JP3851517B2 - 半導体装置およびその製造方法並びにその接合構造 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、柱状電極を備えた半導体装置およびその製造方法並びにその接合構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
図18は従来の半導体装置の接合構造の一例の断面図を示したものである。この半導体装置の接合構造では、CSP(chip size package)と呼ばれる半導体装置1が回路基板21上に搭載されている。半導体装置1は、シリコン等からなる半導体基板2を備えている。半導体基板2の下面周辺部には複数の接続パッド3が形成されている。接続パッド3の中央部を除く下面全体には絶縁膜(パッシベーション膜)4およびポリイミド等からなる保護膜5が形成され、接続パッド3の中央部は絶縁膜4および保護膜5に形成された開口部6を介して露出されている。接続パッド3の中央部下面から保護膜5の下面の所定の箇所にかけて下地金属層7および再配線8が形成されている。再配線8の先端のパッド部下面には柱状電極9が形成されている。柱状電極9を除く下面全体には樹脂封止膜10が形成されている。柱状電極9の下面には半田ボール11が形成されている。
【0003】
そして、半導体装置1は、半田ボール11が回路基板21の上面に形成された接続端子22に接合された状態で、樹脂封止膜10の下面等が回路基板21の上面に樹脂封止膜23を介して接着されていることにより、回路基板21上に搭載されている。この場合、樹脂封止膜23は、半導体装置1の半田ボール11を回路基板21の接続端子22に接合した後に、液状樹脂のサイドポッティング法により形成されている。
【0004】
ここで、樹脂封止膜10、23の役目について説明する。半導体チップ1を回路基板21上に搭載した後において、温度サイクル等の試験を行うと、半導体基板2と回路基板21との間の熱膨張係数差に起因して応力が生じる。そこで、樹脂封止膜10は、再配線8の先端のパッド部と柱状電極9との界面に応力集中が生じるのを防止して、当該界面にクラックが発生するのを防止するためのものである。樹脂封止膜23は、柱状電極9と半田ボール11との界面に応力集中が生じるのを防止して、当該界面にクラックが発生するのを防止するためのものである。
【0005】
次に、上記半導体装置1の製造方法の一例について説明する。まず、図19に示すように、ウエハ状態のシリコン基板からなる半導体基板2の上面(図18では下面)周辺部に複数の接続パッド3が形成され、その上面の接続パッド3の中央部を除く部分に絶縁膜4および保護膜5が形成され、絶縁膜4および保護膜5に形成された開口部6を介して露出された接続パッド3の中央部上面を含む保護膜5の上面にスパッタ法により下地金属層形成用層(この場合、下側の銅層と上側のチタン−タングステン合金層との2層構造)7Aが形成され、その上面の所定の箇所にメッキレジスト層24が形成され、メッキレジスト層24に形成された開口部25内における下地金属層形成用層7Aの上面に下地金属層形成用層7Aをメッキ電流路とした電解メッキ法により銅からなる再配線8が形成されたものを用意する。次に、メッキレジスト層24を剥離する。
【0006】
次に、図20に示すように、再配線8の先端のパッド部を除く上面全体にドライフィルムレジストからなるメッキレジスト層26を形成する。したがって、この状態では、メッキレジスト層26の再配線8の先端のパッド部に対応する部分には開口部27が形成されている。次に、メッキレジスト層26の開口部27内における再配線8の先端のパッド部上面に下地金属層形成用層7Aをメッキ電流路とした電解メッキ法により銅からなる柱状電極9を形成する。次に、メッキレジスト層26を剥離する。次に、再配線8をマスクとして下地金属層形成用層7Aをエッチングすると、図21に示すように、再配線8下に下地金属層7が形成される。
【0007】
次に、図22に示すように、柱状電極9等を含む上面全体にトランスファモールド法、ディスペンサ法、印刷法等によりエポキシ樹脂からなる樹脂封止膜10を厚さが柱状電極9の高さよりもやや厚くなるように形成する。したがって、この状態では、柱状電極9の上面は樹脂封止膜10によっ覆われている。次に、樹脂封止膜10の上面側を適宜に研磨することにより、図23に示すように、柱状電極9の上面を露出させる。次に、図24に示すように、柱状電極9の上面に半田ボール11を形成する。次に、ダイシング工程を経ると、図18に示す個片の半導体装置1が得られる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のこのような半導体装置1の製造方法では、図20に示すように、メッキレジスト層26を用いた電解メッキ法により柱状電極9を形成し、次いでメッキレジスト層26を剥離し、次いで図21に示すように、エッチングにより再配線8下に下地金属層7を形成し、次いで図22に示すように、樹脂封止膜10を形成し、次いで図23に示すように、樹脂封止膜10の上面側を研磨し、次いで図24に示すように、柱状電極9の上面に半田ボール11を形成し、次いでダイシング工程を行っているので、特に、メッキ装置、樹脂封止膜形成装置、研磨装置、半田ボール形成装置等が必要であり、設備費が嵩んでしまう。また、ウエハ状態での工程が長いので、個片の半導体装置1が検査により不良品と判定された場合、その不良品に対する材料(柱状電極9、樹脂封止膜10、半田ボール11等)が無駄となり、ひいてはコスト高となってしまう。
【0009】
また、上記従来の半導体装置1の製造方法において、図20に示すメッキレジスト層26をドライフィルムレジストによって形成しているのは、液状のレジストを塗布する場合と比較して、その厚さを厚くすることができ、ひいては柱状電極9の高さをより一層高くするためである。しかしながら、現状における柱状電極9の高さhは、電解メッキ時における気泡の混入等の問題もあるが、最大でも150μm程度が限界である。一方、再配線8の先端のパッド部のピッチが500μmである場合、柱状電極9の径φは最大でも一般的にその半分の250μm程度である。したがって、アスペクト比(h/φ)は、最大でも、150/250=0.6程度であり、柱状電極9自体による応力吸収がどちらかと言えば小さいと言わざるを得ない。
【0010】
このため、上記従来の半導体装置1の接合構造では、上述の如く、応力集中を防止するため、樹脂封止膜10、23を備えている。ところで、半導体装置1のサイズが5mm角以下である場合には、樹脂封止膜10は必要であるが、樹脂封止膜23を省略しても、あまり問題はない。しかし、この場合でも、樹脂封止膜10を必要とするので、その分だけ材料費および工程数が増加し、コスト高となってしまう。一方、半導体装置1のサイズが5mm角よりも大きい場合には、樹脂封止膜23を省略すると、柱状電極9と半田ボール11との界面にクラツクが発生しやすくなってしまう。このため、半導体装置1のサイズが5mm角よりも大きい場合には、樹脂封止膜10を備えているにも拘らず、さらに樹脂封止膜23が必要となり、材料費および工程数がさらに増加し、より一層コスト高となってしまう。
【0011】
この発明の課題は、柱状電極を備えた半導体装置を製造するための設備費およびそのウエハ状態での工程数を低減することである。
この発明の他の課題は、半導体装置の柱状電極自体による応力吸収を大きくすることである。
この発明のさらに他の課題は、半導体装置自体およびその接合構造において樹脂封止膜を不要とすることである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明に係る半導体装置は、半導体基板上に形成された外部接続端子上に柱状電極が形成された半導体装置であって、前記柱状電極は、弾性変形可能な第1の金属からなる複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数であって前記第1の金属よりも硬質の第2の金属からなる第2の金属柱とが交互に積層され、且つ、前記第2の金属柱の高さが前記第1の金属柱の高さよりも高くなっているものからなることを特徴とするものである。
請求項2に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1に記載の発明において、前記複数の第1の金属柱のうち最下層の第1の金属柱は、前記外部接続端子に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材を介して接合されていることを特徴とするものである。
請求項3に記載の発明に係る半導体装置は、請求項2に記載の発明において、前記複数の第1の金属柱のうち最上層の第1の金属柱上に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材層が形成されていることを特徴とするものである。
請求項4に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部であることを特徴とするものである。
請求項5に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部上に形成された接続端子であることを特徴とするものである。
請求項6に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1〜5のいずれかに記載の発明において、前記柱状電極の周囲には樹脂封止膜が設けられていないことを特徴とするものである。
請求項7に記載の発明に係る半導体装置は、請求項1〜6のいずれかに記載の発明において、前記柱状電極は、1つの前記第2の金属柱の上下に前記第1の金属柱が積層されたものからなることを特徴とするものである。
請求項8に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、弾性変形可能な第1の金属からなる複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数であって前記第1の金属よりも硬質の第2の金属からなる第2の金属柱とが交互に積層され、且つ、前記第2の金属柱の高さが前記第1の金属柱の高さよりも高くなっているものからなる柱状電極を剥離層に打ち込み、この状態で前記複数の第1の金属柱のうち最下層の第1の金属柱を半導体基板上に形成された外部接続端子に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材を介して接合することを特徴とするものである。
請求項9に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項8に記載の発明において、前記第1の金属柱を前記接合材を介して前記外部接続端子に接合した後、前記剥離層を剥離することを特徴とするものである。
請求項10に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項8に記載の発明において、前記最下層の第1の金属柱を前記接合材を介して前記外部接続端子に接合すると同時に、または接合した後、前記剥離層を加熱して、前記半導体基板に密着する保護膜とすることを特徴とするものである。
請求項11に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項8〜10のいずれかに記載の発明において、前記接合材は当初は前記最下層の第1の金属柱下に形成されていることを特徴とするものである。
請求項12に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項11に記載の発明において、前記第1の金属柱は前記第2の金属柱を挟んで上下に形成されていることを特徴とするものである。
請求項13に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項8に記載の発明において、前記柱状電極を前記剥離層に打ち込む工程は、前記第1の金属からなる複数の第1の金属層とそれよりも1つ少ない数であって前記第2の金属からなる第2の金属層とが交互に積層された積層体とされ、該積層体の最上層の第1の金属層上に前記低融点金属からなる第1の低融点金属層が積層され、最下層の第1の金属層下に前記接合材を形成するための前記低融点金属からなる第2の低融点金属層、前記剥離層および別の剥離層がこの順で積層されるように配置し、前記第1の低融点金属層および前記積層体からの第1の打ち抜き片および前記第2の低融点金属層からの第2の打ち抜き片が前記剥離層および前記別の剥離層に支持され且つ前記剥離層および前記別の剥離層からの第3の打ち抜き片が脱落するように打ち抜く工程であることを特徴とするものである。
請求項14に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項13に記載の発明において、前記第2の打ち抜き片が前記剥離層の下面から突き出るように打ち抜くことを特徴とするものである。
請求項15に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項8に記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部であることを特徴とするものである。
請求項16に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項8に記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部上に形成された接続端子であることを特徴とするものである。
請求項17に記載の発明に係る半導体装置の製造方法は、請求項8に記載の発明において、前記半導体基板はウエハ状態のものであることを特徴とするものである。
請求項18に記載の発明に係る半導体装置の接合構造は、半導体基板下に形成された外部接続端子下に形成された、弾性変形可能な第1の金属からなる複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数であって前記第1の金属よりも硬質の第2の金属からなる第2の金属柱とが交互に積層され、且つ、前記第2の金属柱の高さが前記第1の金属柱の高さよりも高くなっているものからなる柱状電極を有する半導体装置の前記複数の第1の金属柱のうち最下層の第1の金属柱が回路基板上に形成された接続端子に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材を介して接合されていることを特徴とするものである。
請求項19に記載の発明に係る半導体装置の接合構造は、請求項18に記載の発明において、前記複数の第1の金属柱のうち最上層の第1の金属柱は前記外部接続端子に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材を介して接合されていることを特徴とするものである。
請求項20に記載の発明に係る半導体装置の接合構造は、請求項18または19に記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部であることを特徴とするものである。
請求項21に記載の発明に係る半導体装置の接合構造は、請求項18または19に記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部上に形成された接続端子であることを特徴とするものである。
請求項22に記載の発明に係る半導体装置の接合構造は、請求項18〜21のいずれかに記載の発明において、前記柱状電極の周囲には樹脂封止膜が設けられていないことを特徴とするものである。
請求項23に記載の発明に係る半導体装置の接合構造は、請求項22に記載の発明において、前記半導体装置と前記回路基板との間には樹脂封止膜が設けられていないことを特徴とするものである。
請求項24に記載の発明に係る半導体装置の接合構造は、請求項18〜23のいずれかに記載の発明において、前記柱状電極は、1つの前記第2の金属柱の上下に前記第1の金属柱が積層されたものからなることを特徴とするものである。
そして、この発明に係る半導体装置およびその製造方法によれば、弾性変形可能な複数の第1の金属層とそれよりも1つ少ない数であってそれよりも硬質の第2の金属層とが交互に積層された積層体に対して打ち抜く等の処理を施すことにより、複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数の第2の金属柱とを交互に積層してなる柱状電極を形成しているので、従来の電解メッキ処理等により柱状電極を形成する場合と比較して、柱状電極を備えた半導体装置を製造するための設備費およびそのウエハ状態での工程数を低減することができる。
また、この発明に係る半導体装置およびその製造方法によれば、弾性変形可能な複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数であってそれよりも硬質の第2の金属柱とを交互に積層してなる柱状電極を形成しているので、第2の金属柱よりも軟質の複数の第1の金属柱が弾性変形して傾斜することにより、柱状電極自体による応力吸収を大きくすることができる。この結果、請求項6、22、23に記載の発明の如く、半導体装置自体およびその接合構造において樹脂封止膜を不要とすることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
(第1実施形態)
図1はこの発明の第1実施形態としての半導体装置の接合構造の断面図を示したものである。この半導体装置の接合構造では、CSPと呼ばれる半導体装置31が回路基板51上に搭載されている。半導体装置31は、シリコン等からなる半導体基板32を備えている。半導体基板32の下面周辺部には複数の接続パッド33が形成されている。接続パッド33の中央部を除く下面全体には絶縁膜(パッシベーション膜)34およびポリイミド等からなる保護膜35が形成され、接続パッド33の中央部は絶縁膜34および保護膜35に形成された開口部36を介して露出されている。接続パッド33の中央部下面から保護膜35の下面の所定の箇所にかけて下地金属層37および再配線38が形成されている。
【0014】
再配線38の先端の平面円形状のパッド部(外部接続端子)の下面中央部には鉛や亜鉛等の軟質金属からなる第1の軟質金属柱41が形成されている。第1の軟質金属柱41は、その外周面からその周囲における再配線38の先端のパッド部下面にかけて形成された、軟質金属よりも低融点の半田や錫等の金属からなる第1の接合材42を介して、再配線38の先端のパッド部下面に接合されている。第1の軟質金属柱41の下面には銅やニッケル等の硬質金属からなる硬質金属柱43が形成されている。硬質金属柱43の下面には鉛や亜鉛等の軟質金属からなる第2の軟質金属柱44が形成されている。ここで、第1の軟質金属柱41、硬質金属柱43および第2の軟質金属柱44により、柱状電極40が構成されている。また、硬質金属柱43の高さは第1および第2の軟質金属柱41、44の高さよりもかなり高くなっている。
【0015】
そして、半導体装置31は、第2の軟質金属柱44が回路基板51の上面に形成された接続端子52の上面に軟質金属よりも低融点の半田や錫等の金属からなる第2の接合材45を介して接合されていることにより、回路基板51上に搭載されている。この場合、第2の接合材45は、第2の軟質金属柱44の外周面からその周囲における接続端子52の上面にかけて形成されている。
【0016】
次に、上記半導体装置31の製造方法の一例について説明する。まず、図2に示すように、ウエハ状態のシリコン基板からなる半導体基板32の上面(図1では下面)周辺部に複数の接続パッド33が形成され、その上面の接続パッド33の中央部を除く部分に絶縁膜34および保護膜35が形成され、絶縁膜34および保護膜35に形成された開口部36を介して露出された接続パッド33の中央部上面を含む保護膜35の上面にスパッタ法により下地金属層形成用層(この場合、下側の銅層と上側のチタン−タングステン合金層との2層構造)37Aが形成され、その上面の所定の箇所にメッキレジスト層61が形成され、メッキレジスト層61に形成された開口部62内における下地金属層形成用層37Aの上面に下地金属層形成用層37Aをメッキ電流路とした電解メッキ法により銅からなる再配線38が形成されたものを用意する。次に、メッキレジスト層61を剥離する。次に、再配線38をマスクとして下地金属層形成用層37Aをエッチングすると、図3に示すように、再配線38下に下地金属層37が形成される。
【0017】
一方、図4に示すように、図1に示す第1の接合材42を形成するための半田や錫等の低融点金属からなる第1の低融点金属層42A、図1に示す第1の軟質金属柱41を形成するための鉛や亜鉛等の軟質金属からなる第1の軟質金属層41A、図1に示す硬質金属柱43を形成するための銅やニッケル等の硬質金属からなる硬質金属層43A、図1に示す第2の軟質金属柱44を形成するための鉛や亜鉛等の軟質金属からなる第2の軟質金属層44A、図1に示す第2の接合材46を形成するための半田や錫等の低融点金属からなる第2の低融点金属層45Aを用意する。この場合、これらの金属層42A、41A、43A、44A、45Aは相互に熱圧着されている。
【0018】
また、PET(ポリエチレンテレフタレート)等からなる第1および第2の剥離層63、64を用意する。この場合、第1の剥離層63の厚さは、第2の低融点金属層45A、第2の軟質金属層44Aおよび硬質金属層43Aの合計厚さとほぼ同じとなっている。第2の剥離層64の厚さは、第1の軟質金属層41Aおよび第1の低融点金属層42Aの合計厚さとほぼ同じとなっている。
【0019】
さらに、この場合の製造方法では、図4に示すように、打ち抜き用の上金型65および下金型67を用いる。上金型65の下面および下金型67には、図3に示す再配線38の先端のパッド部の上面中央部に対応する位置に平面円形状の突起66および貫通孔68が設けられている。この場合、上金型65の突起66の高さは、5層の金属層45A、44A、43A、41A、42Aの合計厚さとほぼ同じであるが、それよりもやや高くなるようにしてもよい。
【0020】
さて、図1に示す半導体装置31を製造する場合には、まず、図4に示すように、下金型67の上面に第2の剥離層64、第1の剥離層63および5層の金属層42A、41A、43A、44A、45Aをこの順で積層する。次に、上金型65を下降させる。すると、図5に示すように、上金型65の突起66により5層の金属層45A、44A、43A、41A、42Aが打ち抜かれ、その打ち抜き片71により第1および第2の剥離層63、64が打ち抜かれ、それらの打ち抜き片72が下金型67の貫通孔68から排出される。これにより、第1および第2の剥離層63、64に貫通孔73が形成され、且つ、当該貫通孔73内に打ち抜き片71が埋め込まれる。
【0021】
この状態では、上金型65の突起66の下面が第1の剥離層63の上面とほぼ同一面となり、打ち抜き片71の上面が第1の剥離層63の上面とほぼ同一面となる。また、打ち抜き片71の下面が第2の剥離層64の下面とほぼ同一面となる。さらに、打ち抜き片71のうち上側の3層は第1の剥離層63の貫通孔73内に埋め込まれ、下側の2層は第2の剥離層64の貫通孔73内に埋め込まれている。
【0022】
次に、上金型65を上昇させ、5層の金属層42A、41A、43A、44A、45Aを取り出し、また打ち抜き片71を含む第1および第2の剥離層63、64を取り出す。5層の金属層42A、41A、43A、44A、45Aは、ここで用済みとなる。次に、第2の剥離層64を剥離すると、図6に示すように、打ち抜き片71のうち下側の2層が第1の剥離層63の下面側に突出される。ここで、打ち抜き片71は、下から上に向かって、第1の低融点接合材層42a、第1の軟質金属柱41、硬質金属柱43、第2の軟質金属柱44および第2の低融点接合材層45aの5層構造となっている。
【0023】
次に、図7に示すように、図3に示すものを加熱板74の上面に載置し、その上面に図6に示すものを位置合わせして載置し、その上面に単なる重りあるいは加圧機能を有する加圧板75を載置する。この状態では、打ち抜き片71のうち最下層の第1の低融点接合材層42aは再配線38の先端の平面円形状のパッド部の上面中央部に載置されている。
【0024】
次に、加熱板74による加熱により、打ち抜き片71のうち最下層の第1の低融点接合材層42aのみを溶融させると、図8に示すように、加圧板75による加圧により、打ち抜き片71のうち下から2層目の第1の軟質金属柱41の下面が溶融した第1の接合材42を押し退けて再配線38の先端のパッド部の上面中央部に当接され、且つ、第1の軟質金属柱41の外周面からその周囲における再配線38の先端のパッド部上面にかけて第1の接合材42が形成される。
【0025】
次に、加圧板75を上昇させ、第1の接合材42が固化した後に第1の剥離層63を剥離すると、図9に示すものが得られる。この状態では、第1の軟質金属柱41は、その外周面からその周囲における再配線38の先端のパッド部上面にかけて固着された第1の接合材42を介して再配線38の先端のパッド部上面に接合されている。また、硬質金属柱43、第2の軟質金属柱44および第2の低融点接合材層45aは第1の接合材42の上面側に突出されている。次に、ダイシング工程を経ると、図10に示す個片の半導体装置31が得られる。
【0026】
次に、図10に示す半導体装置31を図1に示す回路基板51上に搭載する場合について説明する。まず、図11に示すように、図1に示す回路基板51を加熱板76(図8に示す加熱板74と同じものであってもよい。)の上面に載置し、その上面に図10に示す半導体装置31の上下を反転してなるものを位置合わせして載置し、その上面に単なる重りあるいは加圧機能を有する加圧板77(図8に示す加圧板75と同じものであってもよい。)を載置する。この状態では、第2の低融点接合材層45aは平面円形状の接続端子52の上面中央部に載置されている。
【0027】
次に、加熱板76による加熱により、第2の低融点接合材層45aのみを溶融させると、加圧板77による加圧により、図1に示すように、第2の軟質金属柱44の下面が溶融した第2の接合材45を押し退けて接続端子52の上面中央部に当接され、且つ、第2の軟質金属柱44の外周面からその周囲における接続端子52の上面にかけて第2の接合材45が形成される。かくして、図1に示すものが得られる。
【0028】
ところで、上述の半導体装置31の製造方法では、図3に示すように、エッチングにより再配線38下に下地金属層37を形成し、次いでその上に、図7に示すように、ウエハ状態の半導体基板32とは無関係な打ち抜き工程等により形成された図6に示すものを載置し、次いで図8に示すように、加熱処理により第1の軟質金属柱41を再配線38の先端のパッド部に第1の接合材42を介して接合し、次いで第1の剥離層63を剥離することにより、図9に示すように、第1の軟質金属柱41、硬質金属柱43および第2の軟質金属柱44からなる柱状電極40を形成しているので、ウエハ状態での工程数を低減することができる。また、特に、打ち抜き装置と加熱装置を用意すればよく、従来のように、メッキ装置、樹脂封止膜形成装置、研磨装置、半田ボール形成装置等を必要とせず、設備費を低減することができる。
【0029】
また、第1の軟質金属柱41、硬質金属柱43および第2の軟質金属柱44からなる柱状電極40を打ち抜きにより形成しているので、柱状電極40の高さhをかなり高くすることが可能であり、最低でも、500μm程度とすることができる。一方、再配線38の先端のパッド部のピッチが500μmである場合、柱状電極40の径φは最大でも一般的にその半分の250μm程度である。したがって、アスペクト比(h/φ)は、最低でも、500/250=2程度であり、柱状電極40自体による応力吸収を大きくすることができる。
【0030】
しかも、この場合、柱状電極40は第1の軟質金属柱41、硬質金属柱43および第2の軟質金属柱44の3層構造であるので、例えば図12に示すように、半導体基板32と回路基板51との間の熱膨張差に起因して発生する応力により、再配線38の先端のパッド部と接続端子52との間にある程度のずれが生じても、第1および第2の軟質金属柱41、44が適宜に弾性変形して傾斜することにより、より大きな応力を吸収することができる。
【0031】
この結果、半導体装置31のサイズが5mm角よりも大きくなり、且つ、図18に示すような樹脂封止膜10、23が無くても、第1の軟質金属層41と再配線38の先端のパッド部との間および第2の軟質金属柱44と接続端子52との間にクラックが発生しにくいようにすることができる。したがって、図18に示すような樹脂封止膜10、23を省略することにより、材料費および工程数が減少し、コストを低減することができる。
【0032】
なお、上記実施形態では、図7〜図9に示すように、ウエハ状態の半導体基板32上に柱状電極40を形成する場合について説明したが、これに限定されるものではない。すなわち、上述の如く、ウエハ状態での工程数を低減することができるので、図3に示す状態においてダイシングして個々の半導体チップに分断し、検査により良品と判定された半導体チップのみに対して、図7〜図9に示すような工程を行うようにしてもよい。このようにした場合には、検査により不良品と判定された半導体チップに対して、図7〜図9に示すような工程は行わないので、それに伴う材料費を節約することができる。
【0033】
(第2実施形態)
上記第1実施形態では、図1に示すように、柱状電極40を第1の軟質金属柱41、硬質金属柱43および第2の軟質金属柱44によって構成した場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図13に示すこの発明の第2実施形態のように、柱状電極40を4つ(複数)の軟質金属柱40aと3つ(それよりも1つ少ない数)の硬質金属柱40bとを交互に積層してなるものによって構成してもよい。
【0034】
この場合、図4に対応する工程では、図14に示すように、4つの軟質金属層40Aと3つの硬質金属層40Bとを交互に積層してなる積層体のうち最下層の軟質金属層40Aの下面に第1の低融点接合材層42Aが積層され、最上層の軟質金属層40Aの上面に第2の低融点接合材層45Aが積層されたものを第1の剥離層63の上面に積層すればよい。なお、この場合の第1の剥離層63の厚さは、上記積層体のうち最下層の軟質金属層40Aを除く部分の厚さとほぼ同じである。第2の剥離層64の厚さは、最下層の軟質金属層40Aおよび第1の低融点接合材層42Aの合計厚さとほぼ同じである。
【0035】
そして、この場合の柱状電極40は4つの軟質金属柱40aと3つの硬質金属柱40bとを交互に積層してなる7層構造であるので、例えば図15に示すように、半導体基板32と回路基板51との間の熱膨張差に起因して発生する応力により、再配線38の先端のパッド部と接続端子52との間にある程度のずれが生じた場合には、4つの軟質金属柱40Aが適宜に弾性変形して傾斜することにより、より一層大きな応力を吸収することができる。
【0036】
(第3、第4実施形態)
上記第1および第2実施形態では、図1および図13にそれぞれ示すように、再配線38の先端のパッド部下に柱状電極40を形成した場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、図16および図17にそれぞれ示すこの発明の第3および第4実施形態のようにしてもよい。すなわち、再配線38の先端のパッド部を除く下面全体にはポリイミド等からなる層間絶縁膜81が形成され、再配線38の先端のパッド部は層間絶縁膜81に形成された平面円形状の開口部82を介して露出されている。再配線38の先端のパッド部下面およびその周囲の層間絶縁膜81の下面には平面円形状の外部接続端子83が形成されている。そして、柱状電極40の最上層の軟質金属柱41、40Aは外部接続端子83に第1の接合材42を介して接合されている。
【0037】
(その他の実施形態)
なお、上記第1〜第4の実施形態では、いずれも柱状電極40を外部接続端子52に接合した後、剥離層63を剥離するものとした。しかしながら、剥離層63としてポリイミド樹脂やビスマレイミド樹脂等を用い、第1の軟質金属柱41を接合材42を介して再配線38の先端のパッド部上面に接合する際、これと同時に、あるいは接合した後に再度加熱板により加熱して剥離層63を溶融し、半導体基板32の上面に密着する保護膜(図18の樹脂封止膜10に対応)とするようにしてもよい。また、 例えば、図7に示す工程において、第1の低融点接合材層42aを、打ち抜き片71の下部ではなく、再配線38の先端のパッド部上に予め形成しておくようにしてもよい。また、図11に示す工程において、第2の低融点接合材層45aを、第2の軟質金属柱44下ではなく、接続端子52上に予め形成しておくようにしてもよい。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明に係る半導体装置およびその製造方法によれば、弾性変形可能な複数の第1の金属層とそれよりも1つ少ない数であってそれよりも硬質の第2の金属層とが交互に積層された積層体に対して打ち抜く等の処理を施すことにより、複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数の第2の金属柱とを交互に積層してなる柱状電極を形成しているので、従来の電解メッキ処理等により柱状電極を形成する場合と比較して、柱状電極を備えた半導体装置を製造するための設備費およびそのウエハ状態での工程数を低減することができる。
また、この発明に係る半導体装置およびその製造方法によれば、弾性変形可能な複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数であってそれよりも硬質の第2の金属柱とを交互に積層してなる柱状電極を形成しているので、第2の金属柱よりも軟質の複数の第1の金属柱が弾性変形して傾斜することにより、柱状電極自体による応力吸収を大きくすることができる。この結果、請求項6、22、23に記載の発明の如く、半導体装置自体およびその接合構造において樹脂封止膜を不要とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1実施形態としての半導体装置の接合構造の断面図。
【図2】図1に示す半導体装置の製造に際し、当初用意したものを説明するために示す断面図。
【図3】図2に続く工程の断面図。
【図4】図1に示す半導体装置の製造に際し、当初用意した別のものを説明するとともに所定の工程を説明するために示す断面図。
【図5】図4に続く工程の断面図。
【図6】図5に続く工程の断面図。
【図7】図6に続く工程の断面図。
【図8】図7に続く工程の断面図。
【図9】図8に続く工程の断面図。
【図10】図9に続く工程の断面図。
【図11】図10に示す半導体装置を図1に示す回路基板上に搭載する場合を説明するために示す断面図。
【図12】図1に示す半導体装置の接合構造において柱状電極による応力吸収を説明するために示す断面図。
【図13】この発明の第2実施形態としての半導体装置の接合構造の断面図。
【図14】図13に示す半導体装置の製造に際し、所定の工程を説明するために示す図4同様の断面図。
【図15】図13に示す半導体装置の接合構造において柱状電極による応力吸収を説明するために示す断面図。
【図16】この発明の第3実施形態としての半導体装置の接合構造の断面図。
【図17】この発明の第4実施形態としての半導体装置の接合構造の断面図。
【図18】従来の半導体装置の接合構造の一例の断面図。
【図19】図18に示す半導体装置の製造に際し、当初用意したものを説明するために示す断面図。
【図20】図19に続く工程の断面図。
【図21】図20に続く工程の断面図。
【図22】図21に続く工程の断面図。
【図23】図22に続く工程の断面図。
【図24】図23に続く工程の断面図。
【符号の説明】
31 半導体基板
32 接続パッド
38 再配線
40 柱状電極
41 第1の軟質金属柱
42 第1の接合材
43 硬質金属柱
44 第2の軟質金属柱
45 第2の接合材
51 回路基板
52 接続端子
Claims (24)
- 半導体基板上に形成された外部接続端子上に柱状電極が形成された半導体装置であって、前記柱状電極は、弾性変形可能な第1の金属からなる複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数であって前記第1の金属よりも硬質の第2の金属からなる第2の金属柱とが交互に積層され、且つ、前記第2の金属柱の高さが前記第1の金属柱の高さよりも高くなっているものからなることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の発明において、前記複数の第1の金属柱のうち最下層の第1の金属柱は、前記外部接続端子に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材を介して接合されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項2に記載の発明において、前記複数の第1の金属柱のうち最上層の第1の金属柱上に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材層が形成されていることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部上に形成された接続端子であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1〜5のいずれかに記載の発明において、前記柱状電極の周囲には樹脂封止膜が設けられていないことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1〜6のいずれかに記載の発明において、前記柱状電極は、1つの前記第2の金属柱の上下に前記第1の金属柱が積層されたものからなることを特徴とする半導体装置。
- 弾性変形可能な第1の金属からなる複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数であって前記第1の金属よりも硬質の第2の金属からなる第2の金属柱とが交互に積層され、且つ、前記第2の金属柱の高さが前記第1の金属柱の高さよりも高くなっているものからなる柱状電極を剥離層に打ち込み、この状態で前記複数の第1の金属柱のうち最下層の第1の金属柱を半導体基板上に形成された外部接続端子に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材を介して接合することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項8に記載の発明において、前記第1の金属柱を前記接合材を介して前記外部接続端子に接合した後、前記剥離層を剥離することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項8に記載の発明において、前記最下層の第1の金属柱を前記接合材を介して前記外部接続端子に接合すると同時に、または接合した後、前記剥離層を加熱して、前記半導体基板に密着する保護膜とすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項8〜10のいずれかに記載の発明において、前記接合材は当初は前記最下層の第1の金属柱下に形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項11に記載の発明において、前記第1の金属柱は前記第2の金属柱を挟んで上下に形成されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項8に記載の発明において、前記柱状電極を前記剥離層に打ち込む工程は、前記第1の金属からなる複数の第1の金属層とそれよりも1つ少ない数であって前記第2の金属からなる第2の金属層とが交互に積層された積層体とされ、該積層体の最上層の第1の金属層上に前記低融点金属からなる第1の低融点金属層が積層され、最下層の第1の金属層下に前記接合材を形成するための前記低融点金属からなる第2の低融点金属層、前記剥離層および別の剥離層がこの順で積層されるように配置し、前記第1の低融点金属層および前記積層体からの第1の打ち抜き片および前記第2の低融点金属層からの第2の打ち抜き片が前記剥離層および前記別の剥離層に支持され且つ前記剥離層および前記別の剥離層からの第3の打ち抜き片が脱落するように打ち抜く工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項13に記載の発明において、前記第2の打ち抜き片が前記剥離層の下面から突き出るように打ち抜くことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項8に記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項8に記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部上に形成された接続端子であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項8に記載の発明において、前記半導体基板はウエハ状態のものであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 半導体基板下に形成された外部接続端子下に形成された、弾性変形可能な第1の金属からなる複数の第1の金属柱とそれよりも1つ少ない数であって前記第1の金属よりも硬質の第2の金属からなる第2の金属柱とが交互に積層され、且つ、前記第2の金属柱の高さが前記第1の金属柱の高さよりも高くなっているものからなる柱状電極を有する半導体装置の前記複数の第1の金属柱のうち最下層の第1の金属柱が回路基板上に形成された接続端子に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材を介して接合されていることを特徴とする半導体装置の接合構造。
- 請求項18に記載の発明において、前記複数の第1の金属柱のうち最上層の第1の金属柱は前記外部接続端子に前記第1の金属よりも低融点の金属からなる接合材を介して接合されていることを特徴とする半導体装置の接合構造。
- 請求項18または19に記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部であることを特徴とする半導体装置の接合構造。
- 請求項18または19に記載の発明において、前記外部接続端子は、前記半導体基板上に形成された再配線の先端のパッド部上に形成された接続端子であることを特徴とする半導体装置の接合構造。
- 請求項18〜21のいずれかに記載の発明において、前記柱状電極の周囲には樹脂封止膜が設けられていないことを特徴とする半導体装置の接合構造。
- 請求項22に記載の発明において、前記半導体装置と前記回路基板との間には樹脂封止膜が設けられていないことを特徴とする半導体装置の接合構造。
- 請求項18〜23のいずれかに記載の発明において、前記柱状電極は、1つの前記第2の金属柱の上下に前記第1の金属柱が積層されたものからなることを特徴とする半導体装置の接合構造。
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