段として所定の電気抵抗の一個の固定抵抗素子からなるフィードバック抵抗50が接続されており、このフィードバック抵抗50は、上述のn個の固定抵抗素子48の何れより大きい電気抵抗を有している。
【0061】
上述のような構成において、本実施の形態の光量測定装置41では、高強度から中強度の光線の光量を測定する場合には、アンプ切換スイッチ45により一個のフォトダイオード42に第一のオペアンプ43を接続するとともに、この第一のオペアンプ43を出力切換スイッチ46により一個の結果出力端子47に接続する。
【0062】
このような状態で、光線の強度に対応して第一のオペアンプ43のフィードバック抵抗47のn個の固定抵抗素子48を切換制御することにより、従来と同様にフォトダイオード42の発生電流を第一のオペアンプ43で適正に増幅し、高強度から中強度の光線の光量を良好に測定する。
【0063】
しかし、最低強度の光線の光量を測定する場合には、アンプ切換スイッチ45によりフォトダイオード42に第二のオペアンプ44を接続するとともに、この第二のオペアンプ44を出力切換スイッチ46により結果出力端子47に接続する。
【0064】
第二のオペアンプ44には、第一のオペアンプ43のフィードバック抵抗47の何れの固定抵抗素子48より高抵抗のフィードバック抵抗50が接続されているので、フォトダイオード42の発生電流を第二のオペアンプ44で良好なS/Nで増幅することができ、最低強度の光線の光量を良好に測定することができる。
【0065】
本実施の形態の光量測定装置41は、光線が中強度から高強度の場合には従来と同様にフィードバック抵抗47が可変自在な第一のオペアンプ43を使用し、光線が最低強度の場合のみ高抵抗のフィードバック抵抗50が接続された第二のオペアンプ44を使用する。
【0066】
中強度から高強度の光線を測定するときに第一のオペアンプ43は発熱してドリフトを発生するが、最低強度の光線は第二のオペアンプ44で測定されるので、その測定結果に発熱によるドリフトが影響することがなく、最低強度の光線の光量を正確に測定することができる。
【0067】
さらに、本実施の形態の光量測定装置41では、フォトダイオード42と第一第二のオペアンプ43,44との接続をアンプ切換スイッチ45により切り換えるとき、第一第二のオペアンプ43,44と結果出力端子47との接続も出力切換スイッチ46により連動して切り換える。このため、第一第二のオペアンプ43,44の選択された一方の出力電圧が選択されない他方にリークすることがないので、さらに良好な精度で光線の光量を測定することができる。
【0068】
なお、本発明も上記形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許容する。例えば、上記形態では一個のフォトダイオード42に対して第一第二のオペアンプ43,44を設けることを例示したが、このオペアンプを三つ以上とすることも可能である。
【0069】
また、第一のオペアンプ43のフィードバック抵抗47の電気抵抗が可変自在であることを例示したが、これを固定抵抗とすることも可能である。例えば、オペアンプを多数とする場合には、その各々に電気抵抗が相違するフィードバック抵抗を接続すれば良く、電気抵抗が可変自在なフィードバック抵抗は高強度の光線の光量測定に使用する一個のオペアンプのみに接続しておけば良い。
【0070】
さらに、上記形態の光量測定装置41でもフォトダイオード42の極性を反転させることが可能である。また、上述した実施の第一第二の形態の光量測定装置31,41の特徴部分を組み合わせることも可能であり、その場合、上述の光量測定装置41のフォトダイオード42にフォトモスリレー35とアナログスイッチ36とを介してバイアス電源38を接続すれば良い。
【0071】
【発明の効果】
本発明は以上説明したように構成されているので、以下に記載するような効果を奏する。
【0072】
請求項1記載の発明の光量測定装置は、測定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高速にオンオフするアナログスイッチと、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク電流でオンオフするフォトモスリレーと、を具備していることにより、
例えば、測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとをアナログスイッチとフォトモスリレーとで接続すれば、高強度の光線の光量を良好な直線性で測定することができ、測定する光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高強度から中強度の光線の光量を連続的に測定することができ、測定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をフォトモスリレーでオフ状態とすれば、中強度から低強度の光線の光量を微少なリーク電流で測定することができるので、各種強度の光線を良好に測定することができる。
【0073】
請求項2記載の発明の光量測定装置は、測定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高速にオンオフするアナログスイッチと、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、を具備していることにより、
例えば、測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとをアナログスイッチとメカニカルリレーとで接続すれば、高強度の光線の光量を良好な直線性で測定することができ、測定する光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高強度から中強度の光線の光量を連続的に測定することができ、測定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をメカニカルリレーでオフ状態とすれば、中強度から低強度の光線の光量を微少なリーク電流で測定することができるので、各種強度の光線を良好に測定することができる。
【0074】
請求項3記載の発明の光量測定装置は、測定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高速にオンオフするフォトモスリレーと、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、を具備していることにより、
例えば、測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとをアナログスイッチとメカニカルリレーとで接続すれば、高強度の光線の光量を良好な直線性で測定することができ、測定する光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高強度から中強度の光線の光量を連続的に測定することができ、測定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとの接続をメカニカルリレーでオフ状態とすれば、中強度から低強度の光線の光量を微少なリーク電流で測定することができるので、各種強度の光線を良好に測定することができる。
【0075】
請求項4記載の発明は、請求項1または2記載の光量測定装置であって、前記アナログスイッチと前記フォトモスリレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを接地することにより、
フォトダイオードに作用するバイアス電圧を“0”とすることができるので、低強度の光線の光量を正確に測定することができる。
【0076】
請求項5記載の発明は、請求項1または2記載の光量測定装置であって、前記アナログスイッチと前記メカニカルリレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを接地することにより、
フォトダイオードに作用するバイアス電圧を“0”とすることができるので、低強度の光線の光量を正確に測定することができる。
【0077】
請求項6記載の発明は、請求項1または2記載の光量測定装置であって、前記フォトモスリレーと前記メカニカルリレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを接地することにより、
フォトダイオードに作用するバイアス電圧を“0”とすることができるので、低強度の光線の光量を正確に測定することができる。
【0078】
請求項7記載の発明の光量測定装置は、測定する光線の入射に対応して電流を発生する一個のフォトダイオードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力する第一第二のオペアンプと、前記第一第二のオペアンプを一個の前記フォトダイオードに切換自在に接続するアンプ切換手段と、前記第一のオペアンプの出力端子と前記フォトダイオードが接続されている入力端子とを可変自在な電気抵抗を介して接続する可変抵抗手段と、該可変抵抗手段の最大の電気抵抗より以上の電気抵抗を介して前記第二のオペアンプの出力端子と前記フォトダイオードが接続されている入力端子とを接続する固定抵抗手段と、を具備していることにより、
例えば、測定する光線が高強度から中強度のときにアンプ切換手段によりフォトダイオードに第一のオペアンプを接続すれば、接続されている可変抵抗手段の電気抵抗が可変自在なので中強度から高強度の光線を良好に測定することができ、測定する光線が低強度のときにアンプ切換手段によりフォトダイオードに第二のオペアンプを接続すれば、接続されている固定抵抗手段が高抵抗なので低強度の光線を良好なS/Nで測定することができ、中強度から高強度の光線を測定するときに第一のオペアンプが発熱してドリフトを発生するが、低強度の光線は第二のオペアンプで測定されるので発熱によるドリフトが影響することがなく、各種強度の光線を良好に測定することができる。
【0079】
請求項8記載の発明は、請求項7記載の光量測定装置であって、前記可変抵抗手段は、電気抵抗が相互に相違する複数の固定抵抗素子と、複数の前記固定抵抗素子を切換自在に選択する切換スイッチと、を具備しており、前記固定抵抗手段は、電気抵抗が最大の前記固定抵抗素子より以上の電気抵抗を発生することにより、
高強度から中強度の光線を第一のオペアンプで良好に測定することができ、低強度の光線を第二のオペアンプで良好に測定することができる。
【0080】
請求項9記載の発明は、請求項7または8記載の光量測定装置であって、前記アンプ切換手段とともに前記第一第二のオペアンプの一方の出力端子を切換自在に選択する出力切換手段も具備していることにより、
アンプ切換手段とともに第一第二のオペアンプの一方の出力端子を出力切換手段により切換自在に選択することかできるので、選択されたオペアンプの出力電圧が選択されないオペアンプにリークすることを防止することができ、より良好な精度で光線の光量を測定することができる。
【0081】
請求項10記載の発明の光量測定方法は、測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとを動作が高速なアナログスイッチとリーク電流が微少なフォトモスリレーとで接続し、測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記アナログスイッチでオフ状態とし、測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記フォトモスリレーでオフ状態とするようにしたことにより、
高強度の光線の光量を良好な直線性で測定することができ、高強度から中強度の光線の光量を連続的に測定することができ、中強度から低強度の光線の光量を微少なリーク電流で測定することができるので、各種強度の光線を良好に測定することができる。
【0082】
請求項11記載の発明の光量測定方法は、測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとを動作が高速なアナログスイッチとリーク電流が微少のメカニカルリレーとで接続し、測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記アナログスイッチでオフ状態とし、測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオフ状態とするようにしたことにより、
高強度の光線の光量を良好な直線性で測定することができ、高強度から中強度の光線の光量を連続的に測定することができ、中強度から低強度の光線の光量を微少なリーク電流で測定することができるので、各種強度の光線を良好に測定することができる。
【0083】
請求項12記載の発明の光量測定方法は、測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとを動作が高速なフォトモスリレーとリーク電流が微少のメカニカルリレーとで接続し、測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記フォトモスリレーでオフ状態とし、測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオフ状態とするようにしたことにより、
高強度の光線の光量を良好な直線性で測定することができ、高強度から中強度の光線の光量を連続的に測定することができ、中強度から低強度の光線の光量を微少なリーク電流で測定することができるので、各種強度の光線を良好に測定することができる。
【0084】
請求項13記載の発明の光量測定方法は、測定する光線が高強度から中強度のときに電気抵抗が可変自在な可変抵抗手段が接続されている第一のオペアンプでフォトダイオードの発生電流を増幅させ、測定する光線が低強度のときに前記可変抵抗手段の最大の電気抵抗より以上の電気抵抗の固定抵抗手段が接続されている第二のオペアンプで前記フォトダイオードの発生電流を増幅させるようにしたことにより、
中強度から高強度の光線を良好に測定することができ、低強度の光線を良好なS/Nで測定することができ、中強度から高強度の光線を測定するときに第一のオペアンプが発熱してドリフトを発生するが、低強度の光線は第二のオペアンプで測定されるので発熱によるドリフトが影響することがなく、各種強度の光線を良好に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の第一の形態の光量測定装置の要部を示す回路図である。
【図2】フォトモスリレーの内部構造を示す回路図である。
【図3】アナログスイッチの内部構造を示す回路図である。
【図4】本発明の実施の第二の形態の光量測定装置の要部を示す回路図である。
【図5】第一の従来例の光量測定装置の要部を示す回路図である。
【図6】第二の従来例の光量測定装置の要部を示す回路図である。
【図7】第三の従来例の光量測定装置の要部を示す回路図である。
【符号の説明】
31,41 光量測定装置
32,42 フォトダイオード
33,43,44 オペアンプ
35 フォトモスリレー
36 アナログスイッチ
38 バイアス電源
45 アンプ切換手段であるアンプ切換スイッチ
46 出力切換手段である出力切換スイッチ
47 可変抵抗手段であるフィードバック抵抗
48 固定抵抗素子
49 切換スイッチ
50 固定抵抗手段であるフィードバック抵抗
Claims (9)
- 測定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオードと、
該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力するオペアンプと、
前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、
前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高速にオンオフするアナログスイッチと、
前記アナログスイッチと直列に接続されており、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク電流でオンオフするフォトモスリレーと、
を具備している光量測定装置。 - 測定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオードと、
該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力するオペアンプと、
前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、
前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高速にオンオフするアナログスイッチと、
前記アナログスイッチと直列に接続されており、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、
を具備している光量測定装置。 - 測定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオードと、
該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力するオペアンプと、
前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源と、
前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高速にオンオフするフォトモスリレーと、
前記フォトモスリレーと直列に接続されており、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、
を具備している光量測定装置。 - 前記アナログスイッチと前記フォトモスリレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを接地する請求項1記載の光量測定装置。
- 前記アナログスイッチと前記メカニカルリレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを接地する請求項2記載の光量測定装置。
- 前記フォトモスリレーと前記メカニカルリレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを接地する請求項3記載の光量測定装置。
- 測定する光線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源から印加し、前記フォトダイオードが発生する電流をオペアンプで増幅させて出力させる光量測定方法であって、
測定する光線が高強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとを動作が高速なアナログスイッチとリーク電流が微少なフォトモスリレーとで接続し、
測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記アナログスイッチでオフ状態とし、
測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記フォトモスリレーでオフ状態とするようにしたことを特徴とする光量測定方法。 - 測定する光線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源から印加し、前記フォトダイオードが発生する電流をオペアンプで増幅させて出力させる光量測定方法であって、
測定する光線が高強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとを動作が高速なアナログスイッチとリーク電流が微少のメカニカルリレーとで接続し、
測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記アナログスイッチでオフ状態とし、
測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオフ状態とするようにしたことを特徴とする光量測定方法。 - 測定する光線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源から印加し、前記フォトダイオードが発生する電流をオペアンプで増幅させて出力させる光量測定方法であって、
測定する光線が高強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとを動作が高速なフォトモスリレーとリーク電流が微少のメカニカルリレーとで接続し、
測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記フォトモスリレーでオフ状態とし、
測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオフ状態とするようにしたことを特徴とする光量測定方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11689398A JP3883695B2 (ja) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | 光量測定装置および方法 |
US09/126,781 US5969809A (en) | 1997-08-04 | 1998-07-31 | Light-measuring device for accurate and continuous measurement of light intensity |
DE19835130A DE19835130C2 (de) | 1997-08-04 | 1998-08-04 | Licht-Meßeinrichtung zur genauen und kontinuierlichen Messung von Lichtintensität |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11689398A JP3883695B2 (ja) | 1998-04-27 | 1998-04-27 | 光量測定装置および方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11304586A JPH11304586A (ja) | 1999-11-05 |
JP3883695B2 true JP3883695B2 (ja) | 2007-02-21 |
Family
ID=14698252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11689398A Expired - Fee Related JP3883695B2 (ja) | 1997-08-04 | 1998-04-27 | 光量測定装置および方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3883695B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1727120B1 (en) | 2005-05-23 | 2008-07-09 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photoelectric conversion device and manufacturing method thereof |
JP6939701B2 (ja) * | 2018-05-22 | 2021-09-22 | 株式会社島津製作所 | エネルギー分散型蛍光x線分析装置 |
-
1998
- 1998-04-27 JP JP11689398A patent/JP3883695B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11304586A (ja) | 1999-11-05 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
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|
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|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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