JP3749045B2 - 基板移送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば電子部品装着装置や接着剤塗布装置などに併設される基板移送装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、この種の基板移送装置として、電子部品装着装置に併設された特開平7−4811号公報に記載のものが知られている。この基板移送装置は、電子部品装着装置の装着テーブル(XYテーブル)を挟んで搬送方向の前後に配設された搬入搬送路および搬出搬送路と、搬入搬送路上の基板を装着テーブルに、同時に装着テーブル上の基板を搬出搬送路に移送する基板移送機構とで、構成されている。基板移送機構は、搬入搬送路と装着テーブルとの間、および装着テーブルと搬出搬送路との間で基板を後押し形式で移載する2つの移載爪を有しており、2つの移載爪は、爪移動機構により基板の搬送方向に同時に移動して基板を移送する。
一方、コンベア形式の基板移送装置も知られている。この基板移送装置は、コンベア形式で基板を搬送可能な装着テーブル(XYテーブル)と、装着テーブルを挟んで搬送方向の前後にそれぞれ配設された搬入コンベアおよび搬出コンベアとで、構成されている。搬入コンベアと装着テーブルとの間、および装着テーブルと搬出コンベアとの間は近接しており、搬入コンベアで搬送されてゆく基板は自動的に装着テーブルに、装着テーブルで搬送されてゆく基板は自動的に搬出コンベアに移載されて、順送りされる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の前者の基板移送装置(トランスファ方式)では、搬入位置から装着位置に、同時に装着位置から搬出位置に、2つの基板を同時に確実に移送することができるが、基板を搬送路上でスライドさせるため、搬送路に滑り性が要求されると共に、基板を所望の位置に停止させるブレーキング機構が必要であった。また、基板が搬送路でつかえた場合には、移載爪の後押しにより基板が破損するおそれがあった。
一方、後者の基板移送装置(ベルト方式)では、ブレーキング機構等は必要ないが、基板はコンベアベルトに載っているだけなので、移載の信頼性が低く、先行する基板が装着テーブルから搬出コンベアに移載されたことを検出して、後行の基板を搬入コンベアから装着テーブルに送り込む必要があり、全体として基板移送に時間がかかる問題があった。
【0004】
本発明は、基板移送の信頼性アップとスピードアップとを同時に達成することができる基板移送装置を提供することをその目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板搬送装置は、基板を順送りで搬送可能なコンベア形式の複数の搬送機構と、隣接する搬送機構間において基板を後押し形式で移載可能な移載爪と、移載爪を搬送機構に沿って移動させる爪移動機構と、搬送機構および爪移動機構を制御し、搬送機構により搬送される基板に対し移載爪を後追い形式で移動させる制御手段とを備えたことを特徴とする。
【0006】
この構成によれば、基板の移送に際し、コンベア形式の複数の搬送機構を備えたことにより、搬入位置から装着位置に、同時に装着位置から搬出位置に、複数の基板を同時に移送することができる。また、爪移動機構により、移載爪を搬送される基板を後追い形式で移動させることによって、何らかの要因で、基板が搬送路でつかえた場合には、基盤を搬入コンベアから装着テーブルへ、また、装着テーブルから搬出コンベアへ後押し形式で移載させることが可能となるため、確実に基板を移送することができる。
【0007】
この場合、制御手段は、搬送機構と爪移動機構とを、同期して駆動させることが好ましい。
【0008】
この構成によれば、基板を搬送する搬送機構と、移載爪を搬送機構に沿って移動させる爪移動機構との制御を簡素化することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施例に係る基板移送装置を電子部品装着装置に適用した場合について説明する。図1は電子部品装着装置の側面図であり、図2はその平面図である。両図に示すように、この電子部品装着装置1は、装置本体2を挟んで相互に平行に、電子部品Aを供給する供給系3と、電子部品Aを基板Bに装着する装着系4とを配して構成されている。装置本体2には、駆動系の主体を為すインデックスユニット11と、これに連結された回転テーブル12と、回転テーブル12の外周部に搭載した複数個(12個)の装着ヘッド13とが設けられており、回転テーブル12は、インデックスユニット11により、装着ヘッド13の個数に対応する間欠ピッチで間欠回転される。回転テーブル12が間欠回転すると、各装着ヘッド13に搭載した吸着ノズル14が供給系3および装着系4に適宜臨み、供給系3から供給された電子部品Aを吸着した後、装着系4に回転搬送し、装着系4に導入した基板Bにこれを装着する。
【0010】
供給系3は、基板Bに装着する電子部品Aの種類に応じた数のテープカセット21を有し、テープカセット21は、一対のガイドレール22,22にスライド自在に案内された供給台23に、横並びに着脱自在に取り付けられている。供給台23には、そのスライド方向にボールねじ24が螺合しており、供給台23は、ボールねじ24の一方の端に連結した送りモータ25の正逆回転により進退され、装着ヘッド13の吸着位置に所望のテープカセット21を選択的に臨ませる。各テープカセット21には、所定のピッチで電子部品Aが装填されたキャリアテープCが、テープリール26に巻き出された状態で搭載されており、電子部品Aは、テープリール26から巻き出されたキャリアテープCから随時、吸着ノズル14により吸着されてゆく。
【0011】
装着系4は、搬送の主体を為すコンベア搬送機構31と、搬送の補完的機能を有する爪搬送機構32とで構成された基板移送装置30を備えている。詳細は後述するが、コンベア搬送機構31は、コンベア形式で基板Bを搬送可能なXYテーブル35と、XYテーブル35の前後に配設した搬入コンベア36および搬出コンベア37とで構成されており、搬入コンベア36の下流端まで送られてきた基板Bは、自動的にXYテーブル35上に移送され、同時に電子部品Aの装着が完了したXYテーブル35上の基板Bは、搬出コンベア37に移送される。また、XYテーブル35上に導入された基板Bは挟持固定された後、XYテーブル35によりXY方向に適宜移動され、各装着ヘッド13により次々と送られてくる電子部品Aに対応して、その部品装着部位を装着位置に臨ませ、各吸着ノズル14から電子部品Aの装着を受ける。
【0012】
装置本体2は、支持台15上に駆動系の主体を為すインデックスユニット11を有しており、インデックスユニット11は、回転テーブル12を間欠回転させると共に、回転テーブル12の間欠周期に同期(連動)させ、装置本体2の各種の装置を作動させる。
【0013】
回転テーブル12は、インデックスユニット11から垂下した鉛直軸16に固定され、平面視時計廻りに間欠回転する。回転テーブル12の外周部には、ブラケット17を介して、周方向に等間隔に12個の装着ヘッド13が、上下動自在に取り付けられている。この場合、回転テーブル12の間欠回転は、装着ヘッド13の数に合わせて一回転に対して12間欠周期となっており、この間欠回転により公転する各装着ヘッド13は、12箇所の停止位置にそれぞれ停止する。そして、12箇所の停止位置には、電子部品Aを吸着する吸着位置および装着する装着位置の他、吸着した電子部品Aの撮像および位置補正を行う位置や、装着ヘッド13におけるノズル切替(交換)を行う位置等が含まれている。
【0014】
ここで、任意の一の装着ヘッド13の動作を例に、装置本体2の一連の動作を簡単に説明する。装着位置において基板Bに電子部品Aを装着した装着ヘッド13は、間欠回転する回転テーブル12により吸着位置に向かって公転送りされてゆき、制御指令に基づく、吸着ノズル14の選択、吸着ノズル14の突出・没入、突出長さ調整、および位置補正が順次行われながら、吸着位置に達する。一方、吸着系3では、装着ヘッド13が吸着位置の一つ手前の停止位置から吸着位置に移動してくる間に、制御指令に基づき、供給台23を進退させ、該当する電子部品用のテープカセット21を吸着位置に臨ませる。
【0015】
ここで電子部品Aを吸着した装着ヘッド13は、今度は装着位置に向かって公転送りされてゆき、制御指令に基づく、吸着ノズル14のノズルセット位置への復帰、吸着した電子部品Aの認識、およびこれに基づく電子部品Aの角度補正が順次行われながら、装着位置に達する。一方、装着系4では、装着ヘッド13が装着位置の一つ手前の停止位置から装着位置に移動してくる間に、制御指令に基づき、XYテーブル35を作動させて、基板Bの部品装着部位を装着位置に臨ませる。そして、装着ヘッド昇降装置18により装着ヘッド13が下降され、基板Bに電子部品Aが装着される。
【0016】
次に、図3ないし図5を参照して、基板移送装置30について詳細に説明する。上述したように、基板移送装置30は、コンベア搬送機構31と爪搬送機構32とで構成されている。図3に示すように、コンベア搬送機構31のXYテーブル35は、X軸テーブル41と、X軸テーブル41上に載置したY軸テーブル42と、Y軸テーブル42の上部に組み込んだ左右一対のテーブルベルト機構43とで構成されている。X軸テーブル41にはX軸モータ44が取り付けられ、Y軸テーブル42にはY軸モータ45が取り付けられていて(図2参照)、これら両モータ44,45が駆動することで、テーブルベルト機構43に載置された基板Bが、適宜水平面内においてXY方向に移動する。
【0017】
また、一対のテーブルベルト機構43は、固定側テーブルベルト機構43aと可動側テーブルベルト機構43bとから成り、固定側テーブルベルト機構43aに対し可動側テーブルベルト機構43bを左右方向に移動調節することにより、各種の基板Bの基板幅に対応させ得るようになっている(図5参照)。
【0018】
各テーブルベルト機構43は、コンベアモータ51と、コンベアモータ51の主軸に固定した駆動プーリ52と、Y軸テーブル42の送方向の端部間に配設した一対の従動プーリ53と、駆動プーリ52の近傍に配設した一対の中間プーリ54と、これらプーリ間に掛け渡したコンベアベルト55とで構成されている。図示しないが、一対のテーブルベルト機構43には、搬送されてきた基板Bを所定の位置で挟持固定する機構が組み込まれており、基板Bは、装着ヘッド13から電子部品Aの装着を受けるべくXY方向に移動するときには、両テーブルベルト機構43に不動に固定され、電子部品Aの装着が完了し搬出コンベア37に移送されるときには、固定を解かれるようになっている。
【0019】
搬入コンベア36は、機台61と、機台61の上部に組み込まれた左右一対の搬入ベルト機構62とで構成されている。各搬入ベルト機構62は、上記のテーブルベルト機構43と同様に、コンベアモータ63と、駆動プーリ64と、一対の従動プーリ65と、一対の中間プーリ66と、コンベアベルト67とで構成されている。同様に、搬出コンベア37は、機台71と、機台71の上部に組み込まれた左右一対の搬出ベルト機構72とで構成されおり、各搬出ベルト機構72は、コンベアモータ73と、駆動プーリ74と、一対の従動プーリ75と、一対の中間プーリ76と、コンベアベルト77とで構成されている(いずれも図5参照)。この場合も、一対の搬入ベルト機構62は、固定側搬入ベルト機構62aと可動側搬入ベルト機構62bとで構成され、また搬出ベルト機構72は、固定側搬出ベルト機構72aと可動側搬出ベルト機構72bとで構成されている。
【0020】
テーブルベルト機構43、搬入ベルト機構62および搬出ベルト機構72の各コンベアモータ51,63,73は、制御手段80に接続されており、同時に起動し且つ停止する。通常の運転時では、XYテーブル35、搬入コンベア36および搬出コンベア37には、それぞれ基板Bが載置されており、コンベア搬送機構31の全体が駆動すると、搬入コンベア36の下流端まで搬送されてきた基板Bは、搬入コンベア36からXYテーブル35に移送され、同時に電子部品Aの装着が完了したXYテーブル35上の基板Bは搬出コンベア37に移送される。搬出コンベア37上の基板Bは、図外のストッカなどに送り込まれる。
【0021】
爪搬送機構32は、搬入コンベア36上の基板BをXYテーブル35に、またXYテーブル35上の基板Bを搬出コンベア37に後押し形式で移載可能な一対の移載爪81と、一対の移載爪81を搬送方向に沿って、且つ搬送されてゆく基板を後追いするように移動させる爪移動機構82とで、構成されている。この場合基板は、上述のようにコンベア搬送機構31により移送されるが、この移送される基板Bに対し、移載爪81を後追い形式で移動させることにより、3つの基板Bを同時に且つ確実に移送できるようになっている。
【0022】
爪移動機構82は、XYテーブル35に沿って配設されており、図3および図4に示すように、先端に一対の移載爪81を固定し搬送方向に往復動自在に構成された送込み部材83と、送込み部材83の往復動を案内するガイドロッド84と、ガイドロッド84を介して一対の移載爪81を上下動させるシリンダ85と、送込み部材83を介して一対の移載爪81を往復動させるベルト機構86とを、有している。
【0023】
送り込み部材83は、部材本体83aと、部材本体83aからXYテーブル35側に延設した一対の送りアーム83b,83bと、部材本体83aの基端から下方に延設した一対の支持バー87と、各支持バー87の下端に固着した一対の係合リング88と、両係合リング88から水平に「U」字状に延びるU字バー89と、U字バー89の中間位置に設けた固定ブロック90とで構成されている。各送りアーム83bの先端部には、板状の爪片を垂下した移載爪81が固定されている。また、固定ブロック90は、後述するベルト機構86のタイミングベルト97に固定されている。
【0024】
ガイドロッド84は、両外端部を図外の機台に回動自在に軸支されており、周面にスプラインが形成されている。ガイドロッド84には、上記の一対の係合リング88がスプライン係合しており、両係合リング88は軸方向へのスライドを許容されるが、軸線廻りの回動は規制される。また、ガイドロッド84には回動ブロック91が固定され、回動ブロック91の端部には、シリンダ85のピストンロッド92が突き当てられている。すなわち、シリンダ85のピストンロッド92が突出すると、ガイドロッド84が、回動ブロック91を介して軸線廻りに回動する。ガイドロッド84が回動すると、一対の係合リング88を介して一対の送りアーム83bが回動し、一対の移載爪81を上方にリフトアップする。
【0025】
ベルト機構86は、ベルトモータ93と、ベルトモータ93の主軸に固定した駆動プーリ94と、移載爪81の移動距離を考慮して十分な離間距離を存して配設した一対の従動プーリ95と、駆動プーリ94の近傍に配設した一対の中間プーリ96と、これらプーリ間に掛け渡したタイミングベルト97とで構成されている。タイミングベルト97の一部には、上記の固定ブロック90が固定されており、ベルトモータ93の正逆回転に伴って、タイミングベルト97が往復走行されると、ガイドロッド84に案内されて送り込み部材83が往復動する。
【0026】
ベルトモータ93は、上記の制御手段80に接続され、コンベアモータ51,63,73と同期して駆動し、一方の移載爪81は、搬入コンベア36からXYテーブル35に移送される基板Bを後方から追いかけるように移動し、他方の移載爪81は、XYテーブル35から搬入コンベア36に移送される基板Bを後方から追いかけるように移動する。このようにして基板Bの移動が完了すると、両移載爪81はシリンダ85によりリフトアップされる。ここで、こんどはベルトモータ93が逆転し、両移載爪81はリフトアップの状態で元の位置に移動し、且つリフトアップを解かれて水平位置に戻る。
【0027】
次に、図5を参照して、このように構成された基板移送装置30の動作を、順を追って説明する。なお、分かりやすくするため、コンベア搬送機構31は、それぞれのベルト機構(テーブルベルト機構43,搬入ベルト機構62,搬出ベルト機構72)のみで示すものとする。また同様に、爪移動機構32は、移載爪81のみで示すものとする。
【0028】
図5(a)に示すように、2枚の基板Bが、搬入ベルト機構62およびテーブルベルト機構43上に載置され、コンベア搬送機構31により搬送されている。さらに、搬送されている基板Bに対し、爪搬送機構32により一対の移載爪81が後追い形式で移動している。このときコンベア搬送機構31および爪搬送機構32は、いずれも制御手段80に接続され、同期して駆動される。
【0029】
ここで、2枚の基板Bのうち、前方の基板Bが、電子部品Aの装着位置まで搬送されると、制御手段80により、コンベア搬送機構31および爪搬送機構32は一旦停止する。そして、XYテーブル35が作動し、基板Bの部品装着部位を装着位置に臨ませ、装着ヘッド13が下降されて、電子部品Aが装着される。基板Bに全ての電子部品Aの装着が完了すると、再び、コンベア搬送機構31および爪搬送機構32が駆動し、2枚の基板Bは、テーブルベルト機構43から搬出ベルト機構72へ、後方の基板Bは搬入ベルト機構62はらテーブルベルト機構43へ移送される。同時に、これらの基板Bに対し、移載爪81が後追い形式で移動する(同図(b))。
【0030】
続いて、今度は後方の基板Bが電子部品Aの装着位置まで搬送されると、前述の場合と同様、コンベア搬送機構31および爪搬送機構32は一旦停止し、電子部品Aの装着が完了すると、駆動を再開する(同図(c))。そして、前方の搬出ベルト機構72上の基板Bが、搬出ベルト機構72から図外のストッカなどに送り込まれると、移載爪81は、シリンダ85によりリフトアップされ、爪搬送機構32のベルトモータ93が逆転する。すると、移載爪81はリフトアップの状態のままで元の位置に移動し、且つリフトアップを解かれて水平位置に戻る(同図(a))。
【0031】
ここで、何らかの理由により、一方の基板BがXYテーブル31または搬出コンベア33に基板Bがつかえた場合(移送不良)を想定する。例えば、(同図(b))の状態で基板Bがつかえた場合は、2枚の基板Bは移載爪61により後押し形式で隣接する搬送機構へ移載される。その後、この場合は、後方の基板Bが電子部品Aの装着位置まで移送されると、コンベア搬送機構31および爪搬送機構32が一旦停止し、電子部品Aが装着された後、テーブルベルト機構43および搬出ベルト機構72により移送される。また、同時に、これらの基板Bに対し、移載爪81が後追い形式で移動する。なお、万が一、ここでも2枚の基板B,Bのうちいずれか一方がつかえてしまった場合は移載爪61により、後方の基板Bが搬出コンベア33へ確実に搬送されるまで、後押しされる。
【0032】
以上のように本実施例によれば、基板の移送に際し、コンベア形式の複数の搬送機構を備えたことにより、搬入位置から装着位置に、同時に装着位置から搬出位置に、複数の基板を同時に移送することができる。また、爪移動機構により、搬送される基板を後追い形式で移載爪を移動させることによって、何らかの要因で、基板が搬送路でつかえた場合には、基盤を搬入位置から装着位置へ、また、装着位置から搬出位置へ後押し形式で移載させることが可能となるため、確実に基板を移送することができる。また基板を搬送する搬送機構と、移載爪を搬送機構に沿って移動させる爪移動機構とを、同期して駆動させることにより、制御を簡素化することができる。
【0033】
【発明の効果】
以上のように本発明の基板移送装置によれば、複数の基板を同時に且つ確実に移送可能であるため、基板移送の信頼性アップとスピードアップを達成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る基板移送装置を適用した電子部品装着装置の側面図である。
【図2】実施形態に係る基板移送装置を適用した電子部品装着装置の平面図である。
【図3】実施形態のコンベア搬送機構の斜視図である。
【図4】実施形態の爪搬送機構の斜視図である。
【図5】実施形態の基板移送装置の動作を示す動作図である。
【符号の説明】
1 電子部品装着装置
2 装着本体
13 装着ヘッド
30 基板移送装置
31 コンベア搬送機構
32 爪搬送機構
35 XYテーブル
36 搬入コンベア
37 搬出コンベア
43 テーブルベルト機構
62 搬入ベルト機構
72 搬出ベルト機構
80 制御手段
81 移載爪
82 爪移動機構
Claims (2)
- 基板を順送りで搬送可能なコンベア形式の複数の搬送機構と、
隣接する前記搬送機構間において基板を後押し形式で移載可能な移載爪と、
前記移載爪を前記搬送機構に沿って移動させる爪移動機構と、
前記搬送機構および前記爪移動機構を制御し、前記搬送機構により搬送される基板に対し前記移載爪を後追い形式で移動させる制御手段とを備えたことを特徴とする基板移送装置。 - 前記制御手段は、前記搬送機構と前記爪移動機構とを、同期して駆動させることを特徴とする請求項1に記載の基板移送装置。
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