JP3833378B2 - ダイボンディング装置用コレット - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ダイボンディング装置においてチップを吸着するコレットに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、ダイボンディング装置には、チップを吸着して搬送するとともに、搬送したチップ所定の圧力で基板やリードフレームに押しつけるためのコレットが設けられている。図5に一般的なコレット51を示す。このコレット51は、ダイボンディング装置のボンディングアーム(共に図示せず)に支持される支持部52と、その先端に一体形成された吸着部53とを有している。コレット51の内部は中空であって、吸着部53の先端面つまり前記チップの吸着面には、支持部52側よりも断面積が小さな吸気孔54が開口している。吸着部53は、支持部52からテーパー状に延出した形状であって、吸着時やボンディング時において、チップの状態が観察しやすいようになっている。
【0003】
一方、こうしたコレット51は、超硬と呼ばれる硬度が非常に高い金属や、硬質でかつ耐熱性に優れた合成樹脂によって一般に形成されている。前者にあっては、その性質が高硬度であるため、耐久性に優れ比較的長時間の使用が可能である。つまり交換頻度を低く抑えることができるといった経済性の点が優れている。これに対し、後者にあっては、チップの吸着時及び基板等へのボンディング時にチップに加わる衝撃荷重が小さいため、衝撃によるチップの破損率が低く、また熱伝導率が低いためチップをボンディングする際の共晶温度を低く設定できるといった、チップの品質保持性の点が優れている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記コレット51においては、それが金属製である場合には、それが高硬度であるため、ボンディング作業に伴いチップに加わる衝撃力が大きく、また、熱伝導率が高いため共晶温度を高く設定しなければならず、逆に合成樹脂製である場合には、金属製のものに比べ耐久性が劣るため、使用可能な時間が短く交換頻度が高い。このため、コレット51の選定に際しては、経済性とチップの品質保持性とのいずれか一方を選択せざるを得ないという問題があった。
【0005】
本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなされたものであり、経済性及びチップの品質保持性の双方を兼ね備えたコレットを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために請求項1の発明にあっては、ダイボンディング装置に設けられチップを吸着するコレットにおいて、前記チップに当接するとともに吸気孔が開口する吸着面を有する硬質材からなる金属製の吸着部材と、この吸着部材が固着された合成樹脂製の保持部材とを備えたものとした。
【0007】
かかる構成において、ボンディング作業に際してチップは吸着部材の吸着面に吸着される。ここで、吸着部材は硬質材からなる金属製であるため、吸着部材における使用時の摩耗度合が合成樹脂製である場合に比べて小さい。また、吸着部材が合成樹脂製の保持部材に保持されているため、チップの吸着時及び基板等へのボンディング時に吸着部材からチップに加わる衝撃荷重は、保持部材がクッションとして機能することにより緩和される。しかも、吸着部材が金属製であっても、それがコレットの一部のみを構成するものであるため、コレット全体が金属製である場合に比べ、チップのボンディング時にコレットがチップの熱を放散させる度合が小さい。
【0008】
これに加え、請求項2の発明にあっては、前記吸着部材が前記保持部材に内嵌されたものとした。かかる構成においては、吸着部材が保持部材によって保温されることにより、コレットがチップの熱を放散させる度合が、より小さくなる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態を図にしたがって説明する。図1は、本発明にかかるコレット1を示す図であって、このコレット1は、図示しないダイボンディング装置のボンディングアームに支持される保持部材2と、その先端部に保持された吸着部材3とによって構成されている。保持部材2は合成樹脂により略円筒状に形成されており、その軸芯部分には図示しないエア回路に連通される第1の中空部4が貫通している。また、保持部材2の先端(図で下端)はテーパー状であるとともに、他の一般部よりも径が大きな先端部2aには前記吸着部材3が内嵌されている。
【0010】
吸着部材3は前記先端部2aに圧入されており、保持部材2の先端より突出するとともに、その基端(図で上端)が、前記先端部2aの内周壁に設けられた段部2bに当接することによって上方への移動を阻止されている。吸着部材3は、従来技術で述べた超硬により略円筒状に形成されており、その軸芯部分には前記第1の中空部4に連続する第2の中空部5が設けられている。また、吸着部材3は、保持部材2より突出する先端部3aをテーパー状に形成されており、その内部には、第2の中空部5に連通するとともに吸着部材3の先端面3b(図2参照)に開口する吸気孔6が貫通している。吸着部材3の先端面3bすなわち吸着面の面積はチップAの面積よりも大きく設定されている。
【0011】
以上の構成からなるコレット1においては、チップの吸着及び基板等へのボンディングといった使用に際して、前記エア回路(図示せず)によって第1の中空部4の内部が負圧状態とされることにより、前記先端面3bにチップAを吸着する。ここで、コレット1においては、吸着部材3が超硬により形成されているため、吸着部材3における摩耗度合が合成樹脂製である場合に比べて小さい。このため、耐久性に優れ比較的長時間の使用が可能である。つまり、従来技術で説明した合成樹脂製のコレットよりも優れた経済性が確保されている。
【0012】
また、吸着部材3が合成樹脂製の保持部材2に保持されているため、チップAの吸着時及び基板等へのボンディング時に吸着部材3からチップAに加わる衝撃荷重は、保持部材2がクッションとして機能することにより緩和される。このため、衝撃によるチップAの破損率を低下させることができる。しかも、吸着部材3が超硬により形成されていても、それがコレット1の一部のみを構成するものであるため、コレット1全体が金属製である場合に比べ、チップAのボンディング時にコレット1がチップAの熱を放散させる度合が小さい。このため、チップAをボンディングする際の共晶温度を低く設定でき、熱によるチップAの破損率を低下させることができる。つまり、従来技術で説明した金属製のコレットよりも優れたチップAの品質保持性が確保されている。
【0013】
また、本実施の形態におけるコレット1においては、吸着部材3が、それよりも断熱性の高い保持部材2に内嵌されているため、使用時には吸着部材3が保持部材2によって保温される。このため、チップAのボンディング時にコレット1がチップAの熱を放散させる度合が極めて小さく、吸着部材3が保持部材2に内嵌されていない場合に比べると前記共晶温度をさらに低く設定することができる。
【0014】
また、本実施の形態においては、吸着部材3の先端部3aが保持部材2の先端部2aより突出したものを示したが、図3に示したように、吸着部材3が突出しないようにしてもよい。すなわち、図3は、本発明の第2の実施の形態にかかるコレット31の要部を示すものであって、吸着部材3は円筒状に形成されており、その内部には、保持部材2内の中空部4に連通する吸気孔6が軸方向に貫通している。吸着部材3はテーパー状に形成された保持部材2の先端部2aに完全に収容されており、その先端面3bのみが露出した構造となっている。また、吸着部材3は、図1に示したものと同様に、保持部材2の先端部2aの内周壁に設けられた段部2bに当接することによって上方への移動を阻止されている。
【0015】
かかるコレット31においては、吸着部材3の周面が外部に露出していないため、チップAのボンディング時における吸着部材3からの放熱量が図1に示したものよりも少なくなるため、前記共晶温度をより一層低く設定することができる。
【0016】
また、図1及び図3に示したコレット1,31においては、保持部材2に内嵌された吸着部材3が、保持部材2の内周壁に設けられた段部2bに当接することによって上方への移動を阻止されているものを示したが、図4に示す構成により、それを阻止するようにしてもよい。すなわち、図4は、本発明の第3の実施の形態にかかるコレット41の要部を示すものであって、吸着部材3は、断面T字状に形成されており、保持部材2の先端部2aに内嵌する円筒状の内嵌部42と、保持部材2の先端に面接する露出部43とを有している。そして、吸着部材3の軸芯部には、保持部材2内の中空部4に連通するとともに吸着面である露出部43の端面43cに開口する吸気孔6が貫通している。かかる構成においても、図1に示したコレット1と同様の効果を得ることができる。
【0017】
なお、以上説明した各実施の形態においては、吸着部材3が圧入によって保持部材2に内嵌されているものを示したが、これ以外にも、例えば、接着等の他の方法によって、吸着部材3を保持部材2に保持させるようにしても構わない。また、吸着部材3を焼結金属等の他の材料によって成形するようにしてもよい。その場合であっても前述した効果が得られる。
【0018】
【発明の効果】
以上説明したように請求項1の発明にあっては、チップと当接する吸着部材を硬質材からなる金属製とし、使用時の摩耗度合が合成樹脂製である場合に比べ小さくなるようにしたことから、耐久性に優れ比較的長時間の使用が可能である。また、吸着部材を保持する保持部材を合成樹脂製とし、ボンディング作業時に吸着部材からチップに加わる衝撃荷重が緩和されるようにしたことから、衝撃によるチップの破損率が低くなる。しかも、コレット全体が金属製である場合に比べ、チップのボンディング時にコレットがチップの熱を放散させる度合が小さいことから、チップをボンディングする際の共晶温度を低く設定でき、熱によるチップの破損率が低くなる。よって、経済性及びチップの品質保持性の双方を兼ね備えたコレットの提供が可能となる。
【0019】
また、請求項2の発明にあっては、吸着部材が保持部材によって保温されることにより、コレットがチップの熱を放散させる度合が、より小さくなるようにしたことから、前記共晶温度をより低く設定することによって熱によるチップの破損率をより一層低下させることができる。よって、チップの品質保持性をより一層向上させることが可能となる。
【0020】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示すコレットの要部断面図である。
【図2】同実施の形態を示すコレットの拡大底面図である。
【図3】本発明の第2の実施の形態を示すコレットの要部断面図である。
【図4】本発明の第3の実施の形態を示すコレットの要部断面図である。
【図5】従来技術を示すコレットの要部断面図である。
【符号の説明】
1 コレット
2 保持部材
3 吸着部材
3b 先端面(吸着面)
6 吸気孔
31 コレット
41 コレット
Claims (2)
- ダイボンディング装置に設けられチップを吸着するコレットにおいて、前記チップに当接するとともに吸気孔が開口する吸着面を有する硬質材からなる金属製の吸着部材と、この吸着部材を保持する合成樹脂製の保持部材とを備えたことを特徴とするダイボンディング装置用コレット。
- 前記吸着部材が前記保持部材に内嵌されたことを特徴とする請求項1記載のダイボンディング装置用コレット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34411297A JP3833378B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | ダイボンディング装置用コレット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34411297A JP3833378B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | ダイボンディング装置用コレット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11163004A JPH11163004A (ja) | 1999-06-18 |
JP3833378B2 true JP3833378B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=18366733
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34411297A Expired - Fee Related JP3833378B2 (ja) | 1997-11-28 | 1997-11-28 | ダイボンディング装置用コレット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3833378B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5479546B2 (ja) * | 2012-08-24 | 2014-04-23 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
KR200484065Y1 (ko) * | 2014-07-11 | 2017-07-26 | 주식회사 케이앤에스 | 반도체 패키지용 어태치 장치 |
CN109176084A (zh) * | 2018-08-27 | 2019-01-11 | 嘉兴宝联机器人有限公司 | 一种布料夹取治具 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56144551A (en) * | 1980-04-11 | 1981-11-10 | Hitachi Ltd | Collet |
JPS5753946A (ja) * | 1980-09-17 | 1982-03-31 | Toshiba Corp | Daibondeinguyokoretsuto |
JPS59169044U (ja) * | 1983-04-26 | 1984-11-12 | 富士通株式会社 | 半導体チツプ吸着用ノズル |
JPH0620092B2 (ja) * | 1984-09-11 | 1994-03-16 | ロ−ム株式会社 | 半導体ペレットのダイボンディング用チャック装置 |
JPH05190665A (ja) * | 1992-01-17 | 1993-07-30 | Fujitsu Ltd | バンプ付半導体チップ用ピックアップコレット及びバンプ付半導体チップのピックアップ方法 |
JPH0742133U (ja) * | 1992-04-23 | 1995-07-21 | 東芝精機株式会社 | 半導体ペレット吸着用コレット |
-
1997
- 1997-11-28 JP JP34411297A patent/JP3833378B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11163004A (ja) | 1999-06-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041105 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060711 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 4 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S201 | Request for registration of exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314201 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728 Year of fee payment: 5 |
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R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
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R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S201 | Request for registration of exclusive licence |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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