JP3841484B2 - 顕微鏡の落射照明システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、顕微鏡の落射照明システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来顕微鏡の照明系には、良好な性能を持つケーラ照明を使用するのが一般的である。図4は従来のケーラ照明の一例で、実公昭58ー37049号公報に示すものであり、光源1、コレクタレンズ2、正レンズ3、開口絞り4、リレーレンズ5、ハーフミラー6、対物レンズの瞳7、視野絞り8から構成され、正レンズ3、開口絞り4、リレーレンズ5は同一の投光管50内に収納されている。
【0003】
この場合、光源1からの発散光は、コレクタレンズ2により略平行光に集光され、正レンズ3により最初に開口絞り4の位置に投影される。さらに、リレーレンズ5により、ハーフミラー6で反射した後、対物レンズの瞳7に結像する。
【0004】
このようなケーラ照明は、光源像を一度開口絞り4の位置に投影するため、開口絞り4の開口制御により、有害なフレア、ムラを除去することができ、均一でかつ明るい照明を得ることができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
このような構成のケーラ照明は、投光管50の軸方向の長さを短くすることができないが、通常の顕微鏡にとっては何等問題がない。
【0006】
ところが、このような構成のケーラ照明を有する顕微鏡を、例えば図5のような半導体検査装置9などに組み込む際に、投光管50の軸方向の長さをできるだけ短くしたいという要望がある。また、半導体検査装置では、要求される性能レベルがそれほど高くない場合が多いから、あえてケーラ照明を使用する必要はなく、逆に開口絞り4、視野絞り8などがあるとかえって構造上ならびに操作上邪魔になり、コスト的にも高くなる。このようなことから、従来の半導体検査装置等にあっては、照明装置としてはケーラ照明を使用せず、投光管50の軸方向長さの短縮を主眼とした簡易型照明が用いられている。
【0007】
このようなことから、従来は検査装置に用いる顕微鏡には簡易型照明を組み込み、また検査装置以外に用いられる顕微鏡にはケーラ照明が組み込まれてため、両者の顕微鏡を一方から他方に変更するには照明光学系全体を丸ごと交換する必要がある。
【0008】
本発明の目的は、良好な性能を有するケーラ照明と、簡易型照明を用途に応じてどちらかを簡単に選択可能であり、製造上の効率およびユーザの利便性を向上させることができる顕微鏡の落射照明システムを提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、請求項1に対応する発明は、以下のような構成となっており、この実施形態を説明する図1〜図3との対応は次のようになる。顕微鏡の標本位置に照明光を導入するためのハーフミラーを有するハーフミラーユニット(a1,a2)と、光源およびこの光源からの光を当該ユニット内で結像させた後に前記標本位置に投影させる光学系を有し、前記ハーフミラーユニットに着脱可能な第1投光ユニット(b1とc1が一体的に構成されたもの,b5とc3が一体的に構成されたもの)と、光源を有し、この光源からの光を当該ユニット内で結像させずに前記標本位置に投影させるべく構成され、前記ハーフミラーユニットに着脱可能な第2投光ユニット(b2とc1が一体的に構成されたもの、b3とc1が一体的に構成されたもの、b4とc2が一体的に構成されたもの、b6とc3が一体的に構成されたもの,b7とc4が一体的に構成されたもの)と、を備え、前記ハーフミラーユニットに対して、前記第1投光ユニットと前記第2投光ユニットのどちらか一方を選択的に装着するようにしたことを特徴とする顕微鏡の落射照明システムである。
【0010】
また、前記目的を達成するため、請求項2に対応する発明は、次のようにしたものである。前記第1の投光ユニット及び前記第2の投光ユニットのうち少なくとも一方に対して、前記光源を着脱可能な光源ユニットを有することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡の落射照明システムである。
【0011】
さらに、前記目的を達成するため、請求項3に対応する発明は、次のようにしたものである。前記第2の投光ユニットは、前記光源から出射される照明光の出射端が前記顕微鏡に設けられる対物レンズの瞳共役位置近傍に配置され、前記光源の像を前記対物レンズの瞳位置に投影することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡の落射照明システムである。
【0012】
前記目的を達成するため、請求項4に対応する発明は、次のようにしたものである。前記第2の投光ユニットは、前記光源を着脱可能な光源ユニットと、一端が該光源ユニット内の前記光源に接続され、他端が前記第2の投光ユニット内の前記瞳共役位置近傍に配置されるファイバを有することを特徴とする請求項3記載の顕微鏡の落射照明システムである。
請求項1〜4のいずれかに対応する発明によれば、良好な性能を有するケーラ照明と、簡易型照明の照明系をシステム的に構成することにより、該2種類の照明系を用途に応じてどちらかを簡単に選択可能であり、製造上の効率およびユーザの利便性を向上させることができる顕微鏡の落射照明システムを提供することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【0014】
<第1の実施形態>
図1は第1の実施形態を説明するためのもので、ハーフミラーユニットa1と、第1投光ユニット(構成部b1と構成部c1が一体的に構成されたもの)と、第2投光ユニット(構成部b2と構成部c1が一体的に構成されたもの)からなっている。
【0015】
ハーフミラーユニットa1は第1の投光管(容器)10内にリレーレンズ11およびハーフミラー12がそれぞれ収納されたものであり、顕微鏡の標本位置に照明光を導入するためのものである。
【0016】
第1投光ユニットの構成部c1は第1の投光管(容器)20内に光源であるランプ21が収納されている。第1投光ユニットの構成部b1は投光管(容器)30内にコレクタレンズ34、正レンズ31、開口絞り(AS)32、視野絞り(FS)33からなる、いわゆるケーラ照明要素(一回投影式構成部材)である。このような構成の第1投光ユニットは、ランプ21からの光を投光管30でコレクタレンズ34、正レンズ31により結像させた後に、開口絞り32、視野絞り33で瞳位置7に投影させるものである。
【0017】
第2投光ユニットの構成部c1は、第2の投光管(容器)201内に光源であるランプ21が収納されている。第2投光ユニットの構成部b2(直接結像式構成部材)は、投光管(容器)301のみで構成されているが、構成部b2を、ハーフミラーユニットa1と構成部c1の間に組込んだとき、ランプ21の位置が構成部b1の開口絞り32の位置(光源像が形成される光源像位置)になるように構成されている。このような構成の第2投光ユニットは、ランプ21からの光を結像させずに前記瞳位置7に投影させるものである。
【0018】
以上述べたハーフミラーユニットa1に第1投光ユニットの構成部b1,c1、ハーフミラーユニットa1と第2投光ユニットの構成部b2,c1はいずれも着脱可能に構成され、具体的には端部同士が互にねじ込み機構、嵌合機構、丸アリ機構のいずれかにより着脱可能な構成となっていて、ハーフミラーユニットa1に対して、前記第1投光ユニットと前記第2投光ユニットのどちらか一方を選択的に装着するように構成されている。
【0019】
図1においは、ランプ21からの照明光は、コレクタレンズ34により2・θ1 分の角度(NA)が導かれ、略平行光線となり、正レンズ31により集光され、開口絞り32、視野絞り33により2・θ3 分の角度(NA)に広げられ、リレーレンズ11に照射され、対物レンズの瞳位置7に結像される。
【0020】
構成部b2(直接結像式構成部材)は、投光管(容器)301のみで構成されているが、構成部b2を、ハーフミラーユニットa1と構成部c1の間に組込んだとき、ランプ21の位置が構成部b1の開口絞り32の位置(光源像が形成される光源像位置)になるように構成されている。
【0021】
このようにハーフミラーユニットa1に対して、構成部b1,b2を用意し、これらを好みに応じて選択して組み合わせることで、条件に合った落射照明装置を効率よく得ることができると共に、それぞれの場合に合った最適な光学性能を確保する設計が可能である。
【0022】
構成部b1,b2のいずれかを選択するには、次の点を考慮する。すなわち、主として顕微鏡と組み合わせるときで、均一でかつ明るい照明が必要で、比較的投光管の長さが問題ならないときは、構成部b1を選択する。また、主として顕微鏡以外の装置に組込むときで、照明性能を多少犠牲にしても、投光管の長さを短くし、かつ安価にしたいときは、構成部b2を選択する。
【0023】
図2は図1の実施形態の変形例を示すもので、図1とは第2投光ユニットが異なる。すなわち、第2投光ユニット(構成部c1と構成部b3が一体的に構成されたもの)と、第2投光ユニット(構成部c2と構成部b4が一体的に構成されたもの)であり、構成部c1は第2の投光管(容器)202内に光源であるランプ21が収納されており、また構成部c2は光ファイバ37の一方の端末に図示しない光源が接続されている。
【0024】
ハーフミラーユニットa1に第2投光ユニット(構成部c1とb3一体的に構成されたもの)は、ねじ込み機構、嵌合機構、丸アリ機構のいずれかにより着脱可能であって以下のような構成となっている。
【0025】
構成部b3は、投光管302の内部には、コレクタレンズ35、凹レンズ36が収納されている。この場合、ランプ21からの照明光は、コレクタレンズ35により、2・θ4分の角度(図1の2・θ2 分の角度より大きな値)が導かれ、略平行光線となり、凹レンズ36により2・θ3 分の角度に射出され、リレーレンズ11に照射され、対物レンズの瞳7に結像される。この構成部b3によれば、照明光源の取り込みNAを図1に示す構成部b2よりも大きくすることができる。
【0026】
また、構成部b4は、投光管303の内部には、光ファイバ37の他方の端末が導入されている。この場合の光ファイバ37の出射角度2・θ5 は、通常のランプ等の出射角度に比較して小さいため、リレーレンズ11に対して適切な出射角度のものを使用すれば、簡単な構成で、最大限の明るさを達成できる。
【0027】
このようにハーフミラーユニットa1に対して、構成部b3,b4を用意し、これらを好みに応じて選択して組み合わせることで、簡易照明装置でありながら明るさを最大限に改善できる。
【0028】
さらに、構成部b4は、光ファイバ37で構成しているため、構成部b3に比べて光源側のスペースを小さくできる。
【0029】
<第2の実施形態>
図3は第2の実施形態を説明するための図であり、ハーフミラーユニットa2と、第1投光ユニット(構成部c3と構成部b5が一体的に構成されたもの)と、第2投光ユニット(構成部c3と構成部b6が一体的に構成されたもの)と、第2投光ユニット(構成部c4と構成部b7が一体的に構成されたもの)とからなり、ハーフミラーユニットa2は半反射鏡(ハーフミラー)12が第1の容器10内に収納されたものである。
【0030】
また、構成部c3は第2の投光管(容器)203内に光源であるランプ21が収納されている。さらに、構成部c4は前述の構成部c2と同じ構成で光ファイバ37の一方の端末に図示しない光源が接続されている。
【0031】
構成部b5はハーフミラーユニットa2と構成部c3の間に配置され、また構成部b6はハーフミラーユニットa2と構成部c3の間に配置され、さらに構成部b7はハーフミラーユニットa2と構成部c4の間に配置され、ハーフミラーユニットa2に第1投光ユニットがねじ込み機構、嵌合機構、丸アリ機構のいずれかにより着脱可能であって以下のような構成となっている。
【0032】
構成部b5は、投光管(容器)40内にコレクタレンズ41、正レンズ42、開口絞り(AS)43、視野絞り(FS)44、リレーレンズ群45からなる、いわゆるケーラ照明要素である。
【0033】
構成部b6は投光管(容器)401内にリレーレンズ群47が収納されている。この場合、リレーレンズ群47は、ランプ21の開口角度2・θ´4 をなるべく大きく取るため、専用設計されている。
【0034】
構成部b7は投光管(容器)402内にリレーレンズ48が収納され、かつ投光管402内に光ファイバ37の一方の端末が導入されている。光ファイバ37の他方の端末に、図示しない光源が接続され、これにより構成部c4が構成されている。
【0035】
この場合も、リレーレンズ48は、光ファイバ37の出射開口角度2・θ´5に合わせて最適な開口角度で対物レンズの瞳7に光源を結像することができるように、専用設計されている。
【0036】
このように、ハーフミラーユニットa2に対して、構成部b5,b6,b7を用意し、これらを好みに応じて選択して組み合わせることで、条件に合った落射照明装置を効率よく得ることができる。さらに、本実施形態では、リレーレンズを第1投光ユニットの構成部b5、第2投光ユニットの構成部b6、b7の側に含めるようにしたので、それぞれのリレーレンズを光源・長さ制限・照明性能に合わせて最適に光学設計することができ、設計自由度が向上する。
【0037】
構成部b5,b6,b7のいずれかを選択するには、次の点を考慮する。すなわち、主として顕微鏡と組み合わせるときで、均一でかつ明るい照明が必要で、比較的投光管の長さが問題ならないときは、構成部b5を選択する。また、主として顕微鏡以外の装置に組込むときで、照明性能を多少犠牲にしても、投光管の長さを短くし、かつ安価にしたいときは、構成部b6,b7を選択する。
【0038】
なお、以上述べた実施形態では、明視野照明について説明したが、明視野と暗視野の併用の照明であっても同様に実施できる。また、以上述べた実施形態で簡易型照明装置を構成する構成部b2,b5,b6,b7の場合には、照明光のムラを抑制するため、フロストガラス(すりガラス)を光源とハーフミラー12の間の光路の任意位置に挿入するようにしてもよい。さらに、以上述べた実施形態では、光源としていわゆるランプ、光ファイバ37の2種類をあげたが、これに限らず水銀灯等のアーク式、光源側にリフレクタ等を用いた平行光式のいずれかであっても同様に実施できる。また、以上述べた実施形態では、ケーラ照明要素b1,b5にそれぞれ組み合わされる光源としてランプ21を使用した場合について説明したが、これに限らず光ファイバ37を使用した場合であっても前述の実施形態と同様な効果が得られる。さらに、図1及び図2の光源ユニットc1と、図3の光源ユニットc3はフィラメントサイズ及びフィラメント材料が同一のものでもよく、あるいはフィラメントサイズ及びフィラメント材料が異なる別のもので構成してもよい。
【0039】
以上実施形態に基づいて説明してきたが、以下のように構成した発明も本発明に含まれる。以下の構成は、実施形態を説明する図1〜図3との対応は次のようになる。前述した実施形態は、いずれも構成部c1とb1、c1とb2、c1とb3、c2とb4、c3とb5、c3とb6、c4とb7はいずれも一体的に形成されたものについて説明したが、これを互いに着脱可能な構成としたものである。
【0040】
(1)顕微鏡の標本位置に照明光を導入するためのハーフミラーを有するハーフミラーユニット(a1,a2)と、光源を有する光源ユニット(c1,c3,c4)と、前記光源からの光を当該ユニット内で結像させた後に前記標本位置に投影させる光学系を有し、前記ハーフミラーユニットと前記光源ユニットとの間に着脱可能な第1中間ユニット(b1,b5)と、前記光源からの光を結像させずに前記標本位置に投影させるべく構成され、前記ハーフミラーユニットと前記光源ユニットとの間に着脱可能な第2中間ユニット(b2,b3,b6,b7)と、を備え、前記ハーフミラーユニットと前記光源ユニットとの間に、前記第1中間ユニットと前記第2中間ユニットのどちらか一方を選択的に装着するようにしたことを特徴とする顕微鏡の落射照明システム。
【0041】
(2)顕微鏡の標本位置に照明光を導入するためのハーフミラーを有するハーフミラーユニット(a1,a2)と、光源を有する光源ユニット(c1,c3,c4)と、前記光源からの光を当該ユニット内で結像させた後に前記標本位置に投影させる光学系を有し、前記ハーフミラーユニットと前記光源ユニットとの間に着脱可能な第1中間ユニット(b1,b5)と、前記光源からの光を結像させずに前記標本位置に投影させるべく構成され、前記ハーフミラーユニットと前記光源ユニットとの間に着脱可能な第2中間ユニット(b2,b3,b6,b7)と、を備え、前記ハーフミラーユニット、前記光源ユニット及び前記第1中間ユニットを組み合わせて構成される顕微鏡の落射照明システム。
【0042】
(3)顕微鏡の標本位置に照明光を導入するためのハーフミラーを有するハーフミラーユニット(a1,a2)と、光源を有する光源ユニット(c1,c3,c4)と、前記光源からの光を当該ユニット内で結像させた後に前記標本位置に投影させる光学系を有し、前記ハーフミラーユニットと前記光源ユニットとの間に着脱可能な第1中間ユニット(b1,b5)と、前記光源からの光を結像させずに前記標本位置に投影させるべく構成され、前記ハーフミラーユニットと前記光源ユニットとの間に着脱可能な第2中間ユニット(b2,b3,b6,b7)と、を備え、前記ハーフミラーユニット、前記光源ユニット及び前記第2中間ユニットを組み合わせて構成される顕微鏡の落射照明システム。
【0043】
これらのものは、第1、第2の実施形態における第1または第2投光ユニットを、それぞれ第1または第2中間ユニットと光源ユニットとに分離可能にしたものである。
【0044】
この様にすると、例えば第1の実施形態及びその変形例の第1投光ユニット(構成部b1と構成部c1が一体的に構成されたもの)と、第2投光ユニット(構成部b2と構成部c1が一体的に構成されたもの)と、第2投光ユニット(構成部c1と構成部b3が一体的に構成されたもの)のうちのどれか一つを用いる場合に、ハーフミラーユニットa1と光源ユニットを構成する構成部c1は共通であるので、中間ユニットを構成している構成部b1,b2,b3だけを変更することで、所望の落射照明システムを構成できる。
【0045】
同様に、第2の実施形態においてハーフミラーユニットa1と、光源ユニットを構成する構成部c3を共通とし、第1中間ユニットを構成する構成部b5、第2中間ユニットを構成する構成部b6だけを変更することで、所望の落射照明システムを構成できる。
【0046】
【発明の効果】
以上述べた本発明によれば、良好な性能を有するケーラ照明と、簡易型照明を用途に応じてどちらかを簡単に選択可能であり、製造上の効率およびユーザの利便性を向上させることができる顕微鏡の落射照明システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による落射照明システムの第1の実施形態を説明するための概略構成図。
【図2】本発明による落射照明システムの第2の実施形態を説明するための概略構成図。
【図3】本発明による落射照明システムの第3の実施形態を説明するための概略構成図。
【図4】従来の落射照明システムの一例を説明するための概略構成図。
【図5】従来の落射照明システムの一例を説明するための概略構成図。
【符号の説明】
10…投光管(容器)、11…リレーレンズ、12…ハーフミラー、20,201,202,203,204…投光管(容器)、21…ランプ、30,301,302…投光管(容器)、31…正レンズ、32…開口絞り、33…視野絞り、34…コレクタレンズ、35…コレクタレンズ、36…凹レンズ、37…光ファイバー、40,401,402…投光管(容器)、41…コレクタレンズ、42…正レンズ、43…開口絞り、44…視野絞り、45…リレーレンズ群、47…リレーレンズ群、48…リレーレンズ。
Claims (4)
- 顕微鏡の標本位置に照明光を導入するためのハーフミラーを有するハーフミラーユニットと、
光源およびこの光源からの光を当該ユニット内で結像させた後に前記標本位置に投影させる光学系を有し、前記ハーフミラーユニットに着脱可能な第1投光ユニットと、
光源を有し、この光源からの光を当該ユニット内で結像させずに前記標本位置に投影させるべく構成され、前記ハーフミラーユニットに着脱可能な第2投光ユニットと、を備え、
前記ハーフミラーユニットに対して、前記第1投光ユニットと前記第2投光ユニットのどちらか一方を選択的に装着するようにしたことを特徴とする顕微鏡の落射照明システム。 - 前記第1の投光ユニット及び前記第2の投光ユニットのうち少なくとも一方に対して、前記光源を着脱可能な光源ユニットを有することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡の落射照明システム。
- 前記第2の投光ユニットは、前記光源から出射される照明光の出射端が前記顕微鏡に設けられる対物レンズの瞳共役位置近傍に配置され、前記光源の像を前記対物レンズの瞳位置に投影することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡の落射照明システム。
- 前記第2の投光ユニットは、前記光源を着脱可能な光源ユニットと、
一端が該光源ユニット内の前記光源に接続され、他端が前記第2の投光ユニット内の前記瞳共役位置近傍に配置されるファイバを有することを特徴とする請求項3記載の顕微鏡の落射照明システム。
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