JP3763433B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は半導体集積回路装置に関し、例えば、階層ワード線方式を採りかつネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAM(ランダムアクセスメモリ)ならびにその動作の安定化に利用して特に有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
直交して配置されるワード線及び相補ビット線ならびにこれらのワード線及び相補ビット線の交点に格子状に配置されるダイナミック型メモリセルを含むメモリアレイをその基本構成要素とするダイナミック型RAMがある。また、相補ビット線における読み出し信号の増幅後のロウレベルを接地電位VSSとし、ワード線の非選択レベルを接地電位VSSより低い所定の負電位とすることで、メモリセルのリーク電流を抑制し、ダイナミック型RAMのリフレッシュ周期を改善し得るいわゆるネガティブワード線方式が知られている。
【0003】
一方、ダイナミック型RAM等の高速化を図る一つの手段として、メモリアレイ及びその直接周辺部を少なくともワード線の延長方向に複数のメモリマットに分割し、ワード線をメインワード線及びサブワード線に階層化するいわゆる階層ワード線方式がある。この階層ワード線方式を採るダイナミック型RAMでは、例えばメインワード線及びマット選択信号をもとに対応するサブワード線を択一的に選択レベルとするためのサブワード線駆動回路が設けられる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本願発明者等は、この発明に先立って、上記階層ワード線方式を採りかつネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAMを開発し、その過程で次のような問題点に直面した。すなわち、ダイナミック型RAMは、図6に例示されるように、サブメモリアレイSML0に対応して設けられるサブワード線駆動回路SWD0を備え、このサブワード線駆動回路は、サブメモリアレイSML0のサブワード線SWL0及びSWL1に対応して設けられる単位サブワード線駆動回路UWD0及びUWD1を含む。単位サブワード線駆動回路UWD0及びUWD1は、マット選択信号線RX0と対応するサブワード線SWL0又はSWL1との間に設けられるPチャンネル型の駆動MOSFET(金属酸化物半導体型電界効果トランジスタ。この明細書では、MOSFETをして絶縁ゲート型電界効果トランジスタの総称とする)P5又はP6と、サブワード線SWL0又はSWL1と内部電圧供給点VLLとの間に設けられるNチャンネル型の駆動MOSFETNE又はNFとをそれぞれ含む。単位サブワード線駆動回路UWD0及びUWD1を構成する駆動MOSFETP5及びNEならびにP6及びNFのゲートは、対応するメインワード線MW0又はMW1に共通結合される。
【0005】
なお、内部電圧VLLは、ダイナミック型RAMに内蔵された内部電圧発生回路によって生成され、例えば−1.0(ボルト)Vのような負電位とされる。また、マット選択信号RX0は、例えば+3.8Vのような高電圧VHHをその選択レベルとし、0Vつまり接地電位VSSをその非選択レベルとする。さらに、メインワード線MW0及びMW1は上記内部電圧VLLをその選択レベルとし、高電圧VHHをその非選択レベルとする。
【0006】
ダイナミック型RAMが非選択状態とされるとき、マット選択信号RX0は接地電位VSSのような非選択レベルとされ、メインワード線MW0及びMW1はともに高電圧VHHのような非選択レベルとされる。このため、サブワード線駆動回路SWD0の単位サブワード線駆動回路UWD0及びUWD1では、駆動MOSFETP5及びP6がオフ状態となり、駆動MOSFETNE及びNFがオン状態となって、サブメモリアレイSML0のサブワード線SWL0及びSWL1は、ともに内部電圧VLLのような非選択レベルとされる。このとき、図示されないセンスアンプSAでは、相補ビット線B0*(ここで、非反転ビットB0T及び反転ビット線B0Bを合わせて相補ビット線B0*のように*を付して表す。また、それが有効レベルとされるとき選択的にハイレベルとされるいわゆる非反転信号等についてはその名称の末尾にTを付して表し、それが有効レベルとされるとき選択的にロウレベルとされる反転信号等についてはその名称の末尾にBを付して表す。以下同様)に対するプリチャージ動作が行われ、その非反転及び反転信号線は例えば+1.0Vのようなプリチャージ電位とされる。
【0007】
一方、ダイナミック型RAMが選択状態とされると、指定されたメモリマットに対応するマット選択信号RX0が所定のタイミングで高電圧VHHのような選択レベルとされ、指定された行アドレスに対応するメインワード線MW0が内部電圧VLLのような選択レベルとされる。このとき、指定されないメインワード線MW1は、高電圧VHHのような非選択レベルのままとされ、図示されないセンスアンプSAでは、相補ビット線B0*に対するプリチャージ動作が停止される。サブワード線駆動回路SWD0の単位サブワード線駆動回路UWD0では、メインワード線MW0の選択レベルを受けて駆動MOSFETP5がオン状態となり、駆動MOSFETNEはオフ状態となる。このため、サブワード線SWL0が高電圧VHHのような選択レベルとされ、サブメモリアレイSML0のサブワード線SWL0に結合されるメモリセルのアドレス選択MOSFETQaがオン状態となって、その保持データに従った微小読み出し信号が対応する相補ビット線B0*に出力される。これらの微小読み出し信号は、センスアンプSAの対応する単位増幅回路によりそれぞれ増幅され、例えば+2.0Vをハイレベルとし接地電位VSSをロウレベルとする2値読み出し信号とされる。
【0008】
次に、ダイナミック型RAMが選択状態から非選択状態に戻されると、マット選択信号RX0が接地電位VSSのような非選択レベルに戻され、メインワード線MW0も内部電圧VLLのような非選択レベルに戻される。このため、サブワード線駆動回路SWD0の単位サブワード線駆動回路UWD0では、駆動MOSFETP5がオフ状態となり、代わって駆動MOSFETNEがオン状態となって、サブワード線SWL0は内部電圧VLLのような非選択レベルとされる。また、センスアンプSAでは、相補ビット線B0*に対するプリチャージ動作が再開され、その非反転及び反転信号線は上記プリチャージ電位とされる。
【0009】
ところが、ダイナミック型RAMの大容量化・高集積化が進むと、サブワード線SWL0の寄生容量Cwが大きくなり、その選択レベルから非選択レベルへの遷移時において、内部電圧VLLの供給源に比較的大きな電荷の流れ込みが生じる。前述のように、内部電圧VLLは内蔵の内部電圧発生回路により形成され、半導体基板内を比較的長い距離にわたって配置された供給配線を介してサブワード線駆動回路SWD0等に分配される。したがって、内部電圧発生回路が充分な供給能力を持たずまた供給配線の配線幅か充分に大きくない場合、サブワード線SWL0の寄生容量Cwを起点とする比較的大きな電荷流により内部電圧VLLの電位が一時的に上昇し、接地電位VSSを超えて正電位となるおそれもある。この結果、非選択状態にあるべき例えばサブワード線SWL1の電位が上昇し、これに結合されるメモリセルのアドレス選択MOSFETQaが弱いオン状態となって、ダイナミック型RAMのディスターブ特性が劣化する。
【0010】
一方、これに対応しようとして、内部電圧VLLを生成する内部電圧発生回路の供給能力を大きくし供給配線の配線幅を充分に太くしようとすると、関連部のレイアウト所要面積が増大してチップサイズが大きくなり、ダイナミック型RAMの低コスト化が阻害される。また、サブワード線SWL0をゆっくりと選択レベルつまり高電圧VHHから非選択レベルつまり内部電圧VLLに変化させ、内部電圧VLLの浮き上がりを抑えようとすると、非選択レベルに至るまでの所要時間が増大し、ダイナミック型RAMのサイクルタイムが遅くなる。
【0011】
この発明の目的は、内部電圧発生回路の供給能力を大きくすることなく、この内部電圧発生回路により生成される内部電圧をその到達電位とする内部信号線のレベル変化を高速化し、内部信号線のレベル変化にともなう内部電圧の電位変動を抑制することにある。この発明の他の目的は、その高速性及び低コスト性を損なうことなく、階層ワード線方式及びネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAM等の動作を安定化することにある。
【0012】
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、この明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。すなわち、階層ワード線方式及びネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAM等において、所定の高電圧をその選択レベルとするサブワード線を所定の負電位の非選択レベルに遷移させる際に、その電位を、まず外部供給されかつ充分な供給配線が用意される接地電位を目標電位として変化させた後、相補ビット線のプリチャージ動作が行われる期間を利用して、供給能力が小さな負電位の非選択レベルを目標電位として変化させる。
【0014】
上記した手段によれば、サブワード線の選択レベルを、まず大きな供給能力を有する接地電位の供給経路を介して比較的高速に接地電位まで変化させた後、比較的供給能力の小さな負電位の供給経路を介してゆっくりと非選択レベルまで変化させることができる。この結果、負電位を生成する内部電圧発生回路の供給能力を大きくすることなく、内部電圧発生回路により形成される負電位をその非選択レベルとするサブワード線のレベル変化を高速化し、サブワード線のレベル変化にともなう負電位の電位変動を抑制できる。これにより、その高速性及び低コスト性を損なうことなく、階層ワード線方式及びネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAM等の動作を安定化することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1には、この発明が適用されたダイナミック型RAMの一実施例のブロック図が示されている。同図をもとに、まずこの実施例のダイナミック型RAMの構成及び動作の概要を説明する。なお、図1の各ブロックを構成する回路素子は、特に制限されないが、公知のCMOS(相補型MOS)集積回路の製造技術により、単結晶シリコンのような1個の半導体基板面上に形成される。
【0016】
図1において、この実施例のダイナミック型RAMは、半導体基板面の大半を占めて配置されるメモリアレイMARYをその基本構成要素とする。メモリアレイMARYは、図の水平方向に平行して配置される所定数のワード線と、垂直方向に平行して配置される所定数組の相補ビット線とを含む。これらのワード線及び相補ビット線の交点には、情報蓄積キャパシタ及びアドレス選択MOSFETからなる多数のダイナミック型メモリセルが格子状に配置される。
【0017】
この実施例において、メモリアレイMARYは、後述するセンスアンプSA及びYアドレスデコーダYDを含めて8個のメモリマットMAT0〜MAT7に分割され、これらのメモリマットは、マット選択回路MSから供給されるマット選択信号RXP0〜RXP7,RXN0〜RXN7ならびにPA0〜PA7に従って択一的に活性状態とされる。また、ダイナミック型RAMは階層ワード線方式を採り、メモリアレイMARYを構成するワード線は、すべてのメモリマットで共有される一対のメインワード線と、各メモリマットごとに設けられるサブワード線とに階層化される。このため、メモリマットMAT0〜MAT7のそれぞれは、メインワード線とマット選択信号RXP0〜RXP7ならびにRXN0〜RXN7とを受けて各メモリマットの指定されたサブワード線を択一的に選択レベルとするサブワード線駆動回路を備える。階層ワード線構造とメモリマットMAT0〜MAT7の具体的構成については、後で詳細に説明する。
【0018】
メモリアレイMARYを構成するワード線すなわち各対のメインワード線は、その左方においてXアドレスデコーダXDに結合され、択一的に所定の選択レベルとされる。XアドレスデコーダXDには、XアドレスバッファXBから例えば上位3ビットを除くi−2ビットの相補内部アドレス信号X0*〜Xi−3*が供給される。また、XアドレスバッファXBには、アドレス入力端子A0〜Aiを介してXアドレス信号AX0〜AXiが時分割的に供給され、タイミング発生回路TGから内部制御信号XLが供給される。
【0019】
XアドレスバッファXBは、アドレス入力端子A0〜Aiを介して供給されるXアドレス信号AX0〜AXiを内部制御信号XLに従って取り込み、保持するとともに、これらのXアドレス信号をもとに相補内部アドレス信号X0*〜Xi*を形成する。このうち、上位3ビットの相補内部アドレス信号Xi−2*〜Xi*はマット選択回路MSに供給され、残りi−2ビットの相補内部アドレス信号X0*〜Xi−3*はXアドレスデコーダXDに供給される。
【0020】
XアドレスデコーダXDは、XアドレスバッファXBから供給される相補内部アドレス信号X0*〜Xi−3*をデコードして、メモリアレイMARYの対応する一対のメインワード線を択一的に所定の選択レベルとする。また、マット選択回路MSは、XアドレスバッファXBから供給される上位3ビットの相補内部アドレス信号Xi−2*〜Xi*をデコードして、対応するマット選択信号RXP0〜RXP7,RXN0〜RXN7ならびにPA0〜PA7を択一的に所定の選択レベルとする。これらのメインワード線及びマット選択信号は、各メモリマットのサブワード線駆動回路により組み合わされ、これによって指定されたメモリマットの指定されたサブワード線が択一的に選択レベルとされる。
【0021】
この実施例において、ダイナミック型RAMは、ネガティブワード線方式を採り、メモリマットを構成するサブワード線は、例えば+3.8Vのような高電圧VHHをその選択レベルとし、例えば−1.0Vのような負電位の内部電圧VLLをその非選択レベルとする。したがって、メインワード線及びマット選択信号も、これに対応しうる所定の選択レベル又は非選択レベルとされるが、メインワード線及びマット選択信号ならびにサブワード線の選択レベル及び非選択レベルならびにその生成条件等については、後で詳細に説明する。
【0022】
次に、メモリアレイMARYを構成する相補ビット線は、その下方においてセンスアンプSAに結合され、このセンスアンプを介して択一的に相補共通データ線CD*に接続される。センスアンプSAには、YアドレスデコーダYDから所定ビットのビット線選択信号が供給されるとともに、上記マット選択回路MSからマット選択信号PA0〜PA7が供給される。また、YアドレスデコーダYDには、YアドレスバッファYBからi+1ビットの相補内部アドレス信号Y0*〜Yi*が供給される。さらに、YアドレスバッファYBには、アドレス入力端子A0〜Aiを介してYアドレス信号AY0〜AYiが時分割的に供給され、タイミング発生回路TGから内部制御信号YLが供給される。
【0023】
YアドレスバッファYBは、アドレス入力端子A0〜Aiを介して供給されるYアドレス信号AY0〜AYiを内部制御信号YLに従って取り込み、保持するとともに、これらのYアドレス信号をもとに相補内部アドレス信号Y0*〜Yi*を形成し、YアドレスデコーダYDに供給する。YアドレスデコーダYDは、相補内部アドレス信号Y0*〜Yi*をデコードして、ビット線選択信号の対応するビットを択一的にハイレベルの選択状態とする。
【0024】
センスアンプSAは、メモリアレイMARYの各相補ビット線に対応して設けられる所定数の単位回路を含み、これらの単位回路のそれぞれは、3個のプリチャージMOSFETが直並列結合されてなるビット線プリチャージ回路と、一対のCMOSインバータが交差結合されてなる単位増幅回路と、一対のスイッチMOSFETとをそれぞれ含む。このうち、各単位回路のビット線プリチャージ回路を構成するプリチャージMOSFETには、タイミング発生回路TGから内部制御信号PCが供給される。また、各単位回路の単位増幅回路を構成するPチャンネル及びNチャンネルMOSFETのソースには、後述する内部電圧発生回路VGから図示されないコモンソース線を介して、内部電圧VDLのような高電位側動作電源及び接地電位VSSのような低電位側動作電源が選択的に供給され、各単位回路のスイッチMOSFET対には、YアドレスデコーダYDから対応するビット線選択信号がそれぞれ共通に供給される。
【0025】
センスアンプSAの各単位回路のプリチャージMOSFETは、内部制御信号PCのハイレベルを受けて選択的にかつ一斉にオン状態となり、メモリアレイMARYの対応する相補ビット線の非反転及び反転信号線を内部電圧VDL及び接地電位VSSの中間電位つまり内部電圧VDHにプリチャージする。また、各単位回路の単位増幅回路は、対応するコモンソース線を介して内部電圧VDL及び接地電位VSSが供給されることで選択的にかつ一斉に動作状態とされ、メモリアレイMARYの選択されたワード線に結合される所定数のメモリセルから対応する相補ビット線を介して出力される微小読み出し信号をそれぞれ増幅して、内部電圧VDLをハイレベルとし接地電位VSSをロウレベルとする2値読み出し信号とする。さらに、各単位回路のスイッチMOSFETは、対応するビット線選択信号がハイレベルとされることで択一的にオン状態とされ、メモリアレイMARYの対応する1組の相補ビット線と相補共通データ線CD*つまりはデータ入出力回路IOとの間を択一的に接続状態とする。
【0026】
相補共通データ線CD*は、データ入出力回路IOに結合される。データ入出力回路IOは、それぞれ1個のライトアンプ及びメインアンプならびにデータ入力バッファ及びデータ出力バッファを含む。このうち、ライトアンプの出力端子及びメインアンプの入力端子は、相補共通データ線CD*に共通結合される。また、ライトアンプの入力端子はデータ入力バッファの出力端子に結合され、データ入力バッファの入力端子はデータ入力端子Dinに結合される。さらに、メインアンプの出力端子はデータ出力バッファの入力端子に結合され、データ出力バッファの出力端子はデータ出力端子Doutに結合される。
【0027】
データ入出力回路IOのデータ入力バッファは、ダイナミック型RAMが書き込みモードで選択状態とされるとき、データ入力端子Dinを介して入力される書き込みデータを取り込み、ライトアンプに伝達する。このとき、ライトアンプは、タイミング発生回路TGから供給される内部制御信号WPのハイレベルを受けて選択的に動作状態となり、データ入力バッファから伝達される書き込みデータを所定の相補書き込み信号とした後、相補共通データ線CD*を介してメモリアレイMARYの選択された1個のメモリセルに書き込む。
【0028】
一方、データ入出力回路IOのメインアンプは、ダイナミック型RAMが読み出しモードで選択状態とされるとき、メモリアレイMARYの選択された1個のメモリセルから相補共通データ線CD*を介して出力される2値読み出し信号をさらに増幅して、データ出力バッファに伝達する。このとき、データ入出力回路IOのデータ出力バッファは、図示されない内部制御信号OCのハイレベルを受けて選択的に動作状態となり、メインアンプから伝達される読み出しデータをデータ出力端子Doutを介して外部のアクセス装置に出力する。
【0029】
タイミング発生回路TGは、外部のアクセス装置から起動制御信号として供給されるロウアドレスストローブ信号RASB,カラムアドレスストローブ信号CASBならびにライトイネーブル信号WEBをもとに上記各種の内部制御信号を選択的に形成し、ダイナミック型RAMの各部に供給する。
【0030】
この実施例において、ダイナミック型RAMには、外部端子VCCを介して例えば+2.5Vの電源電圧VCCが供給され、外部端子VSSを介して0Vの接地電位VSSが供給される。また、ダイナミック型RAMは、前述のように、階層ワード線方式を採り、メモリアレイMARY及びその直接周辺部は、8個のメモリマットに分割されるとともに、メモリアレイMARYを構成するワード線はメインワード線及びサブワード線に階層化される。さらに、ダイナミック型RAMは、ネガティブワード線方式を採り、サブワード線は、高電圧VHHをその選択レベルとし、負電位の内部電圧VLLをその非選択レベルとする。
【0031】
一方、この実施例のダイナミック型RAMでは、メモリアレイMARYの各相補ビット線における読み出し信号の増幅後のハイレベルが、+2.0Vのような内部電圧VDLとされ、そのロウレベルが0Vつまり接地電位VSSとされる。また、これらの相補ビット線の非反転及び反転信号線は、ダイナミック型RAMが非選択状態とされるとき、上記内部電圧VDL及び接地電位VSS間の中間電位つまり+1.0Vのような内部電圧VDHにプリチャージされる。このため、ダイナミック型RAMは、電源電圧VCC及び接地電位VSSをもとに上記各種の内部電圧を生成する内部電圧発生回路VGを備える。
【0032】
内部電圧発生回路VGは、外部端子VCC又はVSSを介して供給される電源電圧VCC及び接地電位VSSをもとに、高電圧VHH,内部電圧VDL,VDH,VLLならびに基板電圧VBBを生成し、ダイナミック型RAMの各部に供給する。言うまでもなく、電源電圧VCC及び接地電位VSSは、比較的大きな配線幅を有しかつダイナミック型RAMが形成される半導体基板面に張り巡らされた電源電圧供給線又は接地電位供給線を介して、ダイナミック型RAMの各部に供給される。この実施例において、電源電圧VCCは、特に制限されないが、+2.5Vとされ、接地電位VSSは言うまでもなく0V(第3の電位)とされる。また、高電圧VHHは、+3.8V(第2の電位)とされ、内部電圧VDLは、+2.0V(第4の電位)とされる。内部電圧VDHは、内部電圧VDL及び接地電位VSS間の中間電位つまり+1.0Vとされる。さらに、内部電圧VLLは、−1.0V(第1の電位)のような負電位とされ、基板電圧VBBも−1.0Vとされる。この基板電圧VBBは、ダイナミック型RAMが形成されるP型の半導体基板又はウェル領域等に基板電位として供給される。
【0033】
図2には、図1のダイナミック型RAMに含まれるメモリアレイMARY及びその直接周辺部の一実施例のブロック図が示されている。また、図3には、図2のメモリマットMAT0に含まれるサブワード線駆動回路SWD0,サブメモリアレイSML0,センスアンプSAL0ならびにセンスアンプ駆動回路SAD0の一実施例の回路図が示され、図4には、図3のサブワード線駆動回路SWD0に含まれる単位サブワード線駆動回路UWD0の一実施例の回路図が示されている。さらに、図5には、図2のメモリアレイMARY及びその直接周辺部の一実施例の信号波形図が示されている。これらの図をもとに、この実施例のダイナミック型RAMのメモリアレイMARY及びその直接周辺部の具体的構成及び動作ならびにその特徴について説明する。
【0034】
なお、以下の回路図において、そのチャネル(バックゲート)部に矢印が付されるMOSFETはPチャンネル型であって、矢印の付されないNチャンネルMOSFETと区別して示される。また、以下の記述では、図3のサブワード線駆動回路SWD0,サブメモリアレイSML0,センスアンプSAL0ならびにセンスアンプ駆動回路SAD0をもって、サブワード線駆動回路SWD0〜SWD7,サブメモリアレイSML0〜SML7ならびにSMR0〜SMR7,センスアンプSAL0〜SAL7ならびにSAR0〜SAR7,センスアンプ駆動回路SAD0〜SAD7を説明し、図4の単位サブワード線駆動回路UWD0をもって、単位サブワード線駆動回路UWD0〜UWDkを説明する。
【0035】
まず、図2において、ダイナミック型RAMのメモリアレイMARYは、その直接周辺部を含めて8個のメモリマットMAT0〜MAT7に分割され、これらのメモリマットのそれぞれは、対応するサブワード線駆動回路SWD0〜SWD7を挟んで配置される一対のサブメモリアレイSML0及びSMR0ないしSML7及びSMR7と、これらのサブメモリアレイに対応して設けられる一対のセンスアンプSAL0及びSAR0ないしSAL7及びSAR7とを含む。センスアンプSAL0及びSAR0ないしSAL7及びSAR7の中間には、センスアンプ駆動回路SAD0〜SAD7が設けられる。サブワード線駆動回路SWD0〜SWD7は、メインワード線MWA0〜MWAkならびにMWB0〜MWBkを介してXアドレスデコーダXDに結合されるとともに、マット選択回路MSから対応するマット選択信号RXP0〜RXP7ならびにRXN0〜RXN7がそれぞれ供給される。また、センスアンプSAL0〜SAL7ならびにSAR0〜SAR7は、相補共通データ線CD*を介してデータ入出力回路IOに結合されるとともに、タイミング発生回路TGから内部制御信号PCが供給される。さらに、センスアンプ駆動回路SAD0〜SAD7には、マット選択回路MSから対応するマット選択信号PA0〜PA7がそれぞれ供給される。
【0036】
ここで、メモリマットMAT0〜MAT7を構成するサブメモリアレイSML0〜SML7ならびにSMR0〜SMR7は、図3のサブメモリアレイSML0に代表して示されるように、図の水平方向に平行して配置されるk+1本のサブワード線SWL0〜SWLkと、垂直方向に平行して配置されるm+1組の相補ビット線B0*〜Bm*とを含む。これらのサブワード線及び相補ビット線の交点には、情報蓄積キャパシタCs及びNチャンネル型のアドレス選択MOSFETQaからなる(k+1)×(m+1)個のダイナミック型メモリセルが格子状に配置される。サブメモリアレイSML0の同一列に配置されるk+1個のメモリセルの情報蓄積キャパシタCsの一方の電極は、対応するアドレス選択MOSFETQaを介して対応する相補ビット線B0*〜Bm*の非反転又は反転信号線に所定の規則性をもって交互に配置される。また、メモリアレイMARYの同一行に配置されるm+1個のメモリセルのアドレス選択MOSFETQaのゲートは、対応するサブワード線SWL0〜SWLkにそれぞれ共通結合される。メモリアレイMARYを構成するすべてのメモリセルの情報蓄積キャパシタCsの他方の電極には、+1.0Vの内部電圧VDHが共通に供給される。
【0037】
サブメモリアレイSML0を構成する相補ビット線B0*〜Bm*は、その下方において、センスアンプSAL0の対応する単位回路にそれぞれ結合される。センスアンプSAL0は、サブメモリアレイSML0の相補ビット線B0*〜Bm*に対応して設けられるm+1個の単位回路を備え、これらの単位回路のそれぞれは、図に例示されるように、Nチャンネル型の3個のプリチャージMOSFETN7〜N9が直並列結合されてなるビット線プリチャージ回路と、PチャンネルMOSFETP2及びNチャンネルMOSFETN2ならびにPチャンネルMOSFETP3及びNチャンネルMOSFETN3からなる一対のCMOSインバータが交差結合されてなる単位増幅回路と、Nチャンネル型の一対のスイッチMOSFETNA及びNBとを含む。
【0038】
このうち、プリチャージMOSFETN7〜N9のゲートには、タイミング発生回路TGから内部制御信号PCが共通に供給され、プリチャージMOSFETN8及びN9の共通結合されたソースには、内部電圧発生回路VGから+1.0Vの内部電圧VDHが共通に供給される。これにより、プリチャージMOSFETN7〜N9は、内部制御信号PCがハイレベルとされることで選択的にかつ一斉にオン状態となり、サブメモリアレイSML0の対応する相補ビット線B0*〜Bm*の非反転及び反転信号線を+1.0Vの内部電圧VDHつまり内部電圧VDL及び接地電位VSS間の中間電位にプリチャージする。
【0039】
一方、各単位増幅回路を構成するMOSFETP2及びP3のソースはコモンソース線CSPに共通結合され、MOSFETN2及びN3のソースはコモンソース線CSNに共通結合される。コモンソース線CSPは、センスアンプ駆動回路SAD0のPチャンネルMOSFETP1を介して内部電圧供給点VDLに結合され、コモンソース線CSNは、そのNチャンネルMOSFETN1を介して接地電位VSSに結合される。MOSFETN1のゲートには、マット選択回路MSからマット選択信号PA0が供給され、MOSFETP1のゲートにはそのインバータV1による反転信号が供給される。これにより、センスアンプSAL0の各単位増幅回路は、マット選択信号PA0がハイレベルとされコモンソース線CSP及びCSNに内部電圧VDL又は接地電位VSSが供給されることで選択的にかつ一斉にオン状態となり、サブメモリアレイSML0の選択サブワード線に結合されるm+1個のメモリセルから相補ビット線B0*〜Bm*に出力される微小読み出し信号をそれぞれ増幅して、内部電圧VDLのようなハイレベル又は接地電位VSSのようなロウレベルの2値読み出し信号とする。
【0040】
センスアンプSAL0の各単位回路のスイッチMOSFETNA及びNBのゲートはそれぞれ共通結合され、YアドレスデコーダYDから対応するビット線選択信号YSL0〜YSLmが供給される。これにより、各単位回路のスイッチMOSFETNA及びNBは、対応するビット線選択信号YSL0〜YSLmが択一的にハイレベルとされることで選択的にオン状態となり、サブメモリアレイSML0の対応する1組の相補ビット線と相補共通データ線CD*つまりはデータ入出力回路IOとの間を選択的に接続状態とする。
【0041】
なお、センスアンプ駆動回路SAD0は、さらにコモンソース線CSP及びCSN間に直並列形態に設けられるNチャンネル型の3個のプリチャージMOSFETN4〜N5を含む。これらのプリチャージMOSFETのゲートには、上記内部制御信号PCが供給され、プリチャージMOSFETN5及びN6の共通結合されたソースには上記内部電圧VDHが供給される。これにより、プリチャージMOSFETN4〜N6は、ダイナミック型RAMが非選択状態とされるとき内部制御信号PCのハイレベルを受けて選択的にオン状態となり、コモンソース線CSP及びCSNを内部電圧VDHにプリチャージする。
【0042】
次に、サブメモリアレイSML0を構成するサブワード線SWL0〜SWLkは、その右方においてサブワード線駆動回路SWD0の対応する単位サブワード線駆動回路UWD0〜UWDkにそれぞれ結合される。これらの単位サブワード線駆動回路UWD0〜UWDkには、対をなすサブメモリアレイSMR0の対応するサブワード線SWR0〜SWRkがそれぞれ共通結合されるが、以下の記述では、サブメモリアレイSML0にのみ着目して説明を進める。
【0043】
サブワード線駆動回路SWD0は、サブメモリアレイSML0のサブワード線SWL0〜SWLkに対応して設けられるk+1個の単位サブワード線駆動回路UWD0〜UWDkを備える。これらの単位サブワード線駆動回路は、対応するメインワード線MWA0〜MWAkならびにMWB0〜MWBkにそれぞれ結合される。また、単位サブワード線駆動回路UWD0〜UWDkには、マット選択回路MSから対応するマット選択信号RXP0及びRXN0が共通に供給され、内部電圧発生回路VGから内部電圧VLLが共通に供給される。
【0044】
サブワード線駆動回路SWD0を構成する単位サブワード線駆動回路UWD0〜UWDkは、図4の単位サブワード線駆動回路UWD0に代表して示されるように、マット選択信号RXP0と内部信号線つまりサブワード線SWL0との間に設けられるPチャンネル型の駆動MOSFETP4と、サブワード線SWL0と外部電圧供給点つまり接地電位VSSとの間に設けられるNチャンネル型の駆動MOSFETNC(第1のスイッチ手段)と、サブワード線SWL0と内部電圧供給点つまり負電位の内部電圧VLLとの間に設けられるNチャンネル型のもう1個の駆動MOSFETND(第2のスイッチ手段)とをそれぞれ含む。このうち、駆動MOSFETP4及びNCのゲートは、対応するメインワード線MWA0又はMWB0にそれぞれ結合され、駆動MOSFETNDのゲートには、対応するマット選択信号PXN0が供給される。なお、駆動MOSFETP4及びNCは比較的大きな駆動能力を有し、駆動MOSFETNDは、これらの駆動MOSFETに比較して小さな駆動能力を持つべく設計される。
【0045】
マット選択信号RXP0〜RXP7は、特に制限されないが、図5に例示されるように、ダイナミック型RAMが非選択状態とされるとき、0Vつまり接地電位VSSのような非選択レベルとされ、ダイナミック型RAMが選択状態とされると、所定のタイミングで択一的に高電圧VHHのような選択レベルとされる。また、マット選択信号RXN0〜RXN7は、ダイナミック型RAMが非選択状態とされるとき、高電圧VCCのような非選択レベルとされ、ダイナミック型RAMが選択状態とされると、上記マット選択信号RXP0とほぼ同一のタイミングで択一的に内部電圧VLLのような選択レベルとされる。
【0046】
一方、メインワード線MWA0〜MWAkは、ダイナミック型RAMが非選択状態とされるとき、高電圧VHHの非選択レベルとされ、ダイナミック型RAMが選択状態とされると、上記マット選択信号RXP0及びRXN0とほぼ同一のタイミングで択一的に接地電位VSSの選択レベルとされるが、これらのマット選択信号より所定時間だけ早いタイミングで非選択レベルに戻される。また、メインワード線MWB0〜MWBkは、ダイナミック型RAMが非選択状態とされるとき、内部電圧VLLの非選択レベルとされ、ダイナミック型RAMが選択状態とされると、上記メインワード線MWA0が非選択レベルに戻される時点で択一的に高電圧VCCの選択レベルとされた後、上記マット選択信号RXP0及びRXN0とほぼ同一のタイミングで非選択レベルに戻される。前記センスアンプSAL0のプリチャージ動作を制御する内部制御信号PCは、ダイナミック型RAMが非選択状態とされるとき、内部電圧VDLのような有効レベルつまりハイレベルとされ、ダイナミック型RAMが選択状態とされると、接地電位VSSのような無効レベルつまりロウレベルとされる。そして、ダイナミック型RAMが再度非選択状態とされると、メインワード線MWB0が選択レベルとされる期間のほぼ中間で、電源電圧VCCのハイレベルに戻される。
【0047】
これらのことから、ダイナミック型RAMが非選択状態とされるとき、サブワード線駆動回路SWD0の単位サブワード線駆動回路UWD0では、駆動MOSFETP4が、メインワード線MWA0の非選択レベルつまり高電圧VHHを受けてオフ状態となる。また、駆動MOSFETNCは、メインワード線MWB0の非選択レベルつまり内部電圧VLLを受けてオフ状態となり、駆動MOSFETNDは、マット選択信号RXN0の非選択レベルつまり高電圧VCCを受けてオン状態となる。この結果、サブメモリアレイSML0のサブワード線SWL0を含むすべてのサブワード線は、ともに内部電圧VLLつまり−1.0Vの負電位の非選択レベル(一方の論理レベル)とされ、これを受けてサブメモリアレイSML0を構成するすべてのメモリセルが非選択状態とされる。
【0048】
なお、ダイナミック型RAMがネガティブワード線方式を採り、サブメモリアレイSML0を構成するサブワード線SWL0〜SWLkの非選択レベルが−1.0Vのような負電位とされることで、すべてのメモリセルのアドレス選択MOSFETQaはいわゆる逆バイアス状態となる。この結果、アドレス選択MOSFETQaを介するリーク電流を抑制し、サブメモリアレイSML0を構成するメモリセルの情報保持特性を改善して、ダイナミック型RAMのリフレッシュ周期を長くし、その低消費電力化を図ることができるものとなる。
【0049】
次に、ダイナミック型RAMが選択状態とされ、マット選択信号RXP0及びRXN0ならびにメインワード線MWA0が選択レベルとされると、サブワード線駆動回路SWD0の単位サブワード線駆動回路UWD0では、駆動MOSFETP4が、メインワード線MWA0の選択レベルつまり接地電位VSSを受けてオン状態となる。また、駆動MOSFETNCは、メインワード線MWB0が非選択レベルつまり内部電圧VLLのままとされることでオフ状態を継続し、駆動MOSFETNDは、マット選択信号RXN0の選択レベルつまり内部電圧VLLを受けてオフ状態とされる。この結果、サブメモリアレイSML0のサブワード線SWL0には、駆動MOSFETP4を介してその選択レベル(他方の論理レベル)つまり高電圧VHHが伝達され、これを受けてサブメモリアレイSML0のサブワード線SWL0に結合されるm+1個のメモリセルが選択状態とされる。これにより、サブメモリアレイSML0の相補ビット線B0*〜Bm*の非反転及び反転信号線には、選択サブワード線SWL0に結合されるm+1個のメモリセルの保持データに応じた微小読み出し信号が出力される。
【0050】
ダイナミック型RAMの選択アドレスに対するアクセスが終了すると、まずメインワード線MWA0が非選択レベルつまり高電圧VHHに戻され、メインワード線MWB0が択一的に選択レベルつまり高電圧VCCとされる。また、所定時間が経過した時点で、内部制御信号PCがハイレベルに戻され、さらに所定の時間が経過した時点で、メインワード線MWB0が非選択レベルつまり内部電圧VLLに戻されるとともに、マット選択信号RXP0が非選択レベルつまり接地電位VSSに戻され、マット選択信号RXN0は高電圧VCCのような非選択レベルに戻される。サブワード線駆動回路SWD0の単位サブワード線駆動回路UWD0では、それまでオン状態にあった駆動MOSFETP4がメインワード線MWA0の高電圧VHHを受けてオフ状態となり、代わって駆動MOSFETNCがメインワード線MWB0の高電圧VCCを受けてオン状態となる。この駆動MOSFETNCは、メインワード線MWB0が内部電圧VLLのような非選択レベルに戻された時点でオフ状態となり、続いて駆動MOSFETNDがマット選択信号RXN0の高電圧VCCを受けてオン状態となる。
【0051】
以上により、サブメモリアレイSML0の選択レベルつまり高電圧VHHにあったサブワード線SWL0電位は、まず単位サブワード線駆動回路UWD0の駆動MOSFETNCがオン状態とされた時点で、接地電位VSSを目標電位として引き下げられた後、駆動MOSFETNDがオン状態とされた時点で、最終的な非選択レベルとなる内部電圧VLLを目標電位として引き下げられる。
【0052】
周知のように、サブメモリアレイSML0を構成するサブワード線SWL0等には、m+1個のメモリセルのアドレス選択MOSFETQaのゲートが結合され、比較的大きな寄生容量が結合される。また、このサブワード線SWL0が高電圧VHHのような選択レベルから内部電圧VLLのような非選択レベルに遷移されることで、サブワード線SWL0には、その寄生容量を起点とする比較的大きなディスチャージ電流が流される。さらに、内部電圧VLLは、ダイナミック型RAMを構成するすべてのサブワード線の非選択レベルとして共有され、その電位変動はダイナミック型RAMのディスターブ特性を劣化させる。
【0053】
ところが、この実施例のダイナミック型RAMでは、前述のように、選択状態にあるサブワード線は、まずその電位が接地電位VSSを目標電位として引き下げられた後、所定の時間が経過した時点で負電位の内部電圧VLLを目標電位として引き下げられる。また、単位サブワード線駆動回路UWD0では、サブワード線SWL0等と接地電位VSSとの間に設けられる駆動MOSFETNCは比較的大きな駆動能力を持つべく設計されるが、サブワード線SWL0等と内部電圧VLLとの間に設けられる駆動MOSFETNDはこれに比較して小さな駆動能力を持つべく設計される。さらに、周知のように、サブワード線SWL0等の当初の目標電位となる接地電位VSSは、比較的大きな供給能力を有する外部の電源装置から所定の外部端子を介して供給され、半導体基板内に張り巡らされたその供給配線は、比較的大きな配線幅をもって形成される。
【0054】
以上のことから、高電圧VHHのような選択状態にあるサブワード線SWL0等の電位は、まず接地電位供給線の充分な供給能力によって急速に接地電位VSSに引き下げられ、接地電位VSSに問題となるような電位変動も生じない。また、接地電位VSSとなったサブワード線SWL0等の電位は、比較的小さな駆動能力の駆動MOSFETNDを介してゆっくりと内部電圧VLLに引き下げられ、内部電圧VLLにも問題となるような電位変動は生じない。さらに、以上の説明から明らかなように、内部電圧VLLを生成する内部電圧発生回路VGは、余り大きな供給能力を必要とせず、上記対策を施すためダイナミック型RAMに追加される回路素子も少なく、接地電位VSSを供給するための供給配線も既存のものをそのまま活用すればよい。これらの結果、その高速性及び低コスト性を損なうことなく、階層ワード線方式及びネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAMの動作を安定化することができるものである。
【0055】
なお、センスアンプSAL0では、内部制御信号PCのハイレベルを受けてプリチャージMOSFETN7〜N9による相補ビット線B0*〜Bm*のプリチャージ動作が開始されるが、この時点では、サブワード線SWL0の電位が接地電位VSSまで変化しているため、サブメモリアレイSML0を構成するメモリセルのアドレス選択MOSFETQaが弱いオン状態となることはない。これらのアドレス選択MOSFETQaは、選択サブワード線SWL0が内部電圧VLLつまり−1.0Vの負電位とされることでさらに逆バイアス状態となり、これによってそのリーク電流はほぼゼロとなる。また、単位サブワード線駆動回路UWD0では、前述のように、相補ビット線B0*〜Bm*のプリチャージ動作が行われる間に駆動MOSFETNDがオン状態となり、接地電位VSSまで引き下げられた選択サブワード線SWL0の電位はさらにゆっくりと内部電圧VLLに引き下げられるため、内部電圧VLLの電位変動も抑制される。
【0056】
以上の実施例から得られる作用効果は、下記の通りである。すなわち、
(1)階層ワード線方式及びネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAM等において、所定の高電圧をその選択レベルとするサブワード線を所定の負電位の非選択レベルに遷移させる際に、その電位を、まず外部供給されかつ充分な供給配線が用意される接地電位を目標電位として変化させた後、相補ビット線のプリチャージ動作が行われる期間を利用して、供給能力が小さな負電位の非選択レベルを目標電位として変化させることで、サブワード線の選択レベルを、まず大きな供給能力を有する接地電位の供給経路を介して比較的急速に接地電位まで変化させた後、比較的供給能力の小さな負電位の供給経路を介してゆっくりと非選択レベルまで変化させることができるという効果が得られる。
【0057】
(2)上記(1)項により、負電位の内部電圧を生成する内部電圧発生回路の供給能力を余り大きくすることなく、負電位の内部電圧をその非選択レベルとするサブワード線のレベル変化を高速化し、これにともなう負電位の内部電圧の電位変動を抑制することができるという効果が得られる。
(3)上記(1)項及び(2)項により、その高速性及び低コスト性を損なうことなく、階層ワード線方式及びネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAM等の動作を安定化することができるという効果が得られる。
【0058】
以上、本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具体的に説明したが、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、図1において、ダイナミック型RAMは、×4,×8又は×16ビット等、任意のビット構成を採ることができる。また、ダイナミック型RAMは、アドレスマルチプレックス方式を採ることを必須条件とはしないし、そのブロック構成や起動制御信号及びアドレス信号の組み合わせならびに電源電圧の極性等は、種々の実施形態を採りうる。電源電圧VCC,高電圧VHH,内部電圧VDL,VDH,VLLならびに基板電圧VBBの具体的電位は、本発明の主旨に制約を与えない。
【0059】
図2において、メモリアレイMARY及び直接周辺部は、任意数のメモリマットに分割できるし、シェアドセンス方式を採ることもできる。図3において、メモリアレイMARYは、任意数の冗長素子を含むことができるし、単位サブワード線駆動回路UWD0〜UWDkを含むサブワード線駆動回路SWD0〜SWDk,サブメモリアレイSML0〜SML7ならびにSMR0〜SMR7,センスアンプSAL0〜SAL7ならびにSAR0〜SAR7,センスアンプ駆動回路SAD0〜SAD7の具体的構成は、種々の実施形態を採りうる。図4のUWD0に代表される単位サブワード線駆動回路は、CMOSタイプではなく、NチャンネルMOSFETのみを含むNMOSタイプとしてもよい。
【0060】
図5において、各信号の具体的レベル及び時間関係は、この発明に制約を与えない。また、一旦接地電位VSSに引き下げられたサブワード線SWL0〜SWLkならびにSWR0〜SWRkの電位を内部電圧VLLに引き下げるための動作は、センスアンプSAL0のビット線プリチャージ回路による相補ビット線B0*〜Bm*のプリチャージ動作と同時に開始してもよい。
【0061】
以上の説明では、主として本発明者によってなされた発明をその背景となった利用分野であるダイナミック型RAMならびにそのサブワード線の非選択レベルへの変化に適用した場合について説明したが、それに限定されるものではなく、例えば、メインワード線及びサブワード線の高電圧VHHへの引き上げ動作や内部電圧発生回路VGにより形成される他の内部電圧をその変化後のレベルとして用いるその他の信号のレベル変化に際しても応用できる。また、本発明は、ダイナミック型RAMを基本構成とする各種のメモリ集積回路にも適用できるし、これを含むマイクロコンピュータ等の論理集積回路装置にも適用できる。この発明は、少なくともその論理レベルのいずれかを内部電圧とする信号線を含みかつその他の電位として外部電圧の供給を受ける半導体集積回路装置ならびにこのような半導体集積回路装置を含む装置又はシステムに広く適用できる。
【0062】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。すなわち、階層ワード線方式及びネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAM等において、所定の高電圧をその選択レベルとするサブワード線を所定の負電位の非選択レベルに遷移させる際に、その電位を、まず外部供給されかつ充分な供給配線が用意される例えば接地電位を目標電位として変化させた後、相補ビット線のプリチャージ動作が行われる期間を利用して、供給能力が小さな負電位の非選択レベルを目標電位として変化させることで、サブワード線の選択レベルを、まず外部供給され大きな供給能力を有する接地電位供給経路を介して比較的急速に接地電位まで変化させた後、比較的供給能力の小さな負電位の供給経路を介してゆっくりと非選択レベルまで変化させることができる。この結果、負電位の内部電圧を生成する内部電圧発生回路の供給能力を大きくすることなく、上記負電位の内部電圧をその非選択レベルとするサブワード線のレベル変化を高速化し、サブワード線のレベル変化にともなう負電位の内部電圧の電位変動を抑制することができる。これにより、その高速性及び低コスト性を損なうことなく、階層ワード線方式及びネガティブワード線方式を採るダイナミック型RAM等の動作を安定化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明が適用されたダイナミック型RAMの一実施例を示すブロック図である。
【図2】図1のダイナミック型RAMに含まれるメモリアレイ及び直接周辺部の一実施例を示すブロック図である。
【図3】図1のダイナミック型RAMに含まれるメモリアレイ及び直接周辺部の一実施例を示す部分的な回路図である。
【図4】図2のメモリマットに含まれるサブワード線駆動回路の単位サブワード線駆動回路の一実施例を示す回路図である。
【図5】図1のダイナミック型RAMに含まれるメモリアレイ及び直接周辺部の一実施例を示す信号波形図である。
【図6】この発明に先立って本願発明者等が開発したダイナミック型RAMのサブワード線駆動回路の単位サブワード線駆動回路の一例を示す回路図である。
【符号の説明】
MARY……メモリアレイ、XD……Xアドレスデコーダ、MS……マット選択回路、XB……Xアドレスバッファ、SA……センスアンプ、YD……Yアドレスデコーダ、YB……Yアドレスバッファ、IO……データ入出力回路、VG……内部電圧発生回路、TG……タイミング発生回路。
RASB……ロウアドレスストローブ信号又はその入力端子、CASB……カラムアドレスストローブ信号又はその入力端子、WEB……ライトイネーブル信号又はその入力端子、A0〜Ai……アドレス信号又はその入力端子、Din……入力データ又はその入力端子、Dout……出力データ又はその出力端子、VCC……電源電圧又はその入力端子、VSS……接地電位又はその入力端子。
MAT0〜MAT7……メモリマット、SML0〜SML7,SMR0〜SMR7……サブメモリアレイ、SWD0〜SWD7……サブワード線駆動回路、SAL0〜SAL7,SAR0〜SAR7……センスアンプ、SAD0〜SAD7……センスアンプ駆動回路、X0〜Xi……内部Xアドレス信号、MWA0〜MWAk,MWB0〜MWBk……メインワード線、RXP0〜RXP7,RXN0〜RXN7,PA0〜PA7……マット選択信号、PC……プリチャージ制御信号、CD*……相補共通データ線。
SWL0〜SWLk,SWR0〜SWRk……サブワード線、B0*〜Bm*……相補ビット線、Qa……アドレス選択MOSFET、Cs……情報蓄積キャパシタ、UWD0〜UWDk……単位サブワード線駆動回路、YSL0〜YSLm……ビット線選択信号、CSP,CSN……コモンソース線。
P1〜P5……PチャンネルMOSFET、N1〜NE……NチャンネルMOSFET、V1……インバータ、Cw……サブワード線寄生容量。
Claims (2)
- 回路の接地電位よりも低い第1の電位の内部電圧を生成する内部電圧発生回路と、
回路の接地電位に対応した外部電圧が入力される外部端子と、
メインワード線と、
上記メインワード線に対して複数個が割り当てられ、上記第1の電位を非選択レベルとし、上記第2の電位を選択レベルとするサブワード線と、
上記メインワード線に割り当てられた複数個のサブワード線のうちいずれかを選択するときに上記第2電位にされる選択線と、
上記サブワード線と上記選択線との間に設けられた第1のスイッチ手段と、上記サブワード線と上記外部電圧の供給点との間に設けられた第2のスイッチ手段及び上記サブワード線と上記内部電圧の供給点との間に設けられた第3のスイッチ手段からなるサブワード線駆動回路と、
上記サブワード線と相補ビット線の交差部にダイナミック型メモリセルが格子状に配置されてなるメモリアレイと
上記サブワード線の選択動作によって上記相補ビット線に現れたメモリセルの読み出し信号を増幅するセンスアンプとを具備し、
上記サブワード線駆動回路は、
上記メインワード線の選択状態により上記第1のスイッチ手段がオン状態となって上記選択線からの第2電位により上記サブワード線を選択レベルとし、
上記サブワード線を選択状態から非選択状態に遷移するとき、上記メインワード線の非選択状態により上記第1のスイッチ手段がオフ状態にされ、上記第2のスイッチ手段がオン状態となって上記サブワード線を上記第2の電位から上記第3の電位を目標電位として遷移させる第1動作と、その後に上記第3のスイッチ手段がオン状態となって上記第1の電位を目標として遷移させる第2動作を行い、
上記メモリアレイの相補ビット線は、上記センスアンプによる増幅信号のハイレベルが上記第2電位よりも低い第4電位にされ、ロウレベルが上記第3電位にされることを特徴とする半導体集積回路装置。 - 請求項1において、
上記相補ビット線は、上記第1動作により上記サブワード線が上記第2の電位から第3の電位に変化された後、上記第4及び第3の電位間の中間電位にプリチャージされるものであって、
上記第2動作は、上記相補ビット線が上記中間電位にプリチャージされる間に行われることを特徴とする半導体集積回路装置。
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