JP3777931B2 - 表面弾性波素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報通信分野に用いられる表面弾性波素子に関し、特に圧電薄膜を用いた表面弾性波素子に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
携帯電話などの移動体通信を中心とした通信分野の著しい発展に伴い、表面弾性波素子の需要が急速に拡大している。表面弾性波素子の開発の方向としては、小型化、高効率化、高周波化の方向にあり、そのためには、より大きな電気機械結合係数(以下k2)、より安定な温度特性、より大きな表面弾性波伝播速度、が必要となる。例えば高周波フィルタとして用いる場合には、損失の小さく帯域幅の広い通過帯域を得るためには高k2が望まれる。共振周波数を高周波化するためには、インターディジタル型電極(Inter−Digital Transducer、以下IDT)のピッチのデザインルールの限界からしても、より音速の速い材料が望まれている。さらに、使用温度領域での特性の安定化を得るためには、中心周波数温度係数(TCF)が小さいことが必要となる。
【0003】
表面弾性波素子は、従来、主として圧電体の単結晶上にIDTを形成した構造が用いられてきた。圧電単結晶の代表的なものとしては、水晶、ニオブ酸リチウム(以下LiNbO3)、タンタル酸リチウム(以下LiTaO3)などである。例えば、広帯域化や通過帯域の低損失化が要求されるRFフィルタの場合には、k2の大きいLiNbO3が用いられる。一方、狭帯域でも安定な温度特性が必要なIFフィルタの場合は、TCFの小さい水晶が用いられる。さらに、k2およびTCFがそれぞれLiNbO3と水晶の間にあるLiTaO3はその中間的な役割を果たしている。ただし、k2の最も大きいLiTaO3でも、k2〜0.2程度であった。
【0004】
最近KNbO3(a=0.5695nm、b=0.3973nm、c=0.5721nm)単結晶において、大きなk2の値を示すカット角が見出された。Eletron.Lett.Vol.33(1997)pp.193−194に記載されているように、0°YカットX伝播(以下0°Y−X)KNbO3単結晶板が、k2=0.53と非常に大きな値を示すことが計算によって予測された。さらに、Jpn.J.Appl.Phys.Vol.37(1998)pp.2929−2932に記載されているように、0°Y−XKNbO3単結晶板がk2〜0.5の大きな値を示すことが実験でも確認され、45°から75°までの回転Y−XKNbO3単結晶基板を用いたフィルタの発振周波数が、室温付近で零温度特性を示すことが報告されている。これらの0°Y−Xを含めた回転Y−XKNbO3単結晶板は、特開平10−65488で出願されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これらのKNbO3圧電単結晶基板を用いた表面弾性波素子には、以下の問題点がある。
【0006】
圧電単結晶基板を用いた表面弾性波素子では、k2、温度係数、音速などの特性は材料固有の値であり、カット角および伝播方向で決定される。0°Y−XKNbO3単結晶基板はk2に優れるが、45°から75°までの回転Y−XKNbO3単結晶基板のような零温度特性は室温付近において示さない。また、伝播速度は同じペロブスカイト型酸化物であるSrTiO3やCaTiO3に比べて遅い。このように、KNbO3単結晶基板を用いるだけでは、高音速、高k2、零温度特性を全て満足させることはできない。
【0007】
そこで、何らかの基板上に圧電体薄膜を堆積し、その膜厚を制御して、音速やk2、温度特性を向上させることが期待される。Jpn.J.Appl.Phys.Vol.32(1993)pp.2337−2340に記載されているようなサファイア基板上に酸化亜鉛(以下ZnO)薄膜を形成したもの、あるいはJpn.J.Appl.Phys.Vol.32(1993)pp.L745−L747に記載されているようなサファイア基板上にLiNbO3薄膜を形成したものなどが挙げられる。従って、KNbO3についても、基板上に薄膜化して、諸特性を全て向上させることが期待される。その場合、シリコン(以下Si)基板上に積層する構造が実現できれば、製造コストの低減および他の電子デバイスとのモノリシック化による小型化の実現などの意味において、大変有用である。
【0008】
さらに圧電薄膜としては、そのk2、温度特性を引き出すために最適な方向に配向することが望ましく、リーキー波伝播に伴う損失をなるべく小さくするためには、平坦で緻密なエピタキシャル膜であることが望ましい。ここでk2〜0.5%のY−XKNbO3は、擬立方晶(100)に相当し、k2〜0.1%の90°Y−XKNbO3は、擬立方晶(110)に相当する。しかしながら、汎用的な基板である(100)Si基板上にKNbO3をエピタキシャル成長させることは従来不可能であった。
【0009】
そこで本発明は、Si基板上に擬立方晶(100)KNbO3をエピタキシャル成長させ、高周波化に対応できk2が高く温度特性も良い薄膜を用いた表面弾性波素子を提供することを目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の表面弾性波素子は、(100)シリコン基板と、前記シリコン基板上に形成された(100)配向したNaCl型酸化物MO(M=Mg、Ca、Sr、Ba)をバッファ層とする擬立方晶(100)配向のペロブスカイト型圧電薄膜ABO3と、前記圧電薄膜ABO3の直上もしくは直下に形成されたインターディジタル型電極と、を含み、前記バッファ層MOと前記ペロブスカイト型圧電薄膜ABO3の間に(100)配向したペロブスカイト型バッファ層MTiO3(M=Ca、Sr、Ba)を有することを特徴とする。
【0011】
上記構成によれば、(100)Si基板上にペロブスカイト型圧電薄膜ABO3の平坦で緻密なエピタキシャル膜が得られるので、リーキー波伝播に伴う損失を低減させるという効果を有する。 また、上記構成によれば、ペロブスカイト型圧電薄膜ABO3だけの場合に比べて表面波の音速が増大するという効果を有する。
【0012】
本発明の表面弾性波素子は、前記表面弾性波素子において、前記ペロブスカイト型圧電薄膜ABO3は、K1-xNaxNb1-yTayO3(0≦x≦1、0≦y<1)を含むことを特徴とする。
【0013】
上記構成によれば、k2が0.5まで向上するという効果を有する。
【0014】
本発明の表面弾性波素子は、前記表面弾性波素子において、前記ペロブスカイト型圧電薄膜ABO3の上に、二酸化珪素層を有することを特徴とする。
【0015】
ペロブスカイト型圧電薄膜ABO3の上に、二酸化珪素(以下SiO2)層を有することを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0019】
(実施例1)
図1は本発明の表面弾性波素子の第1の実施例を示す図である。
【0020】
SrOターゲットを用いたレーザアブレーションにより、基板温度700℃、酸素分圧1×10-6Torrの条件で、Si基板1上にNaCl構造のSrOバッファ層2を20nm堆積した。ただし、基板温度、酸素分圧は、これに限るものではない。
【0021】
次に、KNbO3ターゲットを用いたレーザアブレーションにより、基板温度700℃、酸素分圧3mTorrの条件で、SrOバッファ層2上にペロブスカイト型KNbO3圧電層3を4μm堆積した。ただし、基板温度、酸素分圧は、これに限るものではない。
【0022】
さらに、金属アルミニウムを蒸着後、レジスト塗布、露光、ドライエッチング、レジスト除去によるパターニングの連続プロセスを行い、KNbO3圧電層3上にIDT電極4、5を形成した。
【0023】
得られた表面弾性波素子は、擬立方晶指数表示した場合、膜面に垂直方向に(100)KNbO3/(100)SrO/(100)Si、面内で[110]KNbO3//[100]SrO//[100]Siのエピタキシャル膜であった。
【0024】
得られた表面弾性波素子について、IDT電極4、5の間での表面弾性波の遅延時間Vopenから求めた音速は4000m/sであった。IDT電極4、5の間を金属薄膜で覆った場合の表面弾性波の遅延時間Vshortとの差から求めたk2は0.5であった。一方、イットリア安定化ジルコニア(YSZ)をバッファ層に用いて、(100)Si基板上に擬立方晶(110)配向させたKNbO3からなる表面弾性波素子では、音速4000m/sは同じであるが、k2は0.1と小さくなり、擬立方晶(100)配向によってk2が改善することが明らかとなった。
【0025】
また、SrOの代わりにMgO、CaO、BaOのいずれかをバッファ層に用いた場合も同様の効果が得られた。さらに、KNbO3の代わりに固溶体K1-xNaxNb1-yTayO3(0<x≦1、0<y<1)を圧電薄膜に用いた場合も同様の効果が得られた。なお、IDT電極を圧電薄膜の下に形成した場合も同様な効果が得られた。
【0026】
上述のように、NaCl型酸化物MO(M=Mg、Ca、Sr、Ba)バッファ層を用いてSi基板上に擬立方晶(100)配向K1-xNaxNb1-yTayO3(0≦x≦1、0≦y<1)圧電薄膜を堆積することにより、k2を向上させることが可能となる。
【0027】
(実施例2)
図2は本発明の表面弾性波素子の第2の実施例を示す図である。
【0028】
CaOターゲットを用いたレーザアブレーションにより、基板温度700℃、酸素分圧1×10-6Torrの条件で、Si基板11上にNaCl構造のCaOバッファ層12を20nm堆積した。ただし、基板温度、酸素分圧は、これに限るものではない。
【0029】
次に、CaTiO3ターゲットを用いたレーザアブレーションにより、基板温度700℃、酸素分圧3mTorrの条件で、CaOバッファ層12上にペロブスカイト型CaTiO3バッファ層13を2μm堆積した。ただし、基板温度、酸素分圧は、これに限るものではない。
【0030】
次に、KNbO3ターゲットを用いたレーザアブレーションにより、基板温度700℃、酸素分圧3mTorrの条件で、CaTiO3バッファ層13上にペロブスカイト型KNbO3圧電層14を2μm堆積した。ただし、基板温度、酸素分圧は、これに限るものではない。
【0031】
さらに、金属アルミニウムを蒸着後、レジスト塗布、露光、ドライエッチング、レジスト除去によるパターニングの連続プロセスを行い、KNbO3圧電層14上にIDT電極15、16を形成した。
【0032】
得られた表面弾性波素子は、擬立方晶指数表示した場合、膜面に垂直方向に(100)KNbO3/(100)CaTiO3/(100)SrO/(100)Si、面内で[110]KNbO3//[110]CaTiO3//[100]SrO//[100]Siのエピタキシャル膜であった。
【0033】
得られた表面弾性波素子について、IDT電極15、16の間での表面弾性波の遅延時間Vopenから求めた音速は5000m/sであった。IDT電極15、16の間を金属薄膜で覆った場合の表面弾性波の遅延時間Vshortとの差から求めたk2は0.45であった。これは、実施例1で実施した表面弾性波素子に比べ、k2はそれほど低下しないものの、音速は4000m/sから5000m/sへと大きな向上が見られた。
【0034】
また、CaOの代わりにMgO、SrO、BaOのいずれかをバッファ層に用いた場合も同様の効果が得られた。そして、CaTiO3の代わりにSrTiO3、BaTiO3のいずれかをペロブスカイト型バッファ層に用いた場合も同様の効果が得られた。さらに、KNbO3の代わりに固溶体K1-xNaxNb1-yTayO3(0<x≦1、0<y<1)を圧電薄膜に用いた場合も同様の効果が得られた。なお、IDT電極を圧電薄膜の下に形成した場合も同様な効果が得られた。
【0035】
上述のように、NaCl型酸化物MO(M=Mg、Ca、Sr、Ba)バッファ層とペロブスカイト型バッファ層MTiO3(M=Ca、Sr、Ba)を用いてSi基板上に擬立方晶(100)配向K1-xNaxNb1-yTayO3(0≦x≦1、0≦y<1)圧電薄膜を堆積することにより、音速を向上させることが可能となる。
【0036】
(実施例3)
図3は本発明の表面弾性波素子の第3の実施例を示す図である。
【0037】
SrOターゲットを用いたレーザアブレーションにより、基板温度700℃、酸素分圧1×10-6Torrの条件で、Si基板21上にNaCl構造のSrOバッファ層22を20nm堆積した。ただし、基板温度、酸素分圧は、これに限るものではない。
【0038】
次に、KNbO3ターゲットを用いたレーザアブレーションにより、基板温度700℃、酸素分圧3mTorrの条件で、SrOバッファ層22上にペロブスカイト型KNbO3圧電層23を2μm堆積した。ただし、基板温度、酸素分圧は、これに限るものではない。
【0039】
さらに、金属アルミニウムを蒸着後、レジスト塗布、露光、ドライエッチング、レジスト除去によるパターニングの連続プロセスを行い、KNbO3圧電層23上にIDT電極24、25を形成した。
【0040】
最後に、SiO2ターゲットを用いたレーザアブレーションにより、基板温度25℃、酸素分圧3mTorrの条件で、SiO2層26を2μm堆積した。ただし、基板温度、酸素分圧は、これに限るものではない。またSiO2層はLi2O、MgO、Al2O3を含んでもよい。
【0041】
得られた表面弾性波素子は、擬立方晶指数表示した場合、膜面に垂直方向に(100)KNbO3/(100)SrO/(100)Si、面内で[110]KNbO3//[100]SrO//[100]Siのエピタキシャル膜であった。またSiO2層はアモルファスであった。
得られた表面弾性波素子について、IDT電極24、25の間での表面弾性波の遅延時間Vopenから求めた音速は4000m/sであった。IDT電極24、25の間を金属薄膜で覆った場合の表面弾性波の遅延時間Vshortとの差から求めると、k2は0.45となった。一方、室温でTCF〜0ppm/℃であった。これはKNbO3層の負のTCF値とSiO2層の正のTCF値が相殺するためである。従って、k2の高い0°Y−XKNbO3基板に相当する配向方向でありながら、45°から75°までの回転Y−XKNbO3基板に相当するようなTCF〜0ppm/℃を実現できた。
【0042】
また、SrOの代わりにMgO、CaO、BaOのいずれかをバッファ層に用いた場合も同様の効果が得られた。そして、KNbO3の代わりに固溶体K1-xNaxNb1-yTayO3(0<x≦1、0<y≦1)を圧電薄膜に用いた場合も同様の効果が得られた。さらに、IDT電極を圧電薄膜の下に形成した場合も同様な効果が得られた。なお、CaTiO3、SrTiO3、BaTiO3のいずれかからなるペロブスカイト型バッファ層を挿入することにより、音速の向上も見られた。
【0043】
上述のように、NaCl型酸化物MO(M=Mg、Ca、Sr、Ba)バッファ層を用いてSi基板上に擬立方晶(100)配向K1-xNaxNb1-yTayO3(0≦x≦1、0≦y<1)圧電薄膜を堆積し、さらにSiO2層を堆積することにより、温度特性を向上させることが可能となる。
【0044】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の表面弾性波素子によれば、Si基板上にNaCl型酸化物MOバッファ層による擬立方晶(100)配向ABO3エピタキシャル圧電薄膜、高音速のペロブスカイト型酸化物薄膜、零温度特性を示すSiO2薄膜を積層することにより、高k2化、高音速化、零温度特性を両立させることができ、高特性の高周波フィルタ、発振器などの通信デバイスを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すSi基板上に(100)配向SrOバッファ層および擬立方晶(100)配向KNbO3エピタキシャル薄膜を含んだ表面弾性波素子の断面図である。
【図2】本発明の一実施例を示すSi基板上に(100)配向CaOバッファ層と(100)配向CaTiO3ペロブスカイト型バッファ層および擬立方晶(100)配向KNbO3エピタキシャル薄膜を含んだ表面弾性波素子の断面図である。
【図3】本発明の一実施例を示すSi基板上に(100)配向SrOバッファ層と擬立方晶(100)配向KNbO3エピタキシャル薄膜およびSiO2層を含んだ表面弾性波素子の断面図である。
【符号の説明】
1.(100)Si基板
2.(100)SrOバッファ層
3.(100)KNbO3圧電層
4.IDT電極
5.IDT電極
11.(100)Si基板
12.(100)CaOバッファ層
13.(100)CaTiO3バッファ層
14.(100)KNbO3圧電層
15.IDT電極
16.IDT電極
21.(100)Si基板
22.(100)SrOバッファ層
23.(100)KNbO3圧電層
24.IDT電極
25.IDT電極
26.SiO2層
Claims (3)
- (100)シリコン基板と、
前記シリコン基板上に形成された(100)配向したNaCl型酸化物MO(M=Mg、Ca、Sr、Ba)をバッファ層とする擬立方晶(100)配向のペロブスカイト型圧電薄膜ABO3と、
前記圧電薄膜ABO3の直上もしくは直下に形成されたインターディジタル型電極と、を含み、
前記バッファ層MOと前記ペロブスカイト型圧電薄膜ABO3の間に(100)配向したペロブスカイト型バッファ層MTiO3(M=Ca、Sr、Ba)を有することを特徴とする表面弾性波素子。 - 請求項1において、
前記ペロブスカイト型圧電薄膜ABO3は、K1-xNaxNb1-yTayO3(0≦x≦1、0≦y<1)を含むことを特徴とする表面弾性波素子。 - 請求項1において、
前記ペロブスカイト型圧電薄膜ABO3の上に、二酸化珪素層を有することを特徴とする表面弾性波素子。
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