JP3752706B2 - 大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本願発明は、大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルの製造方法に関する。大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルは、一般に粒子径が20nm以上のコロイダルシリカの分散液であり、紙の表面処理剤、高分子材料の改質剤、フィルムの表面処理剤、研磨剤等に用いられているが、半導体材料の研磨剤、フィルムの表面処理剤には40〜1000nmの粒子径を有する球状シリカからなるシリカゾルが望まれている。
【0002】
【従来の技術】
特公昭46−20137号公報には、珪酸アルカリの水溶液に90℃以上の温度で水を蒸発除去しながら活性珪酸の水性コロイド溶液を添加することにより粒子径30〜60nmのシリカの高濃度水性ゾルを得る方法が開示されている。特開昭60−251119号公報には、珪酸アルカリの水溶液に活性珪酸の水性コロイド溶液を添加して40〜120nmのシリカ粒子が分散媒中に分散されてなるシリカゾルを調製した後、これに酸を添加して熟成し、さらに微細多孔性膜で濃縮する方法が開示されている。
【0003】
特開昭63−64911号公報には、比較的小さな粒子径を有するシリカゾルと珪酸アルカリ水溶液および/またはアルカリ水溶液とを混合して、70℃以上に保持しながら、酸性珪酸液を添加して粒子径が約40〜1000nmのシリカ粒子が分散媒中に分散されてなるシリカゾルを得る方法が開示されている。米国特許第3440174号明細書あるいは同第3583015号明細書には、粒子径10nm以上のシリカ粒子を含むアルカリ性シリカゾルに、平均分子量90000以下の酸性シリカゾルを添加して45〜100nmあるいはそれ以上の粒子径を有するシリカ粒子を含むシリカゾルの製造法が開示されている。上記米国特許第3440174号及び第3583015号明細書に記載の平均分子量Mが90000以下の酸性シリカゾル中のシリカ粒子は、シリカの密度ρを2.2g/cm3、Nをアボガドロ数、πを円周率とすれば、シリカ粒子径D(nm)は、D={(6M)/(Nπρ10−6)}1/3の式に従って計算され、その平均分子量を粒子径に換算すると5nm以下となる。
【0004】
米国特許第4356107号及び第4304575号明細書では、少なくとも40nmの粒子径の粒子が少なくとも50%含有する広い粒度分布を有する水性シリカゾルを、pH8〜10.5で138〜240℃の温度で加熱して出発ゾル中の大粒径シリカ粒子を更に大きなシリカ粒子にするビルドアップ方法が開示されている。その具体例として、実施例には60〜80nmと10〜20nmの分布を持ったシリカゾルを、138℃、pH8.2で5時間加熱して、60〜110nm、30nm及び10〜20nmの粒度分布を持ったシリカゾルが得られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
特公昭46−20137号公報に記載の方法で得られるシリカゾル中のシリカ粒子は、非球状であり粒子径も不揃いである為に好ましくない。特公昭60−251119号公報、特開昭63−64911号公報又は米国特許第3440174号明細書、第3583015号明細書に記載の方法では、添加に用いるシリカ源として活性ケイ酸の水性コロイド溶液を使用しており、SiO2濃度が7重量%以下であるため、ビルドアップされた大粒子径シリカゾルを高濃度化するためには多大のエネルギーを必要とするので高濃度に濃縮されたシリカゾルを得ようとする場合は好ましくない。
【0006】
米国特許第4356107号及び第4304575号明細書に記載の方法では、大きな粒子上に付着してその大きな粒子を更にビルドアップさせるために混在させる小さな粒子が10〜20nmであるが、この様に10nm以上の粒子を用いると二次核(新たな核)が発生しやすくなるために得られるゾルの粒子径が不揃いになり好ましくない。また、この方法では、大きな粒子に小さな粒子を全量混合させるために、小さな粒子同士の融着や混合液のゲル化が起こりやすい。
【0007】
本願発明は、上記問題点を解決して粒子径が40〜1000nmであって、均一な粒子径を有し、且つ球状で大粒子径のコロイダルシリカが液状媒体に分散しているシリカゾルを効率よく製造できる改良された方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本願発明は、下記(a)工程、(b)工程及び(c)工程;
(a):20nm以上の平均粒子径を有する水性シリカゾルと、ケイ酸アルカリ水溶液及び/又はアルカリ水溶液を混合して、当該混合液中の全SiO2/M2O(但し、Mはアルカリ金属を示す)のモル比を10〜100に調製してヒール液とする工程、
(b):6〜10nmの平均粒子径、8〜20重量%のSiO2濃度及び2〜5のpHを有する水性シリカゾルを調製してフィード液とする工程、及び(c):容器内にヒール液を入れ、ヒール液を90℃以上に保持しながら、ヒール液にフィード液を添加してヒール液中のシリカ粒子の粒子径を成長させるビルドアップ工程、からなるシリカゾルの製造方法である。
【0009】
本願発明の(a)工程に用いられる20nm(ナノメートル)以上の平均粒子径を有する水性シリカゾルは、本願発明の方法の中ではヒール液として用いられる。この水性シリカゾルは、公知の方法で得られる水性シリカゾルを用いることが出来る。例えば、ケイ酸アルカリ水溶液を酸で中和したり、イオン交換樹脂で脱陽イオン処理して得られた活性ケイ酸を加熱熟成する方法や、ケイ酸エステルを加水分解する方法で得られる。また、特開昭58−110417号公報では、活性な酸性シリカゾル水溶液を70℃以上のアルカリ水溶液に、添加速度が1分間あたり酸性シリカゾル水溶液中のシリカゾル(SiO2換算)とアルカリ水溶液中のアルカリ(M2O換算:Mはアルカリ金属又はアンモニウム)のモル比(SiO2/M2O)が10以下となるように加えて安定なシリカゾル水溶液を得るに際して、酸性シリカゾル水溶液の添加をアルカリ金属の可溶性塩40〜1000ppmの存在下で行う方法が記載されているが、この方法で得られたシリカゾルは本願発明の(a)工程で使用する20nm以上の平均粒子径を有する水性シリカゾルとして好ましく用いることが出来る。
【0010】
本願発明においては、ヒール液に用いる20nm以上の平均粒子径を有する水性シリカゾルは、本願発明によって得られたシリカゾルをヒール液の原料として用いることもできる。例えば、20nmの平均粒子径を有するシリカゾルを出発原料として100nmの平均粒子径を有するシリカゾルを得た後、これを出発原料として数百nmの更に大きな粒子径を有するシリカゾルを得るという様に、順次繰り返して大粒子径のシリカ粒子を含有するシリカゾルを得ることが出来る。
【0011】
上記の(a)工程に用いられる20nm以上の平均粒子径を有する水性シリカゾルに、ケイ酸アルカリ水溶液及び/又はアルカリ水溶液を混合して、当該混合液中の全SiO2/M2O(但し、Mはアルカリ金属を示す)のモル比を10〜100に調製してヒール液を得ることが好ましい。上記の全SiO2/M2Oモル比が10未満ではヒール液中の粒子同士が凝集したり、粒子成長の途中で凝集したりするので、得られるシリカゾル中のシリカ粒子の粒子径分布が広くなったり、非球状のシリカ粒子が生成するので好ましくない。また、上記の全SiO2/M2Oモル比が100を越えるとフィードとして添加した平均粒子径6〜10nmのコロイダルシリカ粒子の溶解が充分に行われず、新たな核となるため、得られたシリカゾル中のシリカ粒子の粒子径分布が広くなるので好ましくない。
【0012】
上記のモル比調製に使用するケイ酸アルカリは、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、ケイ酸リチウムが挙げられるが、ケイ酸ナトリウムが好ましい。このケイ酸ナトリウムは、SiO2/Na2Oモル比が1.0〜4.0の範囲で使用することが出来る。上記のケイ酸アルカリは水溶液として(a)工程の水性シリカゾル中に添加することが好ましい。このケイ酸アルカリ水溶液はSiO2濃度が1〜28重量%濃度で使用することが出来る。
【0013】
また、上記のモル比調製に使用するアルカリ水溶液は、アルカリ金属水酸化物の水溶液を用いることが好ましい。このアルカリ金属水酸化物は、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウムが挙げられるが、水酸化ナトリウムが好ましい。このアルカリ金属水酸化物の水溶液は、1〜20重量%濃度で使用することが好ましい。
【0014】
また、全SiO2/M2Oモル比が10〜100の範囲に調製された後の全SiO2濃度は、3〜60重量%、好ましくは8〜40重量%の範囲に有ることが好ましい。全SiO2濃度が3重量%未満では得られるシリカゾル中のSiO2濃度が低く、濃縮に多大のエネルギーを必要とする。一方、60重量%を越えるとシリカ粒子の凝集が起こりやすくなり、非球状の粒子が生成しやすくなるので好ましくない。
【0015】
本願発明の(b)工程で調製する水性シリカゾルは、6〜10nmの平均粒子径、8〜20重量%、好ましくは10〜20重量%のSiO2濃度及び2〜5のpHを有する。この様に調製された水性シリカゾルは、本願発明ではフィード液として用いる事が出来る。
(b)工程で調製される水性シリカゾルは、公知の方法で製造された平均粒子径6〜10nmのアルカリ性水性シリカゾルを水素型陽イオン交換樹脂と接触させて得ることが出来る。この平均粒子径6〜10nmのアルカリ性水性シリカゾルは、例えば、米国特許第3711419号明細書には、SiO2濃度1〜7重量%のアルカリ金属ケイ酸塩水溶液に、粒子径2nm以下でSiO2濃度2〜14重量%の酸性シリカゾルを25〜35℃、25〜50℃及び70〜100℃で分割添加して、水を蒸発させることにより、粒子径5〜10nm、SiO2濃度が19〜36重量%のアルカリ性水性シリカゾルを得る方法が開示されている。また、特開昭58−110416号公報には、活性な酸性シリカゾル水溶液から安定なシリカゾル水溶液を製造するに際し、該酸性シリカゾル水溶液を水酸基型陰イオン交換樹脂に通し、活性な中性シリカゾル水溶液を作り、この中性シリカゾル水溶液をあらかじめ70℃以上の温度に調製されているアルカリ水溶液中に1分間当たり、該中性シリカゾル水溶液中のSiO2とアルカリ水溶液中のR2O(Rはアルカリ金属又はアンモニウム)とのモル比SiO2/R2Oが10以下となる添加速度で連続的に添加し、限外濾過により濃縮してシリカゾル水溶液を製造する方法が開示されている。これらの方法により製造された平均粒子径6〜10nmのアルカリ性水性シリカゾルは、8〜20重量%のSiO2濃度に調製した後、水素型陽イオン交換樹脂と接触させてpH2〜5に調 製して、(b)工程のフィード液とすることが出来る。
【0016】
本願発明では、ヒール液を得る(a)工程とフィード液を得る(b)工程は如何なる順序で行うことも可能である。即ち、(a)工程、(b)工程、及び(c)工程の順で行う場合と、(b)工程、(a)工程、及び(c)工程の順で行う場合の2つの方法が挙げられる。本願発明の(c)工程は、容器内に入れたヒール液を90℃以上に保持しながら、ヒール液にフィード液を添加してヒール液中のシリカ粒子の粒子径を成長させるビルドアップ工程である。(c)工程でのヒール液の温度は90℃以上、好ましくは100℃〜250℃とすることが出来る。添加するフィード液は、加熱して添加することも可能であるが、常温で添加する事が好ましい。このフィード液を添加する時間は、1〜24時間で行うことが好ましい。
【0017】
(c)工程では、ヒール液とフィード液を混合した液体から発生する水蒸気を蒸発させないように完全に密封された容器内で還流下に反応させる方法を行うことが出来る。しかし、ヒール液中の粒子の成長と得られるシリカゾルの濃縮を同時に行って効率的に製造するために、容器から水蒸気を除去する操作を加える事が好ましい。この濃縮操作では、容器内の液体の容積が一定となる様にフィード液の添加と水蒸気の除去を行うことが好ましい。
【0018】
容器内の液体から水蒸気を除去する操作を行う場合は、添加するフィード液と同じ体積の水を除去するように、容器には容器内の液体の温度を保持しつつ、水蒸気の蒸発が可能なリーク弁が取り付けられた加圧容器を用いることが好ましい。この時、添加するフィード液と同じ体積の水を容器から水蒸気として除去することが好ましい。
【0019】
(c)工程ではフィード液の添加が終了した後、90℃以上、好ましくは100℃〜250℃の温度で1〜24時間保持させることが出来る。この保持する間は、容器内の液体から発生する水蒸気を蒸発させないように還流下に行うことも、容器内の液体から水蒸気を除去して行うこともできる。(c)工程で得られたシリカゾルは、限外濾過法や蒸発法により更に濃縮させることもできる。
【0020】
上記の(c)工程では、フィード液中のシリカ粒子はヒール液に添加されるとアルカリ成分によって溶解し、ヒール液中のシリカ粒子の表面に均一に沈積してヒール液中のシリカ粒子の粒子径を増大させる。本願発明では、ヒール液の全SiO2/M2Oモル比が10〜100の範囲では、添加するフィード液のpHは2〜5が好ましい。このフィード液のpHが5を越え中性付近のpHに近づくとフィード液自体の安定性が低下し、更にフィード液がアルカリ性になるとこのフィード液の添加によりヒール液の全SiO2/M2Oモル比が低下して、粒子同士の融着が起こり得られる粒子の形状が非球状になるので好ましくない。また、フィード液のpHは2未満とすることも可能であるが、やはりフィード液としての安定性が低下するので好ましくない。
【0021】
本願発明では、フィード液中のシリカ粒子の平均粒子径が10nmを越えると、ヒール液中で二次核(新たな核)となり、この10nmを越えた粒子上で粒子成長が起こるので得られるシリカゾルの粒子径分布が広くなり好ましくない。また、フィード液のpHが2〜5の時は、フィード液中のシリカ粒子の平均粒子径は6nm未満ではSiO2濃度を7重量%以上に高くすることが出来ないので、濃縮に多くのエネルギーを要する為に好ましくない。
【0022】
本願発明によって得られるシリカゾルは、pHが9〜12であり、粒子径は40〜1000nm、SiO2濃度は3〜60である。本願発明では粒子径は、透過型電子顕微鏡写真の画像解析法や、遠心沈降法粒子径測定装置により測定することが出来る。
【0023】
【発明の実施の形態】
本願発明の方法では、SiO2/M2Oモル比を10〜100に調製した20nm以上の平均粒子径を有する水性シリカゾルをヒール液として90℃以上に加熱して、このヒール液にpH2〜5で平均粒子径6〜10nmのフィード液を添加して、ヒール液中のシリカ粒子を粒子成長させるものである。この時にヒール液中のシリカ粒子の粒子成長と同時に水蒸気を蒸発させて濃縮させることにより、高濃度に濃縮された大粒径のシリカ粒子を含有する水性シリカゾルを得ることが出来る。
【0024】
本願発明では、粒子成長と濃縮を同時に行ってその得られる大粒子径のシリカ粒子は球状であり、二次核の発生がないので得られるシリカゾルは均一な粒子径を有する。更に、原料となるヒール液とフィード液は共に濃度の高いシリカゾルを使用するために大がかりなタンクを必要とせず、コンパクトな装置によって大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルを効率的に製造することが可能であり、商業的な規模での生産に適する。
【0025】
以下の実施例に具体例を詳述する。しかし、本願発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【0026】
【実施例】
実施例1
平均粒子径45nm、SiO2濃度40.0重量%、Na2O濃度0.37重量%のシリカゾル187gに水2273g、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液(SiO2濃度28.8重量%、Na2O濃度9.47重量%)40gを加えて2500gとし、SiO2濃度3.5重量%、Na2O濃度0.18重量%、全SiO2/Na2Oモル比20のヒール液を調製した。
【0027】
別途、平均粒子径6nmのアルカリ性水性シリカゾル(日産化学工業株式会社製、商品名スノーテックスXS、SiO2濃度20.6重量%、Na2O濃度0.4重量%、pH9.1)3622gに水3838gを混合してSiO2濃度を10.0重量%とした後、水素型陽イオン交換樹脂アンバーライトIR−120Bで陽イオン交換処理することにより、平均粒子径6nm、SiO2濃度10.0重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.5の酸性水性シリカゾル7460gを得た。
【0028】
撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液2500gを仕込み、100℃に加熱し、充分な撹拌下に、上記酸性水性シリカゾル7460gを12時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常に一定になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させた。上記酸性水性シリカゾルの添加終了後、リーク弁を閉じて水蒸気の留出を停止した後、100℃でさらに2時間加熱を続けた。得られたシリカゾルは、SiO2濃度32.1重量%、Na2O濃度0.20重量%、全SiO2/Na2Oモル比164、pH9.9、粘度2.5mPa・sであり、このシリカゾルの平均粒子径を遠心沈降法粒子径測定装置((株)堀場製作所製、商品名CAPA−700)を用いて測定したところ、100nmであった。また透過型電子顕微鏡写真の画像解析を行ったところ、平均粒子径は100nmであった。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0029】
実施例2
実施例1で得られた平均粒子径100nm、SiO2濃度32.1重量%、Na2O濃度0.20重量%のシリカゾル273gに水2179g、JIS3号珪酸ナトリウム水溶液48gを加えて2500gとし、SiO2濃度4.1重量%、Na2O濃度0.20重量%、全SiO2/Na2Oモル比21のヒール液を調製した。
【0030】
撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液2500g仕込み、140℃に加熱し、充分な撹拌下に実施例1で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径6nm、SiO2濃度10.0重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.5)8454gを16時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常に一定になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させた。上記酸性水性シリカゾルの添加終了後、リーク弁を閉じて水蒸気の留出を停止した後、140℃でさらに2時間加熱を続けた。得られたシリカゾルはSiO2濃度37.4重量%、Na2O濃度0.23重量%、全SiO2/Na2Oモル比165、pH10.2、粘度2.7mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径221nmであった。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0031】
実施例3
実施例2で得られた平均粒子径221nm、SiO2濃度37.4重量%、Na2O濃度0.23重量%のシリカゾル614gに水1849g、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液37gを加えて2500gとし、SiO2濃度9.6重量%、Na2O濃度0.20重量%、全SiO2/Na2Oモル比52のヒール液を調製した。
【0032】
別途、平均粒子径9nmのアルカリ性水性シリカゾル(日産化学工業株式会社製、商品名スノーテックスS、SiO2濃度30.4重量%、Na2O濃度0.4重量%、pH9.7)2033gに水2086gを混合してSiO2濃度を15.0重量%とした後、水素型陽イオン交換樹脂アンバーライトIR−120Bで陽イオン交換処理することにより、平均粒子径9nm、SiO2濃度15.1重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.4の酸性水性シリカゾル4119gを得た。
【0033】
撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積3リットルのステンレス製容器内に上記ヒール液2500gを仕込み、110℃に加熱して、充分な撹拌下に上記酸性水性シリカゾル4119gを5時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常に一定になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させた。上記酸性水性シリカゾルの添加終了後、リーク弁を閉じて水蒸気の留出を停止した後、110℃でさらに2時間加熱を続けた。得られたシリカゾルは、SiO2濃度33.7重量%、Na2O濃度0.21重量%、全SiO2/Na2Oモル比166、pH10.4、粘度2.3mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径343nmであった。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0034】
実施例4
実施例3で得られた平均粒子径343nm、SiO2濃度33.7重量%、Na2O濃度0.21重量%のシリカゾル1484gに水988g、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液28gを加えて2500gとし、SiO2濃度23.2重量%、Na2O濃度0.23重量%、全SiO2/Na2Oモル比91のヒール液を調製した。
【0035】
撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液2500gを仕込み、140℃に加熱し、充分な撹拌下に実施例3で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径9nm、SiO2濃度15.1重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.4)2277gを4時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常に一定になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させた。上記酸性水性シリカゾルの添加終了後、リーク弁を閉じて水蒸気の留出を停止した後、140℃で2時間加熱を続けた。得られたシリカゾルは、SiO2濃度33.7重量%、Na2O濃度0.24重量%、全SiO2/Na2Oモル比146、pH10.9、粘度3.0mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径409nmであった。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0036】
実施例5
実施例4で得られた平均粒子径409nm、SiO2濃度33.7重量%、Na2O濃度0.24重量%のシリカゾル297gに水2183g、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液20gを加えて2500gとし、SiO2濃度4.2重量%、Na2O濃度0.10重量%、全SiO2/Na2Oモル比42のヒール液を調製した。
【0037】
撹拌機、導管及びリーク弁を備えた内容積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液2500gを仕込み、170℃に加熱し、充分な撹拌下に、実施例3で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径9nm、SiO2濃度15.1重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.4)3444gを6時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常に一定になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させた。続いてリーク弁を閉じて水蒸気の留出を停止した後、170℃で1時間加熱を続けた。得られたシリカゾルは、SiO2濃度24.5重量%、Na2O濃度0.12重量%、全SiO2/Na2Oモル比211、pH10.2、粘度1.9mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径752nmであった。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0038】
実施例6
実施例5において得られた平均粒子径752nm、SiO2濃度24.5重量%、Na2O濃度0.12重量%のシリカゾル2000gに10重量%のNaOH水溶液36gを添加して2036gとし、SiO2濃度24.1重量%、Na2O濃度0.25重量%、全SiO2/Na2Oモル比98のヒール液を調製した。
【0039】
撹拌機、導管、及びリーク弁を備えた内容積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液2036gを仕込み、140℃に加熱し、充分な撹拌下に、実施例1で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径6nm、SiO2濃度10.0重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.5)5950gを11時間かけて添加すると同時にヒール液の液面が常に一定になるようにリーク弁から水蒸気を外部へ留出させた。続いてリーク弁を閉じて水蒸気の留出を停止した後、170℃で1時間加熱を続けた。得られたシリカゾルは、SiO2濃度43.4重量%、Na2O濃度0.23重量%、全SiO2/Na2Oモル比194、pH10.9、粘度2.2mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径980nmであった。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0040】
実施例7
実施例1で用いたものと同様の、平均粒子径45nm、SiO2濃度40.0重量%、Na2O濃度0.37重量%のシリカゾル61gに水246g、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液13gを加えて320gとし、SiO2濃度8.8重量%、Na2O濃度0.46重量%、全SiO2/Na2Oモル比が20のヒール液を調製した。
【0041】
撹拌機、導管を備えた内容積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液320gを仕込み、100℃に加熱し、水蒸気を反応容器外に留出させることなく、充分な撹拌下に、実施例1で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径6nm、SiO2濃度10.0重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.5)2431gを4時間かけて添加したのち、100℃で2時間加熱を続けた。得られたシリカゾルは、SiO2 濃度9.9重量%、Na2O濃度0.06重量%、全SiO2/Na2Oモル比165、pH19.7、粘度1.7mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径100nmであった。このシリカゾルを限外濾過装置にて室温でSiO2濃度40重量%になるまで濃縮した。得られた高濃度のシリカゾルは測定の結果、SiO2濃度40.3重量%、Na2O濃度0.21重量%、全SiO2/Na2Oモル比198、pH9.6、粘度2.4mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径100nmであった。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0042】
実施例8
実施例3で得られた平均粒子径343nm、SiO2濃度33.7重量%、Na2O濃度0.21重量%のシリカゾル979gに、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液18gを加えて997gとし、SiO2濃度33.6重量%、Na2O濃度0.37重量%、全SiO2/Na2Oモル比93のヒール液を調製した。
【0043】
撹拌機、導管を備えた内容積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液997gを仕込み、140℃に加熱し、水蒸気を反応容器外に留出させることなく、充分な撹拌下に、実施例3で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径9nm、SiO2濃度15.1重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.4)1502gを3時間かけて添加したのち、140℃で1時間加熱を続けた。得られたシリカゾルは、SiO2濃度22.4重量%、Na2O濃度0.16重量%、全SiO2/Na2Oモル比147、pH10.7、粘度1.5mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径409nmであった。このシリカゾルを限外濾過装置にて室温でSiO2濃度45重量%になるまで濃縮した。得られた高濃度のシリカゾルは測定の結果、SiO2濃度45.5重量%、Na2O濃度0.28重量%、全SiO2/Na2Oモル比168、pH10.6、粘度2.6mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径409nmであった。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0044】
実施例9
実施例5において得られた平均粒子径752nm、SiO2濃度24.5重量%、Na2O濃度0.12重量%のシリカゾル626gに10重量%のNaOH水溶液11gを添加して637gとし、SiO2濃度24.1重量%、Na2O濃度0.25重量%、全SiO2/Na2Oモル比99のヒール液を調製した。
【0045】
撹拌機、導管を備えた内容積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液2036gを仕込み、140℃に加熱し、水蒸気を反応容器外に留出させることなく、充分な撹拌下に、実施例1で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径6nm、SiO2濃度10.0重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.5)1863gを3時間かけて添加したのち、140℃で1時間加熱を続けた。得られたシリカゾルは、SiO2濃度13.6重量%、Na2O濃度0.07重量%、全SiO2/Na2Oモル比196、pH10.8、粘度1.6mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径980nmであった。このシリカゾルを限外濾過装置にて室温でSiO2濃度55重量%になるまで濃縮した。得られた高濃度のシリカゾルは測定の結果、SiO2濃度55.6重量%、Na2O濃度0.24重量%、全SiO2/Na2Oモル比239、pH10.6、粘度3.1mPa・s、遠心沈降法による平均粒子径980nmであった。さらに安定性について試験したところ、60℃1カ月の保存の後に、また、室温で1年間後にも粘度の変化がまったく認められず安定なシリカゾルであった。
【0046】
比較例1
平均粒子径45nm、SiO2濃度40.0重量%、Na2O濃度0.37重量%のシリカゾル61gに水246g、JIS3号ケイ酸ナトリウム水溶液13gを加えて320gとし、SiO2濃度8.8重量%、Na2O濃度0.46重量%、全SiO2/Na2Oモル比が20のヒール液を調製した。
【0047】
撹拌機、導管を備えた内容積3リットルのステンレス製の耐圧容器内に上記ヒール液320gを仕込み、80℃に加熱し、水蒸気を反応容器外に留出させることなく、充分な撹拌下に、実施例1で用いたものと同様の酸性水性シリカゾル(平均粒子径6nm、SiO2濃度10.0重量%、Na2O濃度0.01重量%、pH2.5)2431gを4時間かけて添加したのち、100℃で2時間加熱を続けた。得られたシリカゾルは、含有するシリカ粒子の粒子径が不均一であり、平均粒子径、粒子径分布の測定が不可能であった。
【0048】
比較例2
ヒール液の全SiO2/Na2Oモル比を8とした以外は実施例2と同一条件で反応を行った。得られたシリカゾルは、粒子同士が融着していびつな形状の粒子が多く生成したため、粒子径が不均一であり、平均粒子径、粒子径分布の測定が不可能であった。
【0049】
比較例3
ヒール液の全SiO2/Na2Oモル比を168とした以外は実施例4と同一条件で反応を行った。得られたシリカゾルは、含有するシリカ粒子の粒径が不均一であり、平均粒径、粒子径分布の測定が不可能であった。
比較例4
ヒール液に添加する酸性水性シリカゾルの平均粒子径が12nmである以外は実施例6と同一条件で反応を行った。得られたシリカゾルは、含有するシリカ粒子の粒径が不均一であり、平均粒径、粒子径分布の測定が不可能であった。
【0050】
【発明の効果】
本願発明は、SiO2/M2Oモル比を10〜100に調製した20nm以上の平均粒子径を有する水性シリカゾルをヒール液として90℃以上に加熱して、このヒール液にpH2〜5で平均粒子径6〜10nmの水性シリカゾルをフィード液として添加して、ヒール液中のシリカ粒子を粒子成長させるものである。この時にヒール液中のシリカ粒子の粒子成長と同時に水蒸気を蒸発させて濃縮させることにより、高濃度に濃縮された大粒径のシリカ粒子を含有する水性シリカゾルを得ることが出来る。
【0051】
本願発明では、粒子成長と濃縮を同時に行って得られる大粒子径のシリカ粒子は球状であり、二次核の発生がないので得られるシリカゾルは均一な粒子径を有する。更に、原料となるヒール液とフィード液は共に安定な濃度の高いシリカゾルを使用するために大がかりなタンクを必要とせず、コンパクトな装置によって簡単に大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルを製造することが可能であり、商業的な規模での生産に適する。また、本願発明は、ヒール液にフィード液を予め全量添加しておく方法ではなく、ヒール液中にフィード液を徐々に添加する方法である為に、添加されたフィード液中の粒子同士の凝集や融着がないので得られるシリカゾルは均一な粒子径を有する。
【0052】
本願発明の方法で得られたシリカゾルは、球状で粒子径分布が狭いのでこれらの特性により、紙の表面処理、フイルムへの添加や半導体ウエハーの研磨、触媒等の分野で使用することが出来る。
Claims (3)
- 下記(a)工程、(b)工程及び(c)工程;
(a):20nm以上の平均粒子径を有する水性シリカゾルと、ケイ酸アルカリ水溶液及び/又はアルカリ水溶液を混合して、当該混合液中の全SiO2/M2O(但し、Mはアルカリ金属を示す)のモル比を10〜100に調製してヒール液とする工程、
(b):6〜10nmの平均粒子径、8〜20重量%のSiO2濃度及び2〜5のpHを有する水性シリカゾルを調製してフィード液とする工程、及び(c):容器内にヒール液を入れ、ヒール液を90℃以上に保持しながら、ヒール液にフィード液を添加してヒール液中のシリカ粒子の粒子径を成長させるビルドアップ工程、からなるシリカゾルの製造方法。 - (c)工程で容器から水蒸気を除去する操作を加える事を特徴とする請求項1に記載のシリカゾルの製造方法。
- (c)工程で容器から水蒸気を除去し、且つ容器内の液体の容積が一定となる事を特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリカゾルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22309895A JP3752706B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22309895A JP3752706B2 (ja) | 1995-08-31 | 1995-08-31 | 大粒径のシリカ粒子を含有するシリカゾルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0967114A JPH0967114A (ja) | 1997-03-11 |
JP3752706B2 true JP3752706B2 (ja) | 2006-03-08 |
Family
ID=16792803
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3752706B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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---|---|---|---|---|
WO2010029994A1 (ja) | 2008-09-12 | 2010-03-18 | 日本バイリーン株式会社 | リチウムイオン二次電池用セパレータ、その製造方法、及びリチウムイオン二次電池 |
-
1995
- 1995-08-31 JP JP22309895A patent/JP3752706B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0967114A (ja) | 1997-03-11 |
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A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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