JP3749676B2 - 光スイッチ - Google Patents
光スイッチ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3749676B2 JP3749676B2 JP2001243916A JP2001243916A JP3749676B2 JP 3749676 B2 JP3749676 B2 JP 3749676B2 JP 2001243916 A JP2001243916 A JP 2001243916A JP 2001243916 A JP2001243916 A JP 2001243916A JP 3749676 B2 JP3749676 B2 JP 3749676B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- optical switch
- slit
- optical
- punch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光スイッチに関する。より詳しくは、光通信システム、光記憶装置、光演算装置、光記録装置、又は、光プリンタ等に適した光スイッチに関し、特に、特定の光毎にスイッチングを行う多チャンネル光スイッチが要望される光通信システムに適した光スイッチに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、光通信技術の進展とともに、高速応答、小型化、高集積化、低消費電力化、及び信号の減衰の低減化が可能な光スイッチが求められている。
【0003】
従来、光スイッチとしては、液晶を用いたもの、電磁石を用いた機械的な装置により光ファイバーの位置を移動させるもの、マイクロミラーを用いるもの、あるいは、特開平10−90735号公報に開示されているバブル生成を用いたもの等が知られている。しかし、これらの光スイッチには以下のような問題があった。
【0004】
液晶を用いた光スイッチでは、分子の配向に基づいてスイッチングを行うため、応答速度が遅く、高速通信が要求される光通信への適用は困難であった。又、偏光板を用いる必要があるため、光の利用効率が低い、即ち、光スイッチの損失が大きいという問題もあった。
【0005】
電磁石を用いた機械的な装置により光ファイバーの位置を移動させる光スイッチでは、装置の小型化が出来ず、高集積化の要請に応じることが困難であった。又、電磁石を用いた機械的動作によりスイッチングを行うため、消費電力が大きいという問題もあった。
【0006】
マイクロミラーを用いた光スイッチでは、製造プロセスが煩雑になるため、製造コストが高くなってしまうという問題があった。又、大気中を伝播する光を制御するため、信号の減衰が大きい、即ち、光スイッチの損失が大きいという問題もあった。
【0007】
バブル生成を用いた光スイッチは、液体が充填された微細スリット中において光導波路と交差させた導波路基板とヒーター基板とを備え、その交差箇所において、マイクロヒーターによるバブル生成により、微細スリット中の液体を存在させたり存在させなかったりして、光伝送路を切り換えるスイッチである。
【0008】
この光スイッチの、より詳細な動作原理は、光導波路と交差する微細スリットに充填された液体の屈折率が、導波路と実質的に同じになるよう調整されていて、信号入力のないときに光導波路へ送り込まれた光信号は交差箇所を直進するのに対して、信号入力された時点では、マイクロヒーターにより微細スリットに充填された液体が加熱・局所沸騰してバブルを生成するため、光導波路へ送り込まれた光信号は、交差箇所に生成した固体/気体界面により反射され、予め設置された別の光導波路へ屈折して進むことである。このバブル生成を用いた光スイッチは、微細化が可能なことと、高速応答性に優れることから、特に有用性が注目されている。
【0009】
しかし、バブル生成にマイクロヒーターを用いるため、この光スイッチにおいては、以下のような問題点があった。
(1)応答速度を高速にすればするほど、発熱による蓄熱が大きくなり、微細スリット中に充填した液体の屈折率が変化して、光スイッチの損失が増大する。
(2)微細スリット中に内蔵した液体が時間とともに熱により劣化し、光スイッチの損失が増大するため、耐久性に限界があり、使い捨て式の液体を採用し補充・回収等のサポート機構を付設せざるをえず製造コストがかかり、且つ、全体としてシステムが大きくなる。
(3)マイクロヒーター駆動による消費電力が大きい。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、従来の光スイッチの問題を解決し、応答速度を上げても光スイッチの損失が増大することなく、低コストで製造出来、耐久性に優れ、且つ、消費電力の小さい光スイッチを提供することにある。
光スイッチについて鋭意研究が続けられた結果、以下に示す手段によって上記目的を達成出来ることを知見し、本発明に至った。
【0011】
【課題を解決するための手段】
即ち、本発明によれば、光路の途中に設けられ、光信号の経路を規定する光スイッチであって、内部にセルが形成されたセル部材と、微細スリットを有する導波路部材とから構成され、側壁が圧電/電歪体又は反強誘電体の積層構造物で形成されたセルに気体が充填され、微細スリットに液体が充填され、セルと前記微細スリットとは連通孔を介して通じてなり、微細スリット中において光導波路と交差させ、その交差箇所にセルを配設して、セルの側壁を形成する積層構造物を構成する圧電/電歪体又は反強誘電体に電界を加えることにより側壁を伸縮させて、交差箇所においてセルに充填された気体の一部を、直接、連通孔から微細スリット中へ突出させ得ることを特徴とする光スイッチが提供される。
【0012】
本発明においては、圧電/電歪体又は反強誘電体の分極電界と駆動電界とが、電界方向同一であることが好ましく、セルを形成する側壁の表面の結晶粒子状態は、粒内破壊を受けている結晶粒子が1%以下であることが好ましい。
【0013】
又、本発明によれば、内部にセルが形成されたセル部材と、微細スリットを有する導波路部材とから構成され、側壁が圧電/電歪体又は反強誘電体で形成されたセルに気体が充填され、微細スリットに液体が充填され、セルと微細スリットとは連通孔を介して通じてなり、微細スリット中において光導波路と交差させる光スイッチの、パンチとダイを用いた製造方法であって、圧電/電歪体又は反強誘電体からなる複数のグリーンシートを用意し、パンチにより、第一のグリーンシートに第一のスリット孔を開ける第一の工程と、第一のスリット孔からパンチを抜き取らない状態で、第一のグリーンシートをストリッパに密着させて引き上げる第二の工程と、パンチの先端部が引き上げた第一のグリーンシートの最下部より僅かに引き込む程度に、パンチを引き上げる第三の工程と、パンチにより、第二のグリーンシートに第二のスリット孔を開ける第四の工程と、第二のスリット孔から前記パンチを抜き取らない状態で、第二のグリーンシートを第一のグリーンシートとともに引き上げる第五の工程と、パンチ先端部が引き上げた第二のグリーンシートの最下部より僅かに引き込む程度に、パンチを引き上げる第六の工程と、以降、複数枚のグリーンシートを第四の工程から第六の工程を繰り返して積層し、複数のスリットを有する圧電/電歪体又は反強誘電体を形成する過程を含むことを特徴とする光スイッチの製造方法が提供される。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の光スイッチについて、図面を参酌しながら、実施の形態を具体的に説明するが、本発明は、これらに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、当業者の知識に基づいて、種々の変更、修正、改良を加え得るものである。
図1(a)、図1(b)、及び、 図2(a)、図2(b)は、本発明に係る光スイッチの一実施形態を示す断面図である。図1(a)は、光スイッチ44のセル3の長手方向の垂直断面図であり、図1(b)は、光スイッチ44のセル3の短手方向の垂直断面図であり、図2(a)、図2(b)は、各々の駆動状態を示している。
【0015】
本発明に係る光スイッチの一実施形態である光スイッチ44は、セル3を形成する側壁6を圧電/電歪体又は反強誘電体により構成し、側壁6たる圧電/電歪体又は反強誘電体に電界を加え、側壁6を伸縮させることによってセル3の体積を変化させ、セル部材2内部のセル3内に充填された気体31を、連通孔73から微細スリット13中へ突出させ得る。そして、微細スリット13中の気体31が突出した場所に光導波路が交差するように構成し、その交差箇所において、微細スリット13中に液体32を存在させたり気体31を存在させたりして、光伝送路を切り換えることが出来る。光導波路と交差する微細スリット13に充填された液体32の屈折率は、光導波路と実質的に同じになるよう調整されていて、上記交差箇所の微細スリット13中に液体32が存在する場合には、光導波路へ送り込まれた光信号は交差箇所の液体32と光導波路との界面を直進する。対して、上記交差箇所の微細スリット13中に気体31が存在する場合には、光導波路へ送り込まれた光信号は、気体31と光導波路との界面により反射され、予め設置された別の光導波路へ屈折して進む。
【0016】
光スイッチ44は、内部にセル3が形成されたセル部材2と、微細スリット13を有する導波路部材42とから構成される。セル3の側壁は、圧電/電歪体又は反強誘電体で形成され、セル3には気体31が充填される。又、微細スリット13には、気体31とは非溶性の液体32が充填される。
【0017】
そして、セル部材2内のセル3と、導波路部材42内の微細スリット13とは、セル部材2の連通開口部72と導波路部材42のノズル8とが通じた連通孔73を介して連通している。図1(a)、図1(b)に示されるように、導波路部材42のノズル8に対して、セル部材2の連通開口部72は大きめに開けることが好ましい。何故ならば、連通開口部72が開けられる連通板68の材料としてスペーサ板70と同じ圧電/電歪体又は反強誘電体を用いることが好ましいが、後述するような圧電/電歪体又は反強誘電体であるセラミックスは、焼成時に収縮率にバラツキが生じ易く、連通開口部72に位置ズレが生じることがあり得るからである。従って、連通開口部72に通じるノズル8を精度よく形成し、連通開口部72に位置ズレが生じても、ノズル8により上記交差場所が特定されるようにすることが好ましい。
【0018】
セル部材2は、例えば、複数のスリット(A)5が形成された圧電/電歪体又は反強誘電体からなるスペーサ板70と、スペーサ板70の一方の側に重ね合わせスリット(A)5を覆蓋する蓋板7と、スペーサ板70の他方の側に重ね合わせスリット(A)5を覆蓋する連通板68とから形成することが出来る。そして、セル部材2のスリット(A)5と隣接するスリット(A)5との間には、蓋板7及びスペーサ板70を貫通するスリット(B)45が形成される。セル3は、スリット(A)5と蓋板7とにより形成され、スリット(B)45が、隣接する2つのセル3を独立せしめる。
【0019】
このように、本発明の光スイッチ44においては、体積変化するセル3が、隣接するセル3と、スリット(B)45を隔てて独立して形成されているため、セル3が、個々に、他のセル3から全く独立して駆動し得る。又、隣接するセル3に同時に同じ動作をさせることが出来る。更には、互いに圧電/電歪体又は反強誘電体の変位を妨げることがない。従って、例えば、同じ変位量を得るために、より電界強度は小さくて済む。
【0020】
スリット(B)45は、駆動部である側壁6の変形を妨げない程度に隣接するセル3間に形成されていればよい。例えば、図2(a)に示す駆動状態から理解されるように、セル3の長手方向において、少なくとも蓋板7が変形する部分と同程度の長さにスリット(B)45が形成されていればよいが、より好ましくはセル3の長さと同程度の長さにスリット(B)45を形成する。
【0021】
本発明の光スイッチ44においては、セルを構成する壁の屈曲により圧力を生じさせるのではなく、例えばセル3を形成する側壁6の両表面に電極膜を形成し電極膜に電圧を印加することにより、側壁6が上下方向に伸縮することに特徴がある。
【0022】
駆動部である側壁6が、伸縮という変形によりセル3に体積変化をもたらし、気体31を液体32中に突出せしめるので、大きな変位を得るために、駆動部たる側壁6を薄肉にする必要がない。従って、剛性が低下しないため、応答性が鈍くなるという問題は生じない。大変位と高速応答性が相反せず両立し得る。
【0023】
本発明の光スイッチ44においては、駆動部であるセル3の側壁6を構成する圧電/電歪体又は反強誘電体の分極電界と駆動電界とが、同一方向であることが好ましい。こうすることにより、製造工程において、仮の分極用電極を作製し電界をかける必要がなく、スループットの向上が図れる。又、分極処理に関わりなく、キュリー温度以上の高い温度での加熱を伴う製造プロセスを適用することが可能である。従って、光スイッチ44を製造する際に、はんだリフロー等によるはんだ付けや、熱硬化型接着が実施可能であり、更にスループットの向上が導かれ、製造コストの低減が図れる。
【0024】
そして、高い電界強度で駆動しても、分極状態が変化してしまうことがなく、むしろ、より好ましい分極状態となり得て、安定して高い歪み量を得ることが出来る。従って、よりコンパクトにすることが出来、光スイッチとして好ましい。
【0025】
以下に、本発明の光スイッチ44において、他の好ましい条件を記載する。
セル3を形成する側壁6の面の輪郭度は、概ね8μm以下であることが好ましく、又、セル3を形成する側壁6の壁面の凹凸量は、概ね10μm以下であることが好ましく、更には、セル3を形成する側壁6の壁面の表面粗さRtが、概ね10μm以下であることが好ましい。これらのうち、少なくとも何れか1つの条件に適う光スイッチであれば、セル3を構成する側壁6即ち駆動部のセル3内壁面が平滑であるので、駆動時に電界集中や応力集中が生じ難く、セル3で安定した気体の突出動作を実現することが出来る。
【0026】
尚、面の輪郭度は、日本工業規格B0621「幾何偏差の定義及び表示」に示されている。面の輪郭とは機能上定められた形状をもつように指定した表面であって、面の輪郭度とは理論的に正確な寸法によって定められた幾何学的輪郭からの面の輪郭の狂いの大きさをいう。本発明において示すセルの面とは、上記したセルを構成する側壁のセル内壁面を指す。
【0027】
又、1つのセル3において、そのセル3の内幅W(短手方向の幅)と高さHとの比が、換言すれば、セル3のアスペクト比W:Hが、概ね1:2〜1:40であることが好ましく、セル3の内幅Wが概ね60μm以下であることが好ましい(内幅Wと高さHについては、図1に示す)。より好ましくは、セル3のアスペクト比W:Hが1:10〜1:25、セル3の内幅Wが50μm以下である。これらのアスペクト比の値が好ましい理由は、アスペクト比が小さすぎると、十分な気体突出動作を得るために必要な電界が高くなりすぎて、絶縁破壊等の危険性が増す一方、アスペクト比が大きくなると、強度的に弱くなり、組み立て・ハンドリング中の不良発生が増えるからである。少なくとも何れか1つの条件に適う光スイッチであれば、更に好ましくは2つの条件がともに適う光スイッチ、即ち、薄く背の高いセル3を備える光スイッチであれば、よりコンパクトに出来、より低電圧、低消費電力で駆動することが可能である。
【0028】
本発明の光スイッチにおいては、セルの形状は限定されるものではない。図10(a)〜図10(c)は、本発明に係る光スイッチの一実施形態を示す図であり、セル部材部分の断面図である。図10(a)は、光スイッチのセル3の長手方向の垂直断面図であり、図10(b)は、光スイッチのセル3の短手方向の垂直断面図であり、図10(c)は、光スイッチのセル部材2を構成するスペーサ板70の水平断面図である。図10(c)から理解されるような、概ね直方体状のセル3であることが好ましい。
【0029】
次に、図1(a)、図1(b)に示す本発明に係る光スイッチ44の製造方法について、説明する。
製造方法の概略工程の一例を、図3(a)〜図3(c)を参照しながら説明する。これは、パンチとダイを用いた製造方法であって、図3(a)で、圧電/電歪材料又は反強誘電体材料からなるグリーンシート16に、積層してスリット(A)5となるスリット孔25、及び、積層してスリット(B)45となるスリット孔15を開けるとともに、積層を後述する打抜同時積層法により同時に行い、グリーンシート16を積層していき、打ち抜きの終了とともに積層も完了させ、所定の厚さを有する圧電/電歪体又は反強誘電体を形成する過程を含む製造方法である。その後、例えば、図3(b)で、焼成して一体化し所望のスリット(A)5、スリット(B)45が形成されたスペーサ板70を得て、後にセルとなるスリット(A)5内に電極を形成して、図3(c)で、蓋板7、連通板68を接合する。尚、グリーンシート16は、ドクターブレード法等の周知のテープ形成手段によって形成することが出来る。
【0030】
尚、図4(a)〜図4(c)に示すように、蓋板7も同材料のグリーンシートで形成し、スペーサ板70及び連通板68とともに積層し、焼成一体化してもよい。蓋板7と、駆動部を含むスペーサ板70が同時焼成されて一体のセラミック体となるため、シールの耐久性とセルの剛性が向上し、高速応答性に優れた光スイッチとなり得る。この場合には、電極の形成は、軟らかいグリーンシート上に電極ペーストを塗布することにより行われるが、グリーンシートを破損したり変形させないように注意を要する。又、焼成してセル構造が完成した後に、電極ペーストを流通させて塗布し電極を形成することも可能であるが、その場合には、マスキング作業が困難であり、形成可能な電極パターンが限定される。
【0031】
上記の製造工程を経て、内部にセルが形成されたセル部材2を得た後に、図示しないが、セル部材2においてセル3の側壁面に電極を形成し、駆動用の配線を設置する。そして、所定の位置に光導波路と微細スリット13が設けられた導波路部材42を接合する(図1(a)、図1(b)参照)。
次いで、セル3内をアルゴン等の溶解度の低い気体31に置換した後に、微細スリット13へ液体32を封入する。その際、セル3には微細スリット13へ連通した連通孔73によってしか外部と通じておらず、又、溶解度の低い気体31が存在するため、液体32はセル3内部へ侵入出来ず、連通孔73内に液体−気体界面が形成される。
このようにして作製される光スイッチ44においては、所定の信号によりセル3の側壁6を伸縮させて、セル3内の体積を減少させ、上記界面を微細スリット13内の光導波路交差箇所へ突出させることによって、光スイッチングを実現することが出来る。
【0032】
図6(a)〜図6(e)は、上記した打抜同時積層の具体的方法を示し、周囲にグリーンシート16(以下、単にシートともいう)の積層操作をするストリッパ11を配置したパンチ10とダイ12からなる金型を用いている。図6(a)は、ダイ12上に最初のシート16aを載せた打ち抜き前の状態を示し、図6(b)で、パンチ10及びストリッパ11を下降させて、シート16を打ち抜いて、スリットを形成している(第一の工程)。
【0033】
次に、2枚目のシート16bの打ち抜き準備に入るが、このとき図6(c)に示すように、最初のシート16aは、ストリッパ11に密着させて上方に移動させてダイ12から離す(第二の工程)。ストリッパ11にシート16を密着させる方法は、例えば、ストリッパ11に吸引孔を形成して真空吸引すること等で実施出来る。
【0034】
又、2枚目のシート16bの打ち抜き準備に入るために、ダイ12からパンチ10及びストリッパ11を引き上げるが、この引き上げている途中は、パンチ10の先端部を、一緒に引き上げた最初のシート16aのスリット孔の中まで戻さないことが望ましく、又、止める際には、一緒に引き上げた最初のシート16aの最下部より僅かに引き込んだところで止めることが肝要である(第三の工程)。パンチ10を最初のシート16aの孔まで戻したり、完全にストリッパ11の中へ格納してしまうと、シート16は軟質であるため形成した孔が変形してしまい、シート16を積層して得られるスリットを形成した際に、その側面の平坦性が低下してしまう。
【0035】
図6(d)は、2枚目のシート16bの打ち抜き工程を示し、最初のシート16aをストリッパ11に密着させることで、ダイ12上に、2枚目のシート16bを容易に載置でき、図6(b)の工程のように打ち抜き出来、同時に最初のシート16aに重ね合わせられる(第四の工程)。
【0036】
そして、図6(c)、図6(d)の工程を繰り返して、打ち抜かれた最初のシート16aと2枚目のシート16bとを重ね合わせて、ストリッパ11により引き上げ(第五の工程)、3枚目のシート16cの打ち抜き準備に入る。但し、このときも一緒に引き上げたシート16の最下部より僅かに引き込んだところで止めることが肝要である(第六の工程)。その後、第四の工程から第六の工程を繰り返して必要積層数のシート16の打ち抜き及び積層を繰り返す。
【0037】
図6(e)は、打ち抜きを終了した状態を示している。必要な枚数のシート16の打ち抜き及び積層が終了したら、ストリッパ11によるシート16の保持を解除し、打ち抜き積層したシート16をストリッパ11から引き離して取り出し可能としている。ストリッパ11からの引き離しは、図示するように、ストリッパ11下面に引離治具17を設けることで確実に行うことが出来る。
以上述べた操作は、特願2000−280573に記載の製造方法を適用したものであり、この操作により所定の厚さを有し所望のスリットが形成された積層体を得ることが出来る。
【0038】
このように、パンチとダイを用いてグリーンシートにスリット孔を形成すると同時にグリーンシートの積層を行い、パンチ自体をグリーンシートの積層位置合わせ軸として使用して打抜加工を行えば、パンチにより打ち抜いたスリット孔の変形が防止され、スリット孔の変形が発生せず、グリーンシート積層間のズレ量を5μm未満に抑え、高い精度でグリーンシートを積層することが出来、凹凸の少ないスリット壁面を形成することが可能である。そのため、スリット幅が数十μm程度であっても、又、アスペクト比10〜25程度の、高アスペクト比な、後にセルを形成するスリットや、セル間のスリットを、容易に作成出来、優れた特性の光スイッチを得ることが出来る。
【0039】
更に、スリット加工後に焼成するので、スリット幅は、シート打ち抜き時点では、金型のパンチ加工幅とほぼ同等であるが、焼成時に収縮するので、薄肉加工スリットと焼成収縮の組み合わせで、幅が40μm以下の微細スリットを形成することも可能であるし、金型の形状を変更する等の打ち抜き金型の設計次第で、スリットは直線以外であっても容易に形成出来、用途に応じた最適な形状を実現することが出来る。
【0040】
図5(a)は、図6(a)〜図6(e)に示される打抜同時積層方法によりスペーサ板70を得る場合において、図3(b)に示される焼成後のスペーサ板70のP視端面図を示し、図5(b)は、図5(a)に示すスリット5壁面のM部を拡大した断面模式図を示している。
【0041】
本発明の光スイッチの製造方法によれば、上記したように焼成前にスリットを形成するので、後にセルになり得るスリットの側壁面は焼成面で形成される。従って、マイクロクラックや粒内破壊が生じず、セルを形成する側壁の表面の結晶粒子状態は粒内破壊を受けている結晶粒子が1%以下となり実質上なしに等しく、圧縮残留応力による特性劣化が生じず、耐久性・信頼性を向上させることが出来る。
【0042】
本発明の光スイッチの製造方法によるグリーンシートの重ね合わせ精度の一例を掲げれば、厚さが50μm、ヤング率が39N/mm2のグリーンシートを、スリット(A)幅50μm、スリット(B)幅30μm、となるように打ち抜きし、10枚積層した場合に、焼成後の各層間のズレ量は、最大で4μm、表面粗さRtは概ね7μmである。尚、焼成後のスリット幅は、焼成収縮により約40μmであった。
【0043】
以下に、本発明に係る光スイッチの他の実施形態を説明する。
図8(a)、図8(b)、及び、 図9(a)、図9(b)は、本発明に係る光スイッチの他の実施形態を示す断面図である。図8(a)は、光スイッチ144のセル3の長手方向の断面図であり、図8(b)は、光スイッチ144のセル3の短手方向の断面図であり、図9(a)、図9(b)は、各々の駆動状態を示している。又、図7(a)、図7(b)は、光スイッチ144のセル部材102を示す断面図であり、図7(a)は、光スイッチ144のセル3の長手方向の垂直断面図であり、図7(b)は、図7(a)のAA断面を示す水平断面図である。
【0044】
本発明に係る光スイッチの他の実施形態である光スイッチ144は、セル部材102の構成として、薄肉の振動板166を有する。光スイッチ144は、例えば、グリーンシートの積層、同時焼成一体化により形成し、その後に、振動板166の外表面に、少なくとも一対の電極膜173,177を有する圧電/電歪体膜178(又は反強誘電体膜)からなる圧電/電歪素子179(又は反強誘電体素子)を形成することによって得られる。
図9(a)、図9(b)に示すように、この光スイッチ144では、図2(a)、図2(b)に示す光スイッチ44とは異なり、セル3の側壁6の伸縮ではなく、振動板166の屈曲振動でセル3内に生じる減圧及び加圧により、セル3からの気体31の押し出し及び引っ込みがなされる。
【0045】
この光スイッチ144においては、セル3の側壁6の伸縮振動を用いる光スイッチ44と比較して、以下の長所及び短所を有している。
(長所1)セル内の加圧力及び減圧力が、セルの側壁の伸縮振動によらないため、側壁の高さを最低5μm程度まで低く出来る。従って、光スイッチを、より薄くすることが可能である。
(長所2)製造方法において、打抜同時積層を必要とせず、且つ、高価な圧電/電歪材料又は反強誘電体材料の使用量を大幅に低減出来る。
(短所1)大吐出量を得ようとすると、振動板の面積を大きくせざるをえず、応答性の低下、ならびに、光スイッチ面積が稍大きくなる。
【0046】
尚、この光スイッチ144を製造する場合においては、光スイッチ144のセル3の構造として、マトリックス状に配置することが望ましいため、例えば、特開平10−78549号公報に開示されている表示装置に用いられるアクチュエータ部の製造方法を採用することが好ましい。
【0047】
以下に、本発明に係る光スイッチの適用例を説明する。
図11〜図13は、本発明に係る光スイッチの適用例を説明する水平断面図であり、例えば、シリカからなる基板に、光導波路C1,C2,R1,R2を井の字状に設け、その交差箇所に、光スイッチ44a〜44dを、それぞれ配設した導波路スイッチ100を示している。図11は、光スイッチの微小スリット13のレベルでの水平断面を表し、図12、図13は、光スイッチのセル3のレベルでの水平断面を表す。
【0048】
図11に示すように、導波路スイッチ100において、光信号1a,1bは光導波路R1(図示左方向)、及び、光導波路R2(図示左方向)から、それぞれ入る。このとき、例えば、全ての光スイッチがOFFならば、光信号1a,1bは、ともに光導波路R1,R2を直進する。そして、例えば、図13に示されるように、光スイッチ44aのみがONになると、光信号1bは光導波路R2を直進するが、光信号1aは光スイッチ44aにおいて、例えば、図示するように右折し、光導波路C1へ導かれる。その後、光スイッチ44cはOFFなので光導波路C1を直進する。このようにして、光信号の経路を様々に規定することが可能である。
【0049】
以下に、本発明に係る光スイッチに用いられる圧電/電歪体又は反強誘電体の材料について説明する。
圧電/電歪体として用いられる材料としては、例えば、ジルコン酸鉛、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、チタン酸鉛、チタン酸バリウム、マグネシウムタングステン酸鉛、又は、コバルトニオブ酸鉛等の1種又は2種以上を含有するセラミックスを挙げることが出来る。これらのセラミックスは、圧電/電歪体を構成するセラミックス成分中に50重量%以上を占める主成分であることが好ましく、特に、ジルコン酸鉛を含有するセラミックスが主成分であることが好ましい。
【0050】
又、これらのセラミックスに、ランタン、カルシウム、ストロンチウム、モリブデン、タングステン、バリウム、ニオブ、亜鉛、ニッケル、マンガン等の酸化物の1種又は2種以上を含有させたものを用いてもよく、中でも、マグネシウムニオブ酸鉛と、ジルコン酸鉛と、チタン酸鉛とからなる成分を主成分とし、ランタン又はストロンチウムの少なくとも1種を含有するセラミックスが好ましい。
【0051】
反強誘電体の材料としては、ジルコン酸鉛を主成分とするセラミックス、ジルコン酸鉛とスズ酸鉛とからなる成分を主成分とするセラミックス、ジルコン酸鉛を主成分とし酸化ランタンを添加したセラミックス、又はジルコン酸鉛とスズ酸鉛とを主成分とし、ジルコン酸鉛又はニオブ酸鉛を添加したセラミックスが好ましい。
又、圧電/電歪体の他の材料としては、チタン酸バリウム、及び、チタン酸バリウムを主成分とするチタバリ系セラミックス強誘電体や、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)に代表される高分子圧電体、あるいは、(Bi0.5Na0.5)TiO3に代表されるBi系セラミックス圧電体、Bi層状セラミックスを挙げることが出来る。勿論、圧電/電歪特性を改善した上記材料の混合物や固溶体、及び、上記材料及び上記材料の混合物に添加物を添加せしめたものが用いられ得ることはいうまでもない。
【0052】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、従来の問題が解決される。即ち、従来技術にあるようなマイクロヒーターによるバブル生成ではなく、常温でのマイクロホンプによる気泡移動によって光スイッチングを実現するため、応答速度を上げても光スイッチの損失が増大することなく、製造コスト低減が図られ、耐久性に優れ、且つ、消費電力の小さい光スイッチを得ることが出来る。更に、従来技術にあるように使い捨て式の液体を採用しないので、補充・回収等のサポート機構の付設も不要であることからも、製造コスト低減が図られ、且つ、全体としてシステムの小型化が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る光スイッチの一実施形態を示す断面図である。
【図2】 本発明に係る光スイッチの一実施形態(駆動状態)を示す断面図である。
【図3】 本発明に係る光スイッチの製造方法の一例を示す概略工程説明図である。
【図4】 本発明に係る光スイッチの製造方法の他の一例を示す概略工程説明図である。
【図5】 本発明に係る打抜同時積層を含む光スイッチの製造方法において、図5(a)は図3(b)のP視端面図であり、図5(b)は図5(a)のM部の断面拡大模式図である。
【図6】 図3(a)に示すグリーンシートのスリット孔打抜積層において、打抜同時積層を行う方法の一例を示す工程説明図であり、
図6(a)は、ダイに最初のグリーンシートを載せた1枚目準備工程を示し、
図6(b)は、最初のグリーンシートの打ち抜き工程を示し、
図6(c)は、2枚目のグリーンシートを載せた2枚目準備工程を示し、
図6(d)は、2枚目のグリーンシートの打ち抜き工程を示し、
図6(e)は、全シートの打ち抜き、積層を終えてストリッパにより積層したグリーンシートを離す打抜完了工程を示す図である。
【図7】 本発明に係る光スイッチの他の実施形態を示す断面図である。
【図8】 図7に示す実施形態の光スイッチの停止(OFF)状態を示す断面図である。
【図9】 図7に示す実施形態の光スイッチの駆動(ON)状態を示す断面図である。
【図10】 本発明に係る光スイッチの更に他の実施形態を示す断面図である。
【図11】 本発明に係る光スイッチの適用例を説明する断面図である。
【図12】 本発明に係る光スイッチの適用例を説明する断面図である。
【図13】 本発明に係る光スイッチの適用例を説明する断面図である。
【符号の説明】
1a,1b…光信号、2,102…セル部材、3…セル、5…スリット(A)、6…側壁、7…蓋板、8…ノズル、9…ノズル板、10…パンチ、11…ストリッパ、12…ダイ、13…微細スリット、14…導波路基板、15…スリット孔、16,16a〜16c…グリーンシート、17…引離治具、25…スリット孔、31…気体、32…液体、42,142…導波路部材、44,44a〜44d,144…光スイッチ、45…スリット(B)、68…連通板、70…スペーサ板、72…連通開口部、73…連通孔、100…導波路スイッチ、166…振動板、173,177…電極膜、178…圧電/電歪素子、179…圧電/電歪体膜、R1,R2,C1,C2…光導波路。
Claims (4)
- 光路の途中に設けられ、光信号の経路を規定する光スイッチであって、
内部にセルが形成されたセル部材と、微細スリットを有する導波路部材とから構成され、側壁が圧電/電歪体又は反強誘電体の積層構造物で形成された前記セルに気体が充填され、前記微細スリットに液体が充填され、前記セルと前記微細スリットとは連通孔を介して通じてなり、
前記微細スリット中において光導波路と交差させ、その交差箇所に前記セルを配設して、
前記セルの側壁を形成する積層構造物を構成する圧電/電歪体又は反強誘電体に電界を加えることにより前記側壁を伸縮させて、前記交差箇所において前記セルに充填された気体の一部を、直接、前記連通孔から微細スリット中へ突出させ得ることを特徴とする光スイッチ。 - 前記圧電/電歪体又は反強誘電体の分極電界と駆動電界とが、電界方向同一である請求項1に記載の光スイッチ。
- 前記セルを形成する側壁の表面の結晶粒子状態は、粒内破壊を受けている結晶粒子が1%以下である請求項1に記載の光スイッチ。
- 内部にセルが形成されたセル部材と、微細スリットを有する導波路部材とから構成され、側壁が圧電/電歪体又は反強誘電体で形成された前記セルに気体が充填され、前記微細スリットに液体が充填され、前記セルと前記微細スリットとは連通孔を介して通じてなり、前記微細スリット中において光導波路と交差させる光スイッチの、パンチとダイを用いた製造方法であって、
圧電/電歪体又は反強誘電体からなる複数のグリーンシートを用意し、
前記パンチにより、第一のグリーンシートに第一のスリット孔を開ける第一の工程と、前記第一のスリット孔から前記パンチを抜き取らない状態で、前記第一のグリーンシートをストリッパに密着させて引き上げる第二の工程と、前記パンチの先端部が引き上げた前記第一のグリーンシートの最下部より僅かに引き込む程度に、前記パンチを引き上げる第三の工程と、
前記パンチにより、第二のグリーンシートに第二のスリット孔を開ける第四の工程と、前記第二のスリット孔から前記パンチを抜き取らない状態で、前記第二のグリーンシートを前記第一のグリーンシートとともに引き上げる第五の工程と、前記パンチ先端部が引き上げた前記第二のグリーンシートの最下部より僅かに引き込む程度に、前記パンチを引き上げる第六の工程と、
以降、複数枚のグリーンシートを第四の工程から第六の工程を繰り返して積層し、複数のスリットを有する圧電/電歪体又は反強誘電体を形成する過程を含むことを特徴とする光スイッチの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001243916A JP3749676B2 (ja) | 2001-04-06 | 2001-08-10 | 光スイッチ |
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001108986 | 2001-04-06 | ||
JP2001-108986 | 2001-04-06 | ||
JP2001189718 | 2001-06-22 | ||
JP2001-189718 | 2001-06-22 | ||
US09/915,234 US6507682B2 (en) | 2001-04-06 | 2001-07-25 | Optical switch |
US09/915234 | 2001-07-25 | ||
JP2001243916A JP3749676B2 (ja) | 2001-04-06 | 2001-08-10 | 光スイッチ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003075746A JP2003075746A (ja) | 2003-03-12 |
JP3749676B2 true JP3749676B2 (ja) | 2006-03-01 |
Family
ID=27482183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001243916A Expired - Fee Related JP3749676B2 (ja) | 2001-04-06 | 2001-08-10 | 光スイッチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3749676B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4842520B2 (ja) | 2003-05-30 | 2011-12-21 | 日本碍子株式会社 | セル駆動型圧電/電歪アクチュエータ及びその製造方法 |
JP4782431B2 (ja) * | 2004-09-24 | 2011-09-28 | 日本碍子株式会社 | セル駆動型圧電/電歪アクチュエータの製造方法 |
-
2001
- 2001-08-10 JP JP2001243916A patent/JP3749676B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003075746A (ja) | 2003-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1375916B1 (en) | Micro pump | |
JP4842520B2 (ja) | セル駆動型圧電/電歪アクチュエータ及びその製造方法 | |
US6864620B2 (en) | Matrix type actuator | |
JP4917590B2 (ja) | 圧電/電歪膜型アクチュエータの製造方法 | |
JP4473532B2 (ja) | 圧電/電歪デバイス及び製造方法 | |
WO2002084373A1 (fr) | Commutateur optique | |
JPWO2006035773A1 (ja) | 液滴吐出圧電デバイス | |
JP4294924B2 (ja) | マトリクス型圧電/電歪デバイス及び製造方法 | |
JP3964193B2 (ja) | マトリクス型アクチュエータ | |
JP3749676B2 (ja) | 光スイッチ | |
JP4253508B2 (ja) | セル駆動型アクチュエータ及び製造方法 | |
JP3903936B2 (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエータ、及び、液体噴射ヘッド | |
JP3693939B2 (ja) | セル駆動型マイクロポンプ部材及び製造方法 | |
JP3942388B2 (ja) | マイクロポンプ | |
JP4723199B2 (ja) | 筒形圧電アクチュエータ並びに筒形圧電アクチュエータアレイ及び製造方法 | |
EP1263059A1 (en) | Matrix actuator | |
JP2002305331A (ja) | 積層セラミック素子及びそれを用いた圧電ファン | |
JP2007335485A (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
JP2005019949A (ja) | セル駆動型圧電/電歪アクチュエータ及びその製造方法 | |
JP2008005700A (ja) | 圧電トランスデューサおよび液滴噴射装置 | |
JPH11138806A (ja) | インクジェットヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050824 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050906 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20051129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081209 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091209 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091209 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101209 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111209 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121209 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |