JP3738600B2 - Surface mount type piezoelectric components - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、セラミック基体に金属蓋体をシーム溶接してなるパッケージを用いた表面実装型圧電部品に関する。
【0002】
【従来の技術】
水晶振動子、水晶発振器、フィルタなどの圧電部品は携帯電話など移動体通信機器に広く用いられている。近年、機器の小型化、薄型化への要望がますます高まっており、これらに用いる圧電部品に対しても小型化、薄型化が要望され、セラミックパッケージを用いた表面実装型圧電部品が注目されている。
【0003】
図2は従来の表面実装型圧電部品の断面図である。積層セラミック基体13は下段13a、中段13bおよび上段13cからなる三層構造であり、中段13b上に電極用メタライズ層4が形成され、積層セラミック基体13を貫通するビアホール8よって積層セラミック基体13の下面に形成された入出力端子用メタライズ層5と導通している。電極用メタライズ層4上には導電性接着剤14により圧電素子2が接着され、積層セラミック基体13の段差を利用した振動空間3で圧電素子2を保持している。積層セラミック基体13の上段13cに形成された接合用メタライズ層7上には、銀ろうなどの金属ろう材9を介して金属リング15がろう付けされている。そして金属リング15に平板状の金属蓋体12がシーム溶接され圧電素子を気密保持している。
【0004】
積層セラミック基体13の厚さは、下段13aが0.3mm程度、中段13bが0.2mm程度、上段13cが0.2mm程度であり、その上に接合された金属リング15と金属蓋体12の厚さは、それぞれ0.2mm程度、0.1mm程度であり、表面実装型圧電部品の全高は1.0mm程度となっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記説明した従来の表面実装型圧電部品は、圧電素子の振動空間を確保できるように三層構造の積層セラミック基体を用いているため、パッケージの薄型化が困難であるという問題があった。
【0006】
また、金属リングに金属蓋体をシーム溶接する際、溶接電極からの熱および圧力が金属リングの直下に位置する積層セラミック基体に直接かかるため、積層セラミック基体にクラックが発生し、気密性が損なわれるなど圧電部品としての信頼性が低下するという問題もあった。
【0007】
パッケージを薄型化するため各層のセラミック基板の厚みを薄くした場合、パッケージ強度が低下するため上記クラックの発生がさらに顕著になる。
【0008】
本発明は上記問題点を解決するものであり、パッケージを薄型化することができ、かつ信頼性も維持することができる表面実装型圧電部品を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明は、セラミック基体上面に電極用メタライズ層を形成し、前記電極用メタライズ層上に盛り上げて形成した金属ろう材上に圧電素子を保持し、前記セラミック基体上面の周囲に形成した接合用メタライズ層上にシェル状金属リングをろう付けし、前記シェル状金属リング上に金属蓋体をシーム溶接したものである。
【0010】
この本発明によれば、電極用メタライズ層上に盛り上げて形成した金属ろう材に圧電素子を保持することにより、単層のセラミック基体を用いても圧電素子の振動空間を確保することができるため、表面実装型圧電部品を薄型化することができる。
【0011】
また、金属蓋体をシーム溶接する際に発生する熱を表面積の大きなシェル状金属リングによって外部に放熱することができるため、セラミック基体に直接熱が伝わることがない。また、溶接電極からの圧力もシェル状金属リングのばね効果によって軽減することができるため、セラミック基体に直接圧力がかかることがない。このためセラミック基体にクラックが発生することがなく気密性を保つことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照しながら詳しく説明する。図1(a)は本実施形態の表面実装型水晶振動子の断面図、(b)は同水晶振動子の一部を省略した上面図、(c)は同水晶振動子の下面図である。
【0013】
セラミック基体1の上面にはタングステンなどからなる電極用メタライズ層4が形成され、セラミック基体1の下面に形成された入出力端子用メタライズ層5にセラミック基体1を貫通するビアホール8によって導通されている。
【0014】
電極用メタライズ層4上には、銀ろうなどの金属ろう材10が盛り上げて形成され、この金属ろう材10上に銀ペーストなどの導電性接着剤14により圧電素子2を保持することにより、圧電素子2の振動空間3を確保している。金属ろう材10の高さは電極用メタライズ層4を含めて50〜100μm程度とした。金属ろう材10は電極用メタライズ層4上に棒状の金属ろう材(図示せず)を載置して加熱すると、表面張力で電極用メタライズ層4の端部に盛り上がることにより形成される。
【0015】
セラミック基板1の上面の周囲には接合用メタライズ層7が形成され、この上にコバール材(鉄54%−ニッケル28%−コバルト18%)などからなるシェル状金属リング11が金属ろう材9によりろう付けされている。このシェル状金属リング11は、厚さ0.1mm程度の金属平板をプレス手段により絞り加工し、底面中央部を打ち抜いて形成した。シェル状金属リング11には平板状の金属蓋体12がシーム溶接により接合されている。接合用メタライズ層7はセラミック基体1を貫通するビアホール8によってセラミック基体1の下面に形成されたアース端子用メタライズ層6と導通している。
【0016】
本実施形態によるセラミック基体1の厚みは、0.3mm程度、シェル状金属リング11の高さは、0.3mm程度、金属蓋体12の厚さは、0.1mm程度であり、表面実装型圧電部品の全高は0.7mm程度と薄型化を実現している。
【0017】
このような構成により、電極用メタライズ層4上に盛り上げて形成した金属ろう材10に圧電素子2を保持するため、単層のセラミック基体1を用いても圧電素子2の振動空間を確保することができ、表面実装型圧電部品を薄型化することができる。
【0018】
また、金属蓋体12をシーム溶接する際に発生する熱は表面積の大きなシェル状金属リングによって外部に放熱され、セラミック基体1に直接熱が伝わることがない。また、溶接電極からの圧力もシェル状金属リングのばね効果によって軽減され、セラミック基体1に直接圧力が加わらない。このため、セラミック基体1にクラックが発生しなくなり、気密性を保つことができる。即ち、この実施形態によれば、パッケージの薄型化を図る一方で、気密性を保つことができる。
【0019】
なお、上記の実施形態では水晶振動子を例に挙げて説明したが、これに限ることなく水晶フィルタなど他の圧電部品でも採用することができる。また、本明細書中に記載のシェル(shell)とは金属平板を絞り加工により形成した形状のものを指し、例えば特開昭61−99374に開示されているように圧電部品やコネクタ用の気密端子に広く用いられている。本発明におけるシェル状金属リングとは、上述したシェルの底面中央部を取り除き外環形状としたものを指す。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、単層のセラミック基体を用いて圧電素子の振動空間を確保することができるため、表面実装型圧電部品の薄型化を実現できる。
【0021】
また、シェル状金属リングを採用することにより、シーム溶接の際にセラミック基体にかかる熱および圧力を軽減することができ、セラミック基体にクラックが発生することなく表面実装型圧電部品の信頼性を維持することができる。さらに、金属リングに比べてコバール材など高価な金属材料の使用量を少なくすることができ、材料コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態による表面実装型圧電部品の構成を示す図であり、
(a)は同表面実装型圧電部品の断面図
(b)は同表面実装型圧電部品の一部を省略した上面図
(c)は同表面実装型圧電部品の下面図
【図2】従来の表面実装型圧電部品の断面図
【符号の説明】
1 セラミック基体
2 圧電素子
3 振動空間
4 電極用メタライズ層
5 入出力端子用メタライズ層
6 アース端子用メタライズ層
7 接合用メタライズ層
8 ビアホール
9、10 金属ろう材
11 シェル状金属リング
12 金属蓋体
13 積層セラミック基体
13a 下段
13b 中段
13c 上段
14 導電性接着剤
15 金属リング
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a surface mount piezoelectric component using a package formed by seam welding a metal lid to a ceramic substrate.
[0002]
[Prior art]
Piezoelectric components such as crystal resonators, crystal oscillators, and filters are widely used in mobile communication devices such as mobile phones. In recent years, there is an increasing demand for smaller and thinner devices, and there is a demand for smaller and thinner piezoelectric components used in these devices, and surface-mounted piezoelectric components using ceramic packages have attracted attention. ing.
[0003]
FIG. 2 is a cross-sectional view of a conventional surface mount piezoelectric component. The multilayer ceramic substrate 13 has a three-layer structure including a lower stage 13a, a middle stage 13b, and an upper stage 13c. The electrode metallized layer 4 is formed on the middle stage 13b, and the bottom surface of the multilayer ceramic base 13 is formed by via holes 8 penetrating the multilayer ceramic base 13. The input / output terminal metallization layer 5 is electrically connected. On the electrode metallized layer 4, the piezoelectric element 2 is bonded by the conductive adhesive 14, and the piezoelectric element 2 is held in the vibration space 3 using the step of the multilayer ceramic substrate 13. A metal ring 15 is brazed onto the bonding metallization layer 7 formed on the upper stage 13c of the multilayer ceramic substrate 13 via a metal brazing material 9 such as silver brazing. A flat metal lid 12 is seam welded to the metal ring 15 to hold the piezoelectric element in an airtight manner.
[0004]
The thickness of the multilayer ceramic base 13 is about 0.3 mm for the lower stage 13a, about 0.2mm for the middle stage 13b, and about 0.2mm for the upper stage 13c. The thicknesses are about 0.2 mm and 0.1 mm, respectively, and the total height of the surface-mount type piezoelectric component is about 1.0 mm.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional surface-mount type piezoelectric component described above has a problem that it is difficult to reduce the thickness of the package because a multilayer ceramic substrate having a three-layer structure is used so as to secure a vibration space of the piezoelectric element.
[0006]
In addition, when seam welding a metal lid to a metal ring, heat and pressure from the welding electrode are directly applied to the multilayer ceramic substrate located directly below the metal ring, causing cracks in the multilayer ceramic substrate and impairing airtightness. There is also a problem that reliability as a piezoelectric component is lowered.
[0007]
When the thickness of the ceramic substrate of each layer is reduced in order to reduce the thickness of the package, the generation of the cracks becomes more remarkable because the package strength decreases.
[0008]
The present invention solves the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a surface-mount type piezoelectric component capable of reducing the thickness of the package and maintaining the reliability.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the present invention provides a metallized layer for an electrode on the upper surface of a ceramic substrate, holds a piezoelectric element on a metal brazing material formed on the metallized layer for the electrode, A shell-like metal ring is brazed onto a metallization layer for bonding formed in the periphery, and a metal lid is seam welded onto the shell-like metal ring.
[0010]
According to the present invention, since the piezoelectric element is held on the metal brazing material formed on the metallized layer for electrodes, the vibration space of the piezoelectric element can be secured even when a single-layer ceramic substrate is used. The surface mount piezoelectric component can be thinned.
[0011]
Further, since heat generated when seam welding the metal lid can be radiated to the outside by the shell-shaped metal ring having a large surface area, the heat is not directly transmitted to the ceramic substrate. In addition, since the pressure from the welding electrode can be reduced by the spring effect of the shell-shaped metal ring, no pressure is directly applied to the ceramic substrate. For this reason, a crack is not generated in the ceramic substrate, and airtightness can be maintained.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1A is a cross-sectional view of a surface-mounted crystal resonator according to the present embodiment, FIG. 1B is a top view with a part of the crystal resonator omitted, and FIG. 1C is a bottom view of the crystal resonator. .
[0013]
An electrode metallization layer 4 made of tungsten or the like is formed on the upper surface of the ceramic substrate 1, and is electrically connected to an input / output terminal metallization layer 5 formed on the lower surface of the ceramic substrate 1 by a via hole 8 penetrating the ceramic substrate 1. .
[0014]
A metal brazing material 10 such as silver brazing is formed on the metallized layer 4 for electrodes, and the piezoelectric element 2 is held on the metal brazing material 10 by a conductive adhesive 14 such as a silver paste. The vibration space 3 of the element 2 is secured. The height of the metal brazing material 10 was about 50 to 100 μm including the electrode metallized layer 4. The metal brazing material 10 is formed by placing a rod-shaped metal brazing material (not shown) on the electrode metallization layer 4 and heating it to rise at the end of the electrode metallization layer 4 due to surface tension.
[0015]
A metallization layer 7 for bonding is formed around the upper surface of the ceramic substrate 1, and a shell-like metal ring 11 made of kovar material (iron 54% -nickel 28% -cobalt 18%) or the like is formed on the metal brazing material 9. It is brazed. The shell-shaped metal ring 11 was formed by drawing a metal flat plate having a thickness of about 0.1 mm by a press means and punching out the center of the bottom surface. A flat metal lid 12 is joined to the shell-shaped metal ring 11 by seam welding. The bonding metallization layer 7 is electrically connected to the ground terminal metallization layer 6 formed on the lower surface of the ceramic substrate 1 by a via hole 8 penetrating the ceramic substrate 1.
[0016]
The ceramic substrate 1 according to this embodiment has a thickness of about 0.3 mm, the shell-shaped metal ring 11 has a height of about 0.3 mm, and the metal lid 12 has a thickness of about 0.1 mm. The total height of the piezoelectric parts is about 0.7 mm, realizing a reduction in thickness.
[0017]
With such a configuration, the piezoelectric element 2 is held on the metal brazing material 10 formed so as to be raised on the electrode metallization layer 4, so that the vibration space of the piezoelectric element 2 can be secured even if the single-layer ceramic substrate 1 is used. Thus, the surface mount type piezoelectric component can be thinned.
[0018]
Further, the heat generated when the metal lid 12 is seam welded is radiated to the outside by the shell-shaped metal ring having a large surface area, and the heat is not directly transmitted to the ceramic substrate 1. Further, the pressure from the welding electrode is also reduced by the spring effect of the shell-shaped metal ring, and no pressure is directly applied to the ceramic substrate 1. For this reason, cracks are not generated in the ceramic substrate 1, and airtightness can be maintained. In other words, according to this embodiment, the package can be thinned while maintaining airtightness.
[0019]
In the above-described embodiment, the crystal resonator has been described as an example. However, the present invention is not limited to this, and other piezoelectric parts such as a crystal filter can be used. In addition, the shell described in the present specification refers to a shape in which a metal flat plate is formed by drawing. For example, as disclosed in JP-A-61-99374, airtightness for piezoelectric parts and connectors is used. Widely used for terminals. The shell-shaped metal ring in the present invention refers to an outer ring shape that is obtained by removing the central portion of the bottom surface of the shell described above.
[0020]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the vibration space of the piezoelectric element can be secured by using a single-layer ceramic substrate, so that the surface-mounted piezoelectric component can be thinned.
[0021]
In addition, by adopting a shell-shaped metal ring, the heat and pressure applied to the ceramic substrate during seam welding can be reduced, and the reliability of surface-mount type piezoelectric components can be maintained without cracking the ceramic substrate. can do. Furthermore, the amount of expensive metal material such as Kovar material used can be reduced compared to the metal ring, and the material cost can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a surface mount piezoelectric component according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2A is a cross-sectional view of the surface-mounted piezoelectric component, FIG. 2B is a top view with a portion of the surface-mounted piezoelectric component omitted, and FIG. 2C is a bottom view of the surface-mounted piezoelectric component. Cross-sectional view of surface-mount type piezoelectric parts 【Explanation of symbols】
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic base | substrate 2 Piezoelectric element 3 Vibration space 4 Metallized layer 5 for electrodes Metallized layer 6 for input / output terminals Metallized layer 7 for earthing terminals Metallized layer 8 for joining Via hole 9, 10 Metal brazing material 11 Shell-shaped metal ring 12 Metal lid 13 Multilayer ceramic substrate 13a Lower stage 13b Middle stage 13c Upper stage 14 Conductive adhesive 15 Metal ring

Claims (1)

セラミック基体上面に電極用メタライズ層を形成し、前記電極用メタライズ層上に盛り上げて形成した金属ろう材上に圧電素子を保持し、前記セラミック基体上面の周囲に形成した接合用メタライズ層上にシェル状金属リングをろう付けし、前記シェル状金属リング上に金属蓋体をシーム溶接したことを特徴とする表面実装型圧電部品。An electrode metallization layer is formed on the upper surface of the ceramic substrate, a piezoelectric element is held on the metal brazing material formed on the metallization layer for the electrode, and a shell is formed on the metallization layer for bonding formed around the upper surface of the ceramic substrate. A surface-mount type piezoelectric component characterized by brazing a metal-like metal ring and seam-welding a metal lid on the shell-like metal ring.
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