JP3872745B2

JP3872745B2 - Gas component measuring method and apparatus

Info

Publication number: JP3872745B2
Application number: JP2002332718A
Authority: JP
Inventors: 祥啓出口
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 2002-11-15
Filing date: 2002-11-15
Publication date: 2007-01-24
Anticipated expiration: 2022-11-15
Also published as: JP2004170088A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は気体成分計測方法及び装置に係り、特に複数の化学種を混合した混合気体の成分割合を計測可能な気体成分計測方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年純粋気体に対する需要が高くなってきている。
【０００３】
例えば、クリーンエネルギ源として燃料電池が注目されているが、燃料として純粋な水素及び酸素が必要となる。水素及び酸素は水を電気分解して生成されるが、製造過程において水素中に酸素が、逆に酸素中に水素が混入することは回避できない。
【０００４】
従来から、ある化学種の気体にｐｐｍオーダで混入している他の気体の濃度を計測するために、ニューセラミック式センサ、固体電解式センサをはじめ種々の気体センサが公知である。
【０００５】
特許文献１には、炭化水素ガスを主成分とする未付臭ガスに付臭剤を添加した付臭ガスの付臭剤濃度を実時間で測定するための測定方法及び測定装置が開示されている。
【０００６】
また、特許文献２には質量分析計を用いてガス中の微量不純物を分析する方法が開示されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平０８−２８５７６６号（［０００４］、図１）
【特許文献２】
特開平１０−１０４２０３号（［０００６］、図１）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ニューセラミック式センサで検出可能なガスは可燃性ガスに限られる。また、固体電解式センサで検出可能なものは酸素だけであり、検出可能なガスは限定される。
【０００９】
さらに、特許文献１に開示された発明は、付臭剤が紫外線を吸収し易いという性質を応用した技術であり、付臭剤でない化学種の濃度を計測することはできない。
【００１０】
また、特許文献２に開示された発明は、被測定ガスをイオン化した後に質量分析を行うものであり、種々の化学種のガスに適用可能であるが、イオン化部へ流入するガス及びイオン化部から流出するガスの流量を制御する必要があるために、装置が大規模となることは回避できない。
【００１１】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであって、複数の化学種を含む混合気体の濃度比を計測することの可能な気体成分計測方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
第一の発明は、少なくとも二種類の化学種の混合気体にレーザ光を照射し、少なくとも二種類の化学種のそれぞれから放射されるラマン散乱光の強度を検出し、ラマン散乱光の強度を混合気体の圧力で補正し、補正されたラマン散乱光強度に基づいて混合気体を構成する少なくとも二種類の化学種の濃度比を算出する。
【００１３】
本発明にあっては、混合気体にレーザ光を照射し、混合気体に含まれる化学種が放射するラマン散乱光の強度を混合気体の圧力で補正して混合気体の濃度比が決定される。
【００１４】
第二の発明は、混合気体を構成する少なくとも二種類の化学種中の一つの化学種から放射されるラマン散乱光の強度に対する他の科学種から放射されるラマン散乱光の強度の比により混合気体の濃度比を算出する。
【００１５】
本発明にあっては、ラマン散乱光の強度の比により混合気体の濃度比が決定される。
【００１６】
【発明の実施の形態】
図１は第一の気体成分計測装置の構成図であって、貯蔵容器１０には透明ガラスが嵌め込まれた光学窓１１が設置されている。
【００１７】
そして、貯蔵容器１０の外部に設置されたレーザ１２は、光学窓１１を介して貯蔵容器１０に貯蔵されている複数の化学種の混合気体にレーザ光を照射する。
【００１８】
レーザ光により混合気体を照射すると、気体分子内の電子は照射光の振動数と同一の振動数で起振されて、レーザ光は散乱される。
【００１９】
分子内の振動及び回転運動によって分極率が周期的に変動している（ラマンシフトをうけている）場合には散乱光の波長は、レーザ光の波長から偏倚する。
【００２０】
偏倚量（ラマンシフト量）は混合気体の化学種に応じて定まっている。
【００２１】
［表１］は波長５３２ナノメートルのレーザ光を照射した場合の代表的な化学種のラマンシフト量を示す。
【００２２】
【表１】

【００２３】
そして、混合気体を構成する化学種固有の波長を有するラマン散乱光の強度は、混合気体に含まれる化学種の濃度及び混合気体の圧力に比例することは公知である。従って、本発明に係る気体成分計測装置は、加圧（例えば１０ｋｇ／ｃｍ²）された気体に適用することが有利である。
【００２４】
ラマン散乱光を検出するために、光学窓１１の外部に集光レンズ１３を配置し、集光レンズ１３のさらに外側の光軸上に第一のビームスプリッタ１４を配置する。
【００２５】
即ち、ラマン散乱光は集光レンズ１３で集光され、第一のビームスプリッタ１４で複数（例えば二つ）の光路に分岐される。
【００２６】
分岐光は、それぞれ光学フィルタ１５１及び１５２を介して受光装置１６１及び１６２に導かれる。
【００２７】
光学フィルタ１５１及び１５２は、ガラスに誘電体膜をコーティングしたものであって、予め定められた波長を中心する極めて狭帯域の散乱光だけを透過する特性を有する。
【００２８】
例えば、貯蔵容器１０に貯蔵されている気体は水素（Ｈ₂）ガスであり、酸素（Ｏ₂）が混入しているものとする。この場合は、［表１］から第一の光学フィルタ１５１の透過波長を６９２ナノメートルに、第二の光学フィルタ１５２の透過波長を５８０ナノメートルに選択すればよいことが判る。
【００２９】
受光装置１６１及び１６２は、光電子増倍管（フォトマル）、フォトダイオード、ＣＣＤ等を適用することが可能である。
【００３０】
受光装置１６１及び１６２の出力は受光装置１６１及び１６２に入射する散乱光の強度に比例するが、散乱光の強度はラマンシフトを発生する気体の濃度及び圧力に比例する。
【００３１】
図２は水素中に混入している酸素の濃度を変更した場合の混合気体圧力と酸素のラマン散乱光強度の関係を示すグラフであって、横軸に圧力、縦軸にラマン散乱光強度をとる。
【００３２】
このグラフから、５８０ナノメートルの波長の光だけを透過するフィルタ１５２を介して受光装置１６２により検出される酸素のラマン散乱光強度は水素中に混入している酸素の濃度と混合気体の圧力に比例することが判る。
【００３３】
即ち、受光装置１６２の出力だけからでは水素に混入している酸素の濃度を決定することはできない。
【００３４】
貯蔵容器１０に圧力センサ（図示せず）を設置して貯蔵気体の圧力を測定し、受光装置１６２の出力を圧力で補正することにより水素に混入している酸素の濃度を決定することが可能である。
【００３５】
しかしながら、本発明においては気体の圧力の変動に対するラマン散乱光強度変動の感度は化学種に依存しないことに着目して、貯蔵容器１０に貯蔵されている他の化学種（上記例においては水素）のラマン散乱光強度を検出し、ラマン散乱光強度の比をとることにより圧力の影響を除去する。
【００３６】
このために、受光装置１６１及び１６２の出力は計測装置１７に入力され、計測装置１７は除算器１７１及び表示器１７２を具備する。
【００３７】
除算器１７１は、第二の受光装置１６２の出力を第一の受光装置１６１の出力で徐してその除算結果を出力する。そして、除算結果は表示器１７２に表示される。
【００３８】
計測装置１７はハードウエア構成であってもよく、例えば、除算器１７１を演算増幅器で、表示器１７２をメータで構成することができる。
【００３９】
また、計測装置１７はマイクロコンピュータシステムとすることもでき、除算器１７１をソフトウエア的に構成し、表示器１７２をＣＲＴディスプレイ又は液晶ディスプレイとすることができる。
【００４０】
図３は、ラマン拡散光の周波数分析結果（その１）であって、横軸に波長を、縦軸にラマン散乱光強度をとる。
【００４１】
即ち波長５３２ナノメートルの位置にはレーザ１２から放射されるレーザ光のスペクトルが、波長５８０ナノメートルの位置には酸素のラマン散乱光のスペクトルが、波長６９２ナノメートルの位置には水素のラマン散乱光のスペクトルが表れる。
【００４２】
図４は、混合気体圧力と除算器出力の関係を示すグラフであって、横軸に気体圧力を、縦軸に除算器出力（＝酸素ラマン散乱光強度／水素ラマン散乱光強度）をとる。
【００４３】
このグラフから、除算器出力は圧力に係らず一定であり、酸素と水素の濃度比に比例することが判る。ただし、この例のように、水素中に微量の酸素が混入している場合には水素濃度は一定とみなすことができるので、除算器１７１の出力は酸素の濃度に比例する。
【００４４】
ラマン散乱光の強度計測にあっては、いわゆるバックグランドノイズを除去することが計測精度を向上するために重要である。
【００４５】
図５は第二の気体成分計測装置の構成図であって、バックグランドノイズ除去対策が施されている。なお、第一の気体成分計測装置と同一の要素に対しては同一の参照番号を使用する。
【００４６】
第二の気体成分計測装置にあっては、第一の気体成分計測装置に対して第二のビームスプリッタ１４２及び第三のビームスプリッタ１４３、第三のフィルタ１５３及び第四のフィルタ１５４、第三の受光装置１６３及び第四の受光装置１６４、並びに第一の減算器１７３及び第二の減算器１７４が追加される。
【００４７】
即ち、第一のビームスプリッタ１４で分岐される二つの光路上のそれぞれに第二のビームスプリッタ１４２及び第三のビームスプリッタ１４３が配置され、それぞれがさらに二つの光路に分岐される。
【００４８】
第二のビームスプリッタ１４２で分岐された二つの光路の一方は、第一のフィルタ１５１を介して第一の受光装置１６１導かれ、他方は第三のフィルタ１５３を介して第三の受光装置１６３に導かれる。
【００４９】
第三のビームスプリッタ１４３で分岐された二つの光路の一方は、第二のフィルタ１５２を介して第二の受光装置１６２導かれ、他方は第四のフィルタ１５４を介して第四の受光装置１６４に導かれる。
【００５０】
第三のフィルタ１５３は水素のラマン拡散光に隣接（例えば波長差２ナノメートル）する光を透過する特性を有し、第四のフィルタ１５４は酸素のラマン拡散光に隣接（例えば波長差２ナノメートル）する光を透過する特性を有する。
【００５１】
従って、第三の受光装置１６３の出力は水素のラマン拡散光近傍のバックグランドノイズ強度を表し、第四の受光装置１６４の出力は酸素のラマン拡散光近傍のバックグランドノイズ強度を表す。
【００５２】
図６は、ラマン拡散光の周波数分析結果（その２）であって、横軸に波長を、縦軸にスペクトル強度をとる。
【００５３】
この図から判るように、第一のフィルタ１５１は水素のラマン散乱光だけを、第二のフィルタ１５２は酸素のラマン散乱光だけを透過する。そして、第三のフィルタ１５３は水素のラマン散乱光に隣接する光だけを、第四のフィルタ１５４は酸素のラマン散乱光に隣接する光だけを透過する。
【００５４】
第一の減算器１７３では第一の受光装置１６１の出力から第三の受光装置１６３の出力が減算され、水素のラマン散乱光強度から水素のラマン散乱光近傍のバックグランドノイズ強度が除去される。
【００５５】
また、第二の減算器１７４では第二の受光装置１６２の出力から第四の受光装置１６４の出力が減算され、酸素のラマン散乱光強度から酸素のラマン散乱光近傍のバックグランドノイズ強度が除去される。
【００５６】
そして、除算器１７１で第二の減算器１７４の出力が第一の減算器１７３で除算される。この結果表示器１７２には、バックグランドノイズを除去した水素と酸素の濃度比が表示される。
【００５７】
図７は第三の気体成分計測装置の構成図であって、防爆対策を考慮した装置である。
【００５８】
即ち、第三の気体成分計測装置は、防爆対策としてレーザ１２及び第一のビームスプリッタ１４以下の装置を光学窓１１から離して設置することを可能としたものであって、レーザ１２が放射するレーザ光を第一の光ファイバ７１で光学窓１１の近傍まで導き、光学窓１１を介して混合気体に照射する。
【００５９】
混合気体から光学窓１１を介して放射されるラマン散乱光は、第二の光ファイバ７２を介して第一のビームスプリッタ１４に導かれる。なお、第一のビームスプリッタ１４より下流の構成は第一の気体成分計測装置と同一である。
【００６０】
さらに、光学窓１１の近傍に気体漏洩検知器７３を設置し、光学窓１１からの混合気体の漏洩を検知するようにしてもよい。
【００６１】
なお、第三の気体成分計測装置の構成（光ファイバによる防爆対策）を第二の気体成分計測装置（バックグランドノイズ除去）に適用することができることは明らかである。
【００６２】
第８図は第四の気体成分計測装置の構成図及び光散乱防止器の断面図であって、散乱光の影響を排除し、計測精度を向上することを目的とする。
【００６３】
即ち、第四の気体成分計測装置の構成図（イ）に示すように、レーザ光の光軸と集光レンズ１３の光軸の交点の後方であって、レーザ光の光軸上に第一の光散乱防止器８１を、集光レンズ１３の光軸上に第二の光散乱防止器８２を配置する。なお、第一の光散乱防止器８１及び第二の光散乱防止器８２の両方を配置することは必ずしも必要ではなく、いずれか一方を配置してもよい。
【００６４】
光散乱防止器の断面図（ロ）に示すように、光散乱防止器８１（及び８２）は、有底中空筒であって、内壁には凹凸が形成されており、いったん光散乱防止器に入射した光は内壁の凹凸で乱反射されて減衰し、光散乱防止器外にでることはない。
【００６５】
レーザ１２から発射されたレーザ光は、気体を照射した後に第一の光散乱防止器８１に入射する。入射したレーザ光は第一の光散乱防止器８１内で減衰し、貯蔵容器１０の内壁で反射されたレーザ光がラマン散乱光に影響を与えることを防止する。
【００６６】
第一のビームスプリッタ１４の反対側に放射されるラマン散乱光は、第二の光散乱防止器８２に入射する。入射したラマン散乱光は第二の光散乱防止器８２の内部で減衰し、貯蔵容器１０の内壁で反射されたラマン散乱光が受光装置に影響することを防止する。
【００６７】
なお、第一〜三の気体成分計測装置に対して、第四の気体成分計測装置の構成を適用できることは明らかである。
【００６８】
図９は第五の気体成分計測装置の構成図及び多重反射器の断面図であって、構成図（ハ）に示すように貯蔵容器１０の内部に多重反射器９が設置される。
【００６９】
多重反射器の断面図（ニ）に示すように多重反射器９は光学窓１１の内側に配置される第一の凹面鏡９１と貯蔵容器内部に配置される第二の凹面鏡９２で構成される。
【００７０】
第一の凹面鏡９１の凹面は、中心部ではレーザ１１から発せられるレーザ光及び気体から放射されるラマン散乱光を透過するように、外周部ではレーザ光を反射しラマン散乱光を透過するように、誘電体多層膜でコーティングされている。
【００７１】
第二の凹面鏡９２の凹面全面は誘電体多層膜でコーティングされ、レーザ光及びラマン散乱光を反射する。
【００７２】
即ち、レーザ光は第一及び第二の凹面鏡で反射を繰返して強度が増加するので、気体から放射されるラマン散乱光強度も増加する。それに対し、ラマン散乱光の全量が、第一の凹面鏡９１から貯蔵容器１０の外部に放射されるため高感度でラマン拡散光を検出することができる。
【００７３】
なお、第一〜三の気体成分計測装置に対して、第五の気体成分計測装置の構成を適用できることも明らかである。
【００７４】
すでに説明したように、ラマン散乱光の強度は気体の圧力に比例するため、本願発明は加圧気体の成分計測に特に有利である。
【００７５】
本発明は、混入気体のラマン拡散光強度を計測することによりｐｐｍオーダの混入気体の濃度を検出することも可能であるが、同時に被混入気体のラマン散乱光強度も測定する必要がある。
【００７６】
すでに説明したように、ラマン散乱光の強度は気体の濃度に比例するが、混入気体のラマン散乱光強度と被混入気体のラマン散乱光強度とは１００万倍の相違がある。
【００７７】
受光装置から出力される電気信号において、１００万倍の強度差を補正することは困難であるが、受光装置前方に配置される光学フィルタにコーティングされる誘電体膜の厚さ及び層数を制御することにより強度差を補正することができることはいうまでもない。
【００７８】
【発明の効果】
第一の発明によれば、混合気体に含まれる化学種が放射するラマン散乱光の強度を混合気体の圧力で補正することにより、ｐｐｍオーダで化学種の濃度を計測することが可能となる。
【００７９】
第二の発明によれば、混合気体に含まれる一つの化学種が放出するラマン散乱光強度に対する他の化学種のラマン散乱光強度の比により濃度比を決定することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第一の気体成分計測装置の構成図である。
【図２】気体圧力とラマン散乱光強度の関係を示すグラフである。
【図３】ラマン拡散光の周波数分析結果（その１）である。
【図４】気体圧力と除算器出力の関係を示すグラフである。
【図５】第ニの気体成分計測装置の構成図である。
【図６】ラマン拡散光の周波数分析結果（その２）である。
【図７】第三の気体成分計測装置の構成図である。
【図８】第四の気体成分計測装置の構成図及び光散乱防止器の断面図である。
【図９】第五の気体成分計測装置の構成図及び多重反射器の断面図である。
【符号の説明】
１０…貯蔵容器
１１…光学窓
１２…レーザ
１３…集光レンズ
１４、１４２、１４３…ビームスプリッタ
１５１、１５２、１５３、１５４…フィルタ
１６１、１６２、１６３、１６４…受光装置
１７…計測装置
１７１…除算器
１７２…表示装置
１７３、１７４…減算器[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a gas component measuring method and apparatus, and more particularly to a gas component measuring method and apparatus capable of measuring a component ratio of a mixed gas obtained by mixing a plurality of chemical species.
[0002]
[Prior art]
In recent years, the demand for pure gas has increased.
[0003]
For example, a fuel cell is attracting attention as a clean energy source, but pure hydrogen and oxygen are required as fuel. Hydrogen and oxygen are produced by electrolyzing water, but it is unavoidable that oxygen is mixed into hydrogen in the production process, and conversely, hydrogen is mixed into oxygen.
[0004]
2. Description of the Related Art Conventionally, various gas sensors such as a new ceramic sensor and a solid electrolytic sensor are known for measuring the concentration of other gases mixed in a certain chemical species gas in the order of ppm.
[0005]
Patent Document 1 discloses a measurement method and a measurement device for measuring the odorant concentration of an odorant gas in which an odorant is added to an unodorized gas containing hydrocarbon gas as a main component in real time. Yes.
[0006]
Patent Document 2 discloses a method for analyzing trace impurities in a gas using a mass spectrometer.
[0007]
[Patent Document 1]
JP 08-285766 ([0004], FIG. 1)
[Patent Document 2]
JP-A-10-104203 ([0006], FIG. 1)
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, the gas that can be detected by the new ceramic sensor is limited to combustible gas. Further, only oxygen can be detected by the solid electrolytic sensor, and the detectable gas is limited.
[0009]
Furthermore, the invention disclosed in Patent Document 1 is a technique that applies the property that an odorant easily absorbs ultraviolet rays, and the concentration of a chemical species that is not an odorant cannot be measured.
[0010]
The invention disclosed in Patent Document 2 performs mass spectrometry after ionizing a gas to be measured, and is applicable to gases of various chemical species, but from the gas flowing into the ionization section and the ionization section Since it is necessary to control the flow rate of the flowing out gas, it is inevitable that the apparatus becomes large-scale.
[0011]
This invention is made | formed in view of the said subject, Comprising: It aims at providing the gas component measuring method and apparatus which can measure the concentration ratio of the mixed gas containing several chemical species.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
The first invention irradiates a mixed gas of at least two chemical species with laser light, detects the intensity of Raman scattered light emitted from each of the at least two chemical species, and mixes the intensity of Raman scattered light It correct | amends with the pressure of gas and calculates the concentration ratio of the at least 2 types of chemical species which comprise mixed gas based on the corrected Raman scattered light intensity | strength.
[0013]
In the present invention, the gas mixture is irradiated with laser light, and the intensity ratio of the Raman scattered light emitted by the chemical species contained in the gas mixture is corrected by the pressure of the gas mixture to determine the concentration ratio of the gas mixture.
[0014]
In the second invention, mixing is performed based on the ratio of the intensity of Raman scattered light emitted from another scientific species to the intensity of Raman scattered light emitted from one of the at least two kinds of chemical species constituting the mixed gas. The gas concentration ratio is calculated.
[0015]
In the present invention, the concentration ratio of the mixed gas is determined by the ratio of the intensity of the Raman scattered light.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 is a configuration diagram of a first gas component measuring apparatus, and an optical window 11 in which transparent glass is fitted is installed in a storage container 10.
[0017]
The laser 12 installed outside the storage container 10 irradiates the mixed gas of a plurality of chemical species stored in the storage container 10 with the laser light via the optical window 11.
[0018]
When the mixed gas is irradiated with laser light, electrons in the gas molecules are vibrated at the same frequency as that of the irradiated light, and the laser light is scattered.
[0019]
When the polarizability fluctuates periodically (subject to Raman shift) due to vibration and rotational motion in the molecule, the wavelength of the scattered light deviates from the wavelength of the laser light.
[0020]
The amount of deviation (Raman shift amount) is determined according to the chemical species of the mixed gas.
[0021]
[Table 1] shows Raman shift amounts of typical chemical species when laser light having a wavelength of 532 nm is irradiated.
[0022]
[Table 1]

[0023]
In addition, it is known that the intensity of Raman scattered light having a wavelength specific to the chemical species constituting the mixed gas is proportional to the concentration of the chemical species contained in the mixed gas and the pressure of the mixed gas. Therefore, it is advantageous to apply the gas component measuring device according to the present invention to pressurized gas (for example, 10 kg / cm ² ).
[0024]
In order to detect Raman scattered light, a condenser lens 13 is disposed outside the optical window 11, and a first beam splitter 14 is disposed on the optical axis further outside the condenser lens 13.
[0025]
That is, the Raman scattered light is collected by the condenser lens 13 and branched by the first beam splitter 14 into a plurality of (for example, two) optical paths.
[0026]
The branched light is guided to the

light receiving devices

161 and 162 through the

optical filters

151 and 152, respectively.
[0027]
The

optical filters

151 and 152 are obtained by coating glass with a dielectric film, and have a characteristic of transmitting only a very narrow band scattered light centering on a predetermined wavelength.
[0028]
For example, the gas stored in the storage container 10 is hydrogen (H ₂ ) gas, and oxygen (O ₂ ) is mixed therein. In this case, it can be seen from [Table 1] that the transmission wavelength of the first optical filter 151 may be selected to be 692 nm, and the transmission wavelength of the second optical filter 152 should be selected to be 580 nm.
[0029]
As the

light receiving devices

161 and 162, a photomultiplier tube (photomultiplier), a photodiode, a CCD, or the like can be applied.
[0030]
The outputs of the

light receiving devices

161 and 162 are proportional to the intensity of the scattered light incident on the

light receiving devices

161 and 162, but the intensity of the scattered light is proportional to the concentration and pressure of the gas generating the Raman shift.
[0031]
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the pressure of the gas mixture and the Raman scattered light intensity of oxygen when the concentration of oxygen mixed in hydrogen is changed, with the horizontal axis representing pressure and the vertical axis representing Raman scattered light intensity. Take.
[0032]
From this graph, the Raman scattered light intensity of oxygen detected by the light receiving device 162 through the filter 152 that transmits only light having a wavelength of 580 nanometers depends on the concentration of oxygen mixed in hydrogen and the pressure of the mixed gas. It turns out that it is proportional.
[0033]
That is, the concentration of oxygen mixed in hydrogen cannot be determined only from the output of the light receiving device 162.
[0034]
It is possible to determine the concentration of oxygen mixed in hydrogen by installing a pressure sensor (not shown) in the storage container 10 to measure the pressure of the stored gas and correcting the output of the light receiving device 162 with the pressure. It is.
[0035]
However, in the present invention, focusing on the fact that the sensitivity of the Raman scattered light intensity fluctuation to the fluctuation of the gas pressure does not depend on the chemical species, other chemical species stored in the storage container 10 (hydrogen in the above example). Is detected, and the influence of pressure is removed by taking the ratio of the Raman scattered light intensity.
[0036]
For this purpose, the outputs of the

light receiving devices

161 and 162 are input to the measuring device 17, and the measuring device 17 includes a divider 171 and a display 172.
[0037]
The divider 171 gradually outputs the output of the second light receiving device 162 by the output of the first light receiving device 161 and outputs the division result. Then, the division result is displayed on the display 172.
[0038]
The measuring device 17 may have a hardware configuration. For example, the divider 171 can be configured with an operational amplifier and the display 172 can be configured with a meter.
[0039]
Further, the measuring device 17 can be a microcomputer system, the divider 171 can be configured by software, and the display 172 can be a CRT display or a liquid crystal display.
[0040]
FIG. 3 shows the frequency analysis result of Raman diffused light (part 1), where the horizontal axis represents wavelength and the vertical axis represents Raman scattered light intensity.
[0041]
That is, the spectrum of laser light emitted from the laser 12 is located at a wavelength of 532 nm, the spectrum of Raman scattering light of oxygen is located at a wavelength of 580 nm, and the Raman scattering of hydrogen is located at a wavelength of 692 nm. The spectrum of light appears.
[0042]
FIG. 4 is a graph showing the relationship between the mixed gas pressure and the divider output, where the horizontal axis represents the gas pressure and the vertical axis represents the divider output (= oxygen Raman scattered light intensity / hydrogen Raman scattered light intensity).
[0043]
From this graph, it can be seen that the divider output is constant regardless of the pressure and is proportional to the concentration ratio of oxygen and hydrogen. However, as in this example, when a small amount of oxygen is mixed in hydrogen, the hydrogen concentration can be regarded as constant, so the output of the divider 171 is proportional to the oxygen concentration.
[0044]
In measuring the intensity of Raman scattered light, it is important to remove so-called background noise in order to improve measurement accuracy.
[0045]
FIG. 5 is a block diagram of the second gas component measuring device, in which measures for removing background noise are taken. The same reference numerals are used for the same elements as those of the first gas component measuring device.
[0046]
In the second gas component measuring device, the second beam splitter 142, the third beam splitter 143, the third filter 153, the fourth filter 154, the third gas splitter are compared with the first gas component measuring device. The light receiving device 163 and the fourth light receiving device 164, and the first subtracter 173 and the second subtractor 174 are added.
[0047]
That is, the second beam splitter 142 and the third beam splitter 143 are arranged on the two optical paths branched by the first beam splitter 14, respectively, and further branched into two optical paths.
[0048]
One of the two optical paths branched by the second beam splitter 142 is guided to the first light receiving device 161 via the first filter 151, and the other is guided to the third light receiving device 163 via the third filter 153. Led to.
[0049]
One of the two optical paths branched by the third beam splitter 143 is guided to the second light receiving device 162 via the second filter 152, and the other is guided to the fourth light receiving device 164 via the fourth filter 154. Led to.
[0050]
The third filter 153 has a characteristic of transmitting light adjacent to the Raman diffused light of hydrogen (for example, a wavelength difference of 2 nanometers), and the fourth filter 154 is adjacent to the Raman diffused light of oxygen (for example, a wavelength difference of 2 nanometers). Meter).
[0051]
Therefore, the output of the third light receiving device 163 represents the background noise intensity near the Raman diffused light of hydrogen, and the output of the fourth light receiving device 164 represents the background noise intensity near the Raman diffused light of oxygen.
[0052]
FIG. 6 shows the results of frequency analysis of Raman diffused light (part 2), where the horizontal axis represents wavelength and the vertical axis represents spectral intensity.
[0053]
As can be seen from this figure, the first filter 151 transmits only the Raman scattered light of hydrogen, and the second filter 152 transmits only the Raman scattered light of oxygen. The third filter 153 transmits only light adjacent to the hydrogen Raman scattered light, and the fourth filter 154 transmits only light adjacent to the oxygen Raman scattered light.
[0054]
The first subtracter 173 subtracts the output of the third light receiving device 163 from the output of the first light receiving device 161 to remove the background noise intensity in the vicinity of the hydrogen Raman scattered light from the hydrogen Raman scattered light intensity. .
[0055]
The second subtracter 174 subtracts the output of the fourth light receiving device 164 from the output of the second light receiving device 162 to remove the background noise intensity in the vicinity of the oxygen Raman scattered light from the oxygen Raman scattered light intensity. Is done.
[0056]
Then, the divider 171 divides the output of the second subtractor 174 by the first subtractor 173. As a result, the display 172 displays the concentration ratio of hydrogen and oxygen from which background noise has been removed.
[0057]
FIG. 7 is a block diagram of a third gas component measuring device, taking into account explosion-proof measures.
[0058]
In other words, the third gas component measuring device enables the laser 12 and devices below the first beam splitter 14 to be installed away from the optical window 11 as an explosion-proof measure, and the laser 12 emits. Laser light is guided to the vicinity of the optical window 11 by the first optical fiber 71, and the mixed gas is irradiated through the optical window 11.
[0059]
Raman scattered light emitted from the mixed gas through the optical window 11 is guided to the first beam splitter 14 through the second optical fiber 72. The configuration downstream of the first beam splitter 14 is the same as that of the first gas component measuring device.
[0060]
Furthermore, a gas leak detector 73 may be installed in the vicinity of the optical window 11 to detect the leakage of the mixed gas from the optical window 11.
[0061]
It is obvious that the configuration of the third gas component measurement device (explosion-proof measures using an optical fiber) can be applied to the second gas component measurement device (background noise removal).
[0062]
FIG. 8 is a block diagram of the fourth gas component measuring device and a cross-sectional view of the light scattering preventer, which aims to eliminate the influence of scattered light and improve measurement accuracy.
[0063]
That is, as shown in the configuration diagram (a) of the fourth gas component measuring device, the first point on the optical axis of the laser beam is behind the intersection of the optical axis of the laser beam and the optical axis of the condenser lens 13. The second light scattering preventer 82 is disposed on the optical axis of the condenser lens 13. Note that it is not always necessary to dispose both the first light scattering preventer 81 and the second light scattering preventer 82, and either one may be disposed.
[0064]
As shown in the cross-sectional view (b) of the light scatter preventer, the light scatter preventer 81 (and 82) is a hollow cylinder with a bottom, and has irregularities formed on the inner wall. The incident light is diffusely reflected by the unevenness of the inner wall and attenuated, and does not go out of the light scattering preventer.
[0065]
The laser light emitted from the laser 12 enters the first light scattering preventer 81 after irradiating the gas. The incident laser light is attenuated in the first light scattering preventer 81 to prevent the laser light reflected by the inner wall of the storage container 10 from affecting the Raman scattered light.
[0066]
The Raman scattered light emitted to the opposite side of the first beam splitter 14 enters the second light scattering preventer 82. The incident Raman scattered light is attenuated inside the second light scattering preventer 82 to prevent the Raman scattered light reflected by the inner wall of the storage container 10 from affecting the light receiving device.
[0067]
It is obvious that the configuration of the fourth gas component measuring device can be applied to the first to third gas component measuring devices.
[0068]
FIG. 9 is a block diagram of the fifth gas component measuring device and a cross-sectional view of the multiple reflector. As shown in the block diagram (c), the multiple reflector 9 is installed inside the storage container 10.
[0069]
As shown in the sectional view (d) of the multiple reflector, the multiple reflector 9 is composed of a first concave mirror 91 arranged inside the optical window 11 and a second concave mirror 92 arranged inside the storage container.
[0070]
The concave surface of the first concave mirror 91 transmits the laser light emitted from the laser 11 and the Raman scattered light emitted from the gas at the central portion, and reflects the laser light and transmits the Raman scattered light at the outer peripheral portion. Coated with a dielectric multilayer film.
[0071]
The entire concave surface of the second concave mirror 92 is coated with a dielectric multilayer film, and reflects laser light and Raman scattered light.
[0072]
That is, since the laser beam is repeatedly reflected by the first and second concave mirrors to increase the intensity, the intensity of the Raman scattered light emitted from the gas also increases. On the other hand, since the entire amount of Raman scattered light is radiated from the first concave mirror 91 to the outside of the storage container 10, the Raman diffused light can be detected with high sensitivity.
[0073]
It is obvious that the configuration of the fifth gas component measuring device can be applied to the first to third gas component measuring devices.
[0074]
As already described, since the intensity of Raman scattered light is proportional to the pressure of the gas, the present invention is particularly advantageous for measuring the components of a pressurized gas.
[0075]
Although the present invention can detect the concentration of the mixed gas in the order of ppm by measuring the Raman diffused light intensity of the mixed gas, it is also necessary to measure the Raman scattered light intensity of the mixed gas at the same time.
[0076]
As already described, the intensity of the Raman scattered light is proportional to the gas concentration, but the Raman scattered light intensity of the mixed gas and the Raman scattered light intensity of the mixed gas are 1 million times different.
[0077]
Although it is difficult to correct an intensity difference of 1 million times in the electrical signal output from the light receiving device, the thickness and number of layers of the dielectric film coated on the optical filter disposed in front of the light receiving device are controlled. It goes without saying that the intensity difference can be corrected by doing so.
[0078]
【The invention's effect】
According to the first invention, it is possible to measure the concentration of the chemical species in the order of ppm by correcting the intensity of the Raman scattered light emitted from the chemical species contained in the mixed gas with the pressure of the mixed gas.
[0079]
According to the second invention, it is possible to determine the concentration ratio by the ratio of the Raman scattered light intensity of other chemical species to the Raman scattered light intensity emitted by one chemical species contained in the mixed gas.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram of a first gas component measuring device.
FIG. 2 is a graph showing the relationship between gas pressure and Raman scattered light intensity.
FIG. 3 is a result of frequency analysis of Raman diffused light (part 1).
FIG. 4 is a graph showing the relationship between gas pressure and divider output.
FIG. 5 is a configuration diagram of a second gas component measuring device.
FIG. 6 is a frequency analysis result (part 2) of Raman diffused light.
FIG. 7 is a configuration diagram of a third gas component measuring device.
FIG. 8 is a configuration diagram of a fourth gas component measurement device and a cross-sectional view of a light scattering preventer.
FIG. 9 is a configuration diagram of a fifth gas component measuring device and a cross-sectional view of a multiple reflector.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Storage container 11 ... Optical window 12 ... Laser 13 ... Condensing

lenses

14, 142, 143 ...

Beam splitters

151, 152, 153, 154 ...

Filters

161, 162, 163, 164 ... Light receiving device 17 ... Measuring device 171 ... Division 172 ...

Display device

173, 174 ... Subtractor

Claims

A laser beam irradiation stage for irradiating a mixed gas of at least two chemical species with a laser beam;
A Raman scattered light intensity detection step of detecting the intensity of Raman scattered light emitted from each of the at least two kinds of chemical species by laser light irradiation in the laser light irradiation step;
A pressure correction step of correcting the intensity of the Raman scattered light detected in the Raman scattered light intensity detection step with the pressure of the mixed gas;
A gas component measurement method comprising a concentration ratio calculation step of calculating a concentration ratio of the at least two kinds of chemical species constituting the mixed gas based on the Raman scattered light intensity corrected in the pressure correction step.

The pressure correction step includes
Calculating the ratio of the intensity of Raman scattered light emitted from another chemical species to the intensity of Raman scattered light emitted from one of the at least two chemical species constituting the mixed gas. The gas component measuring method according to claim 1.

Laser beam irradiation means for irradiating a laser beam to a mixed gas of at least two kinds of chemical species;
Raman scattered light intensity detecting means for detecting the intensity of Raman scattered light emitted from each of the at least two kinds of chemical species by the laser light irradiated by the laser light irradiation means;
Pressure correcting means for correcting the intensity of Raman scattered light detected by the Raman scattered light intensity detecting means with the pressure of the mixed gas;
A gas component measuring device comprising a concentration ratio calculating means for calculating a concentration ratio of the at least two kinds of chemical species constituting the mixed gas based on the Raman scattered light intensity corrected by the pressure correcting means.

The Raman scattered light intensity detecting means is
At least two optical filters that transmit only Raman scattered light emitted from each of the at least two kinds of chemical species constituting the mixed gas;
The gas component measuring apparatus according to claim 3, further comprising at least two light receiving sensors that detect the intensity of Raman scattered light that has passed through the at least two optical filters.

The Raman scattered light intensity detecting means is
At least two noise optical filters that transmit only adjacent light of Raman scattered light emitted from each of the at least two kinds of chemical species constituting the mixed gas;
Further comprising at least two noise light receiving sensors for detecting the intensity of light transmitted through the at least two noise optical filters;
The pressure correction means is
Comprising at least two subtractors for subtracting the outputs of the corresponding light receiving sensors for noise from the outputs of the at least two light receiving sensors, and correcting the outputs of the at least two subtractors with the pressure of the mixed gas The gas component measuring device according to claim 4, wherein

The laser beam irradiation means,
A laser that emits laser light;
Comprising an optical fiber for laser light that guides laser light emitted from the laser to an irradiation position with respect to the mixed gas;
The Raman scattered light intensity detecting means is
6. The gas component measuring device according to claim 5, further comprising an optical fiber for Raman scattered light that guides Raman scattered light from a Raman scattered light radiation position to the Raman scattered light intensity detecting means.

The pressure correction means is
Based on the intensity of Raman scattered light detected by the Raman scattered light intensity detecting means, the intensity of Raman scattered light emitted from one of the at least two kinds of chemical species constituting the mixed gas is determined. The gas component measuring apparatus according to any one of claims 3 to 6, which calculates a ratio of the intensity of Raman scattered light emitted from another chemical species.

At least one of the Raman scattered light intensity detecting means and the Raman scattered light intensity detecting means,
8. The light scattering prevention means is provided behind the intersection of the optical axis of the laser light irradiated by the laser light irradiation means and the optical axis of the Raman scattered light incident on the Raman scattered light intensity detection means. The gas component measuring device according to claim 1.

A laser beam irradiated by the laser light irradiation means in front of the intersection of the optical axis of the laser light irradiated by the laser light irradiation means and the optical axis of the Raman scattered light incident on the Raman scattered light intensity detection means A first concave mirror that transmits light and Raman scattered light emitted from the at least two kinds of chemical species constituting the mixed gas, and a peripheral portion reflects laser light toward the intersection;
The laser beam irradiated by the laser beam irradiation unit behind the intersection of the optical axis of the laser beam irradiated by the laser beam irradiation unit and the optical axis of the Raman scattered light incident on the Raman scattered light intensity detection unit, and the 8. The laser light multiple reflector according to claim 3, further comprising a second concave mirror that reflects Raman scattered light emitted from the at least two kinds of chemical species constituting the mixed gas toward the intersection. The gas component measuring device according to any one of the above.