KR101848439B1 - Remote detection systems for hydrogen gas - Google Patents
Remote detection systems for hydrogen gas Download PDFInfo
- Publication number
- KR101848439B1 KR101848439B1 KR1020170108591A KR20170108591A KR101848439B1 KR 101848439 B1 KR101848439 B1 KR 101848439B1 KR 1020170108591 A KR1020170108591 A KR 1020170108591A KR 20170108591 A KR20170108591 A KR 20170108591A KR 101848439 B1 KR101848439 B1 KR 101848439B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- unit
- laser beam
- detection light
- hydrogen gas
- laser
- Prior art date
Links
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 80
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 63
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 claims abstract description 33
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims abstract description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 16
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 12
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 2
- 206010036618 Premenstrual syndrome Diseases 0.000 claims 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 claims 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003758 nuclear fuel Substances 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector specially adapted to detect a particular component
- G01N33/005—H2
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 수소가스 원격 탐지 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 원자력 발전소의 중대사고시 발생되는 수소가스의 분포 및 농도를 원격에서 탐지하여 수소가스의 분포 및 농도를 검출함으로써, 수소가스의 연소 또는 자연발화를 방지할 수 있는 수소가스 원격 탐지 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a hydrogen gas remote sensing system, and more particularly, to a hydrogen gas remote sensing system that remotely senses the distribution and concentration of hydrogen gas generated at a nuclear power plant, To a hydrogen gas remote sensing system capable of preventing ignition.
원자력 발전소에서 중대 사고가 발생할 경우, 핵 연료 피복재의 산화과정에서 다량의 수소가스가 발생하며 2차 폭발사고의 중요 원인으로 작용한다. 2011년 일본에서 발생한 후쿠시마 원전 사고는 쓰나미에 의한 원전 중대사고 과정에서 발생한 수소 가스가 2차 폭발사고로 발전한 대표적인 예라 할 수 있다.In the event of a serious accident at a nuclear power plant, a large amount of hydrogen gas is generated during the oxidation process of the nuclear fuel covering material, which is an important cause of the secondary explosion. The Fukushima nuclear power plant accident that occurred in Japan in 2011 is a representative example of the hydrogen gas generated during the nuclear accident of the nuclear power plant by the tsunami.
따라서 원전 안전을 위하여 수소 가스 검출 및 제거 장치가 필수적으로 요구된다.Therefore, hydrogen gas detection and removal equipment is essential for nuclear safety.
수소 가스는 연소과정에서 오염물질의 배출이 없는 친환경 에너지원이다. 그러나 연소 및 폭발성이 매우 강해 위험한 물질 중의 하나이다. 원자력 발전소의 중대 사고 발생시 핵연료의 산화 과정에서 다량의 수소 가스가 발생하며 원전 격납 건물의 2차 사고의 원인으로 작용함에 따라 원전의 안전을 확보하기 위해서는 수소 가스의 검출 기술은 매우 중요하다. Hydrogen gas is an environmentally friendly energy source that does not emit pollutants during the combustion process. However, it is one of the dangerous substances because it is very strong in combustion and explosion. In the event of a major accident at a nuclear power plant, a large amount of hydrogen gas is generated during the oxidation process of the fuel, which is a cause of secondary accidents in nuclear containment buildings. Therefore, in order to secure the safety of nuclear power plants, detection technology of hydrogen gas is very important.
수소가스의 검출에는 촉매 산화방식과 반도체 산화 센서, 열전도 센서 , 전기 화학 센서 등의 센서를 이용한 방식이 주로 사용되고 있다. 그러나 이러한 센서를 이용한 검출 방식은 센서의 검출 유효거리가 짧아 넓은 공간을 측정하기 위해서는 수많은 센서가 설치되어야 하는 단점이 있다.For detection of hydrogen gas, a method using a catalyst oxidation method, a sensor such as a semiconductor oxidation sensor, a thermal conductivity sensor, and an electrochemical sensor is mainly used. However, the detection method using such a sensor has a disadvantage that a large number of sensors must be installed in order to measure a wide space because the detection effective distance of the sensor is short.
수소가스는 매우 강한 라만 산란(Raman scattering) 현상을 나타내며, 이러한 라만 산란 현상을 이용한 수소 라만 셀 등을 사용하여 검출하고 있다.Hydrogen gas shows a very strong Raman scattering phenomenon and is detected by using hydrogen Raman cell using this Raman scattering phenomenon.
수소가스의 라만 현상을 이용하는 라만 라이다(LIDAR, Light Detection and Ranging)는 수소가스의 농도 및 거리 정보 등을 정량적으로 측정할 수 있는 것으로서, 일본의 니노미야 히데키(Ninomiya Hideki) 등에 의하여 수소가스 검출용 라만 라이다 시스템이 개발되었다.Light Detection and Ranging (LIDAR), which utilizes the Raman phenomenon of hydrogen gas, is capable of quantitatively measuring the concentration and distance information of hydrogen gas. It can be used for hydrogen gas detection by Ninomiya Hideki, Raman laid system was developed.
등록특허공보 제10-1126951호에 기재된 수소가스 및 수소화염감시 방법 및 장치는 니노미야 히데키, 이찌가와 코지 등이 발명자로 하여 출원되고 등록된 특허로서, 상기 기술은 감시대상공간에 조사한 2 이상의 다른 레이저광에 기인하는 파장 약 309nm의 피검출광을 집광하고 전자화상으로 변환하며, 증폭하고 재차 광학상으로 변환하여 수소가스를 검출하는 수소가스 및 수소화염감시장치에 관한 것이다.The hydrogen gas and hydrogen flame monitoring method and apparatus described in Patent Registration No. 10-1126951 are filed and registered as inventors by Hideki Ninomiya and Koji Ichigawa, To a hydrogen gas and hydrogen flame monitoring apparatus for collecting light to be detected having a wavelength of about 309 nm and converting it into an electronic image, amplifying the light, and converting the light into an optical image to detect hydrogen gas.
즉, 상기의 기술은 355nm와 416nm의 레이저 빔을 조사하여 수소가스에 의해 발생되는 309nm의 라만 산란을 광검출기 또는 영상 센서로 획득하여 원거리에서 수소가스나 수소불꽃을 검출하는 것에 관한 것이다.That is, the above-described technique relates to detection of hydrogen gas or hydrogen flame at a long distance by irradiating a laser beam of 355 nm and 416 nm and acquiring Raman scattering of 309 nm generated by hydrogen gas with a photodetector or an image sensor.
이와 같은 상기의 기술은 수소가스에서만 발생되는 라만 산란을 이용함에 따라 신호대잡음비(S/N Ratio)가 증가되는 이점이 있으나, 특정 레이저 빔이 요구됨과 함께 수소가스 이외의 가스를 검출하지 못하고, 영점 조절이 어려우며, 수신되는 신호가 약해 라만 산란을 수신하는 수신광학계가 복잡해지는 문제점이 있다.The above-mentioned technique has an advantage of increasing the S / N ratio by using the Raman scattering generated only from the hydrogen gas. However, since a specific laser beam is required and the gas other than the hydrogen gas can not be detected, There is a problem that the receiving optical system receiving scattering becomes complicated if the received signal is weak.
본 발명은 상기 종래기술이 갖는 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명에서 해소하고자 하는 과제는, 조사 공간 내에 분포되어 있는 수소가스의 분포 및 농도를 신속히 탐지할 수 있고, 분광을 통해 수소뿐만 아니라 질소가스도 탐지할 수 있는 수소가스 원격 탐지 시스템을 제공하는 데 있다.It is an object of the present invention to solve the problems of the prior art as described above, and it is an object of the present invention to provide a hydrogen sensor capable of quickly detecting distribution and concentration of hydrogen gas distributed in an irradiation space, And to provide a hydrogen gas remote sensing system capable of detecting nitrogen gas.
상기의 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템은 조사 대상 영역에 레이저 빔을 조사하는 빔송신부; 상기 빔송신부에서 조사된 레이저 빔에 의해 생성된 라만 산란 신호를 검출광으로 하여 수광하는 수광부; 상기 수광부에서 수신된 검출광을 입력받아 분리하고, 분리된 각각의 검출광을 전기적 신호로 변환하는 변환부; 상기 빔송신부에서 조사되는 레이저 빔의 발진 파장을 제어하고, 상기 변환부에서 분리된 검출광을 처리하여 분포 및 농도를 산출하는 제어부; 및 상기 제어부의 제어에 따라 검출광에 대한 분포 및 농도를 시각적으로 표시하는 표시부를 포함하여 구성되고, 상기 빔송신부에서 조사되는 레이저 빔의 발진 파장은 355㎚인 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a hydrogen gas remote sensing system comprising: a beam transmitter for irradiating a laser beam to a region to be irradiated; A light receiving unit for receiving the Raman scattering signal generated by the laser beam irradiated by the beam transmitting unit as detection light; A converting unit for receiving and separating the detection light received by the light receiving unit and converting the separated detection lights into electrical signals; A controller for controlling an oscillation wavelength of the laser beam irradiated by the beam transmission unit and processing the detection light separated by the conversion unit to calculate a distribution and a concentration; And a display unit for visually displaying the distribution and concentration of the detection light under the control of the control unit. The oscillation wavelength of the laser beam irradiated by the beam transmission unit is 355 nm.
여기서, 상기 변환부에 분리된 검출광의 파장은 416.7㎚±0.15㎚를 포함할 수 있다.Here, the wavelength of the detection light separated into the conversion unit may include 416.7 nm ± 0.15 nm.
또한, 상기 수광부는 상기 라만 산란 신호를 집광하는 집광렌즈; 상기 집광렌즈로부터 입사되는 검출광의 광량을 조절하는 다이아프램; 상기 다이아프램을 통과한 검출광을 분산시키는 분산렌즈; 및 상기 분산렌즈를 통과한 검출광에서 특정 주파수 대역의 주파수를 제거하는 노치필터를 포함하는 것을 특징으로 한다.The light-receiving unit may include a condenser lens for condensing the Raman scattering signal; A diaphragm for adjusting an amount of detection light incident from the condensing lens; A dispersion lens for dispersing the detection light passing through the diaphragm; And a notch filter for removing a frequency of a specific frequency band from the detection light having passed through the dispersion lens.
또한, 상기 변환부는 상기 수광부(200)에서 출력되는 검출광을 분리하는 빔 스플리터; 상기 빔 스플리터를 이용하여 입사각과 평행한 검출광에 대해 설정 주파수 대역만 통과시키는 제1 밴드패스필터; 광전자를 이용하여 상기 제1 밴드패스필터를 통과한 검출광의 강도를 검출하는 제1 PMT(Phitomultiplier Tube); 상기 빔 스플리터를 이용하여 입사각과 수직인 검출광에 대해 설정 주파수 대역만 통과시키는 제2 밴드패스필터; 광전자를 이용하여 상기 제2 밴드패스필터를 통과한 검출광의 강도를 검출하는 제2 PMT(Photomultiplier Tube)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The conversion unit may include a beam splitter for separating detection light output from the
이때, 상기 제1 밴드패스필터는 416㎚±0.15㎚의 주파수를 통과시키고, 상기 제2 밴드패스필터는 386.7㎚±0.15㎚의 주파수를 통과시키는 것을 특징으로 한다.At this time, the first band-pass filter passes a frequency of 416 nm ± 0.15 nm, and the second band-pass filter passes a frequency of 386.7 nm ± 0.15 nm.
본 발명에 의하면, 대기중으로 조사된 레이저 빔은 수소 및 질소에 의해 라만 산란 신호를 발생시키고, 발생된 라만 산란 신호를 수광하여 이를 분광기를 통해 파장을 선별함에 따라 수소 및 질소에 대한 분포 및 농도를 신속히 파악할 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, the laser beam irradiated to the atmosphere generates Raman scattering signals by hydrogen and nitrogen, receives the generated Raman scattering signals, and selects the wavelengths through the spectroscope, whereby the distribution and concentration of hydrogen and nitrogen There is an advantage of being able to grasp quickly.
도 1은 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템이 원자력 발전소에 설치된 상태의 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템의 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템에 적용된 빔송신부, 수광부 및 변환부의 구성도.
도 4는 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템에 적용된 빔송신부의 구성도.
도 5는 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템에 적용된 수광부 및 변환부의 구성도.
도 6은 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템을 이용하여 수소가스 농도에 따른 라만 산란 신호의 세기를 나타낸 그래프.
도 7은 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템을 이용하여 수소가스와 질소가스의 라만 산란 신호의 검출 결과를 나타낸 그래프.1 is a block diagram of a hydrogen gas remote sensing system according to the present invention installed in a nuclear power plant.
2 is a block diagram of a hydrogen gas remote sensing system according to the present invention;
3 is a configuration diagram of a beam transmitter, a light receiving unit, and a conversion unit applied to the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
4 is a configuration diagram of a beam transmitter applied to a hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
5 is a configuration diagram of a light receiving unit and a conversion unit applied to the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
6 is a graph showing the intensity of a Raman scattering signal according to hydrogen gas concentration using the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
7 is a graph showing the detection results of Raman scattering signals of hydrogen gas and nitrogen gas using the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 원자력 발전소의 중대사고시 발생되는 수소가스의 분포 및 농도를 원격에서 탐지하여 수소가스의 분포 및 농도를 검출함으로써, 수소가스의 연소 또는 자연발화를 방지할 수 있는 수소가스 원격 탐지 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a hydrogen gas remote sensing system capable of preventing the combustion or spontaneous combustion of hydrogen gas by detecting distribution and concentration of hydrogen gas by remotely detecting the distribution and concentration of hydrogen gas generated in a nuclear power plant, will be.
도 1은 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템이 원자력 발전소에 설치된 상태의 구성도를 나타낸 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템의 구성도를 나타낸 도면이다.FIG. 1 is a view showing a configuration of a hydrogen gas remote sensing system according to the present invention installed in a nuclear power plant, and FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
첨부된 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템은 빔송신부(100), 수광부(200), 변환부(300), 제어부(400), 표시부(500) 및 팬틸트구동부(600)를 포함하여 구성된다.1 and 2, a hydrogen gas remote sensing system according to the present invention includes a
여기서 상기 빔송신부(100), 수광부(200) 및 변환부(300)는 원자력 발전소의 격납건물(1) 내부에 설치되고, 제어부(400)와 표시부(500)는 제어실(또는 조정실) 등에 설치된다.The
도 3은 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템에 적용된 빔송신부, 수광부 및 변환부의 구성을 나타낸 도면이다.FIG. 3 is a block diagram of a beam transmitter, a light receiving unit, and a conversion unit applied to the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
빔송신부(100)는 조사 대상 영역에 레이저 빔을 조사하는 것으로서, 조사되는 레이저 빔은 YAG(Yttrium Aluminum Garnet) 결정에 네오디뮴(Nd)의 희유원소를 첨가하여 고체 레이저를 생성할 수 있는 Nd:YAG 레이저가 사용될 수 있다.The
도 4는 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템에 적용된 빔송신부의 구성을 나타낸 도면이다.4 is a block diagram of a beam transmitter applied to a hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
첨부된 도 4를 참조하면, 상기 빔송신부(100)는 크게, 1064nm의 기본 파장을 발생시키는 레이저 드라이버(110)와 상기 레이저 드라이버(110)에서 발생된 레이저 빔의 파장을 변환시키는 발진부(120)를 포함하여 구성된다. 이때, 상기 발진부(120)는 1064nm의 기본 파장을 변환하여 355nm 파장을 가지는 레이저 빔을 출력한다.4, the
여기서, 상기 발진부(120)의 구성을 살펴보면, 상기 레이저 드라이버(110)에서 출력되는 레이저 빔의 투과율을 제한하는 ND 필터(Neutral Density Filter, 121), 상기 ND 필터(121)에서 출력되는 레이저 빔의 광량을 조절하는 조리개(122), 상기 조리개(122)를 통과한 레이저 빔을 확장시키는 빔 익스팬더(123), 상기 빔 익스팬더(123)에서 출력되는 레이저 빔 중에서 355nm 파장을 가진 레이저 빔만을 투과하는 라인필터(Line filter, 124) 및 상기 라인필터(124)를 통과한 레이저 빔을 전반사시키는 반사미러(125, 126)를 포함하여 구성된다.Here, the configuration of the
여기서, 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템은 원자력 발전소의 격납건물 내부에 설치되기 때문에 비교적 장거리의 탐지능력이 없어도 무방하다. 또한, 격납건물 내부에 설치됨에 따라 소형화되어야 한다. 이에 따라 상기 발진부(120)를 통해 조사되는 레이저 빔은 최대 20m의 유효거리 내에 있는 수소가스를 탐지할 수 있는 정도이면 충분하므로, 상기 발진부(120)에서 조사되는 레이저 빔은 355nm의 파장에서 11 ~ 13mJ의 에너지를 갖는 것이면 충분하다.Here, the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention is installed in the containment building of the nuclear power plant, so that it is not necessary to have a relatively long detection capability. In addition, it needs to be miniaturized as it is installed inside the containment building. Accordingly, it is sufficient that the laser beam irradiated through the
수광부(200)는 상기 빔송신부(100)에서 조사된 레이저 빔에 의해 생성된 라만 산란 신호를 검출광으로 하여 수광하는 것이고, 변환부(300)는 상기 수광부(200)에서 수신된 검출광을 입력받아 전기적 신호로 변환하는 기능을 수행한다.The
도 5는 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템에 적용된 수광부 및 변환부의 구성을 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of a light receiving unit and a conversion unit applied to the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
첨부된 도 5를 참조하면, 수광부(200)는 집광렌즈(210), 다이아프램(220), 분산렌즈(230) 및 노치필터(240)를 포함한다.5, the
집광렌즈(210)는 라만 산란 신호를 집광하는 것으로서, 소형화를 위해 50mm의 광학식 망원렌즈가 사용될 수 있다.The
다이아프램(220)은 상기 집광렌즈(210)로부터 입사되는 검출광의 광량을 조절하는 기능을 수행하고, 분산렌즈(230)는 상기 다이아프램(220)을 통과한 검출광을 분산시키고, 노치필터(240)는 상기 분산렌즈(230)를 통과한 검출광 중 특정 주파수 대역의 주파수를 제거하여 유효 주파수만을 통과시킨다.The
첨부된 도 5를 참조하면 상기 변환부(300)는 상기 수광부(200)에서 출력되는 검출광을 분리하는 빔 스플리터(310); 상기 빔 스플리터(310)를 이용하여 입사각과 평행한 검출광에 대하여 설정 주파수 대역만 통과시키는 제1 밴드패스필터(320); 상기 제1 밴드패스필터(320)를 통과한 검출광을 광전자를 이용하여 전기신호로 변환하는 제1 PMT(Phitomultiplier Tube)(330); 상기 빔 스플리터(310)를 이용하여 입사각과 수직인 검출광에 대하여 설정 주파수 대역만 통과시키는 제2 밴드패스필터(340); 상기 제2 밴드패스필터(340)를 통과한 검출광을 광전자를 이용하여 전기신호로 변환하는 제2 PMT(Photomultiplier Tube)(350)를 포함한다.5, the
여기서, 상기 제1 밴드패스필터(320)는 416㎚±0.15㎚의 주파수를 통과시키고, 상기 제2 밴드패스필터(340)는 386.7㎚±0.15㎚의 주파수를 통과시킨다.Here, the first band-
355nm의 레이저 빔이 수소가스에 조사되면 416㎚ 파장대의 라만 산란이 발생하고, 질소가스에 조사되면 386nm 파장대의 라만 산란이 발생된다.When a 355 nm laser beam is irradiated with hydrogen gas, Raman scattering occurs at a wavelength of 416 nm. When irradiated with nitrogen gas, Raman scattering at a wavelength band of 386 nm occurs.
이에, 상기의 변환부(300)의 구성에 의하면, 제1 밴드패스필터(320)와 제1 PMT(330)에 의해서 수소가스에 대한 라만 산란의 주파수가 탐지되고, 제2 밴드패스필터(340)와 제2 PMT(350)에 의해서 질소가스에 대한 라만 산란의 주파수가 탐지된다.According to the configuration of the
상기 변환부(300)의 구성에서, 밴드패스필터와 PMT 사이에는 각각 밴드패스필터를 통과한 검출광을 PMT로 유도하기 위한 집광렌즈(360, 370)가 설치될 수 있다.In the configuration of the
아울러, 상기 변환부(300)의 제1 PMT(330) 및 제2 PMT(350)에서 변환된 전기 신호는 디지타이저를 이용하여 디지털 신호로 변환되고, 변환된 디지털 신호는 제어부(400)로 전송되게 된다.The electrical signals converted by the
이때, 상기 디지타이저는 라만 산란 신호를 계측하기 위하여 1GHz의 대역폭을 가지며, 1GS/s의 샘플링이 가능한 고속 디지타이저가 사용될 수 있다.In this case, the digitizer has a bandwidth of 1 GHz and a high-speed digitizer capable of sampling at 1 GS / s can be used to measure Raman scattering signals.
제어부(400)는 상기 변환부(300)에서 분리된 검출광을 처리하여 분포 및 농도를 산출하는 기능을 수행한다.The
이때, 상기 제어부(400)는 빔송신부(100)에서 출력되는 레이저 빔과 디지타이저 사이의 동기화를 위해 레이저의 Q-스위치 신호가 사용될 수 있다.At this time, the
Q-스위치 신호는 레이저 광 펄스 출력 빔을 생성하는 방식 중의 하나로서, 레이저 공진기의 Q값이 떨어진 상태에서 여기(勵起)하여 레이저 매질에 충분한 에너지를 축적한 후, 순간적으로 Q값을 증가시키면 발진이 시작되어 축적되었던 에너지는 빠르고 예리한 광 펄스로 방출되는 신호이다. 이러한 Q-스위치 방식은 높은 피크 출력과 폭이 좁은 광 펄스를 얻는 데 이용된다The Q-switch signal is one of the methods of generating a laser light pulse output beam. When the Q value of the laser resonator is excited in the state where the Q value is decreased, sufficient energy is accumulated in the laser medium and then the Q value is instantaneously increased The energy that the oscillation begins and accumulates is a signal emitted by a fast and sharp optical pulse. This Q-switched scheme is used to obtain high peak output and narrow optical pulses
아울러, 상기 제어부(400)는 S/N비(signal to noise ratio)를 높이기 위하여 누적 평균이 가능하도록 구성될 수 있다.In addition, the
또한, 상기 제어부(400)는 상기 빔송신부(100)에서 조사되는 레이저 빔의 발진 파장을 제어하도록 구성된다. 즉, 빔송신부(100)에서 조사되는 레이저 빔의 발진 주파수가 355nm가 유지되도록 피드백을 통해 상기 발진 주파수를 제어하도록 구성된다.The
표시부(500)는 상기 제어부(400)의 제어에 따라 검출광에 대한 분포 및 농도를 시각적으로 표시한다.The
팬틸트구동부(600)는 상기 빔송신부(100), 수광부(200) 및 변환부(300)의 좌우 또는 상하 방향을 변경하여 수소가스 탐지 영역을 가변시키는 것으로서, 모터에 의해 좌우로 이동되는 팬동작과 상하로 이동되는 틸트 동작이 가능한 마운트(mount, 도면에 미표시)의 상부에 상기 빔송신부(100), 수광부(200) 및 변환부(300)가 설치되도록 한다. 이때, 팬틸트구동부(600)의 동작은 제어부(400)의 동작제어신호에 의해서 이루어질 수 있고, 상기 동작제어신호는 이미 설정된 경로에 따라 출력되도록 구성될 수 있다.The pan
이에, 마운트의 동작에 의해 레이저빔의 조사 방향과 조사된 레이저 빔에 의해 생성된 라만 산란 신호를 수광하도록 구성되어, 설정된 구역에서의 수소와 질소의 분포 및 농도를 탐지할 수 있는 장점이 있다. Accordingly, it is constituted to receive the Raman scattering signal generated by the irradiated laser beam and the irradiation direction of the laser beam by the operation of the mount, and it is possible to detect the distribution and concentration of hydrogen and nitrogen in the set zone.
도 6은 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템을 이용하여 수소가스 농도에 따른 라만 산란 신호의 세기를 나타낸 그래프이다.6 is a graph showing the intensity of a Raman scattering signal according to hydrogen gas concentration using the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
첨부된 도 6을 참조하면, 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템을 이용하여 원격으로 수소 가스 농도를 측정한 결과, 수소가스 농도 변화에 따른 라만 산란 신호의 변화가 선형적으로 변화하는 것을 알 수 있다. 특히, 수소가스 농도 변화에 따른 라만 산란 신호 세기와의 관계를 나타내는 결정 계수(R2) 값이 0.9984값을 나타내는 것을 알 수 있다. 또한, 수소가스 농도에 따른 라만 신호 세기 측정 값의 오차가 선형 추세선 안에 위치하고 있어 본 발명의 수소가스 원격 탐지 시스템을 이용하여 측정한 수소가스 농도가 신뢰성이 높은 것을 알 수 있다. Referring to FIG. 6, when the hydrogen gas concentration is measured remotely using the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention, it can be seen that the change of the Raman scattering signal linearly changes with the change of the hydrogen gas concentration have. Particularly, it can be seen that the value of the coefficient of determination (R2), which indicates the relationship with the Raman scattering signal intensity according to the hydrogen gas concentration change, is 0.9984. In addition, since the error of the Raman signal intensity measurement value according to the hydrogen gas concentration is located within the linear trend line, it can be seen that the hydrogen gas concentration measured using the hydrogen gas remote sensing system of the present invention is highly reliable.
도 7은 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템을 이용하여 수소가스와 질소가스의 라만 산란 신호의 검출 결과를 나타낸 그래프이다.7 is a graph showing the detection results of Raman scattering signals of hydrogen gas and nitrogen gas using the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
첨부된 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 수소가스 원격 탐지 시스템에 의하면 수소가스의 분포 및 농도뿐만 아니라 질소가스의 분포 및 농도를 검출할 수 있음을 알 수 있다.Referring to FIG. 7, it can be seen that the distribution and concentration of hydrogen gas as well as the distribution and concentration of nitrogen gas can be detected by the hydrogen gas remote sensing system according to the present invention.
본 발명에 의하면, 대기중으로 조사된 레이저 빔은 수소 및 질소에 의해 라만 산란 신호를 발생시키고, 발생된 라만 산란 신호를 수광하여 이를 분광기를 통해 파장을 선별함에 따라 수소 및 질소에 대한 분포 및 농도를 신속히 파악할 수 있는 장점이 있다.According to the present invention, the laser beam irradiated to the atmosphere generates Raman scattering signals by hydrogen and nitrogen, receives the generated Raman scattering signals, and selects the wavelengths through the spectroscope, whereby the distribution and concentration of hydrogen and nitrogen There is an advantage of being able to grasp quickly.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 아니하며 본 발명의 실시 예와 실질적으로 균등한 범위에 있는 것까지 본 발명의 권리범위가 미치는 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.
100: 빔송신부 200: 수광부
210: 집광렌즈 220: 다이아프램
230: 분산렌즈 240: 노치필터
300: 변환부 310: 빔 스플리터
320: 제1 밴드패스필터 330: 제1 PMT
340: 제2 밴드패스필터 350: 제2 PMT
400: 제어부 500: 표시부
600: 팬틸트구동부100: beam transmission unit 200:
210: condenser lens 220: diaphragm
230: Dispersion lens 240: Notch filter
300: conversion unit 310: beam splitter
320: first band pass filter 330: first PMT
340: second band pass filter 350: second PMT
400: control unit 500: display unit
600: a pan tilt driver
Claims (5)
상기 빔송신부(100)에서 조사된 레이저 빔에 의해 생성된 라만 산란 신호를 검출광으로 하여 수광하는 수광부(200);
상기 수광부(200)에서 수신된 검출광을 입력받아 분리하고, 분리된 각각의 검출광을 전기적 신호로 변환하는 변환부(300);
상기 빔송신부(100)에서 조사되는 레이저 빔의 발진 파장을 제어하고, 상기 변환부(300)에서 분리된 검출광을 처리하여 분포 및 농도를 산출하는 제어부(400);
상기 제어부(400)의 제어에 따라 검출광에 대한 분포 및 농도를 시각적으로 표시하는 표시부(500);
모터에 의해 좌우로 이동되는 팬동작과 상하로 이동되는 틸트 동작이 가능한 마운트(mount)의 상부에 상기 빔송신부(100), 수광부(200) 및 변환부(300)가 설치되고, 상기 제어부(400)의 동작제어신호에 의해서 이미 설정된 경로에 따라 상기 빔송신부(100), 수광부(200) 및 변환부(300)의 좌우 또는 상하 방향을 변경하여 탐지 영역을 가변시켜, 상기 마운트의 동작에 의해 레이저빔의 조사 방향과 조사된 레이저 빔에 의해 생성된 라만 산란 신호를 수광하도록 구성되어, 설정된 구역에서의 수소와 질소의 분포 및 농도를 탐지하는 팬틸트구동부(600); 및
상기 변환부(300)에서 변환된 전기 신호를 디지털 신호로 변환하여 상기 제어부(400)로 전송하는 디지타이저를 포함하고,
상기 빔송신부(100)에서 조사되는 레이저 빔의 발진 파장은 355㎚이고, 상기 변환부(300)에 분리된 검출광의 파장은 416㎚±0.15㎚이며,
상기 빔송신부(100)는,
1064nm의 기본 파장을 발생시키는 레이저 드라이버(110);
상기 레이저 드라이버(110)에서 발생된 1064nm의 기본 파장을 변환하여 355nm 파장의 11 ~ 13mJ의 에너지를 갖는 레이저 빔을 출력하는 발진부(120);
를 포함하여 구성되되,
상기 발진부(120)는,
상기 레이저 드라이버(110)에서 출력되는 레이저 빔의 투과율을 제한하는 ND 필터(Neutral Density Filter, 121);
상기 ND 필터(121)에서 출력되는 레이저 빔의 광량을 조절하는 조리개(122);
상기 조리개(122)를 통과한 레이저 빔을 확장시키는 빔 익스팬더(123);
상기 빔 익스팬더(123)에서 출력되는 레이저 빔 중에서 355nm 파장을 가진 레이저 빔만을 투과하는 라인필터(Line filter, 124); 및
상기 라인필터(124)를 통과한 레이저 빔을 전반사시키는 반사미러(125, 126)를 포함하여 구성되고,
상기 수광부(200)는,
상기 라만 산란 신호를 집광하는 집광렌즈(210);
상기 집광렌즈(210)로부터 입사되는 검출광의 광량을 조절하는 다이아프램(220);
상기 다이아프램(220)을 통과한 검출광을 분산시키는 분산렌즈(230); 및
상기 분산렌즈(230)를 통과한 검출광에서 특정 주파수 대역의 주파수를 제거하는 노치필터(240);
를 포함하여 구성되되,
상기 제어부(400)에 의해 상기 빔송신부(100)에서 조사되는 레이저빔의 발진 주파수가 355nm가 되도록 피드백을 통해 제어되며, 상기 빔송신부(100)에서 출력되는 레이저 빔과 상기 디지타이저 사이의 동기화를 위해 상기 제어부(400)에서 레이저의 Q-스위치가 사용되되, 상기 Q-스위치 신호는 레이저 공진기의 Q값이 떨어진 상태에서 여기(勵起)하여 레이저 매질에 충분한 에너지를 축적한 후, 순간적으로 Q값을 증가시켜 발진이 시작되어 축적되었던 에너지를 광 펄스로 방출시키고,
상기 변환부(300)는,
상기 수광부(200)에서 출력되는 검출광을 분리하는 빔 스플리터(310);
상기 빔 스플리터(310)를 이용하여 입사각과 평행한 검출광에 대해 설정 주파수 대역만 통과시키는 제1 밴드패스필터(320);
광전자를 이용하여 상기 제1 밴드패스필터(320)를 통과한 검출광의 강도를 검출하는 제1 PMT(Phitomultiplier Tube)(330);
상기 빔 스플리터(310)를 이용하여 입사각과 수직인 검출광에 대해 설정 주파수 대역만 통과시키는 제2 밴드패스필터(340);
광전자를 이용하여 상기 제2 밴드패스필터(340)를 통과한 검출광의 강도를 검출하는 제2 PMT(Photomultiplier Tube)(350); 및
상기 제1 및 제2 밴드패스필터(320, 340)와 상기 제1 및 제2 PMT(330, 350) 사이에 설치되어 상기 제1 및 제2 밴드패스필터(320, 340)를 통과한 검출광을 상기 제1 및 제2 PMT(330, 350)로 유도하기 위한 집광렌즈(360, 370);
를 포함하며,
상기 제1 밴드패스필터(320)는 416㎚±0.15㎚의 주파수를 통과시키고,
상기 제2 밴드패스필터(340)는 386.7㎚±0.15㎚의 주파수를 통과시키며,
상기 제어부(400)는 누적 평균이 기능하도록 구성되어 S/N비를 높이도록 하며, 수광된 라만 산란 신호를 통해 원자력 발전소의 격납건물 내부 대기에 포함된 수소 및 질소에 대한 분포 및 농도를 검출하는 것을 특징으로 하는 수소가스 원격 탐지 시스템.
A beam transmitting unit (100) for irradiating a laser beam to a region to be irradiated;
A light receiving unit 200 receiving the Raman scattering signal generated by the laser beam irradiated by the beam transmission unit 100 as detection light;
A converting unit 300 for receiving and separating the detection light received by the light receiving unit 200 and converting each of the separated detection lights into an electrical signal;
A control unit 400 for controlling the oscillation wavelength of the laser beam irradiated by the beam transmission unit 100 and processing the detection light separated by the conversion unit 300 to calculate a distribution and a concentration;
A display unit 500 for visually displaying the distribution and concentration of the detection light under the control of the controller 400;
The beam transmitting unit 100, the light receiving unit 200 and the converting unit 300 are installed on the upper part of a mount capable of a pan operation and a tilting operation which are moved up and down by a motor, The light receiving unit 200, and the converting unit 300 according to the path already set by the operation control signal of the laser diode 110 to change the detection region, A pan tilt driving unit 600 configured to receive a beam irradiation direction and a Raman scattering signal generated by the irradiated laser beam to detect distribution and concentration of hydrogen and nitrogen in the set zone; And
And a digitizer for converting the electrical signal converted by the converting unit 300 into a digital signal and transmitting the digital signal to the controller 400,
The oscillation wavelength of the laser beam irradiated by the beam transmission unit 100 is 355 nm, the wavelength of the detection light separated by the conversion unit 300 is 416 nm ± 0.15 nm,
The beam transmission unit 100 includes:
A laser driver 110 for generating a fundamental wavelength of 1064 nm;
An oscillation unit 120 for converting a fundamental wavelength of 1064 nm generated by the laser driver 110 and outputting a laser beam having an energy of 11 to 13 mJ at a wavelength of 355 nm;
, ≪ / RTI >
The oscillating unit 120 includes:
An ND filter (Neutral Density Filter) 121 for limiting the transmittance of the laser beam output from the laser driver 110;
A diaphragm 122 for adjusting a light amount of the laser beam output from the ND filter 121;
A beam expander 123 for expanding the laser beam passed through the diaphragm 122;
A line filter 124 which transmits only a laser beam having a wavelength of 355 nm from the laser beam output from the beam expander 123; And
And a reflection mirror (125, 126) for totally reflecting the laser beam passed through the line filter (124)
The light receiving unit 200 includes:
A condenser lens 210 for condensing the Raman scattering signal;
A diaphragm 220 for adjusting the amount of detection light incident from the condenser lens 210;
A dispersion lens 230 for dispersing the detection light passing through the diaphragm 220; And
A notch filter 240 for removing a frequency of a specific frequency band from the detection light having passed through the dispersion lens 230;
, ≪ / RTI >
The control unit 400 controls the laser beam emitted from the beam transmission unit 100 to have an oscillation frequency of 355 nm through feedback. The laser beam output from the beam transmission unit 100 is synchronized with the digitizer The Q-switch of the laser is used in the controller 400. The Q-switch signal is excited in the state where the Q value of the laser resonator is lowered and enough energy is accumulated in the laser medium, The oscillation starts and the accumulated energy is emitted as optical pulses,
The transforming unit 300 transforms,
A beam splitter 310 for separating detection light output from the light receiving unit 200;
A first band pass filter (320) for passing only the set frequency band with respect to detection light parallel to the incident angle using the beam splitter (310);
A first PMT (Phytomultiplier Tube) 330 for detecting the intensity of detection light having passed through the first band-pass filter 320 using a photoelectron;
A second band pass filter (340) for passing only the set frequency band with respect to the detection light perpendicular to the incident angle using the beam splitter (310);
A second PMT (Photomultiplier Tube) 350 for detecting the intensity of detection light having passed through the second bandpass filter 340 using a photoelectron; And
The first and second band-pass filters 320 and 340 are disposed between the first and second band-pass filters 320 and 340 and the first and second PMTs 330 and 350, (360, 370) for guiding the first and second PMTs (330, 350) to the first and second PMTs (330, 350);
/ RTI >
The first band-pass filter 320 passes a frequency of 416 nm ± 0.15 nm,
The second band-pass filter 340 passes a frequency of 386.7 nm ± 0.15 nm,
The controller 400 is configured to function as a cumulative average to increase the S / N ratio and detect the distribution and concentration of hydrogen and nitrogen contained in the air in the containment building of the nuclear power plant through the received Raman scattering signal Wherein the hydrogen gas detection system comprises:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170108591A KR101848439B1 (en) | 2017-08-28 | 2017-08-28 | Remote detection systems for hydrogen gas |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020170108591A KR101848439B1 (en) | 2017-08-28 | 2017-08-28 | Remote detection systems for hydrogen gas |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR101848439B1 true KR101848439B1 (en) | 2018-04-12 |
Family
ID=61969329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020170108591A KR101848439B1 (en) | 2017-08-28 | 2017-08-28 | Remote detection systems for hydrogen gas |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101848439B1 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004170088A (en) | 2002-11-15 | 2004-06-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Gas component measuring method and device for the same |
| JP3147413U (en) | 2008-10-16 | 2008-12-25 | 功 村上 | Hydrogen gas leak detector at hydrogen storage station |
| WO2009101659A1 (en) * | 2008-02-13 | 2009-08-20 | Shikoku Research Institute Incorporated | Method and apparatus for remote measurement of gas concentration |
| JP2017026599A (en) | 2015-07-22 | 2017-02-02 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Hydrogen gas inspection method and hydrogen gas inspection device |
-
2017
- 2017-08-28 KR KR1020170108591A patent/KR101848439B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004170088A (en) | 2002-11-15 | 2004-06-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Gas component measuring method and device for the same |
| WO2009101659A1 (en) * | 2008-02-13 | 2009-08-20 | Shikoku Research Institute Incorporated | Method and apparatus for remote measurement of gas concentration |
| JP3147413U (en) | 2008-10-16 | 2008-12-25 | 功 村上 | Hydrogen gas leak detector at hydrogen storage station |
| JP2017026599A (en) | 2015-07-22 | 2017-02-02 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | Hydrogen gas inspection method and hydrogen gas inspection device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7683357B2 (en) | Dynamic laser power control for gas species monitoring | |
| US20070024842A1 (en) | Distance measurement device and distance measurement method | |
| JP2005538374A (en) | Coherent absorption difference rider (DIAL) | |
| KR101848441B1 (en) | Remote detection systems for hydrogen gas with calibration function | |
| KR101493198B1 (en) | Automatic optical alignment device for laser absorption spectroscopy gas analyser | |
| CN111122496A (en) | Calibration-free gas concentration measuring device and method | |
| US20080285008A1 (en) | Cars/absorption dual mode electro-optic sensor | |
| US8446587B2 (en) | Flash photolysis system | |
| KR102351685B1 (en) | Airborne Salinity Sensor and Sensor System Using Laser Induced Coupled Plasma Spectroscopy | |
| KR102076997B1 (en) | Raman lidar apparatus for monitoring status of optical axis arragement and method of monitoring status of optical axis arragement | |
| KR101848439B1 (en) | Remote detection systems for hydrogen gas | |
| US7184143B2 (en) | Method for remote sensing of pollutant molecules in a transparent medium using ultra-short intense lasers | |
| KR101901207B1 (en) | Matching method for detecting position of remote detection systems for hydrogen gas | |
| JPH08136455A (en) | Air pollution monitoring method by laser radar and its monitoring device | |
| KR101901206B1 (en) | Remote detection method for hydrogen gas using correlation | |
| KR101409620B1 (en) | Apparatus for Measuring Gas | |
| US20100258533A1 (en) | Method and apparatus for the processing, in particular the separating, of workpieces | |
| KR101682112B1 (en) | Combustion gas measurement system with automatic alignment function for beam | |
| CN114975689B (en) | Coaxial laser processing temperature control system of N-type Topcon battery | |
| KR20190080816A (en) | Inelastic Lidar device for spatially resolved measurement of surface CO2 concentration. | |
| KR20160114445A (en) | Lidar system | |
| CN107076667B (en) | Laser beam blocking element and spectroscopic system comprising such an element | |
| KR20190048851A (en) | Automatic Alignment System for TDLAS of Simultaneous Measurement of Multicomponent Gas | |
| Imaki et al. | Direct-detection Doppler lidar for two-dimensional wind field measurements of the troposphere | |
| JP2006220501A (en) | Measuring instrument for trace amount of component |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant |