JP2010145780A - インテグレータ、このインテグレータを有する照明装置、及び、この照明装置を有する顕微鏡装置 - Google Patents
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Description
本発明は、インテグレータ、このインテグレータを有する照明装置、及び、この照明装置を有する顕微鏡装置に関する。
従来、顕微鏡照明光学系において、フライアイインテグレータを用いることで照明ムラを改善する顕微鏡照明装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
このような顕微鏡照明装置の一例として、図8に、従来技術におけるフライアイ照明光学系の構成図を示す。このフライアイ照明光学系は、光源10と、コレクタレンズ20、フライアイインテグレータ30、第1リレーレンズ41、視野絞り50、第2リレーレンズ40、開口絞り60、及び、コンデンサレンズ70からなる光学系とを用いる。コレクタレンズ20は、その前側焦点位置に光源10を配置し、光源10から発せられた光を略平行光に変換する。コレクタレンズ20の後側焦点位置には、フライアイインテグレータ30の入射面30aが配置される。更に、フライアイインテグレータ30の出射面30bが、前側焦点位置となるように第1リレーレンズ41を配置し、この第1リレーレンズ41の後側焦点位置に視野絞り50を配置する。
更に、第1リレーレンズ41の後側焦点位置が、前側焦点位置となるように第2リレーレンズ40を配置し、この第2リレーレンズ40の後側焦点位置に開口絞り60を配置する。また、第2リレーレンズ40の後側焦点位置が、前側焦点位置となるようにコンデンサレンズ70を配置し、このコンデンサレンズ70の後側焦点位置を視野面80とする。
図9は、フライアイインテグレータ30の詳細を示す図である。フライアイインテグレータ30を構成する単位レンズは、両面の曲率半径|r|が等しく、左右の頂点がそれぞれ反対側から平行光を入射させたときの焦点になっている。フライアイインテグレータ30はこの単位レンズを数十個、各頂点が同一平面上に位置するように束ねて配置されている。上述のように、各単位レンズの入射面は、照明領域と共役に配置され、その像は単位レンズの位置に無関係に第1リレーレンズ41の後側焦点(視野絞り50の配置される面)に生じ、視野絞り50を重畳的に照明する。フライアイインテグレータ30の入射面30a上の照度は、光源10の放射角度特性によって中心が明るく周辺が暗く照明されるが、各単位レンズの入射面が重畳的に視野絞り50上に投影されるため、視野絞り50の面全体での照度の均一性が向上する。一方でフライアイインテグレータ30の出射面30bには、図9(b)に示すように、各単位レンズにおける小さな光源像30cが規則正しく並び、二次元光源を形成する。
更に、このフライアイ照明光学系では、ケーラー照明光学系と同様に、視野絞り50と視野面80、及び、二次光源と開口絞り60とがそれぞれ共役に配置されており、視野絞り50と開口絞り60との径を調整することで照明領域と照明開口数とを定めることができる。更に、フライアイインテグレータ30により視野絞り50上に重畳的に投影され、均一に照明された光束は、更にリレーレンズ40及びコンデンサレンズ70により視野面80に投影され、視野面80を均一に照明する。
また、上述のようなフライアイインテグレータ30を用いた照明光学系においては、照明領域における照度均一性が向上する反面、フライアイインテグレータ30の出射面30bに規則的に並んだ多数の光源像30cが形成されるため、開口絞り60の面上での規則的な明るさにムラ(瞳ムラ)が生じる。このような瞳ムラは、試料を顕微鏡等で観察した観察象の不快なちらつきの原因となる。これを防ぐために、通常、開口絞り60の近傍、若しくは、フライアイインテグレータ30の出射面30bの近傍に、拡散板110を配置する必要がある。
特開2002−6225号公報
しかしながら、上述のような従来の照明装置においては、光学系の部品数が多く製造コストが高価となると言う課題があった。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、簡素な構成により低コストなインテグレータ、このインテグレータを有する照明装置、及び、この照明装置を有する顕微鏡装置を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明に係るインテグレータは、複数の単位レンズを、各レンズ面の頂点が同一平面上に位置するよう配置してなるインテグレータであって、単位レンズの入射面が、光を所定方向に拡散させる拡散面により構成されている。
このようなインテグレータは、更に、単位レンズの出射面が、光を所定方向に拡散させる拡散面であることが好ましい。
また、本発明に係る照明装置は、光源と、上述のインテグレータのいずれかと、光源から放射されインテグレータを通過した光を視野面に照射する照明光学系と、を有する
また、本発明に係る顕微鏡装置は、試料に光を照射する上述の照明装置と、試料からの光により試料の像を形成する観察光学系と、を有する。
本発明に係るインテグレータ、このインテグレータを有する照明装置、及び、この照明装置を有する顕微鏡装置を以上のように構成すると、簡素な構成により低コスト化を図ることができる。
(第1の実施形態)
以下、図1を用いて、第1の実施形態に係る照明装置としてのフライアイ光学系を説明する。なおこの図1は、このフライアイ光学系を、顕微鏡装置の透過照明光学系に適用した例を示すものである。このフライアイ光学系は、光源10と、コレクタレンズ20、フライアイインテグレータ31、リレーレンズ41、視野絞り50、リレーレンズ40、開口絞り60、及び、コンデンサレンズ70からなる光学系Z1とを有している。
以下、図1を用いて、第1の実施形態に係る照明装置としてのフライアイ光学系を説明する。なおこの図1は、このフライアイ光学系を、顕微鏡装置の透過照明光学系に適用した例を示すものである。このフライアイ光学系は、光源10と、コレクタレンズ20、フライアイインテグレータ31、リレーレンズ41、視野絞り50、リレーレンズ40、開口絞り60、及び、コンデンサレンズ70からなる光学系Z1とを有している。
コレクタレンズ20は、その前側焦点位置に光源10を配置し、光源10から発せられた光を略平行光に変換する。コレクタレンズ20の後側焦点位置には、フライアイインテグレータ31の入射面31aが配置される。更に、フライアイインテグレータ31の出射面31bが、前側焦点位置となるようにリレーレンズ41を配置し、このリレーレンズ41の後側焦点位置に視野絞り50を配置する。
更に、リレーレンズ41の後側焦点位置が、前側焦点位置となるようにリレーレンズ40を配置し、このリレーレンズ40の後側焦点位置に開口絞り60を配置する。また、リレーレンズ40の後側焦点位置が、前側焦点位置となるようにコンデンサレンズ70を配置し、このコンデンサレンズ70の後側焦点位置を視野面80とする。
図2は、本実施の形態に係るフライアイインテグレータ31の詳細を示す図であり、図2(a)はフライアイインテグレータ31の側面図を示し、図2(b)はフライアイインテグレータ31の射出面31b側からの背面図を示す。上述のように、フライアイインテグレータ31を構成する単位レンズは、両面の曲率半径|r|が等しく、左右の頂点がそれぞれ反対側から平行光を入射させたときの焦点になっており、この単位レンズを数十個、各頂点が同一平面上に位置するように束ねて配置されている。また、各単位レンズの入射面は、照明領域と共役に配置され、その像は単位レンズの位置に無関係にリレーレンズ41の後側焦点(視野絞り50の配置される面)に生じ、視野絞り50を重畳的に照明する。そのため、フライアイインテグレータ31の入射面31a上の照度は、光源10の放射角度特性によって中心が明るく周辺が暗く照明されるが、各単位レンズの入射面が重畳的に視野絞り50上に投影されるため、視野絞り50面全体での照度の均一性が向上する。
図3に、上述のフライアイインテグレータ31を構成する単位レンズの詳細を示す。このフライアイインテグレータ31の入射面31aは拡散面で構成されており、入射面31aに入射した光束は、図3に示すように、拡散角θの広がりを持って拡散する。このようにして、フライアイインテグレータ31の出射面31bには、図2(b)に示すように、単位レンズ毎に拡散された光源像31dが規則正しく並び、二次光源を形成する。
ここで、出射面31bを拡散された光源像31dで満たすための条件を説明する。すなわち、単位レンズの口径比をFとし、拡散面で拡散された光の拡散角をθとしたときに、下記条件式(1)を満たすことが望ましい。
条件式(1)は、拡散面で拡散された光の拡散角θを規定するための条件式である。条件式(1)において、不等式の下限値に対応する条件は、拡散された光源像31dの大きさが、フライアイインテグレータ31の単位レンズの断面形状と内接するような条件である。拡散角θが、この条件式(1)の下限値を下回ると、出射面31bを拡散された光源像31dで完全には満たすことができず、観察像の不快なちらつきの原因となるため好ましくない。
また、条件式(1)において、不等式の上限値に対応する条件は、照明領域の照度を規定する条件である。ここで、拡散角θを大きくして、フライアイインテグレータ31の出射面31b上での光源像31dの大きさをフライアイインテグレータ31の単位レンズの断面形状以上に大きくするとした場合、単位レンズの断面形状からはみ出した部分の光束については視野面80に到達することがなく、視野面80の照度は低下するが、拡散角θを下限値に設定したときの1/4の照度であれば許容できると考えられる。このため、拡散角θの上限値を、下限値の2倍の値とした。なお、拡散角θが、この条件式(1)の上限値を上回ると、照度が低下して照明効率が悪くなるため好ましくない。
フライアイインテグレータ31は、熱可塑性樹脂の射出成型品とすることが望ましく、安価に構成することが可能であるとともに、可視光波長帯域での使用に好適なものとなる。また、視野絞り50と視野面80、及び、二次光源と開口絞り60とが、それぞれ共役に配置されており、視野絞り50と開口絞り60との径を調整することで、照明領域と照明開口数を定めることができる。また、フライアイインテグレータ31により、視野絞り50上に重畳的に投影され、均一に照明された光束は、更にリレーレンズ40及びコンデンサレンズ70により視野面80に投影され、視野面80を均一に照明する。
上述の通り、フライアイインテグレータ31の入射面31aを拡散面としたことで、出射面31bが拡散された光源像31dで満たされることにより、瞳ムラによる観察像の不快なちらつきを除去することが可能となる。
なお、この第1の実施形態においては、フライアイインテグレータ31の入射面31aのみ拡散面であるとしたが、本発明はこれに限定されることはなく、出射面31bについても拡散面としてもよい。前述の通り、各単位レンズの入射面は、照明領域と共役であることから、入射面に異物の付着や傷などがある場合、これらが視野面80に投影されてしまい、照明ムラの原因となるが、出射面31bを拡散面とすることで投影される異物や傷をぼかすことが可能になり、均一な照明が実現できる。また、出射面31bのみを拡散面とすることも考えられ、この場合も照明ムラを解消して、均一な照明が実現できる。
また、この第1の実施形態において、フライアイインテグレータ31の材料は熱可塑性樹脂であるとしたが、本発明はこれに限定されることはなく、ガラスレンズを多数接合して構成してもよい。特に、導体デバイス等リソグラフィー工程で製造するために用いられる投影露光装置など、紫外光源等を用いる場合においては、透過率向上のために、フライアイインテグレータ31の材料として、合成石英や蛍石などを用いることが望ましい。
また、入射面31aまたは出射面31bの拡散面は、サンドブラスト、レモンスキン、若しくは、回折光学面で構成してもよい。ここで拡散面を回折光学面で構成する場合は、回折次数を制限することにより、その次数の光の回折方向が所定の範囲に分布するように構成され、所望の拡散角θで光を拡散させることが可能となる。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態に係る照明装置について図4を参照して説明する。なお、図4は、この第2の実施形態に係る照明装置を、顕微鏡装置の透過照明光学系に適用した例を示すものである。この第2の実施形態に係る照明装置は、第1の実施形態とほぼ同様の構成であり、第1の実施形態におけるコレクタレンズ20に代わり、反射型コリメータ15を用いて構成されている。
次に、第2の実施形態に係る照明装置について図4を参照して説明する。なお、図4は、この第2の実施形態に係る照明装置を、顕微鏡装置の透過照明光学系に適用した例を示すものである。この第2の実施形態に係る照明装置は、第1の実施形態とほぼ同様の構成であり、第1の実施形態におけるコレクタレンズ20に代わり、反射型コリメータ15を用いて構成されている。
この第2の実施形態の照明装置は、LED11と、コリメータ15、及び、フライアイインテグレータ31により構成される光源部Aと、コレクタレンズ20、視野絞り50、リレーレンズ40、開口絞り60、及び、コンデンサレンズ70により構成される光学系Z2とを用いている。この光学系Z2は、フライアイインテグレータ31からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明する光学系である。
平行化素子であるコリメータ15は、LED11を保護する封止材を兼ねており、LED11から放出される光束を略平行光束に変換する。このように、LED11を保護する封止材に平行化素子の役割を兼用させることにより、LED11からの光束の発散角が大きな場合でも、平行化素子を大型化することなく、LED11からの光束を有効に利用することができる。
また、コリメータ15の出射面近傍には、第1の実施形態で説明したフライアイインテグレータ31の入射面31aが配置される。そのため、フライアイインテグレータ31の出射面31bには、単位レンズごとに拡散された光源像で満たされ、二次光源を形成する。このフライアイインテグレータ31も、熱可塑性樹脂の射出成型品とすることが望ましく、安価に構成することが可能である。
更に、フライアイインテグレータ31の出射面31bが、前側焦点位置となるようにコレクタレンズ20を配置し、コレクタレンズ20の後側焦点位置に視野絞り50を配置する。更に、コレクタレンズ20の後側焦点位置が、前側焦点位置となるようにリレーレンズ40を配置し、このリレーレンズ40の後側焦点位置に開口絞り60を配置する。この開口絞り60の配置される面においては、拡大された光源像が結像する。また、リレーレンズ40の後側焦点位置が、前側焦点位置となるようにコンデンサレンズ70を配置し、このコンデンサレンズ70の後側焦点位置を視野面80とする。
また、従来のフライアイ照明系と同様に、フライアイインテグレータ31により視野絞り50上に重畳的に投影され、均一に照明された光束は、更にリレーレンズ40及びコンデンサレンズ70により視野面80に投影され、視野面80を均一に照明する。また、前述のように、コリメータ15を封止樹脂と兼ねてLED11近傍に配置し、かつ、コリメータ15の出射面近傍にフライアイインテグレータ31を配置して、光源Aを構成しているので、光学系全体を小型化することが可能である。このように、合成樹脂により構成されたコリメータ15、及び、フライアイインテグレータ31を光源A近傍に配置する構成は、小型で発熱の少ない固体光源であるLED11を用いることで実現可能である。
図5は、LED11及びコリメータ15の一例を説明したものである。コリメータ15の反射面15bは回転放物面であり、放物面の焦点位置にLED11が配置されている。LED11から放出された光束は、コリメータ15の反射面15bにて全反射し、略平行光束に変換され、出射端面15dから出射される。
また、第2の実施形態においても、拡散面に拡散された光の拡散角θが、条件式(1)を満足するよう構成することにより、観察像の不快なちらつきを良好に除去することが可能となる。また、出射面31bを拡散面としてもよく、均一な照明を実現することが可能となる。また、フライアイインテグレータ31の材料として、ガラス、合成石英、蛍石などを用いることができる。また、拡散面を、回折光学面とすることもできる。これらの条件については、以降の実施形態でも同様である。
また、第2の実施形態の照明装置においては、図6に示すように、光源部を複数設けた構成としてもよい。図6に示す照明装置は、図4に示すものとほぼ同様の構成であり、光源部Aに代わり、LED11とコリメータ15とを有する光源ユニットを複数個アレイ状に配列してなる光源部Bを用いた点で相違している。このような構成とすることで、より明るい照明光を得ることが可能になる。
(第3の実施形態)
次に、第3の実施形態に係る照明装置ついて図面7を参照して説明する。この図7は、第3の実施形態である照明装置を顕微鏡装置の落射照明光学系に適用した例を示すものである。この第3の実施形態の照明装置は、光源10と、コレクタレンズ20、フライアイインテグレータ31、開口絞り60、コレクタレンズ21、視野絞り50、リレーレンズ40、対物レンズ71、第2対物レンズ72、及び、ハーフミラー90からなる光学系Z3とを用いている。
次に、第3の実施形態に係る照明装置ついて図面7を参照して説明する。この図7は、第3の実施形態である照明装置を顕微鏡装置の落射照明光学系に適用した例を示すものである。この第3の実施形態の照明装置は、光源10と、コレクタレンズ20、フライアイインテグレータ31、開口絞り60、コレクタレンズ21、視野絞り50、リレーレンズ40、対物レンズ71、第2対物レンズ72、及び、ハーフミラー90からなる光学系Z3とを用いている。
コレクタレンズ20は、前側焦点位置に光源10を配置し、コレクタレンズ20の後側焦点位置にも、第1の実施形態で説明したフライアイインテグレータ31の入射面31aが配置される。そのため、フライアイインテグレータ31の出射面31bには、単位レンズごとに拡散された光源像で満たされ、二次光源を形成する。フライアイインテグレータ31の出射面31b近傍には、開口絞り60が配置される。更に、フライアイインテグレータ31の出射面31bが、前側焦点位置となるようにコレクタレンズ21を配置し、このコレクタレンズ21の後側焦点位置に視野絞り50を配置する。更に、コレクタレンズ21の後側焦点位置が、前側焦点位置となるようにリレーレンズ40を配置し、ハーフミラー90を介してこのリレーレンズ40の後側焦点位置と対物レンズ71の瞳とが一致するように対物レンズ71を配置する。この対物レンズ71は、コンデンサレンズを兼ねており、後側焦点位置を視野面80とする。
光学系Z3によって均一な明るさで照明された視野面80に、不図示の被観察試料を配置する。像面100は、対物レンズ71及び第2対物レンズ72からなる観察光学系により視野面80と共役となっており、像面100上に被観察試料の拡大像が結像する。観察者は不図示の接眼レンズにより、被観察試料の拡大像を観察する。また、視野絞り50と視野面80とが共役に配置され、二次光源近傍に開口絞り60が配置されており、視野絞り50と開口絞り60の径を調整することで、照明領域と照明開口数を定めることができる。
10 光源 31 フライアイインテグレータ
31a 入射面 31b 出射面
31a 入射面 31b 出射面
Claims (5)
- 複数の単位レンズを、各レンズ面の頂点が同一平面上に位置するよう配置してなるインテグレータであって、
前記単位レンズの入射面が、光を所定方向に拡散させる拡散面により構成されたインテグレータ。 - 更に、前記単位レンズの出射面が、光を所定方向に拡散させる拡散面である請求項1に記載のインテグレータ。
- 光源と、
請求項1〜3いずれか一項に記載のインテグレータと、
前記光源から放射され前記インテグレータを通過した光を視野面に照射する照明光学系と、を有する照明装置。 - 試料に光を照射する請求項4に記載の照明装置と、
前記試料からの光により前記試料の像を形成する観察光学系と、を有する顕微鏡装置。
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-
2008
- 2008-12-19 JP JP2008323461A patent/JP2010145780A/ja active Pending
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