JP3779357B2 - 共焦点走査光学顕微鏡 - Google Patents
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Description
【産業状の利用分野】
本発明は共焦点光学系を有する走査光学顕微鏡の内、共焦点光学系に干渉計を組み合わせたタイプの共焦点走査光学顕微鏡に関するものである。
【0002】
さらに言えば、光源の出力光を試料照射前に試料照射光と参照光に分岐する機構を有する送光光学系を持ち、試料からの反射光または試料透過光と、該参照光とを合波干渉し、干渉光を共役焦点位置に配置した光検出器へ導く受光光学系を持つ共焦点走査光学顕微鏡に関するものである。
【0003】
【従来の技術】
この種の顕微鏡は主に以下に示す2つのタイプに大別される。
1)試料からの反射光を測定に用いるもの
2)試料を透過した光を測定に用いるもの
1)は主に試料表面の形状を測定するもので、2)は主として試料内部における屈折率等の光学定数の分布を測定する場合に用いられる
【0004】
従来法の装置の主な構成要素は、コヒーレント光源、共焦点光学系、試料照射光と参照光を分岐または合波するためのビームスプリッタ/コンバイナ、共役焦点位置に配置した光検出器、試料上で照射光ビームの焦点を2次元的に走査するビーム走査機構、試料からの反射または透過光と参照光の光路差を調整する機構、及びこれらを統合的に制御しデータを取得する制御機構及び、取得データを処理するコンピュータ等からなる。
【0005】
従来法の内、1)の試料からの反射光を測定に用いる装置は、以下に示す構造と原理により試料表面の3次元的形状を測定する。
【0006】
コヒーレント光源からの出力光を参照光と試料照射光に分岐し、該試料照射光は試料上のピンスポットに集光する。このピンスポットは、ビーム走査機構により試料上を2次元的に走査される。
【0007】
試料上の前記ピンスポットからの反射光と、前記参照光を合波干渉させ、試料上のピンスポットの共役焦点位置に配置した光検出器で干渉光の強度を測定する。
【0008】
制御部は前記光検出器による干渉光の強度が常に極大値をとるよう、試料からの反射光と参照光の光路差を調整する機構を用いて光路差の補償を行う。同時にこの補償量またはこれに関連するデータを、ピンスポットの位置と共に記録する。
【0009】
上記構成により記録された光路差の補償量は、試料照射光の反射位置の光軸方向への変位すなわち試料表面の凹凸に比例する。したがってこれを元に試料表面の3次元像が再現できる。
【0010】
従来法の内、2)の試料を透過した光を測定に用いるタイプの装置は、上述した試料反射光を用いるタイプの装置と比べ、試料の透過光を参照光と合波干渉させるところが異なる。この2)のタイプの装置で記録された参照光と試料透過光の光路差の補償量は、試料の屈折率の変化による、試料透過光の光路長の変化に対応している。したがってこれを元に試料の屈折率分布を再現することができる。
【0011】
参照光、試料照射光、試料反射光または試料透過光の光路中に配置して、光路長の調整を行う機構としては、以下の方法が提案されている。
a)反射鏡を機械的に移動させて参照光または試料光の光路を可変する方法
b)参照光または試料光の光路中に電気光学結晶等の屈折率可変光学媒体を挿入して光路差を可変する方法
【0012】
以下図面を用いてもう少し詳しく従来法の説明を行う。
【0013】
図3に従来法の内、参照光の光路長を可動ミラーによって変化させ、試料からの反射光と参照光とを合波干渉させる方式を模式的に示した。
【0014】
レーザー301から発したコヒーレント光はビームエキスパンダ302とレンズ303で平行ビームとされビームスプリッタ/コンバイナ304に入射する。ここで参照光と試料照射光に分岐され、参照光は移動ステージ306で光軸方向に移動可能なミラー305を往復する。一方試料照射光はレンズ309により試料台310上の試料上のピンスポットに集光される。
【0015】
試料上のピンスポットからの反射光は再度レンズ309を通ってビームスプリッタ/コンバイナ304上で参照光と合波干渉する。この干渉光はレンズ307で集光され光検出器308に入射する。
【0016】
制御部312は2軸方向に移動可能な移動ステージ311を制御して、試料を乗せた試料台310を試料照射光に垂直な平面内で移動させ、試料照射光のピンスポットを試料上で2次元的に走査する。この時、光検出器308の出力が常に極大値を取るよう(つまり試料反射光と参照光の位相差が0となるよう)に移動ステージ306を制御してミラー305を移動する。同時に制御部312は試料台310の位置とミラー305の位置または移動量をデータとして取得し保持する。
【0017】
このミラー305の位置または移動量は試料表面での試料照射光の反射位置、すなわち照射光のビームスポットがある位置での試料の高さに関する情報を有する。こうして試料上の各点で得たデータから、コンピュータを用いて試料の3次元像を再構成する。
【0018】
図4に従来法の内、参照光の光路長を電気光学素子によって変化させ、試料からの透過光と合波干渉させる方式を模式的に示した。
【0019】
レーザー401から発したコヒーレント光はビームエキスパンダ402とレンズ403で平行ビームとされビームスプリッタ404に入射し、ここで参照光と試料照射光に分岐される。試料照射光はレンズ408により試料上にのピンスポットに集光される。試料からの透過光はレンズ411により平行ビームとされ、ミラー412で反射されてコンバイナ407へ入射する。
【0020】
ビームスプリッタ404で分岐された参照光はミラー405で反射され電気光学素子406を透過し、コンバイナ407で試料透過光と合波干渉する。これをレンズ413を通して光検出器414に導く。
【0021】
制御部415は2軸方向に移動可能な移動ステージ409を制御して試料を乗せた試料台410を平面内で移動させ試料上で試料照射光のピンスポットを2次元的に走査する。この時、制御部415は光検出器414の出力が常に極大値を取るように(つまり試料透過光と参照光の位相差が0になるよう)電気光学素子406の屈折率を制御する。同時に制御部415は、この電気光学素子406の制御電圧または電気光学素子406の屈折率及び、移動ステージ409の位置をデータとして取得し保持する。
【0022】
この電気光学素子406の制御電圧または電気光学素子406の屈折率は、試料の屈折率の違いにより生じる光路差すなわち試料の屈折率に対応し、簡単な計算で試料の屈折率が求められる。
【0023】
照射光を試料上で2次元的に走査し、各点での試料の屈折率を得ることで、試料の屈折率分布が求められる。
【0024】
【発明が解決しようとする課題】
従来法のうち、電気光学素子を用いて光路差を調整する方法では、一般に電気光学素子が光学異方性を持つため、光源が直線偏向であることが必要で、光源の利用効率が低下する欠点を持つ。また試料の透過光を測定に用いる方式の場合、光学異方性を持つ試料を測定する際に問題が生じる。さらに1次の電気光学定数は小さく、電気光学結晶を用いた素子で生成可能な光路差はせいぜい1〜2波長程度しかない。つまり、一般に共焦点走査光学顕微鏡で用いられている共焦点光学系は5〜6波長分の焦点深度を持つにもかかわらず、1〜2波長程度の凹凸しか測定できない。
【0025】
光路差を移動ミラーにより調整する方法では、ミラーの移動に用いるピエゾ素子がヒステリシス特性を持つため、ミラーの位置を精密に測定するためのシステムがピエゾ素子の制御駆動系と別に必要となる。
【0026】
【問題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため本発明においては、波長可変の光源を用いた。波長可変の光源としては、多重量子井戸レーザダイオード等を用いると良い。
【0027】
上記可変波長の光源を用い、試料からの反射光または試料透過光と、参照光との合波位置での位相差が常に一定となるよう光源の波長を調節する制御系を用いることで、光源の出力波長の変位から試料表面の凹凸または試料の屈折率変化等が測定できる。
【0028】
【作用】
まず本発明の原理を以下に簡単に示す。(ここでは主に、試料の反射光を用いるタイプについて述べる)
【0029】
本発明では、従来法と同様に光源の出力光を試料照射前に試料照射光と参照光に分岐し、該試料照射光は試料上のピンスポットに集光する。該ピンスポットはビーム走査機構により、試料上を2次元的に走査される。試料上の前記ピンスポットからの反射光と前記参照光を合波干渉させ、試料上のピンスポットの共役焦点位置に配置した光検出器で干渉光の強度を測定する。
【0030】
ここで本発明においては、試料照射光のピンスポットを試料上2次元的に走査するに際して、上記光検出器の出力が常に極値を取るよう(つまり試料反射光と参照光の位相差が0またはπを保つよう)光源の波長を制御する。
【0031】
以下の説明は主として、上記光検出器の出力が常に極大値を取る(つまり試料反射光と参照光の位相差が0となる)場合について述べる。
【0032】
参照光と試料からの反射光の合波位置での位相差が0となる条件は、試料照射光と参照光を分岐した位置から試料表面で反射してビームスプリッタ/コンバイナに到る試料光の光路と参照光の光路との光路差d、光源の波長λに対して、
d=nλ(nは0でない正の整数)
の関係が成立することである。
【0033】
ここで試料表面の凹凸により光路差dが微小量変化してd→d’となった時、前記条件(試料反射光と参照光の位相差が0)を保存するよう波長を調整しλ→λ’とする。この時d’=nλ’が成り立っていることからd−d’=n(λ−λ’)でλとλ’が既知であれば光路差の変化d−d’すなわち試料表面の凹凸量(または屈折率の変化)が求められる。
【0034】
試料照射光のピンスポットを試料表面上で2次元的に走査するに際して、各位置での光源の波長またはこれに関する量を記録することで、試料表面の凹凸または試料各点の屈折率分布等が求められる。
【0035】
この時、d’=(n−1)λ’またはd’=(n+1)λ’とならないように波長を制御する必要があるが、これは光路差が微小に変化し光検出器の出力が減少した時、この光検出器の出力が極大値を取る方向に波長をずらすよう波長制御を行えば良く、このような制御は各分野で広く行われているものである。
【0036】
試料の反射光と参照光の位相をロックさせる位置は、位相差0でなくても一定値であれば良いが、一般的には位相差0またはπの位置が一番制御しやすいと考えられる。位相差πの位置でロックするには、干渉光の強度を検出する光検出器の出力が常に極小値となるよう波長を制御すれば良い。
【0037】
また、光源の最大波長可変量をΔλとすると、測定可能な最大の光路差Δdとの関係は、Δd=n・Δλで与えられるから、nの値を調節可能としておけば、測定可能な最大の光路差(つまり測定可能な凹凸量の範囲)が調節可能となり、最適なnの値を選択することで精度の高い測定が可能となる。
【0038】
試料透過光を用いるタイプについては、上記試料からの反射光を用いるタイプと原理的には全く同様で、反射光の代りに試料透過光を用い、該試料透過光と参照光とを合波干渉させる。
【0039】
【実施例】
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
【0040】
図1に示した本発明の一実施例は、試料表面からの反射光と参照光を合波干渉するタイプのものである。
【0041】
波長可変レーザー101から出力されるコヒーレント光はビームエキスパンダ103とレンズ104で平行ビームとされビームスプリッタ/コンバイナ105に入射する。
【0042】
ビームスプリッタ/コンバイナ105で二つのビームに分岐したビームの一方は参照光としてミラー106を往復する。他方のビームは試料照射光として、レンズ107により試料台108上に置いた試料上のピンスポットに集光される。試料上の該ピンスポットからの反射光は再度レンズ107を通してビームスプリッタ/コンバイナ105に戻り参照光と合波干渉する。
【0043】
この干渉光はレンズ110を通して光検出器111に集光する。光検出器111に集光された干渉光の強度は、参照光と試料からの反射光との位相差に関する情報を有する。
【0044】
制御部112は2軸方向に移動可能な移動ステージ109を制御して試料台108を試料照射光の光軸に垂直な平面内で移動させ、試料照射光の前記ピンスポットを試料上で2次元的に走査する。
【0045】
この時、試料表面の凹凸により試料からの反射光と参照光の光路差が変化し、参照光と試料反射光の位相差が変化する。これにより光検出器111に集光された干渉光の強度が変化する。制御部112は光検出器111の出力からこの変化を検出し、波長制御部102を介して波長可変レーザ101の波長を制御し、位相差が0となる状態を保つ。
【0046】
また制御部112は、2軸方向に移動可能な移動ステージ109の位置(試料上の試料照射光のピンスポットの位置に対応する)に関する情報と、そこでの波長可変レーザー101の出力波長、または波長制御情報等の出力波長に関する情報を取得保存する。
【0047】
波長可変レーザ101の出力波長に関しては、レーザの出力光の波長を直接測定する装置を付加し、測定する方法を用いても良い。
【0048】
コンピュータを用いて、これらの情報から各点での試料の凹凸が再現され、試料の立体像を得ることができる。
【0049】
図2に示した本発明の別の実施例は、試料の透過光を測定に用いるタイプのものである。
【0050】
波長可変レーザー201から出力されるコヒーレント光はビームエキスパンダ203とレンズ204で平行光とされ、ビームスプリッタ205で参照光と試料照射光に分岐される。
【0051】
ビームスプリッタ205を透過した試料照射光はレンズ208で試料台210上の試料上のピンスポットに集光される。試料透過光は、レンズ211で平行光とされ、ミラー212で反射されコンバイナ207に入射する。
【0052】
一方ビームスプリッタ205で反射された参照光はミラー206で反射されコンバイナ207に入射し、前記試料透過光と合波干渉し干渉光はレンズ213で集光され光検出器214に導かれる。
【0053】
制御部215は2軸方向に移動可能な移動ステージ209を操作して試料台210を試料照射光の光軸に垂直な平面内で2次元的に移動させ、試料上で試料照射光のピンスポットを2次元的に走査する。
【0054】
試料の屈折率の分布に変化があると、試料透過光と参照光の光路差が変化し、参照光と試料透過光の位相差が変化する。これにより光検出器214に集光された干渉光の強度が変化する。制御部215は光検出器214の出力からこの変化を検出し、波長制御部202を介して波長可変レーザ201の波長を制御し、位相差が0となる状態を保つ。
【0055】
この時、制御部215は移動ステージ209の位置(試料上の照射光ビームスポットの位置)に関する情報と、波長可変レーザー201の出力波長または波長制御情報等出力波長に関する情報を取得保存する。
【0056】
図1に示した実施例と同様に、波長可変レーザー201の出力波長については、レーザ出力光の波長を直接測定する装置を付加し、測定する方法を用いても良い。
【0057】
コンピュータにより、これらの情報から試料各点での屈折率分布を再現することができる。
【0058】
可変波長レーザとしては多重量子井戸レーザダイオード、特にパルス駆動型の多重量子井戸レーザダイオードを用いることができる。このパルス駆動多重量子井戸レーザダイオードでは、駆動パルスのデューティー比を制御することで、 0.8%程度の範囲でリニヤで連続的な波長可変特性が得られる。
【0059】
光路差d、波長λの間の関係式d=nλ(nは0でない正の整数)のnを適当な値例えば500にとれば、光路差の最大変化量Δdと波長の最大変化量Δλの間の関係式Δd=nΔλから、Δλ=0.008λとして、Δd=4.0λとなる。つまり波長λの4.0倍の光路差の変化までロックできることになる。したがって、図1に示した実施例では4.0λの凹凸まで測定できる。
【0060】
このnは図1に示した実施例では、ミラー106とビームスプリッタ/コンバイナ105との間隔または試料照射光の光軸方向についての試料台108の位置により決定される。このためミラー106の位置または試料台108の位置を光軸方向に調整可能としておけば、nの値を自由に選ぶことができる。
【0061】
また図2に示した実施例では、ミラー206とコンバイナ207の組を一体にレンズ213の光軸に平行に移動可能としておけば、nの値を自由に選ぶことができる。
【0062】
このように、光路差の変化量つまり試料の凹凸量または屈折率の変化量の見積もり値から、最適なnの値を選ぶことができる。これにより試料全体にわたって、垂直方向の解像度の高い測定が可能になる。
【0063】
【発明の効果】
本発明は、以上に説明した構成を持つため、以下に示す特長を有する。
【0064】
基本的には試料の凹凸量または屈折率測定に際して機械的可動部分を持たず、また試料照射光の偏光特性に制限を加えない。このため、広い測定対象に対して利用可能である。
【0065】
試料表面の凹凸量または試料屈折率の変化量の測定範囲が広く、またこれらの量の測定可能範囲と分解能を、測定に最も的した値に調整できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の模式図
【図2】本発明の別の実施例の模式図
【図3】従来法の模式図
【図4】別の従来法の模式図
【符号の説明】
101、201 波長可変レーザー
103、203 ビームエキスパンダ
104、107、110 レンズ
204、208、211、213 レンズ
108、210 試料台
105 ビームスプリッタ/コンバイナ
205 ビームスプリッタ
206、207、212 ミラー
111、214 光検出器
Claims (1)
- 共焦点光学系を有する走査光学顕微鏡の内、光源の出力光を試料照射前に試料照射光と参照光に分岐する機構を有する送光光学系と、試料からの反射光または試料透過光と前記参照光とを合波干渉して干渉光を光検出器に導く受光光学系を有し、光源の出力光の波長が可変な共焦点走査光学顕微鏡であって、試料からの反射光または試料透過光と、参照光との合波位置における位相差が、常に一定となるよう光源の出力光の波長を調節する制御系を有する共焦点走査光学顕微鏡
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