JP3760570B2 - 防汚性薄膜の形成方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、防汚性を必要とする各種基材の表面に、防汚性薄膜を形成する方法に関する。特に、光学部材(例えば、反射防止膜、光学フィルター、光学レンズ、液晶ディスプレー、テレビモニター等)の表面に、各光学部材の光学性能を損なわせることなく、防汚性薄膜を形成する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
反射防止膜、光学フィルター、光学レンズ、液晶ディスプレー、テレビモニター等の光学部材には、汗や指紋等による汚れが付着する場合が多い。そのような汚れは、一度付着すると除去することは容易でなく、特に、反射防止膜付き光学部材では、付着した汚れが目立つために問題となる。
【0003】
そこで、これら汚れの問題を解決する手段として、防汚性あるいは撥水性のあるフルオロアルキルシランの薄膜を、光学部材の表面に形成する方法が考案されている。
【0004】
例えば、特開平6−122778号公報には、プラズマCVD法を用いてフルオロアルキルシランの撥水性薄膜を形成する方法が開示されている。それによれば、次式(1)で表されるフルオロアルキルシランが重合するための反応促進のエネルギーとしてプラズマが用いられている。ここでプラズマが使用される理由としては、プラズマを使用しなければ、気化したフルオロアルキルシランのモノマー分子が被処理基材表面に単に入射するだけであり、再蒸発はおこるが重合反応は起こらないと考えられているためである。
【0005】
【化1】
CF3(CF2)n(CH2)mSiA3 (1)
(nは正の整数、mは0以上の整数、Aは加水分解可能な置換基を表す。)
【0006】
このプラズマCVD法は、より具体的には、図2に示すようなプラズマCVD装置20を使用して次のように行われる。即ち、プラズマCVD装置20の反応室21内に被処理基材1を載置し、反応室21内を真空ポンプで矢印Aのように排気する。次に、蒸着源であるフルオロアルキルシラン2を充填したボトル22をボトルヒーター23で加熱し、別の配管ヒーター24でボトル22よりも高温に加熱した配管25を通してフルオロアルキルシラン2の蒸気を反応室21内に導入する。一方、被処理基材1の上方に配されているコイル26にRF電源27から高周波を印加し、反応室21内にプラズマを発生させる。そしてこのプラズマの作用により、被処理基材1上に、フルオロアルキルシラン2の重合による薄膜を形成する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
上述のプラズマを用いてフルオロアルキルシランの薄膜を形成する方法では、プラズマ自身がフルオロアルキルシランのモノマー蒸気の電解・解離等のメカニズムで維持される。このプラズマ中の電子エネルギーは、平均で一般に5eV程度である。しかし、そのエネルギー分布が広いため、プラズマ中の電子には10eVを超える高エネルギーのものも相当量含まれている。この高エネルギー電子が有するエネルギー値は、フルオロアルキルシランのモノマー分子内の化学結合エネルギーよりもはるかに高い。
【0008】
そのため、フルオロアルキルシランの重合と共にそのモノマー自身の破壊や分解も同時に進行する。したがって、この方法では制御性よくフルオロアルキルシランを成膜することが困難であり、得られた薄膜には予期できない不均一性が生じ、被処理基材の光学的性質が損なわれたり、この蒸着材料が本来有する防汚性や撥水性が発現しないという問題があった。
【0009】
本発明は以上のような従来技術の課題を解決しようとするものであり、被処理基材の光学的性質を損なうことなく、制御性よく、安定的に防汚性薄膜を形成できるようにすることを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記の目的を達成するため、被処理基材の表面をフルオロアルキルシランのモノマー蒸気に曝しながら該表面に真空紫外光を照射し、フルオロアルキルシランの薄膜を形成することを特徴とする防汚性薄膜の形成方法を提供する。
【0011】
特に、この方法において、フルオロアルキルシランのモノマー蒸気温度を70〜200℃とし、照射する真空紫外光の中心波長を100nm〜200nmとする方法を提供する。
【0012】
また、被処理基材として、反射防止膜などの光学部材に上述の薄膜を形成する方法を提供する。
【0013】
さらに、このような方法で形成した防汚性薄膜それ自体や、このような防汚性薄膜を表面に有する反射防止膜等の光学部材を提供する。
【0014】
本発明の防汚性薄膜の形成方法によれば、被処理基材の表面をフルオロアルキルシランのモノマー蒸気に曝し、そこに真空紫外光を照射するので、この被処理基材の表面では、フルオロアルキルシランの重合が進行し、フルオロアルキルシランの薄膜が形成される。
【0015】
この被処理基材へのフルオロアルキルシランのモノマーの蒸着と真空紫外光の照射により薄膜を形成する方法は、所謂光CVD法に属する方法であり、この薄膜の形成工程においてプラズマは使用しない。したがって、フルオロアルキルシランの重合時にそのモノマー自身の破壊や分解が生じることはなく、制御性よく、均一な薄膜を形成することができる。
【0016】
一方、フルオロアルキルシランの薄膜は、汗、指紋、油性ペン等の汚れに対して優れた防汚効果を発揮する。
【0017】
よって、本発明の防汚性薄膜の形成方法によれば、反射防止膜等の光学部材を被処理基材とした場合でも、その光学部材の光学的性質を損なうことなく、防汚性を付与することが可能となる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を詳細に説明する。
【0019】
図1は、本発明の実施に好適に使用することのできる光CVD装置10の構成図である。本発明の方法は、同図のような光CVD装置10を使用する場合、次のように行うことができる。
【0020】
まず、被処理基材1をその反応室11内に載置し、真空ポンプで矢印Aのように排気する。次いで、蒸着源とするフルオロアルキルシラン2をボトルヒーター13付のボトル12に充填し、配管ヒーター14付の配管15で反応室11内にそのモノマーの加熱蒸気を導入し、このモノマー蒸気に被蒸着基材1の表面を曝す。そして、光源16から光学窓17を通して真空紫外線Lを照射する。なお、この光学窓17としては、照射波長に対して透過率の高い光学材料から形成されているものを使用する。例えば、波長100〜200nmの真空紫外光Lに対しては合成石英製のものを使用することができる。
【0021】
このような操作により被処理基材1の表面にフルオロアルキルシランの重合による薄膜を形成することができる。
【0022】
ここで、使用するフルオロアルキルシランとしては、従来のプラズマCVD法により防汚性薄膜を形成する場合と同様の、次式(1)
【0023】
【化2】
CF3(CF2)n(CH2)mSiA3 (1)
(nは正の整数、mは0以上の整数、Aは加水分解可能な置換基を表す。)
【0024】
で表される化合物を使用することができる。
【0025】
式中、Aの置換基としては、具体的には、エトキシ基、メトキシ基等をあげることができる。
【0026】
式(1)で表されるフルオロアルキルシランの中でも、n=5〜10、m=2〜5、Aがメトキシ基である化合物を使用することが好ましい。
【0027】
また、被処理基材1に供給するフルオロアルキルシランのモノマー蒸気温度は、低すぎると蒸気圧が不足であり、高すぎると蒸気圧過剰となり、分解の可能性が生じるため、蒸気圧が1Torr程度となる温度が好ましい。このような温度は、材料によっても異なるが、通常70〜200℃である。
【0028】
真空紫外光Lとしては、その中心波長が100nm〜200nmにあり、この範囲に強度をもつものが好ましい。真空紫外光Lの波長が長すぎるとフルオロアルキルシランの重合膜が形成されにくく、短すぎるとプラズマを使用した場合と同様に分解が起こるので好ましくない。また、上記の波長よりも短い短波長の光を発する実用的な光源は入手できないことからも真空紫外光Lの好ましい波長範囲は上記の通り、100nm〜200nmとすることが好ましい。、
この他、この薄膜形成時の条件としては、反応室11内を1×10-5Torr〜1×10-2Torr程度の真空とすることが好ましく、特に、5×10-4Torr程度とすることが好ましい。
【0029】
反応時間としては、材料の種類、圧力、真空紫外光の強度にもよるが、通常、10秒〜600秒とすることが好ましい。
【0030】
このような方法でフルオロアルキルシランの薄膜を形成する被処理基材1自体には特に制限はないが、所期の設計通りの厳密な表面性が必要とされる反射防止膜を被処理基材とする場合に、本発明の効果を顕著に得ることができる。このような反射防止膜としては、例えば、MgF2、LiF2、ThF4、SiO、SiO2、ZrO2、CeO2、AI2O3、TiO2、Ta3O6などのフッ化物、酸化物を単層で、あるいは積層したものをあげることができる。この他、本発明を適用する好ましい被処理基材1としては、偏光板、あるいはこれらを貼り付けたメガネ等の光学レンズや液晶ディスプレイ等の光学部材をあげることができる。
【0031】
以上、図1に示した光CVD装置10を使用して本発明を実施する場合について詳細に説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、被処理基材1がフィルム状である場合には、巻き取り式真空成膜装置を使用し、その成膜室を10E−4Torr以下に排気し、次いで加熱気化したフルオロアルキルシランのモノマー蒸気を導入し、その成膜室にフィルム状被処理基材を走行させながら光学窓を通して真空紫外光を照射することが好ましい。
【0032】
【実施例】
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。
【0033】
実施例1
図1の光CVD装置10を使用し、次のようにフルオロアルキルシランの薄膜を被処理基材1に形成した。
【0034】
まず、被処理基材1として、100mm角で厚さ80μmのトリアセチルセルロースフィルム上に、アクリル樹脂からなるハードコート層と無機酸化物の積層体からなる反射防止膜とを積層した光学部材を反応室11内に設置した。このときの設置位置は、光源16のランプ面から30mmの距離とした。そして反応室11内を真空排気した。
【0035】
一方、式(1)のフルオロアルキルシラン(信越化学製:KBM7803)をステンレス製のボトル12に500cc仕込み、これをボトルヒーター13で90℃に加熱し、気化させてモノマー蒸気とした。別の配管ヒーター14で配管15を110℃に加熱保温し、この配管15を通して上述のモノマー蒸気を反応室11に導入した。このとき、反応室11の内圧力はダイヤフラム式圧力計ではかったところ1E−3Torrであった。
【0036】
次に、光源16としてキセノンエキシマランプ(ウシオ電機製:UER20−172)を使用し、中心波長172nm、半値幅14nmの真空紫外光源Lを合成石英製の光学窓17を通して10分間照射し、これにより被処理基材1の表面に防汚性薄膜を形成した。
【0037】
薄膜形成後、被処理基材1を取り出してその被処理基材1表面の水に対する接触角を協和界面科学製FACE CA−Z型試験器を用いて測定した。この場合、測定は5回繰り返し、その5回の測定値の最高値と最低値を除去した残り3つの測定値の平均を当該被処理基材1の接触角とした。その結果、表1に示すように、水の接触角は115.8度であった。
【0038】
次に、薄膜形成した被処理基材1の表面をクリーニングペーパー(旭化成社製、ベンコットンCT−8)を用いて軽く100往復拭き取り、その後上記と同様に接触角を測定した。その結果、表1に示すように接触角の低下はほとんど無く、耐久性のある良好な撥水性が確認された。また、被処理基材1の上につけた指紋をクリーニングペーパーで拭き取る指紋の拭き取り試験ったところ、指紋を完全に拭き取ることができ、被処理基材1の表面に形成された薄膜の良好な防汚性が確認できた。
【0039】
比較例1
実施例1と同様の被処理基材1をプラズマCVD装置の反応室に設置し、その反応室内を真空排気してそこにフルオロアルキルシラン(信越化学製:KBM7803)のモノマーを導入し、その反応室に設置した電極に13.56MHzのRF電力を50W印加してプラズマを発生させ、そのプラズマを1分間維持させることにより被処理基材1の表面に薄膜を形成した。
【0040】
その後、実施例1と同様に、被処理基材1の表面をクリーニングペーパーで100往復拭き取る前後の水の接触角をそれぞれ測定した。この結果を表1に示す。
【0041】
表1の結果から、比較例1の薄膜はクリーニングペーパーで拭き取った後の水の接触角が大きく低下し、初期撥水性においても耐久性においても、上記実施例1の薄膜より劣っていることが確認できた。また、実施例1と同様に指紋の拭き取り試験を行ったところ、比較例1の薄膜では拭き残りが生じ、指紋を完全に拭き取ることはできなかった。
【0042】
【表1】
【0043】
【発明の効果】
本発明の防汚性薄膜の形成方法によれば、制御性よく安定的に、耐久性、撥水性に優れた防汚性薄膜を形成することができる。また、この方法により形成される防汚性薄膜は均一性に優れた薄膜となるので、反射防止膜等の光学部材を被処理基材とした場合に、その光学部材の光学的性質が損なわれることを防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施に使用する光CVD装置の説明図である。
【図2】従来のプラズマCVD装置の説明図である。
【符号の説明】
1 被処理基材
2 フルオロアルキルシラン
10 光CVD装置
11 反応室
12 ボトル
13 ボトルヒーター
14 配管ヒーター
15 配管
16 光源
17 光学窓
L 真空紫外光
Claims (8)
- 被処理基材の表面をフルオロアルキルシランのモノマー蒸気に曝しながら該表面に真空紫外光を照射し、フルオロアルキルシランの薄膜を形成することを特徴とする防汚性薄膜の形成方法。
- フルオロアルキルシランのモノマー蒸気温度が70〜200℃である請求項1記載の防汚性薄膜の形成方法。
- 真空紫外光の中心波長が100nm〜200nmである請求項1又は2に記載の防汚性薄膜の形成方法。
- 被処理基材がフィルム状である場合に、巻き取り式真空成膜装置の成膜室を排気し、次いで加熱気化したフルオロアルキルシランのモノマー蒸気を導入し、その成膜室にフィルム状被処理基材を走行させながら光学窓を通して真空紫外光を照射する請求項1〜3のいずれかに記載の防汚性薄膜の形成方法。
- 被処理基材が光学部材である請求項1〜4のいずれかに記載の防汚性薄膜の形成方法。
- 光学部材が反射防止膜である請求項5記載の防汚性薄膜の形成方法。
- 表面に請求項5記載の方法で形成された防汚性薄膜を有する光学部材。
- 表面に請求項6記載の方法で形成された防汚性薄膜を有する反射防止膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16707397A JP3760570B2 (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | 防汚性薄膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16707397A JP3760570B2 (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | 防汚性薄膜の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH1112375A JPH1112375A (ja) | 1999-01-19 |
JP3760570B2 true JP3760570B2 (ja) | 2006-03-29 |
Family
ID=15842910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16707397A Expired - Fee Related JP3760570B2 (ja) | 1997-06-24 | 1997-06-24 | 防汚性薄膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3760570B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999052574A1 (en) | 1998-04-10 | 1999-10-21 | Massachusetts Institute Of Technology | Biopolymers resistant coatings |
CA2421538C (en) * | 2002-03-18 | 2007-11-20 | Hoya Corporation | Optical member and process for producing it and thin films |
US20110014398A1 (en) * | 2008-04-09 | 2011-01-20 | Ulvac, Inc. | Film deposition apparatus and film deposition method |
-
1997
- 1997-06-24 JP JP16707397A patent/JP3760570B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH1112375A (ja) | 1999-01-19 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050817 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051005 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051101 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051220 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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