JP4151067B2 - リニアモータ - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体製造装置のリニアステージ等を駆動するために用いられ、速度変動の小さい一定速送りが要求されるリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えば半導体製造装置のリニアステージ等を駆動するために用いられ、速度変動の小さい一定速送りを要求されるリニアモータは、図3のようになっている。図3は従来技術を示すリニアモータの正断面図である。なお、従来技術および後述する本発明の何れも、界磁部を移動子とし、電機子を固定子とした磁束貫通形のリニアモータを用いて説明し、移動子は図示しないリニアガイドにより案内支持されるものである。
図3において、6は永久磁石、7は該永久磁石6の作る磁束が流れる界磁ヨーク、8は移動子、11は電機子となる集中巻に巻回された電機子巻線、12はガラス布をエポキシ樹脂で固めた薄い板状の芯金、13は固定子、14は電機子固定ブロックである。
リニアモータの界磁部は、コの字形状をした界磁ヨーク7上の移動方向(紙面と垂直方向)に沿って複数の永久磁石5を交互に極性が異なるように配置してなる2列の磁石列で構成されている。また、永久磁石5は、磁気的空隙方向に向かって界磁ヨーク7の内面に対向する面同士が互いに極性が異なるように配置されている。そして、界磁ヨーク7は電機子固定ブロック14に固定されている。
さらに、界磁部を構成する2列の磁石列の間には、磁気的空隙を介して芯金12に固定された電機子巻線11を有する電機子が対向して配置されている。なお、電機子巻線11は集中巻に巻回されたものであって、電機子巻線11に電流を流すことにより、界磁部となる永久磁石6との間で移動方向への推力を発生することになる(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
実開平5−9183号公報(第5−7頁、第1図、第4図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した従来のリニアモータでは、クリーンルーム内で使用される半導体製造装置のうち、例えば露光装置用のリニアステージ等に用いる場合、回路パターンを焼付ける露光中は速度変動の非常に小さい一定速送りを要求されると共に、停止状態から一定速度となる送り速度までステージを加速する際はスループットを上げるために大きな加速が要求される。そのためリニアモータは一定速送り時はリニアガイドの粘性推力を補うだけの非常に小さな負荷から、加速時はテーブル全体を加速する非常に大きな負荷まで対応しなければならない。
半導体製造装置等のリニアステージに用いられるリニアモータおよびドライバの容量は、加速時に必要とされる推力により決まる。一例を示すと、加速時に要求される推力が1500Nであり、一定速送り時は30Nという場合もある。この時、一定速送りは、1500Nの推力に対応したリニアモータとドライバにより30Nの負荷に対して一定速を保たなくてはならない。これはドライバの電流分解能等からすると非常に厳しい負荷条件であり、30Nという軽負荷に対応する際、電流波形は望ましい形である正弦波からずれて高次成分を含んだ波形となってしまう。この電流波形に含まれる高次成分は推力リップルの原因となる。
また、図3に示す電機子巻線11が位置する空間における永久磁石6の作る推力に寄与する磁束成分(図中のX方向成分)の分布を図4に示す。永久磁石6に近いその表面では、該永久磁石6の作る磁束の殆どがX方向成分であるため台形波に近い形をしており、界磁ヨーク7の内面側に設けられた対向する永久磁石6に挟まれた空間のX方向中心で最も正弦波形に近い分布となる。
リニアモータの推力は上述のように、永久磁石6の作る磁束と電機子巻線11に流れる電流とで発生し、両者の波形が正弦波の時は、推力リップルは生じない。少なくとも両者のどちらか一方に高次成分が含まれていると推力リップルの原因となる。電機子巻線11は、永久磁石6に挟まれた空間中に位置し、該永久磁石6の表面に近い部位の電機子巻線11は台形波形に近い磁束が鎖交し、該永久磁石6の表面から離れた位置における電機子巻線11ほど正弦波形に近い磁束が鎖交することになる。そのため、永久磁石6の表面に近い部位の電機子巻線11では、高次成分の磁束が鎖交することになり、推力リップルが発生してしまう。
以上のように、永久磁石の表面に近い部位に位置する電機子巻線11では高次成分の磁束が鎖交することになり、発生する推力はリップルを含んだものとなり、速度変動を生じ、速度変動に伴う一定速送りが難しいという問題があった。
【0005】
本発明は上記問題を解決するためになされたものであり、一定速送りの負荷が小さい状態でも電流波形に含まれる高次成分を小さくし、また、電機子巻線に鎖交する磁束の高次成分を低減すると共に、速度変動を抑制することが可能なリニアモータを提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために、請求項1の本発明に係わるリニアモータ。界磁ヨーク上に複数の永久磁石を交互に極性が異なるように配置してなる2列の磁石列で構成された界磁部と、前記2列からなる永久磁石の磁石列の間に磁気的空隙を介して対向配置された電機子を備え、前記界磁部と前記電機子の何れか一方を移動子に、他方を固定子として、前記移動子を前記固定子に対して相対移動するリニアモータにおいて、前記電機子は、コイル群をヘリカル巻に巻回し、かつ、樹脂により薄板状にモールド成形してなる第1電機子巻線と、前記第1電機子巻線の両側面にコイル群を集中巻に巻回された薄板状に成形してなる第2電機子巻線より構成したものである。
【0007】
請求項2の発明は、請求項1記載のリニアモータにおいて、前記第1電機子巻線を芯金として兼用したものである。
【0008】
請求項3の発明は、請求項1または2に記載のリニアモータにおいて、前記電機子を構成する第1電機子巻線および第2電機子巻線の夫々を、独立するドライバに接続したものである。
【0009】
請求項4の発明は、請求項3に記載のリニアモータにおいて、前記電機子を構成する第1電機子巻線および第2電機子巻線の夫々に接続されるドライバの少なくとも一方がリニアアンプによる電源増幅回路により構成したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施例を、図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明の実施例を示すリニアモータの正断面図、図2は図1に示すリニアモータとドライバの接続状態を示すブロック図である。なお、本発明の構成要素が従来技術と同じものについては同一符号を付してその説明を省略し、異なるものについてのみ説明する。
【0011】
図1において、1は第1電機子巻線、2は樹脂、3は第2電機子巻線、4は電機子固定ブロック、5は固定子、6は永久磁石、7はコの字形状の界磁ヨーク、8は移動子、9、10はドライバを示す。
【0012】
本発明の特徴は以下のとおりである。
本リニアモータの電機子は、コイル群をヘリカル巻に巻回し、かつ、樹脂2により薄板状にモールド成形してなる第1電機子巻線1と、第1電機子巻線1の両側面にコイル群を集中巻に巻回された薄板状に成形してなる第2電機子巻線3より構成した点である。ここで、第1電機子巻線1は芯金として兼用されている。
また、電機子を構成する第1電機子巻線1および第2電機子巻線3の夫々を、独立するドライバ9、10に接続したものとなっている。このうち一方の第1電機子巻線1は、一定速度送り時のガイド等に発生する摩擦損を補うための非常に小さな推力を目的とした設計であり、対応するドライバ9の容量も小さなものとなっている。他方の第2電機子巻線3は加速時の非常に大きな推力を目的とした設計であり、対応するドライバ10は容量も大きなものとなっている。
また、電機子を構成する第1電機子巻線1および第2電機子巻線3の夫々に接続されるドライバ9、10の少なくとも一方がリニアアンプによる電源増幅回路により構成したものである。
【0013】
本発明の実施例は、リニアモータの電機子を、コイル群をヘリカル巻に巻回し、かつ、樹脂2により薄板状にモールド成形してなる第1電機子巻線1と、第1電機子巻線1の両側面にコイル群を集中巻により巻回された薄板状に成形してなる第2電機子巻線3より構成したので、加速時等の負荷の大きな時は集中巻により巻回された第2電機子巻線3を使用し、一定速度送り時等の負荷の小さな時はヘリカル巻に巻回された第1電機子巻線1を使用することで、推力の異なる2つの電機子巻線を使い分けることができる。
【0014】
また、第1電機子巻線1は2列からなる永久磁石6の磁石列間の空間の中心に配置され、該永久磁石6の表面からの距離を第2電機子巻線3に比べて大きくしてあるため、第1電機子巻線1に鎖交する永久磁石6の作る推力に有効に作用する磁束成分に含まれる高次成分を大幅に低減することができる。そのため、一定速度送り時に第1電機子巻線1をドライバ9により駆動電流を流すると、高次成分の少ない磁束と鎖交する第1電機子巻線1により必要な推力を得ることができ、推力リップル、速度変動も低減することができる。
【0015】
また、第1電機子巻線1を芯金として兼用したので、従来のリニアモータ構造に比べて電機子の形状あるいは大きさを変更することはなく、小型化、省スペース化を維持することができる。
【0016】
さらに、該第1電機子巻線1と第2電機子巻線3を夫々独立するドライバ9および10にて駆動する構成にしたので、一定速度送り時負荷の非常に小さな場合と、加速時の負荷の非常に大きい場合に応じて、夫々のリニアモータの電機子巻線に最適なドライバを選択して運転することができる。その結果、ドライバの電流分解能等に起因して生じる電流波形に含まれる高次成分を低減でき、一定速送り時に推力変動が小さくなり、速度変動を低減できる。
そして、電機子を構成する第1電機子巻線1、第2電機子巻線3に接続されるドライバの少なくとも一方がリニアアンプにより構成されているので、推力の小さな一定速送り時はリニアアンプにより構成される電源増幅回路を有するドライバにより駆動することで、PWMアンプのスイッチングに起因する高次成分を全く含まない電流波形にて運転することが出来、速度変動を大幅に低減することができる。
【0017】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1記載のリニアモータによれば、リニアモータの電機子として、コイル群をヘリカル巻に巻回し、かつ、樹脂により薄板状にモールド成形してなる第1電機子巻線と、第1電機子巻線の両側面にコイル群を集中巻により巻回された第2電機子巻線より構成したため、加速時等の負荷の大きな時は集中巻により巻回された第2電機子巻線を使用し、一定速度送り時等の負荷の小さな時はヘリカル巻に巻回された第1電機子巻線を使用することで、推力の異なる2つの電機子巻線を使い分けることができる。
また、第1電機子巻線は2列からなる永久磁石の磁石列間の空間の中心に配置され、該永久磁石の表面からの距離を第2電機子巻線に比べて大きくしてあるため、第1電機子巻線に鎖交する永久磁石の作る推力に有効に作用する磁束成分に含まれる高次成分を大幅に低減することができる。そのため、一定速度送り時に第1電機子巻線をドライバにより駆動電流を流すると、高次成分の少ない磁束と鎖交する第1電機子巻線により必要な推力を得ることができ、推力リップル、速度変動も低減することができる。
【0018】
請求項2記載のリニアモータによれば、第1電機子巻線を芯金として兼用したため、従来のリニアモータ構造に比べて電機子の形状あるいは大きさを変更することはなく、小型化、省スペース化を維持することができる。
【0019】
請求項3記載のリニアモータによれば、該第1電機子巻線と第2電機子巻線を夫々独立するドライバにて駆動する構成にしたため、一定速度送り時負荷の非常に小さな場合と、加速時の負荷の非常に大きい場合に応じて、夫々のリニアモータの電機子巻線に最適なドライバを選択して運転することができる。その結果、ドライバの電流分解能等に起因して生じる電流波形に含まれる高次成分を低減でき、一定速送り時に推力変動が小さくなり、速度変動を低減できる。
【0020】
請求項4記載のリニアモータ構造によれば、また、電機子を構成する第1の電機子および第2の電機子に接続されるドライバの少なくとも一方がリニアアンプにより構成されているため、推力の小さな一定速送り時はリニアアンプにより構成される電源増幅回路を有するドライバにより駆動することで、PWMアンプのスイッチングに起因する高次成分を全く含まない電流波形にて運転することが出来、速度変動を大幅に低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示すリニアモータの正断面図である。
【図2】図1に示すリニアモータとドライバの接続状態を示すブロック図である。
【図3】従来技術を示すリニアモータの正断面図である。
【図4】永久磁石の磁束分布を示す図である。
【符号の説明】
1 第1電機子巻線
2 樹脂
3 第2電機子巻線
4 電機子固定ブロック
5 固定子
6 永久磁石
7 界磁ヨーク
8 移動子
9、10 ドライバ

Claims (4)

  1. 界磁ヨーク上に複数の永久磁石を交互に極性が異なるように配置してなる2列の磁石列で構成された界磁部と、前記2列からなる永久磁石の磁石列の間に磁気的空隙を介して対向配置された電機子を備え、前記界磁部と前記電機子の何れか一方を移動子に、他方を固定子として、前記移動子を前記固定子に対して相対移動するリニアモータにおいて、
    前記電機子は、コイル群をヘリカル巻に巻回し、かつ、樹脂により薄板状にモールド成形してなる第1電機子巻線と、前記第1電機子巻線の両側面にコイル群を集中巻に巻回された薄板状に成形してなる第2電機子巻線より構成したことを特徴とするリニアモータ。
  2. 前記第1電機子巻線は芯金として兼用されることを特徴とする請求項1記載のリニアモータ。
  3. 前記電機子を構成する第1電機子巻線および第2電機子巻線の夫々を、独立するドライバに接続したことを特徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。
  4. 前記電機子を構成する第1電機子巻線および第2電機子巻線の夫々に接続されるドライバの少なくとも一方がリニアアンプによる電源増幅回路で構成したことを特徴とする請求項3に記載のリニアモータ構造。
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