JP3848884B2 - 駆動装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、可動子と固定子からなる駆動装置に関わるものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、リニアモータに代表される直線駆動を利用した駆動装置の需要が増大している。リニアモータは、直線駆動が必要とされる分野では回転モータと比較して高速度・高精度位置決めが可能,保守が容易である等の利点を有しており、特に半導体製造装置,工作機械等の分野で需要が高い。しかし、それらの分野に限らず、上記利点を活かした他の用途にも利用されていくことが予想される。
【0003】
リニアモータには様々な方式がある。例えば、特開平10−174418号公報(以下、従来例1と呼ぶ)には、固定子をコイルを巻いた複数のC型鉄心、可動子を永久磁石を複数配置した板状のもので構成し、可動子を固定子鉄心のギャップ間に配置したリニアモータが記載されている。また、特開2001−28875号公報(以下、従来例2と呼ぶ)には、製造の容易化,省スペース化及び電力効率の向上を図るために固定子側に巻くコイルを一本だけとし、固定子には2種類の形状の鉄心を一つおきに同種のものとなるように複数配置したリニアモータが記載されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来例のリニアモータを工作機械,搬送装置等に使用した場合、可動子を支持する支持部と可動子との接触部の摩擦による磨耗によって可動子が損傷し、可動子を頻繁に交換する必要が生じる。また、可動子の損傷を防止するために可動子に磨耗に強い材料を使用すると、可動子の重量が重くなり、駆動装置の効率が低下するという課題があった。
【0005】
本発明の目的は、可動子の接触部における磨耗による損傷を低減し、保守性の良い駆動装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記課題を達成するために、本発明の駆動装置は、上部磁極歯と下部磁極歯とが対向する第一の対向部を有し、磁性体を有する第一のコアと上部磁極歯と下部磁極歯とが対向する第二の対向部を有し、磁性体を有する第二のコアとを備え、前記第一のコアと前記第二のコアは互い違いに配置され、かつ、前記第一の対向部と前記第二の対向部の磁極の向きが対向する電機子と、前記第一の対向部の間及び前記第二の対向部の間に永久磁石を有する二次側部材を備えた駆動装置において、前記二次側部材の上方には前記第一のコアに配置される上部磁極歯と前記第二のコアに配置される上部磁極歯が交互に配置され、前記二次側部材の下方には前記第一のコアに配置される下部磁極歯と前記第二のコアに配置される下部磁極歯が交互に配置され、前記第一のコアと前記第二のコアに共通にコイルが巻かれ、前記上部磁極歯側、及び前記下部磁極歯側で前記二次側部材の移動方向の端部に前記二次側部材を移動可能に支持する支持部材が配置され、前記二次側部材は前記永久磁石を保持する第1の部材と、該第1の部材の移動方向に沿って、前記第1の部材に接合された第2の部材を有し、前記第2の部材の硬度を、前記第1の部材の硬度よりも高くして、前記第2の部材は前記支持部材と接触することを特徴とするものである。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は、比較例の駆動装置の全体図である。図1において、可動子6はローラベアリング1によりx方向に移動可能に支持されている。ローラベアリング1は、ケース9に回転可能に取り付けられている。ケース9の内側にはリニアモータの固定子3(図示せず)が支持部材により固定的に取り付けられている。図2に比較例に用いられるリニアモータを示す。図2(a)は、リニアモータの磁束の流れを示す図、図2(b)は、リニアモータの全体図である。可動子6は、リニアモータの二次側に相当し複数の永久磁石34がN極,S極が交互になるように配置されている。固定子3は、リニアモータの一次側(コイルを巻いた磁性体を有する側)に相当し、コア51,52とコイル4から構成される。第1のコア
51は、第1の対向部41を有し、第2のコア52は、第2の対向部42を有する。コア51,52は磁性体で構成され、コア51とコア52には、上部と下部の磁極が互い違いになるように構成されている。ここで、コア51の上部磁極歯11aと下部磁極歯21bを第1の対向部41と定義し、コア52の下部磁極歯12bと上部磁極歯22aを第2の対向部42と定義する。よって、(2n−1)番目のコアは、第1の対向部41、(2n)番目のコアは、第2の対向部42を有するように固定子3を構成する(但し、n=1,2,3,……)。コア51,52の各対向部の上部磁極歯と下部磁極歯の間に一定のギャップ8を設け、ギャップ8に可動子6を通すと、可動子6が第1の対向部41及び第2の対向部42に挟持された構造を形成する。可動子6と固定子3の相対的な位置に応じてコイル4に単相の交流電流をながすと、リニアモータ各対向部の上部磁極歯と下部磁極歯の間のギャップ8には、磁束が上部と下部の磁極歯間を交番して上下に通り、第1の対向部41と第2の対向部42に流れる磁束の向きは交互に逆方向になる。第1の対向部41及び第2の対向部42に流れる磁束と、永久磁石34の作る磁束の相互作用により、可動子6にはx方向に電磁力による駆動力が発生し、可動子6が往復運動する。
【0013】
ここで、可動子6が往復運動するときに、可動子6のローラベアリング1との接触部10が磨耗により損傷するため、可動子6を頻繁に交換する必要があり、保守に手間がかかるという課題がある。また、可動子6の磨耗を防止するために可動子6に磨耗に強い材料を用いると、可動子6の重量が重くなり、駆動装置としての効率が低下する。さらに、一般に磨耗に強い材料は高価なので、可動子6の単価が高くなり駆動装置の生産コストの増加につながる。
【0014】
実施例1
図3は、本発明の実施例1に用いられる可動子6の構造を示す図であり、本実施例のその他の部分は比較例と同じである。可動子6は第1の部材30と第2の部材5から構成される。第2の部材5はねじ穴7を有し、駆動時に可動子6がローラベアリング1と接触する部位31にねじ等の支持部材8によって取り付けられている。第1の部材30には、軽く(密度が小さく)て安価な材料、例えばアルミ等を用いる。それに対し第2の部材5には、磨耗に強く硬度の高い材料、例えばステンレス,チタン等を用いる。第1の部材及び第2の部材は磁気的な特性を考えると非磁性材が望ましい。可動子6を本実施例のような構成にすれば、可動子6のローラベアリング1との接触部分10が磨耗に強い第2の部材5で構成されているので、磨耗による損傷が低減され、可動子6の交換の機会が減るため、交換にともなう保守の労力が低減できる。また、交換部品代等のコストも削減することができる。
【0015】
また、ローラベアリング1は、第2の部材よりも硬度が高く磨耗に強い材料を用いる。このようにすれば、ローラベアリング1の磨耗による損傷が防止できるので、ローラベアリング1の交換の機会が減り、交換にともなう保守の労力,交換部品代等のコストが低減される。可動子6を支持する支持部材はローラベアリングに限らずボールベアリング,レール,摩擦ベアリング,リニアベアリング等でもかまわない。
【0016】
第1の部材30はプラスティック等の合成樹脂材を用いてもよい。第1の部材30に合成樹脂材を用いると可動子6をより軽量に作ることができる。また、可動子6に合成樹脂材を用いると可動子6の製造工程が簡略化されるため、生産性が向上する。
【0017】
可動子6は、図4のような構造としてもよい。図4において、第2の部材5はx方向から取り付ける。可動子6を図4のような構造にするとy方向にねじ8の頭が出っ張ることがないので、可動子6のy方向にスペースの余裕がない場合に有効である。
【0018】
尚、本発明に用いられる駆動装置は、図2に示したリニアモータの方式に限らず、例えば可動子6,固定子3に従来例1に記載のリニアモータを用いたものにも適用できる。また、可動子6に凹凸をつけた磁性体,導体板またはコイルを巻いた磁性体を用いたもの、あるいは固定子3をリニアモータの二次側とし、可動子6を一次側としたもの等にも適用できる。
【0019】
実施例2
図5は、本発明の実施例2に用いられる可動子6の構造図であり、本実施例のその他の部分は実施例1と同じである。可動子6を図5のような構造にすると第1の部材30の一部分30aに円柱状の安価な部材を用いることができるので、可動子6の製造コストが低減できる。
【0020】
実施例3
図6は、本発明の実施例3に用いられる可動子6の構造図であり、本実施例のその他の部分は実施例1,2と同じである。実施例1,2と違う部分は、第2の部材5が板状であることである。第2の部材5は、ねじ8により第1の部材30に取り付けられる。第2の部材5を板状にすると第2の部材5の製造が容易となり、生産性が向上するという利点がある。
【0021】
上記に説明した第2の部材5の固定方法としては、ねじ穴7代わりに、可動子6と第2の部材5の結合部分に凹凸を設けて直接嵌めて固定する方法(言い換えると圧入する方法)なども可能である。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、電機子と、第一の対向部の間及び第二の対向部の間に永久磁石を有する二次側部材を備えた駆動装置において、永久磁石を有する二次側部材の磨耗による損傷を低減して、保守にともなう労力を軽減することを実現したものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】比較例の全体図。
【図2】比較例に用いられるリニアモータの構造図。
【図3】本発明の実施例1の可動子の構造図(その1)。
【図4】本発明の実施例1の可動子の構造図(その2)。
【図5】本発明の実施例2の可動子の構造図。
【図6】本発明の実施例3の可動子の構造図。
【符号の説明】
1…ローラベアリング、4…コイル、5…第2の部材、6…可動子、7…ねじ穴、8,8a,8b…ねじ、9…ケース、10…ローラベアリングとの接触部分、11a…磁極1の上部磁極歯、12b…磁極1の下部磁極歯、21b…磁極2の下部磁極歯、22a…磁極2の上部磁極歯、30,30a,30b…第1の部材、31…ローラベアリングと接触する部位、41…第1の対向部、42…第2の対向部、51…第1の対向部を有するコア、52…第2の対向部を有するコア。
Claims (2)
- 上部磁極歯と下部磁極歯とが対向する第一の対向部を有し、磁性体を有する第一のコアと上部磁極歯と下部磁極歯とが対向する第二の対向部を有し、磁性体を有する第二のコアとを備え、前記第一のコアと前記第二のコアは互い違いに配置され、かつ、前記第一の対向部と前記第二の対向部の磁極の向きが対向する電機子と、
前記第一の対向部の間及び前記第二の対向部の間に永久磁石を有する二次側部材を備えた駆動装置において、
前記二次側部材の上方には前記第一のコアに配置される上部磁極歯と前記第二のコアに配置される上部磁極歯が交互に配置され、
前記二次側部材の下方には前記第一のコアに配置される下部磁極歯と前記第二のコアに配置される下部磁極歯が交互に配置され、
前記第一のコアと前記第二のコアに共通にコイルが巻かれ、
前記上部磁極歯側、及び前記下部磁極歯側で前記二次側部材の移動方向の端部に前記二次側部材を移動可能に支持する支持部材が配置され、
前記二次側部材は前記永久磁石を保持する第1の部材と、
該第1の部材の移動方向に沿って、前記第1の部材に接合された第2の部材を有し、
前記第2の部材の硬度を、前記第1の部材の硬度よりも高くして、前記第2の部材は前記支持部材と接触することを特徴とする駆動装置。 - 請求項1において、
前記支持部材はローラベアリングであることを特徴とする駆動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002040919A JP3848884B2 (ja) | 2002-02-19 | 2002-02-19 | 駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002040919A JP3848884B2 (ja) | 2002-02-19 | 2002-02-19 | 駆動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003244925A JP2003244925A (ja) | 2003-08-29 |
JP3848884B2 true JP3848884B2 (ja) | 2006-11-22 |
Family
ID=27781461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002040919A Expired - Lifetime JP3848884B2 (ja) | 2002-02-19 | 2002-02-19 | 駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3848884B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5540873B2 (ja) * | 2010-05-11 | 2014-07-02 | 日立金属株式会社 | リニアモータ、駆動ステージ及び案内部材 |
KR101411638B1 (ko) * | 2010-07-08 | 2014-06-25 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 안내 기구 및 리니어 모터 |
JP5356488B2 (ja) * | 2011-10-17 | 2013-12-04 | 山洋電気株式会社 | リニアモータ用可動子 |
WO2016047390A1 (ja) * | 2014-09-25 | 2016-03-31 | アイシン・エィ・ダブリュ株式会社 | 電磁アクチュエータ |
JPWO2017025998A1 (ja) | 2015-08-07 | 2018-03-01 | 株式会社日立製作所 | リニアモータ及びリニアモータを備える機器 |
JP6748342B2 (ja) * | 2015-11-13 | 2020-09-02 | ミツミ電機株式会社 | 振動アクチュエータ、ウェアラブル端末及び着信通知機能デバイス |
-
2002
- 2002-02-19 JP JP2002040919A patent/JP3848884B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003244925A (ja) | 2003-08-29 |
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Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060303 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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