JP3837782B2 - 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法に関し、詳しくは、アルミニウムを蒸発源とし、連続したプラスチックフィルム上に酸化アルミニウムを効果的に蒸着させる酸化アルミニウムの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
連続したプラスチックフィルム上に酸化アルミニウムを蒸着した蒸着フィルムは、特開昭58−2173号に示されるように、ガスバリア性フィルムとして、既に知られている。
【0003】
この酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法として、酸化アルミニウム自体を蒸発源とする方法が一般的である。しかし、酸化アルミニウムを蒸発源とした場合は、蒸気圧が低く、また、蒸発には高温で行わなければならない課題があった。
【0004】
そこで、アルミニウムを蒸発源とし、アルミニウム蒸気中に酸素ガスを導入しながら蒸着する、いわゆる反応蒸着法により、酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造する方法が知られている。
この反応蒸着法は、真空槽内に酸素を導入しながら蒸着を行うため、供給する酸素量とアルミニウムの蒸発量との割合が重要となってくる。
この酸素の供給量とアルミニウムの蒸発量との割合を特定することにより、真空槽内の圧力を一定の範囲内にすることができ、均一な膜厚の酸化アルミニウム層をプラスチックフィルム上に蒸着する方法が提案されている。(特公平6−99798号参照)
【0005】
一方、酸素の供給方法、アルミニウムの蒸発方法(電子線照射加熱方法、抵抗加熱方法)を考慮すると、蒸発したアルミニウムのうち50%以下の量が、プラスチックフィルム上に付着するのに加えて、供給した酸素は、プラスチックフィルム上に付着したアルミニウムとのみ反応するので、供給する酸素の量は、付着するアルミニウムと反応する対応する範囲の量に設定しなければならない。
この酸素の供給の割合が、付着するアルミニウムに比較して過剰な状態では、真空槽内の蒸着雰囲気のバランスが崩れ、ガスバリア性、均一な膜厚の酸化アルミニウム層を有する酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造が困難となってしまう。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、アルミニウムを蒸発源とし、真空槽内に酸素を供給しながら連続したプラスチックフィルム上に、酸化アルミニウムを連続的に蒸着する製造方法において、酸素の供給量をできるだけ少ない状態でも、安定した性能を有する酸化アルミニウム蒸着層を有する蒸着を可能とした、酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空槽内に酸素を導入しながら、アルミニウムに電子線を照射して加熱蒸発させ、連続したプラスチックフィルム上に、酸化アルミニウム蒸着層を連続的に形成する酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法において、単位時間当たりの平均アルミニウム蒸発量A〔モル/分〕と、単位時間当たりの酸素の導入量B〔モル/分〕との比〔B/A〕を、0.12〜0.19となる範囲に維持しながら蒸着を行い、蒸着形成された酸化アルミニウムが、完全にAl 2 O 3 とならず、Al 2 O 3 に微量のAlが存在する状態とすることを特徴とする、酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法である。また、第2の発明は、前記蒸着方法において、マイクロ波プラズマを発生した雰囲気中で蒸着をする酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法である。
【0008】
【作用】
アルミニウムの加熱蒸着を、電子線の照射により行うので、蒸着源の加熱ばかりでなく、真空槽中に供給された酸素が励起され、蒸発されたアルミニウムとより確実に反応するので、極めて少ない割合の酸素の供給で、ガスバリア性が優れた透明な酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造が可能となった。
【0009】
また、マイクロ波プラズマにより、蒸着雰囲気がより一層励起された状態となるので、さらに少ない割合の酸素で、ガスバリア性の優れた透明な酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造ができる。
【0010】
【発明の実施形態】
図1は、本発明の反応蒸着装置の一例を示す説明図である。
真空槽1内に設置された巻取軸2に巻かれた連続したプラスチックフィルム5は、−30℃〜10℃に冷却された冷却ドラム3に沿って走行しながら、フィルム巻取軸4に巻き取られる。
同時に、ルツボ6内のアルミニウムに電子線ビーム銃7から電子線を照射して、アルミニウムを蒸発し、かつアルミニウムの蒸気雰囲気内に位置したガス吹き出し口8から酸素を供給する。
【0011】
蒸発したアルミニウムと酸素が反応して、プラスチックフィルム5の表面に、酸化アルミニウム蒸着膜が形成される。ここで、酸化アルミニウムは、AlO、Al2 O3 を示すが、Al2 O3 に完全にするのではなく、Al2 O3 に微量のAlが存在する状態が、ガスバリア性、透明性が良好な状態となる。
また、前記蒸発したアルミニウム内でプラズマを発生するためのホーンアンテナ11にマイクロ波を供給することにより、より効果的に蒸着ができる。
【0012】
前記蒸着方法を用いた、本発明の具体例について説明する。
幅50cmのポリエステルフィルム(厚さ12μm)を600m/分の速度で走行させ、このポリエステルフィルム上に、厚さ400Åの酸化アルミニウム層を蒸着するため、蒸着源となるアルミニウムの蒸発量Aを108.3g/分(4.0モル/分)とし、一方、酸素の供給量Bを8〜13リットル/分(0.477〜0.774モル/分)とした。
すなわち、酸素供給量B/アルミニウム蒸発量を0.12〜0.19となる範囲に条件で行った。
この時、蒸発したアルミニウムがポリエステルフィルム上に、酸化アルミニウムとしての付着効率を30%とし、酸素供給量が過剰にならないように設定した。
【0013】
上記条件で蒸着した酸化アルミニウム蒸着フィルムは、透明で、ガスバリア性の優れたフィルムで、しかも膜厚のバラツキの少ないフィルムであった。
【0014】
【発明の効果】
本発明によれば、アルミニウムの蒸発量に対する酸素の供給量の割合が少ない状態にしたので、酸素の供給量が過剰となることがなく、真空槽内の圧力のバランスが崩れないので、安定した膜厚の連続状態の蒸着フィルムを得ることができる。
【0015】
また、本発明の条件で蒸着を行うことにより、蒸着形成された酸化アルミニウムが、完全にAl2 O3 とならず、微量のAlが存在する蒸着を行うので、透明性を損なわず、しかもガスバリア性の優れた酸化アルミニウム蒸着フィルムを製造することができる。
【0016】
さらに、電子線照射による蒸着方法であり、より少ない酸素の供給量での反応蒸着ができ、これに蒸着雰囲気にプラズマを発生させることにより、より効果的に酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造が可能となった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の蒸着フィルムを製造する装置の概略を示す説明図である。
【符号の説明】
1…真空槽
2、4…巻取軸
3…冷却ドラム
5…プラスチックフィルム
6…ルツボ
7…電子ビーム銃
8…ガス吹き出し口
11…ホーンアンテナ
Claims (2)
- 真空槽内に酸素を導入しながら、アルミニウムに電子線を照射して加熱蒸発させ、連続したプラスチックフィルム上に、酸化アルミニウム蒸着層を連続的に形成する酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法において、単位時間当たりの平均アルミニウム蒸発量A〔モル/分〕と、単位時間当たりの酸素の導入量B〔モル/分〕との比〔B/A〕を、0.12〜0.19となる範囲に維持しながら蒸着を行い、蒸着形成された酸化アルミニウムが、完全にAl 2 O 3 とならず、Al 2 O 3 に微量のAlが存在する状態とすることを特徴とする、酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法。
- マイクロ波プラズマを発生した雰囲気中で蒸着をする請求項1に記載の酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法。
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JP20952696A JP3837782B2 (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP20952696A JP3837782B2 (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH1053861A JPH1053861A (ja) | 1998-02-24 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP20952696A Expired - Lifetime JP3837782B2 (ja) | 1996-08-08 | 1996-08-08 | 酸化アルミニウム蒸着フィルムの製造方法 |
Country Status (1)
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JP4792151B2 (ja) * | 2000-01-11 | 2011-10-12 | 株式会社アルバック | 透明AlOxバリア膜の形成方法及び製造装置 |
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1996
- 1996-08-08 JP JP20952696A patent/JP3837782B2/ja not_active Expired - Lifetime
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