JP4614594B2 - Electronic component storage package - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子や圧電振動子・表面弾性波素子等の電子部品を収容するための電子部品収納用パッケージに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体素子や圧電振動子等の電子部品を収容するための小型の電子部品収納用パッケージは、図3に蓋体を除いた状態の平面図で、図4に側面図で示すように、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体・ムライト質焼結体・ガラスセラミックス焼結体等の電気絶縁材料から成り、その上面中央部に電子部品21を搭載するための凹状の搭載部22を有するとともに搭載部22内から下面外周部にかけて導出する複数の配線導体23を有する絶縁基体24と、絶縁基体24の上面に搭載部22を取り囲むように被着されたタングステンやモリブデン等の金属粉末メタライズから成る略四角枠状の封止用メタライズ層25と、この封止用メタライズ層25の上に搭載部22を取り囲むようにして銀−銅ろう等のろう材を介して接合された鉄−ニッケル−コバルト合金等の金属から成る略四角枠状の金属枠体26と、この金属枠体26の上面にシームウェルド法等の溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより取着される鉄−ニッケル−コバルト合金等の金属から成る金属蓋体27とから構成されている。
【0003】
そして、この従来の電子部品収納用パッケージによれば、絶縁基体24の搭載部22底面に電子部品21を搭載するとともに、この電子部品21の電極を搭載部22内の配線導体23に例えば半田や導電性樹脂・ボンディングワイヤ等から成る電気的接続手段を介して電気的に接続し、しかる後、金属枠体26の上面に金属蓋体27をシームウェルド法等の溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより取着することによって絶縁基体24と封止用メタライズ25と金属枠体26と金属蓋体27とから成る容器の内部に電子部品21が気密に封止されることにより電子装置となる。
【0004】
なお、金属枠体26は、鉄−ニッケル−コバルト合金の板材に打ち抜き金型により打ち抜き加工を施すことにより製作され、通常その外周の各角部には丸み28が形成されている。そしてまた、金属枠体26の各角部の外周の丸み28の曲率半径は、封止用メタライズ層25の各角部の外周部の丸み29の曲率半径と略同じになるように形成されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このような従来の電子部品収納用パッケージにおいては、近時の電子装置の小型化の要求に伴って急激な小型化が進められており、そのため例えば封止用メタライズ層25の幅を0.35mm〜0.6mm程度の狭いものとするとともに、金属枠体26の幅を0.20mm〜0.45mm程度の狭いものとしている。また封止用メタライズ層25の外周の各角部における丸み29の曲率半径および金属枠体26の外周の各角部における丸み28の曲率半径を0.2mm〜0.5mm程度の小さなものとしている。
【0006】
そして、封止用メタライズ層25の上面に金属枠体26をろう材を介して、封止用メタライズ層25の内周面と金属枠体26の内周面とを合わせるようにして接合されている。このとき封止用メタライズ層25の幅が金属枠体26の幅より広いので、封止用メタライズ層25の外周側に金属枠体26が重ならない領域が形成され、その領域に金属枠体26の外周面と封止用メタライズ層25の表面とを接合するためのろう材溜まり30が形成される。
【0007】
しかしながら、このろう材溜まり30が形成される封止用メタライズ層25の外周側の領域が、近時の電子装置の小型化の要求に伴って急激に狭くなってきている。そのため、封止用メタライズ層25と金属枠体26とを接合するための充分な大きさのろう材溜まり30が形成されにくくなり、封止用メタライズ層25と金属枠体26とをろう材を介して接合するときに充分な強度を得にくくなっている。
【0008】
そのため、このような電子部品収納用パッケージによれば、絶縁基体24の搭載部22に電子部品21を搭載した後、金属枠体26の上面に金属蓋体27をシームウェルド法等の溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより取着すると、取着時の熱により大きく熱膨張した金属枠体26および金属蓋体27が溶接後の冷却過程で大きく熱収縮することにより、封止用メタライズ層25にこれを内側に引っ張るような大きな熱応力が印加される。そして、上述したように小型化されたパッケージにおいては、封止用メタライズ層25の幅が狭いので充分な大きさのろう材溜まり30が形成されないため、その熱応力によって金属枠体26と封止用メタライズ層25とが剥離することがある。特に対角線の方向に位置する各角部においては、金属枠体26および金属蓋体27の収縮量が他の部分よりも大きくなるため、各角部の封止用メタライズ層25の外周部に熱応力が大きく集中することとなり、この大きく集中した熱応力により金属枠体26と封止用メタライズ層25との剥離が発生しやすい傾向が顕著となる。そのため、この従来の電子部品収納用パッケージを用いた電子装置の気密信頼性が大きく損なわれてしまうという問題点を有していた。
【0009】
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、金属枠体に金属蓋体をシームウェルド法等の溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより取着した後、金属枠体および金属蓋体が熱収縮することによって発生する熱応力が印加されても金属枠体と封止用メタライズ層とが剥離することのない、気密信頼性の高い小型の電子部品収納用パッケージを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子部品収納用パッケージは略四角形の板状体から成り、上面に電子部品が搭載される搭載部およびこの搭載部の近傍に前記電子部品の電極が電気的に接続される配線導体を有する絶縁基体と、この絶縁基体の上面に前記搭載部を取り囲むように被着された角部の外周に丸みを有する四角枠状の封止用メタライズ層と、この封止用メタライズ層の上面にろう材を介して接合された角部の外周に丸みを有する四角枠状の金属枠体と、この金属枠体の上面に前記搭載部に搭載された前記電子部品を覆うように取着される蓋体とから成り、前記金属枠体の角部の外周を前記封止用メタライズ層の角部の外周の内側に位置させるとともに、前記金属枠体の角部の外周の丸みの曲率半径を前記封止用メタライズ層の角部の外周の丸みの曲率半径よりも大きくして、前記金属枠体の前記角部の外周面と前記封止用メタライズ層とをろう材によって接合したことを特徴とするものである。
【0011】
また本発明の電子部品収納用パッケージは、上記構成において、前記金属枠体の角部の外周の丸みの曲率半径は前記封止用メタライズ層の角部の外周の丸みの曲率半径よりも0.05〜0.50mm大きいことを特徴とするものである。
【0012】
本発明の電子部品収納用パッケージによれば、金属枠体の角部の外周を封止用メタライズ層の角部の外周の内側に位置させるとともに、金属枠体の角部の外周の丸みの曲率半径を封止用メタライズ層の角部の外周の丸みの曲率半径よりも大きくしたことから、封止用メタライズ層の角部の外周側においてろう材溜まりが形成される領域が広くなり、充分な大きさのろう材溜まりを形成することができるようになる。そのため、封止用メタライズ層にろう材を介して金属枠体を接合したとき充分な大きさのろう材溜まりが形成されるようになり、金属枠体と封止用メタライズ層との間の接合強度が強くなる。それにより、金属蓋体を金属枠体にシームウェルド法等の溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより取着した後、金属枠体の外周角部に熱応力が印加されても、金属枠体が封止用メタライズ層より剥離することを防止することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
次に、本発明を添付の図面を基に説明する。図1は本発明の電子部品収納用パッケージの実施の形態の一例を示す蓋体を除いた状態の平面図であり、図2は蓋体を取着した状態の側面図である。これらの図において、1は絶縁基体、2は封止用メタライズ層、3は金属枠体、4は金属蓋体である。そして、主にこれらで電子部品5を気密に収容する容器が構成される。
【0014】
絶縁基体1は一辺の長さが2〜10mm程度で厚みが0.5〜2mm程度の略四角形状であり、その上面中央部に電子部品5を搭載するための略四角凹状の搭載部6が設けてある。この搭載部6には電子部品5が搭載固定される。
【0015】
このような絶縁基体1は、酸化アルミニウム質焼結体や窒化アルミニウム質焼結体・ムライト質焼結体・ガラスセラミックス焼結体等の電気絶縁材料から成り、例えば酸化アルミニウム質焼結体から成る場合であれば、酸化アルミニウム・酸化珪素・酸化カルシウム・酸化マグネシウム等の原料粉末に適当な有機バインダおよび溶剤を添加混合して泥漿状となすとともに、これを従来周知のドクターブレード法等を採用してシート状となすことによって複数枚のセラミックグリーンシートを得て、しかる後、これらのセラミックグリーンシートの各々に所定の打ち抜き加工を施すとともにこれらを上下に積層し、約1600℃の温度で焼成することによって製作される。
【0016】
また、絶縁基体1には、搭載部6の底面から絶縁基体1の側面を介して下面に導出する複数の配線導体7が被着形成されている。配線導体7は、搭載部6に搭載される電子部品5の各電極を外部の電気回路に電気的に接続するための導電路として機能し、その搭載部6の底面に位置する部位には電子部品5の各電極が半田や導電性樹脂・ボンディングワイヤ等の電気的接続手段を介して電気的に接続され、また絶縁基体1の下面に導出した部位は半田等から成る電気的接続手段を介して外部電気回路に接続される。
【0017】
このような配線導体7は、タングステンやモリブデン・銅・銀等の金属粉末メタライズから成り、タングステン等の金属粉末に適当な有機バインダや溶剤を添加混合して得た金属ペーストを絶縁基体1用のセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等により所定のパターンに印刷塗布し、これを絶縁基体1用のセラミックグリーンシート積層体とともに焼成することによって、絶縁基体1の搭載部6底面から絶縁基体1の側面を介して下面に導出するように被着形成される。
【0018】
なお、配線導体7の表面には、配線導体7が酸化腐食するのを有効に防止するとともに配線導体7と電気的接続手段との接続性を良好なものとするために、通常であれば厚みが1〜10μm程度のニッケルめっき層および厚みが0.1〜3.0μm程度の金めっき層が、従来周知の電解めっき法や無電解めっき法により順次被着されている。
【0019】
さらに、絶縁基体1の上面には搭載部6を取り囲むようにしてタングステンやモリブデン・銅・銀等の金属粉末メタライズから成る略四角枠状の封止用メタライズ層2が被着形成されている。この封止用メタライズ層2は厚みが10〜20μm程度、各辺の幅が0.35〜0.6mm程度であり、さらにその外周の各角部には曲率半径が0.2〜0.5mmの丸み10を有しており、絶縁基体1に金属枠体3を接合するための下地金属として機能する。そして、この封止用メタライズ層2の上面には、搭載部6を取り囲む略四角枠状の金属枠体3が銀−銅ろう等のろう材を介してろう付けされている。
【0020】
金属枠体3を封止用メタライズ層2にろう付けするときには、搭載部6の凹状の内周面と、封止用メタライズ層2の内周面と、金属枠体3の内周面とをそれぞれ一致させて接合する。それにより金属枠体3が封止用メタライズ層2の中央部に位置するようになり、金属枠体3の角部の外周が封止用メタライズ層2の角部の外周の内側に位置するとともに、封止用メタライズ層2のろう材溜まりが形成される部分の幅がそれぞれの角部で同じになる。
【0021】
このような封止用メタライズ層2は、例えばタングステン等の金属粉末に適当な有機バインダや溶剤を添加混合して得た金属ペーストを絶縁基体1用のセラミックグリーンシートにスクリーン印刷法等により所定のパターンに印刷塗布し、これを絶縁基体1用のセラミックグリーンシート積層体とともに焼成することによって、絶縁基体1の上面に搭載部6を取り囲むようにして被着形成される。
【0022】
なお、封止用メタライズ層2の表面には、封止用メタライズ層2とろう材との濡れ性を良好とするために、通常であれば、厚みが0.5〜5μm程度のニッケルめっき層がろう付けの前に予め被着されている。
【0023】
そして、封止用メタライズ層2に銀−銅ろう等のろう材を介してろう付けされた金属枠体3は、例えば鉄−ニッケル合金や鉄−ニッケル−コバルト合金等の金属から成り、金属蓋体4を絶縁基体1に取着するための下地金属部材として機能する。この金属枠体3は、その内周面が凹部6の開口および封止用メタライズ層2の内周面と略同じ大きさであり、厚みが0.1〜0.25mm程度、各辺の幅が0.20〜0.45mm程度である。そして、その各角部の外周の丸み9の曲率半径は、封止用メタライズ層2の外周の丸み10の曲率半径よりも0.05〜0.50mm大きいものとして形成されている。
【0024】
封止用メタライズ層2の外周の各角部の丸み10の曲率半径はそれぞれの大きさの絶縁基体1により異なり、通常であれば、絶縁基体1の大きさが2〜3mm程度であれば封止用メタライズ層2の角部の外周の丸み10の曲率半径は0.2mm程度であり、また絶縁基板1の大きさが5〜10mm程度であれば封止用メタライズ層2の角部の外周の丸み10の曲率半径は0.5mm程度である。そこで、封止用メタライズ層2の各角部の外周の丸み10の曲率半径が0.2mmの場合の金属枠体3の各角部の外周の丸み9の曲率半径は0.25〜0.70mmとすればよい。また、封止用メタライズ層2の各角部の外周の丸み10の曲率半径が0.5mmの場合には、金属枠体3の各角部の外周の丸み9の曲率半径は0.55〜1.0mmにすればよい。
【0025】
そして、この金属枠体3の上に金属蓋体4を載置するとともに、これを例えばシームウェルド法等の溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより金属蓋体4が金属枠体3に取着される。
【0026】
本発明の電子部品収納用パッケージにおいては、金属枠体3の各角部における外周の丸み9の曲率半径が封止用メタライズ層2の各角部における外周の丸み10の曲率半径よりも0.05〜0.50mm大きいものとしたときには、封止用メタライズ層2を不必要に大きくすることなくその各角部におけるろう材溜まり8が形成される領域が広くなり、パッケージの小型化を図りつつ充分な大きさのろう材溜まり8を形成することができ、金属枠体3と封止用メタライズ層2との接合強度が強くなる。
【0027】
そのため、金属枠体3の上面に金属蓋体4をシームウェルド法等の溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより取着した後、金属枠体3および金属蓋体4が熱収縮することにより発生する熱応力が封止用メタライズ層2の外周角部に印加されても、金属枠体3が封止用メタライズ層2から剥離することを防止することができる。したがって、本発明の電子部品収納用パッケージによれば、気密信頼性に優れる電子装置を得ることができる。
【0028】
なお、金属枠体3の各角部における外周の丸み9の曲率半径が封止用メタライズ層2の各角部における外周の丸み10の曲率半径の大きさよりも大きくなる値が0.05mm未満であれば、封止用メタライズ層2の各角部の外周側においてろう材溜まり8が形成される領域が充分に確保することが困難なものとなる。そのため、充分な大きさのろう材溜まり8が形成されずに、封止用メタライズ層2と金属枠体3とが各角部分において充分な接合強度を得ることが困難となる。それにより、金属枠体3の上面に金属蓋体4をシームウェルド法等の溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより取着した後、金属枠体3および金属蓋体4が熱収縮することにより発生する熱応力により、金属枠体3が封止用メタライズ層2より剥離してしまうことがあり、電子部品収納用パッケージの気密信頼性に劣るものとなることになる。
【0029】
また、金属枠体3の各角部における外周の丸み9の曲率半径が封止用メタライズ層2の各角部における外周の丸み10の曲率半径の大きさよりも0.50mmを超えた大きさになると、金属枠体3が、その各角部における幅が狭いものになってしまうこととなる。そのため、金属枠体3と金属蓋体4とを取着するときの封止幅が狭いものとなるので、パッケージの気密信頼性が低下する危険性が大きくなる。
【0030】
したがって、封止用メタライズ層2の各角部上に充分な大きさのろう材溜まり8を形成するとともに、金属枠体3の各角部における封止幅を確保するために、金属枠体3の各角部の外周の丸み9の曲率半径は、封止用メタライズ層2の各角部の外周の丸み10の曲率半径よりも0.05〜0.50mm大きいことが好ましい。
【0031】
このような金属枠体3は、鉄−ニッケル合金や鉄−ニッケル−コバルト合金等から成る板材をプレス機により打ち抜くことによって所定の枠状に製作される。
【0032】
また、金属枠体3の封止用メタライズ層2へのろう付けは、例えば厚みが10〜50μmの箔状のろう材を挟んで封止用メタライズ層2の上に載置し、しかる後、ろう材を加熱溶融させることによって封止用メタライズ層2と金属枠体3とをろう付けする。
【0033】
なお、ろう付け後の封止用メタライズ層2の露出表面および金属枠体3の露出表面およびろう材の露出表面には、封止用メタライズ層2および金属枠体3およびろう材が酸化腐食するのを有効に防止するために、通常であれば厚みが0.5〜5μmのニッケルめっき層および厚みが0.1〜3.0μm程度の金めっき層が従来周知の電解めっき法や無電解めっき法により順次被着されている。
【0034】
かくして本発明の電子部品収納用パッケージによれば、絶縁基体1の搭載部6に電子部品5を搭載固定し、その各電極を配線導体7に電気的接続手段を介して接続した後、金属枠体3に金属蓋体4をシームウェルド法等の溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより取着し、内部に電子部品5を気密に封止することによって、気密信頼性に優れた電子装置を提供することができる。
【0035】
なお、本発明は上述の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。
【0036】
【発明の効果】
本発明の電子部品収納用パッケージによれば、金属枠体の角部の外周を封止用メタライズ層の角部の外周の内側に位置させるとともに、金属枠体の各角部における外周の丸みの曲率半径を封止用メタライズ層の各角部における外周の丸みの曲率半径よりも大きくして、金属枠体の角部の外周面と封止用メタライズ層とをろう材によって接合したことから、封止用メタライズ層の各角部の外周側においてろう材溜まりが形成される領域が広くなり、金属枠体と封止用メタライズ層との間に充分な大きさのろう材溜まりが形成されるようになり、金属枠体と封止用メタライズ層とが強固に接合されるようになる。そのため金属蓋体を金属枠体にシームウェルド法等による溶接により、または金−錫等のろう材を介したろう付けにより取着した後、金属蓋体および金属枠体が熱収縮することにより熱応力が発生しても、金属枠体が封止用メタライズ層より剥離してしまう可能性が低減された、気密信頼性に優れた電子部品収納用パッケージを提供することができる。
【0037】
また、金属枠体の各角部における外周の丸みの曲率半径が封止用メタライズ層の各角部における外周の丸みの曲率半径よりも0.05〜0.50mm大きいものとしたときには、封止用メタライズ層を不必要に大きくすることなくその各角部におけるろう材溜まりが形成される領域が広くなり、パッケージの小型化を図りつつ充分な大きさのろう材溜まりを形成することができ、金属枠体と封止用メタライズ層との接合強度が強くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電子部品収納用パッケージの実施の形態の一例を示す蓋体を除いた状態の平面図である。
【図2】本発明の電子部品収納用パッケージの実施の形態の一例を示す側面図である。
【図3】従来の電子部品収納用パッケージの例を示す蓋体を除いた状態の平面図である。
【図4】従来の電子部品収納用パッケージの例を示す側面図である。
【符号の説明】
1・・・絶縁基体
2・・・封止用メタライズ層
3・・・金属枠体
4・・・蓋体
5・・・電子部品
6・・・搭載部
7・・・配線導体
9・・・金属枠体の角部の外周の丸み
10・・・封止用メタライズ層の角部の外周の丸み[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an electronic component storage package for storing electronic components such as semiconductor elements, piezoelectric vibrators, and surface acoustic wave elements.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, a small electronic component storage package for storing electronic components such as semiconductor elements and piezoelectric vibrators is a plan view with the lid removed in FIG. 3, and a side view in FIG. Concave mounting part for mounting
[0003]
Then, according to this conventional electronic component storage package, the
[0004]
The
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in such a conventional electronic component storage package, with the recent demand for miniaturization of electronic devices, rapid miniaturization has been promoted. For example, the width of the
[0006]
Then, the
[0007]
However, the region on the outer peripheral side of the
[0008]
Therefore, according to such an electronic component storage package, after mounting the
[0009]
The present invention has been devised in view of the problems of the prior art, and its purpose is to attach a metal lid to a metal frame by welding such as a seam weld method or a brazing material such as gold-tin. Airtight reliability that the metal frame and the metallization layer for sealing do not peel off even if the thermal stress generated by the thermal contraction of the metal frame and the metal lid is applied after mounting by brazing An object of the present invention is to provide a small electronic component storage package having high performance.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The electronic component storage package of the present invention is formed of a substantially rectangular plate-like body, and includes a mounting portion on which the electronic component is mounted on the upper surface and a wiring conductor to which the electrode of the electronic component is electrically connected in the vicinity of the mounting portion. An insulating base having a rectangular frame-like sealing metallization layer having roundness at the outer periphery of the corners attached to the upper surface of the insulating base so as to surround the mounting portion; and an upper surface of the sealing metallization layer. A rectangular frame-shaped metal frame having roundness on the outer periphery of the corners joined via the brazing material, and the electronic component mounted on the mounting part is attached to the upper surface of the metal frame to cover the electronic component The outer periphery of the corner of the metal frame is located inside the outer periphery of the corner of the metallization layer for sealing, and the radius of curvature of the outer periphery of the corner of the metal frame is Curvature radius of outer periphery of corner of metallization layer for sealing Ri be increased, it is characterized in that the outer peripheral surface of the corner portion of the metal frame and said sealing metallized layer were bonded by brazing material.
[0011]
Further, in the electronic component storage package of the present invention, in the above configuration, the radius of curvature of the outer periphery of the corner of the metal frame is 0.05 to more than the radius of curvature of the outer periphery of the corner of the metallizing layer for sealing. It is characterized by being 0.50 mm larger.
[0012]
According to the electronic component storage package of the present invention, the outer periphery of the corner of the metal frame is positioned inside the outer periphery of the corner of the metallization layer for sealing, and the curvature of the outer periphery of the corner of the metal frame is rounded. Since the radius is larger than the radius of curvature of the outer periphery of the corner of the metallization layer for sealing, the area where the brazing material reservoir is formed on the outer periphery of the corner of the metallization layer for sealing is widened. A brazing material reservoir having a size can be formed. Therefore, when a metal frame is bonded to the metallizing layer for sealing via a brazing material, a sufficiently large brazing material reservoir is formed, and the bonding between the metal frame and the metallizing layer for sealing is performed. Strength increases. As a result, after the metal lid is attached to the metal frame by welding such as a seam weld method or by brazing via a brazing material such as gold-tin, thermal stress is applied to the outer corner of the metal frame. However, it can prevent that a metal frame peels from the metallizing layer for sealing.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention will now be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a plan view of a state in which a cover body is removed showing an example of an embodiment of the electronic component storage package of the present invention, and FIG. 2 is a side view of the state in which the cover body is attached. In these drawings, 1 is an insulating substrate, 2 is a metallizing layer for sealing, 3 is a metal frame, and 4 is a metal lid. And the container which accommodates the
[0014]
The insulating
[0015]
Such an insulating
[0016]
In addition, a plurality of
[0017]
Such a
[0018]
In order to effectively prevent the
[0019]
Further, a sealing
[0020]
When the
[0021]
Such a sealing
[0022]
In order to improve the wettability between the
[0023]
The
[0024]
The radius of curvature of the roundness 10 at each corner of the outer periphery of the
[0025]
Then, the metal lid 4 is placed on the
[0026]
In the electronic component storage package of the present invention, the radius of curvature of the
[0027]
Therefore, after the metal lid 4 is attached to the upper surface of the
[0028]
It should be noted that the value of the radius of curvature of the outer
[0029]
Further, when the radius of curvature of the
[0030]
Therefore, in order to form a sufficiently large brazing material reservoir 8 on each corner of the
[0031]
Such a
[0032]
The
[0033]
The metallized
[0034]
Thus, according to the electronic component storage package of the present invention, the
[0035]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
[0036]
【The invention's effect】
According to the electronic component storage package of the present invention, the outer periphery of the corner of the metal frame is positioned inside the outer periphery of the corner of the metallization layer for sealing, and the roundness of the outer periphery of each corner of the metal frame is reduced. Because the radius of curvature is larger than the radius of curvature of the outer periphery roundness at each corner of the metallization layer for sealing, and the outer peripheral surface of the corner of the metal frame and the metallization layer for sealing are joined by a brazing material , A region where the brazing material reservoir is formed is widened on the outer peripheral side of each corner of the sealing metallization layer, and a sufficiently large brazing material reservoir is formed between the metal frame and the sealing metallization layer. As a result, the metal frame and the metallizing layer for sealing are firmly bonded. Therefore, after the metal lid is attached to the metal frame by welding by a seam weld method or by brazing via a brazing material such as gold-tin, the thermal stress is caused by the thermal contraction of the metal lid and the metal frame. Even if this occurs, it is possible to provide an electronic component storage package excellent in airtight reliability, in which the possibility that the metal frame is peeled off from the metallization layer for sealing is reduced .
[0037]
Further, when the radius of curvature of the outer peripheral roundness at each corner of the metal frame is 0.05 to 0.50 mm larger than the radius of curvature of the outer peripheral roundness at each corner of the sealing metallized layer, the metallizing layer for sealing The area where the brazing material reservoirs are formed at each corner can be increased without unnecessarily increasing the size of the solder, and a sufficiently large brazing material reservoir can be formed while reducing the size of the package. The bonding strength between the metallization layer and the sealing metallizing layer is increased.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of a state in which a cover body is removed illustrating an example of an embodiment of an electronic component storage package of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing an example of an embodiment of an electronic component storage package according to the present invention.
FIG. 3 is a plan view of a state in which a lid body is removed illustrating an example of a conventional electronic component storage package.
FIG. 4 is a side view showing an example of a conventional electronic component storage package.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
10 ... Roundness of the outer periphery of the corner of the metallization layer for sealing
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