JPH11304586A - 光量測定装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バイアス電圧が印加されているフォトダイオ
ードで光線を電流に変換してオペアンプで増幅する光量
測定方法において、各種強度の光線を連続かつ良好に測
定する。 【解決手段】 バイアス電源とフォトダイオードとを、
測定する光線が高強度のときに動作が高速なアナログス
イッチとリーク電流が微少なフォトモスリレーとで接続
し、高強度の光線の光量を良好な直線性で測定する。測
定する光線が中強度のときにアナログスイッチでオフ状
態とし、高強度から中強度の光線の光量を連続に測定で
きるようにする。測定する光線が低強度のときにフォト
モスリレーでオフ状態とし、中強度から低強度の光線の
光量を微少なリーク電流で高精度に測定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光線の光量を測定
する光スペクトラムアナライザなどの光量測定装置およ
び方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光線の光量の測定に光スペクトラ
ムアナライザなどの光量測定装置が利用されており、例
えば、トランスインピーダンス型の光量測定装置があ
る。このような光量測定装置の第一の従来例を図５を参
照して以下に説明する。なお、同図は第一の従来例の光
量測定装置の要部を示す回路図である。

【０００３】ここで第一の従来例として例示する光量測
定装置１は、フォトダイオード２を具備しており、この
フォトダイオード２は、出力端子が接地されて入力端子
がオペアンプ３の負側の入力端子に接続されている。こ
のオペアンプ３の正側の入力端子も接地されており、そ
の出力端子は固定抵抗手段であるフィードバック抵抗４
を介して負側の入力端子にフィードバック接続されてい
る。

【０００４】上述のような構造の光量測定装置１では、
測定する光線がフォトダイオード２に入射されると、こ
のフォトダイオード２が入射する光量に対応した電流を
発生する。この電流はオペアンプ３により増幅されて出
力されるので、この出力により光線の光量を測定するこ
とができる。

【０００５】なお、上述のようなフォトダイオード２が
発生する電流は光量に略正比例するが、多大な光量では
発生する電流が飽和する特性のフォトダイオードもあ
る。このようなフォトダイオードを利用した光量測定装
置の場合、フォトダイオードに発生電流とは極性が反対
のバイアス電圧を印加して飽和特性を改善することが一
般的である。

【０００６】このような光量測定装置を第二の従来例と
して図６を参照して以下に説明する。ただし、この第二
の従来例において上述した第一の従来例と同一の部分
は、同一の名称および符号を使用して詳細な説明は省略
する。なお、同図は第二の従来例の光量測定装置の要部
を示す回路図である。

【０００７】ここで第二の従来例として例示する光量測
定装置１１は、飽和特性のフォトダイオード１２を具備
しており、このフォトダイオード１２の入力端子も、前
述した第一の従来例の光量測定装置１と同様に、オペア
ンプ３やフィードバック抵抗４に接続されている。しか
し、前述した第一の従来例の光量測定装置１とは相違し
て、フォトダイオード１２の出力端子にはリレー１３が
接続されており、このリレー１３は、バイアス電源１４
と接地端子１５とに選択的に接続自在となっている。

【０００８】上述のような構造の光量測定装置１１で
は、フォトダイオード１２に発生電流とは極性が反対の
バイアス電圧がバイアス電源１４から印加されるので、
光線の光量に対応して電流を発生するフォトダイオード
１２の飽和特性を改善し、光量測定の直線性を向上させ
ることができる。

【０００９】ただし、バイアス電源１４のバイアス電圧
は光線が低強度の場合にはフォトダイオード１２の暗電
流の原因となり、出力結果にオフセットが発生して測定
精度が低下することになる。そこで、上述した光量測定
装置１１では、バイアス電源１４とフォトダイオード１
２との接続をリレー１３でオンオフ自在としており、低
強度の光線を測定する場合にはリレー１３をオフ状態と
して暗電流による出力結果のオフセットを防止する。

【００１０】また、上述のような光量測定装置におい
て、光量の測定レンジを拡大するために抵抗手段である
フィードバック抵抗の電気抵抗を可変自在としたものが
ある。このような光量測定装置を第三の従来例として図
７を参照して以下に説明する。ただし、この第三の従来
例において上述した第一の従来例と同一の部分は、同一
の名称および符号を使用して詳細な説明は省略する。な
お、同図は第三の従来例の光量測定装置の要部を示す回
路図である。

【００１１】ここで第三の従来例として例示する光量測
定装置２１でも、前述した第一の従来例の光量測定装置
１と同様に、フォトダイオード２の入力端子がオペアン
プ３の入力端子に接続されており、この入力端子とオペ
アンプ３の出力端子とが可変抵抗手段であるフィードバ
ック抵抗２２を介して接続されている。

【００１２】しかし、前述した第一の従来例の光量測定
装置１とは相違して、フィードバック抵抗２２は電気抵
抗が相互に相違する(ｎ＋１)個の固定抵抗素子２３と
(ｎ＋１)個の切換スイッチ２４からなり、これらの切換
スイッチ２４が(ｎ＋１)個の固定抵抗素子２３を切換自
在に選択する。

【００１３】上述のような構造の光量測定装置２１で
は、測定する光線が高強度のときに低抵抗の固定抵抗素
子２３を切換スイッチ２４で選択し、測定する光線が低
強度のときに高抵抗の固定抵抗素子２３を切換スイッチ
２４で選択する。これで出力電圧に制限があるオペアン
プ３により高強度の光線の光量も測定することができ、
低強度の光線も良好なＳ／Ｎ(Signal-to-Noise ratio)
で測定することができる。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】第二の従来例の光量測
定装置１１では、バイアス電源１４のバイアス電圧によ
りフォトダイオード１２の飽和特性を改善しているの
で、高強度の光線の光量まで良好な直線性で測定するこ
とができ、リレー１３によりバイアス電源１４とフォト
ダイオード１２との接続をオンオフ自在としているの
で、光線が低強度の場合のフォトダイオード１２の暗電
流による出力結果のオフセットも防止している。

【００１５】しかし、リレー１３は接続の切り換えに時
間を要するので、上述の光量測定装置１１は、光線の光
量を高強度から低強度まで連続的に測定することが困難
である。この接続の切り換えをアナログスイッチで実行
することも想定できるが、アナログスイッチはリーク電
流が多分に発生するので、これでは低強度の光量を正側
に測定することが困難となる。

【００１６】また、第三の光量測定装置２１では、フィ
ードバック抵抗２２の電気抵抗が可変自在なので光量の
測定レンジが拡大されている。しかし、オペアンプ３は
高強度の光線の光量を測定すると出力電圧が増大して温
度が上昇するため、この温度上昇によりドリフトが発生
して低強度の光量の測定精度が低下する。

【００１７】本発明は上述のような課題に鑑みてなされ
たものであり、光量を高強度から低強度まで連続的に測
定することができ、低強度の光量を正側に測定すること
ができる光量測定装置および方法を提供することを目的
とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明の一の光量測定装
置は、測定する光線の入射に対応して電流を発生するフ
ォトダイオードと、該フォトダイオードが発生する電流
を増幅して出力するオペアンプと、前記フォトダイオー
ドに発生電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加する
バイアス電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオ
ードとの接続を高速にオンオフするアナログスイッチ
と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続
を微少なリーク電流でオンオフするフォトモスリレー
と、を具備している。

【００１９】従って、本発明の光量測定装置では、測定
する光線の入射に対応してフォトダイオードが電流を発
生し、このフォトダイオードが発生する電流をオペアン
プが増幅して出力する。このとき、フォトダイオードに
発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源
が印加するので、フォトダイオードの飽和特性が改善さ
れて高強度の光線の光量も良好な直線性で測定される。
バイアス電源とフォトダイオードとの接続がアナログス
イッチにより高速にオンオフされ、バイアス電源とフォ
トダイオードとの接続がフォトモスリレーにより微少な
リーク電流でオンオフされる。そこで、測定する光線が
高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとをア
ナログスイッチとフォトモスリレーとで接続すれば、高
強度の光線の光量が良好な直線性で測定される。測定す
る光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオー
ドとの接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高
強度から中強度の光線の光量が連続的に測定される。測
定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォトダイ
オードとの接続をフォトモスリレーでオフ状態とすれ
ば、中強度から低強度の光線の光量が微少なリーク電流
で測定される。

【００２０】本発明の他の光量測定装置は、測定する光
線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオード
と、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力
するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生電流と
は極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源
と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続
を高速にオンオフするアナログスイッチと、前記バイア
ス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク
電流でオンオフするメカニカルリレーと、を具備してい
る。

【００２１】従って、本発明の光量測定装置では、測定
する光線の入射に対応してフォトダイオードが電流を発
生し、このフォトダイオードが発生する電流をオペアン
プが増幅して出力する。このとき、フォトダイオードに
発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源
が印加するので、フォトダイオードの飽和特性が改善さ
れて高強度の光線の光量も良好な直線性で測定される。
バイアス電源とフォトダイオードとの接続がアナログス
イッチにより高速にオンオフされ、バイアス電源とフォ
トダイオードとの接続がメカニカルリレーにより微少な
リーク電流でオンオフされる。そこで、測定する光線が
高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとをア
ナログスイッチとメカニカルリレーとで接続すれば、高
強度の光線の光量が良好な直線性で測定される。測定す
る光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオー
ドとの接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高
強度から中強度の光線の光量が連続的に測定される。測
定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォトダイ
オードとの接続をメカニカルリレーでオフ状態とすれ
ば、中強度から低強度の光線の光量が微少なリーク電流
で測定される。

【００２２】本発明の他の光量測定装置は、測定する光
線の入射に対応して電流を発生するフォトダイオード
と、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力
するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生電流と
は極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス電源
と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続
を高速にオンオフするフォトモスリレーと、前記バイア
ス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリーク
電流でオンオフするメカニカルリレーと、を具備してい
る。

【００２３】従って、本発明の光量測定装置では、測定
する光線の入射に対応してフォトダイオードが電流を発
生し、このフォトダイオードが発生する電流をオペアン
プが増幅して出力する。このとき、フォトダイオードに
発生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源
が印加するので、フォトダイオードの飽和特性が改善さ
れて高強度の光線の光量も良好な直線性で測定される。
バイアス電源とフォトダイオードとの接続がフォトモス
リレーにより高速にオンオフされ、バイアス電源とフォ
トダイオードとの接続がメカニカルリレーにより微少な
リーク電流でオンオフされる。そこで、測定する光線が
高強度のときにバイアス電源とフォトダイオードとをフ
ォトモスリレーとメカニカルリレーとで接続すれば、高
強度の光線の光量が良好な直線性で測定される。測定す
る光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオー
ドとの接続をフォトモスリレーでオフ状態とすれば、高
強度から中強度の光線の光量が連続的に測定される。測
定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォトダイ
オードとの接続をメカニカルリレーでオフ状態とすれ
ば、中強度から低強度の光線の光量が微少なリーク電流
で測定される。

【００２４】上述のような光量測定装置における他の発
明としては、前記アナログスイッチと前記フォトモスリ
レーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを
接地する。従って、アナログスイッチとフォトモスリレ
ーとがオフ状態となるときにフォトダイオードを接地す
るので、フォトダイオードに作用するバイアス電圧が
“０”となる。

【００２５】上述のような光量測定装置における他の発
明としては、前記アナログスイッチと前記メカニカルリ
レーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを
接地する。従って、アナログスイッチとメカニカルリレ
ーとがオフ状態となるときにフォトダイオードを接地す
るので、フォトダイオードに作用するバイアス電圧が
“０”となる。

【００２６】上述のような光量測定装置における他の発
明としては、前記フォトモスリレーと前記メカニカルリ
レーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオードを
接地する。従って、フォトモスリレーとメカニカルリレ
ーとがオフ状態となるときにフォトダイオードを接地す
るので、フォトダイオードに作用するバイアス電圧が
“０”となる。

【００２７】本発明の他の光量測定装置は、測定する光
線の入射に対応して電流を発生する一個のフォトダイオ
ードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅して
出力する第一第二のオペアンプと、前記第一第二のオペ
アンプを一個の前記フォトダイオードに切換自在に接続
するアンプ切換手段と、前記第一のオペアンプの出力端
子と前記フォトダイオードが接続されている入力端子と
を可変自在な電気抵抗を介して接続する可変抵抗手段
と、該可変抵抗手段の最大の電気抵抗より以上の電気抵
抗を介して前記第二のオペアンプの出力端子と前記フォ
トダイオードが接続されている入力端子とを接続する固
定抵抗手段と、を具備している。

【００２８】従って、本発明の光量測定装置では、測定
する光線の入射に対応して一個のフォトダイオードが電
流を発生し、このフォトダイオードが発生する電流を第
一第二のオペアンプが増幅して出力するので、これら第
一第二のオペアンプを一個のフォトダイオードにアンプ
切換手段が切換自在に接続する。第一のオペアンプの出
力端子とフォトダイオードが接続されている入力端子と
は、可変抵抗手段により可変自在な電気抵抗を介して接
続されており、第二のオペアンプの出力端子とフォトダ
イオードが接続されている入力端子とは、可変抵抗手段
の最大の電気抵抗より以上の電気抵抗を介して固定抵抗
手段により接続されている。そこで、測定する光線が高
強度から中強度のときにアンプ切換手段によりフォトダ
イオードに第一のオペアンプを接続すれば、接続されて
いる可変抵抗手段の電気抵抗が可変自在なので高強度の
光線まで良好に測定される。測定する光線が低強度のと
きにアンプ切換手段によりフォトダイオードに第二のオ
ペアンプを接続すれば、接続されている固定抵抗手段が
高抵抗なので低強度の光線が良好なＳ／Ｎで測定され
る。中強度から高強度の光線が測定されるときに第一の
オペアンプは発熱してドリフトを発生するが、低強度の
光線は第二のオペアンプで測定されるので発熱によるド
リフトが影響することがない。

【００２９】上述のような光量測定装置における他の発
明としては、前記可変抵抗手段は、電気抵抗が相互に相
違する複数の固定抵抗素子と、複数の前記固定抵抗素子
を切換自在に選択する切換スイッチと、を具備してお
り、前記固定抵抗手段は、電気抵抗が最大の前記固定抵
抗素子より以上の電気抵抗を発生する。

【００３０】従って、可変抵抗手段では電気抵抗が相互
に相違する複数の固定抵抗素子が切換スイッチにより切
換自在に選択されるので、高強度から中強度の光線が第
一のオペアンプで良好に測定され、固定抵抗手段は電気
抵抗が最大の固定抵抗素子より以上の電気抵抗を発生す
るので、低強度の光線が第二のオペアンプで良好に測定
される。

【００３１】上述のような光量測定装置における他の発
明としては、前記アンプ切換手段とともに前記第一第二
のオペアンプの一方の出力端子を切換自在に選択する出
力切換手段も具備している。従って、アンプ切換手段と
ともに第一第二のオペアンプの一方の出力端子が出力切
換手段により切換自在に選択されるので、選択されたオ
ペアンプの出力電圧が選択されないオペアンプにリーク
しない。

【００３２】本発明の一の光量測定方法は、測定する光
線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生さ
せ、該フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバ
イアス電圧をバイアス電源から印加し、前記フォトダイ
オードが発生する電流をオペアンプで増幅させて出力さ
せる光量測定方法であって、測定する光線が高強度のと
きに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとを動作
が高速なアナログスイッチとリーク電流が微少なフォト
モスリレーとで接続し、測定する光線が中強度のときに
前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前
記アナログスイッチでオフ状態とし、測定する光線が低
強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオード
との接続を前記フォトモスリレーでオフ状態とするよう
にした。

【００３３】従って、本発明の光量測定方法では、高強
度の光線の光量が良好な直線性で測定され、高強度から
中強度の光線の光量が連続的に測定され、中強度から低
強度の光線の光量が微少なリーク電流で測定される。

【００３４】本発明の他の光量測定方法は、測定する光
線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生さ
せ、該フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバ
イアス電圧をバイアス電源から印加し、前記フォトダイ
オードが発生する電流をオペアンプで増幅させて出力さ
せる光量測定方法であって、測定する光線が高強度のと
きに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとを動作
が高速なアナログスイッチとリーク電流が微少のメカニ
カルリレーとで接続し、測定する光線が中強度のときに
前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前
記アナログスイッチでオフ状態とし、測定する光線が低
強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオード
との接続を前記メカニカルリレーでオフ状態とするよう
にした。

【００３５】従って、本発明の光量測定方法では、高強
度の光線の光量が良好な直線性で測定され、高強度から
中強度の光線の光量が連続的に測定され、中強度から低
強度の光線の光量が微少なリーク電流で測定される。

【００３６】本発明の他の光量測定方法は、測定する光
線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生さ
せ、該フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバ
イアス電圧をバイアス電源から印加し、前記フォトダイ
オードが発生する電流をオペアンプで増幅させて出力さ
せる光量測定方法であって、測定する光線が高強度のと
きに前記バイアス電源と前記フォトダイオードとを動作
が高速なフォトモスリレーとリーク電流が微少のメカニ
カルリレーとで接続し、測定する光線が中強度のときに
前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を前
記フォトモスリレーでオフ状態とし、測定する光線が低
強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオード
との接続を前記メカニカルリレーでオフ状態とするよう
にした。

【００３７】従って、本発明の光量測定方法では、高強
度の光線の光量が良好な直線性で測定され、高強度から
中強度の光線の光量が連続的に測定され、中強度から低
強度の光線の光量が微少なリーク電流で測定される。

【００３８】本発明の他の光量測定方法は、測定する光
線の入射に対応してフォトダイオードに電流を発生さ
せ、該フォトダイオードが発生する電流をオペアンプで
増幅させて出力させ、この出力される電流を抵抗手段の
電気抵抗を介して前記オペアンプの前記フォトダイオー
ドが接続されている入力端子にフィードバックさせる光
量測定方法であって、測定する光線が高強度から中強度
のときに電気抵抗が可変自在な可変抵抗手段が接続され
ている第一のオペアンプで前記フォトダイオードの発生
電流を増幅させ、測定する光線が低強度のときに前記可
変抵抗手段の最大の電気抵抗より以上の電気抵抗の固定
抵抗手段が接続されている前記第二のオペアンプで前記
フォトダイオードの発生電流を増幅させるようにした。

【００３９】従って、本発明の光量測定方法では、第一
のオペアンプには電気抵抗が可変自在な可変抵抗手段が
接続されているので、第一のオペアンプを選択すること
で中強度から高強度の光線が良好に測定される。第二の
オペアンプには高抵抗な固定抵抗手段が接続されている
ので、第二のオペアンプを選択することで低強度の光線
が良好なＳ／Ｎで測定される。中強度から高強度の光線
が測定されるときに第一のオペアンプは発熱してドリフ
トを発生するが、低強度の光線は第二のオペアンプで測
定されるので発熱によるドリフトが影響することがな
い。

【００４０】

【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態を図１ない
し図３を参照して以下に説明する。ただし、本実施の形
態に関して前述した第二の従来例と同一の部分は、同一
の名称を使用して詳細な説明は省略する。なお、図１は
本実施の形態の光量測定装置の要部を示す回路図、図２
はアナログスイッチの内部構造を示す回路図、図３はフ
ォトモスリレーの内部構造を示す回路図である。

【００４１】本実施の形態の光量測定装置３１も、フォ
トダイオード３２の入力端子がオペアンプ３３の負側の
入力端子に接続されており、この入力端子にはオペアン
プ３３の出力端子に接続されたフィードバック抵抗３４
も接続されている。

【００４２】そして、フォトダイオード３２の出力端子
にはフォトモスリレー３５が接続されており、このフォ
トモスリレー３５は、アナログスイッチ３６と接地端子
３７とに選択的に接続自在とされており、このアナログ
スイッチ３６は、バイアス電源３８と接地端子３７とに
接続自在とされている。

【００４３】なお、フォトモスリレー３３は、図２に示
すように、一種のフォトカプラからなり、アナログスイ
ッチ３６は、図３に示すように、複数のトランジスタか
らなる。その特性を比較すると、フォトモスリレー３５
は、バイアス電源３８とフォトダイオード３２との接続
を微少なリーク電流でオンオフすることができるが、こ
のオンオフの動作には0.1ms程度の時間が必要である。
アナログスイッチ３６は、バイアス電源３８とフォトダ
イオード３２との接続を100ns程度で高速にオンオフす
ることができるが、接続をオフ状態としても多少のリー
ク電流が発生する。

【００４４】上述のような構成において、本実施の形態
の光量測定装置３１では、測定する光線がフォトダイオ
ード２に入射されると、このフォトダイオード２が入射
する光量に対応した電流を発生する。この電流はオペア
ンプ３３により増幅されて出力されるので、この出力に
より光線の光量を測定することができる。

【００４５】しかも、フォトダイオード３２に発生電流
とは極性が反対のバイアス電圧がバイアス電源３８から
印加されるので、光線の光量に対応して電流を発生する
フォトダイオード３２の飽和特性を改善し、光量測定の
直線性を向上させることができる。

【００４６】ただし、本実施の形態の光量測定装置３１
では、入射する光線の強度に対応してフォトモスリレー
３５とアナログスイッチ３６とをオンオフすることによ
り、各種強度の光線の光量を良好かつ連続に測定する。
つまり、測定する光線が高強度のときは、バイアス電源
３８とフォトダイオード３２とをアナログスイッチ３６
とフォトモスリレー３５とで接続し、高強度の光線の光
量を良好な直線性で測定する。

【００４７】また、測定する光線が中強度のときは、バ
イアス電源３８とフォトダイオード３２との接続をアナ
ログスイッチ３６でオフ状態とする。この場合、このア
ナログスイッチ３６は動作が高速なので、高強度から中
強度の光線の光量を連続的に正確に測定することがで
き、多少のリーク電流は発生するが測定する光量が低強
度でないので問題がない。

【００４８】そして、測定する光線が低強度のときは、
バイアス電源３８とフォトダイオード３２との接続をフ
ォトモスリレー３５でオフ状態とする。この場合、フォ
トモスリレー３５が特性的にリーク電流が微少なので、
中強度から低強度の光線の光量が正側に測定される。特
に、オフ状態のフォトモスリレー３５は接地端子３７に
接続されるので、フォトダイオード３２のバイアス電圧
を確実に“０”とすることができ、より正確に光線の光
量を測定することができる。

【００４９】なお、測定する光線が中強度でアナログス
イッチ３６をオフ状態とするときは、動作が低速なフォ
トモスリレー３５はオン状態としておく。また、測定す
る光線が低強度でフォトモスリレー３５をオフ状態とす
るときは、動作が高速なアナログスイッチ３６のオンオ
フは任意の状態で良い。

【００５０】本実施の形態の光量測定装置３１は、上述
のようにフォトダイオード３２にリーク電流が微少なフ
ォトモスリレー３５と動作が高速なアナログスイッチ３
６とでバイアス電源３８に接続しているので、高強度の
光線を良好な直線性で測定することができ、高強度から
中強度の光線を連続的に正確に測定することができ、中
強度から低強度の光線を正確に測定することができる。

【００５１】なお、本発明は上記形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許
容する。例えば、上記形態ではフォトダイオード３２の
入力端子に第一オペアンプ２３の負側の入力端子を接続
して光量の検出結果を負極性の電流で出力させることを
例示したが、フォトダイオード３２の出力端子に第一オ
ペアンプ２３の正確の入力端子を接続して光量の検出結
果を正極性の電流で出力させることも可能である。

【００５２】また、上記形態ではフォトダイオード３２
とバイアス電源３８との中間にリーク電流が微少なフォ
トモスリレー３５と動作が高速なアナログスイッチ３６
とを設けることを例示したが、これらの特性は相対的な
関係にあるので、光量測定装置の仕様などによりデバイ
スを変更することも可能である。

【００５３】例えば、フォトダイオードとバイアス電源
との中間に、動作が高速なスイッチ素子としてアナログ
スイッチを設けるとともにリーク電流が微少なスイッチ
ング素子としてメカニカルリレーを設けることや、動作
が高速なスイッチ素子としてフォトモスリレーを設ける
とともにリーク電流が微少なスイッチング素子としてメ
カニカルリレーを設けることも実施可能である。なお、
これらのスイッチング素子の特性を下記の表１に例示す
る。

【００５４】

【表１】

【００５５】さらに、上記形態ではフィードバック抵抗
３４として一個の固定抵抗素子を使用することを例示し
たが、これを複数の固定抵抗素子２３と複数の切換スイ
ッチ２４からなる可変抵抗手段であるフィードバック抵
抗４７とすることも実施可能である。

【００５６】つぎに、本発明の実施の第二の形態を図４
を参照して以下に説明する。ただし、本実施の形態に関
して前述した第三の従来例と同一の部分は、同一の名称
を使用して詳細な説明は省略する。なお、同図は本実施
の形態の光量測定装置の要部を示す回路図である。

【００５７】本実施の形態の光量測定装置４１は、一個
のフォトダイオード４２に対して第一第二のオペアンプ
４３，４４が設けられており、これら第一第二のオペア
ンプ４３，４４はアンプ切換手段であるアンプ切換スイ
ッチ４５を介してフォトダイオード４２に切換自在に接
続されている。

【００５８】同様に、第一第二のオペアンプ４３，４４
は出力切換手段である出力切換スイッチ４６を介して一
個の結果出力端子４７に切換自在に接続されており、上
述のような切換スイッチ４５，４６は第一第二のオペア
ンプ４３，４４の選択状態が連動する。

【００５９】第一のオペアンプ４３は、可変抵抗手段と
して電気抵抗が可変自在なフィードバック抵抗４７が接
続されており、このフィードバック抵抗４７は、電気抵
抗が相互に相違するｎ個の固定抵抗素子４８とｎ個の切
換スイッチ４９からなる。

【００６０】第二のオペアンプ４４は、固定抵抗手段と
して所定の電気抵抗の一個の固定抵抗素子からなるフィ
ードバック抵抗５０が接続されており、このフィードバ
ック抵抗５０は、上述のｎ個の固定抵抗素子４８の何れ
より大きい電気抵抗を有している。

【００６１】上述のような構成において、本実施の形態
の光量測定装置４１では、高強度から中強度の光線の光
量を測定する場合には、アンプ切換スイッチ４５により
一個のフォトダイオード４２に第一のオペアンプ４３を
接続するとともに、この第一のオペアンプ４３を出力切
換スイッチ４６により一個の結果出力端子４７に接続す
る。

【００６２】このような状態で、光線の強度に対応して
第一のオペアンプ４３のフィードバック抵抗４７のｎ個
の固定抵抗素子４８を切換制御することにより、従来と
同様にフォトダイオード４２の発生電流を第一のオペア
ンプ４３で適正に増幅し、高強度から中強度の光線の光
量を良好に測定する。

【００６３】しかし、最低強度の光線の光量を測定する
場合には、アンプ切換スイッチ４５によりフォトダイオ
ード４２に第二のオペアンプ４４を接続するとともに、
この第二のオペアンプ４４を出力切換スイッチ４６によ
り結果出力端子４７に接続する。

【００６４】第二のオペアンプ４４には、第一のオペア
ンプ４３のフィードバック抵抗４７の何れの固定抵抗素
子４８より高抵抗のフィードバック抵抗５０が接続され
ているので、フォトダイオード４２の発生電流を第二の
オペアンプ４４で良好なＳ／Ｎで増幅することができ、
最低強度の光線の光量を良好に測定することができる。

【００６５】本実施の形態の光量測定装置４１は、光線
が中強度から高強度の場合には従来と同様にフィードバ
ック抵抗４７が可変自在な第一のオペアンプ４３を使用
し、光線が最低強度の場合のみ高抵抗のフィードバック
抵抗５０が接続された第二のオペアンプ４４を使用す
る。

【００６６】中強度から高強度の光線を測定するときに
第一のオペアンプ４３は発熱してドリフトを発生する
が、最低強度の光線は第二のオペアンプ４４で測定され
るので、その測定結果に発熱によるドリフトが影響する
ことがなく、最低強度の光線の光量を正確に測定するこ
とができる。

【００６７】さらに、本実施の形態の光量測定装置４１
では、フォトダイオード４２と第一第二のオペアンプ４
３，４４との接続をアンプ切換スイッチ４５により切り
換えるとき、第一第二のオペアンプ４３，４４と結果出
力端子４７との接続も出力切換スイッチ４６により連動
して切り換える。このため、第一第二のオペアンプ４
３，４４の選択された一方の出力電圧が選択されない他
方にリークすることがないので、さらに良好な精度で光
線の光量を測定することができる。

【００６８】なお、本発明も上記形態に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を許
容する。例えば、上記形態では一個のフォトダイオード
４２に対して第一第二のオペアンプ４３，４４を設ける
ことを例示したが、このオペアンプを三つ以上とするこ
とも可能である。

【００６９】また、第一のオペアンプ４３のフィードバ
ック抵抗４７の電気抵抗が可変自在であることを例示し
たが、これを固定抵抗とすることも可能である。例え
ば、オペアンプを多数とする場合には、その各々に電気
抵抗が相違するフィードバック抵抗を接続すれば良く、
電気抵抗が可変自在なフィードバック抵抗は高強度の光
線の光量測定に使用する一個のオペアンプのみに接続し
ておけば良い。

【００７０】さらに、上記形態の光量測定装置４１でも
フォトダイオード４２の極性を反転させることが可能で
ある。また、上述した実施の第一第二の形態の光量測定
装置３１，４１の特徴部分を組み合わせることも可能で
あり、その場合、上述の光量測定装置４１のフォトダイ
オード４２にフォトモスリレー３５とアナログスイッチ
３６とを介してバイアス電源３８を接続すれば良い。

【００７１】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００７２】請求項１記載の発明の光量測定装置は、測
定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイ
オードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅し
て出力するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生
電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス
電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの
接続を高速にオンオフするアナログスイッチと、前記バ
イアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリ
ーク電流でオンオフするフォトモスリレーと、を具備し
ていることにより、例えば、測定する光線が高強度のと
きにバイアス電源とフォトダイオードとをアナログスイ
ッチとフォトモスリレーとで接続すれば、高強度の光線
の光量を良好な直線性で測定することができ、測定する
光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオード
との接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高強
度から中強度の光線の光量を連続的に測定することがで
き、測定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォ
トダイオードとの接続をフォトモスリレーでオフ状態と
すれば、中強度から低強度の光線の光量を微少なリーク
電流で測定することができるので、各種強度の光線を良
好に測定することができる。

【００７３】請求項２記載の発明の光量測定装置は、測
定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイ
オードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅し
て出力するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生
電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス
電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの
接続を高速にオンオフするアナログスイッチと、前記バ
イアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリ
ーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、を具備し
ていることにより、例えば、測定する光線が高強度のと
きにバイアス電源とフォトダイオードとをアナログスイ
ッチとメカニカルリレーとで接続すれば、高強度の光線
の光量を良好な直線性で測定することができ、測定する
光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオード
との接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高強
度から中強度の光線の光量を連続的に測定することがで
き、測定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォ
トダイオードとの接続をメカニカルリレーでオフ状態と
すれば、中強度から低強度の光線の光量を微少なリーク
電流で測定することができるので、各種強度の光線を良
好に測定することができる。

【００７４】請求項３記載の発明の光量測定装置は、測
定する光線の入射に対応して電流を発生するフォトダイ
オードと、該フォトダイオードが発生する電流を増幅し
て出力するオペアンプと、前記フォトダイオードに発生
電流とは極性が反対のバイアス電圧を印加するバイアス
電源と、前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの
接続を高速にオンオフするフォトモスリレーと、前記バ
イアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微少なリ
ーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、を具備し
ていることにより、例えば、測定する光線が高強度のと
きにバイアス電源とフォトダイオードとをアナログスイ
ッチとメカニカルリレーとで接続すれば、高強度の光線
の光量を良好な直線性で測定することができ、測定する
光線が中強度のときにバイアス電源とフォトダイオード
との接続をアナログスイッチでオフ状態とすれば、高強
度から中強度の光線の光量を連続的に測定することがで
き、測定する光線が低強度のときにバイアス電源とフォ
トダイオードとの接続をメカニカルリレーでオフ状態と
すれば、中強度から低強度の光線の光量を微少なリーク
電流で測定することができるので、各種強度の光線を良
好に測定することができる。

【００７５】請求項４記載の発明は、請求項１または２
記載の光量測定装置であって、前記アナログスイッチと
前記フォトモスリレーとがオフ状態となるときに前記フ
ォトダイオードを接地することにより、フォトダイオー
ドに作用するバイアス電圧を“０”とすることができる
ので、低強度の光線の光量を正確に測定することができ
る。

【００７６】請求項５記載の発明は、請求項１または２
記載の光量測定装置であって、前記アナログスイッチと
前記メカニカルリレーとがオフ状態となるときに前記フ
ォトダイオードを接地することにより、フォトダイオー
ドに作用するバイアス電圧を“０”とすることができる
ので、低強度の光線の光量を正確に測定することができ
る。

【００７７】請求項６記載の発明は、請求項１または２
記載の光量測定装置であって、前記フォトモスリレーと
前記メカニカルリレーとがオフ状態となるときに前記フ
ォトダイオードを接地することにより、フォトダイオー
ドに作用するバイアス電圧を“０”とすることができる
ので、低強度の光線の光量を正確に測定することができ
る。

【００７８】請求項７記載の発明の光量測定装置は、測
定する光線の入射に対応して電流を発生する一個のフォ
トダイオードと、該フォトダイオードが発生する電流を
増幅して出力する第一第二のオペアンプと、前記第一第
二のオペアンプを一個の前記フォトダイオードに切換自
在に接続するアンプ切換手段と、前記第一のオペアンプ
の出力端子と前記フォトダイオードが接続されている入
力端子とを可変自在な電気抵抗を介して接続する可変抵
抗手段と、該可変抵抗手段の最大の電気抵抗より以上の
電気抵抗を介して前記第二のオペアンプの出力端子と前
記フォトダイオードが接続されている入力端子とを接続
する固定抵抗手段と、を具備していることにより、例え
ば、測定する光線が高強度から中強度のときにアンプ切
換手段によりフォトダイオードに第一のオペアンプを接
続すれば、接続されている可変抵抗手段の電気抵抗が可
変自在なので中強度から高強度の光線を良好に測定する
ことができ、測定する光線が低強度のときにアンプ切換
手段によりフォトダイオードに第二のオペアンプを接続
すれば、接続されている固定抵抗手段が高抵抗なので低
強度の光線を良好なＳ／Ｎで測定することができ、中強
度から高強度の光線を測定するときに第一のオペアンプ
が発熱してドリフトを発生するが、低強度の光線は第二
のオペアンプで測定されるので発熱によるドリフトが影
響することがなく、各種強度の光線を良好に測定するこ
とができる。

【００７９】請求項８記載の発明は、請求項７記載の光
量測定装置であって、前記可変抵抗手段は、電気抵抗が
相互に相違する複数の固定抵抗素子と、複数の前記固定
抵抗素子を切換自在に選択する切換スイッチと、を具備
しており、前記固定抵抗手段は、電気抵抗が最大の前記
固定抵抗素子より以上の電気抵抗を発生することによ
り、高強度から中強度の光線を第一のオペアンプで良好
に測定することができ、低強度の光線を第二のオペアン
プで良好に測定することができる。

【００８０】請求項９記載の発明は、請求項７または８
記載の光量測定装置であって、前記アンプ切換手段とと
もに前記第一第二のオペアンプの一方の出力端子を切換
自在に選択する出力切換手段も具備していることによ
り、アンプ切換手段とともに第一第二のオペアンプの一
方の出力端子を出力切換手段により切換自在に選択する
ことかできるので、選択されたオペアンプの出力電圧が
選択されないオペアンプにリークすることを防止するこ
とができ、より良好な精度で光線の光量を測定すること
ができる。

【００８１】請求項１０記載の発明の光量測定方法は、
測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダ
イオードとを動作が高速なアナログスイッチとリーク電
流が微少なフォトモスリレーとで接続し、測定する光線
が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオ
ードとの接続を前記アナログスイッチでオフ状態とし、
測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記
フォトダイオードとの接続を前記フォトモスリレーでオ
フ状態とするようにしたことにより、高強度の光線の光
量を良好な直線性で測定することができ、高強度から中
強度の光線の光量を連続的に測定することができ、中強
度から低強度の光線の光量を微少なリーク電流で測定す
ることができるので、各種強度の光線を良好に測定する
ことができる。

【００８２】請求項１１記載の発明の光量測定方法は、
測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダ
イオードとを動作が高速なアナログスイッチとリーク電
流が微少のメカニカルリレーとで接続し、測定する光線
が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオ
ードとの接続を前記アナログスイッチでオフ状態とし、
測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記
フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオ
フ状態とするようにしたことにより、高強度の光線の光
量を良好な直線性で測定することができ、高強度から中
強度の光線の光量を連続的に測定することができ、中強
度から低強度の光線の光量を微少なリーク電流で測定す
ることができるので、各種強度の光線を良好に測定する
ことができる。

【００８３】請求項１２記載の発明の光量測定方法は、
測定する光線が高強度のときにバイアス電源とフォトダ
イオードとを動作が高速なフォトモスリレーとリーク電
流が微少のメカニカルリレーとで接続し、測定する光線
が中強度のときに前記バイアス電源と前記フォトダイオ
ードとの接続を前記フォトモスリレーでオフ状態とし、
測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記
フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオ
フ状態とするようにしたことにより、高強度の光線の光
量を良好な直線性で測定することができ、高強度から中
強度の光線の光量を連続的に測定することができ、中強
度から低強度の光線の光量を微少なリーク電流で測定す
ることができるので、各種強度の光線を良好に測定する
ことができる。

【００８４】請求項１３記載の発明の光量測定方法は、
測定する光線が高強度から中強度のときに電気抵抗が可
変自在な可変抵抗手段が接続されている第一のオペアン
プでフォトダイオードの発生電流を増幅させ、測定する
光線が低強度のときに前記可変抵抗手段の最大の電気抵
抗より以上の電気抵抗の固定抵抗手段が接続されている
第二のオペアンプで前記フォトダイオードの発生電流を
増幅させるようにしたことにより、中強度から高強度の
光線を良好に測定することができ、低強度の光線を良好
なＳ／Ｎで測定することができ、中強度から高強度の光
線を測定するときに第一のオペアンプが発熱してドリフ
トを発生するが、低強度の光線は第二のオペアンプで測
定されるので発熱によるドリフトが影響することがな
く、各種強度の光線を良好に測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の第一の形態の光量測定装置の要
部を示す回路図である。

【図２】フォトモスリレーの内部構造を示す回路図であ
る。

【図３】アナログスイッチの内部構造を示す回路図であ
る。

【図４】本発明の実施の第二の形態の光量測定装置の要
部を示す回路図である。

【図５】第一の従来例の光量測定装置の要部を示す回路
図である。

【図６】第二の従来例の光量測定装置の要部を示す回路
図である。

【図７】第三の従来例の光量測定装置の要部を示す回路
図である。

【符号の説明】 ３１，４１ 光量測定装置 ３２，４２ フォトダイオード ３３，４３，４４ オペアンプ ３５ フォトモスリレー ３６ アナログスイッチ ３８ バイアス電源 ４５ アンプ切換手段であるアンプ切換スイッチ ４６ 出力切換手段である出力切換スイッチ ４７ 可変抵抗手段であるフィードバック抵抗 ４８ 固定抵抗素子 ４９ 切換スイッチ ５０ 固定抵抗手段であるフィードバック抵抗

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 測定する光線の入射に対応して電流を発
   生するフォトダイオードと、 該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力する
   オペアンプと、 前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイ
   アス電圧を印加するバイアス電源と、 前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高
   速にオンオフするアナログスイッチと、 前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微
   少なリーク電流でオンオフするフォトモスリレーと、を
   具備している光量測定装置。
2. 【請求項２】 測定する光線の入射に対応して電流を発
   生するフォトダイオードと、 該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力する
   オペアンプと、 前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイ
   アス電圧を印加するバイアス電源と、 前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高
   速にオンオフするアナログスイッチと、 前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微
   少なリーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、を
   具備している光量測定装置。
3. 【請求項３】 測定する光線の入射に対応して電流を発
   生するフォトダイオードと、 該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力する
   オペアンプと、 前記フォトダイオードに発生電流とは極性が反対のバイ
   アス電圧を印加するバイアス電源と、 前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を高
   速にオンオフするフォトモスリレーと、 前記バイアス電源と前記フォトダイオードとの接続を微
   少なリーク電流でオンオフするメカニカルリレーと、を
   具備している光量測定装置。
4. 【請求項４】 前記アナログスイッチと前記フォトモス
   リレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオード
   を接地する請求項１または２記載の光量測定装置。
5. 【請求項５】 前記アナログスイッチと前記メカニカル
   リレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオード
   を接地する請求項１または２記載の光量測定装置。
6. 【請求項６】 前記フォトモスリレーと前記メカニカル
   リレーとがオフ状態となるときに前記フォトダイオード
   を接地する請求項１または２記載の光量測定装置。
7. 【請求項７】 測定する光線の入射に対応して電流を発
   生する一個のフォトダイオードと、 該フォトダイオードが発生する電流を増幅して出力する
   第一第二のオペアンプと、 前記第一第二のオペアンプを一個の前記フォトダイオー
   ドに切換自在に接続するアンプ切換手段と、 前記第一のオペアンプの出力端子と前記フォトダイオー
   ドが接続されている入力端子とを可変自在な電気抵抗を
   介して接続する可変抵抗手段と、 該可変抵抗手段の最大の電気抵抗より以上の電気抵抗を
   介して前記第二のオペアンプの出力端子と前記フォトダ
   イオードが接続されている入力端子とを接続する固定抵
   抗手段と、を具備している光量測定装置。
8. 【請求項８】 前記可変抵抗手段は、電気抵抗が相互に
   相違する複数の固定抵抗素子と、複数の前記固定抵抗素
   子を切換自在に選択する切換スイッチと、を具備してお
   り、 前記固定抵抗手段は、電気抵抗が最大の前記固定抵抗素
   子より以上の電気抵抗を発生する請求項７記載の光量測
   定装置。
9. 【請求項９】 前記アンプ切換手段とともに前記第一第
   二のオペアンプの一方の出力端子を切換自在に選択する
   出力切換手段も具備している請求項７または８記載の光
   量測定装置。
10. 【請求項１０】 測定する光線の入射に対応してフォト
    ダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードに発
    生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源か
    ら印加し、前記フォトダイオードが発生する電流をオペ
    アンプで増幅させて出力させる光量測定方法であって、 測定する光線が高強度のときに前記バイアス電源と前記
    フォトダイオードとを動作が高速なアナログスイッチと
    リーク電流が微少なフォトモスリレーとで接続し、 測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記
    フォトダイオードとの接続を前記アナログスイッチでオ
    フ状態とし、 測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記
    フォトダイオードとの接続を前記フォトモスリレーでオ
    フ状態とするようにしたことを特徴とする光量測定方
    法。
11. 【請求項１１】 測定する光線の入射に対応してフォト
    ダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードに発
    生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源か
    ら印加し、前記フォトダイオードが発生する電流をオペ
    アンプで増幅させて出力させる光量測定方法であって、 測定する光線が高強度のときに前記バイアス電源と前記
    フォトダイオードとを動作が高速なアナログスイッチと
    リーク電流が微少のメカニカルリレーとで接続し、 測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記
    フォトダイオードとの接続を前記アナログスイッチでオ
    フ状態とし、 測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記
    フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオ
    フ状態とするようにしたことを特徴とする光量測定方
    法。
12. 【請求項１２】 測定する光線の入射に対応してフォト
    ダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードに発
    生電流とは極性が反対のバイアス電圧をバイアス電源か
    ら印加し、前記フォトダイオードが発生する電流をオペ
    アンプで増幅させて出力させる光量測定方法であって、 測定する光線が高強度のときに前記バイアス電源と前記
    フォトダイオードとを動作が高速なフォトモスリレーと
    リーク電流が微少のメカニカルリレーとで接続し、 測定する光線が中強度のときに前記バイアス電源と前記
    フォトダイオードとの接続を前記フォトモスリレーでオ
    フ状態とし、 測定する光線が低強度のときに前記バイアス電源と前記
    フォトダイオードとの接続を前記メカニカルリレーでオ
    フ状態とするようにしたことを特徴とする光量測定方
    法。
13. 【請求項１３】 測定する光線の入射に対応してフォト
    ダイオードに電流を発生させ、該フォトダイオードが発
    生する電流をオペアンプで増幅させて出力させ、この出
    力される電流を抵抗手段の電気抵抗を介して前記オペア
    ンプの前記フォトダイオードが接続されている入力端子
    にフィードバックさせる光量測定方法であって、 測定する光線が高強度から中強度のときに電気抵抗が可
    変自在な可変抵抗手段が接続されている第一のオペアン
    プで前記フォトダイオードの発生電流を増幅させ、 測定する光線が低強度のときに前記可変抵抗手段の最大
    の電気抵抗より以上の電気抵抗の固定抵抗手段が接続さ
    れている前記第二のオペアンプで前記フォトダイオード
    の発生電流を増幅させるようにしたことを特徴とする光
    量測定方法。