JP3742252B2 - Icパッケージ - Google Patents
Icパッケージ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3742252B2 JP3742252B2 JP20518199A JP20518199A JP3742252B2 JP 3742252 B2 JP3742252 B2 JP 3742252B2 JP 20518199 A JP20518199 A JP 20518199A JP 20518199 A JP20518199 A JP 20518199A JP 3742252 B2 JP3742252 B2 JP 3742252B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pwb
- interconnect
- array
- cavity
- iis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49827—Via connections through the substrates, e.g. pins going through the substrate, coaxial cables
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49838—Geometry or layout
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/50—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor for integrated circuit devices, e.g. power bus, number of leads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L24/17—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of a plurality of bump connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/182—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16135—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
- H01L2224/16145—Disposition the bump connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01019—Potassium [K]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01078—Platinum [Pt]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/14—Integrated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1532—Connection portion the connection portion being formed on the die mounting surface of the substrate
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マルチチップモジュール(MCM)集積回路パッケージに関し、特に、相互接続用基板内のキャビティ内に一つ以上のチップが配置されたリセス(recessed)型チップMCMパッケージに関する。
【0002】
【従来の技術】
リセス型チップMCMパッケージは、相互接続用基板領域の利用効率がよく、パッケージプロファイル全体を低くでき、相互接続長さを短くできることから、IC素子相互接続技術において広く採用されている。例えば、米国特許第5608262号公報(1997年3月4日発行)には、各種のリセス型チップパッケージのオプションが記載されている。
【0003】
リセス型チップパッケージは、3つの構成要素によって特徴付けられる。すなわち、本明細書において定めた第1レベル構成要素である第1のICチップと、ICチップおよび受動相互接続用基板のいずれかであり、ここでは第2レベル構成要素である中間相互接続用基板(IIS)と、典型的にはプリント回路基板(PCB)であり、ここでは第3レベル構成要素であるシステム相互接続用基板(SIS)、という3つの構成要素である。
【0004】
これらの構成要素の面積は漸次拡大しており、第2レベル構成要素は、ICチップを支持することができ、第3レベル構成要素は、第2レベル構成要素に適応することができる。3構成要素パッケージにおいて、第1レベル構成要素は、典型的には、第2レベル構成要素に結合されたフリップチップであり、第2レベル構成要素は、典型的には、第3レベル構成要素上に実装されたフリップチップであり、第1レベル構成要素は、その第3レベル構成要素に形成されたキャビティ内へと後退される。
【0005】
このような基本的な概念を用いて多様な変形例を構成可能である。例えば、システム相互接続用基板自体に中間相互接続用基板の機能を持たせて第4レベル基板に取り付け、第2レベル構成要素をその第4レベル構成要素のキャビティ内へと後退させることが可能である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
リセス型キャビティ構造は、効率的な相互接続配置を可能にするが、より高密度の相互接続部と、より高い相互接続能力に対する要求が高まっている。したがって、本発明の目的は、相互接続密度を向上可能なICパッケージを提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、リセス型チップMCMパッケージの相互接続方法を改善することができる。この改善の本質的な特徴は、リセス型キャビティの側壁を金属化して、この金属化部分を用いて一つ以上の貫通接続部を形成することにより、レベル間相互接続用のキャビティを活用することである。このような貫通キャビティ相互接続方法は、単一のキャビティ内での多数のレベル間相互接続を可能にし、特に、電力用相互接続部や接地用相互接続部に適している。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1に示すように、リセス型チップモジュールは、ICチップ11と中間相互接続用基板(IIS)12を有する。IIS12には、エポキシやセラミックなどの適当な材料を使用することができるが、望ましくは、シリコンである。ICチップ11は、相互接続部13によってIIS12に結合されたフリップチップである。ここで、相互接続部13は、典型的にははんだであるが、導電性エポキシなどの他の導電材料を使用してもよい。フリップチップ結合用の手法は、本発明の一部を構成するものではないが、例えば、はんだ結合や導電性エポキシ等が使用できる。IIS12は次に、はんだまたは導電性エポキシ製のI/O相互接続部を持つプリント配線基板(PWB)14にフリップ結合される。
【0009】
リセス型チップMCMにおいて、PWB14には、キャビティ15が設けられており、図示するように、ICチップ11をPWB表面よりも下方に後退させられるようになっている。キャビティは、図1に示すように、PWB14の厚さ全体を貫通するように設けてもよいが、PWB14の厚さの一部だけの寸法を持つ凹部として設けてもよい。この構成において、PWB14は、両側にプリント回路を持つ単一レベルの基板である。また、PWB14は、マルチレベルPWBとすることもできる。このPWB14は、システムプリント配線基板(図示せず)に相互接続することもできる。PWB14の断面部分から明らかなように、このPWB14は、幾つかのIIS12に適応可能なより大きいPWBの一部である。
【0010】
IIS12は、基板の周囲に正方形あるいは矩形に配置されたI/O結合サイトの大きなアレイを持つ、クワッドパッケージなどの能動素子である。あるいはまた、IIS12は、片面あるいは両面にプリント回路を持つ、シリコンなどの受動相互接続用基板であってもよい。図1に示す相互接続構成においては、はんだボール16がPWB14上のボンディングパッドに結合され、このボンディングパッドがランナ(runner)17によって相互接続されている。このランナ17は、めっきされたスルーホール相互接続部18まで伸びており、PWB14の底面上のランナ19を介して別の接触サイト(図示せず)まで伸びている。
【0011】
ここで、別の接触サイトは、PWB14が別の基板にはんだ付けされる場合やワイヤ結合が行われる場合には、別のボンディングパッドであってもよい。また、PWB14がプラグイン回路カードである場合には、その接触サイトはスロット相互接続部であってもよい。ここでは、便宜上、符号16、17、18、19によって示される相互接続部は電力用相互接続部であり、符号21、22、23、24によって示される同様の相互接続部は接地用相互接続部である。残りのI/O接続部は図示していないが周知の技術である。
【0012】
本発明によって改善された構成について説明すれば、図2に示すように、この形態の相互接続部は、キャビティ15のエッジや側壁に沿ってPWB14の上面から底面まで伸びるエッジコネクタ31、32を有する。両方の図面に共通する構成要素には、同じ参照番号を付している。はんだ相互接続部33、34が、この構造に付加的な相互接続能力を与えている。図2の形態において、はんだ相互接続部33、34は、IIS12をPWB14の上面のコンタクトパッドに相互接続しており、このコンタクトパッドを含む相互接続部は、めっきされたエッジコネクタ31、32に沿ってPWB14の底面上のランナ35、36まで伸びている。
【0013】
このような追加の相互接続部は、リセス型チップ基板アセンブリのキャビティのエッジに導電めっきを施すことによって形成可能であり、I/O信号に適応可能であるが、望ましくは電力用相互接続部および接地用相互接続部として使用される。この構成によって、電力用相互接続部および接地用相互接続部を短縮して最適化することができ、また、それらの相互接続部を信号ランナから相対的に絶縁することができる。
【0014】
本発明による他の形態が図3に示されている。この形態において、IIS12は、ボールグリッドアレイ相互接続用基板41に取り付けられている。ボール結合部42、43は、電力用相互接続部および接地用相互接続部であり、ボール結合部44、45は、I/O信号相互接続部を構成する。相互接続用基板41の上面は、図4の平面図に示されており、この図においてはIIS12は取り外されている。また、相互接続用基板41の底面は、図5に示されている。図3〜5のボールグリッドアレイの形態において、相互接続用基板41は、システム基板(図示せず)に取り付けられるように構成されている。
【0015】
本発明の利点は、当業者であれば容易に理解できる。前述したようなMCMパッケージのめっきされたスルーホール相互接続部は、パッケージの全体の寸法を左右する大きなキャプチャーパッドを必要とする。めっきされたスルーホール相互接続部を削減することにより、相互接続用基板領域を削減し、前述したように、パッケージした素子の性能を向上することができる。
【0016】
図4は、電力用および接地用のスルーホール相互接続部用として設けられる通常のキャプチャーパッドを削減することにより、相互接続用基板領域の大半(拡大領域)を信号I/O相互接続部用として使用することができる。図4に示される経路構成は比較的単純であり、各ランナは、信号用のはんだから隣接するスルーホールまで直接導かれている。他の回路設計においては、信号用のはんだから離れたスルーホールまで導く場合など、経路がより複雑化することもある。特別な経路用スペースの利用は、電力用および接地用のキャビティエッジ相互接続部によって可能であるが、これによって得られる効果は大きい。
【0017】
本発明は、特に、チップがRFチップであるようなマルチチップモジュールパッケージにおいて有用である。RF素子は、外部の電磁場からの干渉を受けやすい。前述したような相互接続構成において、キャビティを接地導電キャップで覆うことによって外部の電磁場からRFチップを絶縁することは簡単である。
【0018】
本発明が、中間PWBが基板の厚さ全体を完全に貫通する開口を持ち、MCMが基板の表面より下方に後退させられるように取り付けられ、それによって、パッケージプロファイルが低減されるような各種のPWB相互接続構成に適用可能であることは明らかである。典型的に、そのような構造は四角形であり、多くの場合、正方形である。
【0019】
中間相互接続用基板には、ICチップが取り付けられるが、この中間相互接続用基板は、キャビティを覆い、4つのエッジ部がPWB上に伸び、ボール状あるいは塊状の結合部が中間相互接続用基板とPWBとの間に設けられる。典型的な構造において、IISは、キャビティ全体を覆い、4つのエッジの全てが、上方から見た場合にPWBと重なる。しかしながら、IISの2つの対向するエッジのみがPWBと重なり、かつ、ボール状あるいは塊状の結合部がそれらの2つの対向するエッジに沿って形成された構造においても、同様の効果が得られる。すなわち、原則として、本発明のリセス型チップパッケージは、キャビティの少なくとも一つのエッジに沿った相互接続部によって構成可能である。
【0020】
本発明はまた、キャビティがPWBの厚さの一部だけの寸法を持つ凹部であるような多層PWBにも適用可能である。図6にはそのような構成が示されており、追加PWBが、61として示されている。電力用と接地用のキャビティエッジ相互接続部31、32は、レベル間プリント回路の一部を含む。図6の構成における電力用と接地用のランナは、多重基板の底面または上面に設けられたコンタクトパッド(図示せず)において終端している。
【0021】
本発明において、用語「プリント配線基板」は単一のレベルの基板、すなわち、マルチレベル基板の一つのレベルを含むものである。また、PWB表面からレベル間プリント回路までの相互接続がなされた場合に、PWBの「上部表面」と「下部表面」は、その表面と中間レベルを含むものである。
【0022】
なお、上記の記載は、本発明の一つの実施の形態を説明するにすぎない。当業者であれば、本発明に基づいて各種の変形例を容易に想起可能であり、それらは、特許請求の範囲に記載された本発明の範囲に包含される。
【0023】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、相互接続密度を向上可能なICパッケージを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のリセス型チップMCMパッケージ用の相互接続装置を部分的に断面で示す模式図である。
【図2】本発明による改善された相互接続装置の一つの形態を部分的に断面で示す模式図である。
【図3】本発明による相互接続装置の別の形態を部分的に断面で示す模式図である。
【図4】図3の相互接続用基板を示す平面図である。
【図5】図3の相互接続用基板を示す底面図である。
【図6】本発明による相互接続装置の別の形態を部分的に断面で示す模式図である。
【符号の説明】
11…ICチップ
12…中間相互接続用基板(IIS)
13…相互接続部
14…プリント配線基板(PWB)
15…キャビティ
16、21…はんだボール
17、19、22、24…ランナ
18、23…スルーホール相互接続部
31、32…エッジコネクタ
33、34…はんだ相互接続部
35、36…ランナ
41…ボールグリッドアレイ相互接続用基板
42〜45…ボール結合部
61…追加PWB
Claims (8)
- (a)上部主表面および下部主表面を有するプリント配線基板(PWB)であって、前記上部主表面に形成されて前記PWBを貫通して前記下部主表面まで伸びる少なくとも一つのキャビティを有するPWBと、
(b)前記PWBの前記上部主表面上に前記キャビティの少なくとも一つのエッジに沿って設けられた相互接続サイトの第1アレイと、
(c)前記PWBに取り付けられて前記キャビティをほぼ覆う中間相互接続用基板(IIS)であって、上部主表面および下部主表面を有するIISと、
(d)前記IISの前記下部主表面上に設けられ、前記PWB上の前記相互接続サイトの第1アレイに取り付けられる相互接続サイトの第2アレイと、
(e)前記IISの前記下部主表面に取り付けられて前記キャビティ内まで伸びる少なくとも一つのICチップと、
(f)前記PWBの前記上部主表面上の第1のサイトと前記PWBの前記下部主表面上の第2のサイトとの間のレベル間相互接続部であって、前記第1のサイトから前記PWBの前記上部主表面に沿って前記キャビティのエッジまで伸び、このエッジに沿って伸び、さらに、このエッジから前記PWBの前記下部主表面に沿って前記第2のサイトまで伸びる導電ランナを有するレベル間相互接続部と
を有することを特徴とするICパッケージ。 - 前記PWBはマルチレベルPWBであり、前記下部主表面は、レベル間表面に対応する
ことを特徴とする請求項1記載のICパッケージ。 - 前記レベル間相互接続部は、前記キャビティの一つのエッジに沿って伸び、別のレベル間相互接続部は、前記キャビティの別のエッジに沿って伸びる
ことを特徴とする請求項1記載のICパッケージ。 - 前記レベル間相互接続部は、電力用相互接続部および接地用相互接続部のいずれか一方である
ことを特徴とする請求項1記載のICパッケージ。 - 前記IISはシリコンからなる
ことを特徴とする請求項1記載のICパッケージ。 - 相互接続サイトの前記アレイ間の相互接続部は、はんだからなる
ことを特徴とする請求項1記載のICパッケージ。 - 前記PWBの前記下部主表面上に設けられたボールグリッドアレイをさらに有する
ことを特徴とする請求項1記載のICパッケージ。 - (a)上部主表面及び下部主表面を有するプリント配線基板(PWB)14であって、前記上部主表面に形成され前記PWBを貫通して前記下部主表面まで延びる少なくとも一つの四辺形キャビティ15を有するPWBと、
(b)前記PWBの前記上部主表面上のPWB相互接続サイト17,22の第1アレイと、
(c)前記PWBの前記下部主表面上のPWB相互接続サイト19,24の第2アレイと、
(d)PWB相互接続サイトの前記第2アレイにPWB相互接続サイトの前記第1アレイを接続するスルーホール相互接続部18,23と、
(e)前記キャビティの少なくとも一つのエッジに沿って前記PWBの前記上部主表面上に設けられたPWB相互接続サイト33,34の第3アレイと、
(f)前記キャビティの少なくとも一つのエッジに沿って前記PWBの前記下部主表面上に設けられたPWB相互接続サイト35,36の第4アレイと、
(g)前記プリント配線基板に取り付けられ、実質的に前記キャビティを覆う中間相互接続用基板(IIS)12であって、前記IISは上部主表面と下部主表面を有し、
(h)前記IISの前記下部主表面上のIIS相互接続サイト16,21の第1アレイであって、IIS相互接続サイトの前記第1アレイが前記PWB上のPWB相互接続サイトの前記第1アレイへ取り付けられ、
(i)前記IISの前記下部主表面上のIIS相互接続サイトの第2アレイであって、IIS相互接続サイトの前記第2アレイが前記PWB上のPWB相互接続サイトの第3アレイに取り付けられ、
(j)前記IISの前記下部主表面に取り付けられ、前記キャビティ中の延びる少なくとも一つのICチップと、
(k)PWB相互接続サイトの前記第3アレイとPWB相互接続サイトの前記第4アレイの間の内部相互接続31,32であって、PWB相互接続サイトの前記第3アレイから前記PWBの上部表面に沿って前記キャビティのエッジへ延び、前記キャビティのエッジに沿って延び、及び前記キャビティ−のエッジから前記PWBの下部表面に沿ってPWB相互接続サイトの前記第4アレイへ延びる導電性ランナを含むことを特徴とするICパッケージ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/120148 | 1998-07-21 | ||
US09/120,148 US6154370A (en) | 1998-07-21 | 1998-07-21 | Recessed flip-chip package |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000049248A JP2000049248A (ja) | 2000-02-18 |
JP3742252B2 true JP3742252B2 (ja) | 2006-02-01 |
Family
ID=22388537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20518199A Expired - Lifetime JP3742252B2 (ja) | 1998-07-21 | 1999-07-19 | Icパッケージ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6154370A (ja) |
JP (1) | JP3742252B2 (ja) |
KR (1) | KR100310572B1 (ja) |
TW (1) | TW429565B (ja) |
Families Citing this family (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000223657A (ja) * | 1999-02-03 | 2000-08-11 | Rohm Co Ltd | 半導体装置およびそれに用いる半導体チップ |
JP2001044362A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-16 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の実装構造および実装方法 |
US6297551B1 (en) * | 1999-09-22 | 2001-10-02 | Agere Systems Guardian Corp. | Integrated circuit packages with improved EMI characteristics |
US7247932B1 (en) * | 2000-05-19 | 2007-07-24 | Megica Corporation | Chip package with capacitor |
JP4497683B2 (ja) * | 2000-09-11 | 2010-07-07 | ローム株式会社 | 集積回路装置 |
WO2002023566A2 (en) * | 2000-09-18 | 2002-03-21 | Meder Electronic | A lead-less surface mount reed relay |
SG108245A1 (en) * | 2001-03-30 | 2005-01-28 | Micron Technology Inc | Ball grid array interposer, packages and methods |
US7061102B2 (en) | 2001-06-11 | 2006-06-13 | Xilinx, Inc. | High performance flipchip package that incorporates heat removal with minimal thermal mismatch |
DE10131011B4 (de) * | 2001-06-27 | 2016-02-18 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterchip und Anordnung eines Halbleiterbauelementes auf einem Substrat |
US6548759B1 (en) | 2001-06-28 | 2003-04-15 | Amkor Technology, Inc. | Pre-drilled image sensor package |
US6730536B1 (en) | 2001-06-28 | 2004-05-04 | Amkor Technology, Inc. | Pre-drilled image sensor package fabrication method |
US6486545B1 (en) * | 2001-07-26 | 2002-11-26 | Amkor Technology, Inc. | Pre-drilled ball grid array package |
US20030048624A1 (en) * | 2001-08-22 | 2003-03-13 | Tessera, Inc. | Low-height multi-component assemblies |
US20030089998A1 (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-15 | Chan Vincent K. | Direct interconnect multi-chip module, method for making the same and electronic package comprising same |
US6606251B1 (en) | 2002-02-07 | 2003-08-12 | Cooligy Inc. | Power conditioning module |
US20030213619A1 (en) * | 2002-05-14 | 2003-11-20 | Denzene Quentin S. | Ground discontinuity improvement in RF device matching |
US7573136B2 (en) * | 2002-06-27 | 2009-08-11 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor device assemblies and packages including multiple semiconductor device components |
US20040068867A1 (en) * | 2002-10-15 | 2004-04-15 | Burton Edward Allyn | Land-side mounting of components to an integrated circuit package |
JP3093800U (ja) * | 2002-11-01 | 2003-05-16 | アルプス電気株式会社 | 電子ユニット |
US8081474B1 (en) | 2007-12-18 | 2011-12-20 | Google Inc. | Embossed heat spreader |
US7386656B2 (en) | 2006-07-31 | 2008-06-10 | Metaram, Inc. | Interface circuit system and method for performing power management operations in conjunction with only a portion of a memory circuit |
US10013371B2 (en) | 2005-06-24 | 2018-07-03 | Google Llc | Configurable memory circuit system and method |
US8060774B2 (en) | 2005-06-24 | 2011-11-15 | Google Inc. | Memory systems and memory modules |
US7472220B2 (en) | 2006-07-31 | 2008-12-30 | Metaram, Inc. | Interface circuit system and method for performing power management operations utilizing power management signals |
US8090897B2 (en) | 2006-07-31 | 2012-01-03 | Google Inc. | System and method for simulating an aspect of a memory circuit |
US9171585B2 (en) | 2005-06-24 | 2015-10-27 | Google Inc. | Configurable memory circuit system and method |
US20080028136A1 (en) | 2006-07-31 | 2008-01-31 | Schakel Keith R | Method and apparatus for refresh management of memory modules |
US8041881B2 (en) | 2006-07-31 | 2011-10-18 | Google Inc. | Memory device with emulated characteristics |
US8335894B1 (en) | 2008-07-25 | 2012-12-18 | Google Inc. | Configurable memory system with interface circuit |
US8796830B1 (en) | 2006-09-01 | 2014-08-05 | Google Inc. | Stackable low-profile lead frame package |
US8130560B1 (en) | 2006-11-13 | 2012-03-06 | Google Inc. | Multi-rank partial width memory modules |
US8397013B1 (en) | 2006-10-05 | 2013-03-12 | Google Inc. | Hybrid memory module |
US8619452B2 (en) | 2005-09-02 | 2013-12-31 | Google Inc. | Methods and apparatus of stacking DRAMs |
US8244971B2 (en) | 2006-07-31 | 2012-08-14 | Google Inc. | Memory circuit system and method |
US8089795B2 (en) | 2006-02-09 | 2012-01-03 | Google Inc. | Memory module with memory stack and interface with enhanced capabilities |
US20080082763A1 (en) | 2006-10-02 | 2008-04-03 | Metaram, Inc. | Apparatus and method for power management of memory circuits by a system or component thereof |
US8438328B2 (en) | 2008-02-21 | 2013-05-07 | Google Inc. | Emulation of abstracted DIMMs using abstracted DRAMs |
US8327104B2 (en) | 2006-07-31 | 2012-12-04 | Google Inc. | Adjusting the timing of signals associated with a memory system |
US8359187B2 (en) | 2005-06-24 | 2013-01-22 | Google Inc. | Simulating a different number of memory circuit devices |
US7392338B2 (en) | 2006-07-31 | 2008-06-24 | Metaram, Inc. | Interface circuit system and method for autonomously performing power management operations in conjunction with a plurality of memory circuits |
US8055833B2 (en) | 2006-10-05 | 2011-11-08 | Google Inc. | System and method for increasing capacity, performance, and flexibility of flash storage |
US8111566B1 (en) | 2007-11-16 | 2012-02-07 | Google, Inc. | Optimal channel design for memory devices for providing a high-speed memory interface |
US9542352B2 (en) | 2006-02-09 | 2017-01-10 | Google Inc. | System and method for reducing command scheduling constraints of memory circuits |
US9507739B2 (en) | 2005-06-24 | 2016-11-29 | Google Inc. | Configurable memory circuit system and method |
US8386722B1 (en) | 2008-06-23 | 2013-02-26 | Google Inc. | Stacked DIMM memory interface |
US8077535B2 (en) | 2006-07-31 | 2011-12-13 | Google Inc. | Memory refresh apparatus and method |
US20070014095A1 (en) * | 2005-07-12 | 2007-01-18 | Weiss Roger E | High-performance separable electrical device/printed circuit board interconnection |
US20070045795A1 (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-01 | Mcbean Ronald V | MEMS package and method of forming the same |
US9632929B2 (en) | 2006-02-09 | 2017-04-25 | Google Inc. | Translating an address associated with a command communicated between a system and memory circuits |
US7727004B2 (en) * | 2006-06-30 | 2010-06-01 | Seagate Technology Llc | Testing a high speed serial bus within a printed circuit board |
US7724589B2 (en) | 2006-07-31 | 2010-05-25 | Google Inc. | System and method for delaying a signal communicated from a system to at least one of a plurality of memory circuits |
US7557303B2 (en) * | 2006-12-18 | 2009-07-07 | Lsi Corporation | Electronic component connection support structures including air as a dielectric |
US8209479B2 (en) | 2007-07-18 | 2012-06-26 | Google Inc. | Memory circuit system and method |
US8080874B1 (en) | 2007-09-14 | 2011-12-20 | Google Inc. | Providing additional space between an integrated circuit and a circuit board for positioning a component therebetween |
US8258614B2 (en) * | 2007-11-12 | 2012-09-04 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit package system with package integration |
US8144479B2 (en) * | 2007-12-24 | 2012-03-27 | Universal Scientific Industrial Co., Ltd. | Wireless communication module |
DE102009007837A1 (de) * | 2009-02-06 | 2010-08-19 | Epcos Ag | Sensormodul und Verfahren zum Herstellen von Sensormodulen |
WO2010144624A1 (en) | 2009-06-09 | 2010-12-16 | Google Inc. | Programming of dimm termination resistance values |
US7978940B2 (en) * | 2009-09-14 | 2011-07-12 | Tyco Electronics Services Gmbh | Self-aligned carrier assembly for optical device supporting wafer scale methods |
JP5177910B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2013-04-10 | パナソニック株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
WO2017039630A1 (en) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | Intel IP Corporation | Low thermal resistance hanging die package |
CN110759311A (zh) * | 2019-10-29 | 2020-02-07 | 太极半导体(苏州)有限公司 | 一种基于窗口式基板的无引线mems芯片封装结构及其工艺 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0399161B1 (en) * | 1989-04-17 | 1995-01-11 | International Business Machines Corporation | Multi-level circuit card structure |
US5715144A (en) * | 1994-12-30 | 1998-02-03 | International Business Machines Corporation | Multi-layer, multi-chip pyramid and circuit board structure |
US5608262A (en) * | 1995-02-24 | 1997-03-04 | Lucent Technologies Inc. | Packaging multi-chip modules without wire-bond interconnection |
US5869894A (en) * | 1997-07-18 | 1999-02-09 | Lucent Technologies Inc. | RF IC package |
-
1998
- 1998-07-21 US US09/120,148 patent/US6154370A/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-05-25 TW TW088108558A patent/TW429565B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-07-15 KR KR1019990028642A patent/KR100310572B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-07-19 JP JP20518199A patent/JP3742252B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20000011738A (ko) | 2000-02-25 |
KR100310572B1 (ko) | 2001-11-03 |
TW429565B (en) | 2001-04-11 |
JP2000049248A (ja) | 2000-02-18 |
US6154370A (en) | 2000-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3742252B2 (ja) | Icパッケージ | |
EP0892434B1 (en) | RF IC package | |
US6160705A (en) | Ball grid array package and method using enhanced power and ground distribution circuitry | |
US6608379B2 (en) | Enhanced chip scale package for flip chips | |
US5744862A (en) | Reduced thickness semiconductor device with IC packages mounted in openings on substrate | |
US6461895B1 (en) | Process for making active interposer for high performance packaging applications | |
US6678167B1 (en) | High performance multi-chip IC package | |
US6319829B1 (en) | Enhanced interconnection to ceramic substrates | |
US6365962B1 (en) | Flip-chip on flex for high performance packaging applications | |
JP3239909B2 (ja) | 積層可能な三次元マルチチップ半導体デバイスとその製法 | |
KR100368696B1 (ko) | 반도체장치 및 제조방법 | |
US20030000082A1 (en) | IC package with dual heat spreaders | |
US20040052060A1 (en) | Low profile chip scale stacking system and method | |
US20080067662A1 (en) | Modularized Die Stacking System and Method | |
KR20040034457A (ko) | 개선된 히트싱크 구조를 갖는 반도체 장치 | |
EP0304263A2 (en) | Semiconductor chip assembly | |
US6111761A (en) | Electronic assembly | |
US20060202335A1 (en) | Tape ball grid array package with electromagnetic interference protection and method for fabricating the package | |
US6710438B2 (en) | Enhanced chip scale package for wire bond dies | |
TWI459512B (zh) | 使用相互連接的三維層片將垂直封裝的mosfet和積體電路功率器件構建成集成模組 | |
US20020063331A1 (en) | Film carrier semiconductor device | |
US6057594A (en) | High power dissipating tape ball grid array package | |
JP4813786B2 (ja) | 集積回路および集積回路アセンブリ | |
US6137174A (en) | Hybrid ASIC/memory module package | |
US6657292B2 (en) | Package board for multiple-pin ball grid array package, multiple-pin ball grid array package, and semiconductor device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050902 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051110 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3742252 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091118 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091118 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101118 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111118 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121118 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121118 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131118 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |