JP3766983B2 - オゾン発生濃縮装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、オゾナイザで発生したオゾンを酸化剤等として反応塔へ供給するオゾン発生濃縮装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
パルプ漂白は、世界的に塩素から酸素に変えられ、さらに最近はオゾンに変えられつつある。
【0003】
オゾン漂白のメリットは、塩素のような漂白後の後処理を必要とせず、簡単であること、酸素より漂白力が強いことにある。しかしオゾン導入のデメリットは、酸素製造とオゾン製造のイニシャルコストとランニングコストの高さにある。
【0004】
この両方を一挙に解決できる技術として、本発明者等は、特願平5−313959号(発明の名称:オゾン発生濃縮装置)を提案した。
【0005】
この先願の発明は、図5に示すように酸素製造機1とオゾナイザ2とオゾン濃縮装置3と反応塔4とを接続したものからなる。酸素製造機1は、2つの窒素吸着塔5a,5bを有し、コンプレッサ6からの圧縮空気が窒素吸着塔5a,5bのいずれか一方に供給されて窒素が吸着されることで酸素が製造され、その酸素がオゾナイザ2に供給される。酸素はオゾナイザ2に供給され、そこで電離されてオゾンが生成される。オゾン濃縮装置3は、シリカゲルなどを充填した2つのオゾン吸着塔7a,7bからなる。オゾナイザ2で生成したオゾンは、吸着塔7a,7bのいずれか一方(例えば7a)に導入されて吸着され、残りの吸着されない酸素は、循環ライン8を介して再度オゾナイザ2の原料空気として、再利用される。他方の吸着塔7bでは、酸素製造機1の窒素吸着塔5a,5bより脱着された窒素がキャリアガスライン9より導入され、吸着された濃縮オゾンが脱着されて反応塔4に送られる。この酸素製造機1の窒素吸着塔5a,5bとオゾン濃縮装置3のオゾン吸着塔7a,7bとは、それぞれ交互に切り換えられて吸着と脱着のサイクルが繰り返され、濃縮オゾンが反応塔4に連続して供給されるようになっている。
【0006】
この先願のオゾン発生濃縮装置において、オゾナイザ2によるオゾン濃度は、最大で10vol%であるが、吸着塔7a,7bで発生したオゾンを吸着することで、オゾン濃度を高めることが可能となる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この先願の発明においては、オゾン吸着塔7a,7bで吸着したオゾンをキャリアガスで脱着して反応塔4に供給するが、脱着終了から吸着サイクルに切り換えた時、吸着塔7a,7bに残存する窒素が、オゾナイザ2から導入される酸素と共にライン8を介してオゾナイザ2に混入してしまう問題がある。
【0008】
すなわち、窒素がオゾナイザ2に混入されると、オゾン発生と共にNOxが発生し、これが反応塔4に供給される問題がある。
【0009】
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、オゾン吸着塔で吸着と脱着を切り換えるにおいて、残存する窒素の影響をなくすことができるオゾン発生濃縮装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1の発明は、コンプレッサと複数並列に接続した窒素吸着塔とからなる酸素製造機と、オゾナイザと、複数並列に接続したオゾン吸着塔からなるオゾン濃縮装置と、オゾンを使用する反応塔とを順次接続したオゾン発生濃縮装置において、オゾナイザとオゾン濃縮装置の各オゾン吸着塔間に接続され、オゾナイザからのオゾンを所望のオゾン吸着塔に流す入口側オゾン吸着切換手段と、各オゾン吸着塔の出口側に接続され、吸着中のオゾン吸着塔の未吸着の酸素を循環ラインを介してオゾナイザに再供給する出口側オゾン吸着切換手段と、酸素製造機の窒素吸着塔からの脱着窒素をキャリアガスとして上記オゾン吸着塔の入口側に供給するキャリアガス供給ラインと、そのキャリアガス供給ラインに接続され、オゾンを吸着したオゾン吸着塔の入口側にキャリアガスを流す入口側脱着切換手段と、各オゾン吸着塔の出口側に接続され、脱着されたオゾンを反応塔に流す出口側脱着切換手段と、上記出口側オゾン吸着切換手段からオゾナイザに至る循環ラインに接続され、オゾン吸着塔を脱着から吸着に切換える際に、そのオゾン吸着塔に供給されたオゾナイザからのオゾンと共にそのオゾン吸着塔に残存する窒素を含むキャリアガスを反応塔側にパージするパージ手段とを備えたことを特徴とするオゾン発生濃縮装置である。
【0011】
請求項2の発明は、コンプレッサと複数並列に接続した窒素吸着塔とからなる酸素製造機と、オゾナイザと、複数並列に接続したオゾン吸着塔からなるオゾン濃縮装置と、オゾンを使用する反応塔とを順次接続したオゾン発生濃縮装置において、オゾナイザとオゾン濃縮装置の各オゾン吸着塔間に接続され、オゾナイザからのオゾンを所望のオゾン吸着塔に流す入口側オゾン吸着切換手段と、各オゾン吸着塔の出口側に接続され、吸着中のオゾン吸着塔の未吸着の酸素を循環ラインを介してオゾナイザに再供給する出口側オゾン吸着切換手段と、酸素製造機の窒素吸着塔からの脱着窒素をキャリアガスとして上記オゾン吸着塔の入口側に供給するキャリアガス供給ラインと、そのキャリアガス供給ラインに接続され、オゾンを吸着したオゾン吸着塔に、上記酸素製造機からのキャリアガスを流す入口側脱着切換手段と、脱着されたオゾンを反応塔に流す出口側脱着切換手段と、オゾン吸着塔を脱着から吸着に切換える時、そのオゾン吸着塔に、吸着中のオゾン吸着塔からの未吸着酸素を、又はオゾナイザからのオゾンを供給して、残存する窒素を含むキャリアガスを出口側脱着切換手段を介して反応塔側にパージするパージ手段とを備えたことを特徴とするオゾン発生濃縮装置である。
【0012】
【作用】
上記構成によれば、脱着から吸着に切換える時には、脱着時に導入したキャリアガスが残存し、そのままオゾナイザからのオゾンを導入すると、窒素を含むキャリアガスがオゾナイザに戻る不具合があるが、脱着から吸着に切換える際に、パージ手段により、オゾナイザからの未反応の酸素や吸着を行っている吸着塔からの未反応の酸素の一部を導入して残存キャリアガスを反応塔に流すことで、オゾナイザに窒素が混入することがなくなり、パージが完了した後にオゾナイザからのオゾンを導入することで良好なオゾンの濃縮が行える。
【0013】
【実施例】
以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
【0014】
図1は、本発明の一実施例を示し、基本的には先願の発明と同じであり、図1で、符号1〜9は、図5に示した先願の発明とその機能が同一である。
【0015】
図1において、PSA(Pressure Swing Adsorption )などの酸素製造機1は、コンプレッサ6と、コンプレッサ6の吐出側に接続された窒素吸着塔5a,5bと、コンプレッサ6と窒素吸着塔5a,5b間に接続され、圧縮された空気を窒素吸着塔5a,5bのいずれかに供給する圧縮空気切換手段10と、窒素吸着塔5a,5bの吐出側に接続され、窒素を吸着して酸素を製造しているいずれか一方の吸着塔5a,5bからの酸素をオゾナイザ2に供給すると共に、窒素吸着後の他方の吸着塔5a,5bからの脱着窒素をキャリアガスライン9に流す四方弁11とからなっている。
【0016】
四方弁11とオゾナイザ2間の酸素供給ライン12には、酸素供給手段13がバルブ14を介して接続される。この酸素供給手段13は、オゾン濃縮初期運転時に、酸素製造機1からの酸素供給量がシステム全体としての酸素量が満足するまでの間、不足の酸素を供給するようになっており、例えば液体酸素や高圧酸素ボンベ等からなっている。
【0017】
オゾナイザ2は、高電圧が印加される絶縁電極体を有し、その絶縁電極体の周囲に形成される沿面放電領域や無声放電領域により酸素をオゾン化するようになっている。
【0018】
オゾナイザ2の出口側には、循環用ポンプ15が接続され、その吐出側に、オゾン濃縮装置3のオゾン吸着塔7a,7bのいずれかにオゾンを供給する入口側オゾン吸着切換手段16Aが接続される。また、オゾン吸着塔7a,7bの出口側には、吸着塔7a,7bで吸着されなかった未吸着酸素をライン8に戻す出口側オゾン吸着切換手段16Bが接続される。この入口側オゾン吸着切換手段16Aと出口側オゾン吸着切換手段16Bとで、オゾン吸着切換手段16が構成され、オゾン吸着切換手段16により、オゾナイザ2からのオゾンをオゾン吸着塔7a,7bのいずれかにオゾンを供給すると共に未吸着酸素をライン8を介してオゾナイザ2に再供給するようになっている。
【0019】
ライン8には、オゾン吸着中のオゾン吸着塔7a,7b内の圧力を設定値に保つレギュレータ17が接続される。またオゾン濃縮装置3は、2つ以上のオゾン吸着塔7a,7bによるオゾン吸着・脱着切換、レギュレータ17による圧力制御の他に、オゾン吸着塔7a,7bでの吸着と脱着を促進するため、吸着塔7a,7bを加熱・冷却するための熱交換装置18を有する。オゾン吸着塔7a,7bは、シリカゲルなどが充填されて形成され、オゾン吸着時は、8kg/cm2 程度の圧力にされ、オゾン脱着時には、吸着塔7a,7b内の圧力より十分に低い圧力まで下げられる。また、圧力の代わりに温度によっても吸脱着が行える。すなわちオゾン吸着時は、吸着塔を冷却し、オゾン脱着時は、吸着塔を常温に戻すことで実現することができる。また圧力、温度の両方で吸脱着してもよい。
【0020】
キャリアガスライン9には、窒素吸着塔5a,5bからの窒素の一部を排気する排気バルブ19、開閉バルブ20、キャリアガスポンプ21が接続され、キャリアガスライン9とオゾン吸着塔7a,7b間に、入口側脱着切換手段22Aが接続され、キャリアガスライン9からのキャリアガスで、オゾン吸着塔7a,7b内に吸着したオゾンを脱着するようになっている。
【0021】
キャリアガスライン9には、乾燥空気供給手段23が接続され、窒素吸着塔5a,5bからの窒素の他に乾燥空気供給手段23からの空気をキャリアガスとしてオゾン吸着塔7a,7bに供給できるようになっている。
【0022】
オゾン吸着塔7a,7bの出口側には、脱着されたオゾンを含むキャリアガスを反応塔4側に供給する出口側脱着切換手段22Bが接続される。
【0023】
入口側脱着切換手段22Aと出口側脱着切換手段22Bとは連動して動作され脱着切換手段22を構成する。
【0024】
出口側脱着切換手段22Bと反応塔4間には、バッファタンク24、オゾン供給ポンプ25、開閉バルブ26が接続される。
【0025】
さて、本発明においては、脱着切換手段22で、オゾン吸着塔7a,7bのいずれかが脱着サイクルとなり、その脱着サイクルが完了してオゾン吸着切換手段16により吸着サイクルに切換られる時に、パージ手段30によりパージサイクルして吸着塔7a,7b内のキャリアガスをパージした後、吸着サイクルに切換えるようにしたものである。
【0026】
このパージ手段30は、入口側オゾン吸着切換手段16Aと、出口側オゾン吸着切換手段16Bと、ライン8に接続したパージバルブ31からなる。パージバルブ31は、常時はライン8を導通状態にし、パージサイクルの時に出口側オゾン吸着切換手段16Bからの窒素を含むガスをパージライン32を介してバッファタンク24に流すようになっている。
【0027】
次に実施例の作用を述べる。
【0028】
酸素製造機1は、圧縮空気切換手段10にて、コンプレッサ6からの乾燥圧縮空気を窒素吸着塔5a,5bのいずれか一方に供給し、そこで窒素を吸着して酸素が製造され、その酸素がオゾナイザ2に供給される。酸素は、オゾナイザ2内に形成される沿面放電領域や無声放電領域を通過することでオゾンが生成され、オゾン濃縮装置3に導入される。
【0029】
オゾン吸着切換手段16の入口側オゾン吸着切換手段16Aは、オゾナイザ2からの酸素を含むオゾンを、例えば一方のオゾン吸着塔7aに流し、また出口側オゾン吸着切換手段16Bは、そのオゾン吸着塔7aで吸着されなかった酸素をライン8に流してオゾナイザ2に再供給するように流路を切換える。
【0030】
このようにしてオゾナイザ2で生成されたオゾンは吸着塔7aに吸着されると共に吸着されない酸素がライン8を介して再度オゾナイザ2に再供給されることで、窒素あるいはNOxを含まないオゾンを濃縮できる。
【0031】
この一方の吸着塔7aでの吸着中、他方の吸着塔7bには、酸素製造機1の窒素吸着塔5a,5bのいずれかより脱着された窒素が、四方弁11を通じ、キャリアガスとしてライン9より入口側脱着切換手段22Aを介して導入される。
【0032】
吸着塔7b内で、吸着された濃縮オゾンは、キャリアガスにより脱着されて出口側脱着切換手段22Bを介してバッファタンク24に送られ、そのタンク24より反応塔4に送られる。この脱着サイクルで、吸着塔7b内の圧力又は温度を制御することで所定の濃度のオゾンを連続的に脱着して反応塔4側に供給することができる。
【0033】
この吸着サイクルと脱着サイクルとは、オゾン吸着切換手段16と脱着切換手段22とにより交互に切り換えられてオゾン吸着塔7a,7bが交互に吸着と脱着とを繰り返し、濃縮オゾンが順次製造されると共に反応塔4に連続して供給されるようになっている。
【0034】
さて本発明においては、オゾン脱着サイクルから吸着サイクルに切換える際に、パージ手段30により、脱着完了の吸着塔7a,7bに残存する窒素を、ライン8に流さずにバッファタンク24側に流すようにしたものである。
【0035】
先ず、例えば他方の吸着塔7bの脱着が完了した時、吸着サイクルに切換えるが、同時にパージサイクルに切換える。すなわち、入口側オゾン吸着切換手段16Aの切換で、オゾナイザ2からの酸素を含むオゾンを、脱着が完了した他方の吸着塔7bに流し、出口側オゾン吸着切換手段16Bも吸着塔7b内のガスを循環ライン8に流すようになし、同時にライン8に接続したパージバルブ31を切換えて、ライン8に流れる窒素を含むガスをパージライン32を介してバッファタンク24に流すように制御する。
【0036】
また、一方の吸着の完了した吸着塔7aは、吸着完了と同時に脱着サイクルに切換える。
【0037】
このように脱着サイクルと吸着サイクル間にパージサイクルを設けることで、脱着が完了した直後、吸着塔7a,7bに残存するキャリアガス中の窒素がライン8を介してオゾナイザ2側に流すことがなくなり、窒素を流しても支障のない反応塔4側にオゾンと共にパージすることができる。
【0038】
パージサイクルで吸着塔7a,7b内の窒素のパージが完了した後は、パージ手段30のパージバルブ31を切換えて、ライン8を導通状態にして吸着サイクルとし、オゾナイザ2からのオゾンの吸着を行う。
【0039】
このオゾン濃縮装置において、運転初期には、酸素製造機1での酸素供給量が十分でなく、またオゾン濃度も十分なものが得られないため、酸素製造機1での酸素製造と同時に酸素供給手段13よりオゾナイザ2に酸素を供給し、また出口側オゾン吸着切換手段16Bを直接閉じるか、開閉バルブ26を閉じておき、ライン8のレギュレータ17での圧力が所定値(例えば8kg/cm2 )に達した時に、オゾナイザ2を動作してシステムを運転するようにする。
【0040】
図2は、本発明の他の実施例を示し、パージ手段30を変形したものである。
【0041】
図1の実施例においては、脱着後にパージサイクルに切換える際に、入口側オゾン吸着切換手段16Aと出口側オゾン吸着切換手段16Bとを切換え、吸着サイクルの開始にパージバルブ31にてパージサイクルとなるように制御したが、図2の例では、吸着が完了(或いはその直前)しても、直ちに切換えずにそのままの状態に保ち、キャリアガスライン9からのキャリアガスの供給を停止し、吸着完了直前の吸着塔7a(又は7b)からの未吸着の酸素を、脱着の終えた吸着塔7b(又は7a)に供給するようにしたものである。
【0042】
すなわち、ライン8には、吸着中の吸着塔7a,7bからの未吸着酸素を分岐する主パージバルブ35が接続され、その主パージバルブ35が酸素ライン36を介して入口側脱着切換手段22Aと吸着塔7a,7bを結ぶライン37a,37bに副パージバルブ38a,38bを介して接続されて構成される。
【0043】
脱着完了後の吸着塔7a(又は7b)内のキャリアガスをパージする際、吸着サイクルとなっている吸着塔7b(又は7a)からの酸素を、主パージバルブ35から酸素ライン36を介し、副パージバルブ38a(又は38b)を介して吸着塔7a(又は7b)に導入し、その酸素で窒素を含むキャリアガスを出口側脱着切換手段22Bを介して反応塔4側にパージする。
【0044】
このパージサイクルが完了したならば、入口側オゾン吸着切換手段16Aと出口側オゾン吸着切換手段16Bとを切換えて、パージの終えた吸着塔7a(又は7b)を吸着サイクルに、また他方の吸着塔7b(又は7a)を脱着サイクルとする。
【0045】
図3は、本発明のさらに他の実施例を示し、オゾン濃縮装置3を3台並列接続した吸着塔7a,7b,7cで構成したものであり、また図4はその各吸着塔7a,7b,7cの吸着サイクル・脱着サイクル・パージサイクルのタイムチャートを示したものである。
【0046】
吸着塔7a,7b,7cの入口側には、入口側オゾン吸着切換手段41a,41b,41cが接続され、出口側とライン8を結んで出口側オゾン吸着切換手段42a,42b,42cが接続されてオゾン吸着切換手段40が構成される。
【0047】
キャリアガスライン9は、入口側オゾン吸着切換手段41a,41b,41cと吸着塔7a,7b,7c間の各ライン43a,43b,43cに接続されると共にその間に入口側脱着切換手段44a,44b,44cが接続され、吸着塔7a,7b,7cの出口側とバッファタンク24間に出口側脱着切換手段45a,45b,45cが接続されて脱着切換手段46が構成される。またパージ手段47は、入口側オゾン吸着切換手段41a,41b,41cと出口側脱着切換手段45a,45b,45cとで形成される。
【0048】
次に図4により、各サイクルにおけるオゾン吸着切換手段40,脱着切換手段46,パージ手段47の切換を説明する。
【0049】
図4のタイムチャートで、吸着塔7aを、オゾン吸着サイクル、オゾン脱着サイクル、窒素パージサイクルに切換える場合について説明する。
【0050】
オゾン吸着サイクル:
入口側オゾン吸着切換手段41aと出口側オゾン吸着切換手段42aが導通状態で、入口側脱着切換手段44aと出口側脱着切換手段45aが非導通状態にされ、オゾナイザ2からのオゾンが吸着塔7aに吸着され、未吸着の酸素が循環ライン8を介してオゾナイザ2に再供給される。
【0051】
オゾン脱着サイクル:
入口側オゾン吸着切換手段41aと出口側オゾン吸着切換手段42aを非導通状態とし、入口側脱着切換手段44aと出口側脱着切換手段45aを導通状態にして、キャリアガスライン9からの窒素を含むキャリアガスを入口側脱着切換手段44aを介して吸着塔7aに導入して吸着したオゾンを脱着させて出口側脱着切換手段45aより反応塔4側に供給する。
【0052】
パージサイクル:
吸着塔7aのオゾン脱着サイクルを終了し、入口側脱着切換手段44aを閉じ、吸着塔7bを吸着サイクルに切換えるべく入口側オゾン吸着切換手段41bと出口側オゾン吸着切換手段42bを導通状態にするのに合せて吸着塔7a側の入口側オゾン吸着切換手段41aを導通状態にし、出口側オゾン吸着切換手段42aを非導通状態にし、かつ出口側脱着切換手段45aを導通状態に保ちながらオゾナイザ2からオゾンの一部を導入して吸着塔7a内に残存しているキャリアガス中の窒素をオゾンを含む酸素で出口側脱着切換手段45aを介して反応塔側にパージする。このパージサイクルは、オゾン吸着やオゾン脱着サイクルと違って、吸着塔7内の窒素をパージさせるだけなので、他のサイクルに比べて短時間で済む。またパージサイクルが終了しても他の吸着塔7b,7cはオゾン吸着・脱着中なので、次のオゾン吸着に切換えるまで停止しておくが、その間に吸着サイクルに切換えるために、吸着塔7aを冷却しておいてもよい。
【0053】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、脱着から吸着に切換える際に、パージ手段により、オゾナイザからの未反応の酸素や吸着を行っている吸着塔からの未反応の酸素の一部を導入して残存キャリアガスを反応塔に流すことで、オゾナイザに窒素が混入することがなくなり、パージが完了した後にオゾナイザからのオゾンを導入することで良好なオゾンの濃縮が行える。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す図である。
【図2】本発明の他の実施例を示す図である。
【図3】本発明のさらに他の実施例を示す図である。
【図4】図3の各吸着塔のサイクルタイムチャートを示す図である。
【図5】先願の発明を説明する図である。
【符号の説明】
1 酸素製造機
2 オゾナイザ
3 オゾン濃縮装置
4 反応塔
7a,7b オゾン吸着塔
22 脱着切換手段
30 パージ手段
Claims (2)
- コンプレッサと複数並列に接続した窒素吸着塔とからなる酸素製造機と、オゾナイザと、複数並列に接続したオゾン吸着塔からなるオゾン濃縮装置と、オゾンを使用する反応塔とを順次接続したオゾン発生濃縮装置において、オゾナイザとオゾン濃縮装置の各オゾン吸着塔間に接続され、オゾナイザからのオゾンを所望のオゾン吸着塔に流す入口側オゾン吸着切換手段と、各オゾン吸着塔の出口側に接続され、吸着中のオゾン吸着塔の未吸着の酸素を循環ラインを介してオゾナイザに再供給する出口側オゾン吸着切換手段と、酸素製造機の窒素吸着塔からの脱着窒素をキャリアガスとして上記オゾン吸着塔の入口側に供給するキャリアガス供給ラインと、そのキャリアガス供給ラインに接続され、オゾンを吸着したオゾン吸着塔の入口側にキャリアガスを流す入口側脱着切換手段と、各オゾン吸着塔の出口側に接続され、脱着されたオゾンを反応塔に流す出口側脱着切換手段と、上記出口側オゾン吸着切換手段からオゾナイザに至る循環ラインに接続され、オゾン吸着塔を脱着から吸着に切換える際に、そのオゾン吸着塔に供給されたオゾナイザからのオゾンと共にそのオゾン吸着塔に残存する窒素を含むキャリアガスを反応塔側にパージするパージ手段とを備えたことを特徴とするオゾン発生濃縮装置。
- コンプレッサと複数並列に接続した窒素吸着塔とからなる酸素製造機と、オゾナイザと、複数並列に接続したオゾン吸着塔からなるオゾン濃縮装置と、オゾンを使用する反応塔とを順次接続したオゾン発生濃縮装置において、オゾナイザとオゾン濃縮装置の各オゾン吸着塔間に接続され、オゾナイザからのオゾンを所望のオゾン吸着塔に流す入口側オゾン吸着切換手段と、各オゾン吸着塔の出口側に接続され、吸着中のオゾン吸着塔の未吸着の酸素を循環ラインを介してオゾナイザに再供給する出口側オゾン吸着切換手段と、酸素製造機の窒素吸着塔からの脱着窒素をキャリアガスとして上記オゾン吸着塔の入口側に供給するキャリアガス供給ラインと、そのキャリアガス供給ラインに接続され、オゾンを吸着したオゾン吸着塔に、上記酸素製造機からのキャリアガスを流す入口側脱着切換手段と、脱着されたオゾンを反応塔に流す出口側脱着切換手段と、オゾン吸着塔を脱着から吸着に切換える時、そのオゾン吸着塔に、吸着中のオゾン吸着塔からの未吸着酸素を、又はオゾナイザからのオゾンを供給して、残存する窒素を含むキャリアガスを出口側脱着切換手段を介して反応塔側にパージするパージ手段とを備えたことを特徴とするオゾン発生濃縮装置。
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