JP3816038B2 - 多層形フレキシブル配線板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、多層形フレキシブル配線板およびその製造方法に係り、特に高密度配線形で、薄型化が図られた信頼性の高い多層形フレキシブル配線板およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子機器類の短小軽薄化などに伴って、電気回路を形成する配線板についても、高密度配線化や短小軽薄化だけでなくフレキシブル性が要求されている。このような要求に対応して、図3に要部構成を拡大して断面的に示すような多層形フレキシブル配線板が開発されている。図3において、層間絶縁体層20、21は厚さ25μm程度のポリイミド樹脂フィルムからなり、その層間に配線パターン22が形成され、前記配線パターン22層間を層間接続導体23が電気的に接続する。24は外層配線パターン形成面を被覆する厚さ25μm程度のポリイミド樹脂製のカバーフィルムである。ここで、層間絶縁体層20、21同士および層間絶縁体層21とカバーフィルム24とは熱硬化性の接着剤層(図示省略)を介して積層されており、また、層間接続は、スルホール型やビア型があり、これらの層間接続導体23は、導電体の埋め込みやスルホール内壁面のメッキ膜化などで行われている。
【0003】
そして、この種の多層形フレキシブル配線板は、次のようにして製造されている。先ず、厚さ25μm程度の例えばポリイミド樹脂の熱硬化性フィルム20の主面に、接着剤層を介して厚さ12〜18μm程度の銅箔を貼り合わせた銅箔貼りシートを用意する。次いで、この銅箔貼りシートの所定領域に穿孔加工を施し、層間接続用の貫通孔を設けた後、貫通孔内壁面をメッキ導体化するか、あるいは導電性組成物を充填して層間接続導体23を配置する。その後、フォトエッチング処理を施して配線パターン22を形成し、両面の配線パターン22間が接続された第1のフレキシブル配線層20とする。
【0004】
一方、厚さ25μm程度の例えばポリイミド樹脂の熱硬化性フィルム21の一主面に、接着剤層を介して厚さ12〜18μm程度の銅箔を貼り合わせた銅箔貼りシートを用意する。次いで、この銅箔貼りシートの所定領域に穿孔加工を施し、層間接続用の貫通孔を設けた後、貫通孔内壁面をメッキ導体化するか、あるいは導電性組成物を充填して層間接続導体23を形成する。その後、銅箔についてフォトエッチング処理を施し、配線パターン22に接続する層間接続導体23を有する第2のフレキシブル配線層21とする。また、電子部品実装用のため、所要の領域に打ち抜きプレス加工を施した厚さ15μm程度のポリイミド樹脂製のカバーシート24を用意する。
【0005】
上記用意した、第1のフレキシブル配線層20、第2のフレキシブル配線層21およびカバーシート24を位置合わせし積層配置する。このとき、各フレキシブル配線層20、21同士、およびフレキシブル配線層21とカバーシート24とが対接する領域面に電気的な接続に対する支障を回避するように、熱硬化性の接着剤層を介在させる。そして、この積層配置体に熱プレス加工を施し、これらを接合して一体化させることにより、多層形フレキシブル配線板を製造している。
【0006】
また、上記層間接続の構成を簡略する手段として、図4(a)、(b)、(c)に要部を示す方法も知られている。先ず、厚さ15μm程度の銅箔25の所定領域面に、導電性組成物や導電性金属などを素材として突起状導電体26を形設する。次いで、銅箔25の突起状導電体26形設面に厚さ25μm程度の熱可塑性樹脂層27、および厚さ15μm程度の銅箔25aを順次積層する。その後、この積層体を、熱プレスして接合一体化して、両面銅箔25、25aが熱可塑性樹脂層27を貫挿した突起状導電体26で電気的に接続した両面銅箔貼り板を製作する。この両面銅箔貼り板の両面銅箔25、25aをエッチング処理して配線パターン化する。この方式は、層間接続導体26を容易に、また、微細に形成できるので、生産性および高密度配線パターン化に適する手段として注目されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上記多層形フレキシブル配線板は、コンパクト化されフレキシブルであることから、使用する電子機器類、たとえばデジタルカメラ、携帯電話などの短小軽薄化に寄与するが、一方では、次のような不具合が認められる。すなわち、上記図3に図示する構成においては、各フレキシブル配線層20、21同士、およびフレキシブル配線層21とカバーシート24とが対向する面に、熱硬化性の接着剤層が介挿する構成を採っている。ところで、熱硬化性樹脂フィルムはある程度の厚みが必要であり、積層配置体の接合一体化に当たっては、介挿させた接着剤層の充分な溶融と流動性、および熱硬化を確保するための熱プレス加工が施される。そして、この加圧、加熱加工の段階で、突出的に配置されている配線パターン22が位置ずれなど招来する恐れがあり、結果的に、製作された多層形フレキシブル配線板の信頼性が損なわれたり、あるいは製造歩留まりの低下が見られる。
【0008】
また、強固な接合を確保するために、介挿させる熱硬化性接着剤層の厚さを厚くすると、多層形フレキシブル配線板の薄形化が損なわれるだけでなく、上記熱プレス加工の段階での位置ずれ発生など助長される。なお、熱硬化性の接着剤層においては、一般的に、難燃性化が要求されるため、たとえばハロゲン化合物やリン化合物などの難燃化剤が添加配合されており、この難燃化剤の添加配合によって、環境問題を提起するだけでなく、配線板自体の電気的な特性に悪影響が及ぶ恐れもある。
【0009】
一方、図4に図示する方式で形成された多層形フレキシブル配線板においては、層間絶縁体を構成する熱可塑性樹脂層27の軟化、溶融性を利用し、銅箔(配線パターン)を熱可塑性樹脂層27に接合することができる。しかし、熱可塑性樹脂の選択によっては、溶融変形などに伴う配線パターンの位置ずれ発生が懸念され、充分な接合強度の確保が困難であったり、あるいは充分な耐熱性を確保できない等の問題があって、歩留まりや信頼性などの点で問題がある。
【0010】
本発明は、上記事情に対処してなされたもので、信頼性が高くて、より薄形でコンパクト化が図られた多層形フレキシブル配線板、およびその製造方法の提供を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第1の熱可塑性樹脂層の両主面に配線パターンを形成し、前記配線パターン間を層間接続導体が前記第1の熱可塑性樹脂層を貫挿して前記配線パターン層同士を電気的に接続し、かつ前記少なくとも一方の主面の配線パターンに隣接する面領域に前記第1の熱可塑性樹脂層よりも融点の低い第2の熱可塑性樹脂層を充填し平坦面とした第1のフレキシブル配線素板と、
第3の熱可塑性樹脂層の一主面に配線パターンを形成し、かつこの配線パターン側から他主面にわたり前記第3の熱可塑性樹脂層を貫挿してなる第2のフレキシブル配線素板とが、
前記第1のフレキシブル配線素板の少なくとも一方の主面に前記第2のフレキシブル配線素板の他主面に対接し前記第2の熱可塑性樹脂層を介して接合され積層されてなることを特徴とする多層形フレキシブル配線板にある。
【0012】
また、第1の熱可塑性樹脂の薄い層を層間絶縁体とし、複数の配線パターン層を内蔵し、かつ配線パターン面に突設させた突起状導体が層間絶縁体を貫挿して配線パターン層間を電気的に接続する多層形フレキシブル配線板であって、前記層間絶縁体層同士の積層対接面が第1の熱可塑性樹脂よりも融点の低い第2の熱可塑性樹脂層を介して接合、一体化していることを特徴とする多層形フレキシブル配線板である。
【0013】
さらに、上記発明の多層形フレキシブル配線板において、少なくとも第1の熱可塑性樹脂が液晶ポリマーであることを特徴とする。
【0014】
さらに本発明の製造方法は、第1の熱可塑性樹脂薄層の少なくとも一主面に配線パターンが突設的に形成され、かつ第1の熱可塑性樹脂層を貫挿する突起状の層間接続導体を有する第1のフレキシブル配線素板の配線パターン形成面に、配線パターンを埋めるほぼ一様な厚さに前記第1の熱可塑性樹脂よりも融点の低い第2の熱可塑性樹脂層を被覆する工程と、前記被覆した第2の熱可塑性樹脂層面をスラッシュ加工して配線パターン面を同一平面に露出させる工程と、前記第1のフレキシブル配線素板の配線パターン露出面に、第1の熱可塑性樹脂薄層の一主面に配線パターンおよび厚さ方向に貫挿する突起状の層間接続導体を有する第2のフレキシブル配線素板の非配線パターン形成面を位置決め積層配置する工程と、前記積層体を積層方向に加圧して第2の熱可塑性樹脂層を介して第1の熱可塑性樹脂薄層同士を接合一体化する工程とを具備していることを特徴とする多層形フレキシブル配線板の製造方法である。
【0015】
さらに、第1の熱可塑性樹脂薄層の少なくとも一主面に配線パターンが突設的に形成され、かつ第1の熱可塑性樹脂層を貫挿する突起状の層間接続導体を有する第1のフレキシブル配線素板の配線パターン形成面に、配線パターンを埋めるほぼ一様な厚さに前記第1の熱可塑性樹脂よりも融点の低い第2の熱可塑性樹脂層を被覆・配置する工程と、前記被覆・配置した第2の熱可塑性樹脂層面をスラッシュ加工して配線パターン面を同一平面に露出させる工程と、前記第1のフレキシブル配線素板の配線パターン露出面に、第1の熱可塑性樹脂薄層の一主面に導体箔が貼着され、かつ厚さ方向に貫挿する突起状の層間接続導体を有する第2のフレキシブル配線用素板の非導体箔貼着面を位置決め積層配置する工程と、前記積層体を積層方向に加圧して第2の熱可塑性樹脂層を介して第1の熱可塑性樹脂薄層同士を接合一体化する工程と、前記第2のフレキシブル配線用素板の導体箔を配線パターニングする工程とを具備していることを特徴とする多層形フレキシブル配線板の製造方法である。
【0016】
さらに、第1の熱可塑性樹脂薄層の少なくとも一主面に配線パターンが突設的に形成され、かつ第1の熱可塑性樹脂層を貫挿する突起状の層間接続導体を有する第1のフレキシブル配線素板の配線パターン形成面を露出させ、前記第1の熱可塑性樹脂よりも融点の低い第2の熱可塑性樹脂層を充填・配置して平坦面化する工程と、前記第2の熱可塑性樹脂の充填・配置で平坦面化させた第1のフレキシブル配線素板面に、一主面に配線パターンおよび厚さ方向に貫挿する層間接続導体を有する第2のフレキシブル配線素板の非配線パターン形成面を位置決め積層配置する工程と、前記積層体を積層方向に加圧して第2の熱可塑性樹脂層を介して第1の熱可塑性樹脂薄層同士を接合一体化する工程とを具備していることを特徴とする多層形フレキシブル配線板の製造方法である。
【0017】
さらに、上記の多層形フレキシブル配線板の製造方法において、フレキシブル配線素板を形成する第1の熱可塑性樹脂層の厚さが25〜200μmであることを特徴とする。
【0018】
さらに、上記の多層形フレキシブル配線板の製造方法において、少なくとも第1の熱可塑性樹脂が液晶ポリマーであることを特徴とする。
【0019】
すなわち、この出願に係る発明は、比較的融点が高くて耐熱性に優れている熱可塑性の樹脂で層間絶縁体を形成するに当たり、層間絶縁体を形成する各樹脂層間に、比較的融点の低い熱可塑性の樹脂層を介挿させ、より緩和した条件で、容易に強固な接合一体化を図ることを骨子とする。そして、このような構成に伴って、同じ配線パターン層数の構成では、全体の厚さを薄くして短小軽薄化を容易に達成しながら、電気的な特性および可撓性などの優れた信頼性の高い多層形フレキシブル配線板を提供するものである。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、図1および図2(a)、(b)、(c)、(d)を参照して発明の実施形態を説明する。
【0021】
図1は、実施形態に係る多層形フレキシブル配線板の要部を拡大して示す断面図である。図1において、層間絶縁体層8は、厚さ25〜200μmの液晶ポリマーフィルム、例えば融点335℃のBIACフィルム(商品名)またはベクスタフィルム(商品名)の第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8cを積層してなり、この層間絶縁体層8に各配線パターン層9a、9bが挟持、内蔵され、層間絶縁体層8表面に配線パターン層9cが形成されている。ここで、各配線パターン9a、9b、9cは、配線パターン9a、9c面から突設し第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8cを貫挿する突起状接続導体10によって、所要の電気的な接続が行われている。
【0022】
すなわち、層間絶縁体8中を略円錐状もしくは角錐状に印刷形成された導電性バンプ、あるいは選択的に肉盛り成長させた金属製突起などの突起状接続導体10先端側を貫挿させ、対向する配線パターン9a、9bと電気的に接続する構成を採っている。また、前記層間絶縁体層8を形成する液晶ポリマーフィルムの第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8c同士は、その積層対接面に介在させた厚さ25〜200μmの液晶ポリマーフィルム、たとえば融点325℃のCタイプフィルムで形成した第2の熱可塑性樹脂層11を介して接合、一体化している。なお、さらに外装配線パターン9c形成面にカバーフィルム(図示省略)を被覆した構成を採ることもできる。
【0023】
さらに言及すると、この実施形態に係る多層形フレキシブル配線板は、第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8c同士が、この第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8cよりも融点の低い熱可塑性樹脂からなる第2の熱可塑性樹脂層11を介して接合、一体化した構成を採っている点で特徴付けられる。そして、この構成例においては、多層形フレキシブル配線板(4層形)の厚さが例えば約160μmで、従来の多層形フレキシブル配線板(層間絶縁体がポリイミド樹脂の熱硬化性樹脂層によるは配線パターン4層形)の厚さが約180μmになるのに較べて、約20μm程度薄くでき、しかも、配線パターン9a、9bの位置ずれなども起こらず、信頼性の高い機能を呈することも確認された。なお、図1において、12は電子部品の実装用ビア型端子部である。
【0024】
上記構成の多層形フレキシブル配線板において、層間絶縁体層8を形成する第1の熱可塑性樹脂としては、たとえばフェノキシ樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリスルフォン樹脂、ポリフェニレンスルフォン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ホリフェニールエーテル樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、液晶ポリマー、ポリテトラフロロエチレン樹脂などが挙げられる。また、層間絶縁体層を形成する第1の熱可塑性樹脂層同士を接合一体化する第2の熱可塑性樹脂層11は、基本的には、上記例示の樹脂類である。つまり、第1の熱可塑性樹脂層8と第2の熱可塑性樹脂層11とは、相対的なもので、選択された第1の熱可塑性樹脂層8に対し、10〜40℃程度、より好ましくは20〜30℃程度低い融点を有する熱可塑性樹脂の第2の熱可塑性樹脂層11が選択される。特に、液晶ポリマーの選択は、耐熱性、電気絶縁特性、寸法安定性などが優れているので有利である。
【0025】
変形例として第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8cは互いに異なる材料を選択することができる。例えば層8bをコア層とし、その両面に積層する層8a、8cよりも高い融点を持たせることができる。この場合も、第1の熱可塑性樹脂層に対して第2の熱可塑性樹脂層に、より融点の低い樹脂を使用する。
【0026】
第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8cの厚さは、配線パターン層数、目的とする多層形フレキシブル配線板の厚さや仕様などによっても異なるが、一般的に、25〜200μm程度である。また、第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8c主面の配線パターン9a、9b、9cは、たとえば貼着した銅箔の選択的なエッチング処理、予め形成しておいた配線パターンの圧着、あるいは導電性ペーストのスクリーン印刷などで、突設的に形成される。そして、これら突設的に形成された配線パターン9a、9b、9cは、第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8cの厚さ方向へ加圧・圧入して突設高さを低く調整することもでき、多層形フレキシブル配線板の薄板化に寄与する。
【0027】
第1の熱可塑性樹脂層8a、8b、8c同士が対接する面間に介挿し、相互の接合一体化に寄与する第2の熱可塑性樹脂層11は、層間接続導体10による電気的な接続に対する支障を回避する必要がある。つまり、少なくとも層間接続する配線パターン9a、9b面は、第2の熱可塑性樹脂層11による絶縁被覆を実質的に回避した状態で露出するように、第2の熱可塑性樹脂層11面と同一面を採った構成となる。
【0028】
ここで、配線パターン9a、9bおよび第2の熱可塑性樹脂層11の同一平坦面化は、次のような手段で行える。第1の手段は、配線パターン9a、9b面に、この突設している配線パターン9a、9bの高さよりも5〜10μm程度厚い第2の熱可塑性樹脂フィルムを圧着配置し、この圧着配置した第2の熱可塑性樹脂フィルムをスラッシュ加工によって、選択的に研削して配線パターン9a、9bと同一平坦面化する。第2の手段は、配線パターン9a、9bに対して逆パターンに打ち抜き・加工した第2の熱可塑性樹脂フィルムを嵌合的に装着・配置して、圧着・充填する。この場合、逆パターンに加工した第2の熱可塑性樹脂フィルムを嵌合的に装着・配置した後、配線パターン9a、9bを第1の熱可塑性樹脂8b層に圧入して同一平坦面化してもよい。
【0029】
なお、最外層の配線パターン9c化に先立って、要すれば炭酸レーザーやYAGレーザーなどによって、実装用ビア接続端子部12を形成するための穿孔加工、穿孔内壁面のメッキ導電性化などを行う。そして、最外層の銅箔をフォトエッチング処理して、所要の配線パターン9cを形成する。
【0030】
次に、多層形フレキシブル配線板の製造方法例を説明する。
【0031】
図2(a)、(b)、(c)、(d)は、多層形フレキシブル配線板の製造方法の実施態様を模式的に示す要部断面図である。図2(a)に示すように、先ず、後工程で配線パターン9aとなる厚さ12μm銅箔(9a)を用意し、この銅箔の一主面側に、たとえばステンレス薄鋼板の所定箇所0.2mm径の孔を明けたメタルマスクを位置決め配置して導電性ペーストを印刷する。この導電性ペーストが乾燥後、同一メタルマスクを用いて同一位置に再度印刷する方法で、複数回印刷を繰り返し、層間接続導体10となる高さ150μm程度のほぼ円錐状の山形バンプを形設する。
【0032】
その後、前記銅箔の山形バンプ形設面側に、第1の熱可塑性樹脂層8bとなる厚さ50μmの液晶ポリマーフィルム、たとえば融点335℃のBIACフィルム(商品名)またはベクスタフィルム(商品名)と、後工程で配線パターン9bとなる厚さ12μmの銅箔(9b)を積層して一体化する。次いで、この積層体の両銅箔面に当て板を配置して、樹脂圧として4Mpa程度で熱プレスし、両面銅箔貼り板を製作する。なお、上記熱プレスにおいて、銅箔(9a)の山形バンプは、組成変形性を呈する第1の熱可塑性樹脂フィルム8bを貫挿し、その先端部が対向する銅箔(9b)面に到達して潰れた状態で、電気的には0.01Ω以下の抵抗で接続する。ここでは、一方の銅箔(9a)の片面に層間接続導体を成す山形バンプを形設したが、両銅箔(9a)、(9b)の片面に位置をずらしてそれぞれ山形バンプを形設し、この山形バンプの形設面を対向させて第1の熱可塑性樹脂フィルム8bを貫挿させる構成を採ると、より微細配線に適する層間接続導体の形成が可能である。
【0033】
上記製作した両面銅箔貼り板の両銅箔をフォトエッチング処理し、図2(a)に示すように、所要の配線パターン化を行って両面配線パターンの配線素板13を作成する。ここで、各配線パターン9a、9bは、第1の熱可塑性樹脂層8b面から12μm程度突出している。また、両配線パターン9a、9bを層間接続導体10が接続する。
【0034】
次に、前記両面配線パターンの配線素板13の両面に、第2の熱可塑性樹脂11となる厚さ25μmの液晶ポリマーフィルム、たとえば融点325℃のCタイプフィルムを積層し、樹脂圧として3Mpa程度で熱プレスする。すなわち、図2(b)に示すように、第2の熱可塑性樹脂層11で、前記配線パターン9a、9bを含む配線パターンの配線素板13の両面全体を一体的に被覆する。その後、前記被覆した第2の熱可塑性樹脂層11について、スラッシュ加工処理を施して、配線パターン9a、9bを露出させて、図2(c)に示すように、全体的にほぼ一様な平坦面とする。
【0035】
つまり、第1の熱可塑性樹脂層8b両面の配線パターン9a、9bに隣接する非配線パターン域の面に、配線パターン9a、9bの露出面と同一平坦面を成すように第2の熱可塑性樹脂層11が充填された両面配線の素板を作成する。ここで、第2の熱可塑性樹脂層11の充填配置は、やや厚めの第2の熱可塑性樹脂フィルム11をスラッシュ加工して行う代わりに、配線パターン9a、9bに対して逆パターンに打ち抜き加工した第2の熱可塑性樹脂フィルム11を嵌合的に装着する構成などを採ってもよい。
【0036】
次いで、前記第2の熱可塑性樹脂層11の充填配置で、配線パターン9a、9bの露出面と同一平坦面化した素板面に、第1の熱可塑性樹脂層8a、8cとなる厚さ50μmの液晶ポリマーフィルム、たとえば融点335℃のBIACフィルムをそれぞれ積層配置する。さらに、これら第1の熱可塑性樹脂層8a、8cとなるフィルムの外側に、片面側に形設した山形バンプを対向させて銅箔(9c)を積層的に配置し、樹脂圧として4Mpa程度で、熱プレスし、図2(d)に示すように、両面銅箔貼りの多層配線板用素板を製作する。なお、上記加圧において、山形バンプは、組成変形性を呈する第1の熱可塑性樹脂層8a、8cを貫挿し、その先端部が対向する配線パターン9a、9bに到達して潰れた状態で、電気的には0.01Ω以下の抵抗で対接し接続する。
【0037】
その後、上記製作した多層配線板用素板の外表部について、要すれば炭酸レーザーなどによって、実装用ビアを形設するための穿孔加工、および穿孔部の導電性加工を行ってから、外表面の銅箔(9c)についてフォトエッチング処理を施すことにより外装配線パターン9cとし、図1に示すような多層形フレキシブル配線板を得ることができる。そして、この製造方法例においては、折り曲げを繰り返し後でも剥離して損傷するのを招来する恐れがなく、また、信頼性の高い電気的特性を奏する薄型の多層形フレキシブル配線板を歩留まりよく製作することができる。
【0038】
本発明は、上記実施形態に限定されるものでなく、発明の主旨を逸脱しない範囲でいろいろの変形を採ることができる。たとえば内蔵される配線パターン数は、3層形や5層以上の多層形でもよく、また、第1の熱可塑性樹脂および第2の熱可塑性樹脂の組み合わせも、液晶ポリマー同士の組み合わせだけでなく、液晶ポリマーと他の熱可塑性樹脂との組み合わせなどであってもよい。
【0039】
さらに図2(c)の形状を片面形成すれば60層程度まで一環積層することが可能となることはいうまでもない。
【0040】
【発明の効果】
本発明によれば、複数の配線パターン層を内蔵し、かつ配線パターン面に突設させた突起状導体が熱可塑性樹脂層を貫挿して配線パターン層間を電気的に接続する多層形フレキシブル配線板において、層間絶縁体を構成する熱可塑性樹脂層同士が、この熱可塑性樹脂よりも融点の低い他の熱可塑性樹脂層を介して接合、一体化している。つまり、構成の簡略化が図られているだけでなく、薄形で、信頼性の高い機能を奏する多層形フレキシブル配線板が提供される。
【0041】
また、少なくとも層間絶縁体を液晶ポリマーで構成することにより、より電気的な特性の向上した多層形フレキシブル配線板が提供される。
【0042】
また、本発明の製造方法によれば、構成の簡略化が図られているだけでなく、歩留まりよく量産的に、薄形で、信頼性の高い機能を奏する多層形フレキシブル配線板を容易に提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る多層形フレキシブル配線板の要部構成を示す断面図。
【図2】(a)、(b)、(c)、(d)は実施形態に係る多層形フレキシブル配線板の製造例の実施態様を工程順に模式的に示す要部断面図。
【図3】従来の多層形フレキシブル配線板の要部構成例を示す断面図。
【図4】(a)、(b)、(c)は従来の多層形フレキシブル配線板の製造方法を工程順に模式的に示す要部断面図。
【符号の説明】
8:第1の熱可塑性樹脂が構成する層間絶縁体
8a、8b、8c:第1の熱可塑性樹脂層
9a、9b、9c:配線パターン
10:層間接続導体
11:第2の熱可塑性樹脂層
12:ビア型端子部
Claims (6)
- 第1の熱可塑性樹脂層の両主面に配線パターンを形成し、前記配線パターン間を山形バンプの層間接続導体が前記第1の熱可塑性樹脂層を貫挿して前記配線パターン層同士を電気的に接続し、かつ前記少なくとも一方の主面の配線パターンに隣接する面領域に前記第1の熱可塑性樹脂層よりも融点の低い第2の熱可塑性樹脂層を充填し平坦面とした第1のフレキシブル配線素板と、
第3の熱可塑性樹脂層の一主面に配線パターンを形成し、かつこの配線パターン側から他主面にわたり前記第3の熱可塑性樹脂層を貫挿する山形バンプの層間接続導体を有する第2のフレキシブル配線素板とが、
前記第1のフレキシブル配線素板の少なくとも一方の主面に前記第2のフレキシブル配線素板の前記他主面に対接し、前記第1のフレキシブル配線素板と前記第2のフレキシブル配線素板とが前記第2の熱可塑性樹脂層を介して接合され積層されるとともに前記層間接続導体により前記両素板の配線パターンが層間接続されることを特徴とする多層形フレキシブル配線板。 - 少なくとも第1の熱可塑性樹脂層が液晶ポリマーであることを特徴とする請求項1に記載の多層形フレキシブル配線板。
- 第1の熱可塑性樹脂層の少なくとも一主面に所定厚さの配線パターンが形成され、かつ第1の熱可塑性樹脂層を貫挿する山形バンプの突起状の層間接続導体を有する第1のフレキシブル配線素板の配線パターン形成面に、配線パターン間の非配線領域を埋めて前記第1の熱可塑性樹脂層よりも融点の低い第2の熱可塑性樹脂層を被覆する工程と、
前記被覆した第2の熱可塑性樹脂層面をスラッシュ加工して配線パターン面および前記非配線領域を同一平面に形成する工程と、
前記第1のフレキシブル配線素板の配線パターン露出面に、第3の熱可塑性樹脂層の一主面に配線パターンおよび厚さ方向に貫挿する山形バンプの突起状の層間接続導体を有する第2のフレキシブル配線素板の他の主面の非配線パターン面を対設し積層する工程と、
前記積層体を積層方向に加圧して第2の熱可塑性樹脂層を介して前記第1のフレキシブル配線素板と前記第2のフレキシブル配線素板を接合一体化するとともに前記層間接続導体により前記両素板の配線パターンを層間接続する工程と、
を具備していることを特徴とする多層形フレキシブル配線板の製造方法。 - 第1の熱可塑性樹脂層の少なくとも一主面に配線パターンが所定厚に形成され、かつ前記第1の熱可塑性樹脂層を貫挿する山形バンプの突起状の層間接続導体を有する第1のフレキシブル配線素板の前記配線パターン形成面に、前記配線パターンを埋める一様な厚さに前記第1の熱可塑性樹脂層よりも融点の低い第2の熱可塑性樹脂層を被覆する工程と、
前記被覆形成した第2の熱可塑性樹脂層面をスラッシュ加工して配線パターン面を同一平面に露出させる工程と、
第3の熱可塑性樹脂層の一主面に導体箔が貼着され、かつ厚さ方向に貫挿する山形バンプの突起状の層間接続導体を有する第2のフレキシブル配線用素板を形成し、その他主面の非導体箔貼着面を、前記第1のフレキシブル配線素板の配線パターン露出面に位置決め積層する工程と、
前記積層体を積層方向に加圧して第2の熱可塑性樹脂層を介して第1のフレキシブル配線素板と第2のフレキシブル配線素板を接合一体化するとともに前記層間接続導体により前記両素板の配線パターンを層間接続する工程と、
前記第2のフレキシブル配線用素板の導体箔を配線パターニングする工程と、
を具備していることを特徴とする多層形フレキシブル配線板の製造方法。 - 第1の熱可塑性樹脂層の両主面に配線パターンが所定厚に形成され、かつ前記配線パタ ーン側から他主面に前記第1の熱可塑性樹脂層を貫挿する山形バンプの突起状の層間接続導体を有する第1のフレキシブル配線素板を形成し、前記配線パターン形成面を前記第1の熱可塑性樹脂層よりも融点の低い第2の熱可塑性樹脂層で被覆被着し前記配線パターン面と前記配線パターン間に充填された第2の熱可塑性樹脂層面を平坦面化する工程と、
前記第2の熱可塑性樹脂層の充填で平坦面化させた第1のフレキシブル配線素板面に、一主面に配線パターンおよび厚さ方向に貫挿する山形バンプの層間接続導体を有する第2のフレキシブル配線素板の他主面の非配線パターン形成面を位置決め積層配置する工程と、
前記積層体を積層方向に加圧して第2の熱可塑性樹脂層により前記第1のフレキシブル配線素板と前記第2のフレキシブル配線素板を一体化するとともに前記層間接続導体により前記両素板の配線パターンを層間接続する工程と、
を具備していることを特徴とする多層形フレキシブル配線板の製造方法。 - 第1の熱可塑性樹脂層と第3の熱可塑性樹脂層が同一材料であることを特徴とする請求項3または4に記載の多層形フレキシブル配線板の製造方法。
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