JP3841718B2 - ボンディング装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ボンディング技術および半導体装置の製造技術に関し、特に、TAB(Tape Automated Bonding)テープ等を用いた組立工程等におけるシングルポイントリードボンディング等に適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば、半導体装置の製造における組立工程では、TABテープに保持されたチップ上のボンディングパッドとTABテープ上のインナーリードとを個別に逐次的に電気的に接続するシングルポイントリードボンディングが行われる場合がある。
【0003】
その場合、ボンディングステージ上に載置されたチップから浮いた位置に位置決めされた個々のインナーリードをボンディング工具にてチップ面上のパッドに重なり合うように押し下げてボンディングステージとの間で挟圧することでボンディングが行われ、正常な場合には、ボンディング後のリード形状がなめらかな略S字形になる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
このとき、ボンディングするチップのボンディングステージからの高さが一定ならばボンディング後のリード形状はなめらかなS字になるが、チップの下に異物が貼り付いた状態(ボンディングステージとチップ背面との間に異物等が介在した状態)でボンディングするとリードはS字にならず、大きく屈曲した状態となり、製品としては不良品となる、という技術的課題があった。特に甚だしい場合には、リードが折損して接続不良に至る。
【0005】
そして、ボンディングステージに異物等が固着したままでボンディング作業を継続すると、大量のボンディング不良品が発生する懸念があった。
【0006】
本発明の目的は、半導体装置の製造工程におけるボンディング工程でのボンディング不良を低減してボンディング工程での歩留りを向上させることにある。
【0007】
本発明の他の目的は、大量のボンディング不良の発生を未然に防止することが可能なボンディング技術を提供することにある。
【0008】
本発明の他の目的は、シングルポイントリードボンディング工程にて、大量のボンディング不良の発生を未然に防止することが可能なボンディング技術を提供することにある。
【0009】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【0011】
本発明は、ステージとボンディング工具との間で第1対象物と第2対象物を重ね合わせて挟圧することで第1対象物と第2対象物とを接続するボンディング装置であって、挟圧時におけるステージとボンディング工具との距離が既定の設定値を超過した場合にボンディング不良警報を発する制御論理を備えたものである。
【0012】
また、本発明は、ウェハプロセスにて複数の半導体装置が一括して形成された半導体ウェハを個々の半導体装置毎に分断して得られたチップを準備する工程と、ステージとボンディング工具との間でチップと封止構造物とを重ね合わせて挟圧することでチップと封止構造物とを接続する組立工程とを含む半導体装置の製造方法であって、組立工程では、挟圧時におけるステージとボンディング工具との距離が既定の設定値を超過した場合にボンディング不良警報を発するようにしたものである。
【0013】
より具体的には、一例として、シングルポイントリードボンディング工程等において、目標着地面高さ(チップの厚さ+インナーリードの厚さ)から任意の高さ上の場所に“着地面上限高さ”を設け、ボンディングの際、ツールが着地した時の高さ(すなわちボンディング工具の下端面とボンディングステージ上面の距離)が着地面上限高さより高ければ、エラー警報を発生してボンディング装置を停止することで、大量のボンディング不良の発生を未然に防止する。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら詳細に説明する。
【0015】
図1および図2は、本発明の一実施の形態である半導体装置の製造方法の一例を示すフローチャートであり、図3は、本実施の形態の半導体装置の製造方法を実施するボンディング装置の構成の一例を示す概念図である。
【0016】
まず、図3を参照しながら、本実施の形態を実現する為のボンディング装置の構成を説明する。
【0017】
水平面内において移動自在なX−Yテーブル1の上には、ボンディングヘッド2が搭載され、このボンディングヘッド2には、先端部が垂直面内において上下動するボンディングアーム3が支持されている。
【0018】
ボンディングアーム3の先端部には、ボンディング工具4が支持されている。ボンディング工具4の下方には、ボンディング対象物5が載置されるステージ6が設けられている。
【0019】
ボンディングアーム3にはボンディング工具4のx,y,zの各位置を検出する位置検出センサ9が設備されており、位置検出センサ9の出力は後記するメインコントローラ8に接続されている。
【0020】
この場合、ボンディング対象物5は、たとえば、図4に示されるように、インナーリード15の搭載面側に、エラストマ14を介してチップ13がボンディングされたテープ16からなる。
【0021】
チップ13には、当該チップ13の内部に形成されている所望の機能の図示しない半導体集積回路と外部との間における電気信号や動作電力などの授受を行う複数のボンディングパッド17が設けられている。
【0022】
テープ16の中央部には、長手方向に所定のピッチで開口部16aが形成され、チップ13は、ボンディングパッド17を前記開口部16aを介して露出させインナーリード15に対向するようにテープ16に固定されている。
【0023】
前記X−Yテーブル1及びボンディングヘッド2を駆動する図示しないサーボモータ等の制御を行う作動コントローラ7には、全体の制御を司るメインコントローラ8が接続されている。
【0024】
また、メインコントローラ8には、ボンディング工具4が動作する高さデータなどの入力を行う為のキーボード10や、たとえば、ブザーなどの警報手段11が接続されており、後述のようなボンディング不良の検出時等において、作動コントローラ7において決定されたボンディング位置に誤り(すなわち、ボンディング位置でのボンディング工具4の着地時の高さが着地面上限高さh1を超えた場合等)があると判定された場合に、外部操作者に警報音などで報知し、ディスプレイ12に表示する動作を行うようになっている。
【0025】
本実施の形態の場合、メインコントローラ8に設定される上述の高さデータとしては、チップ13の厚さとインナーリード15の厚さの和である目標着地面高さh0、およびこの目標着地面高さh0に、チップ13の厚さやインナーリード15厚さのばらつき等による高さエラー誤検出防止等を考慮した余裕値Δhを加えた着地面上限高さh1(=h0+Δh)がある。
【0026】
そして、ボンディング動作時における着地時にボンディング工具4の高さh2がこの着地面上限高さh1を超過した場合(h2>h1)には、異物介在等に起因するエラーと判定してエラー警報を発生する制御論理が、メインコントローラ8の制御プログラムの一部に組み込まれている。
【0027】
そして、メインコントローラ8および作動コントローラ7等による、位置検出センサ9から得られるx,y,zの位置情報を用いたフィードバック制御により、X−Yテーブル1の水平移動及びボンディングアーム3の上下動等を制御して実現されるボンディング工具4によるボンディング動作によって、ステージ6とボンディング工具4との間で、チップ13の複数のボンディングパッド17の一つと、1本のインナーリード15の対を挟圧する動作を逐次的に反復することで、複数のインナーリード15とチップ13内の対応する複数のボンディングパッド17の各々とを個別に逐次的に電気的に接続するシングルポイントのボンディング動作が行われるものである。
【0028】
以下、図1およひ図2のフローチャートなどを参照しながら、本実施の形態の作用の一例について説明する。
【0029】
まず、図2のフローチャートにて、本実施の形態の半導体装置の製造方法の全体工程の一例について説明する。
【0030】
まず、TABテープ等のテープ16の準備(ステップ201)およびチップ13の準備(ステップ202)を行う。
【0031】
テープ16は、中央部に開口部16aを有する樹脂等からなるテープ基材の一主面にエッチング等の方法で導体からなるインナーリード15を被着形成したものである。
【0032】
また、チップ13は、ウェハプロセスにて複数の半導体装置が一括して形成された図示しない半導体ウェハを個々の前記半導体装置毎に分断して得られる。
【0033】
そして、テープ16の開口部に、個々のチップ13のボンディングパッド17が露出するように、エラストマ14を介してチップ13をボンディングするチップボンディングが行われる(ステップ203)。
【0034】
さらに、後述の図1に例示されるような本実施の形態のインナーリードボンディング工程により、チップ13のボンディングパッド17にインナーリード15を電気的に接続するインナーリードボンディング工程が行われる(ステップ204)。
【0035】
その後、必要に応じて、たとえばチップ13のインナリードボンディング部分の一部または全部を覆うような封止および、テープ16を個々のチップ13を単位として分断して半導体装置とする工程が行われ(ステップ205)、エージングテストによる半導体装置の選別工程(ステップ206)を経て、良品の半導体装置の出荷が行われる(ステップ207)。
【0036】
次に図1のフローチャートにて、本実施の形態のインナーリードボンディング工程をより詳細に説明する。
【0037】
まず、チップ13がボンディング済みのテープ16をボンディング装置に装填して、テープ16の送り動作にて、一つのチップ13をステージ6に位置決めする(ステップ100)。
【0038】
次に、後述の図4(a)〜(d)に例示されるように、ボンディング工具4を動作させて1本のインナーリード15を変形し、ボンディング工具4を対応する一つのボンディングパッド17に着地させる(ステップ101)。この時、ボンディング工具4とステージ6との間にてチップ13およびインナーリード15が重なり合った状態で挟圧される。
【0039】
ボンディング工具4が着地した時に、位置検出センサ9でボンディング工具4の位置をメインコントローラ8に送信し、ボンディング工具4の位置をメインコントローラ8に実装された制御ソフトウェアで判定する(ステップ102)。
【0040】
着地時のボンディング工具4の高さh2(すなわちステージ6との距離)が、予めメインコントローラ8に設定されている着地面上限高さh1より高いとメインコントローラ8で判断した場合(すなわち、図4(e)〜(h)のようなボンディング不良の発生が懸念されると判断した場合)、ブザーなどの警報手段11が外部の操作者に報知し、ディスプレイ12にてその内容を表示する(ステップ103)。
【0041】
このステップ103において、警報を認識した操作者は、たとえば、装置を停止して、チップ13の裏面やステージ6の上面等を点検して警報の原因を調査し、必要に応じてステージ6上の清掃による異物除去等の保守を行うことができる。これにより、ステージ6に異物等が付着したままでインナーリードボンディングを継続することによる大量のチップ13のボンディング不良の発生を未然に防止できる。
【0042】
着地時のボンディング工具4の高さh2が着地面上限高さh1以下で正常とメインコントローラ8で判断した場合(図4(a)〜(d)の場合)、たとえばボンディング工具4から超音波を印加しつつ押圧してインナーリード15をボンディングパッド17にボンディングする(ステップ104)。
【0043】
ボンディング後、当該チップ13内における全リードのボンディング完了か判定し(ステップ105)、未完の場合には、次のインナーリード15(ボンディングパッド17)の位置にボンディング工具4を位置決めして(ステップ106)、前記ステップ101以降を反復する。
【0044】
前記ステップ105でチップ13内のすべてのインナーリード15のボンディングが完了と判定された場合には、当該テープ16における前記チップ13のボンディング完了か判定し(ステップ107)、当該テープ16における前記チップ13におけるインナーリードボンディングが未完の場合には、ステップ100に戻ってテープ16をチップ13の配列ピッチだけ送って次のチップ13をステージ6上に位置決めして以降の操作を繰り返す。
【0045】
図4の(a)〜(d)にはチップ13の裏面に異物がない場合のボンディング工具4の動作及びインナーリード15の変形フローが工程順に断面図として示されている。
【0046】
図4の(e)〜(h)にはチップ13の裏面に異物300がある場合のボンディング工具4の動作及びインナーリード15の変形フローが工程順に断面図として示されている。
【0047】
異物300がステージ6に固着している場合、図4(e)〜(h)のような状態でインナーリードボンディングが継続されることによって大量のボンディング不良が発生することが懸念されるが、本実施の形態の場合には、このような異物300の介在等によるチップ13のボンディング高さ異常が発生当初に早期に確実に検出され、警報を発することによって、操作者に報知され、直ちに原因調査や異物300の除去等の対策が行われるので、図4(a)〜(d)の正常な状態に復帰させることが可能であり、異常状態のままでインナーリードボンディングが継続されることが確実に防止され、大量のチップ13におけるインナーリードボンディング不良の発生を確実に防止できる。
【0048】
すなわち、チップ13の下に異物300が貼り付いた状態でボンディングすると、着地時のボンディング工具4の高さh2が着地面上限高さh1を超えて確実に不良と判断できるので、当該不良検出の時点でチップ13の下面を調べれば原因は一目瞭然であるため、不良の原因となる微少な異物300も発見可能となり、従来のように、製品を検査するまで不良品かどうか分からないために製品不良が多発すること、を確実に防止できる。
【0049】
また、本実施の形態のように、ボンディング中におけるエラー警報の発生時にチップ13の裏面を調査することで、装置起因の不良か製品起因の不良かが的確に判別できる。
【0050】
この結果、シングルポイントリードボンダ等のボンディング装置を用いた半導体装置の製造工程における半導体装置の歩留りが向上する。
【0051】
上述の実施の形態では、ボンディング工具4が動作する基準となる高さが一定である為、チップ13の裏面に異物300が付着すると、ボンディングパッド17の高さが高くなり、ボンディング工具4を破損したり、チップ13等のボンディング対象物5が不良品となる場合があるが、以下の方法により解決できる。
【0052】
▲1▼チップ13にボンディング工具4が動作する基準となる高さを取り込める箇所を設け、ボンディングする前に必ずその場所に高さを取り込みに行き、ボンディング工具4の高さが着地面上限高さh1より高い場合は、ボンディング前にエラーを発生させることにより、ボンディング工具4を破損することはなく、ボンディング対象物5は不良品にならない。
【0053】
▲2▼ボンディングする前にあらかじめ図示しないレーザー測高器などによりチップ13の高さ測定して読み込み、チップ13のボンディングパッド17の面の高さが高い場合は、エラー警報を発生させることにより、ボンディング工具4を破損することはなく、ボンディング対象物5は不良品にならない。
【0054】
▲3▼ボンディング前にボンディング対象物5の裏面を図示しないカメラで写し、裏面に異物300等があればエラー警報を発生させることにより、ボンディング工具4を破損することはなく、ボンディング対象物5は不良品にならない。
【0055】
以上本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【0056】
たとえば、ボンディング対象物としては、インナーリードボンディングされるチップとインナーリードの組み合わせにかぎらず、チップボンディング工程におけるリードフレームのタブとチップの組み合わせ等に適用してもよい。
【0057】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【0058】
半導体装置の製造工程のボンディング工程におけるボンディング不良を低減して、ボンディング工程での歩留りを向上させることができる、という効果が得られる。
【0059】
大量のボンディング不良の発生を未然に防止することが可能なボンディング技術を提供することができる、という効果が得られる。
【0060】
シングルポイントリードボンディング工程にて、大量のボンディング不良の発生を未然に防止することができる、という効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図2とともに本発明の一実施の形態である半導体装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図2】図1とともに本発明の一実施の形態である半導体装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。
【図3】本発明の一実施の形態である半導体装置の製造方法を実施するボンディング装置の構成の一例を示す概念図である。
【図4】(a)〜(d)は、正常時のシングルポイントリードボンディングの動作を工程順に例示した断面図であり、(e)〜(h)は、ボンディング不良時のシングルポイントリードボンディングの動作を工程順に例示した断面図である。
【符号の説明】
1…X−Yテーブル、2…ボンディングヘッド、3…ボンディングアーム、4…ボンディング工具、5…ボンディング対象物、6…ステージ、7…作動コントローラ、8…メインコントローラ、9…位置検出センサ、10…キーボード、11…警報手段、12…ディスプレイ、13…チップ、14…エラストマ、15…インナーリード(第1対象物)、16…テープ、16a…開口部、17…ボンディングパッド(第2対象物)、h0…目標着地面高さ、h1…着地面上限高さ(既定の設定値)、h2…実際のボンディングにおける着地時のボンディング工具の高さ、Δh…余裕値。
Claims (2)
- ステージとボンディング工具との間で第1対象物と第2対象物を重ね合わせて挟圧することで前記第1対象物と前記第2対象物とを接続するボンディング装置であって、
前記挟圧時における前記ステージと前記ボンディング工具との距離が既定の設定値を超過した場合にボンディング不良警報を発する制御論理を備え、
前記第1対象物はTABテープに保持されたチップであり、前記第2対象物は前記TABテープ上の複数のインナーリードであり、前記チップの外部接続電極と個々の前記インナーリードとを逐次個別に電気的に接続することを特徴とするボンディング装置。 - ウェハプロセスにて複数の半導体装置が一括して形成された半導体ウェハを個々の前記半導体装置毎に分断して得られたチップを準備する工程と、ステージとボンディング工具との間で前記チップと封止構造物とを重ね合わせて挟圧することで前記チップと前記封止構造物とを接続する組立工程とを含む半導体装置の製造方法であって、
前記組立工程では、前記挟圧時における前記ステージと前記ボンディング工具との距離が既定の設定値を超過した場合にボンディング不良警報を発することとし、
前記封止構造物はTABテープであり、前記組立工程では、前記TABテープ上の個々のリードと前記チップ上の個々の外部接続電極とを逐次的に電気的な接続を行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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