JP3779170B2 - 多層配線半導体装置の製造方法 - Google Patents
多層配線半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3779170B2 JP3779170B2 JP2001078378A JP2001078378A JP3779170B2 JP 3779170 B2 JP3779170 B2 JP 3779170B2 JP 2001078378 A JP2001078378 A JP 2001078378A JP 2001078378 A JP2001078378 A JP 2001078378A JP 3779170 B2 JP3779170 B2 JP 3779170B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- heat
- photoresist
- resistant polymer
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 0 CC1*CCC1 Chemical compound CC1*CCC1 0.000 description 2
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Weting (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐熱性高分子保護膜上に金属配線を形成する多層配線半導体装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体素子の表面保護膜、層間絶縁膜には耐熱性が優れ、又卓越した電気特性、機械特性等を有するポリイミド樹脂が用いられているが、近年半導体素子の高集積化、大型化、半導体装置の薄型化、小型化、半田リフローによる表面実装への移行等により耐熱サイクル性、耐熱ショック性等の著しい向上の要求があり、更に高性能の樹脂が必要とされるようになってきた。
一方、ポリイミド樹脂自身に感光性を付与する技術が注目を集めてきており、これを用いるとパターン作成工程の一部が簡略化でき、工程短縮及び歩留まり向上の効果はあるが、現像の際にN−メチル−2−ピロリドン等の溶剤が必要となるため、安全性、取扱い性に問題がある。
【0003】
そこで最近では、アルカリ水溶液で現像ができるポジ型感光性樹脂組成物が開発されている。例えば特公平1−46862号公報においては、ポリベンゾオキサゾール前駆体とジアゾキノン化合物より構成されるポジ型感光性樹脂組成物が開示されている。これは高い耐熱性、優れた電気特性、微細加工性を有し、ウエハコート用のみならず層間絶縁用樹脂としての可能性も有している。
【0004】
このような感光性樹脂組成物は、半導体素子の表面保護膜或いは層間絶縁膜として広く利用されるようになってきたが、最近では感光性樹脂組成物等により形成した有機絶縁膜層の上に直接金属の配線を形成する工程を必要とするバンププロセス等への適用が検討されている。しかしながら、このバンププロセスにおいては、金属膜のエッチング液に対する耐性及び金属膜の配線形成時に塗布したフォトレジストの剥離液に対する耐性、金属膜との密着性等が感光性樹脂組成物に要求されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、シリコンウエハ上の耐熱性高分子保護膜上に金属配線を形成する多層配線半導体装置の製造方法に関するものであり、特に金属膜のエッチング処理及びフォトレジストの剥離処理後に耐熱性高分子保護膜に損傷を与えない製造方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、
[1]シリコンウエハ上に耐熱性高分子保護膜を形成し、所定の個所にパターンを作成した後、更にパターンを有する耐熱性高分子保護膜上に金属膜を形成し、フォトレジストを用いて前記金属膜をパターニングし、金属膜をエッチング後、式(1)で示される剥離液を用いて金属膜上のフォトレジストを剥離することを特徴とする多層配線半導体装置の製造方法、
【0007】
【化2】
【0008】
[2]耐熱性高分子保護膜が、ポリベンゾオキサゾール膜又はポリイミド膜である第[1]項記載の多層配線半導体装置の製造方法、
[3]金属膜が、アルミニウム又は銅である第[1]項又は[2]項記載の多層配線半導体装置の製造方法、
である。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明でのシリコンウエハ上に形成される耐熱性高分子保護膜は、ポリベンゾオキサゾール前駆体を含有する感光性樹脂組成物、ポリイミド前駆体を含有する感光性樹脂組成物等の優れた耐熱特性を有する感光性樹脂組成物をウエハ上に塗布し、プリベークして溶剤を揮発させた後に所定の個所にパターンを形成後、300℃〜400℃の高温で閉環反応を行いポリベンゾオキサゾール膜、ポリイミド膜等として得ることができる。
本発明に用いるシリコンウエハは、一般的にLSIで製造される回路を作り込んだものを用いることができる。即ち単結晶シリコンウエハに酸化膜、窒化膜等を成長させた後に、フォトレジストを使用して必要なパターンを形成し、フィールド酸化膜、ゲート酸化膜、ゲート電極パターン等を加工形成し、スパッタリング法により被着したアルミ膜を加工して配線パターンが描画されたものを使用することができる。
耐熱性高分子保護膜上に形成する金属膜としては、アルミニウム、銅、クロム、チタン等が挙げられるが、加工がし易くLSI製造の際に広く使用されているアルミニウム又は高性能多層配線用途に対して期待される、より配線抵抗の低い銅が好ましい。金属膜の形成は、スパッタリングが好ましく、高真空処理によって綺麗な金属光沢を有する膜を得ることができる。金属膜の膜厚としては、0.1〜2μmが好ましく、0.1μm未満だと熱応力等により剥離する可能性があり、又2μmを越えると配線電流密度が増加するため、エレクトロマイグレーションやストレスマイグレーションにより断線する可能性があり好ましくない。又スパッタリングを行う直前に耐熱性高分子保護膜表面に対してアルゴン、酸素、窒素等のガスを使用したプラズマ処理を行うことにより、耐熱性高分子保護膜と金属膜との密着性を向上させることができる。
【0010】
本発明でのフォトレジストは、耐熱性高分子保護膜上に形成した金属膜をパターニングし、所定の金属配線を形成するために用いるものであり、使用するフォトレジストは、目的とする解像度に適合するものであれば特に限定するものではなく、パターニングに必要な塗布・露光・現像装置の工程で使用可能なものであればよいが、近年においては現像液に有機溶剤を使用せず、アルカリ水溶液によって加工が可能なポジ型のフォトレジストが主流になっており、ネガ型よりも高解像度のパターンが得られるポジ型のフォトレジストが好ましい。
【0011】
金属膜のエッチング法は、エッチング液を使用するウエットエッチングが適用できる。ウェットエッチングに用いるエッチング液の有効成分は、適用する金属の種類ごとに判明しており、かつ市販されているため適宜選択して使用すればよい。例えばアルミニウムの場合は、燐酸、硝酸、酢酸、水より選ばれてなる混合物が一般的に使用でき、銅の場合は、FeCI3と水の混合物が一般的に使用できる。このエッチング液は加熱して使用することにより金属膜の除去をより短時間で行うことができる。
【0012】
本発明で用いるフォトレジストの剥離液としては、式(1)で示されるアルコールで置換されたアミン成分とプロピレングリコールのアルキルエーテルとの混合有機溶剤からなり、両溶剤はフォトレジストの剥離が可能となる条件下では、任意の割合で混合して用いることができる。更に金属膜がエッチングされた箇所は、耐熱性高分子保護膜がフォトレジストの剥離液と直接接触するため、好ましくは耐熱性高分子保護膜の外観に影響を及ぼさないものがよい。又フォトレジストの剥離液は加熱して使用することで、フォトレジストの除去をより短時間で行うことができる。
式(1)で示される剥離液を用いることにより、フォトレジストの剥離処理後に耐熱性高分子保護膜が損傷されないという特徴がある。
【0013】
本発明の加工方法により形成された再配線上には、バンプの搭載が可能となる。例えば耐熱性高分子保護膜上に金属配線を形成後、再度耐熱性高分子保護膜を塗布・パターニング・硬化後にクロム、クロム/銅等のアンダーバンプメタルを設けた後にバンプを形成することができる。従って本発明によって耐熱性高分子保護膜上に金属の配線を形成することで、ウエハーレベルパッケージ或いはフリップチップパッケージ等への展開が可能となる。
【0014】
【実施例】
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
実施例1
ポリベンゾオキサゾール前駆体の合成
テレフタル酸132.8g(0.8モル)、イソフタル酸33.2g(0.2モル)と1−ヒドロキシ−1,2,3−ベンゾトリアゾール270.3g(2モル)とを反応させて得られたジカルボン酸誘導体360.4g(0.9モル)とヘキサフルオロ−2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン366.3g(1.0モル)とを温度計、攪拌機、原料投入口、乾燥窒素ガス導入管を備えた4つ口のセパラブルフラスコに入れ、N−メチル−2−ピロリドン3000gを加えて溶解させた。その後オイルバスを用いて75℃にて12時間反応させた。
【0015】
次にN−メチル−2−ピロリドン500gに溶解させた5−ノルボルネン−2,3−ジカルボン酸無水物32.8g(0.2モル)を加え、更に12時間攪拌して反応を終了した。反応混合物を濾過した後、水/メタノール=3/1の混合溶液中に投入して沈殿物を濾集し、水で十分濾過した後、真空下で乾燥し、一般式(2)で表され、Xが下記式X−1、Yが下記式Y−1及びY−2、Eが下記式E−1であるポリベンゾオキサゾール前駆体(A−1)を得た。
【化3】
【0016】
ポジ型感光性樹脂組成物の作成
合成したポリアミド(A−1)100g、下記式の構造を有するジアゾキノン(Q−1)25gをN−メチル−2−ピロリドン200gに溶解し、3時間攪拌した。その後攪拌を止めて室温で放置し、3時間後に目視により外観の観察を行ったところ、気泡は見られなかった。その後0.2μmのテフロンフィルターで濾過し感光性樹脂組成物を得た。
【化4】
【0017】
ポリベンゾオキサゾール膜の作成
前記ポジ型感光性樹脂組成物を、窒素膜上にアルミニウム配線を形成したシリコンウエハ上にスピンコーターで塗布した後、ホットプレートにて120℃で4分間乾燥し、膜厚約8μmの塗膜を得た。この塗膜にg線ステッパー露光機NSR−1505G3A(ニコン(株)製)により、レチクルを通して400mJ/cm2の露光量で露光を行い、2.38%のテトラメチルヒドロキシド水溶液に100秒浸漬することによって露光部を溶解除去した後、純水で30秒間リンスし、パターン形成を行った。このウエハをオーブン中で150℃で30分、320℃で30分加熱してポリベンゾオキサゾール閉環反応を行い、最終膜厚が6.1μmのポリベンゾオキサゾール膜を得た。
【0018】
アルミニウム膜の作成
前記のシリコンウエハ上に形成したポリベンゾオキサゾール膜をスパッタリング装置CFS−12P−100(徳田製作所製)を用いて、アルゴンガスによりを300Wで5分間スパッタ処理した後、同じくアルゴンガスを用いてアルミニウムのスパッタリングを実施し、約1μm厚のアルミニウム膜を形成した。
【0019】
アルミニウム配線の作成
前記のアルミニウム膜を形成したウエハ上にフォトレジストAZ−1500(クラリアント製)を塗布した後、ホットプレートにて100℃で2分間乾燥し、膜厚4μmの塗膜を得た。この塗膜をg線ステッパー露光機NSR−1505G3A(ニコン(株)製)により、レチクルを通して200mJ/cm2の露光量で露光を行い、2.38%のテトラメチルヒドロキシド水溶液に50秒浸漬することによって露光部を溶解除去した後、純水で30秒間リンスし、パターン形成を行った。このウエハをオーブン中で120℃で30分加熱してポストベーク処理を行った。その後、燐酸:硝酸:酢酸:水の組成が73:3:7:17(重量比)であるエッチング液により、60℃で1分間浸漬処理を行い、アルミニウム膜をエッチングした。
【0020】
フォトレジストの剥離
前記のウエハをジプロピレングリコールモノメチルエーテルとモノイソプロパノールアミンを重量比で70:30で混合した有機溶剤により80℃で10分間、浸漬処理を行った。N−メチル−2−ピロリドンに2分間浸漬し、純水で30秒間リンスし、スピンドライ処理を行った。
【0021】
フォトレジスト剥離後の評価
前記のフォトレジスト剥離後のウエハについて、光学顕微鏡を用いてポリベンゾオキサゾール膜の表面を観察した結果、外観は良好であった。又ポリベンゾオキサゾール膜の膜厚を測定した結果、6.1μmであった。
【0022】
実施例2
実施例1におけるポリベンゾオキサゾール膜をポリイミド膜に替えた他は実施例1と同様の評価を行った。以下にポリイミド前駆体及び硬化膜の作成方法を記す。
ポリイミド前駆体の合成
温度計、攪拌機、原料仕込口及び乾燥窒素ガス導入口を備えた四ツ口セパラブルフラスコに4,4’−ジアミノジフェニルエーテル190.2g(0.95モル)、1,3−ビス(3−アミノプロピル)−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン12.4g(0.05モル)を仕込み、これにN−メチル−2−ピロリドンを全仕込原料中の固形分割合が15重量%になる量を加えて溶解した。次いで0〜50℃の水溶中にフラスコを浸漬し、発熱を抑制しながら、精製したピロメリット酸二無水物218.1g(1モル)を投入した。テトラカルボン酸二無水物が溶解した後、系の温度を20℃に保ち、10時間反応を続けた。なお乾燥窒素ガスは反応の準備段階より生成物の取り出しまでの全工程で流した。得られた生成物は淡黄色の粘調溶液であり、N−メチル−2−ピロリドン0.5重量%溶液の固有粘度は1.10(30℃)であった。
【0023】
ポリイミド硬化膜の作成
合成したポリイミド前駆体をシリコンウエハ上にスピンコーターで塗布した後、ホットプレートにて145℃で1分間乾燥し、膜厚約11μmの塗膜を得た。この塗膜にポジ型フォトレジストOFPR−800(東京応化工業(株)・製)を用いてスピンコーターで塗布した後、100℃で1分間乾燥し、更にレチクルを通して200mJ/cm2の紫外線を照射して露光を行い、次いで2.38%のテトラメチルヒドロキシド水溶液に60秒間浸漬することによって露光部を溶解除去した後、純水で30秒間リンスし、パターン形成を行った。その後酢酸ブチルに1分間浸漬することによりフォトレジストを剥離した。このウエハをオーブン中で150℃で30分、230℃で30分、350℃で30分加熱してポリイミド閉環反応を行い、最終膜厚が約6.0μmのポリイミド硬化膜を得た。
【0024】
《実施例3》
実施例1においてフォトレジストの剥離工程に使用したジプロピレングリコールモノメチルエーテルとモノイソプロパノールアミンからなる混合有機溶剤の割合を重量比で20:80に変更した他は実施例1と同様の評価を行った。
《実施例4》
実施例1においてフォトレジストの剥離工程に使用したジプロピレングリコールモノメチルエーテルとモノイソプロパノールアミンからなる混合有機溶剤の割合を重量比で5:95に変更した他は実施例1と同様の評価を行った。
《実施例5》
実施例1においてフォトレジストの剥離工程に使用した溶剤をトリプロピレングリコールモノメチルエーテルとアミノエチルエタノールアミンからなる混合有機溶剤の割合を重量比で10:90に変更した他は実施例1と同様の評価を行った。
《実施例6》
実施例1においてフォトレジストの剥離工程に使用した溶剤をトリプロピレングリコールモノメチルエーテルとアミノエチルエタノールアミンからなる混合有機溶剤の割合を重量比で80:20に変更した他は実施例1と同様の評価を行った。
【0025】
《比較例1》
実施例1においてフォトレジストの剥離工程に使用した溶剤をジプロピレングリコールモノメチルエーテルに変更した他は実施例1と同様の評価を行った。
《比較例2》
実施例1において、フォトレジストの剥離工程に使用した溶剤をモノイソプロパノールアミンに変更した他は実施例1と同様の評価を行った。
《比較例3》
実施例1において、フォトレジストの剥離工程に使用した溶剤をN−メチル−2−ピロリドンとモノイソプロパノールアミンを重量比で70:30で混合した溶剤に変更した他は実施例1と同様の評価を行った。
《比較例4》
実施例1において、フォトレジストの剥離工程に使用した溶剤をモノエタノールアミンとジメチルスルホキシドを重量比で80:20で混合した溶剤に変更した他は実施例1と同様の評価を行った。
実施例1〜6、比較例1〜4の評価結果を表1に示す。
【0026】
【表1】
【0027】
【発明の効果】
本発明によると、耐熱性高分子保護膜に損傷を与えることなく、耐熱性高分子保護膜上に金属配線を形成することができる。
Claims (3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001078378A JP3779170B2 (ja) | 2001-03-19 | 2001-03-19 | 多層配線半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001078378A JP3779170B2 (ja) | 2001-03-19 | 2001-03-19 | 多層配線半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002278090A JP2002278090A (ja) | 2002-09-27 |
JP3779170B2 true JP3779170B2 (ja) | 2006-05-24 |
Family
ID=18935001
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001078378A Expired - Fee Related JP3779170B2 (ja) | 2001-03-19 | 2001-03-19 | 多層配線半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3779170B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5236217B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2013-07-17 | 東進セミケム株式会社 | レジスト除去用組成物 |
-
2001
- 2001-03-19 JP JP2001078378A patent/JP3779170B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002278090A (ja) | 2002-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101067056B1 (ko) | 감광성 수지 조성물, 절연막, 보호막 및 전자기기 | |
JPH09302221A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
WO2000052757A1 (en) | Semiconductor device | |
JP3478376B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP4371587B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3449925B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP4760026B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物、該ポジ型感光性樹脂組成物を用いた半導体装置及び表示素子、並びに半導体装置及び表示素子の製造方法 | |
JP3779170B2 (ja) | 多層配線半導体装置の製造方法 | |
JP4206709B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2002040654A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP2002278051A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP3449926B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP2001249454A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP2001042518A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置 | |
JPH11258795A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置 | |
JP4348846B2 (ja) | 有機層の形成方法 | |
JP3449856B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP2004151447A (ja) | ポリアミド樹脂、ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置 | |
JP2001215698A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置 | |
JP4461516B2 (ja) | 耐熱性高分子保護膜の除去方法 | |
JP2002241611A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2004306018A (ja) | 金属上への感光性樹脂膜の形成方法並びに半導体装置及び表示素子 | |
JP2001356475A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置 | |
JP2004109849A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP4622281B2 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物並びに半導体装置及び表示素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060228 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060301 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090310 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100310 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110310 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120310 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120310 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130310 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140310 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |